JP4767117B2

JP4767117B2 - Liquid sealing device for liquid ring mount

Info

Publication number: JP4767117B2
Application number: JP2006199866A
Authority: JP
Inventors: 敏明坂井
Original assignee: Kurashiki Kako Co Ltd
Current assignee: Kurashiki Kako Co Ltd
Priority date: 2006-07-21
Filing date: 2006-07-21
Publication date: 2011-09-07
Anticipated expiration: 2026-07-21
Also published as: JP2008025740A

Description

本発明は、液封マウントの製造に関し、特にマウントワークの液室内に液体を封入する方法に用いる装置に係る。 The present invention relates to the production of liquid sealed mount, in particular according to the apparatus used in how to encapsulate the liquid into the liquid chamber of the mounting work.

従来より、自動車のエンジンマウントにはゴム弾性体の内部に液体を封入した液封マウントが広く用いられている。この液封マウントを製造するときにはマウントワーク（液体が封入される前のもの）の液室内にエチレングリコール等の液体を封入するが、その際、エアの残留を防ぐために、まず、液室内の空気を真空ポンプ等により吸引して強制的に排気し、その後、液体を封入するようにしている。 Conventionally, a liquid seal mount in which a liquid is sealed in a rubber elastic body has been widely used for an engine mount of an automobile. When manufacturing this liquid seal mount, a liquid such as ethylene glycol is sealed in the liquid chamber of the mount work (before the liquid is sealed). At that time, in order to prevent air from remaining, Is forcibly evacuated by suction with a vacuum pump or the like, and then liquid is sealed.

すなわち、例えば特許文献１に記載のものでは、マウントワークの液室に連通する開口（封入口）に液体充填管のノズルを挿入し、このノズルを介して、まず、真空ポンプにより液室内の空気を吸引する。そして、空気が十分に排出されたことを真空ゲージ等により確認した後に、液体充填管を給液管（給液ライン）に連通させて、そこから供給する液体を負圧により液室の隅々にまで充填させる。 That is, for example, in the device described in Patent Document 1, a nozzle of a liquid filling tube is inserted into an opening (enclosure) communicating with a liquid chamber of a mount work, and air in the liquid chamber is firstly passed through this nozzle by a vacuum pump. Aspirate. Then, after confirming that the air has been sufficiently discharged by a vacuum gauge or the like, the liquid filling pipe is communicated with the liquid supply pipe (liquid supply line), and the liquid supplied from the liquid supply pipe is discharged to every corner of the liquid chamber by negative pressure. Fill up to.

ところで、そうして液体を封入したマウントを実際に使用するときには、エンジン等から振動入力がないときでも、その静荷重によりゴム弾性体が変形し、液圧の上昇を受けてダイヤフラムが外方に大きく膨出した状態になる。つまり、振動入力前に既にダイヤフラムに張力が印可されることになり、これにより振動入力時のダイヤフラムの変形が規制される懸念があった。 By the way, when actually mounting a liquid-filled mount, even when there is no vibration input from the engine or the like, the elastic elastic body is deformed by the static load, and the diaphragm is moved outward due to the increase of the hydraulic pressure. It will be in a state of bulging. That is, tension is already applied to the diaphragm before vibration input, and there is a concern that deformation of the diaphragm at the time of vibration input is restricted.

これに対し、例えば特許文献２に記載の方法では、マウントのダイヤフラムを外方から加圧して液室内方へ没入させ、該液室内の仕切板に押し当てて保持しながら、そこへ液体を供給するようにしている。こうして液室の容積を狭めることにより液体の充填量を制限すれば、エンジン等の静荷重を受けたときでもダイヤフラムが外方に大きく膨出することはなくなり、振動入力前のダイヤフラムに無用の張力が印可されることがない。
特開平２−２５３０２７号公報特許第２９１４４６１号公報 On the other hand, for example, in the method described in Patent Document 2, the diaphragm of the mount is pressurized from the outside to be immersed in the liquid chamber, and the liquid is supplied thereto while being pressed against the partition plate in the liquid chamber. Like to do. If the liquid filling amount is limited by reducing the volume of the liquid chamber in this way, the diaphragm will not bulge outward even when subjected to a static load such as an engine, and unnecessary tension is applied to the diaphragm before vibration input. Is never applied.
Japanese Patent Laid-Open No. 2-25307 Japanese Patent No. 2914461

しかしながら、前記後者の従来例（特許文献２）のように、ダイヤフラムを液室内方へ没入させて液体の充填量を制限するようにした場合でも、その充填量のばらつきをなくすことはできない。すなわち、ダイヤフラムの肉厚や硬度には個体ばらつきがあるので、それを加圧して仕切板に押し当てても、実際には仕切板とダイヤフラムとの間に隙間が残り、その分のばらつきが生じる。 However, as in the latter conventional example (Patent Document 2), even when the diaphragm is immersed in the liquid chamber and the liquid filling amount is limited, the variation in the filling amount cannot be eliminated. In other words, since the thickness and hardness of the diaphragm have individual variations, even if it is pressed and pressed against the partition plate, a gap remains between the partition plate and the diaphragm, and the corresponding variation occurs. .

また、そもそもマウントのハウジングやゴム弾性体の大きさにばらつきがあり、それらを組み付ける際の誤差もあるので、液室の容積自体にも個体ばらつきを生じることになり、前記のように仕切板とダイヤフラムとの隙間によるばらつきと合わせて、液室への充填量が或る程度以上、ばらつくことは避けられない。 Also, since there are variations in the size of the mount housing and rubber elastic body in the first place and there are errors when assembling them, the volume of the liquid chamber itself will also vary individually, and as described above Along with variations due to the gap with the diaphragm, it is inevitable that the filling amount of the liquid chamber varies to some extent.

そうしてマウントへの液の封入量がばらつくと、このことが該マウントの特性にばらつきを生じ、その防振性能を安定的に確保する上で不利になる。 Thus, if the amount of liquid enclosed in the mount varies, this causes variations in the characteristics of the mount, which is disadvantageous in stably securing the anti-vibration performance.

本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、液封マウントの製造時にワークへの液の封入量のばらつきを解消することにある。 The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to eliminate variations in the amount of liquid filled in a workpiece when a liquid ring mount is manufactured.

前記の目的を達成するために、本発明では、従来までと同様にマウントワークの封入口に接続したノズルを介して、液室内の空気を排出した後に、この液室内へ予め計量して、液体を供給するようにしたものである。 In order to achieve the above object, in the present invention, after the air in the liquid chamber is exhausted through the nozzle connected to the mounting port of the mount work as in the prior art, the liquid chamber is pre-weighed and the liquid is measured. Is to supply.

