JP4833759B2 - Liquid sealing device for liquid ring mount - Google Patents

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Description

本発明は、液封マウントの製造時にワーク内に液体を封入する装置に関し、特に封入口にノズルを接続するための構成に係る。   The present invention relates to an apparatus for enclosing a liquid in a workpiece when manufacturing a liquid ring mount, and particularly relates to a configuration for connecting a nozzle to an enclosure port.

従来より、自動車のエンジンマウントとしてゴム弾性体の内部に液体を封入した液封マウントが用いられている。この液封マウントを製造するときにはマウントワーク(液体が封入される前のもの)の液室内にエチレングリコール等の液体を封入するが、その際、エアの残留を防ぐために、まず、液室内の空気を真空ポンプ等により吸引して強制的に排気し、その後、液体を封入することが行われている。   Conventionally, a liquid seal mount in which a liquid is sealed inside a rubber elastic body has been used as an engine mount of an automobile. When manufacturing this liquid seal mount, a liquid such as ethylene glycol is sealed in the liquid chamber of the mount work (before the liquid is sealed). At that time, in order to prevent air from remaining, Is sucked by a vacuum pump or the like and forcibly exhausted, and then liquid is sealed.

例えば特許文献1に記載のものでは、マウントワークの上面に開口する液室への連通孔に液体充填管のノズルを上方から接続し、このノズルを介して、まず、真空ポンプにより液室内の空気を吸引する(真空引き)。そして、空気が十分に排出されたことを真空ゲージ等により確認した後に、液体充填管を給液管(給液ライン)に切替えて連通させ、そこから供給する液体を負圧により液室の隅々にまで充填するようにしている。
特開平2−253027号公報
For example, in the one described in Patent Document 1, a nozzle of a liquid filling pipe is connected from above to a communication hole to a liquid chamber that opens on the upper surface of the mount work, and first, air in the liquid chamber is firstly passed through this nozzle by a vacuum pump. Aspirate (vacuum). Then, after confirming that the air has been sufficiently discharged by a vacuum gauge or the like, the liquid filling pipe is switched to the liquid supply pipe (liquid supply line) for communication, and the liquid supplied from the liquid supply pipe is connected to the corner of the liquid chamber by negative pressure. I try to fill it up.
Japanese Patent Laid-Open No. 2-25307

ところで、前記のようにワークの液室内を真空引きするためには、その上面の開口(封入口)にノズルを気密に接続して、しっかりと押圧しなくてはならないが、一般的にノズルは装置側に取り付けられているので、作業者はワークを、その上面の封入口がノズルの真下に対峙するようにテーブル上に位置決めし、且つそれが動かないように保持しなくてはならない。   By the way, in order to evacuate the liquid chamber of the workpiece as described above, the nozzle must be airtightly connected to the opening (enclosure port) on the upper surface and pressed firmly. Since it is attached to the apparatus side, the operator must position the workpiece on the table so that the sealing port on the upper surface faces the nozzle, and hold it so that it does not move.

そこで、テーブル上には前記のようにワークを位置決めして保持するための保持具が設けられることになるが、このような保持具による位置決めを正確に行うためには、その保持具の寸法精度を高くしなくてはならないし、その上で、その保持具にワークをきっちりと嵌め込んでセットしなくてはならないから、このセット作業が面倒なものになってしまう。   Therefore, a holding tool for positioning and holding the workpiece as described above is provided on the table. In order to accurately perform positioning by such a holding tool, the dimensional accuracy of the holding tool is provided. It is necessary to increase the height of the workpiece, and then the workpiece must be fitted into the holder and set, which makes the setting work cumbersome.

しかも、仮にセットの仕方が悪くてワークの位置がずれると、その封入口とノズルとの接続状態が悪くなり、液室の真空引きが十分に行えなくなったり、封入液が漏れたりすることもあるから、そのような人為的なセットミスは極力、排除することが望ましい。   In addition, if the workpiece is misaligned due to poor setting, the connection state between the sealing port and the nozzle may be deteriorated, and the liquid chamber may not be evacuated sufficiently, or the sealed liquid may leak. Therefore, it is desirable to eliminate such artificial setting errors as much as possible.

また、凹凸の少ない円柱状のワークの場合は、その中心軸線周りの(つまり周方向の)位置決めを保持具によって正確に行うのが難しく、前記のような人為的なセットミスを招きやすいから、保持具との位置決めのためだけに、ワークに或る程度以上の大きさの突起や切り欠きを設けざるを得ない。このことはマウントの設計において本来は無用の制約となってしまう。   In addition, in the case of a cylindrical workpiece with few irregularities, it is difficult to accurately position the circumference of the central axis (that is, in the circumferential direction) with a holder, and it is easy to cause an artificial setting error as described above. A protrusion or notch with a certain size or more must be provided on the workpiece only for positioning with the holder. This is an essentially useless constraint in mount design.

斯かる諸点に鑑みて、本発明の目的とするところは、円柱状のマウントワークに液体を封入する場合でも、それに本来は不要な突起等を設けることなく、人為的なセットミスの発生を極力、抑えることができ、しかも、ワークを容易にセットすることができる液封入装置を提供することにある。   In view of such points, the object of the present invention is to prevent the occurrence of artificial setting errors as much as possible without providing unnecessary projections or the like even when liquid is sealed in a cylindrical mount work. An object of the present invention is to provide a liquid sealing apparatus that can be suppressed and that can easily set a workpiece.

前記の目的を達成するために、本発明の液封入装置では、マウントワークを回転テーブル上の保持具にセットすれば、その上面に開口する封入口の位置をセンサにより検出して、上方のノズルとの位置を自動的に合わせるように構成したものである。   In order to achieve the above object, in the liquid sealing apparatus of the present invention, when the mount work is set on a holder on the rotary table, the position of the sealing opening opened on the upper surface is detected by a sensor, and the upper nozzle It is configured to automatically adjust the position of.

すなわち、請求項1の発明は、マウントワークの液室内に液体を封入する液封マウント用の液封入装置を対象とし、前記マウントワークが略円柱状で、その一方の端面には中心軸線周りの所定半径の円周上に開口して、液室に連通する封入口が設けられている場合に、前記マウントワークを、前記一方の端面が上面となり且つその中心軸線が略回転中心となるようにして回転テーブル上に保持する保持具と、前記回転テーブルの上方に離間して、その回転中心線周りの前記所定半径の円周上にて下向きに配置されたノズルと、前記保持具により保持されたマウントワーク上面の封入口の位置を検出するためのセンサと、該センサからの信号を受けて、モータによって前記マウントワーク上面の封入口が上方のノズルと対峙するように前記回転テーブルを回転移動させる回転移動手段と、前記ノズル及び回転テーブルの少なくとも一方を互いに近接するよう上下方向に移動させて、当該ノズルをマウントワークの封入口に接続する接続移動手段と、を備えるものとする。 That is, the invention of claim 1 is directed to a liquid sealing device for a liquid ring mount that encloses a liquid in a liquid chamber of the mount work, and the mount work is substantially cylindrical, and one end surface of the mount work is around the central axis. When the sealing port is provided on the circumference of a predetermined radius and communicates with the liquid chamber, the mount work is arranged so that the one end surface is the upper surface and the central axis is the approximate rotation center. A holder that is held on the rotary table, a nozzle that is spaced above the rotary table and is disposed downward on the circumference of the predetermined radius around the rotation center line, and is held by the holder. a sensor for detecting the position of the sealing port mounting work top has, in response to a signal from said sensor, said rotation as filling port of the mounting workpiece upper surface facing the upper nozzle by a motor A rotary movement means for rotating the table, and a connection movement means for moving at least one of the nozzle and the rotary table in the vertical direction so as to be close to each other and connecting the nozzle to the sealing port of the mount work. To do.

前記構成の液封入装置では、作業者がマウントワークを、一方の端面が上になるようにして回転テーブル上の保持具にセットすると、この保持具によってマウントワークはその中心軸線が回転テーブルの回転中心と概略一致するように保持される。この状態でマウントワーク上面の封入口の位置に関する信号がセンサから出力され、この信号を受けた回転移動手段により回転テーブルが回転移動されて、前記封入口がその上方のノズルと対峙するようになる。そして、接続移動手段によって前記ノズル及び回転テーブルの少なくとも一方が、互いに近接するように上下方向に移動されて、当該ノズルがマウントワークの封入口に接続される。   In the liquid sealing apparatus having the above-described configuration, when the operator sets the mount work on the holder on the rotary table so that one end surface thereof is on the top, the center axis of the mount work is rotated by the holder. It is held so as to be approximately coincident with the center. In this state, a signal related to the position of the sealing port on the upper surface of the mount work is output from the sensor, and the rotary table is rotated and moved by the rotational movement means that receives this signal, so that the sealing port faces the nozzle above it. . Then, at least one of the nozzle and the rotary table is moved up and down by the connection moving means so as to be close to each other, and the nozzle is connected to the sealing port of the mount work.

すなわち、前記の構成によれば、ワークの載置された回転テーブルがセンサからの信号に基づいて回転移動され、封入口の位置が自動的に上方のノズルに合わされるので、人為的なセットミスが起こり難い。また、作業者がワークを保持具にセットするときには、そのワークの中心を回転テーブルの回転中心に概略合わせるだけでよく、その作業が容易なものである上に、そうして作業が容易な分、ミスはさらに起き難いと言える。   That is, according to the above configuration, the rotary table on which the work is placed is rotated based on the signal from the sensor, and the position of the sealing port is automatically adjusted to the upper nozzle. Is unlikely to occur. In addition, when an operator sets a workpiece on the holder, it is only necessary to roughly align the center of the workpiece with the center of rotation of the rotary table. It can be said that mistakes are even less likely to occur.

また、セットの際には前記のようにワークの中心軸線を合わせるだけでよく、その中心軸線の周りの正確な位置決めは不要なので、凹凸の少ない円柱状のワークであっても、保持具との位置決めのための突起等を設ける必要はない。   Moreover, when setting, it is only necessary to align the center axis of the workpiece as described above, and accurate positioning around the center axis is not necessary. There is no need to provide a protrusion or the like for positioning.

好ましいのは、前記のセンサを、回転テーブルの上方に離間してその回転中心線周りの所定半径の円周上に位置付けて、下方に対峙する前記封入口の位置を検出するように設けるとともに、そのセンサが封入口の位置を検出するまで、回転移動手段によって回転テーブルを回転移動させることである(請求項2の発明)。こうすれば、回転テーブル上に保持されたワークの封入口が周方向について大きく位置ずれしていても、その位置をセンサにより検出することができる。   Preferably, the sensor is provided on the circumference of a predetermined radius around the rotation center line so as to be spaced apart above the rotary table so as to detect the position of the sealing opening facing the lower side. The rotary table is rotated and moved by the rotation moving means until the sensor detects the position of the sealing port (invention of claim 2). In this way, even if the work inlet held on the rotary table is greatly displaced in the circumferential direction, the position can be detected by the sensor.

その場合に、より好ましいのは、前記ワークの一方の端面に、封入口を囲んでノズルの先端が当接する平面状のシール面を形成し、当該一方の端面において半径方向に延びるシール面の側縁部を段差状に形成して、この段差状の側縁部の位置をセンサにより検出することである(請求項3の発明)。   In that case, it is more preferable that a flat seal surface is formed on one end surface of the work so as to surround the sealing port and the tip of the nozzle abuts on the side of the seal surface extending in the radial direction at the one end surface. The edge is formed in a stepped shape, and the position of the stepped side edge is detected by a sensor (invention of claim 3).

