JP4837970B2 - Cutting blade changer - Google Patents

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Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削装置に装備される切削ブレードの交換装置に関する。   The present invention relates to a cutting blade replacement device equipped in a cutting device for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer.
例えば、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって区画された多数の領域にIC、LSI等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を分割予定ラインに沿って分割することにより個々の半導体チップを製造している。半導体ウエーハを分割する分割装置としては一般にダイシング装置としての切削装置が用いられている。この切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段とを具備している。   For example, in the semiconductor device manufacturing process, circuits such as IC and LSI are formed in a number of regions partitioned by dividing lines called streets formed in a lattice shape on the surface of a semiconductor wafer having a substantially disk shape, Each semiconductor chip is manufactured by dividing each region in which the circuit is formed along a planned division line. As a dividing device for dividing a semiconductor wafer, a cutting device as a dicing device is generally used. The cutting apparatus includes a chuck table that holds a workpiece and a cutting unit that includes a cutting blade that cuts the workpiece held on the chuck table.
上述した切削装置に装備される切削ブレードは、使用により磨耗するので、所定時間使用したら交換する必要がある。この切削ブレードの交換を自動的に実施するブレードオートチェンジャーが提案されている。(例えば、特許文献1参照)。このブレードオートチェンジャーは、切削ブレードを回転スピンドルの先端に締結する締結ナットを着脱する締結ナット着脱手段と、切削ブレードを回転スピンドルの先端に着脱するブレード着脱手段とを具備している。そして、締結ナット着脱手段は基端が揺動可能に配置された支持アームと該支持アームの先端に配設されたナット回動手段とからなっており、ブレード着脱手段基端が揺動可能に配置された支持アームと該支持アームの先端に配設されたブレード把持手段とからなっている。 Since the cutting blade equipped in the above-described cutting apparatus is worn by use, it must be replaced after being used for a predetermined time. There has been proposed a blade autochanger that automatically performs the replacement of the cutting blade. (For example, refer to Patent Document 1). The blade autochanger includes fastening nut attaching / detaching means for attaching / detaching a fastening nut for fastening the cutting blade to the tip of the rotating spindle, and blade attaching / detaching means for attaching / detaching the cutting blade to the tip of the rotating spindle. Then, the fastening nut connecting unit is formed of a nut turning means proximal end disposed at the distal end of the support arm and the support arm arranged swingably, the proximal end of the blade detaching means Yura It consists a rotatably arranged a support arm and the support arm of the disposed blade gripping means at the distal end.
而して、上述したブレードオートチェンジャーにおけるナット回動手段および締結ナット着脱手段におけるブレード把持手段はいずれも基端が揺動可能に配置された支持アームに配設された構成であるため、支持アームの僅かな角度ズレによって回転スピンドルの軸心と締結ナットおよび切削ブレードの軸心とが合致しなくなり、切削ブレードの自動交換が不可能になるという問題もある。   Thus, since the nut rotating means in the blade autochanger described above and the blade gripping means in the fastening nut attaching / detaching means are both arranged on the support arm disposed so as to be swingable, There is also a problem that the shaft center of the rotary spindle and the shaft center of the fastening nut and the cutting blade do not coincide with each other due to a slight angle deviation, and automatic replacement of the cutting blade becomes impossible.
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、回転スピンドルの軸心と締結ナットおよび切削ブレードの軸心とを確実に合致させることができる切削ブレードの交換装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned facts, and its main technical problem is to provide a cutting blade replacement device that can reliably match the axis of the rotary spindle with the axis of the fastening nut and the cutting blade. There is to do.
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する第1のチャックテーブル及び第2のチャックテーブルと、該第1及び第2のチャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた第1の切削手段及び第2の切削手段とを備え、該第1及び第2の切削手段がそれぞれ回転スピンドルと該回転スピンドルの先端部に螺合し該切削ブレードを締結するための締結ナットを備え、該第1の切削手段の回転スピンドルに装着された切削ブレードと該第2の切削手段の回転スピンドルに装着された切削ブレードとが対向して配設されている切削装置に配設され、該切削ブレードの各々を交換する切削ブレードの交換装置において、該第1及び第2の切削手段の該回転スピンドルから離隔した位置に配設され使用前の切削ブレードを収容する第1のブレード収容手段と使用済みの切削ブレードを収容する第2のブレード収容手段とをそれぞれ備えた第1のブレードラック及び第2のブレードラックと、該第1及び第2の切削手段の該締結ナットをそれぞれ着脱する第1の締結ナット着脱機構及び第2の締結ナット着脱機構と、該切削ブレードを該第1及び第2の切削手段の該回転スピンドルの先端にそれぞれ着脱する第1の切削ブレード着脱機構及び第2の切削ブレード着脱機構であって、それぞれ使用前の切削ブレードを把持する第1の切削ブレード把持手段と、使用済みの切削ブレードを把持する第2の把持手段とを備えている第1の切削ブレード着脱機構及び第2の切削ブレード着脱機構と、該第1及び第2の締結ナット着脱機構および該第1及び第2の切削ブレード着脱機構を支持する可動基板と、該可動基板を該第1及び第2の切削手段の切削ブレードが対向する方向に直交する方向に延在する案内レールに沿って移動し所定の位置に位置付ける位置付け手段とを備え該第1及び第2のブレードラックは、該切削ブレードが対向する方向に対向して配置され、該第1及び第2の締結ナット着脱機構の各々、及び該第1及び第2の切削ブレード着脱機構の各々は、該第1及び第2のブレードラックが対向する内側において、該切削ブレードが対向する方向に対向して該可動基板に配置され、該位置付け手段は、該可動基板を該案内レールに沿って該切削ブレードが対向する方向に直交する方向に移動させることにより、可動基板に配設された該第1及び第2の締結ナット着脱機構をそれぞれ該第1及び第2の切削手段の該回転スピンドルの先端面と対向するブレード着脱位置と、該第1及び第2の切削ブレード着脱機構をそれぞれ該ブレード着脱位置と該第1及び第2のブレードラックの該第1のブレード収容手段と対向する使用前ブレード受け取り位置および該第2のブレード収容手段と対向する使用済みブレード収納位置に位置付ける、ことを特徴とする切削ブレードの交換装置が提供される。 To solve the above object, according to the present invention, the first chuck table and a second chuck table for holding a workpiece, the workpiece held on the first and second chuck tables first cutting means and the second and a cutting means, said first and second cutting means screwed the cutting blade tip of each rotary spindle and the rotary spindle having a cutting blade for cutting the and a fastening nut for fastening and a cutting blade mounted on a rotating spindle of the cutting means of the mounted cutting blade and the second to the rotation spindle of the first cutting means are arranged opposite disposed in and cutting device, the switching device of the cutting blade to replace each of the cutting blade, is disposed in a position away from the rotary spindle of the first and second cutting means A first blade rack and a second blade enclosure with second, respectively a blade accommodating means for accommodating a first blade accommodating means the used cutting blade housing the cutting blade before use, first and the tip of the first of the rotating spindle of the fastening nut detaching mechanism and the second fastening nut detaching mechanism and, first and second cutting means said cutting blade for detaching each said fastening nut of the second cutting means in a first cutting blade removal mechanism and the second cutting blade detaching mechanism to attach and detach each first gripping the first cutting blade gripping means for gripping the respective prior to use cutting blades, the used cutting blade a first cutting blade removal mechanism and the second cutting blade detaching mechanism and a second gripping means, said first and second fastening nut detaching mechanism and said And a movable substrate for supporting the second cutting blade removal mechanism, the movable substrate cutting blade of the first and second cutting means is moved along the guide rails which extend in a direction perpendicular to a direction opposite and a positioning means for positioning in a predetermined position, said first and second blade racks, the cutting blade is disposed opposite to a direction opposite, each of the first and second fastening nut detaching mechanism, And each of the first and second cutting blade attaching / detaching mechanisms is disposed on the movable substrate so as to face the cutting blade in the facing direction inside the first and second blade racks. positioning means, by the cutting blade along the movable substrate in the guide rail is moved in a direction orthogonal to the direction opposite, arranged on the movable substrate said first and second fastening nut disassembling machine A blade mounting and dismounting position to the distal end surface facing the said rotation spindle configuration respectively the first and second cutting means, said first and second cutting blade removal mechanism, respectively the blade removably positioned with said first and second A cutting blade exchanging device, wherein the blade blade is positioned at a pre-use blade receiving position facing the first blade accommodating means and a used blade accommodating position facing the second blade accommodating means of the two blade racks. Provided.
本発明によるに切削ブレードの交換装置においては、締結ナット着脱機構および切削ブレード着脱機構が案内レールに沿って移動する可動基板に配設され、位置付け手段によってブレード着脱位置と使用前ブレード受け取り位置と使用済みブレード収納位置にそれぞれ位置付けられるので、角度ズレがなく、締結ナット着脱機構および切削ブレード着脱機構を回転スピンドルの軸心と対向する位置に精度よく位置付けることができる。   In the cutting blade exchanging device according to the present invention, the fastening nut attaching / detaching mechanism and the cutting blade attaching / detaching mechanism are disposed on the movable substrate moving along the guide rail, and the blade attaching / detaching position and the blade receiving position before use are used by the positioning means. Since the blades are positioned at the respective blade storage positions, there is no angle shift, and the fastening nut attaching / detaching mechanism and the cutting blade attaching / detaching mechanism can be accurately positioned at positions facing the axis of the rotary spindle.
以下、本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a cutting blade exchanging apparatus constructed according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1には、本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置を装備した切削装置の要部斜視図が示されている。
図1に示された切削装置は、静止基台2を具備している。この静止基台2上には、被加工物を保持し矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル機構3が配設されている。
FIG. 1 is a perspective view of a main part of a cutting apparatus equipped with a cutting blade replacement apparatus constructed according to the present invention.
The cutting apparatus shown in FIG. 1 includes a stationary base 2. A chuck table mechanism 3 is disposed on the stationary base 2 to hold the workpiece and move it in the cutting feed direction indicated by the arrow X.
図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、静止基台2の上面に配設された第1の案内レール31aと第2の案内レール31bを備えている。この第1の案内レール31aと第2の案内レール31bは、それぞれ一対のレール部材311、311とからなっており、図において矢印Xで示す切削送り方向に沿って互いに平行に延設されている。この第1の案内レール31aと第2の案内レール31b上には、それぞれ第1の支持基台32aと第2の支持基台32bが第1の案内レール31aと第2の案内レール31bに沿って移動可能に配設されている。即ち、第1の支持基台32aと第2の支持基台32bにはそれぞれ被案内溝321、321が設けられており、この被案内溝321、321を第1の案内レール31aと第2の案内レール31bを構成する一対のレール部材311、311に嵌合することにより、第1の支持基台32aと第2の支持基台32bは第1の案内レール31aと第2の案内レール31bに沿って移動可能に構成される。   The chuck table mechanism 3 in the illustrated embodiment includes a first guide rail 31 a and a second guide rail 31 b disposed on the upper surface of the stationary base 2. Each of the first guide rail 31a and the second guide rail 31b includes a pair of rail members 311 and 311 and extends in parallel with each other along the cutting feed direction indicated by an arrow X in the drawing. . On the first guide rail 31a and the second guide rail 31b, there are a first support base 32a and a second support base 32b along the first guide rail 31a and the second guide rail 31b, respectively. It is arranged to be movable. That is, guided grooves 321 and 321 are provided in the first support base 32a and the second support base 32b, respectively. The guided grooves 321 and 321 are connected to the first guide rail 31a and the second guide rail 31a. By fitting the pair of rail members 311 and 311 constituting the guide rail 31b, the first support base 32a and the second support base 32b are connected to the first guide rail 31a and the second guide rail 31b. It is configured to be movable along.