すなわち、請求項１の発明は、マウントワークの液室内に液体を封入する液封マウント用の液封入装置であって、前記マウントワークの液室に連通する封入口に気密に接続されるノズルと、このノズルを、前記マウントワークの液室から空気を排出するための排気ライン、及び、該排気後の液室に液体を供給するための給液ラインに切替えて接続する切替バルブと、を備えるとともに、その給液ラインには、液体を計量して供給する計量供給手段を接続し、この計量供給手段は、サーボモータにより駆動されるシリンダを備え、このシリンダは、上下方向に延びるシリンダボディと、これに挿入されたピストンロッドとを備え、前記シリンダボディの吸入口及び吐出口は、それぞれシリンダボディの下端側に設けられたものである。 That is, the invention of claim 1 is a liquid sealing device for liquid seal mounting that encloses a liquid in the liquid chamber of the mount work, and a nozzle that is airtightly connected to an sealing port that communicates with the liquid chamber of the mount work. A switching valve for switching and connecting the nozzle to an exhaust line for discharging air from the liquid chamber of the mount work and a liquid supply line for supplying liquid to the liquid chamber after the exhaust. In addition, the liquid supply line is connected with a metering supply means for metering and supplying the liquid . The metering supply means includes a cylinder driven by a servo motor, and the cylinder includes a cylinder body extending in the vertical direction. A piston rod inserted into the cylinder body, and a suction port and a discharge port of the cylinder body are respectively provided on the lower end side of the cylinder body .

前記構成の液封入装置によってマウントワークの液室内に液体を封入するときには、まず、その液室に連通する封入口にノズルが気密に接続されるとともに、このノズルが切替バルブによって排気ラインに接続されて、液室内の空気が排出される。その後、切替バルブがノズルを給液ラインに切替えて接続すると、この給液ラインから供給される液体がノズル内の通路を流通して、前記排気後の液室内に充填される。 When a liquid is sealed in the liquid chamber of the mount work by the liquid sealing apparatus having the above-described configuration, first, a nozzle is hermetically connected to the sealing port communicating with the liquid chamber, and this nozzle is connected to the exhaust line by a switching valve. Thus, the air in the liquid chamber is discharged. Thereafter, when the switching valve switches and connects the nozzle to the liquid supply line, the liquid supplied from the liquid supply line flows through the passage in the nozzle and is filled into the liquid chamber after the exhaust.

そうしてマウントワークの液室内に充填される液体は、前記給液ラインに接続された計量供給手段によって計量されて供給されるから、液室においてダイヤフラムを加圧したりする必要はなく、また、液室の容積にばらつきがあっても、そのことに因って液の封入量がばらつくことはない。つまり、液の封入量のばらつきを解消でき、マウントの防振性能を安定的に確保する上で有利になる。 Then, since the liquid filled in the liquid chamber of the mount work is measured and supplied by the metering supply means connected to the liquid supply line, it is not necessary to pressurize the diaphragm in the liquid chamber, Even if there are variations in the volume of the liquid chamber, the amount of liquid filling does not vary. That is, it is possible to eliminate variation in the amount of liquid enclosed, which is advantageous in stably securing the vibration isolation performance of the mount.

さらに、サーボモータの作動によりシリンダからの液の吐出量を正確に調整することができる。また、サーボモータの分解能が高いので、液量の微調整が可能になる。 Furthermore , the amount of liquid discharged from the cylinder can be accurately adjusted by operating the servo motor. Further, since the resolution of the servo motor is high, the liquid amount can be finely adjusted.

より好ましいのは、前記液封入装置に、ノズル内に残留する液体を吸引して回収するための回収ラインを設けることであり（請求項２の発明）、この場合、切替バルブは、前記ノズルを排気ライン、給液ライン又は前記回収ラインのいずれか１つに切替えて接続する構成とすればよい。 More preferably, the liquid sealing device is provided with a recovery line for sucking and recovering the liquid remaining in the nozzle (invention of claim 2 ). What is necessary is just to set it as the structure switched and connected to any one of an exhaust line, a liquid supply line, or the said collection | recovery line.

こうすれば、マウントワークへ液体を封入した後にノズル内に残留する液体を吸引して回収することができるので、次のマウントワークへ液体を供給する際に、ノズル内の残液が液室へ侵入することがなくなり、このような残液の混入によって液の封入量がばらつくことも阻止できる。 In this way, since the liquid remaining in the nozzle can be sucked and collected after the liquid is sealed in the mount work, when the liquid is supplied to the next mount work, the remaining liquid in the nozzle is transferred to the liquid chamber. It is possible to prevent the liquid from being invaded and to prevent the amount of the liquid from being varied due to the mixture of the residual liquid.

また、前記液封入装置に、マウントワークの重量を検出する検出手段を備え、これにより検出される重量の変化に応じて、計量供給手段による液体の供給量を補正するようにしてもよい（請求項３の発明）。こうすれば、実際に液室内へ供給されている液量に応じてその供給量を補正することができるので、仮に残液の混入等があっても、マウントへの液の封入量のばらつきはなくなる。 Further, the liquid sealing device may include a detecting unit that detects the weight of the mount work, and the amount of liquid supplied by the metering unit may be corrected in accordance with a change in the weight detected thereby. Item 3 ). In this way, the amount supplied can be corrected according to the amount of liquid actually supplied into the liquid chamber, so that even if there is residual liquid mixed in, there is no variation in the amount of liquid enclosed in the mount. Disappear.

さらに、好ましいのは、前記のようにマウントワークの液室へ液体を供給した後に、その封入口に接続されているノズルを介して、該封入口に封止部材を嵌め入れる嵌入手段を備えることである（請求項４の発明）。 Furthermore, it is preferable that after the liquid is supplied to the liquid chamber of the mount work as described above, a fitting means for fitting the sealing member into the sealing port is provided through the nozzle connected to the sealing port. (Invention of claim 4 )

こうすれば、上述の如くマウントワークの液室内に液体を充填した後に、そのノズルを封入口から取り外すことなく、液室の封入口を封止することができるから、液室内から液体がこぼれ出る心配がなく、反対に空気や異物が液室に侵入する虞れもない。 In this way, after filling the liquid chamber of the mount work as described above, it is possible to seal the liquid chamber sealing port without removing the nozzle from the sealing port, so that liquid spills out of the liquid chamber. On the other hand, there is no fear of air or foreign matter entering the liquid chamber.

しかも、液封入装置にマウントワークをセットして一旦、ノズルが接続された後は、そのワーク内に液が封入マウントが完成するまで、当該ノズルを取り外す必要もなく、作業性にも優れている。 Moreover, once the mount work is set in the liquid sealing device and the nozzle is connected once, the nozzle does not need to be removed until the liquid mount is completed in the work, and the workability is excellent. .

以上説明したように、本発明に係る液封マウント用の液封入装置によれば、マウントワークの液室から空気を排出した後に、そこへ液体を予め計量して供給するようにしたから、その液室の容積に個体ばらつきがあっても液の封入量のばらつきを解消することができ、マウントの防振性能を安定的に確保する上で有利になる。 As described above, according to the liquid-sealed equipment for liquid sealed mount according to the present invention, after discharging air from the liquid chamber of the mount workpiece, it is so arranged and supplied pre-weighed liquid thereto, Even if there are individual variations in the volume of the liquid chamber, it is possible to eliminate variations in the amount of liquid enclosed, which is advantageous in securing stable vibration-proof performance of the mount.