こうすれば、例えばワークが少し傾いて回転テーブル上にセットされていて、その上面の封入口が半径方向に位置ずれしていても、この封入口よりも広い範囲に亘って半径方向に延びるシール面の側縁部はセンサにより検出することが可能である。尚、シール面の側縁部から封入口の中心までの距離は予め定められているから、側縁部を検出することは実質的に封入口の位置を検出することと同義である。   In this way, for example, even if the workpiece is set on the rotary table with a slight tilt, the seal extending in the radial direction over a wider range than the sealing port even if the sealing port on the upper surface is displaced in the radial direction. The side edge of the surface can be detected by a sensor. Since the distance from the side edge of the seal surface to the center of the sealing port is determined in advance, detecting the side edge is substantially synonymous with detecting the position of the sealing port.

前記構成の液封入装置を用いることが特に有効なのは、マウントワークが、その中心軸線の一方の端側に向かって開口する中空部を有する本体部材と、この本体部材に前記一方の端側から取り付けられ、前記中空部を閉ざして液室を形成する閉止部材とを備えており、この閉止部材上に封入口が開口している場合である(請求項4の発明)。   It is particularly effective to use the liquid sealing apparatus having the above-described configuration. The mount work has a main body member having a hollow portion that opens toward one end side of the central axis thereof, and is attached to the main body member from the one end side. And a closing member that forms a liquid chamber by closing the hollow portion, and an enclosure port is opened on the closing member (invention of claim 4).

すなわち、マウントワークが本体部材(以下、ワーク本体ともいう)と閉止部材とに分割され、その閉止部材に封入口が開口している場合、仮にテーブル上の保持具にワーク本体を正確に位置決めして保持できたとしても、そのワーク本体に対して閉止部材の位置がずれていると、そこに開口する封入口はノズルと位置が合わないことになる。   That is, when the mount work is divided into a main body member (hereinafter also referred to as a work main body) and a closing member, and the sealing member has an opening, the work main body is accurately positioned on the holder on the table. Even if it can be held, if the position of the closing member is deviated with respect to the work body, the sealing port that opens there does not align with the nozzle.

よって、そのような構造のマウントワークの場合に、上述した本発明の作用が特に有効なものとなるのである。逆に言えば、本発明の液封入装置を用いるのであれば、前記のような構造のマウントワークにおいて本体部材と閉止部材との間の周方向の位置決めは不要とすることも可能であり、こうすれば、マウントの構造を簡略化して、製造コストを削減できる可能性がある。   Therefore, in the case of a mount work having such a structure, the above-described action of the present invention is particularly effective. In other words, if the liquid sealing apparatus of the present invention is used, it is possible to eliminate the need for positioning in the circumferential direction between the main body member and the closing member in the mount work having the structure as described above. If so, there is a possibility that the manufacturing structure can be reduced by simplifying the structure of the mount.

以上、説明したように、本発明に係る液封マウント用の液封入装置によれば、回転テーブル上に載置したマウントワーク上面の封入口の位置をセンサにより検出し、これに応じて回転テーブルを回転移動させて、上方のノズルとの位置を自動的に合わせるようにしたから、人為的なセットミスの発生を極力、抑えることができる。また、作業者はワークを回転テーブルの回転中心に合わせてセットするだけでよく、その作業は非常に容易であり、凹凸の少ない円柱状のワークであっても位置決めのための突起等を設ける必要がないから、マウントの設計において無用の制約を生じることもない。   As described above, according to the liquid sealing device for a liquid ring mount according to the present invention, the position of the sealing port on the top surface of the mount work placed on the rotary table is detected by the sensor, and the rotary table is accordingly detected. Since the position of the nozzle is rotated and automatically aligned with the upper nozzle, the occurrence of an artificial setting error can be suppressed as much as possible. Also, the operator only has to set the work according to the rotation center of the rotary table, and the work is very easy, and it is necessary to provide a protrusion for positioning even a cylindrical work with few irregularities. As a result, there is no unnecessary restriction in the mount design.

以下、本発明の実施形態を図面に基いて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following description of the preferred embodiment is merely illustrative in nature, and is not intended to limit the present invention, its application, or its use.

(液封入装置の構成)
図1〜8は、本発明に係る液封入装置の実施形態を示し、この液封入装置は、加硫一体化成形によって別途、作成されたエンジンマウントのワークW(マウントワーク)に液体を封入するためのものである。図1には正面から見た装置の構成を概略的に示しており、本体フレーム1の上下方向の略中央部にはワークWの載置されるテーブル2が配設されている。このテーブル2は、円板状に形成された回転テーブルであり、図2に拡大して示すように、その上面の略中央部には、ワークWを正立状態で保持するための保持具3が配設されている。
(Configuration of liquid sealing device)
1 to 8 show an embodiment of a liquid sealing apparatus according to the present invention, and this liquid sealing apparatus encloses a liquid in a work W (mount work) of an engine mount separately created by vulcanization integrated molding. Is for. FIG. 1 schematically shows the configuration of the apparatus as viewed from the front, and a table 2 on which a workpiece W is placed is disposed at a substantially central portion in the vertical direction of the main body frame 1. The table 2 is a rotary table formed in a disk shape, and as shown in an enlarged view in FIG. 2, a holder 3 for holding the workpiece W in an upright state at a substantially central portion of the upper surface thereof. Is arranged.

すなわち、前記回転テーブル2は、詳しくは図4を参照して後述するが、移動機構4の電動サーボモータ40の作動によりギヤ41等を介して、上下方向の軸線Z(回転中心線)の周りに回転移動されるようになっており、保持具3は、概略円柱状のワークWをその中心軸線C(図3参照)が概略回転テーブル2の回転中心線Zと一致するようにして保持するものである。保持具3とワークWとのクリアランスは比較的大きく設定され、ワークWのセットは容易である。尚、この実施形態の保持具3には、ワークWのハウジングHのブラケット部h1を周方向の両側から挟んで位置決めする樹脂製の突起部3a,3aが設けられているが、これはなくてもよい。   That is, the rotary table 2 will be described later in detail with reference to FIG. 4, but around the vertical axis Z (rotation center line) through the gear 41 and the like by the operation of the electric servo motor 40 of the moving mechanism 4. The holder 3 holds the substantially columnar workpiece W so that the center axis C (see FIG. 3) coincides with the rotation center line Z of the general rotary table 2. Is. The clearance between the holder 3 and the workpiece W is set to be relatively large, and the workpiece W can be easily set. The holder 3 of this embodiment is provided with resin protrusions 3a and 3a for positioning the bracket portion h1 of the housing H of the workpiece W from both sides in the circumferential direction. Also good.

前記移動機構4は、回転テーブル2を上下方向に移動させるためのエアシリンダ45も備えている。このエアシリンダ45は、液封入装置の基台5の内部に上向きに配置され、そのロッド45aの先端に回転自在に連結された3本のシャフト46,46,…が、各々前記ギヤ41を上下方向に貫通して、回転テーブル2に連結されている。この回転テーブル2の上下動によりワークWは、そのセットが容易な最下位置(作業者の腰くらいの高さ)からバルブユニット6によって液が封入される最上位置まで、移動するようになる。   The moving mechanism 4 also includes an air cylinder 45 for moving the rotary table 2 in the vertical direction. The air cylinder 45 is disposed upward in the base 5 of the liquid sealing apparatus, and three shafts 46, 46,... Rotatably connected to the tip of the rod 45a respectively move the gear 41 up and down. It penetrates in the direction and is connected to the rotary table 2. As the rotary table 2 moves up and down, the workpiece W moves from the lowest position where it can be easily set (the height of the waist of the operator) to the highest position where the liquid is sealed by the valve unit 6.

前記バルブユニット6は、作業者の肩くらいの高さでフレーム1の前部に取り付けられた支持板7の上面に載置されており、詳しくは図6、7等を参照して後述するが、ワークWの上部に開口する液封入孔d2(図3を参照)に接続されるノズル8を備え、このノズル8をワークWの封入孔d2に気密に接続して、液室w1からの排気、そこへの液体の供給、及びノズル8内の残液の回収を切替えて行うことができるようになっている。   The valve unit 6 is mounted on the upper surface of a support plate 7 attached to the front portion of the frame 1 at a height about the operator's shoulder, and will be described in detail later with reference to FIGS. And a nozzle 8 connected to a liquid sealing hole d2 (see FIG. 3) that opens at the top of the workpiece W. The nozzle 8 is connected to the sealing hole d2 of the workpiece W in an airtight manner, and exhausted from the liquid chamber w1. The supply of the liquid thereto and the collection of the residual liquid in the nozzle 8 can be switched.

そのような封入孔d2へのノズル8の接続は、前記移動機構4の作動によって自動的に行われる。また、詳しくは図4、5を参照して後述するが、この実施形態では、回転テーブル2の保持具3にセットされたワークWの封入孔d2の位置を検出するためのセンサ10が設けられている。   The connection of the nozzle 8 to such a sealing hole d2 is automatically performed by the operation of the moving mechanism 4. Although details will be described later with reference to FIGS. 4 and 5, in this embodiment, a sensor 10 is provided for detecting the position of the sealing hole d <b> 2 of the workpiece W set in the holder 3 of the rotary table 2. ing.

−マウントMの構造−
ここで、図3に一例を示すように、ワークWであるエンジンマウントMは、図示しないブラケットにより車体側に連結される連結金具Aと、この連結金具Aの外周を離間して取り囲む円筒状のハウジングHとを備え、連結金具AがハウジングHの下端側(中心軸線Cの方向の他方の端側)から突出し、且つ両者が該軸線Z方向に相対変位可能なようにゴム弾性体Rによって連結されている。一方、ハウジングHの上端側(中心軸線C方向の一方の端側)の外周には、エンジン側に連結されるブラケット部h1が突設されている。
-Structure of mount M-
Here, as shown in FIG. 3, an engine mount M, which is a workpiece W, has a connecting metal A connected to the vehicle body by a bracket (not shown) and a cylindrical shape that surrounds the outer periphery of the connecting metal A in a spaced manner. A housing H, and a connecting metal fitting A protrudes from the lower end side of the housing H (the other end side in the direction of the central axis C) and is connected by a rubber elastic body R so as to be relatively displaceable in the axis Z direction. Has been. On the other hand, on the outer periphery of the upper end side (one end side in the direction of the central axis C) of the housing H, a bracket portion h1 connected to the engine side is projected.

図示の如くゴム弾性体Rは、下側に向かって窄んだ円錐状とされて、ハウジングHの上部内周と連結金具Aの上部外周とを連結しており、その上部にはハウジングHとの接合部を補強するために円筒状の補強金具r1が埋め込まれている。また、ゴム弾性体Rは上方に開口する中空部を有しており、このゴム弾性体RとハウジングHとによってワークWの本体部材(マウントワーク本体)が構成されている。   As shown in the drawing, the rubber elastic body R has a conical shape narrowed downward, and connects the upper inner periphery of the housing H and the upper outer periphery of the connection fitting A. In order to reinforce the joint portion, a cylindrical reinforcing metal fitting r1 is embedded. The rubber elastic body R has a hollow portion that opens upward, and the rubber elastic body R and the housing H constitute a main body member (mount work main body) of the work W.

そして、そのゴム弾性体Rの中空部の開口を閉ざすようにして、ワークWの本体部材に上方からオリフィス盤OとゴムダイヤフラムD(閉止部材)とが取り付けられている。このダイヤフラムDの外周寄りの部位は相対的に厚肉に形成されてオリフィス盤Oの外周全体を覆っており、そこにも補強金具d1が埋め込まれている。   The orifice plate O and the rubber diaphragm D (closing member) are attached to the main body member of the workpiece W from above so as to close the opening of the hollow portion of the rubber elastic body R. A portion near the outer periphery of the diaphragm D is formed to be relatively thick and covers the entire outer periphery of the orifice board O, and a reinforcing metal fitting d1 is also embedded therein.