第1の支持基台32aと第2の支持基台32b上にはそれぞれ第1の円筒部材33aと第2の円筒部材33bが配設され、この第1の円筒部材33aと第2の円筒部材33bの上端にそれぞれ第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bが回転可能に配設されている。この第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bは多孔質セラミッックスの如き適宜の多孔性材料から構成されており、図示しない吸引手段に接続されている。従って、第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bを図示しない吸引手段によって吸引源に選択的に連通することにより、載置面341、341上に載置された被加工物を吸引保持する。また、第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bは、それぞれ第1の円筒部材33aと第2の円筒部材33b内に配設されたパルスモータ(図示せず)によって適宜回動せしめられるようになっている。なお、第1の円筒部材33aと第2の円筒部材33bの上端部には、それぞれ第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bを挿通する穴を有しそれぞれ上記第1の支持基台32aと第2の支持基台32bを覆う第1のカバー部材35aと第2のカバー部材35bが配設されている。この第1のカバー部材35aと第2のカバー部材35bの上面には、それぞれ後述する切削ブレードの位置を検出するための第1のブレード検出手段36aと第2のブレード検出手段36bが配設されている。   A first cylindrical member 33a and a second cylindrical member 33b are disposed on the first support base 32a and the second support base 32b, respectively. The first cylindrical member 33a and the second cylindrical member are arranged. A first chuck table 34a and a second chuck table 34b are rotatably disposed at the upper end of 33b. The first chuck table 34a and the second chuck table 34b are made of an appropriate porous material such as porous ceramics, and are connected to suction means (not shown). Therefore, the workpieces placed on the placement surfaces 341 and 341 are sucked and held by selectively communicating the first chuck table 34a and the second chuck table 34b to the suction source by suction means (not shown). To do. Further, the first chuck table 34a and the second chuck table 34b are appropriately rotated by a pulse motor (not shown) disposed in the first cylindrical member 33a and the second cylindrical member 33b, respectively. It is like that. Note that the upper ends of the first cylindrical member 33a and the second cylindrical member 33b have holes through which the first chuck table 34a and the second chuck table 34b are inserted, respectively. A first cover member 35a and a second cover member 35b that cover 32a and the second support base 32b are disposed. On the upper surfaces of the first cover member 35a and the second cover member 35b, first blade detection means 36a and second blade detection means 36b for detecting the position of a cutting blade described later are disposed, respectively. ing.
図1に基づいて説明を続けると、図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bをそれぞれ第1の案内レール31aと第2の案内レール31bに沿って図1において矢印Xで示す切削送り方向に移動させるための第1の切削送り手段37aと第2の切削送り手段37bを備えている。第1の切削送り手段37aと第2の切削送り手段37bは、それぞれ第1の案内レール31aと第2の案内レール31bを構成する一対のレール部材311、311の間に平行に配設された雄ネジロッド371と、雄ネジロッド371の一端部を回転可能に支持する軸受372と、雄ネジロッド371の他端に連結され該雄ネジロッド371を正転または逆転駆動するパルスモータ373とからなっている。このように構成された第1の切削送り手段37aと第2の切削送り手段37bは、それぞれ雄ネジロッド371が上記第1の支持基台32aと第2の支持基台32bに形成された雌ネジ322に螺合される。従って、第1の切削送り手段37aと第2の切削送り手段37bは、それぞれパルスモータ373を駆動して雄ネジロッド371を正転または逆転駆動することにより、上記第1の支持基台32aと第2の支持基台32bに配設された第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bをそれぞれ第1の案内レール31aと第2の案内レール31bに沿って図1において矢印Xで示す切削送り方向に移動することができる。   Continuing the description with reference to FIG. 1, the chuck table mechanism 3 in the illustrated embodiment converts the first chuck table 34a and the second chuck table 34b into a first guide rail 31a and a second guide rail 31b, respectively. 1 is provided with a first cutting feed means 37a and a second cutting feed means 37b for moving in the cutting feed direction indicated by the arrow X in FIG. The first cutting feed means 37a and the second cutting feed means 37b are arranged in parallel between a pair of rail members 311 and 311 constituting the first guide rail 31a and the second guide rail 31b, respectively. The male screw rod 371, a bearing 372 that rotatably supports one end of the male screw rod 371, and a pulse motor 373 that is connected to the other end of the male screw rod 371 and drives the male screw rod 371 to rotate forward or backward. The first cutting feed means 37a and the second cutting feed means 37b configured in this way are internally threaded with male screw rods 371 formed on the first support base 32a and the second support base 32b, respectively. 322 is screwed. Therefore, the first cutting feed means 37a and the second cutting feed means 37b respectively drive the pulse motor 373 to drive the male screw rod 371 in the normal direction or the reverse direction, thereby the first support base 32a and the second cutting feed means 37b. The first chuck table 34a and the second chuck table 34b disposed on the second support base 32b are cut along the first guide rail 31a and the second guide rail 31b, respectively, as indicated by an arrow X in FIG. It can move in the feed direction.
図示の実施形態における切削装置は、上記第1の案内レール31aと第2の案内レール31bを跨いで配設された門型の支持フレーム4を備えている。この門型の支持フレーム4は、第1の案内レール31aの側方に配設された第1の柱部41と、第2の案内レール31bの側方に配設された第2の柱部42と、第1の柱部41と第2の柱部42の上端を連結し矢印Xで示す切削送り方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って配設された支持部43とからなり、中央部には上記第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bの移動を許容する開口44が設けられている。第1の柱部41と第2の柱部42の上端部はそれぞれ幅広に形成されており、この上端部にはそれぞれ後述する切削手段のスピンドルユニットの移動を許容する開口411と421が設けられている。上記支持部43の一方の面には矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って一対の案内レール431、431が設けられており、他方の面には図3に示すように紙面に垂直な方向(図1において(矢印Yで示す割り出し送り方向)に沿って一対の案内レール432、432が設けられている。   The cutting apparatus in the illustrated embodiment includes a gate-type support frame 4 disposed across the first guide rail 31a and the second guide rail 31b. The gate-shaped support frame 4 includes a first pillar portion 41 disposed on the side of the first guide rail 31a and a second pillar portion disposed on the side of the second guide rail 31b. 42 and a support portion 43 arranged along an index feed direction indicated by an arrow Y perpendicular to a cutting feed direction indicated by an arrow X by connecting the upper ends of the first pillar portion 41 and the second pillar portion 42. Thus, an opening 44 that allows the movement of the first chuck table 34a and the second chuck table 34b is provided at the center. The upper end portions of the first column portion 41 and the second column portion 42 are formed to be wide, and openings 411 and 421 that allow the movement of the spindle unit of the cutting means to be described later are provided at the upper end portions, respectively. ing. A pair of guide rails 431 and 431 are provided on one surface of the support portion 43 along the index feed direction indicated by the arrow Y, and the other surface is in a direction perpendicular to the paper surface as shown in FIG. In FIG. 1, a pair of guide rails 432 and 432 are provided along (the index feed direction indicated by the arrow Y).
図示の実施形態における切削装置は、上記門型の支持フレーム4の支持部43に設けられた一対の案内レール431、431に沿って移動可能に配設された第1のアライメント手段5aと第2のアライメント手段5bを備えている。第1のアライメント手段5aと第2のアライメント手段5bは、それぞれ移動ブロック51と、該移動ブロック51を一対の案内レール431、431に沿って移動するための移動手段52、52と、移動ブロック51に装着された撮像手段53、53とからなっている。移動ブロック51、51にはそれぞれ上記一対の案内レール431、431と嵌合する被案内溝511、511が設けられており、この被案内溝511、511を一対の案内レール431、431に嵌合することにより、移動ブロック51、51は一対の案内レール431、431に沿って移動可能に構成される。   The cutting apparatus in the illustrated embodiment includes a first alignment means 5a and a second alignment means movably disposed along a pair of guide rails 431 and 431 provided on the support portion 43 of the portal-type support frame 4. The alignment means 5b is provided. The first alignment means 5a and the second alignment means 5b are respectively a moving block 51, moving means 52, 52 for moving the moving block 51 along a pair of guide rails 431, 431, and a moving block 51. Imaging means 53 and 53 mounted on the. The moving blocks 51 and 51 are respectively provided with guided grooves 511 and 511 that are fitted to the pair of guide rails 431 and 431. The guided grooves 511 and 511 are fitted to the pair of guide rails 431 and 431. Accordingly, the moving blocks 51 and 51 are configured to be movable along the pair of guide rails 431 and 431.
移動手段52、52は、それぞれ一対の案内レール431、431の間に平行に配設された雄ネジロッド521と、雄ネジロッド521の一端部を回転可能に支持する軸受522と、雄ネジロッド521の他端に連結され該雄ネジロッド521を正転または逆転駆動するパルスモータ523とからなっている。このように構成された移動手段52、52は、それぞれ雄ネジロッド521が上記移動ブロック51、51に形成された雌ネジ512に螺合される。従って、移動手段52、52は、それぞれパルスモータ523を駆動して雄ネジロッド521を正転または逆転駆動することにより、移動ブロック51、51を一対の案内レール431、431に沿って図2において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動することができる。   The moving means 52 and 52 include a male screw rod 521 disposed in parallel between the pair of guide rails 431 and 431, a bearing 522 that rotatably supports one end of the male screw rod 521, and the male screw rod 521. A pulse motor 523 is connected to the end and drives the male screw rod 521 to rotate forward or backward. In the moving means 52 and 52 configured as described above, the male screw rod 521 is screwed into the female screw 512 formed on the moving blocks 51 and 51, respectively. Accordingly, the moving means 52 and 52 drive the pulse motor 523 to drive the male screw rod 521 in the normal direction or the reverse direction, thereby moving the moving blocks 51 and 51 along the pair of guide rails 431 and 431 in FIG. It can move in the index feed direction indicated by Y.
上記移動ブロック51、51にそれぞれ装着された撮像手段53、53は、それぞれ撮像素子(CCD)を備えており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。   The image pickup means 53 and 53 mounted on the moving blocks 51 and 51 are respectively provided with image pickup elements (CCD), and send the picked-up image signals to a control means (not shown).
上記門型の支持フレーム4を構成する支持部43の他方の面(上記第1のアライメント手段5aと第2のアライメント手段5bが配設された面と反対側の面)には、第1の切削手段6aと第2の切削手段6bが配設されている。第1の切削手段6aと第2の切削手段6bについて、図2および図3を参照して説明する。第1の切削手段6aと第2の切削手段6bは、それぞれ割り出し移動基台61と切り込み移動基台62およびスピンドルユニット63を具備している。割り出し移動基台61は、一方の面に上記支持部43の他方の面に設けられた一対の案内レール432、432と嵌合する被案内溝611、611が設けられており、この被案内溝611、611を一対の案内レール432、432に嵌合することにより、割り出し移動基台61は一対の案内レール432、432に沿って移動可能に構成される。また、割り出し移動基台61の他方の面には、図3に示すように矢印Zで示す切り込み送り方向(第1のチャックテーブル34aと第2のチャックテーブル34bの載置面341に垂直な方向)に沿って一対の案内レール612、612(図3には一方の案内レールのみが示されている)が設けられている。なお、割り出し移動基台61、61の一方の面には、後述する割り出し送り手段の雄ネジロッドの挿通を許容する逃げ溝613、613が上下方向に段差を設けて設けられている。   On the other surface (the surface opposite to the surface on which the first alignment means 5a and the second alignment means 5b are provided) of the support portion 43 constituting the portal-shaped support frame 4 is the first surface. A cutting means 6a and a second cutting means 6b are provided. The 1st cutting means 6a and the 2nd cutting means 6b are demonstrated with reference to FIG. 2 and FIG. The first cutting means 6a and the second cutting means 6b include an indexing movement base 61, a cutting movement base 62, and a spindle unit 63, respectively. The indexing movement base 61 is provided with guided grooves 611 and 611 fitted to a pair of guide rails 432 and 432 provided on the other surface of the support portion 43 on one surface. By fitting 611 and 611 to the pair of guide rails 432 and 432, the indexing movement base 61 is configured to be movable along the pair of guide rails 432 and 432. Further, as shown in FIG. 3, the other surface of the index movement base 61 is provided with a cutting feed direction indicated by an arrow Z (a direction perpendicular to the placement surfaces 341 of the first chuck table 34a and the second chuck table 34b). ) Is provided with a pair of guide rails 612 and 612 (only one guide rail is shown in FIG. 3). In addition, clearance grooves 613 and 613 are provided on one surface of the index movement bases 61 and 61 so as to allow the insertion of a male screw rod of an index feeding means, which will be described later, with a step in the vertical direction.
上記切り込み移動基台62は、上下方向に延びる被支持部621と、該被支持部621の下端から直角に水平に延びる装着部622とからなっている。図2に示すように被支持部621における装着部622側の面には上記割り出し移動基台61の他方の面に設けられた一対の案内レール612、612と嵌合する被案内溝623、623(図3には一方の被案内溝のみが示されている)が設けられており、この被案内溝623、623を一対の案内レール612、612に嵌合することにより、切り込み移動基台62は一対の案内レール612、612に沿って矢印Zで示す切り込み送り方向に移動可能に構成される。このようにして割り出し移動基台61に装着された切り込み移動基台62は、図1に示すように装着部622が門型の支持フレーム4の上記割り出し移動基台61が装着された他方の面側から開口44を通して上記第1のアライメント手段5aと第2のアライメント手段5bが装着された一方の面側に突出して配置される。   The incision moving base 62 includes a supported portion 621 extending in the vertical direction and a mounting portion 622 extending horizontally at right angles from the lower end of the supported portion 621. As shown in FIG. 2, guided grooves 623 and 623 that fit with a pair of guide rails 612 and 612 provided on the other surface of the indexing movement base 61 are provided on the surface of the supported portion 621 on the mounting portion 622 side. (Only one guided groove is shown in FIG. 3), and the notch moving base 62 is provided by fitting the guided grooves 623 and 623 to the pair of guide rails 612 and 612. Is configured to be movable along the pair of guide rails 612 and 612 in the cutting feed direction indicated by the arrow Z. As shown in FIG. 1, the notch moving base 62 attached to the indexing movement base 61 in this way is the other surface of the support frame 4 on which the mounting part 622 is mounted on the indexing movement base 61. The first alignment means 5a and the second alignment means 5b are arranged so as to protrude from the side through the opening 44 to one surface side where the first alignment means 5a and the second alignment means 5b are mounted.