また、前記のような液体の計量供給をサーボモータ駆動のシリンダによって行うようにすれば、供給液量の微調整も可能になるので、仕様の異なるマウントに対して封入する液量を容易に変更することができる。 In addition, if the liquid metering is performed by a servo motor driven cylinder, the amount of liquid supplied can be finely adjusted, so the amount of liquid to be sealed for mounts with different specifications can be easily changed. can do.

さらに、前記のようにマウントワークへ液を封入した後に、ノズル内の残液を回収するようにすれば、その残液の混入によって液の封入量がばらつくことも阻止できる。 Furthermore, if the residual liquid in the nozzle is collected after the liquid is sealed in the mount work as described above, it is possible to prevent the amount of liquid from being filled due to the mixed liquid.

その上さらに、液の封入後に、その封入口に接続されているノズルから封止部材を嵌め入れるようにすれば、液のこぼれや空気等の侵入も阻止できる。このことで、防振性能を安定確保する上でさらに有利になる。 Furthermore, if a sealing member is inserted from a nozzle connected to the sealing port after the liquid is sealed, liquid spillage or intrusion of air or the like can be prevented. This is further advantageous in ensuring stable anti-vibration performance.

以下、本発明の実施形態を図面に基いて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following description of the preferred embodiment is merely illustrative in nature, and is not intended to limit the present invention, its application, or its use.

（液封入装置の構成）
図１〜７は、本発明に係る液封入装置の実施形態を示し、この液封入装置は、加硫一体化成形によって別途、作成されたエンジンマウントのワークＷ（マウントワーク）に液体を封入するためのものである。図１には正面から見た装置の構成を概略的に示しており、本体フレーム１の上下方向の略中央部にはワークＷの載置されるテーブル２が配設されている。このテーブル２は、図２に拡大して示すように円板状のものであり、その上面の略中央部にはワークＷを正立状態で保持するための保持具３が配設されている。 (Configuration of liquid sealing device)
1 to 7 show an embodiment of a liquid sealing apparatus according to the present invention. This liquid sealing apparatus encloses a liquid in a work W (mount work) of an engine mount that is separately created by vulcanization integrated molding. Is for. FIG. 1 schematically shows the configuration of the apparatus as viewed from the front, and a table 2 on which a workpiece W is placed is disposed at a substantially central portion in the vertical direction of the main body frame 1. The table 2 has a disk shape as shown in an enlarged view in FIG. 2, and a holder 3 for holding the workpiece W in an upright state is disposed at a substantially central portion of the upper surface thereof. .

また、前記テーブル２は、エアシリンダ４の作動により上下方向に移動されるようになっている。このエアシリンダ４は、液封入装置の基台５の天板５ａの下方に上向きに配置され、そのロッド４ａに接続されたシャフト４ｂが天板５ａを貫通して上方に突出している。テーブル２は、シャフト４ｂの上端に連結されていて、ワークＷを、そのセットが容易な作業者の腰くらいの高さ（最下位置）から、バルブユニット６によって液を封入する最上位置まで移動させるようになっている。 The table 2 is moved up and down by the operation of the air cylinder 4. The air cylinder 4 is disposed upward below the top plate 5a of the base 5 of the liquid sealing apparatus, and a shaft 4b connected to the rod 4a projects through the top plate 5a and projects upward. The table 2 is connected to the upper end of the shaft 4b, and the workpiece W is moved from the height (lowermost position) of the operator's waist where it is easy to set to the uppermost position where the liquid is sealed by the valve unit 6. It is supposed to let you.

前記バルブユニット６は、作業者の肩くらいの高さでフレーム１の前部に取り付けられた支持板７の上面に載置されており、詳しくは図４、５等を参照して後述するが、ワークＷの液封入口ｄ２（図３を参照）に接続されるノズル８を備え、このノズル８をワークＷの封入孔ｄ２に気密に接続して、液室ｗ１からの排気、そこへの液体の供給、及びノズル８内の残液の回収を切替えて行うことができるようになっている。尚、図１に示す符号１０は、詳しい説明は省略するが、ワークＷの封入孔ｄ２の位置を自動で検出するためのセンサユニットである。 The valve unit 6 is mounted on the upper surface of a support plate 7 attached to the front portion of the frame 1 at a height about the operator's shoulder, and will be described in detail later with reference to FIGS. And a nozzle 8 connected to the liquid filling port d2 (see FIG. 3) of the workpiece W. The nozzle 8 is connected to the sealing hole d2 of the workpiece W in an airtight manner, and the exhaust from the liquid chamber w1 is performed. The supply of the liquid and the recovery of the residual liquid in the nozzle 8 can be switched and performed. Note that reference numeral 10 shown in FIG. 1 is a sensor unit for automatically detecting the position of the sealing hole d2 of the workpiece W, although detailed description is omitted.

−マウントＭの構造−
ここで、図３に一例を示すように、ワークＷであるエンジンマウントＭは、図示しないブラケットにより車体側に連結される連結金具Ａと、この連結金具Ａの外周を離間して取り囲む円筒状のハウジングＨとを備え、連結金具ＡがハウジングＨの軸方向一端側（図の下端側）から突出し、且つ両者が軸方向に相対変位可能なようにゴム弾性体Ｒによって連結されている。ハウジングＨの軸方向他端側（図の上端側）には、エンジン側に連結されるブラケット部ｈ１が設けられている。 -Structure of mount M-
Here, as shown in FIG. 3, an engine mount M, which is a workpiece W, has a connecting metal A connected to the vehicle body by a bracket (not shown) and a cylindrical shape that surrounds the outer periphery of the connecting metal A in a spaced manner. A housing H is provided, and the coupling metal A projects from one end side in the axial direction (lower end side in the figure) of the housing H, and is connected by a rubber elastic body R so as to be relatively displaceable in the axial direction. On the other end side in the axial direction of the housing H (upper end side in the figure), a bracket portion h1 connected to the engine side is provided.

図示の如くゴム弾性体Ｒは、下側に向かって窄んだ円錐状とされて、ハウジングＨの上部内周と連結金具Ａの上部外周とを連結しており、その上部にはハウジングＨとの接合部を補強するために円筒状の補強金具ｒ１が埋め込まれている。そして、ゴム弾性体Ｒの上方に開口する中空部を上方から閉ざすように、ハウジングＨの上端にオリフィス盤ＯとゴムダイヤフラムＤとが配設されている。ダイヤフラムＤの外周寄りの部位はオリフィス盤Ｏの外周全体を覆っており、そこにも補強金具ｄ１が埋め込まれている。 As shown in the drawing, the rubber elastic body R has a conical shape narrowed downward, and connects the upper inner periphery of the housing H and the upper outer periphery of the connection fitting A. In order to reinforce the joint portion, a cylindrical reinforcing metal fitting r1 is embedded. And the orifice board O and the rubber diaphragm D are arrange | positioned at the upper end of the housing H so that the hollow part opened above rubber elastic body R may be closed from upper direction. A portion near the outer periphery of the diaphragm D covers the entire outer periphery of the orifice board O, and a reinforcing metal fitting d1 is also embedded therein.