そうしてダイヤフラムDにより開口を閉ざされるゴム弾性体Rの中空部は、後述の如く液体が封入されて液室w1とされ、この液室w1がオリフィス盤Oによって下方の主液室と上方の副液室とに区画される。これら主液室及び副液室は、オリフィス盤Oの外周寄りの部位に螺旋状に形成されたオリフィスo1によって互いに連通されており、その内部を流通する液体の抵抗によって振動を減衰させるようになっている。   Thus, the hollow portion of the rubber elastic body R whose opening is closed by the diaphragm D is filled with a liquid as will be described later to form a liquid chamber w1, and this liquid chamber w1 is separated from the lower main liquid chamber and the upper portion by the orifice plate O. It is divided into a secondary liquid chamber. The main liquid chamber and the sub liquid chamber are communicated with each other by an orifice o1 formed in a spiral shape at a portion near the outer periphery of the orifice plate O, and the vibration is attenuated by the resistance of the liquid flowing through the inside. ing.

また、ダイヤフラムDの外周寄りの部位には、図の例ではハウジングHのブラケット部h1と反対側にて半径方向内方への膨出部が形成され、そこを厚み方向(上下方向)に貫通して、下端がオリフィスo1を介して液室w1内に連通する孔部d2が形成されている。この孔部d2は、液室w1内への液体の封入孔であって、その略中央部には球状の拡径部が設けられており、後述の如くそこに鋼球Sが嵌め入れられることにより、閉止されるようになっている。   Further, in the example shown in the drawing, a radially inwardly bulging portion is formed on the opposite side of the housing H to the bracket portion h1 in the portion near the outer periphery of the diaphragm D, and penetrates in the thickness direction (vertical direction). Thus, a hole d2 having a lower end communicating with the liquid chamber w1 through the orifice o1 is formed. The hole d2 is a liquid sealing hole into the liquid chamber w1, and a spherically enlarged portion is provided at a substantially central portion thereof, and a steel ball S is fitted therein as described later. Due to this, it is closed.

この実施形態では、前記封入孔d2の上端開口(封入口)は、ワークWの中心軸線C周りの円周上に位置している。この円周の直径は、ダイヤフラムD中央寄りの薄肉部の寸法やオリフィス盤Oの寸法等によって決められる。また、開口の周囲ではダイヤフラムDの厚肉部が半径方向に延びる概略矩形状の範囲でさらに厚みを増して上方に突出しており、その上面がノズル8の先端と気密に当接する平面状のシール面d3とされている。図7にのみ示すが、シール面d3は、封入孔d2の周方向両側に位置する一対の側縁部がそれぞれ半径方向に延びる段差状に形成されている。   In this embodiment, the upper end opening (enclosure opening) of the enclosure hole d2 is located on the circumference around the central axis C of the workpiece W. The diameter of this circumference is determined by the dimension of the thin part near the center of the diaphragm D, the dimension of the orifice board O, and the like. Further, a thick seal portion of the diaphragm D protrudes upward in a substantially rectangular range extending in the radial direction around the opening, and has a flat seal whose upper surface is in airtight contact with the tip of the nozzle 8. The surface is d3. Although only shown in FIG. 7, the seal surface d3 is formed in a step shape in which a pair of side edge portions located on both sides in the circumferential direction of the sealing hole d2 extend in the radial direction.

−ノズルへの封入孔の接続−
前記のようなワークWに液体を封入するときには、それを回転テーブル2上の保持具3に正立状態でセットし、その上部に開口する封入口d2をバルブユニット6のノズル8に下方から接続する。すなわち、図2(b)に示すように、この実施形態では、支持板7の下面から下方に延びるようにノズル8と押さえ棒9,9とが設けられているが、それらは、回転テーブル2の回転中心線Zを中心とする前記封入孔d2と同じ半径の円周上に位置付けられており、それぞれの下端がダイヤフラムDの外周寄りの部位に当接するようになっている。
-Connection of sealing hole to nozzle-
When the work W is sealed with the work W as described above, it is set upright on the holder 3 on the rotary table 2 and the sealing port d2 opened at the top is connected to the nozzle 8 of the valve unit 6 from below. To do. That is, as shown in FIG. 2 (b), in this embodiment, the nozzle 8 and the pressing rods 9 and 9 are provided so as to extend downward from the lower surface of the support plate 7. Are located on a circumference having the same radius as that of the sealing hole d2 with the rotation center line Z as the center, and the lower ends of the respective holes are in contact with portions near the outer circumference of the diaphragm D.

より詳しくは、液封入装置の側方から見て図4に示すように、ワークWは、回転テーブル2上の保持具3に正立状態で、即ち封入孔d2の開口する上面を上向きにし、且つ中心軸線Cが概略、回転テーブル2の回転中心線Zと一致するようにして、保持される。ここで、保持具3とのクリアランスは比較的大きく、ワークWを嵌め込むことは容易である。そうして保持具3により保持されたワークWの上部に開口する封入孔d2は概略、回転テーブル2の回転中心線Z周りの円周上に位置することになる。   More specifically, as shown in FIG. 4 when viewed from the side of the liquid sealing device, the workpiece W is in an upright state with respect to the holder 3 on the rotary table 2, that is, the upper surface where the sealing hole d2 is opened faces upward. Further, the center axis C is generally held so as to coincide with the rotation center line Z of the turntable 2. Here, the clearance with the holder 3 is relatively large, and it is easy to fit the workpiece W therein. Thus, the sealing hole d <b> 2 that opens to the upper part of the work W held by the holder 3 is roughly located on the circumference around the rotation center line Z of the turntable 2.

一方、ノズル8は、前記したように上方の支持板7の下面において、回転テーブル2の回転中心線Zを中心とする封入孔d2と同じ半径の円周上に配置されているから、そのノズル8の真下に封入孔d2を位置付けるためには、ワークWを回転テーブル2によって回転移動させればよい。そこで、この実施形態では、保持具3にセットされたワークWの封入孔d2の位置を検出するためのセンサ10が設けられ、封入孔d2の位置検出時には、ノズル8の真下に位置付けられるようになっている。   On the other hand, the nozzle 8 is arranged on the circumference of the same radius as the sealing hole d2 around the rotation center line Z of the turntable 2 on the lower surface of the upper support plate 7 as described above. In order to position the sealing hole d <b> 2 directly below 8, the work W may be rotated by the rotary table 2. Therefore, in this embodiment, a sensor 10 for detecting the position of the sealing hole d2 of the workpiece W set in the holder 3 is provided, and is positioned directly below the nozzle 8 when the position of the sealing hole d2 is detected. It has become.

すなわち、センサ10は、ノズルユニット6を支持する支持板7の下方にて、ガイドシリンダ11,11により液封入装置の前後方向(図の左右方向)に移動可能に支持されており、エアシリンダ12により進退駆動されるようになっている。図には1つのみ示すが、ガイドシリンダ11,11は液封入装置の左右に並んで2つ設けられており、その外筒11a,11aは、エアシリンダ12の前端部と共に装置フレーム1側の縦壁部材13に固定されている。   That is, the sensor 10 is supported by the guide cylinders 11 and 11 below the support plate 7 that supports the nozzle unit 6 so as to be movable in the front-rear direction (left-right direction in the figure) of the liquid sealing device. It is designed to move forward and backward. Although only one is shown in the figure, two guide cylinders 11, 11 are provided side by side on the liquid sealing device, and the outer cylinders 11 a, 11 a are attached to the device frame 1 side together with the front end portion of the air cylinder 12. It is fixed to the vertical wall member 13.

一方、各ガイドシリンダ11,11の内筒11b,11bの前端部は、エアシリンダ12のロッド12aの前端部と共に連結板14に固定されるとともに、この連結板14を介してセンサ10にも連結されており、エアシリンダ12の作動によって、連結板14及びセンサ10が左右のガイドシリンダ11,11に案内されて前後に並行移動するようになる。尚、センサ10の上方にはガイドシリンダ11,11の前部までを覆うように、カバー部材15が設けられている。   On the other hand, the front end portions of the inner cylinders 11b, 11b of the guide cylinders 11, 11 are fixed to the connecting plate 14 together with the front end portion of the rod 12a of the air cylinder 12, and are also connected to the sensor 10 via the connecting plate 14. The operation of the air cylinder 12 causes the connecting plate 14 and the sensor 10 to be guided by the left and right guide cylinders 11 and 11 and to move in parallel back and forth. A cover member 15 is provided above the sensor 10 so as to cover up to the front portions of the guide cylinders 11 and 11.

そうして前後に進退移動されるセンサ10は、回転テーブル2の上昇に伴いワークWと干渉することがないよう、通常は図に実線で示す後退位置に位置付けられるが、回転テーブル2が最下位置にあって、その上のワークWの封入孔d2を検出するときには、図に仮想線で示す前進位置まで前進して、ノズル8の真下に位置付けられる。このセンサ10は図5に模式的に示すように、レーザ光Lを下方のワークWの上面(ダイヤフラムDの外周寄りの部位の上面)に向けて投射し、その反射光を受光して距離を測定する測長センサである。   Thus, the sensor 10 that is moved back and forth is normally positioned at a retracted position indicated by a solid line in the drawing so that the sensor 10 does not interfere with the workpiece W as the rotary table 2 rises. At the position, when detecting the sealing hole d2 of the workpiece W above it, it advances to the advance position shown by the phantom line in the figure and is positioned directly below the nozzle 8. As schematically shown in FIG. 5, the sensor 10 projects the laser light L toward the upper surface of the lower workpiece W (the upper surface of the portion near the outer periphery of the diaphragm D), receives the reflected light, and increases the distance. It is a length measuring sensor to measure.

そして、図5のようにセンサ10によって下方のワークW上面までの距離を計測しつつ、図に矢印で示すように回転テーブル2を回転移動させると、シール面d3の段差状側縁部にて測定距離が急変することから、センサ10の出力がステップ状に変化し、このことに基づいて側縁部が検出される。ここで、シール面d3の側縁部から封入孔d2の中心までの距離は予め定められているから、前記のように側縁部を検出することは実質的に封入孔d2の位置を検出することと同義である。   Then, when the rotary table 2 is rotated and moved as indicated by an arrow in the figure while measuring the distance to the upper surface of the lower workpiece W by the sensor 10 as shown in FIG. 5, at the stepped side edge of the seal surface d3. Since the measurement distance changes suddenly, the output of the sensor 10 changes stepwise, and the side edge is detected based on this. Here, since the distance from the side edge of the seal surface d3 to the center of the sealing hole d2 is determined in advance, detecting the side edge as described above substantially detects the position of the sealing hole d2. It is synonymous with that.

そうしてシール面d3の側縁部を検出した後に、そこから封入孔d2の中心までの距離の分、回転テーブル2を回転移動させれば、封入孔d2はセンサ10の真下に位置し、その上方のノズル8と上下方向に対峙するようになる。そこで、エアシリンダ12の作動によりセンサ10を後退させるとともに、回転テーブル2を上昇させれば、その上に保持したワークWの封入孔d2の周縁部(シール面d3)が下方からノズル8の先端に押し当てられて、封入孔d2とノズル8とが気密に接続されることになる。   Then, after detecting the side edge of the seal surface d3, if the rotary table 2 is rotated by the distance from there to the center of the sealing hole d2, the sealing hole d2 is positioned directly below the sensor 10, It faces the nozzle 8 above it in the vertical direction. Therefore, when the sensor 10 is moved backward by the operation of the air cylinder 12 and the rotary table 2 is raised, the peripheral edge portion (seal surface d3) of the sealing hole d2 of the work W held thereon is moved from below to the tip of the nozzle 8. As a result, the sealing hole d2 and the nozzle 8 are connected in an airtight manner.