上記スピンドルユニット63は、第1の切削手段6aと第2の切削手段6bの切り込み移動基台62を形成する装着部622の下面にそれぞれ装着されている。このスピンドルユニット63は、それぞれ図4に示すようにスピンドルハウジング631と、該スピンドルハウジング631に回転可能に支持され図示しないサーボモータによって回転せしめられる回転スピンドル632と、該回転スピンドル632の先端部に装着されたブレード装着部材633と、回転スピンドル632の先端部に設けられた図示しない雄ネジと螺合しブレード装着部材633を固定する固定ナット634と、ブレード装着部材633に装着される切削ブレード635と、該切削ブレード635をブレード装着部材633との間で挟持固定するための締結ナット638とを具備している。   The spindle unit 63 is mounted on the lower surface of the mounting portion 622 that forms the cutting movement base 62 of the first cutting means 6a and the second cutting means 6b. As shown in FIG. 4, the spindle unit 63 is mounted on a spindle housing 631, a rotating spindle 632 that is rotatably supported by the spindle housing 631 and rotated by a servo motor (not shown), and a tip of the rotating spindle 632. The blade mounting member 633, a fixing nut 634 that is screwed with a male screw (not shown) provided at the tip of the rotary spindle 632 and fixes the blade mounting member 633, and a cutting blade 635 mounted on the blade mounting member 633. , And a fastening nut 638 for clamping and fixing the cutting blade 635 to and from the blade mounting member 633.
ブレード装着部材633は、円筒状の装着部633aと、該装着部633aの一端に設けられたフランジ部633bとを具備しており、装着部633aの他端部(先端部)に雄ネジ633cが形成されている。なお、回転スピンドル632の先端面には、軸心に係合凹部632aが形成されている。   The blade mounting member 633 includes a cylindrical mounting portion 633a and a flange portion 633b provided at one end of the mounting portion 633a, and a male screw 633c is provided at the other end (tip portion) of the mounting portion 633a. Is formed. Note that an engaging recess 632 a is formed on the tip surface of the rotary spindle 632 in the axial center.
切削ブレード635は、アルミニウム等の金属材によって形成され中央部に嵌合穴636aを備えた環状のハブ636と、該環状のハブ636の一方の側面に砥粒をニッケルメッキによって固定し、環状のハブ636の外周部をエッチングにより除去して切れ刃となる砥石ブレード637を突出させた電鋳砥石ブレードからなっている。なお、環状のハブ636の側面には環状の被把持部636bが突出して形成されている。この被把持部636bの外周面には、後述するブレード交換装置を構成する切削ブレード把持手段の把持爪が係合する環状溝636cが形成されている、このように構成された切削ブレード635は、環状のハブ636の嵌合穴636aをブレード装着部材633の円筒状の装着部633aに嵌合する。そして、締結ナット638を円筒状の装着部633aに形成された雄ネジ633cに螺合することにより、切削ブレード635はブレード装着部材633のフランジ部633bと締結ナット638によって挟持固定される。なお、締結ナット638の側面には、後述するブレード交換装置を構成する締結ナット着脱手段の回動ピンが嵌合する4個のピン嵌合穴638aがそれぞれ90度の位相をもって設けられている。また、締結ナット638の外周面には、後述するブレード交換装置を構成する締結ナット着脱手段のナット把持爪が係合する環状溝638bが形成されている。   The cutting blade 635 is formed of a metal material such as aluminum and has an annular hub 636 provided with a fitting hole 636a at the center, and abrasive grains are fixed to one side surface of the annular hub 636 by nickel plating. The outer peripheral portion of the hub 636 is removed by etching, and is composed of an electroformed grindstone blade in which a grindstone blade 637 serving as a cutting edge is projected. An annular gripped portion 636b is formed on the side surface of the annular hub 636 so as to protrude. An annular groove 636c that engages a gripping claw of a cutting blade gripping means that constitutes a blade replacement device described later is formed on the outer peripheral surface of the gripped portion 636b. The cutting blade 635 configured in this way is The fitting hole 636 a of the annular hub 636 is fitted into the cylindrical mounting portion 633 a of the blade mounting member 633. The cutting nut 638 is screwed into a male screw 633c formed in the cylindrical mounting portion 633a, whereby the cutting blade 635 is sandwiched and fixed by the flange portion 633b of the blade mounting member 633 and the fastening nut 638. In addition, on the side surface of the fastening nut 638, four pin fitting holes 638a into which turning pins of fastening nut attaching / detaching means constituting a blade exchange device described later are fitted are provided with a phase of 90 degrees. Further, an annular groove 638b is formed on the outer peripheral surface of the fastening nut 638 to engage with a nut gripping claw of a fastening nut attaching / detaching means that constitutes a blade exchange device described later.
なお、第1の切削手段6aの回転スピンドル632と第2の切削手段6bの回転スピンドル632は、図2に示すように軸線方向が矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って配設されている。そして、第1の切削手段6aの回転スピンドル632に装着される切削ブレード635と第2の切削手段6bの回転スピンドル632に装着される切削ブレード635は、互いに対向して配設されている。 The rotary spindle 632 of the first cutting means 6a and the rotary spindle 632 of the second cutting means 6b are arranged along the indexing feed direction indicated by the arrow Y as shown in FIG. Then, the cutting blade 635 which is mounted on the rotary spindle 632 of the first cutting means 6a cutting blade 635 which is mounted on the rotary spindle 632 of the second cutting means 6b are disposed opposite to each other.
また、図示の実施形態におけるスピンドルユニット63は、図5に示すように上記スピンドルハウジング631を覆うスピンドルカバー64と、該スピンドルカバー64の先端に装着され上記切削ブレード635を覆うブレードカバー65を備えている。ブレードカバー65は、スピンドルカバー64の先端に装着された第1のカバー部材651と、該第1のカバー部材651の前面に装着され側方に移動可能に配設された第2のカバー部材652とからなっており、該第2のカバー部材652は図示しないエアーピストン機構によって図5において実線で示す開放位置と、図5において2点鎖線で示す閉止位置に位置付けられる。この第2のカバー部材652は、切削時には図5において2点鎖線で示す閉止位置に位置付けられ、切削ブレードの交換時には図5において実線で示す開放位置に位置付けられる。なお、第1のカバー部材651と第2のカバー部材652には、それぞれ切削水供給ノズル66が配設されている(図5には第2のカバー部材652に配設された切削水供給ノズル66のみが示されている)。この第1のカバー部材651および第2のカバー部材652に配設された切削水供給ノズル66は、図示しない切削水供給手段に接続されている。   The spindle unit 63 in the illustrated embodiment includes a spindle cover 64 that covers the spindle housing 631 and a blade cover 65 that is attached to the tip of the spindle cover 64 and covers the cutting blade 635, as shown in FIG. Yes. The blade cover 65 includes a first cover member 651 attached to the tip of the spindle cover 64, and a second cover member 652 attached to the front surface of the first cover member 651 and arranged to be movable laterally. The second cover member 652 is positioned at an open position indicated by a solid line in FIG. 5 and a closed position indicated by a two-dot chain line in FIG. 5 by an air piston mechanism (not shown). The second cover member 652 is positioned at a closed position indicated by a two-dot chain line in FIG. 5 during cutting, and is positioned at an open position indicated by a solid line in FIG. 5 when replacing the cutting blade. The first cover member 651 and the second cover member 652 are each provided with a cutting water supply nozzle 66 (the cutting water supply nozzle provided on the second cover member 652 in FIG. 5). Only 66 is shown). The cutting water supply nozzles 66 disposed on the first cover member 651 and the second cover member 652 are connected to cutting water supply means (not shown).
図示の実施形態における第1の切削手段6aと第2の切削手段6bは、上記割り出し移動基台61、61を一対の案内レール432、432に沿って図2において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動するための割り出し送り手段64、64を具備している。割り出し送り手段64、64は、それぞれ一対の案内レール432、432の間に平行に配設された雄ネジロッド641と、雄ネジロッド641の一端部を回転可能に支持する軸受642と、雄ネジロッド641の他端に連結され該雄ネジロッド641を正転または逆転駆動するパルスモータ643とからなっている。なお、雄ネジロッド641、641は、上記割り出し移動基台61、61に設けられた逃げ溝613、613とそれぞれ対応する高さ位置に配設されている。このように構成された割り出し送り手段64、64は、それぞれ雄ネジロッド641、641が上記割り出し移動基台61、61に形成された雌ネジ614、614に螺合される。従って、割り出し送り手段64、64は、それぞれパルスモータ643、643を駆動して雄ネジロッド641、641を正転または逆転駆動することにより、割り出し移動基台61、61を一対の案内レール432、432に沿って図1において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動することができる。この割り出し移動基台61、61が移動する際に雄ネジロッド641、641が、割り出し移動基台61、61に設けられた逃げ溝613、613を挿通することにより、割り出し移動基台61、61はその移動が許容される。   In the illustrated embodiment, the first cutting means 6a and the second cutting means 6b are arranged so that the index moving bases 61 and 61 are moved along the pair of guide rails 432 and 432 in the index feed direction indicated by the arrow Y in FIG. Indexing feed means 64, 64 for moving are provided. The index feeding means 64 and 64 are formed of a male screw rod 641 disposed in parallel between the pair of guide rails 432 and 432, a bearing 642 that rotatably supports one end of the male screw rod 641, and a male screw rod 641. A pulse motor 643 is connected to the other end and drives the male screw rod 641 to rotate forward or backward. The male screw rods 641 and 641 are disposed at height positions corresponding to the escape grooves 613 and 613 provided in the indexing movement bases 61 and 61, respectively. In the index feeding means 64 and 64 configured as described above, male screw rods 641 and 641 are screwed into female screws 614 and 614 formed on the index moving bases 61 and 61, respectively. Therefore, the index feeding means 64 and 64 drive the pulse motors 643 and 643 to drive the male screw rods 641 and 641 in the normal direction or the reverse direction, respectively, thereby causing the indexing movement bases 61 and 61 to be paired with the guide rails 432 and 432. 1 can be moved in the index feed direction indicated by the arrow Y in FIG. When the index movement bases 61 and 61 move, the male threaded rods 641 and 641 pass through the clearance grooves 613 and 613 provided in the index movement bases 61 and 61, so that the index movement bases 61 and 61 are The movement is allowed.
また、図示の実施形態における第1の切削手段6aと第2の切削手段6bは、図2および図3に示すように上記切り込み移動基台62、62を一対の案内レール612、612に沿って矢印Zで示す切り込み送り方向に移動するための切り込み送り手段65、65を具備している。切り込み送り手段65、65は、それぞれ一対の案内レール612、612と平行に配設された雄ネジロッド651と、雄ネジロッド651の一端部を回転可能に支持する軸受652と、雄ネジロッド651の他端に連結され該雄ネジロッド651を正転または逆転駆動するパルスモータ653とからなっている。このように構成された切り込み送り手段65、65は、それぞれ雄ネジロッド651が上記切り込み移動基台62の被支持部621に形成された雌ネジ621aに螺合される。従って、切り込み送り手段65、65は、それぞれパルスモータ653を駆動して雄ネジロッド651を正転または逆転駆動することにより、切り込み移動基台62を一対の案内レール612612に沿って図1および図3において矢印Zで示す切り込み送り方向に移動することができる。 Further, the first cutting means 6a and the second cutting means 6b in the illustrated embodiment are configured such that the cutting movement bases 62 and 62 are moved along a pair of guide rails 612 and 612 as shown in FIGS. Cutting feed means 65, 65 for moving in the cutting feed direction indicated by the arrow Z are provided. The incision feeding means 65 and 65 include a male threaded rod 651 disposed in parallel with the pair of guide rails 612 and 612, a bearing 652 that rotatably supports one end of the male threaded rod 651, and the other end of the male threaded rod 651. And a pulse motor 653 for driving the male screw rod 651 in the normal direction or the reverse direction. The feeding means 65 and 65 cuts configured to each male screw rod 651 is screwed into the female screw 621a formed in the supported portion 621 of the cut movable base 62. Therefore, the cutting feed means 65 and 65 drive the pulse motor 653 and drive the male screw rod 651 in the normal direction or the reverse direction, respectively, thereby moving the cutting movement base 62 along the pair of guide rails 612 and 612 in FIG. In FIG. 3, it can move in the cutting feed direction indicated by arrow Z.