そうしてダイヤフラムＤにより開口を閉ざされて、ゴム弾性体Ｒの中空部は、後述の如く液体が封入される液室ｗ１とされており、この液室ｗ１がオリフィス盤Ｏによって下方の主液室と上方の副液室とに区画されている。これら主液室及び副液室は、オリフィス盤Ｏの外周寄りの部位に螺旋状に形成されたオリフィスｏ１によって互いに連通されており、その内部を流通する液体の抵抗によって振動を減衰させるようになっている。 Thus, the opening is closed by the diaphragm D, and the hollow portion of the rubber elastic body R is a liquid chamber w1 in which a liquid is sealed as will be described later. It is divided into a chamber and an upper secondary liquid chamber. The main liquid chamber and the sub liquid chamber are communicated with each other by an orifice o1 formed in a spiral shape at a portion near the outer periphery of the orifice plate O, and the vibration is attenuated by the resistance of the liquid flowing through the inside. ing.

また、ダイヤフラムＤの外周寄りの部位には、ハウジングＨのブラケット部ｈ１と反対側（図の右側）の部位に半径方向内方への膨出部が形成され、そこには厚み方向（上下方向）に貫通し、下端がオリフィスｏ１を介して液室ｗ１内に連通する封入孔ｄ２（封入口）が形成されている。この封入孔ｄ２の略中央部には球状の拡径部が設けられており、後述するが、そこに鋼球Ｓ（封止部材）が嵌め入れられることで、封入孔ｄ２が閉止されるようになっている。 Further, a radially inward bulging portion is formed at a portion of the diaphragm D near the outer periphery at a portion opposite to the bracket portion h1 of the housing H (right side in the figure), and there is a thickness direction (vertical direction) ), And a sealing hole d2 (sealing port) whose lower end communicates with the liquid chamber w1 through the orifice o1 is formed. A spherical diameter-enlarged portion is provided at a substantially central portion of the sealing hole d2, and as will be described later, the steel ball S (sealing member) is fitted therein so that the sealing hole d2 is closed. It has become.

−ノズル及びバルブユニット−
前記のようなワークＷに液体を封入するときには、上述の如くテーブル２上の保持具３にワークＷを正立状態でセットし、その上部に開口する封入口ｄ２をバルブユニット６のノズル８に下方から押し当てる。すなわち、図２(b)に示すように、この実施形態では、支持板７の下面から下方に延びるようにノズル８と押さえ棒９，９とが設けられていて、それらの下端がそれぞれダイヤフラムＤの外周寄りの部位に当接するとともに、特にノズル８の下端が封入孔ｄ２の周縁に当接するようになっている。 -Nozzle and valve unit-
When the liquid is sealed in the workpiece W as described above, the workpiece W is set in the upright state on the holder 3 on the table 2 as described above, and the sealing port d2 opened at the upper portion thereof is connected to the nozzle 8 of the valve unit 6. Press from below. That is, as shown in FIG. 2 (b), in this embodiment, the nozzle 8 and the holding rods 9 and 9 are provided so as to extend downward from the lower surface of the support plate 7, and the lower ends of the nozzles 8 and the diaphragm D are respectively provided. In particular, the lower end of the nozzle 8 is in contact with the peripheral edge of the sealing hole d2.

そうして下端が封入孔ｄ２に接続されるノズル８の上端は、図４に示すように支持板７を上下に貫通していて、その上に配置されたバルブユニット６の本体部材２０に接続されている。このバルブユニット本体２０は、金属製ブロックからなり、図５のように上方から見た断面では４つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂ，２２，２３がＴ字状に配置され、それぞれにエアシリンダ７１ａ，７１ｂ，７２，７３が一体的に連結されて、これによりスプールが開閉されるようになっている。 Thus, the upper end of the nozzle 8 whose lower end is connected to the sealing hole d2 penetrates the support plate 7 up and down as shown in FIG. 4, and is connected to the main body member 20 of the valve unit 6 disposed thereon. Has been. The valve unit main body 20 is made of a metal block, and in the cross section viewed from above as shown in FIG. 5, four open / close valves 21a, 21b, 22, 23 are arranged in a T shape, and air cylinders 71a, 71b are respectively provided. , 72, 73 are integrally connected so that the spool is opened and closed.

また、バルブユニット本体２０には、４つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂ，２２，２３に囲まれるように、略中央を上下に延びる共通通路２０ａが形成されている。すなわち、本体部材２０は分割可能な円柱状の部材を有し、共通通路２０ａは、前記の部材を上下に貫通するとともに、当該部材に形成された分岐路（図示せず）によって各開閉バルブ２１ａ，２１ｂ，２２，２３に連通している。この共通通路２０ａの下端がバルブユニット本体２０の下面に開口して、ノズル８内の通路に連通している。 The valve unit body 20 is formed with a common passage 20a extending up and down substantially in the center so as to be surrounded by the four on-off valves 21a, 21b, 22, and 23. That is, the main body member 20 has a columnar member that can be divided, and the common passage 20a vertically penetrates the member, and each open / close valve 21a is formed by a branch passage (not shown) formed in the member. , 21b, 22, 23. The lower end of the common passage 20a opens to the lower surface of the valve unit body 20 and communicates with the passage in the nozzle 8.

一方、バルブユニット本体２０の上面に開口する共通通路２０ａの上端は、その上面に重ねて配置された通路形成部材２４内の通路２４ａに連通している。この通路２４ａは、後述の如くバルブユニット本体２０の共通通路２０ａへ鋼球Ｓを供給するためのもの（以下、供給通路２４ａともいう）である。 On the other hand, the upper end of the common passage 20a that opens to the upper surface of the valve unit body 20 communicates with the passage 24a in the passage forming member 24 that is arranged on the upper surface. The passage 24a is for supplying the steel balls S to the common passage 20a of the valve unit body 20 as will be described later (hereinafter also referred to as supply passage 24a).

前記図５の左側にて上下に並んだ２つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂの一方が、液室ｗ１に液体を供給するための給液ライン３０に接続されている。この例では他方は予備であり、ラインには接続されていない。これは、開閉バルブ２１ａ，２１ｂに目詰まり等の故障を生じた場合でも、液封入装置の停止時間を最小化するためである（以下の説明では、２つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂを区別することなく、単に開閉バルブ２１と呼ぶ）。 One of the two open / close valves 21a and 21b arranged vertically on the left side of FIG. 5 is connected to a liquid supply line 30 for supplying a liquid to the liquid chamber w1. In this example, the other is a spare and is not connected to a line. This is for the purpose of minimizing the stop time of the liquid sealing device even when a failure such as clogging occurs in the opening / closing valves 21a, 21b (in the following description, the two opening / closing valves 21a, 21b are distinguished from each other). It is simply referred to as the open / close valve 21).