そのような回転テーブル2の回転や昇降作動は、基台5の内部に設けられた移動機構4によって行われる。この移動機構4は、電動サーボモータ40により回転テーブル2を回転させる機構と、その回転テーブル2をエアシリンダ45によって上昇、下降させる機構とが一体的に設けられたものである。電動サーボモータ40は、図4には示さないが、液封入装置の基台5の天板5aの下部に取り付けられており、その出力軸に固設されたピニオン42(図1参照)を介してギヤ41を回転させる。このギヤ41の軸部41aは、天板5aにそれを貫通する軸受部43を介して回転自在に取り付けられている。   Such rotation and raising / lowering operation of the rotary table 2 is performed by a moving mechanism 4 provided inside the base 5. This moving mechanism 4 is integrally provided with a mechanism for rotating the rotary table 2 by the electric servo motor 40 and a mechanism for raising and lowering the rotary table 2 by the air cylinder 45. Although not shown in FIG. 4, the electric servo motor 40 is attached to the lower part of the top plate 5 a of the base 5 of the liquid sealing device, and via a pinion 42 (see FIG. 1) fixed to the output shaft thereof. The gear 41 is rotated. The shaft portion 41a of the gear 41 is rotatably attached to the top plate 5a via a bearing portion 43 that passes through the top plate 5a.

一方、昇降用のエアシリンダ45は、基台5の底板5bに上向きに配設されており、図1を参照して上述したように、その上端から延びるロッド45aの先端(上端)には、ジョイント部47により回転自在に3本のシャフト46,46,…が連結されている。この3本のシャフト46,46,…は、それぞれ、前記ギヤ41の軸部41aに形成された上下の貫通孔に摺動自在に挿入されて、その上端が各々回転テーブル2の下部に固定されている。   On the other hand, the air cylinder 45 for raising and lowering is arranged upward on the bottom plate 5b of the base 5, and as described above with reference to FIG. 1, the tip (upper end) of the rod 45a extending from the upper end thereof is Three shafts 46, 46,... Are connected to each other by a joint portion 47 so as to be freely rotatable. The three shafts 46, 46,... Are slidably inserted into upper and lower through holes formed in the shaft portion 41 a of the gear 41, and their upper ends are fixed to the lower portion of the rotary table 2. ing.

よって、前記電動サーボモータ40の作動によりギヤ41が回転されると、これと一体に3本のシャフト46,46,…が回転し、これにより回転テーブル2が回転される。また、エアシリンダ45のロッド45aが進退作動すると、前記3本のシャフト46,46,…はその軸方向、即ち上下方向に移動し、これにより回転テーブル2が上昇又は下降すされる。尚、図示しないが、エアシリンダ45には、高圧エアの供給方向を切換えるための電磁開閉バルブが付設されている。   Therefore, when the gear 41 is rotated by the operation of the electric servo motor 40, the three shafts 46, 46,... Rotate together with the gear 41, thereby rotating the turntable 2. Further, when the rod 45a of the air cylinder 45 moves forward and backward, the three shafts 46, 46,... Move in the axial direction, that is, the vertical direction, and thereby the rotary table 2 is raised or lowered. Although not shown, the air cylinder 45 is provided with an electromagnetic on-off valve for switching the supply direction of high-pressure air.

そのような電動サーボモータ40やエアシリンダ45の作動制御、即ち移動機構4の作動制御は、図示しないコントローラによって行われる。このコントローラ及び移動機構4の電動サーボモータ40やギヤ41等によって、ワークWの封入口d2が上方のノズル8と対峙するように回転テーブル2を回転移動させる回転移動手段が構成され、また、コントローラ及び移動機構4のエアシリンダ45やシャフト46,46,…等によって、前記回転テーブル2を上下方向に移動させて、その上のワークWの封入孔d2をノズル8に接続する接続移動手段が構成されている。   Such operation control of the electric servo motor 40 and the air cylinder 45, that is, operation control of the moving mechanism 4 is performed by a controller (not shown). The controller and the electric servo motor 40 of the moving mechanism 4, the gear 41, and the like constitute rotational moving means for rotating the rotary table 2 so that the sealing port d <b> 2 of the workpiece W faces the upper nozzle 8. Further, the connecting and moving means for moving the rotary table 2 in the vertical direction by the air cylinder 45 and the shafts 46, 46,... Of the moving mechanism 4 and connecting the sealing hole d2 of the workpiece W thereon to the nozzle 8 is configured. Has been.

−バルブユニット−
前記のようにしてワークWの封入孔d2が下端に接続されるノズル8の上端は、図6に示すように支持板7を上下に貫通していて、その上に配置されたバルブユニット6の本体部材20に接続されている。このバルブユニット本体20は、金属製ブロックからなり、図7のように上方から見た断面では4つの開閉バルブ21a,21b,22,23がT字状に配置され、それぞれにエアシリンダ71a,71b,72,73が一体的に連結されて、これによりスプールが開閉されるようになっている。
-Valve unit-
As shown in FIG. 6, the upper end of the nozzle 8 to which the sealing hole d2 of the workpiece W is connected to the lower end passes through the support plate 7 as shown in FIG. It is connected to the main body member 20. The valve unit main body 20 is made of a metal block, and four open / close valves 21a, 21b, 22, 23 are arranged in a T shape in a cross section viewed from above as shown in FIG. 7, and are respectively air cylinders 71a, 71b. , 72, 73 are integrally connected so that the spool is opened and closed.

また、バルブユニット本体20には、4つの開閉バルブ21a,21b,22,23に囲まれるように、略中央を上下に延びる共通通路20aが形成されている。すなわち、本体部材20は分割可能な円柱状の部材を有し、共通通路20aは、前記の部材を上下に貫通するとともに、当該部材に形成された分岐路(図示せず)によって各開閉バルブ21a,21b,22,23に連通している。この共通通路20aの下端がバルブユニット本体20の下面に開口して、ノズル8内の通路に連通している。   The valve unit body 20 is formed with a common passage 20a extending up and down substantially in the center so as to be surrounded by the four on-off valves 21a, 21b, 22, and 23. That is, the main body member 20 has a columnar member that can be divided, and the common passage 20a vertically penetrates the member, and each open / close valve 21a is formed by a branch passage (not shown) formed in the member. , 21b, 22, 23. The lower end of the common passage 20a opens to the lower surface of the valve unit body 20 and communicates with the passage in the nozzle 8.

一方、バルブユニット本体20の上面に開口する共通通路20aの上端は、その上面に重ねて配置された通路形成部材24内の通路24aに連通している。この通路24aは、バルブユニット本体20の共通通路20aへ鋼球Sを供給するためのもの(以下、供給通路24aともいう)であるが、これについては後述する。   On the other hand, the upper end of the common passage 20a that opens to the upper surface of the valve unit body 20 communicates with the passage 24a in the passage forming member 24 that is arranged on the upper surface. The passage 24a is for supplying the steel ball S to the common passage 20a of the valve unit body 20 (hereinafter also referred to as supply passage 24a), which will be described later.

前記図7の左側にて上下に並んだ2つの開閉バルブ21a,21bの一方が、液室w1に液体を供給するための給液ライン30に接続されている。この例では他方は予備であり、ラインには接続されていない。これは、開閉バルブ21a,21bに目詰まり等の故障を生じた場合でも、液封入装置の停止時間を最小化するためである(以下の説明では、2つの開閉バルブ21a,21bを区別することなく、単に開閉バルブ21と呼ぶ)。   One of the two open / close valves 21a and 21b arranged vertically on the left side of FIG. 7 is connected to a liquid supply line 30 for supplying liquid to the liquid chamber w1. In this example, the other is a spare and is not connected to a line. This is for the purpose of minimizing the stop time of the liquid sealing device even when a failure such as clogging occurs in the opening / closing valves 21a, 21b (in the following description, the two opening / closing valves 21a, 21b are distinguished from each other). It is simply referred to as the open / close valve 21).

また、同図の上側に位置する開閉バルブ22は、ワークWの液室w1から空気を排出するための排気ライン50に接続され、下側に位置する開閉バルブ23は、ノズル8内の通路やバルブユニット6の共通通路24a等に残留する液体を回収するための回収ライン60に接続されている。言い換えると、バルブユニット6は、ノズル8を給液ライン30、排気ライン50又は回収ライン60のいずれか1つに切替えて接続する切替バルブを構成している。   Further, the open / close valve 22 located on the upper side of the figure is connected to an exhaust line 50 for discharging air from the liquid chamber w1 of the workpiece W, and the open / close valve 23 located on the lower side is connected to a passage in the nozzle 8 or the like. It is connected to a recovery line 60 for recovering the liquid remaining in the common passage 24a and the like of the valve unit 6. In other words, the valve unit 6 constitutes a switching valve that connects the nozzle 8 by switching to one of the liquid supply line 30, the exhaust line 50, and the recovery line 60.

−液体供給系統−
次に図8を参照して、ワークWへの液体の供給系統について説明する。この実施形態では、液体を脱気しながら貯留する2つの貯留タンク31a,31bを備え、各貯留タンク31a,31bの下部には、それぞれ、給液ライン30の上流側で分岐した2つの分岐ライン30a,30bが接続されるとともに、この分岐ライン30a,30bをそれぞれ開閉する電磁開閉バルブ32a,32bが配設されている。また、各貯留タンク31a,31bの下部には、ドレンバルブ33a,33bも配設され、さらに、図外の液体補給装置から液体を補給するための補給ライン34が電磁開閉バルブ35a,35bを介して接続されている。
-Liquid supply system-
Next, a liquid supply system to the workpiece W will be described with reference to FIG. In this embodiment, two storage tanks 31 a and 31 b that store liquid while degassing are provided, and two branch lines that branch on the upstream side of the liquid supply line 30 are respectively provided below the storage tanks 31 a and 31 b. 30a and 30b are connected, and electromagnetic opening and closing valves 32a and 32b for opening and closing the branch lines 30a and 30b are provided. Further, drain valves 33a and 33b are also provided below the storage tanks 31a and 31b, and a replenishment line 34 for replenishing liquid from a liquid replenishing device (not shown) is provided via the electromagnetic open / close valves 35a and 35b. Connected.

すなわち、各貯留タンク31a,31bの内部には、それぞれ、貯留する液面の上限及び下限を決めるためのフロートスイッチSW,SW,…が配設され、液面が下限のフロートスイッチSWを下回れば、前記電磁開閉バルブ35a,35bが開かれて、補給ライン34から液体が補給される一方、液面が上限のフロートスイッチSWを上回れば、電磁開閉バルブ35a,35bは閉じられて、液体の補給が停止されるようになっている。   That is, float switches SW, SW,... For determining the upper and lower limits of the liquid level to be stored are arranged inside the storage tanks 31a, 31b, respectively, and the liquid level is below the lower limit float switch SW. When the electromagnetic on / off valves 35a and 35b are opened and liquid is supplied from the replenishment line 34, if the liquid level exceeds the upper limit float switch SW, the electromagnetic on / off valves 35a and 35b are closed to supply liquid. Is to be stopped.

一方、各貯留タンク31a,31bの上部には、貯留している液体を脱気するための脱気ライン36が接続されている。この実施形態の脱気ライン36は、後述する回収ライン60の途中に接続されていて、その接続部位から貯留タンク31a,31bまでの間に、真空レギュレータ37と真空計(図示せず)とが介設され、さらに貯留タンク31a,31bの直前で分岐したライン36a,36b上にそれぞれ電磁開閉バルブ38a,38bが介設されている。   On the other hand, a degassing line 36 for degassing the stored liquid is connected to the upper part of each storage tank 31a, 31b. The deaeration line 36 of this embodiment is connected in the middle of a recovery line 60 described later, and a vacuum regulator 37 and a vacuum gauge (not shown) are connected between the connection site and the storage tanks 31a and 31b. Further, electromagnetic open / close valves 38a and 38b are respectively provided on lines 36a and 36b branched immediately before the storage tanks 31a and 31b.