図1に戻って説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、上記回転スピンドル632に装着する切削ブレード635を交換するための切削ブレード交換装置7を具備している。切削ブレード交換装置7は、上記門型の支持フレーム4の後方(第1の切削手段6aと第2の切削手段6bが配設された側)に配置されている。この切削ブレード交換装置7は、上記門型の支持フレーム4の後方両側に配設された第1ブレードラック71aおよび第2のブレードラック71bと、該第1ブレードラック71aと第2のブレードラック71bとの間に配設された案内手段72と、該案内手段72に沿って移動せしめられる可動基板73とを具備している。 Returning to FIG. 1 and continuing the description, the cutting device in the illustrated embodiment includes a cutting blade replacement device 7 for replacing the cutting blade 635 mounted on the rotary spindle 632. The cutting blade exchanging device 7 is disposed behind the portal support frame 4 (on the side where the first cutting means 6a and the second cutting means 6b are disposed). The cutting blade replacement device 7, the first blade enclosure 71a and a second blade racks 71b and, first blade rack 71a and a second blade disposed behind both sides of the support frame 4 of the gantry Guide means 72 disposed between the rack 71 b and a movable substrate 73 that is moved along the guide means 72 are provided.
第1ブレードラック71aおよび第2のブレードラック71bは、それぞれ上記回転スピンドル632から離隔した位置に上記案内手段72を挟んで対向して配設されている。この第1ブレードラック71aおよび第2のブレードラック71bは、図6に示すように支持板711と、該支持板711に取付けられた第1のブレード収容手段712および第2のブレード収容手段713を備えている。支持板711は、上記静止基台2上に配設された支持基台710に固定されている。第1のブレード収容手段712は、支持板711に一端が取付けられた支持軸712aと、該支持軸712aに嵌挿された環状の押圧部材712bと、該押圧部材712bと支持板711との間に配設された非常に弱いばね力の圧縮コイルスプリング712cとからなっている。なお、支持軸712aの他端面には係合凹部712dが形成されている。また、支持軸712aには、他端部外周面に切削ブレード635が挿入された状態で位置規制する規制手段712eが配設されている。この規制手段712eは、ボールと該ボールを径方向外側に押圧するスプリングとからなっており、ボールに作用する力が所定の値までは規制機能が働くようになっている。従って、上記押圧部材712bは、規制手段712eによって支持軸712aの他端側への移動が規制される。このように構成された第1のブレード収容手段712には、使用前の切削ブレード635のハブ636に設けられた嵌合穴636aが支持軸712aに嵌挿して数個収容される。このとき上記押圧部材712bを圧縮コイルスプリング712cのばね力に抗して後退せしめる。また、上記規制手段712eのボールを後退させて、切削ブレード635を規制手段712eより支持軸712aの一端側に位置付ける。このようにして、支持軸712aに嵌挿された切削ブレード635は、圧縮コイルスプリング712cのばね力によって押圧部材712bを介して規制手段712eに向けて押圧される。従って、圧縮コイルスプリング712cおよび押圧部材712bは、切削ブレード635を規制手段712eに向けて押圧する押圧手段として機能する。 First blade rack 71a and a second blade rack 71b are respectively disposed on opposite sides of the guide means 72 at a position spaced from the rotary spindle 632. The first blade rack 71a and a second blade enclosure 71b includes a support plate 711 as shown in FIG. 6, the first blade accommodating portion 712 and the second blade accommodating means attached to the support plate 711 713 It has. The support plate 711 is fixed to a support base 710 disposed on the stationary base 2. The first blade accommodating means 712 includes a support shaft 712a having one end attached to the support plate 711, an annular pressing member 712b fitted into the support shaft 712a, and a space between the pressing member 712b and the support plate 711. And a compression coil spring 712c having a very weak spring force. An engagement recess 712d is formed on the other end surface of the support shaft 712a. Further, the support shaft 712a is provided with a restricting means 712e for restricting the position with the cutting blade 635 inserted into the outer peripheral surface of the other end. This restricting means 712e is composed of a ball and a spring that presses the ball radially outward, and the restricting function works until the force acting on the ball reaches a predetermined value. Therefore, the movement of the pressing member 712b toward the other end of the support shaft 712a is restricted by the restricting means 712e. In the first blade accommodating means 712 configured as described above, several fitting holes 636a provided in the hub 636 of the cutting blade 635 before use are fitted into the support shaft 712a and accommodated therein. At this time, the pressing member 712b is retracted against the spring force of the compression coil spring 712c. Further, the ball of the restricting means 712e is retracted, and the cutting blade 635 is positioned closer to one end of the support shaft 712a than the restricting means 712e. In this way, the cutting blade 635 inserted into the support shaft 712a is pressed toward the regulating means 712e via the pressing member 712b by the spring force of the compression coil spring 712c. Therefore, the compression coil spring 712c and the pressing member 712b function as a pressing unit that presses the cutting blade 635 toward the regulating unit 712e.
また、第2のブレード収容手段713も上記第1のブレード収容手段712と同様に、支持板711に一端が取付けられた支持軸713aと、該支持軸713aに嵌挿された環状の押圧部材713bと、該押圧部材713bと支持板711との間に配設された非常に弱いばね力の圧縮コイルスプリング713cとからなっている。なお、支持軸713aの他端面には係合凹部713dが形成されている。また、支持軸713aには、他端部外周面に切削ブレード635が挿入された状態で位置規制する規制手段713eが配設されている。この規制手段713eは、ボールと該ボールを径方向外側に押圧するスプリングとからなっており、ボールに作用する力が所定の値までは規制機能が働くようになっている。従って、上記押圧部材713bは、規制手段713eによって支持軸713aの他端側への移動が規制される。このように構成された第1のブレード収容手段713には、使用済みの切削ブレード635のハブ636に設けられた嵌合穴636aが支持軸713aに嵌挿して数個収容される。このとき上記押圧部材713bを圧縮コイルスプリング713cのばね力に抗して後退せしめる。また、上記規制手段713eのボールを後退させて、切削ブレード635を規制手段713eより支持軸713aの一端側に位置付ける。このようにして、支持軸713aに嵌挿された切削ブレード635は、圧縮コイルスプリング713cのばね力によって押圧部材713bを介して規制手段713eに向けて押圧される。従って、圧縮コイルスプリング713cおよび押圧部材713bは、切削ブレード635を規制手段713eに向けて押圧する押圧手段として機能する。   Similarly to the first blade housing means 712, the second blade housing means 713 also has a support shaft 713a having one end attached to the support plate 711, and an annular pressing member 713b fitted into the support shaft 713a. And a compression coil spring 713c having a very weak spring force disposed between the pressing member 713b and the support plate 711. An engaging recess 713d is formed on the other end surface of the support shaft 713a. Further, the support shaft 713a is provided with restricting means 713e for restricting the position with the cutting blade 635 inserted into the outer peripheral surface of the other end. The restricting means 713e is composed of a ball and a spring that presses the ball radially outward, and the restricting function works until the force acting on the ball reaches a predetermined value. Therefore, the movement of the pressing member 713b toward the other end of the support shaft 713a is restricted by the restricting means 713e. In the first blade accommodating means 713 configured as described above, several fitting holes 636a provided in the hub 636 of the used cutting blade 635 are inserted into the support shaft 713a and accommodated therein. At this time, the pressing member 713b is retracted against the spring force of the compression coil spring 713c. Further, the ball of the regulating means 713e is retracted, and the cutting blade 635 is positioned closer to one end of the support shaft 713a than the regulating means 713e. In this way, the cutting blade 635 inserted into the support shaft 713a is pressed toward the regulating means 713e via the pressing member 713b by the spring force of the compression coil spring 713c. Accordingly, the compression coil spring 713c and the pressing member 713b function as a pressing unit that presses the cutting blade 635 toward the regulating unit 713e.
上記案内手段72は、図7に示すように矩形状の案内板721と、該案内板721の両側に設けられ矢印Xで示す切削送り方向に延びる一対の案内レール722、722を備えている。このように構成された案内手段72は、図示しない固定部材に取付けられている。   As shown in FIG. 7, the guide means 72 includes a rectangular guide plate 721 and a pair of guide rails 722 and 722 provided on both sides of the guide plate 721 and extending in the cutting feed direction indicated by an arrow X. The guide means 72 configured in this way is attached to a fixing member (not shown).
上記可動基板73の一端には、図8に示すようにL字状の被案内部材74が取付けられており、この被案内部材74の両側に上記一対の案内レール722、722と係合する一対の被案内レール741、741が設けられている。この一対の被案内レール741、741を上記一対の案内レール722、722と係合することにより、可動基板73は被案内部材74を介して一対の案内レール722、722に沿って移動可能に支持される。なお、被案内部材74の上面には、雌ネジ742aを備えた移動ブロック742が取付けられている。   An L-shaped guided member 74 is attached to one end of the movable substrate 73 as shown in FIG. 8, and a pair that engages with the pair of guide rails 722 and 722 on both sides of the guided member 74. Guided rails 741 and 741 are provided. By engaging the pair of guided rails 741 and 741 with the pair of guide rails 722 and 722, the movable substrate 73 is supported to be movable along the pair of guide rails 722 and 722 via the guided member 74. Is done. A moving block 742 having a female screw 742a is attached to the upper surface of the guided member 74.
上記案内手段72を構成する案内板721の下面には、図7に一部を破断して示すように上記可動基板73を一対の案内レール722、722に沿って移動せしめる位置付け手段75が配設されている。この位置付け手段75は、上記一対の被案内レール741、741と平行に配設され上記移動ブロック742の雌ネジ742aと螺合する雄ネジロッド751と、該雄ネジロッド751の一端に連結され案内板721の下面に取付けられたパルスモータ752とからなっている。なお、雄ネジロッド751の他端は、案内板721の下面に取付けられた軸受753によって回転可能に支持されている。このように構成された位置付け手段75は、パルスモータ752を正転または逆転することにより、可動基板73を一対の案内レール722、722に沿って図7において矢印Xで示す方向に移動せしめる。なお、位置付け手段75は、後述する第1の締結ナット着脱機構および第2の締結ナット着脱機構を上記回転スピンドル632の先端面と対向するブレード着脱位置に位置付ける締結ナット着脱機構位置決め手段と、後述する切削ブレード着脱機構を回転スピンドル632の先端面と対向するブレード着脱位置と上記第1ブレードラック71aおよび第2のブレードラック71bの第1のブレード収容手段712と対向する使用前ブレード受け取り位置および第2のブレード収容手段713と対向する使用済みブレード収納位置に位置付ける切削ブレード着脱機構手段として機能する。   Positioning means 75 for moving the movable substrate 73 along a pair of guide rails 722 and 722 is disposed on the lower surface of the guide plate 721 constituting the guide means 72 as shown in FIG. Has been. The positioning means 75 is arranged in parallel with the pair of guided rails 741 and 741 and has a male screw rod 751 screwed with the female screw 742a of the moving block 742, and a guide plate 721 connected to one end of the male screw rod 751. And a pulse motor 752 attached to the lower surface of the motor. The other end of the male screw rod 751 is rotatably supported by a bearing 753 attached to the lower surface of the guide plate 721. The positioning means 75 configured in this manner moves the movable substrate 73 along the pair of guide rails 722 and 722 in the direction indicated by the arrow X in FIG. 7 by rotating the pulse motor 752 forward or backward. The positioning means 75 includes a fastening nut attaching / detaching mechanism positioning means for positioning a first fastening nut attaching / detaching mechanism (to be described later) and a second fastening nut attaching / detaching mechanism at a blade attaching / detaching position facing the tip surface of the rotary spindle 632, and to be described later. A blade attachment / detachment position in which the cutting blade attachment / detachment mechanism is opposed to the tip surface of the rotary spindle 632, a pre-use blade receiving position in which the first blade rack 71a and the second blade rack 71b are opposed to the first blade receiving means 712, and a second blade reception position. It functions as a cutting blade attachment / detachment mechanism means positioned at a used blade accommodation position opposite to the blade accommodation means 713.
図8に基づいて説明を続けると、上記可動基板73の上面には、上記スピンドルユニット63の締結ナット638を着脱するための第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bと、切削ブレード635を回転スピンドル632の先端に着脱するための第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bが配設されている。なお、第1の締結ナット着脱機構8aおよび第1の切削ブレード着脱機構9aと第2の締結ナット着脱機構8bおよび第2の切削ブレード着脱機構9bは、可動基板73の上面に線対称で配設されている。第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bは、可動基板73の上面に設けられた案内レール731上に配設され、該案内レール731に沿って移動可能に支持されている。この第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bは、それぞれナット回動手段81とナット把持手段82および移動手段83を具備している。   The description will be continued based on FIG. 8. On the upper surface of the movable substrate 73, a first fastening nut attaching / detaching mechanism 8 a and a second fastening nut attaching / detaching mechanism 8 b for attaching / detaching the fastening nut 638 of the spindle unit 63 are provided. A first cutting blade attaching / detaching mechanism 9a and a second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b for attaching / detaching the cutting blade 635 to / from the tip of the rotary spindle 632 are disposed. The first fastening nut attaching / detaching mechanism 8a, the first cutting blade attaching / detaching mechanism 9a, the second fastening nut attaching / detaching mechanism 8b, and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b are arranged line-symmetrically on the upper surface of the movable substrate 73. Has been. The first fastening nut attaching / detaching mechanism 8a and the second fastening nut attaching / detaching mechanism 8b are disposed on a guide rail 731 provided on the upper surface of the movable substrate 73, and are supported so as to be movable along the guide rail 731. Yes. Each of the first fastening nut attaching / detaching mechanism 8a and the second fastening nut attaching / detaching mechanism 8b includes a nut rotating means 81, a nut gripping means 82, and a moving means 83, respectively.