また、同図の上側に位置する開閉バルブ２２は、ワークＷの液室ｗ１から空気を排出するための排気ライン５０に接続され、下側に位置する開閉バルブ２３は、ノズル８内の通路やバルブユニット６の共通通路２４ａ等に残留する液体を回収するための回収ライン６０に接続されている。言い換えると、バルブユニット６は、ノズル８を給液ライン３０、排気ライン５０又は回収ライン６０のいずれか１つに切替えて接続する切替バルブを構成している。 Further, the open / close valve 22 located on the upper side of the figure is connected to an exhaust line 50 for discharging air from the liquid chamber w1 of the workpiece W, and the open / close valve 23 located on the lower side is connected to a passage in the nozzle 8 or the like. It is connected to a recovery line 60 for recovering the liquid remaining in the common passage 24a and the like of the valve unit 6. In other words, the valve unit 6 constitutes a switching valve that connects the nozzle 8 by switching to one of the liquid supply line 30, the exhaust line 50, and the recovery line 60.

−液体供給系統−
次に、図６を参照して、ワークＷへの液体の供給系統について説明する。この実施形態では、液体を脱気しながら貯留する２つの貯留タンク３１ａ，３１ｂを備え、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの下部には、それぞれ、給液ライン３０の上流側で分岐した２つの分岐ライン３０ａ，３０ｂが接続されるとともに、この分岐ライン３０ａ，３０ｂをそれぞれ開閉する電磁開閉バルブ３２ａ，３２ｂが配設されている。また、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの下部には、ドレンバルブ３３ａ，３３ｂも配設され、さらに、図外の液体補給装置から液体を補給するための補給ライン３４が電磁開閉バルブ３５ａ，３５ｂを介して接続されている。 -Liquid supply system-
Next, a liquid supply system to the workpiece W will be described with reference to FIG. In this embodiment, two storage tanks 31 a and 31 b that store liquid while degassing are provided, and two branch lines that branch on the upstream side of the liquid supply line 30 are respectively provided below the storage tanks 31 a and 31 b. 30a and 30b are connected, and electromagnetic opening and closing valves 32a and 32b for opening and closing the branch lines 30a and 30b are provided. Further, drain valves 33a and 33b are also provided below the storage tanks 31a and 31b, and a replenishment line 34 for replenishing liquid from a liquid replenishing device (not shown) is provided via the electromagnetic open / close valves 35a and 35b. Connected.

すなわち、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの内部には、それぞれ、貯留する液面の上限及び下限を決めるためのフロートスイッチＳＷ，ＳＷ，…が配設され、液面が下限のフロートスイッチＳＷを下回れば、前記電磁開閉バルブ３５ａ，３５ｂが開かれて、補給ライン３４から液体が補給される一方、液面が上限のフロートスイッチＳＷを上回れば、電磁開閉バルブ３５ａ，３５ｂは閉じられて、液体の補給が停止されるようになっている。 That is, float switches SW, SW,... For determining the upper and lower limits of the liquid level to be stored are arranged inside the storage tanks 31a, 31b, respectively, and the liquid level is below the lower limit float switch SW. When the electromagnetic on / off valves 35a and 35b are opened and liquid is supplied from the replenishment line 34, if the liquid level exceeds the upper limit float switch SW, the electromagnetic on / off valves 35a and 35b are closed to supply liquid. Is to be stopped.

一方、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの上部には、貯留している液体を脱気するための脱気ライン３６が接続されている。この実施形態の脱気ライン３６は、後述する回収ライン６０の途中に接続されていて、その接続部位から貯留タンク３１ａ，３１ｂまでの間に、真空レギュレータ３７と真空計（図示せず）とが介設され、さらに貯留タンク３１ａ，３１ｂの直前で分岐したライン３６ａ，３６ｂ上にそれぞれ電磁開閉バルブ３８ａ，３８ｂが介設されている。 On the other hand, a degassing line 36 for degassing the stored liquid is connected to the upper part of each storage tank 31a, 31b. The deaeration line 36 of this embodiment is connected in the middle of a recovery line 60 described later, and a vacuum regulator 37 and a vacuum gauge (not shown) are connected between the connection site and the storage tanks 31a and 31b. Further, electromagnetic open / close valves 38a and 38b are respectively provided on lines 36a and 36b branched immediately before the storage tanks 31a and 31b.

また、前記脱気ライン３６の分岐ライン３６ａ，３６ｂには、それぞれの電磁開閉バルブ３８ａ，３８ｂと貯留タンク３１ａ，３１ｂとの間にさらに分岐路が接続されていて、この分岐路の各々に電磁開閉バルブ３９ａ，３９ｂが介設されている。この電磁開閉バルブ３９ａ，３９ｂを閉じて前記の電磁開閉バルブ３８ａ，３８ｂを開けば、回収ライン６０の負圧により脱気ライン３６を介して貯留タンク３１ａ，３１ｂ内の空気を吸引し、その内部に貯留した液体を脱気することができる。一方、各分岐路の電磁開閉バルブ３９ａ，３９ｂを開けば、貯留タンク３１ａ，３１ｂ内を大気開放することができる。 Further, branch lines 36a, 36b of the deaeration line 36 are further connected with branch paths between the respective electromagnetic open / close valves 38a, 38b and the storage tanks 31a, 31b. Open / close valves 39a and 39b are interposed. When the electromagnetic on / off valves 39a and 39b are closed and the electromagnetic on / off valves 38a and 38b are opened, the air in the storage tanks 31a and 31b is sucked through the deaeration line 36 by the negative pressure of the recovery line 60, The liquid stored in can be degassed. On the other hand, if the electromagnetic opening / closing valves 39a and 39b of the branch paths are opened, the storage tanks 31a and 31b can be opened to the atmosphere.

さらに、この実施形態では、本発明の主たる特徴として、前記給液ライン３０に計量シリンダ４０が介設されている。この計量シリンダ４０は、貯留タンク３１ａ，３１ｂから給液ライン３０へ供給される液体を予め計量した上で、バルブユニット６を介してワークＷへ供給するためのものであり、その上流側及び下流側にそれぞれ開閉バルブ４１，４２が配設されている。各開閉バルブ４１，４２は、それぞれ一体的に連結されたエアシリンダ７４，７５によって弁体が開閉されるようになっている。 Further, in this embodiment, as a main feature of the present invention, a measuring cylinder 40 is interposed in the liquid supply line 30. The measuring cylinder 40 is for measuring the liquid supplied from the storage tanks 31a and 31b to the liquid supply line 30 in advance and supplying the liquid to the work W via the valve unit 6, and the upstream side and the downstream side thereof. Opening / closing valves 41 and 42 are arranged on the sides. The open / close valves 41 and 42 are configured to be opened and closed by air cylinders 74 and 75 integrally connected thereto.

図７を参照して、計量シリンダ４０は、上下方向に延び、下方に開口するシリンダボディ４３と、これに下方から挿入されたピストンロッド４４とを備え、このピストンロッド４４を駆動するための電動サーボシリンダ４５（サーボモータ）が並設されたものである。すなわち、シリンダボディ４３は、その下端側を支持板４６によって本体フレーム１に支持されており、ピストンロッド４４は、その支持板４６を貫通して下方に延びている。また、支持板４６上にはシリンダボディ４３と並んでサーボシリンダ４５が倒立状態で配設されており、その下端から突出するロッド４５ａ（図(b)にのみ示す）も支持板４６を貫通して、下方に延びている。 Referring to FIG. 7, the measuring cylinder 40 includes a cylinder body 43 that extends in the vertical direction and opens downward, and a piston rod 44 that is inserted into the cylinder body 43 from below, and is electrically driven for driving the piston rod 44. A servo cylinder 45 (servo motor) is provided in parallel. That is, the lower end side of the cylinder body 43 is supported by the main body frame 1 by the support plate 46, and the piston rod 44 extends downward through the support plate 46. In addition, a servo cylinder 45 is arranged in an inverted state on the support plate 46 along with the cylinder body 43, and a rod 45a (shown only in the figure (b)) protruding from the lower end thereof also penetrates the support plate 46. Extending downward.