また、前記脱気ライン36の分岐ライン36a,36bには、それぞれの電磁開閉バルブ38a,38bと貯留タンク31a,31bとの間にさらに分岐路が接続されていて、この分岐路の各々に電磁開閉バルブ39a,39bが介設されている。この電磁開閉バルブ39a,39bを閉じて前記の電磁開閉バルブ38a,38bを開けば、回収ライン60の負圧により脱気ライン36を介して貯留タンク31a,31b内の空気を吸引し、その内部に貯留した液体を脱気することができる。一方、各分岐路の電磁開閉バルブ39a,39bを開けば、貯留タンク31a,31b内を大気開放することができる。   Further, branch lines 36a, 36b of the deaeration line 36 are further connected with branch paths between the respective electromagnetic open / close valves 38a, 38b and the storage tanks 31a, 31b. Open / close valves 39a and 39b are interposed. When the electromagnetic on / off valves 39a and 39b are closed and the electromagnetic on / off valves 38a and 38b are opened, the air in the storage tanks 31a and 31b is sucked through the deaeration line 36 by the negative pressure of the recovery line 60, The liquid stored in can be degassed. On the other hand, if the electromagnetic opening / closing valves 39a and 39b of the branch paths are opened, the storage tanks 31a and 31b can be opened to the atmosphere.

さらに、この実施形態では、前記給液ライン30にワークWへの給液量を予め計量するための計量シリンダ80が介設されている。計量シリンダ80の上流側及び下流側には、それぞれ開閉バルブ81,82が配設されていて、各々一体的に連結されたエアシリンダ74,75によって弁体が開閉されるようになっている。この計量シリンダ80は、その電動サーボシリンダ83によって駆動されるもので、その作動ストロークの制御は液体供給系統における電磁開閉バルブや真空ポンプ、或いは前記移動機構4のサーボモータ40等と同様にコントローラによって行われる。   Furthermore, in this embodiment, a measuring cylinder 80 for measuring the amount of liquid supplied to the workpiece W in advance is interposed in the liquid supply line 30. On the upstream side and downstream side of the measuring cylinder 80, open / close valves 81 and 82 are disposed, respectively, and the valve bodies are opened and closed by air cylinders 74 and 75 that are integrally connected to each other. The measuring cylinder 80 is driven by the electric servo cylinder 83, and the operation stroke is controlled by a controller in the same manner as the electromagnetic open / close valve and vacuum pump in the liquid supply system or the servo motor 40 of the moving mechanism 4 and the like. Done.

また、排気ライン50には高圧真空ポンプ51が接続されており、そこからバルブユニット6までの間に気液を分離するための分離タンク52が介設されている。分離タンク52の上部には開放バルブ53が、下部にはドレンバルブ54が、それぞれ取り付けられている。この排気ライン50は、前記給液ライン30によって液体を供給する前にワークWの液室w1から空気を吸引(真空引き)するためのものであり、そうして真空引きする液室w1内の圧力をモニタするため真空圧力計55が接続されている。   Further, a high-pressure vacuum pump 51 is connected to the exhaust line 50, and a separation tank 52 for separating gas and liquid is interposed between the high-pressure vacuum pump 51 and the valve unit 6. An open valve 53 is attached to the upper part of the separation tank 52, and a drain valve 54 is attached to the lower part. The exhaust line 50 is for sucking (evacuating) air from the liquid chamber w1 of the workpiece W before supplying the liquid by the liquid supply line 30, and thus the liquid chamber w1 in which the vacuum is evacuated. A vacuum pressure gauge 55 is connected to monitor the pressure.

さらに、回収ライン60は、給液後にノズル8やバルブユニット6の内部に残留する液体を吸引して回収するためのものであり、そうして液体を吸引するための真空ポンプ61に接続されるとともに、吸引される液体を回収して貯留する回収タンク62が介設されている。この回収タンク62は、前記分離タンク52と同様の構成であり、その上部には開放バルブ63が、その下部にはドレンバルブ64が、それぞれ取り付けられている。バルブユニット6から回収タンク62までの間で回収ライン60には前記脱気ライン36が接続されている。   Further, the collection line 60 is for sucking and collecting the liquid remaining in the nozzle 8 and the valve unit 6 after the liquid supply, and is thus connected to a vacuum pump 61 for sucking the liquid. At the same time, a collection tank 62 for collecting and storing the sucked liquid is provided. The recovery tank 62 has the same configuration as the separation tank 52, and an open valve 63 is attached to the upper part thereof, and a drain valve 64 is attached to the lower part thereof. The deaeration line 36 is connected to the recovery line 60 between the valve unit 6 and the recovery tank 62.

そして、前記給液ライン30、排気ライン50、及び回収ライン60の3つのラインのいずれかがバルブユニット6によって選択的にノズル8に接続されるようになっている。すなわち、バルブユニット6の開閉バルブ21が開かれれば、給液ライン30がノズル8に接続され、開閉バルブ22が開かれれば排気ライン50が、また、開閉バルブ23が開かれれば回収ライン60が、それぞれノズル8に接続される。   One of the three lines of the liquid supply line 30, the exhaust line 50, and the recovery line 60 is selectively connected to the nozzle 8 by the valve unit 6. That is, when the opening / closing valve 21 of the valve unit 6 is opened, the liquid supply line 30 is connected to the nozzle 8, the exhaust line 50 is opened when the opening / closing valve 22 is opened, and the recovery line 60 is opened when the opening / closing valve 23 is opened. Are connected to the nozzles 8 respectively.

尚、前記バルブユニット6の各開閉バルブ21〜23をそれぞれ駆動するエアシリンダ71a,71b,72,73、並びに、前記計量シリンダ80の開閉バルブ81,82をそれぞれ駆動するエアシリンダ74,75は、図示しないが、電磁切替バルブを介して工場の設備である高圧エア供給ラインに接続されている。   The air cylinders 71a, 71b, 72, 73 for driving the open / close valves 21 to 23 of the valve unit 6 and the air cylinders 74, 75 for driving the open / close valves 81, 82 of the measuring cylinder 80, respectively, Although not shown, it is connected to a high-pressure air supply line, which is plant equipment, via an electromagnetic switching valve.

−鋼球の供給及び嵌入機構−
次に、再び前記図6を参照して、ワークWの封入孔d2に鋼球Sを嵌め入れるための構造について説明する。まず、図示の如くバルブユニット6の本体部材20上に重ねられた通路形成部材24には、上下に延びる供給通路24a途中から分岐して、装置後方(同図の右方)に向かって直線的に延びるように分岐路24bが形成され、さらに、その分岐路24bの途中から分岐して上方に向かい、通路形成部材24の上面に開口する分岐孔24cが形成されている。
-Steel ball supply and insertion mechanism-
Next, referring to FIG. 6 again, a structure for fitting the steel ball S into the sealing hole d2 of the workpiece W will be described. First, as shown in the drawing, the passage forming member 24 superimposed on the main body member 20 of the valve unit 6 branches from the middle of the supply passage 24a extending vertically and linearly toward the rear of the apparatus (right side in the figure). A branch path 24 b is formed so as to extend in the direction of the branch path 24, and a branch hole 24 c that branches from the middle of the branch path 24 b and extends upward and opens on the upper surface of the path forming member 24 is formed.

前記分岐路24bは、通路形成部材24の後面まで延びてそこに開口しており、その開口には後方からロッド91が気密状態で挿入されている。このロッド91は、エアシリンダ92によって長手方向(装置の前後方向)に進退駆動されるようになっており、最も後退した位置では先端が分岐孔24cのやや後方に位置する一方、エアシリンダ92により駆動されて前進すれば、分岐路24bを通して鋼球Sを供給通路24aまで移動させるようになっている。   The branch path 24b extends to the rear surface of the passage forming member 24 and opens there, and a rod 91 is inserted into the opening from the rear in an airtight state. The rod 91 is driven to move back and forth in the longitudinal direction (the front-rear direction of the apparatus) by an air cylinder 92. The tip of the rod 91 is located slightly behind the branch hole 24c at the most retracted position. When driven forward, the steel ball S is moved to the supply passage 24a through the branch passage 24b.

一方、前記通路形成部材24の上面に開口する分岐孔24cは、その上方に対峙する大径のロッド93の上下動によって開閉されるようになっている。このロッド93もエアシリンダ94によって長手方向(上下方向)に進退駆動されるようになっており、最も前進(下降)した位置では下端部に配設されたOリング(図示せず)が分岐孔24cの開口周縁に密着して、それを気密に封止する一方、そこから所定量、後退(上昇)すれば分岐孔24cの開口を開放し、そこへの鋼球Sの進入を妨げないようになる。   On the other hand, the branch hole 24c opened on the upper surface of the passage forming member 24 is opened and closed by the vertical movement of the large-diameter rod 93 facing the upper side. This rod 93 is also driven forward and backward in the longitudinal direction (vertical direction) by the air cylinder 94, and an O-ring (not shown) disposed at the lower end portion is a branch hole at the most advanced (downward) position. While closely contacting the opening periphery of 24c and sealing it hermetically, if it retracts (rises) by a predetermined amount, the opening of the branch hole 24c is opened, so that the steel ball S does not interfere with the opening. become.

また、前記通路形成部材24の上面には、前後にスライド移動するようにスライド板95が配置されていて、その前部には鋼球Sを1つだけ収容可能な丸穴95aが厚み方向に貫通して形成されている一方、スライド板95の後端部はエアシリンダ96に連結されており、これにより前後方向に進退駆動されるようになっている。丸穴95aは、スライド板95が最も前進した位置にあるときに、下方の通路形成部材24上面に開口する分岐孔24cと連通する一方、スライド板95が最も後退すれば、以下に述べるように上方から供給される鋼球Sを受け入れる。   A slide plate 95 is disposed on the upper surface of the passage forming member 24 so as to slide back and forth, and a round hole 95a capable of accommodating only one steel ball S is formed in the thickness direction at the front portion thereof. On the other hand, the rear end portion of the slide plate 95 is connected to an air cylinder 96 so as to be driven back and forth in the front-rear direction. When the slide plate 95 is at the most advanced position, the round hole 95a communicates with the branch hole 24c opened on the upper surface of the lower passage forming member 24. On the other hand, if the slide plate 95 is most retracted, the round hole 95a will be described below. The steel ball S supplied from above is received.

すなわち、前記スライド板95の上には固定板97が重ねられて、スライド板95の左右両側で通路形成部材24に取り付けられており、この固定板97には、スライド板95の最後退位置でその丸穴95aに上方から連通するように、コネクタ98を介して可撓性チューブ99が取り付けられている。このチューブ99内には鋼球Sが数珠繋ぎになって収容されており、前記最後退位置にあるスライド板95の丸穴95aに、コネクタ98内の通路を介して鋼球Sを1つずつ供給するようになっている。   That is, a fixed plate 97 is overlaid on the slide plate 95 and attached to the passage forming member 24 on both the left and right sides of the slide plate 95, and the fixed plate 97 is positioned at the last retracted position of the slide plate 95. A flexible tube 99 is attached via a connector 98 so as to communicate with the round hole 95a from above. In this tube 99, steel balls S are stored in a chain, and the steel balls S are supplied to the round holes 95a of the slide plate 95 at the last retracted position one by one through a passage in the connector 98. It is supposed to be.

そうして供給された鋼球Sを1つ丸穴95a内に収容した状態で、エアシリンダ96の作動によりスライド板95がその最前進位置にまで移動すれば、丸穴95a内の鋼球Sは下方に開口する分岐孔24c内に落下して分岐路24bに至り、その後、前記したようにロッド91によって供給通路24aまで送られることになる。こうして送られた鋼球Sは供給通路24a内を落下して、連通するバルブユニット本体20の共通通路20aからノズル8内に到達し、図示の如くワークWの封入孔d2付近に停留するのである。   If the slide plate 95 is moved to its most advanced position by the operation of the air cylinder 96 in a state where one of the supplied steel balls S is accommodated in the round hole 95a, the steel ball S in the round hole 95a. Falls into the branch hole 24c that opens downward, reaches the branch path 24b, and is then sent to the supply passage 24a by the rod 91 as described above. The steel ball S sent in this way falls in the supply passage 24a, reaches the nozzle 8 from the common passage 20a of the communicating valve unit body 20, and stops in the vicinity of the sealing hole d2 of the workpiece W as shown in the figure. .