上記ナット回動手段81について、図8および図9を参照して説明する。
図示の実施形態におけるナット回動手段81は、上記案内レール731上に配設されたモータケース811と、該モータケース811内に配設された電動モータ812と、該電動モータ812の駆動軸812aに連結された回動部材813を具備している。モータケース811の底壁811aには上記案内レール731に係合する被案内溝811bが設けられており、この被案内溝811bを案内レール731に係合することにより、モータケース811は案内レール731に沿って移動可能に支持される。電動モータ812は、図示の実施形態においては正転すると上記締結ナット638を緩める方向に回転し、逆転すると締結ナット638を締め付ける方向に回転するようになっている。
The nut rotating means 81 will be described with reference to FIGS.
The nut rotation means 81 in the illustrated embodiment includes a motor case 811 disposed on the guide rail 731, an electric motor 812 disposed in the motor case 811, and a drive shaft 812 a of the electric motor 812. And a rotating member 813 connected to each other. The bottom wall 811a of the motor case 811 is provided with a guided groove 811b that engages with the guide rail 731. By engaging the guided groove 811b with the guide rail 731, the motor case 811 is guided to the guide rail 731. It is supported so that it can move along. In the illustrated embodiment, the electric motor 812 rotates in the direction of loosening the fastening nut 638 when rotated forward, and rotates in the direction of tightening the fastening nut 638 when reversed.
上記回動部材813の図9において右端部には右端面から突出する4個の回動ピン814がそれぞれ90度の位相をもって配設されている。この回動ピン814は基端(図9において左端)に円形状の係合部814aを備えており、この係合部814aが回動部材813の図9において右端部に設けられたシリンダ穴813aに摺動可能に配設されている。シリンダ穴813a内には圧縮スプリング815が配設されており、この圧縮スプリング815によって回動ピン814は図9において右方に移動すべく附勢されている。なお、シリンダ穴813aの図9において右端には、回動ピン814の係合部814aと係合し回動ピン814の右方への移動を規制するストッパー部813bが設けられている。上述した4個の回動ピン814は、上記締結ナット638に設けられた4個のピン嵌合穴638aに嵌合する位置に配設されている。   In FIG. 9 of the rotating member 813, four rotating pins 814 protruding from the right end surface are disposed at the right end portion with a phase of 90 degrees. This rotation pin 814 has a circular engagement portion 814a at the base end (left end in FIG. 9), and this engagement portion 814a is a cylinder hole 813a provided at the right end portion of the rotation member 813 in FIG. Are slidably disposed on the surface. A compression spring 815 is disposed in the cylinder hole 813a, and the rotation pin 814 is urged to move to the right in FIG. 9 by the compression spring 815. In addition, a stopper portion 813b that engages with the engaging portion 814a of the rotation pin 814 and restricts the rightward movement of the rotation pin 814 is provided at the right end of the cylinder hole 813a in FIG. The four rotating pins 814 described above are arranged at positions where they are fitted into the four pin fitting holes 638 a provided in the fastening nut 638.
上記ナット把持手段82は、上記回動部材813の外周にそれぞれ90度の位相をもって配設された4個の把持部材821と、該4個の把持部材821を図9において実線で示す開放位置と2点鎖線で示す把持位置に作動する作動リング822と、該作動リング822を図9において実線で示す後退位置と2点鎖線で示す作用位置に作動せしめるエアシリンダ823とからなっている。把持部材821は、先端(図9において右端)に把持爪821aを備えており、基端部(図9において左端部)が上記回動部材813に支軸824によって揺動可能に支持されている。このように支持された把持部材821と回動部材813との間には圧縮スプリング825が配設されており、この圧縮スプリング825によって把持部材821は把持爪821a側が支軸824を中心として常に径方向外側即ち開放位置に向けて附勢されている。   The nut gripping means 82 includes four gripping members 821 disposed on the outer periphery of the rotating member 813 with a phase of 90 degrees, and an open position where the four gripping members 821 are indicated by solid lines in FIG. 9 includes an operating ring 822 that operates at a gripping position indicated by a two-dot chain line, and an air cylinder 823 that operates the operating ring 822 at a retracted position indicated by a solid line and an operating position indicated by a two-dot chain line in FIG. The gripping member 821 has a gripping claw 821a at the tip (right end in FIG. 9), and the base end (left end in FIG. 9) is supported by the pivot member 813 so as to be swingable by the support shaft 824. . A compression spring 825 is disposed between the gripping member 821 and the rotating member 813 that are supported in this manner, and the gripping member 821 always has a diameter around the support shaft 824 on the gripping claw 821a side by the compression spring 825. It is biased towards the outside in the direction, i.e. the open position.
作動リング822は、図9において左端部に設けられた被案内部822aと、図9において右端部に設けられた作動部822bとを備えており、被案内部822aが回動部材813上を移動可能に支持される。そして、作動リング822の作動部822bは、上記把持部材821に当接するようになっている。上記エアシリンダ823は、上記モータケース811の上壁811cに配設され、そのピストンロッド823aが作動リング822に連結されている。   The operating ring 822 includes a guided portion 822a provided at the left end portion in FIG. 9 and an operating portion 822b provided at the right end portion in FIG. 9, and the guided portion 822a moves on the rotating member 813. Supported as possible. The operating portion 822b of the operating ring 822 is in contact with the gripping member 821. The air cylinder 823 is disposed on the upper wall 811 c of the motor case 811, and its piston rod 823 a is connected to the operating ring 822.
このように構成されたナット把持手段82は、図9において実線で示す後退位置からエアシリンダ823を作動して作動リング822を2点鎖線で示す作用位置に移動すると、把持部材821を実線で示す開放位置から2点鎖線で示す把持位置に作動せしめる。このように、把持部材821が把持位置に作動せしめられると、把持爪821aが上記締結ナット638の外周面に形成された環状溝638bと係合することができる。   When the nut gripping means 82 configured in this manner operates the air cylinder 823 from the retracted position indicated by the solid line in FIG. 9 to move the operating ring 822 to the operating position indicated by the two-dot chain line, the gripping member 821 is indicated by the solid line. Operate from the open position to the gripping position indicated by the two-dot chain line. Thus, when the gripping member 821 is operated to the gripping position, the gripping claws 821a can engage with the annular groove 638b formed on the outer peripheral surface of the fastening nut 638.
上記移動手段83は、図8に示すように案内レール731と平行に配設されたエアシリンダ831と、該エアシリンダ831のピストンロッド831aと上記モータケース811とを連結する連結部材832とからなっている。エアシリンダ831を作動することにより、連結部材832を介してモータケース811を案内レール731に沿って移動せしめる。   As shown in FIG. 8, the moving means 83 includes an air cylinder 831 disposed in parallel with the guide rail 731, and a connecting member 832 for connecting the piston rod 831 a of the air cylinder 831 and the motor case 811. ing. By operating the air cylinder 831, the motor case 811 is moved along the guide rail 731 via the connecting member 832.
次に、上記第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bについて、図8および図10を参照して説明する。
図示の実施形態における第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bは、可動基板73の上面に設けられた案内レール732上に配設され、該案内レール732に沿って移動可能に支持されている。この第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bは、それぞれ第1の切削ブレード把持手段91aおよび第2の切削ブレード把持手段91bと、該第1の切削ブレード把持手段91aおよび第2の切削ブレード把持手段91bが装着された支持プレート92と、該支持プレート92を回動するパルスモータ93(図10参照)を具備している。
Next, the first cutting blade attaching / detaching mechanism 9a and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b will be described with reference to FIGS.
The first cutting blade attaching / detaching mechanism 9 a and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9 b in the illustrated embodiment are disposed on a guide rail 732 provided on the upper surface of the movable substrate 73 and move along the guide rail 732. Supported as possible. The first cutting blade attaching / detaching mechanism 9a and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b include a first cutting blade holding means 91a and a second cutting blade holding means 91b, respectively, and the first cutting blade holding means 91a and A support plate 92 on which the second cutting blade gripping means 91b is mounted and a pulse motor 93 (see FIG. 10) for rotating the support plate 92 are provided.
第1の切削ブレード把持手段91aと第2の切削ブレード把持手段91bは、実質的に同一の構成であるので同一部材には同一符号を付して説明する。
第1の切削ブレード把持手段91aと第2の切削ブレード把持手段91bは、上記切削ブレード635のハブ636の外周を把持するための複数(図示の実施形態においては4個)の把持部材911と、該4個の把持部材911を作動する把持部材作動手段912と、4個の把持部材911の中心に配設され上記回転スピンドル632の先端面に形成された係合凹部632aに係合する位置決め手段913を備えている。
Since the first cutting blade gripping means 91a and the second cutting blade gripping means 91b have substantially the same configuration, the same members will be described with the same reference numerals.
The first cutting blade gripping means 91a and the second cutting blade gripping means 91b include a plurality of (four in the illustrated embodiment) gripping members 911 for gripping the outer periphery of the hub 636 of the cutting blade 635. A gripping member actuating means 912 for actuating the four gripping members 911, and a positioning means for engaging with an engaging recess 632a disposed at the center of the four gripping members 911 and formed on the front end surface of the rotary spindle 632 913 is provided.
4個の把持部材911は、把持部材作動手段912の外周に沿って90度の位相をもって周方向に配設され、先端に把持爪911aを備えている。把持部材作動手段912は、4個の把持部材911をそれぞれ径方向に作動するように構成され、支持プレート92に装着されている。位置決め手段913は、把持部材作動手段912の端面中心に取付けられたロッド913aと、該ロッド913aの先端部に摺動可能に装着され先端が円錐形状に形成された置決め部材913bと、該位置決め部材913bと把持部材作動手段912の端面との間に配設された圧縮スプリング913cとからなっている。なお、位置決め部材913bとロッド913aとの間には、図示の状態から位置決め部材913bがロッド913aから抜け出すのを防止するためのストッパー機構が設けられている。   The four gripping members 911 are arranged in the circumferential direction with a phase of 90 degrees along the outer periphery of the gripping member actuating means 912, and are provided with gripping claws 911a at the tips. The grip member actuating means 912 is configured to actuate each of the four grip members 911 in the radial direction, and is attached to the support plate 92. The positioning means 913 includes a rod 913a attached to the center of the end face of the gripping member actuating means 912, a positioning member 913b slidably attached to the tip of the rod 913a and having a conical shape at the tip, and the positioning It consists of a compression spring 913c disposed between the member 913b and the end face of the gripping member actuating means 912. A stopper mechanism is provided between the positioning member 913b and the rod 913a to prevent the positioning member 913b from coming out of the rod 913a from the illustrated state.
上述した第1の切削ブレード把持手段91aおよび第2の切削ブレード把持手段91bの支持プレート92の中心には、図10に示すように回動軸921が取付けられている。回転軸921の端面に形成されたネジ部921aを支持プレート92の中心に設けられた穴に挿通し、このネジ部921aにナット922を螺合することにより、回動軸921が支持プレート92に取付けられる。なお、回動軸921と支持プレート92との間には、図示しない相対回転を規制する回転規制機構が配設されている。この回動軸921にパルスモータ93の駆動軸93aが連結されている。パルスモータ93は案内レール732上に配設されたモータケース94内に配設されている。モータケース94の底壁94aには上記案内レール732に係合する被案内溝94bが設けられており、この被案内溝94bを案内レール732に係合することにより、モータケース94は案内レール732に沿って移動可能に支持される。   A rotation shaft 921 is attached to the center of the support plate 92 of the first cutting blade gripping means 91a and the second cutting blade gripping means 91b described above, as shown in FIG. A threaded portion 921a formed on the end surface of the rotating shaft 921 is inserted into a hole provided in the center of the support plate 92, and a nut 922 is screwed into the threaded portion 921a, whereby the rotating shaft 921 is engaged with the support plate 92. Mounted. A rotation restricting mechanism that restricts relative rotation (not shown) is disposed between the rotation shaft 921 and the support plate 92. A driving shaft 93 a of a pulse motor 93 is connected to the rotating shaft 921. The pulse motor 93 is disposed in a motor case 94 disposed on the guide rail 732. The bottom wall 94 a of the motor case 94 is provided with a guided groove 94 b that engages with the guide rail 732. By engaging the guided groove 94 b with the guide rail 732, the motor case 94 is guided to the guide rail 732. It is supported so that it can move along.