そうして互いに並んで延びるサーボシリンダ４５のロッド４５ａとピストンロッド４４との下端同士を連結するように、連結板４７が架設されるとともに、この連結板４７を上下方向に移動するようにガイドする一対のガイドシリンダ４８，４８が設けられている。各ガイドシリンダ４８，４８は、それぞれの外筒４８ａ，４８ａが連結板４７に固定され、この各外筒４８ａ，４８ａに摺動自在に内挿された内筒４８ｂ，４８ｂの上端がそれぞれ支持板４６に締結されている。一方、内筒４８ｂ，４８ｂの下端同士を連結するように、長尺の板部材４９が架設されている。 Thus, a connecting plate 47 is constructed so as to connect the lower ends of the rod 45a and the piston rod 44 of the servo cylinder 45 extending side by side, and the connecting plate 47 is guided to move in the vertical direction. A pair of guide cylinders 48 are provided. The guide cylinders 48, 48 have their outer cylinders 48a, 48a fixed to the connecting plate 47, and the upper ends of the inner cylinders 48b, 48b slidably inserted into the outer cylinders 48a, 48a are the support plates, respectively. 46 is fastened. On the other hand, a long plate member 49 is installed so as to connect the lower ends of the inner cylinders 48b, 48b.

尚、図１、２(a)にのみ示すが、前記のように作動するサーボシリンダ４５のロッド４５ａとピストンロッド４４とを覆って、安全カバー４０ａが設けられている。 Although only shown in FIGS. 1 and 2, a safety cover 40a is provided to cover the rod 45a and the piston rod 44 of the servo cylinder 45 that operates as described above.

そして、サーボシリンダ４５の作動によりそのロッド４５ａが進出、退入するときには、その下端に固定された連結板４７が一対のガイドシリンダ４８，４８により案内されて上下に平行移動し、これによりピストンロッド４４がシリンダボディ４３に対して進入、退出することになる。ピストンロッド４４がリンダボディ４３内へ進入すれば、その分の液体がリンダボディ４３から吐出される一方、ピストンロッド４４がリンダボディ４３内から退出すれば、その分の液体がリンダボディ４３へ吸入される。 When the rod 45a advances and retracts due to the operation of the servo cylinder 45, the connecting plate 47 fixed to the lower end thereof is guided by the pair of guide cylinders 48 and 48 to move in parallel up and down, whereby the piston rod 44 enters and exits the cylinder body 43. If the piston rod 44 enters the Linder body 43, the corresponding liquid is discharged from the Linder body 43, while if the Piston rod 44 retreats from the Linder body 43, the corresponding liquid is sucked into the Linder body 43. Is done.

そのようなサーボシリンダ４５によるピストンロッド４４の作動ストロークの調整は、非常に高い精度で行うことが可能であり（例えば０．０１ｍｍ単位で調整可能）、これにより供給液量を微調整することができる。また、サーボシリンダ４５の作動制御、即ち計量シリンダ４０の作動制御は、図示しないが、例えば液体供給系統の電磁開閉バルブや真空ポンプの作動制御を行うコントローラによって行われる。このコントローラ及び計量シリンダ４０によって、給液ライン３０に液体を計量して供給する計量供給手段が構成されている。 The adjustment of the operation stroke of the piston rod 44 by the servo cylinder 45 can be performed with very high accuracy (for example, adjustment can be made in units of 0.01 mm). it can. Further, the operation control of the servo cylinder 45, that is, the operation control of the metering cylinder 40 is performed by a controller that controls the operation of the electromagnetic open / close valve and vacuum pump of the liquid supply system, although not shown. The controller and the metering cylinder 40 constitute metering supply means for metering and supplying the liquid to the liquid supply line 30.

尚、前記シリンダボディ４３の内径はピストンロッド４４の外形よりも大きく、その吸入口４３ａ及び吐出口４３ｂは、それぞれシリンダボディ４３の下端側に設けられて、開閉バルブ４１，４２により開閉されるようになっている。このため、仮にシリンダボディ４３内で液体に気泡が発生したとしても、この気泡はシリンダボディ４３内の上部に溜まることになり、下端側の吐出口４３ｂからバルブユニット６へ向けて送給する液からは、分離することができる。 The inner diameter of the cylinder body 43 is larger than the outer shape of the piston rod 44, and the suction port 43a and the discharge port 43b are provided on the lower end side of the cylinder body 43 and are opened and closed by the opening and closing valves 41 and 42, respectively. It has become. For this reason, even if bubbles are generated in the liquid in the cylinder body 43, the bubbles are accumulated in the upper part of the cylinder body 43, and the liquid fed toward the valve unit 6 from the discharge port 43b on the lower end side. Can be separated.

再び図６を参照して、排気ライン５０には高圧真空ポンプ５１が接続されており、そこからバルブユニット６までの間に気液を分離するための分離タンク５２が介設されている。分離タンク５２の上部には開放バルブ５３が、下部にはドレンバルブ５４が、それぞれ取り付けられている。この排気ライン５０は、前記給液ライン３０によって液体を供給する前にワークＷの液室ｗ１から空気を吸引（真空引き）するためのものであり、そうして真空引きする液室ｗ１内の圧力をモニタするため真空圧力計５５が接続されている。 Referring again to FIG. 6, a high-pressure vacuum pump 51 is connected to the exhaust line 50, and a separation tank 52 for separating gas and liquid is interposed between the high-pressure vacuum pump 51 and the valve unit 6. An open valve 53 is attached to the upper part of the separation tank 52, and a drain valve 54 is attached to the lower part. The exhaust line 50 is for sucking (evacuating) air from the liquid chamber w1 of the workpiece W before supplying the liquid by the liquid supply line 30, and thus the liquid chamber w1 in which the vacuum is evacuated. A vacuum pressure gauge 55 is connected to monitor the pressure.

一方、回収ライン６０は、給液後にノズル８やバルブユニット６の内部に残留する液体を吸引して回収するためのものであり、そうして液体を吸引するための真空ポンプ６１に接続されるとともに、吸引される液体を回収して貯留する回収タンク６２が介設されている。この回収タンク６２は、前記分離タンク５２と同様の構成であり、その上部には開放バルブ６３が、その下部にはドレンバルブ６４が、それぞれ取り付けられている。バルブユニット６から回収タンク６２までの間で回収ライン６０には前記脱気ライン３６が接続されている。 On the other hand, the collection line 60 is for sucking and collecting the liquid remaining inside the nozzle 8 and the valve unit 6 after the liquid supply, and is thus connected to a vacuum pump 61 for sucking the liquid. At the same time, a collection tank 62 for collecting and storing the sucked liquid is provided. The recovery tank 62 has the same configuration as the separation tank 52, and an open valve 63 is attached to the upper part thereof, and a drain valve 64 is attached to the lower part thereof. The deaeration line 36 is connected to the recovery line 60 between the valve unit 6 and the recovery tank 62.