斯くの如く、ロッド91,93、スライド板95、エアシリンダ92,94,96、及びチューブ99等によって、通路形成部材24内の供給通路24aを介してノズル8へ鋼球Sを1つずつ供給する機構90(以下、供給機構という)が構成されている。そして、供給機構90によって供給された鋼球Sは、その後、嵌入機構100の作動によって、ワークWの封入孔d2に嵌め入れられるようになっている。   As described above, the steel balls S are supplied to the nozzle 8 one by one through the supply passage 24a in the passage forming member 24 by the rods 91 and 93, the slide plate 95, the air cylinders 92, 94 and 96, the tube 99, and the like. A mechanism 90 (hereinafter referred to as a supply mechanism) is configured. Then, the steel ball S supplied by the supply mechanism 90 is inserted into the enclosing hole d2 of the workpiece W by the operation of the insertion mechanism 100 thereafter.

すなわち、前記した通路形成部材24の共通通路24aは、上述したように下端がバルブユニット本体20の共通通路20aに連通する一方、その上端は、通路形成部材24の上部に付設された筒状部材25の内部に連通しており、この筒状部材25を介して、上方から気密状態でロッド101が挿入されている。このロッド101は、その下端側が共通通路20aを経てノズル8内の通路に亘って、進退するように設けられる一方、上端部はエアシリンダ102に連結されており、このエアシリンダ102の作動より長手方向(上下方向)に進退駆動されるようになっている。   That is, the common passage 24 a of the passage forming member 24 has a lower end communicating with the common passage 20 a of the valve unit main body 20 as described above, while an upper end of the common passage 24 a is a cylindrical member attached to the upper portion of the passage forming member 24. The rod 101 is inserted through the cylindrical member 25 in an airtight state from above. The rod 101 is provided so that its lower end side advances and retreats over the passage in the nozzle 8 via the common passage 20 a, while its upper end is connected to the air cylinder 102, which is longer than the operation of the air cylinder 102. It is driven forward and backward in the direction (vertical direction).

そして、前記ロッド101が最も後退(上昇)した位置では、その先端が筒状部材25内に留まり、通路形成部材24内で分岐路24bから供給通路24aへの鋼球Sの進入を妨げないようになる。一方、最も前進(下降)した位置ではロッド101の先端は、ノズル8の下端よりも下方に突出し、鋼球SをワークWの封入孔d2に押し込むようになる。つまり、前記ロッド101及びエアシリンダ102により、ノズル8を介してワークWの封入孔d2に鋼球Sを嵌め入れる嵌入機構100(嵌入手段)が構成されている。   At the position where the rod 101 is most retracted (raised), the tip remains in the cylindrical member 25 so as not to prevent the steel ball S from entering the supply passage 24a from the branch passage 24b in the passage formation member 24. become. On the other hand, at the most advanced (downward) position, the tip of the rod 101 protrudes below the lower end of the nozzle 8 and pushes the steel ball S into the sealing hole d2 of the workpiece W. That is, the rod 101 and the air cylinder 102 constitute a fitting mechanism 100 (fitting means) for fitting the steel ball S into the sealing hole d2 of the workpiece W through the nozzle 8.

(液封マウントの製造手順)
次に、液封マウントの製造手順について説明する。まず、ワークW自体の製造について簡単に説明すると、この実施形態の液封マウントMの場合、連結金具A及び補強金具r1を金型にセットするとともに、ゴム弾性体R及びゴム層となる所定量の未加硫ゴム組成物も金型にセットし、それらを加熱及び加圧して加硫一体化成形する。この際、連結金具A及び補強金具r1にはゴムとの接触部位に加硫接着剤を塗布しておく。
(Manufacturing procedure for liquid ring mount)
Next, a manufacturing procedure of the liquid seal mount will be described. First, the manufacture of the workpiece W itself will be briefly described. In the case of the liquid seal mount M of this embodiment, the connecting metal fitting A and the reinforcing metal fitting r1 are set in a mold, and a predetermined amount that becomes the rubber elastic body R and the rubber layer. These unvulcanized rubber compositions are also set in a mold, and these are heated and pressurized to be integrally vulcanized. At this time, a vulcanized adhesive is applied to the connecting metal A and the reinforcing metal r1 in contact with the rubber.

そうして得られた一体化形成物をハウジングH内に上方から嵌め入れて、ゴム弾性体Rの上端外周から突出する補強金具r1をハウジングHの上端内周に形成された段部に重ね合わせるとともに、その上方からハウジングH内にオリフィス盤OとダイヤフラムDとを嵌め入れて、該ダイヤフラムDの下端外周から突出する補強金具d1を前記ゴム弾性体Rの補強金具r1の上から重ね合わせる。そして、ハウジングHの上端外周の立壁部を内周側に折り曲げて、段部上に重ね合わされている補強金具r1,d1を上方からかしめれば、液体未封入のワークWが得られる。   The integrated product thus obtained is fitted into the housing H from above, and the reinforcing metal fitting r1 protruding from the outer periphery of the upper end of the rubber elastic body R is superposed on the step formed on the inner periphery of the upper end of the housing H. At the same time, the orifice plate O and the diaphragm D are fitted into the housing H from above, and the reinforcing metal fitting d1 protruding from the outer periphery of the lower end of the diaphragm D is overlaid on the reinforcing metal fitting r1 of the rubber elastic body R. Then, when the standing wall portion on the outer periphery of the upper end of the housing H is bent to the inner peripheral side and the reinforcing metal fittings r1 and d1 overlapped on the stepped portion are caulked from above, the workpiece W without liquid filling is obtained.

前記のように得られたワークWに液体を封入する方法は、上述した液封入装置を用いて液体を脱気する工程と、ワークWの封入孔d2にノズル8を接続する工程と、そのノズル8を介して液室w1内の空気を排気する工程と、排気後の液室w1に液体を供給する工程と、液体を満たした後に液室w1を密封する工程と、その後、ノズル8等に残留する液体を回収する工程と、を備えている。   The method for enclosing the liquid in the workpiece W obtained as described above includes a step of degassing the liquid using the above-described liquid enclosing device, a step of connecting the nozzle 8 to the enclosure hole d2 of the workpiece W, and the nozzle 8, the step of exhausting the air in the liquid chamber w1 through the step 8, the step of supplying the liquid to the liquid chamber w1 after the exhaust, the step of sealing the liquid chamber w1 after filling the liquid, and then the nozzle 8 etc. Recovering the remaining liquid.

−脱気工程−
最初に液体を脱気する工程について説明する。この脱気工程は、貯留タンク31内の液体を脱気する工程であり、前記排気工程、給液工程、密封工程及び回収工程と並行して、2つの貯留タンク31a,31bで交互に行われるものである。以下の説明では、2つの貯留タンク31a,31bを区別することなく、単に貯留タンク31と呼び、これに倣って電磁開閉バルブ38,39等も特に必要がなければ区別せずに説明する。尚、貯留タンク31には、既に液体が貯留されているものとする。
-Deaeration process-
First, the process of degassing the liquid will be described. This degassing step is a step of degassing the liquid in the storage tank 31, and is performed alternately in the two storage tanks 31a and 31b in parallel with the exhaust step, the liquid supply step, the sealing step and the recovery step. Is. In the following description, the two storage tanks 31a and 31b are simply referred to as the storage tank 31 without being distinguished from each other, and the electromagnetic on-off valves 38 and 39 are not distinguished from each other unless there is a particular need. It is assumed that the storage tank 31 has already stored the liquid.

貯留タンク31内の液体を脱気するときには、まず、脱気ライン36上に介設された電磁開閉バルブ38を開いて、真空レギュレータ37により調整しながら回収ライン60の負圧を貯留タンク31内へ導入する。尚、貯留タンク31に設けられた他のバルブは全て閉じておく。   When degassing the liquid in the storage tank 31, first, the electromagnetic opening / closing valve 38 provided on the degassing line 36 is opened, and the negative pressure of the recovery line 60 is adjusted in the storage tank 31 while being adjusted by the vacuum regulator 37. To introduce. All other valves provided in the storage tank 31 are closed.

そして、貯留タンク31内が所定の真空圧力に到達すれば、前記電磁開閉バルブ38を閉じて、貯留タンク31内を密閉空間にする。こうして、密閉された貯留タンク31内で液体の脱気を所定時間、行い、それに溶け込んでいる空気を除去することで、マウントMに封入した後に液中で気泡が生成することを防止でき、防振性能を安定的に確保する上で有利になる。   When the inside of the storage tank 31 reaches a predetermined vacuum pressure, the electromagnetic opening / closing valve 38 is closed to make the inside of the storage tank 31 a sealed space. In this way, the liquid is deaerated in the sealed storage tank 31 for a predetermined time, and the air dissolved therein is removed, so that bubbles can be prevented from being generated in the liquid after being sealed in the mount M. This is advantageous in ensuring stable vibration performance.

これに対し、接続工程、排気行程、給液工程、密封工程及び回収工程は、この順番の一連のシーケンスとして行われる。まず、作業者は、図1、2、4のように回転テーブル2が最下位置にある状態で、ワークWを回転テーブル2上の保持具3にセットする。この際、ワークWのハウジングHのブラケット部h1を手前にして、保持具3の突起部3a,3aに合わてセットすれば、当該ワークWはその中心軸線Cが概略、回転テーブル2の回転中心線Zと一致するようになる。それからフレーム1の最上部に配設されている操作盤16(図1参照)のスイッチを押して、液封入装置を作動させる。   On the other hand, the connection process, the exhaust process, the liquid supply process, the sealing process, and the recovery process are performed as a series of sequences in this order. First, the operator sets the workpiece W on the holder 3 on the turntable 2 in a state where the turntable 2 is at the lowest position as shown in FIGS. At this time, when the bracket W 1 of the housing H of the workpiece W is set to the front and set in accordance with the protrusions 3 a and 3 a of the holder 3, the workpiece W has a center axis C approximately and the rotation center of the turntable 2. It coincides with the line Z. Then, the switch of the operation panel 16 (see FIG. 1) disposed at the uppermost part of the frame 1 is pressed to operate the liquid sealing device.

−接続工程−
液封入装置が作動すると、まず、センサ10が前進してノズル8の真下に位置付けられ、図5に示すように下方のワークW上面までの距離を測定する。これとともに移動機構4のサーボモータ40が作動して、回転テーブル2上のワークWがその中心軸線Cの周りに回転される。これによりセンサ10による測距位置がダイヤフラムD上面の外周寄りの部位において周方向に移動し、シール面d3の段差状側縁部を通過すると、センサ10の出力がステップ状に変化することになる。
-Connection process-
When the liquid sealing apparatus is activated, first, the sensor 10 moves forward and is positioned directly below the nozzle 8, and the distance to the upper surface of the lower workpiece W is measured as shown in FIG. At the same time, the servo motor 40 of the moving mechanism 4 operates to rotate the workpiece W on the rotary table 2 around the central axis C thereof. As a result, when the distance measuring position by the sensor 10 moves in the circumferential direction at a portion near the outer periphery of the upper surface of the diaphragm D and passes through the stepped side edge of the seal surface d3, the output of the sensor 10 changes in a stepped manner. .

ここで、前記シール面d3の側縁部は封入孔d2よりも長くワークWの半径方向に延びているので、仮にワークWが少し傾いてセットされていて、封入孔d2がワークWの半径方向に位置ずれしており、それ自体はセンサ10による検出が難しい状態であっても、該センサ10によりシール面d3の側縁部は検出可能であり、間接的に封入孔d2の位置を検出することができる。   Here, since the side edge portion of the seal surface d3 is longer than the sealing hole d2 and extends in the radial direction of the workpiece W, the workpiece W is set to be slightly inclined, and the sealing hole d2 is set in the radial direction of the workpiece W. Even when the sensor 10 itself is difficult to detect, the side edge of the seal surface d3 can be detected by the sensor 10, and the position of the sealing hole d2 is indirectly detected. be able to.