図示の実施形態における第1の切削ブレード着脱手段9aおよび第2の切削ブレード着脱手段9bは、図8に示すように上記モータケース94を案内レール732に沿って移動せしめる移動手段95を具備している。この移動手段95は、案内レール732と平行に配設されたエアシリンダ951と、該エアシリンダ951のピストンロッド951aと上記モータケース94とを連結する連結部材952とからなっている。エアシリンダ951を作動することにより、連結部材952を介してモータケース94を案内レール732に沿って移動せしめる。   The first cutting blade attaching / detaching means 9a and the second cutting blade attaching / detaching means 9b in the illustrated embodiment include a moving means 95 for moving the motor case 94 along the guide rail 732 as shown in FIG. Yes. The moving means 95 includes an air cylinder 951 disposed in parallel with the guide rail 732, and a connecting member 952 that connects the piston rod 951 a of the air cylinder 951 and the motor case 94. By operating the air cylinder 951, the motor case 94 is moved along the guide rail 732 via the connecting member 952.
図示の実施形態における切削ブレードの交換装置を装備した切削装置は以上のように構成されており、以下その作動について主に図1および図2を参照して説明する。   The cutting device equipped with the cutting blade replacement device in the illustrated embodiment is configured as described above, and the operation thereof will be described below mainly with reference to FIGS.
先ず、被加工物の切削加工について説明する。
図示しない被加工物搬送手段によって半導体ウエーハ等の被加工物が第1のチャックテーブル34a上に搬送される。このとき第1のチャックテーブル34aは、図1に示す被加工物着脱位置に位置付けられている。第1のチャックテーブル34a上に載置された被加工物は、図示しない吸引手段を作動することにより、第1のチャックテーブル34a上に吸引保持される(第1の被加工物保持工程)。
First, cutting of a workpiece will be described.
A workpiece such as a semiconductor wafer is transferred onto the first chuck table 34a by a workpiece transfer means (not shown). At this time, the first chuck table 34a is positioned at the workpiece attaching / detaching position shown in FIG. The workpiece placed on the first chuck table 34a is sucked and held on the first chuck table 34a by operating a suction means (not shown) (first workpiece holding step).
上述したように被加工物を吸引保持した第1のチャックテーブル34aは、第1の切削送り手段37aの作動により第1のアライメント手段5aの撮像手段53の直下に位置付ける。第1のチャックテーブル33aが撮像手段53の直下に位置付けたならば、撮像手段53によって第1のチャックテーブル34a上に保持された被加工物の表面が撮像され、被加工物の表面に形成された切削領域が検出される。そして、第1の切削手段6aの割り出し送り手段64および第2の切削手段6bの割り出し送り手段64を作動して、それぞれの切削ブレード635と上記撮像手段53によって検出された切削領域との位置合わせを行うアライメントが実施される(第1のアライメント工程)。   As described above, the first chuck table 34a that sucks and holds the workpiece is positioned directly below the imaging means 53 of the first alignment means 5a by the operation of the first cutting feed means 37a. If the first chuck table 33a is positioned directly below the imaging means 53, the imaging means 53 images the surface of the workpiece held on the first chuck table 34a and forms it on the surface of the workpiece. A cut area is detected. Then, the index feeding means 64 of the first cutting means 6 a and the index feeding means 64 of the second cutting means 6 b are operated to align the respective cutting blades 635 with the cutting area detected by the imaging means 53. Alignment is performed (first alignment step).
第1のチャックテーブル34a上に保持された被加工物に対して第1のアライメント工程を実施している間に、図示しない被加工物搬送手段によって被加工物が図1に示す被加工物着脱位置に位置付けられている第2のチャックテーブル34b上に搬送される。第2のチャックテーブル34b上に載置された被加工物は、図示しない吸引手段を作動することにより、第2のチャックテーブル34b上に吸引保持される(第2の被加工物保持工程)。   While the first alignment process is being performed on the workpiece held on the first chuck table 34a, the workpiece is attached to and detached from the workpiece shown in FIG. It is conveyed onto the second chuck table 34b positioned at the position. The workpiece placed on the second chuck table 34b is sucked and held on the second chuck table 34b by operating a suction means (not shown) (second workpiece holding step).
第2のチャックテーブル34b上に被加工物を吸引保持したならば、第2のチャックテーブル34bは第2の切削送り手段37bの作動により第2のアライメント手段5bの撮像手段53の直下に位置付けられる。そして、第2のアライメント手段5bによって第2のチャックテーブル34bに保持された被加工物の切削すべき領域を検出する第2のアライメント工程を実施する。なお、第2のアライメント工程は、上述した第1のアライメント工程と同様に実施する。   If the workpiece is sucked and held on the second chuck table 34b, the second chuck table 34b is positioned immediately below the imaging means 53 of the second alignment means 5b by the operation of the second cutting feed means 37b. . And the 2nd alignment process of detecting the area | region which should be cut of the workpiece hold | maintained at the 2nd chuck table 34b by the 2nd alignment means 5b is implemented. The second alignment process is performed in the same manner as the first alignment process described above.
一方、上記第1のアライメント工程が終了したならば、第1のチャックテーブル34aを切削領域に移動する。そして、第1の切削手段6aの切削ブレード635と第2の切削手段6bの切削ブレード635を第1のチャックテーブル34aに保持されている被加工物の切削領域に位置付ける。次に、第1の切削手段6aの切削ブレード635と第2の切削手段6bの切削ブレード635を回転しつつ第1のチャックテーブル34aを切削送りすることにより、第1のチャックテーブル34aに保持された被加工物に所定の切削加工を施す(第1の切削工程)。   On the other hand, when the first alignment step is completed, the first chuck table 34a is moved to the cutting area. Then, the cutting blade 635 of the first cutting means 6a and the cutting blade 635 of the second cutting means 6b are positioned in the cutting area of the workpiece held on the first chuck table 34a. Next, the first chuck table 34a is cut and fed while rotating the cutting blade 635 of the first cutting means 6a and the cutting blade 635 of the second cutting means 6b, so that the first chuck table 34a is held. A predetermined cutting process is performed on the workpiece (first cutting process).
上述した第1の切削工程が終了したならば、上記第2のアライメント工程が実施された被加工物を保持した第2のチャックテーブル34bを切削領域に移動する。そして、上記第1の切削工程を実施した後に第1の切削手段6aおよび第2の切削手段6bによって上述した第1の切削工程と同様に第2のチャックテーブル34bに保持された被加工物に対して第2の切削工程を実施する。   When the first cutting process described above is completed, the second chuck table 34b holding the workpiece on which the second alignment process is performed is moved to the cutting area. Then, after the first cutting process is performed, the workpiece held on the second chuck table 34b by the first cutting means 6a and the second cutting means 6b as in the first cutting process described above is applied to the workpiece. On the other hand, the second cutting step is performed.
上述した第1の切削工程が終了した加工済みの被加工物を保持した第1のチャックテーブル34aは、切削領域から被加工物着脱位置に向けて移動せしめられる。ここで、第1のチャックテーブル34a上に保持されている加工済みの被加工物の吸引保持が解除される。そして、加工済みの被加工物は、図示しない被加工物搬送手段によって次工程に搬送される。   The first chuck table 34a holding the processed workpiece that has been subjected to the first cutting step described above is moved from the cutting region toward the workpiece attaching / detaching position. Here, the suction holding of the processed workpiece held on the first chuck table 34a is released. Then, the processed workpiece is transferred to the next process by a workpiece transfer means (not shown).
以上のようにして、被加工物を次工程に搬送したならば、第1のチャックテーブル34aに次の半導体ウエーハ10を保持する上記第1の被加工物保持工程を実施する。そして、上記第1のアライメント工程、第1の切削工程を順次実施する。   As described above, when the workpiece is conveyed to the next step, the first workpiece holding step for holding the next semiconductor wafer 10 on the first chuck table 34a is performed. Then, the first alignment step and the first cutting step are sequentially performed.
一方、上述した第2の切削工程が実施された加工済みの被加工物を保持した第2のチャックテーブル34bは、切削領域から被加工物着脱位置に向けて移動せしめられる。ここで、第2のチャックテーブル34b上に保持されている加工済みの被加工物の吸引保持が解除される。そして、加工済みの被加工物は、図示しない被加工物搬送手段によって次工程に搬送される。このようにして、加工済みの被加工物を次工程に搬送したならば、第2のチャックテーブル34bに次の被加工物を保持する上記第2の被加工物保持工程を実施する。そして、上記第2のアライメント工程、第2の切削工程を順次実施する。   On the other hand, the second chuck table 34b holding the processed workpiece subjected to the second cutting step described above is moved from the cutting area toward the workpiece attaching / detaching position. Here, the suction holding of the processed workpiece held on the second chuck table 34b is released. Then, the processed workpiece is transferred to the next process by a workpiece transfer means (not shown). When the processed workpiece is conveyed to the next step in this way, the second workpiece holding step for holding the next workpiece on the second chuck table 34b is performed. Then, the second alignment process and the second cutting process are sequentially performed.
上述したように第1の切削工程および第2の切削工程を実施することにより、第1の切削手段6aおよび第2の切削手段6bの切削ブレード635の砥石ブレード637は磨耗する。この磨耗が所定量に達すると切削精度が維持されなくなるため、切削ブレード635は所定時間使用したら新しい切削ブレードと交換する必要がある。以下、切削ブレード635の交換作業について、図11乃至図17を参照して説明する。   As described above, the grinding blade 637 of the cutting blade 635 of the first cutting means 6a and the second cutting means 6b is worn by performing the first cutting process and the second cutting process. When this wear reaches a predetermined amount, the cutting accuracy is not maintained, so that the cutting blade 635 needs to be replaced with a new cutting blade after a predetermined period of use. Hereinafter, replacement work of the cutting blade 635 will be described with reference to FIGS. 11 to 17.
先ず、図11に示すように、ブレード交換装置7の位置付け手段75(図7参照)を作動して、可動基板73を一対の案内レール722、722に沿って移動し、第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bの第1の切削ブレード把持手段91aを第1ブレードラック71aおよび第2のブレードラック71bにおける使用前の切削ブレード635が収容されている第1のブレード収容手段712と対向する使用前ブレード受け取り位置に位置付ける。次に、移動手段95を作動して第1の切削ブレード把持手段91aを第1のブレード収容手段712に向けて前進させ、位置決め部材913bを第1のブレード収容手段712の支持軸712aの他端面に設けられた係合凹部712dに係合せしめる。そして、第1の切削ブレード把持手段91aの把持部材作動手段912を作動して4個の把持部材911を径方向内側に作動し、4個の把持部材911の先端に設けられた把持爪911aを切削ブレード635の環状のハブ636に形成された環状溝636cに係合せしめる。この結果、使用前の切削ブレード635は4個の把持部材911によって把持される(使用前切削ブレード把持工程)。   First, as shown in FIG. 11, the positioning means 75 (see FIG. 7) of the blade exchange device 7 is operated to move the movable substrate 73 along the pair of guide rails 722 and 722, and the first cutting blade is attached and detached. The first cutting blade gripping means 91a of the mechanism 9a and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b is a first blade housing in which cutting blades 635 before use in the first blade rack 71a and the second blade rack 71b are housed. Position in the pre-use blade receiving position opposite the means 712. Next, the moving means 95 is operated to advance the first cutting blade gripping means 91a toward the first blade accommodating means 712, and the positioning member 913b is moved to the other end surface of the support shaft 712a of the first blade accommodating means 712. It engages with an engagement recess 712d provided on the surface. Then, the gripping member actuating means 912 of the first cutting blade gripping means 91a is actuated to actuate the four gripping members 911 radially inward, and the gripping claws 911a provided at the tips of the four gripping members 911 are moved. The cutting blade 635 is engaged with an annular groove 636 c formed in the annular hub 636. As a result, the cutting blade 635 before use is gripped by the four gripping members 911 (pre-use cutting blade gripping step).