そして、前記給液ライン３０、排気ライン５０、及び回収ライン６０の３つのラインのいずれかが、バルブユニット６によって選択的にノズル８に接続される。すなわち、バルブユニット６の開閉バルブ２１が開かれれば、給液ライン３０がノズル８に接続され、開閉バルブ２２が開かれれば排気ライン５０が、また、開閉バルブ２３が開かれれば回収ライン６０が、それぞれノズル８に接続される。 One of the three lines of the liquid supply line 30, the exhaust line 50, and the recovery line 60 is selectively connected to the nozzle 8 by the valve unit 6. That is, when the opening / closing valve 21 of the valve unit 6 is opened, the liquid supply line 30 is connected to the nozzle 8, the exhaust line 50 is opened when the opening / closing valve 22 is opened, and the recovery line 60 is opened when the opening / closing valve 23 is opened. Are connected to the nozzles 8 respectively.

尚、前記バルブユニット６の各開閉バルブ２１〜２３をそれぞれ駆動するエアシリンダ７１ａ，７１ｂ，７２，７３、並びに、前記計量シリンダ４０の開閉バルブ４１，４２をそれぞれ駆動するエアシリンダ７４，７５は、図示しないが、電磁切替バルブを介して工場の設備である高圧エア供給ラインに接続されている。 The air cylinders 71a, 71b, 72, 73 for driving the open / close valves 21 to 23 of the valve unit 6 and the air cylinders 74, 75 for driving the open / close valves 41, 42 of the measuring cylinder 40, respectively, Although not shown, it is connected to a high-pressure air supply line, which is plant equipment, via an electromagnetic switching valve.

−鋼球の供給及び嵌入機構−
次に、再び前記図４を参照して、ワークＷの封入孔ｄ２に鋼球Ｓを嵌め入れるための構造について説明する。まず、図示の如くバルブユニット６の本体部材２０上に重ねられた通路形成部材２４には、上下に延びる供給通路２４ａ途中から分岐して、装置後方（同図の右方）に向かって直線的に延びるように分岐路２４ｂが形成され、さらに、その分岐路２４ｂの途中から分岐して上方に向かい、通路形成部材２４の上面に開口する分岐孔２４ｃが形成されている。 -Steel ball supply and insertion mechanism-
Next, referring to FIG. 4 again, a structure for fitting the steel ball S into the sealing hole d2 of the workpiece W will be described. First, as shown in the drawing, the passage forming member 24 superimposed on the main body member 20 of the valve unit 6 branches from the middle of the supply passage 24a extending vertically and linearly toward the rear of the apparatus (right side in the figure). A branch path 24 b is formed so as to extend in the direction of the branch path 24, and a branch hole 24 c that branches from the middle of the branch path 24 b and extends upward and opens on the upper surface of the path forming member 24 is formed.

前記分岐路２４ｂは、通路形成部材２４の後面まで延びてそこに開口しており、その開口には後方からロッド９１が気密状態で挿入されている。このロッド９１は、エアシリンダ９２によって長手方向（装置の前後方向）に進退駆動されるようになっており、最も後退した位置では先端が分岐孔２４ｃのやや後方に位置する一方、エアシリンダ９２により駆動されて前進すれば、分岐路２４ｂを通して鋼球Ｓを供給通路２４ａまで移動させるようになっている。 The branch path 24b extends to the rear surface of the passage forming member 24 and opens there, and a rod 91 is inserted into the opening from the rear in an airtight state. The rod 91 is driven to move back and forth in the longitudinal direction (the front-rear direction of the apparatus) by an air cylinder 92. The tip of the rod 91 is located slightly behind the branch hole 24c at the most retracted position. When driven forward, the steel ball S is moved to the supply passage 24a through the branch passage 24b.

一方、前記通路形成部材２４の上面に開口する分岐孔２４ｃは、その上方に対峙する大径のロッド９３の上下動によって開閉されるようになっている。このロッド９３もエアシリンダ９４によって長手方向（上下方向）に進退駆動されるようになっており、最も前進（下降）した位置では下端部に配設されたＯリング（図示せず）が分岐孔２４ｃの開口周縁に密着して、それを気密に封止する一方、そこから所定量、後退（上昇）すれば分岐孔２４ｃの開口を開放し、そこへの鋼球Ｓの進入を妨げないようになる。 On the other hand, the branch hole 24c opened on the upper surface of the passage forming member 24 is opened and closed by the vertical movement of the large-diameter rod 93 facing the upper side. This rod 93 is also driven forward and backward in the longitudinal direction (vertical direction) by the air cylinder 94, and an O-ring (not shown) disposed at the lower end portion is a branch hole at the most advanced (downward) position. While closely contacting the opening periphery of 24c and sealing it hermetically, if it retracts (rises) by a predetermined amount, the opening of the branch hole 24c is opened, so that the steel ball S does not interfere with the opening. become.

また、前記通路形成部材２４の上面には、前後にスライド移動するようにスライド板９５が配置されていて、その前部には鋼球Ｓを１つだけ収容可能な丸穴９５ａが厚み方向に貫通して形成されている一方、スライド板９５の後端部はエアシリンダ９６に連結されており、これにより前後方向に進退駆動されるようになっている。丸穴９５ａは、スライド板９５が最も前進した位置にあるときに、下方の通路形成部材２４上面に開口する分岐孔２４ｃと連通する一方、スライド板９５が最も後退すれば、以下に述べるように上方から供給される鋼球Ｓを受け入れる。 A slide plate 95 is disposed on the upper surface of the passage forming member 24 so as to slide back and forth, and a round hole 95a capable of accommodating only one steel ball S is formed in the thickness direction at the front portion thereof. On the other hand, the rear end portion of the slide plate 95 is connected to an air cylinder 96 so as to be driven back and forth in the front-rear direction. When the slide plate 95 is at the most advanced position, the round hole 95a communicates with the branch hole 24c opened on the upper surface of the lower passage forming member 24. On the other hand, if the slide plate 95 is most retracted, the round hole 95a will be described below. The steel ball S supplied from above is received.

すなわち、前記スライド板９５の上には固定板９７が重ねられて、スライド板９５の左右両側で通路形成部材２４に取り付けられており、この固定板９７には、スライド板９５の最後退位置でその丸穴９５ａに上方から連通するように、コネクタ９８を介して可撓性チューブ９９が取り付けられている。このチューブ９９内には鋼球Ｓが数珠繋ぎになって収容されており、前記最後退位置にあるスライド板９５の丸穴９５ａに、コネクタ９８内の通路を介して鋼球Ｓを１つずつ供給するようになっている。 That is, a fixed plate 97 is overlaid on the slide plate 95 and attached to the passage forming member 24 on both the left and right sides of the slide plate 95, and the fixed plate 97 is positioned at the last retracted position of the slide plate 95. A flexible tube 99 is attached via a connector 98 so as to communicate with the round hole 95a from above. In this tube 99, steel balls S are stored in a chain, and the steel balls S are supplied to the round holes 95a of the slide plate 95 at the last retracted position one by one through a passage in the connector 98. It is supposed to be.