そうして検出したシール面d3の側縁部から封入孔d2の中心までの距離の分、回転テーブル2が回転移動されて、封入孔d2がセンサ10の真下に、即ちノズル8の真下に位置するようになれば、エアシリンダ12の作動によってセンサ10が後退するとともに、移動機構4のエアシリンダ45の作動によって回転テーブル2が上昇し、その上のワークWの上面外周寄りの部位が上方のノズル8及び押さえ棒9,9の下端に押し付けられる。こうしてワークWの封入孔d2とノズル8とが気密に接続される。   The rotary table 2 is rotated by the distance from the side edge of the seal surface d3 thus detected to the center of the sealing hole d2, so that the sealing hole d2 is positioned directly below the sensor 10, that is, directly below the nozzle 8. Then, the sensor 10 is retracted by the operation of the air cylinder 12, and the rotary table 2 is lifted by the operation of the air cylinder 45 of the moving mechanism 4. The nozzle 8 and the pressing rods 9 and 9 are pressed against the lower ends. Thus, the sealing hole d2 of the workpiece W and the nozzle 8 are connected in an airtight manner.

−排気工程−
前記のようにワークWの封入孔d2とノズル8とが接続されるのと並行して、供給機構90のスライド板95が前進し、通路形成部材24の分岐孔24cに鋼球Sが1つだけ落下する。それからロッド93が下降して、分岐孔24cの開口を気密に封止する。
-Exhaust process-
As described above, the slide plate 95 of the supply mechanism 90 moves forward in parallel with the connection of the sealing hole d2 of the workpiece W and the nozzle 8, and one steel ball S is present in the branch hole 24c of the passage forming member 24. Just fall. Then, the rod 93 descends to hermetically seal the opening of the branch hole 24c.

そうして分岐孔24cの開口が気密に封止され、ワークWの液室w1に連通する通路形成部材24の通路24a〜24cとバルブユニット本体20の共通通路20aとが、全て外部から気密に遮断された状態で、当該バルブユニット6における排気ライン50の開閉バルブ22が開かれるとともに、該排気ライン50の高圧真空ポンプ51が作動する。   Thus, the opening of the branch hole 24c is hermetically sealed, and the passages 24a to 24c of the passage forming member 24 communicating with the liquid chamber w1 of the workpiece W and the common passage 20a of the valve unit body 20 are all airtight from the outside. In the shut-off state, the open / close valve 22 of the exhaust line 50 in the valve unit 6 is opened, and the high-pressure vacuum pump 51 of the exhaust line 50 is operated.

この高圧真空ポンプ51の作動によって、真空圧力スイッチ55をモニタしながらワークWの液室w1内の空気が吸引(真空引き)されて、強制的に排気される。この際、ノズル8や通路形成部材24、さらにはバルブユニット6内からも空気が排出される。そして、例えば液室w1内が所定の高真空圧状態になれば、高圧真空ポンプ51が停止するともに、バルブユニット6では排気ライン50の開閉バルブ22が閉じられる。   By the operation of the high-pressure vacuum pump 51, the air in the liquid chamber w1 of the workpiece W is sucked (evacuated) while monitoring the vacuum pressure switch 55, and is forcibly exhausted. At this time, air is also discharged from the nozzle 8, the passage forming member 24, and the valve unit 6. For example, when the inside of the liquid chamber w <b> 1 becomes a predetermined high vacuum pressure state, the high-pressure vacuum pump 51 stops and the valve unit 6 closes the open / close valve 22 of the exhaust line 50.

−給液工程−
前記のようにワークWの液室w1から空気が排出されれば、今度はバルブユニット6において給液ライン30の開閉バルブ21が開かれるとともに、該給液ライン30上の計量シリンダ80において下流側の開閉バルブ82が開かれ、且つサーボシリンダ83の作動によって吐出側にストロークされる。尚、上流側の開閉バルブ82は閉じられる。
-Liquid supply process-
When air is discharged from the liquid chamber w1 of the workpiece W as described above, the open / close valve 21 of the liquid supply line 30 is opened in the valve unit 6 and the downstream side of the measuring cylinder 80 on the liquid supply line 30 is opened. Open / close valve 82 is opened and the servo cylinder 83 is actuated to make a stroke toward the discharge side. The upstream opening / closing valve 82 is closed.

そうして計量シリンダ80のストロークによって開閉バルブ82から下流側の給液ライン30へ吐出された液体は、この給液ライン30を流通してバルブユニット6へ送給され、ノズル8を介してワークWの液室w1内に供給される。この際、液室w1内が負圧になっているので、液体はスムーズに供給されて液室w1の隅々にまで充填される。   Thus, the liquid discharged from the opening / closing valve 82 to the downstream liquid supply line 30 by the stroke of the measuring cylinder 80 flows through the liquid supply line 30 and is supplied to the valve unit 6, and the workpiece is supplied through the nozzle 8. The liquid is supplied into the W liquid chamber w1. At this time, since the inside of the liquid chamber w1 has a negative pressure, the liquid is smoothly supplied and filled into every corner of the liquid chamber w1.

また、液室w1に充填される液体の分量は、前記のように計量シリンダ80によって予め計量されているから、ワークWのハウジングHやゴム弾性体Rの大きさのばらつきやそれらを組み付ける際の誤差によって、液室w1の容積にばらつきがあっても、そのことによって液の封入量がばらつくことはない。   Further, since the amount of the liquid filled in the liquid chamber w1 is pre-measured by the measuring cylinder 80 as described above, the size of the housing H of the workpiece W and the rubber elastic body R are varied, and when assembling them. Even if there is a variation in the volume of the liquid chamber w1 due to an error, the amount of liquid filling does not vary.

−密封工程−
そうして液室w1内に液体が満たされれば、バルブユニット6では給液ライン30の開閉バルブ21が閉じられる。また、通路形成部材24の分岐路24bでは、そこに挿入されているロッド91が一旦、最後退位置まで後退した後に前進して、鋼球Sを供給通路24aに送り、続いてロッド101が下降して鋼球Sを、ノズル8内の通路を介してワークWの封入孔d2に嵌め入れる。
-Sealing process-
When the liquid chamber w1 is filled with the liquid, the valve unit 6 closes the open / close valve 21 of the liquid supply line 30. Further, in the branch passage 24b of the passage forming member 24, the rod 91 inserted therein temporarily advances to the last retracted position and then moves forward to feed the steel ball S to the supply passage 24a, and then the rod 101 descends. Then, the steel ball S is fitted into the sealing hole d2 of the workpiece W through the passage in the nozzle 8.

その際、鋼球Sの送られる分岐路24bや供給通路24a内が液によって満たされているため、そこを通って鋼球Sが封入孔d2に嵌入されるときに、空気が混入する虞れはない。また、封入孔d2から押し出された液体はノズル8内に留まり、外部にこぼれる心配はない。勿論、空気中の異物が封入液に混入する虞れもない。   At that time, since the inside of the branch path 24b and the supply path 24a through which the steel balls S are sent are filled with liquid, air may be mixed in when the steel balls S are inserted into the sealing holes d2 through the branches. There is no. Further, the liquid pushed out from the sealing hole d2 stays in the nozzle 8, and there is no fear of spilling outside. Of course, there is no possibility that foreign matter in the air is mixed into the sealing liquid.

−回収工程−
前記のように鋼球Sにより封入孔d2が閉止され、液室w1が密封されて、液封マウントMが完成すれば、バルブユニット6では回収ライン60の開閉バルブ23のみが開かれる。そうすると、該回収ライン60の真空ポンプ61は常時、作動しているので、回収タンク62内が負圧とされ、この負圧によってバルブユニット6や通路形成部材24、さらにはノズル8内に残留している液体が吸引されて、回収タンク62に回収される。
-Recovery process-
As described above, when the sealing hole d2 is closed by the steel ball S, the liquid chamber w1 is sealed, and the liquid seal mount M is completed, in the valve unit 6, only the open / close valve 23 of the recovery line 60 is opened. Then, since the vacuum pump 61 of the recovery line 60 is always operating, the recovery tank 62 has a negative pressure, and this negative pressure causes the valve unit 6, the passage forming member 24, and the nozzle 8 to remain. The sucked liquid is sucked and collected in the collection tank 62.

そして、予め設定されている時間が経過すれば、バルブユニット6では回収ライン60の開閉バルブ23が閉じられる。また、その間、給液ライン30においては既に脱気の完了している貯留タンク31の電磁開閉バルブ32が開かれ、計量シリンダ80においては下流側の開閉バルブ82が閉じられ、上流側の開閉バルブ81が開かれるとともに、サーボシリンダ83の作動によって吸入側へのストロークが行われて、そのストローク分の液体が吸入される。   When the preset time has elapsed, the valve unit 6 closes the open / close valve 23 of the recovery line 60. Meanwhile, in the liquid supply line 30, the electromagnetic opening / closing valve 32 of the storage tank 31 that has already been deaerated is opened, and in the measuring cylinder 80, the downstream opening / closing valve 82 is closed, and the upstream opening / closing valve. While 81 is opened, the stroke to the suction side is performed by the operation of the servo cylinder 83, and the liquid corresponding to the stroke is sucked.

尚、前記のように脱気の完了した貯留タンク31から計量シリンダ80へ液を供給する際には、電磁開閉バルブ32の開作動に先立って大気連通用の電磁開閉バルブ39が開かれ、貯留タンク31内が大気開放されている。   When supplying the liquid from the storage tank 31 that has been deaerated as described above to the measuring cylinder 80, the electromagnetic open / close valve 39 for air communication is opened prior to the opening operation of the electromagnetic open / close valve 32 to store the liquid. The tank 31 is open to the atmosphere.

以上のように液封マウントMが完成すれば、移動機構4のエアシリンダ45の作動によって回転テーブル2が最下位置まで下降し、作業者は、完成したマウントMを回転テーブル2上の保持具3から容易に取り外せるようになる。この際、前記したようにノズル8内から既に液体が除去されているので、上方のノズル8から液体が垂れる心配がなく、それを拭き取る手間も要らない。作業者は、完成したマウントMを取り外した後に、次のワークWを保持具3にセットして操作盤16のスイッチを押し、前記の各工程を実行すればよい。   When the liquid ring mount M is completed as described above, the rotary table 2 is lowered to the lowest position by the operation of the air cylinder 45 of the moving mechanism 4, and the operator holds the completed mount M on the rotary table 2. 3 can be easily removed. At this time, as described above, since the liquid has already been removed from the inside of the nozzle 8, there is no fear of the liquid dripping from the upper nozzle 8, and there is no need to wipe it off. After removing the completed mount M, the operator sets the next workpiece W on the holder 3 and presses the switch on the operation panel 16 to execute the above steps.

(作用効果)
したがって、この実施形態の液封入装置によると、作業者は、回転テーブル2上の保持具3にワークWをセットして、操作盤16のスイッチを押すだけで、そのワークWの封入孔d2にノズル8が接続され、該ノズル8を介して液室w1が真空引きされた後に、液が充填されて密封され、さらに残液の回収までもが一連のシーケンスとして自動的に行われる。
(Function and effect)
Therefore, according to the liquid sealing apparatus of this embodiment, the operator simply sets the work W on the holder 3 on the turntable 2 and presses the switch of the operation panel 16 to the sealing hole d2 of the work W. After the nozzle 8 is connected and the liquid chamber w1 is evacuated through the nozzle 8, the liquid is filled and sealed, and the remaining liquid is automatically recovered as a series of sequences.

つまり、作業者は、回転テーブル2上の保持具3にワークWの中心を合わせてセットするだけでよく、その後、センサ10によりワークWの封入孔2の位置が検出され、これに応じて回転テーブル2が回転されて、上方のノズル8との位置合わせから接続までが自動で行われるため、人為的なセットミスによってノズル8と封入孔d2との接続不良が生じることを防止できる。   That is, the operator only needs to set the center of the workpiece W on the holder 3 on the rotary table 2, and then the position of the sealing hole 2 of the workpiece W is detected by the sensor 10 and rotated according to this. Since the table 2 is rotated and the process from the alignment to the connection with the upper nozzle 8 is automatically performed, it is possible to prevent a defective connection between the nozzle 8 and the sealing hole d2 due to an artificial setting error.