上述した使用前切削ブレード把持工程を実施したならば、移動手段95を作動して第1の切削ブレード把持手段91aを後退させるとともに、上記位置付け手段75を作動して図12に示すように第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bのナット回動手段81およびナット把持手段82を回転スピンドル632と対向するブレード着脱位置に位置付ける。そして、移動手段83を作動してナット回動手段81およびナット把持手段82を回転スピンドル632に向けて前進せしめる。この結果、回動部材813に配設された4個の回動ピン814が締結ナット638の端面に当接して圧縮スプリング815のスプリング力に抗して後退せしめられる。また、ナット把持手段82のエアシリンダ823を作動して作動リング822を図9において2点鎖線で示す作用位置に移動し、把持部材821を2点鎖線で示す把持位置に作動せしめることにより、把持爪821aを締結ナット638の外周面に形成された環状溝638bと係合する。次に、電動モータ812を正転駆動すると、4個の回動ピン814が締結ナット638に形成された4個のピン嵌合穴638aと合致したとき4個のピン嵌合穴638aに嵌合する。この結果、電動モータ812の正転駆動力は4個の回動ピン814を介して締結ナット638に伝達され、締結ナット638が緩められブレード装着部材633から外される。このようにしてブレード装着部材633から外された締結ナット638は、ナット把持手段82の把持部材821によって把持されている(締結ナット取り外し工程)。なお、締結ナット取り外し工程を実施する際には、図12には省略しているがスピンドルユニット63の第2のカバー部材652は図5において実線で示す開放位置に位置付けられる。   If the pre-use cutting blade gripping step described above is performed, the moving means 95 is operated to retract the first cutting blade gripping means 91a, and the positioning means 75 is operated to operate the first as shown in FIG. The nut rotating means 81 and the nut gripping means 82 of the fastening nut attaching / detaching mechanism 8 a and the second fastening nut attaching / detaching mechanism 8 b are positioned at the blade attaching / detaching position facing the rotating spindle 632. Then, the moving means 83 is operated to advance the nut rotating means 81 and the nut gripping means 82 toward the rotary spindle 632. As a result, the four rotation pins 814 disposed on the rotation member 813 abut against the end surface of the fastening nut 638 and are retracted against the spring force of the compression spring 815. Further, the air cylinder 823 of the nut gripping means 82 is actuated to move the operating ring 822 to the operating position indicated by the two-dot chain line in FIG. 9, and the gripping member 821 is operated to the gripping position indicated by the two-dot chain line, thereby gripping. The claw 821 a is engaged with an annular groove 638 b formed on the outer peripheral surface of the fastening nut 638. Next, when the electric motor 812 is driven to rotate forward, when the four rotating pins 814 are aligned with the four pin fitting holes 638a formed in the fastening nut 638, they are fitted into the four pin fitting holes 638a. To do. As a result, the forward driving force of the electric motor 812 is transmitted to the fastening nut 638 via the four rotating pins 814, and the fastening nut 638 is loosened and removed from the blade mounting member 633. The fastening nut 638 thus removed from the blade mounting member 633 is gripped by the gripping member 821 of the nut gripping means 82 (fastening nut removing step). When performing the fastening nut removing step, the second cover member 652 of the spindle unit 63 is positioned at the open position indicated by the solid line in FIG.
上述した締結ナット取り外し工程を実施したならば、移動手段83を作動してナット回動手段81およびナット把持手段82後退させるとともに、上記位置付け手段75を作動して図13に示すように第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bの第2の切削ブレード把持手段91bを回転スピンドル632と対向するブレード着脱位置に位置付ける。次に、移動手段95を作動して第2の切削ブレード把持手段91bを回転スピンドル632に向けて前進させ、位置決め部材913bを回転スピンドル632の先端面に形成された係合凹部632aと係合せしめる。そして、第2の切削ブレード把持手段91bの把持部材作動手段912を作動して4個の把持部材911を径方向内側に作動し、4個の把持部材911の先端に設けられた把持爪911aを切削ブレード635の環状のハブ636に形成された環状溝636cに係合せしめる。この結果、使用済みの切削ブレード635は、4個の把持部材911によって把持される(使用済み切削ブレード取り外し工程)。   When the fastening nut removing process described above is performed, the moving means 83 is operated to retract the nut rotating means 81 and the nut gripping means 82, and the positioning means 75 is operated to operate the first positioning means 75 as shown in FIG. The cutting blade attaching / detaching mechanism 9 a and the second cutting blade holding means 91 b of the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9 b are positioned at the blade attaching / detaching position facing the rotary spindle 632. Next, the moving means 95 is actuated to advance the second cutting blade gripping means 91 b toward the rotary spindle 632, and the positioning member 913 b is engaged with the engagement recess 632 a formed on the tip surface of the rotary spindle 632. . Then, the gripping member actuating means 912 of the second cutting blade gripping means 91b is actuated to actuate the four gripping members 911 radially inward, and the gripping claws 911a provided at the tips of the four gripping members 911 are moved. The cutting blade 635 is engaged with an annular groove 636 c formed in the annular hub 636. As a result, the used cutting blade 635 is gripped by the four gripping members 911 (used cutting blade removal step).
上述した使用済み切削ブレード取り外し工程を実施したならば、図14に示すように移動手段95を作動して第2の切削ブレード把持手段91bを後退させるとともに、パルスモータ93(図10参照)を作動して支持プレート92を180度回動し、第1の切削ブレード把持手段91aと第2の切削ブレード把持手段91bを反転する。この結果、上記使用前切削ブレード把持工程において使用前の切削ブレード635を把持した第1の切削ブレード把持手段91aが、回転スピンドル632と対向するブレード交換装置に位置付けられる(切削ブレード把持手段反転工程)。   When the above-described used cutting blade removing process is performed, the moving means 95 is operated to move the second cutting blade gripping means 91b backward as shown in FIG. 14, and the pulse motor 93 (see FIG. 10) is operated. Then, the support plate 92 is rotated 180 degrees to reverse the first cutting blade gripping means 91a and the second cutting blade gripping means 91b. As a result, the first cutting blade gripping means 91a that grips the cutting blade 635 before use in the pre-use cutting blade gripping step is positioned on the blade exchange device facing the rotary spindle 632 (cutting blade gripping means reversing step). .
次に、図15に示すように移動手段95を作動して第1の切削ブレード把持手段91aを回転スピンドル632に向けて前進させ、位置決め部材913bを回転スピンドル632の先端面に形成された係合凹部632aと係合せしめる。このとき、第1の切削ブレード把持手段91aの4個の把持部材911によって把持されている使用前の切削ブレード635は、環状のハブ636の嵌合穴636aがブレード装着部材633の円筒状の装着部633aに嵌合する。そして、第1の切削ブレード把持手段91aの把持部材作動手段912を作動して4個の把持部材911を径方向外側に作動し、4個の把持部材911による切削ブレード635の把持を解除する。この結果、使用前の切削ブレード635がブレード装着部材633の円筒状の装着部633aに装着されることになる(使用前切削ブレード装着工程)。   Next, as shown in FIG. 15, the moving means 95 is operated to advance the first cutting blade gripping means 91 a toward the rotary spindle 632, and the positioning member 913 b is engaged with the tip surface of the rotary spindle 632. Engage with the recess 632a. At this time, the cutting blade 635 before use being gripped by the four gripping members 911 of the first cutting blade gripping means 91 a has a fitting hole 636 a of the annular hub 636 in the cylindrical mounting of the blade mounting member 633. It fits into the part 633a. Then, the gripping member actuating means 912 of the first cutting blade gripping means 91a is actuated to actuate the four gripping members 911 radially outward to release the gripping of the cutting blade 635 by the four gripping members 911. As a result, the cutting blade 635 before use is mounted on the cylindrical mounting portion 633a of the blade mounting member 633 (pre-use cutting blade mounting step).
上述した使用前切削ブレード装着工程を実施したならば、移動手段95を作動して第1の切削ブレード把持手段91aを後退するとともに、位置付け手段75を作動して図16に示すように第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bのナット回動手段81および上記締結ナット取り外し工程において締結ナット638を把持しているナット把持手段82を回転スピンドル632と対向するブレード着脱位置に位置付ける。次に、移動手段83を作動してナット回動手段81およびナット把持手段82を回転スピンドル632に向けて前進せしめる。この結果、ナット把持手段82に把持された締結ナット638は、ブレード装着部材633の円筒状の装着部633aに当接する。そして、電動モータ812を逆転駆動すると、回転力がナット回動手段81の4個の回動ピン814を介して締結ナット638に伝達され、締結ナット638が装着部633aに形成された雄ネジ633cに螺合し締め付けられる。そして、ナット把持手段82のエアシリンダ823を作動して作動リング822を図9において2点鎖線で示す作用位置から実線で示す後退位置に移動することにより、把持部材821を2点鎖線で示す把持位置から実線で示す開放位置に作動せしめる。この結果、使用前の切削ブレード635は、ブレード装着部材633のフランジ部633bと締結ナット638によって挟持固定される(使用前切削ブレード固定工程)。   When the pre-use cutting blade mounting step described above is performed, the moving means 95 is operated to retract the first cutting blade gripping means 91a, and the positioning means 75 is operated to operate the first cutting blade as shown in FIG. The nut rotating means 81 of the fastening nut attaching / detaching mechanism 8a and the second fastening nut attaching / detaching mechanism 8b and the nut grasping means 82 for grasping the fastening nut 638 in the above-described fastening nut removing step are placed at the blade attaching / detaching position facing the rotary spindle 632. Position. Next, the moving means 83 is operated to advance the nut rotating means 81 and the nut gripping means 82 toward the rotary spindle 632. As a result, the fastening nut 638 gripped by the nut gripping means 82 comes into contact with the cylindrical mounting portion 633a of the blade mounting member 633. When the electric motor 812 is driven in reverse, the rotational force is transmitted to the fastening nut 638 via the four turning pins 814 of the nut turning means 81, and the fastening nut 638 is a male screw 633c formed in the mounting portion 633a. Screwed onto and tightened. Then, by operating the air cylinder 823 of the nut gripping means 82 and moving the operating ring 822 from the operating position indicated by the two-dot chain line in FIG. 9 to the retracted position indicated by the solid line, the gripping member 821 is gripped by the two-dot chain line. Operate from the position to the open position indicated by the solid line. As a result, the cutting blade 635 before use is sandwiched and fixed by the flange portion 633b of the blade mounting member 633 and the fastening nut 638 (pre-use cutting blade fixing step).
上述した使用前切削ブレード固定工程を実施したならば、移動手段83を作動してナット回動手段81およびナット把持手段82を後退するとともに、位置付け手段75を作動して可動基板73を一対の案内レール722、722に沿って移動し、第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bの第2の切削ブレード把持手段91b(使用済み切削ブレードを把持している)を第1ブレードラック71aおよび第2のブレードラック71bにおける第2のブレード収容手段713と対向する使用済みブレード収納位置に位置付ける。次に、図17に示すように移動手段95を作動して第2の切削ブレード把持手段91bを第2のブレード収容手段713に向けて前進させ、位置決め部材913bを第2のブレード収容手段713の支持軸713aの他端面に設けられた係合凹部713dに係合せしめるとともに、第2の切削ブレード把持手段91bに把持された使用済み切削ブレード635を第2のブレード収容手段713の支持軸713aに嵌合し収容する。そして、第2の切削ブレード把持手段91bによる使用済み切削ブレード635の把持を解除する(使用済み切削ブレード収容工程)。次に、移動手段95を作動して第2の切削ブレード把持手段91bを後退せしめ、図8に示す状態に戻る。 If the pre-use cutting blade fixing process described above is performed, the moving means 83 is operated to retract the nut rotating means 81 and the nut gripping means 82, and the positioning means 75 is operated to move the movable substrate 73 to a pair of guides. The first cutting blade attaching / detaching mechanism 9a and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b of the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b (holding the used cutting blade) are moved along the rails 722, 722 to the first. In the blade rack 71a and the second blade rack 71b, it is positioned at the used blade storage position facing the second blade storage means 713. Next, as shown in FIG. 17, the moving means 95 is operated to advance the second cutting blade gripping means 91 b toward the second blade accommodating means 713, and the positioning member 913 b is moved to the second blade accommodating means 713. The used cutting blade 635 gripped by the second cutting blade gripping means 91 b is engaged with the engaging recess 713 d provided on the other end surface of the support shaft 713 a and the support shaft 713 a of the second blade housing means 713 is used as the support shaft 713 a. Fit and house. Then, the gripping of the used cutting blade 635 by the second cutting blade gripping means 91b is released (used cutting blade housing step). Next, the moving means 95 is actuated to retract the second cutting blade gripping means 91b and return to the state shown in FIG.
以上のように、図示に実施形態における切削ブレードの交換装置は、一対の案内レール722、722に沿って移動可能な可動基板73に第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bと第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bが配設され、位置付け手段75によってブレード着脱位置と使用前ブレード受け取り位置と使用済みブレード収納位置にそれぞれ位置付けられるので、角度ズレがなく、第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bと第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bを回転スピンドル632の軸心と対向する位置に精度よく位置付けることができる。   As described above, the cutting blade replacement device in the illustrated embodiment includes the first fastening nut attaching / detaching mechanism 8a and the second fastening nut attaching / detaching mechanism on the movable substrate 73 movable along the pair of guide rails 722, 722. 8b, the first cutting blade attaching / detaching mechanism 9a, and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b are disposed and positioned by the positioning means 75 at the blade attaching / detaching position, the pre-use blade receiving position, and the used blade storage position, respectively. There is no deviation, and the first fastening nut attaching / detaching mechanism 8a, the second fastening nut attaching / detaching mechanism 8b, the first cutting blade attaching / detaching mechanism 9a, and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b are opposed to the axis of the rotary spindle 632. Can be positioned accurately.