特にこの実施形態では、センサ10によりワークWの封入孔d2を直接、検出するのではなく、それを囲むシール面d3の側縁部を検出するようにしており、仮にワークWが少し傾いてセットされていても、間接的に封入孔d2を検出することができるから、人為的なセットミスをより確実に防止できる。   In particular, in this embodiment, the sensor 10 does not directly detect the sealing hole d2 of the workpiece W, but detects the side edge portion of the seal surface d3 surrounding the workpiece W. Even if it is done, since the sealing hole d2 can be indirectly detected, an artificial set error can be prevented more reliably.

また、この実施形態のワークWは、ハウジングH及びゴム弾性体Rからなる本体部材にオリフィス盤O及びダイヤフラムDをかしめて固定するようにしており、そのダイヤフラムDに封入孔d2が設けられていることから、そのダイヤフラムDの組み付け位置がずれていると、封入孔d2の位置が上方のノズル8に対して周方向に大きくずれる可能性がある。   In addition, the workpiece W of this embodiment is configured such that an orifice board O and a diaphragm D are caulked and fixed to a main body member made of a housing H and a rubber elastic body R, and an enclosure hole d2 is provided in the diaphragm D. Therefore, if the assembly position of the diaphragm D is shifted, the position of the sealing hole d2 may be largely shifted in the circumferential direction with respect to the upper nozzle 8.

この点、前記液封入装置ではセンサ10をノズル8の真下に位置付けて、そのセンサ10により封入口d2の位置を検出するまで、回転テーブル2を回転させるようにしているので、前記のように封入孔d2の位置が周方向に大きくずれていても、その位置を確実に検出することができる。   In this respect, in the liquid sealing device, the sensor 10 is positioned directly below the nozzle 8, and the rotary table 2 is rotated until the position of the sealing port d2 is detected by the sensor 10, so that the sealing is performed as described above. Even if the position of the hole d2 is greatly deviated in the circumferential direction, the position can be reliably detected.

逆に言えば、本発明に係る液封入装置を用いるのであれば、ワークWの本体部材にオリフィス盤OやダイヤフラムDを組み付ける際の周方向の位置決めは不要とすることも可能であり、こうすれば、マウントMの構造を簡略化して、製造コストを削減することもできる。   Conversely, if the liquid sealing apparatus according to the present invention is used, it is possible to eliminate positioning in the circumferential direction when assembling the orifice panel O or the diaphragm D to the main body member of the workpiece W. For example, the structure of the mount M can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.

尚、本発明は、前記実施形態の構成に限定されるものではなく、その他の種々の構成をも包含する。すなわち、前記の実施形態では、ワークWのハウジングHの外周から突出するようにブラケット部h1が設けられているが、このような突出部を有しない(つまり凹凸の少ない)円柱状のワークを用いることもできる。この場合でもワークの中心を回転テーブル2の回転中心に合わせてセットすれば、センサ10により封入孔d2の位置を検出して、それをノズル8に自動で接続することができる。   In addition, this invention is not limited to the structure of the said embodiment, It includes other various structures. That is, in the above-described embodiment, the bracket portion h1 is provided so as to protrude from the outer periphery of the housing H of the workpiece W, but a columnar workpiece that does not have such a protruding portion (that is, has less unevenness) is used. You can also. Even in this case, if the center of the workpiece is set in accordance with the rotation center of the turntable 2, the position of the sealing hole d2 can be detected by the sensor 10 and can be automatically connected to the nozzle 8.

言い換えると、そのような円柱状のワークを用いる場合でも、液封入装置への位置決めのためだけに突起等を設ける必要がないから、マウントMの設計において無用の制約を生じることがない、と言うことができる。   In other words, even when such a columnar workpiece is used, it is not necessary to provide a protrusion or the like only for positioning to the liquid sealing device, so that there is no unnecessary restriction in the design of the mount M. be able to.

また、前記の実施形態ではワークWの本体部材に組み付けられるダイヤフラムDに液の封入孔d2を設けているが、これに限るものではないし、前記実施形態のような縦型の液封マウントMに限らず、その他の液封マウントにも、本発明の封入装置を適用できる。   In the above embodiment, the liquid sealing hole d2 is provided in the diaphragm D assembled to the main body member of the workpiece W. However, the present invention is not limited to this, and the vertical liquid sealing mount M as in the above embodiment is used. The sealing device of the present invention can be applied to other liquid seal mounts.

また、前記実施形態の液封入装置では、センサ10をノズル8の真下に位置付けて、その真下において封入孔d2の位置を検出するようにしているが、これに限らず、回転テーブル2の回転中心線Zを中心とする円周上の任意の位置で封入孔d2を検出し、そこからノズル8の真下に封入孔d2が移動するように、回転テーブル2を回転させるようにしてもよい。   Further, in the liquid sealing apparatus of the above embodiment, the sensor 10 is positioned directly below the nozzle 8 and the position of the sealing hole d2 is detected directly below the sensor 8. However, the present invention is not limited thereto, and the rotation center of the rotary table 2 is not limited thereto. The rotary table 2 may be rotated such that the sealing hole d2 is detected at an arbitrary position on the circumference centered on the line Z and the sealing hole d2 is moved directly below the nozzle 8.

さらに、前記実施形態の液封入装置では、封入孔d2を囲むシール面d3の側縁部の位置をセンサ10により検出するようにしているが、これに限らず、封入孔d2の位置を直接、検出するようにしてもよい。   Furthermore, in the liquid sealing apparatus of the embodiment, the position of the side edge of the seal surface d3 surrounding the sealing hole d2 is detected by the sensor 10, but not limited to this, the position of the sealing hole d2 is directly You may make it detect.

以上、説明したように、本発明は、液封マウントへの液封入装置において、ワークを容易にセットすることができるにも拘わらず、人為的なセットミスの発生を極力、抑えることができるので、有用である。   As described above, the present invention can suppress the occurrence of an artificial setting error as much as possible in the liquid sealing device to the liquid seal mount, although the work can be easily set. Is useful.

実施形態の液封入装置の概略構成を示す正面図である。It is a front view which shows schematic structure of the liquid sealing apparatus of embodiment. (a)は、ワークをセットしたテーブルとその上方のバルブユニットとを示す斜視図であり、(b)は、特にノズルの位置を示す下方からの斜視図である。(a) is a perspective view which shows the table | surface which set the workpiece | work, and the valve unit above it, (b) is a perspective view from the lower part which shows the position of a nozzle especially. 液封マウントの構造の一例を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows an example of the structure of a liquid seal mount. 回転テーブルの移動機構とセンサの構成とを示す側面図である。It is a side view which shows the moving mechanism of a rotary table, and the structure of a sensor. ワークの封入孔の位置をセンサにより検出する様子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a mode that the position of the enclosure hole of a workpiece | work is detected with a sensor. バルブユニットや鋼球の供給及び嵌入機構の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of supply of a valve unit and a steel ball, and an insertion mechanism. バルブユニットの構成を示す図6のVII-VII線断面図である。It is the VII-VII sectional view taken on the line of FIG. 6 which shows the structure of a valve unit. 液体供給系統の回路構成を示すシステム図である。It is a system diagram which shows the circuit structure of a liquid supply system.

M 液封マウント
W ワーク(マウントワーク)
w1 液室
C ワークの中心軸線
D ダイヤフラム(閉止部材)
d2 封入孔(封入口)
d3 シール面
H ハウジング(マウントワーク本体)
R ゴム弾性体(マウントワーク本体)
Z 回転テーブルの回転中心線
2 回転テーブル
3 保持具
4 移動機構(回転移動手段、接続移動手段)
8 ノズル
10 センサ
M Liquid seal mount W Work (mount work)
w1 Liquid chamber C Center axis D of work piece Diaphragm (closing member)
d2 Sealing hole (sealing port)
d3 Seal surface H Housing (mount work body)
R Rubber elastic body (mount work body)
Z Rotation center line 2 of rotation table 3 rotation table 3 holder 4 movement mechanism (rotation movement means, connection movement means)
8 Nozzle 10 Sensor

Claims (4)

マウントワークの液室内に液体を封入する液封マウント用の液封入装置であって、
前記マウントワークは略円柱状とされ、その一方の端面には中心軸線周りの所定半径の円周上に開口して、液室に連通する封入口が設けられており、
前記マウントワークを、前記一方の端面が上面となり且つその中心軸線が略回転中心となるようにして回転テーブル上に保持する保持具と、
前記回転テーブルの上方に離間して、その回転中心線周りの前記所定半径の円周上にて下向きに配置されたノズルと、
前記保持具により保持されたマウントワーク上面の封入口の位置を検出するためのセンサと、
前記センサからの信号を受けて、モータによって前記マウントワーク上面の封入口が上方のノズルと対峙するように前記回転テーブルを回転移動させる回転移動手段と、
前記ノズル及び回転テーブルの少なくとも一方を互いに近接するよう上下方向に移動させて、当該ノズルをマウントワークの封入口に接続する接続移動手段と、
を備えることを特徴とする液封マウント用の液封入装置。
A liquid sealing device for liquid seal mounting that seals liquid in a liquid chamber of a mount work,
The mount work has a substantially cylindrical shape, and one end face thereof is provided with a sealing port that opens on a circumference of a predetermined radius around the central axis and communicates with the liquid chamber.
A holder for holding the mount work on the rotary table such that the one end surface is an upper surface and the center axis thereof is substantially the rotation center;
A nozzle spaced apart above the turntable and disposed downward on a circumference of the predetermined radius around the rotation center line;
A sensor for detecting the position of the sealing port on the upper surface of the mount work held by the holder;
Rotational movement means for receiving the signal from the sensor and rotating the rotary table so that the sealing port on the upper surface of the mount work faces the upper nozzle by a motor ;
Connection moving means for moving at least one of the nozzle and the rotary table in the vertical direction so as to be close to each other, and connecting the nozzle to the sealing port of the mount work;
A liquid sealing apparatus for a liquid ring mount, comprising:
ワークの封入口の位置を検出するためのセンサは、回転テーブルの上方に離間してその回転中心線周りの所定半径の円周上に位置付けられ、下方に対峙する前記封入口の位置を検出するように設けられており、
回転移動手段は、前記センサが封入口の位置を検出するまで回転テーブルを回転移動させるように構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の液封入装置。
The sensor for detecting the position of the work inlet is positioned above the rotary table and positioned on the circumference of a predetermined radius around the rotation center line, and detects the position of the inlet facing the lower side. Is provided as
2. The liquid sealing apparatus according to claim 1, wherein the rotation moving unit is configured to rotate the rotary table until the sensor detects the position of the sealing port.
マウントワークの一方の端面には、封入口を囲んでノズルの先端が当接する平面状のシール面が形成され、
前記一方の端面において半径方向に延びる前記シール面の側縁部が段差状に形成され、
前記封入口の位置を検出するためのセンサは、前記シール面の段差状の側縁部の位置を検出するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の液封入装置。
A flat seal surface is formed on one end surface of the mount work so as to surround the sealing port and contact the tip of the nozzle.
A side edge portion of the sealing surface extending in the radial direction at the one end surface is formed in a step shape,
The liquid sealing apparatus according to claim 2, wherein the sensor for detecting the position of the sealing port is configured to detect a position of a stepped side edge of the seal surface.
マウントワークは、その中心軸線の一方の端側に向かって開口する中空部を有する本体部材と、この本体部材に前記一方の端側から取り付けられ、前記中空部を閉ざして液室を形成する閉止部材とを備え、この閉止部材上に封入口が開口しているものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の液封入装置。   The mount work has a main body member that has a hollow portion that opens toward one end side of the central axis thereof, and a closed body that is attached to the main body member from the one end side and closes the hollow portion to form a liquid chamber. The liquid sealing device according to any one of claims 1 to 3, wherein a sealing port is opened on the closing member.
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