以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種々の変形は可能である。例えば、図示の実施形態においては第1の切削手段6aおよび第2の切削手段6bに対応して第1の締結ナット着脱機構8aおよび第2の締結ナット着脱機構8bと第1の切削ブレード着脱機構9aおよび第2の切削ブレード着脱機構9bを備えて例を示したが、切削手段が1個の場合には1個の締結ナット着脱機構と切削ブレード着脱機構を具備すればよい。
なお、上述した切削ブレード交換装置7と第1の切削手段6aおよび第2の切削手段6bとの間には可動式のシャッターを配設し、切削作業時にシャッターによって遮蔽することにより、飛散した切削水が切削ブレード交換装置7の構成部材に付着するのを防止することが望ましい。
Although the present invention has been described based on the illustrated embodiment, the present invention is not limited to the embodiment, and various modifications are possible within the scope of the gist of the present invention. For example, in the illustrated embodiment, the first fastening nut attaching / detaching mechanism 8a, the second fastening nut attaching / detaching mechanism 8b, and the first cutting blade attaching / detaching mechanism corresponding to the first cutting means 6a and the second cutting means 6b. 9a and the second cutting blade attaching / detaching mechanism 9b are shown as an example. However, when there is only one cutting means, one fastening nut attaching / detaching mechanism and cutting blade attaching / detaching mechanism may be provided.
A movable shutter is disposed between the above-described cutting blade exchanging device 7 and the first cutting means 6a and the second cutting means 6b, and the scattered cutting is performed by shielding with a shutter during the cutting operation. It is desirable to prevent water from adhering to the components of the cutting blade replacement device 7.
本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置を装備した切削装置の要部斜視図。The principal part perspective view of the cutting device equipped with the exchange device of the cutting blade comprised according to this invention. 図1に示す切削装置の切削手段を示す斜視図。The perspective view which shows the cutting means of the cutting device shown in FIG. 図1におけるA―A断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 図1に示す切削装置の切削手段を構成するスピンドルユニットにおける切削ブレードの取付け構造を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the attachment structure of the cutting blade in the spindle unit which comprises the cutting means of the cutting device shown in FIG. 図1に示す切削装置の切削手段を構成するスピンドルユニットの要部斜視図1 is a perspective view of a main part of a spindle unit constituting cutting means of the cutting apparatus shown in FIG. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置を構成するブレードラックを示す斜視図。The perspective view which shows the blade rack which comprises the replacement | exchange apparatus of the cutting blade comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置を構成する案内手段および位置付け手段を示す斜視図。The perspective view which shows the guide means and the positioning means which comprise the exchange apparatus of the cutting blade comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置を構成する第1の締結ナット着脱機構および第2の締結ナット着脱機構と第1の切削ブレード着脱機構および第2の切削ブレード着脱機構を示す斜視図。The perspective view which shows the 1st fastening nut attaching / detaching mechanism, the 2nd fastening nut attaching / detaching mechanism, the 1st cutting blade attaching / detaching mechanism, and the 2nd cutting blade attaching / detaching mechanism which comprise the exchange apparatus of the cutting blade comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置を構成する締結ナット着脱機構の断面図。Sectional drawing of the fastening nut attaching / detaching mechanism which comprises the replacement | exchange apparatus of the cutting blade comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置を構成する切削ブレード着脱機構の断面図。Sectional drawing of the cutting blade attachment / detachment mechanism which comprises the exchange apparatus of the cutting blade comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置によるブレード交換作業における使用前切削ブレード把持工程の説明図。Explanatory drawing of the pre-use cutting blade holding | grip process in the blade replacement | exchange operation | work by the cutting blade replacement | exchange apparatus comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置によるブレード交換作業における締結ナット取り外し工程の説明図。Explanatory drawing of the fastening nut removal process in the blade replacement | exchange operation | work by the cutting blade replacement | exchange apparatus comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置によるブレード交換作業における使用済み切削ブレード取り外し工程の説明図。Explanatory drawing of the used cutting blade removal process in the blade replacement | exchange operation | work by the cutting blade replacement | exchange apparatus comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置によるブレード交換作業における切削ブレード把持手段反転工程の説明図。Explanatory drawing of the cutting blade holding means inversion process in the blade replacement | exchange operation | work by the cutting blade replacement | exchange apparatus comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置によるブレード交換作業における使用前切削ブレード装着工程の説明図。Explanatory drawing of the cutting blade mounting process before use in the blade replacement | exchange operation | work by the cutting blade replacement | exchange apparatus comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置によるブレード交換作業における使用前切削ブレード固定工程の説明図。Explanatory drawing of the cutting blade fixing process before use in the blade replacement | exchange operation | work by the cutting blade replacement | exchange apparatus comprised according to this invention. 本発明に従って構成された切削ブレードの交換装置によるブレード交換作業における使用済み切削ブレード収容工程の説明図。Explanatory drawing of the used cutting blade accommodation process in the blade replacement | exchange operation | work by the cutting blade replacement | exchange apparatus comprised according to this invention.
符号の説明Explanation of symbols
2:基台
3:チャックテーブル機構
31a:第1の案内レール
31b:第2の案内レール
32a:第1の支持基台
32b:第2の支持基台
34a:第1のチャックテーブル
34b:第2のチャックテーブル
36a:第1のブレード検出手段
36b:第2のブレード検出手段
37a:第1の切削送り手段
37b:第2の切削送り手段
4:門型の支持フレーム
5a:第1のアライメント手段
5b:第2のアライメント手段
52:移動手段
53:撮像手段
6a:第1の切削手段
6b:第2の切削手段
61:割り出し移動基台
62:切り込み移動基台
63:スピンドルユニット
632:回転スピンドル
633:ブレード装着部材
634:固定ナット
635:切削ブレード
638:締結ナット
64:割り出し送り手段
65:切り込み送り手段
7:切削ブレード交換装置
71a:第1ブレードラック
71b:第2のブレードラック
712:第1のブレード収容手段
713:第2のブレード収容手段
72:案内手段
722、722一対の案内レール
73:可動基板
75:位置付け手段
8a:第1の締結ナット着脱機構
8b:第2の締結ナット着脱機構
81:ナット回動手段
82:ナット把持手段
9a:第1の切削ブレード着脱機構
9b:第2の切削ブレード着脱機構
91a:第1の切削ブレード把持手段
91b:第2の切削ブレード把持手段
92:支持プレート
2: base 3: chuck table mechanism 31a: first guide rail 31b: second guide rail 32a: first support base 32b: second support base 34a: first chuck table 34b: second Chuck table 36a: first blade detecting means 36b: second blade detecting means 37a: first cutting feed means 37b: second cutting feed means 4: portal support frame 5a: first alignment means 5b : Second alignment means 52: moving means 53: imaging means 6 a: first cutting means 6 b: second cutting means 61: indexing movement base 62: cutting movement base 63: spindle unit 632: rotating spindle 633: Blade mounting member 634: Fixing nut 635: Cutting blade 638: Fastening nut 64: Index feed means 65: Cutting feed means 7: Cutting blade replacement device 71a 1st blade rack 71b: 2nd blade rack 712: 1st blade accommodating means 713: 2nd blade accommodating means 72: Guide means 722, 722 A pair of guide rail 73: Movable substrate 75: Positioning means 8a: 1st Fastening nut attaching / detaching mechanism 8b: second fastening nut attaching / detaching mechanism 81: nut rotating means 82: nut gripping means 9a: first cutting blade attaching / detaching mechanism 9b: second cutting blade attaching / detaching mechanism 91a: first cutting blade Grasp means 91b: second cutting blade grip means 92: support plate

Claims (1)

  1. 被加工物を保持する第1のチャックテーブル及び第2のチャックテーブルと、該第1及び第2のチャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた第1の切削手段及び第2の切削手段とを備え、該第1及び第2の切削手段がそれぞれ回転スピンドルと該回転スピンドルの先端部に螺合し該切削ブレードを締結するための締結ナットを備え、該第1の切削手段の回転スピンドルに装着された切削ブレードと該第2の切削手段の回転スピンドルに装着された切削ブレードとが対向して配設されている切削装置に配設され、該切削ブレードの各々を交換する切削ブレードの交換装置において、
    該第1及び第2の切削手段の該回転スピンドルから離隔した位置に配設され使用前の切削ブレードを収容する第1のブレード収容手段と使用済みの切削ブレードを収容する第2のブレード収容手段とをそれぞれ備えた第1のブレードラック及び第2のブレードラックと、該第1及び第2の切削手段の該締結ナットをそれぞれ着脱する第1の締結ナット着脱機構及び第2の締結ナット着脱機構と、該切削ブレードを該第1及び第2の切削手段の該回転スピンドルの先端にそれぞれ着脱する第1の切削ブレード着脱機構及び第2の切削ブレード着脱機構であって、それぞれ使用前の切削ブレードを把持する第1の切削ブレード把持手段と、使用済みの切削ブレードを把持する第2の把持手段とを備えている第1の切削ブレード着脱機構及び第2の切削ブレード着脱機構と、該第1及び第2の締結ナット着脱機構および該第1及び第2の切削ブレード着脱機構を支持する可動基板と、該可動基板を該第1及び第2の切削手段の切削ブレードが対向する方向に直交する方向に延在する案内レールに沿って移動し所定の位置に位置付ける位置付け手段とを備え
    該第1及び第2のブレードラックは、該切削ブレードが対向する方向に対向して配置され、該第1及び第2の締結ナット着脱機構の各々、及び該第1及び第2の切削ブレード着脱機構の各々は、該第1及び第2のブレードラックが対向する内側において、該切削ブレードが対向する方向に対向して該可動基板に配置され、
    該位置付け手段は、該可動基板を該案内レールに沿って該切削ブレードが対向する方向に直交する方向に移動させることにより、可動基板に配設された該第1及び第2の締結ナット着脱機構をそれぞれ該第1及び第2の切削手段の該回転スピンドルの先端面と対向するブレード着脱位置と、該第1及び第2の切削ブレード着脱機構をそれぞれ該ブレード着脱位置と該第1及び第2のブレードラックの該第1のブレード収容手段と対向する使用前ブレード受け取り位置および該第2のブレード収容手段と対向する使用済みブレード収納位置に位置付ける、
    ことを特徴とする切削ブレードの交換装置。
    A first chuck table and a second chuck table for holding a workpiece, the first cutting means and the having a cutting blade for cutting the workpiece held on the first and second chuck tables and a second cutting means, and a fastening nut for the first and second cutting means for fastening the screwed the cutting blade tip of each rotary spindle and the rotary spindle, the first The cutting blade mounted on the rotary spindle of the cutting means and the cutting blade mounted on the rotary spindle of the second cutting means are arranged facing each other . In the changing device for the cutting blade to be replaced,
    A first blade receiving means for receiving a cutting blade before use and a second blade receiving means for receiving a used cutting blade, which are disposed at positions separated from the rotary spindle of the first and second cutting means. first blade rack and the second blade enclosure and the first fastening nuts detaching mechanism and the second fastening nut detachment mechanism for attaching and detaching the clamping nut of the first and second cutting means each having preparative respectively When, a first cutting blade removal mechanism and the second cutting blade detachment mechanism for attaching and detaching each said cutting blade to the tip of the rotary spindle of the first and second cutting means, each prior to use cutting blades a first cutting blade gripping means for gripping the first to and a second gripping means for gripping the used cutting blade cutting blade removal mechanism and the second A blade removal mechanism work, the movable substrate a first and a second clamping nut detaching mechanism and the first and second cutting blade removal mechanism for supporting a movable substrate of the first and second cutting means cutting blade is moved along the guide rails which extend in a direction perpendicular to a direction opposite a positioning means for positioning in a predetermined position,
    The first and second blade racks are arranged to face each other in a direction in which the cutting blades face each other, and each of the first and second fastening nut attaching / detaching mechanisms, and the first and second cutting blade attaching / detaching units. Each of the mechanisms is arranged on the movable substrate so as to face the cutting blade in the facing direction on the inner side where the first and second blade racks face each other.
    The positioning means, by the cutting blade along the movable substrate in the guide rail is moved in a direction perpendicular to a direction opposite the fastening nut detachably disposed on the movable substrate said first and second a blade detaching position facing the front end face of the rotary spindle of the respective first and second cutting means mechanism, said first and second cutting blade removal mechanism, respectively the blade removably positioned with said first and second A pre-use blade receiving position opposite to the first blade accommodating means and a used blade accommodating position opposite to the second blade accommodating means of the two blade racks;
    An apparatus for exchanging a cutting blade.
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