そうして供給された鋼球Ｓを１つ丸穴９５ａ内に収容した状態で、エアシリンダ９６の作動によりスライド板９５がその最前進位置にまで移動すれば、丸穴９５ａ内の鋼球Ｓは下方に開口する分岐孔２４ｃ内に落下して分岐路２４ｂに至り、その後、前記したようにロッド９１によって供給通路２４ａまで送られることになる。こうして送られた鋼球Ｓは供給通路２４ａ内を落下して、連通するバルブユニット本体２０の共通通路２０ａからノズル８内に到達し、図示の如くワークＷの封入孔ｄ２付近に停留するのである。 If the slide plate 95 is moved to its most advanced position by the operation of the air cylinder 96 in a state where one of the supplied steel balls S is accommodated in the round hole 95a, the steel ball S in the round hole 95a. Falls into the branch hole 24c that opens downward, reaches the branch path 24b, and is then sent to the supply passage 24a by the rod 91 as described above. The steel ball S sent in this way falls in the supply passage 24a, reaches the nozzle 8 from the common passage 20a of the communicating valve unit body 20, and stops in the vicinity of the sealing hole d2 of the workpiece W as shown in the figure. .

斯くの如く、ロッド９１，９３、スライド板９５、エアシリンダ９２，９４，９６、及びチューブ９９等によって、通路形成部材２４内の供給通路２４ａを介してノズル８へ鋼球Ｓを１つずつ供給する機構９０（以下、供給機構という）が構成されている。そして、供給機構９０によって供給された鋼球Ｓは、その後、嵌入機構１００の作動によって、ワークＷの封入孔ｄ２に嵌め入れられるようになっている。 As described above, the steel balls S are supplied to the nozzle 8 one by one through the supply passage 24a in the passage forming member 24 by the rods 91 and 93, the slide plate 95, the air cylinders 92, 94 and 96, the tube 99, and the like. A mechanism 90 (hereinafter referred to as a supply mechanism) is configured. Then, the steel ball S supplied by the supply mechanism 90 is inserted into the enclosing hole d2 of the workpiece W by the operation of the insertion mechanism 100 thereafter.

すなわち、前記した通路形成部材２４の共通通路２４ａは、上述したように下端がバルブユニット本体２０の共通通路２０ａに連通する一方、その上端は、通路形成部材２４の上部に付設された筒状部材２５の内部に連通しており、この筒状部材２５を介して、上方から気密状態でロッド１０１が挿入されている。このロッド１０１は、その下端側が共通通路２０ａを経てノズル８内の通路に亘って、進退するように設けられる一方、上端部はエアシリンダ１０２に連結されており、このエアシリンダ１０２の作動より長手方向（上下方向）に進退駆動されるようになっている。 That is, the common passage 24 a of the passage forming member 24 has a lower end communicating with the common passage 20 a of the valve unit main body 20 as described above, while an upper end of the common passage 24 a is a cylindrical member attached to the upper portion of the passage forming member 24. The rod 101 is inserted through the cylindrical member 25 in an airtight state from above. The rod 101 is provided so that its lower end side advances and retreats over the passage in the nozzle 8 via the common passage 20 a, while its upper end is connected to the air cylinder 102, which is longer than the operation of the air cylinder 102. It is driven forward and backward in the direction (vertical direction).

そして、前記ロッド１０１が最も後退（上昇）した位置では、その先端が筒状部材２５内に留まり、通路形成部材２４内で分岐路２４ｂから供給通路２４ａへの鋼球Ｓの進入を妨げないようになる。一方、最も前進（下降）した位置ではロッド１０１の先端は、ノズル８の下端よりも下方に突出し、鋼球ＳをワークＷの封入孔ｄ２に押し込むようになる。つまり、前記ロッド１０１及びエアシリンダ１０２により、ノズル８を介してワークＷの封入孔ｄ２に鋼球Ｓを嵌め入れる嵌入機構１００（嵌入手段）が構成されている。 At the position where the rod 101 is most retracted (raised), the tip remains in the cylindrical member 25 so as not to prevent the steel ball S from entering the supply passage 24a from the branch passage 24b in the passage formation member 24. become. On the other hand, at the most advanced (downward) position, the tip of the rod 101 protrudes below the lower end of the nozzle 8 and pushes the steel ball S into the sealing hole d2 of the workpiece W. That is, the rod 101 and the air cylinder 102 constitute a fitting mechanism 100 (fitting means) for fitting the steel ball S into the sealing hole d2 of the workpiece W through the nozzle 8.

（液封マウントの製造手順）
次に、液封マウントの製造手順について説明する。まず、ワークＷ自体の製造について簡単に説明すると、この実施形態の液封マウントＭの場合、連結金具Ａ及び補強金具ｒ１を金型にセットするとともに、ゴム弾性体Ｒ及びゴム層となる所定量の未加硫ゴム組成物も金型にセットし、それらを加熱及び加圧して加硫一体化成形する。この際、連結金具Ａ及び補強金具ｒ１にはゴムとの接触部位に加硫接着剤を塗布しておく。 (Manufacturing procedure for liquid ring mount)
Next, a manufacturing procedure of the liquid seal mount will be described. First, the manufacture of the workpiece W itself will be briefly described. In the case of the liquid seal mount M of this embodiment, the connecting metal fitting A and the reinforcing metal fitting r1 are set in a mold, and a predetermined amount that becomes the rubber elastic body R and the rubber layer. These unvulcanized rubber compositions are also set in a mold, and these are heated and pressurized to be integrally vulcanized. At this time, a vulcanized adhesive is applied to the connecting metal A and the reinforcing metal r1 in contact with the rubber.

そうして得られた一体化形成物をハウジングＨ内に上方から嵌め入れて、ゴム弾性体Ｒの上端外周から突出する補強金具ｒ１をハウジングＨの上端内周に形成された段部に重ね合わせるとともに、その上方からハウジングＨ内にオリフィス盤ＯとダイヤフラムＤとを嵌め入れて、該ダイヤフラムＤの下端外周から突出する補強金具ｄ１を前記ゴム弾性体Ｒの補強金具ｒ１の上から重ね合わせる。そして、ハウジングＨの上端外周の立壁部を内周側に折り曲げて、段部上に重ね合わされている補強金具ｒ１，ｄ１を上方からかしめれば、液体未封入のワークＷが得られる。 The integrated product thus obtained is fitted into the housing H from above, and the reinforcing metal fitting r1 protruding from the outer periphery of the upper end of the rubber elastic body R is superposed on the step formed on the inner periphery of the upper end of the housing H. At the same time, the orifice plate O and the diaphragm D are fitted into the housing H from above, and the reinforcing metal fitting d1 protruding from the outer periphery of the lower end of the diaphragm D is overlaid on the reinforcing metal fitting r1 of the rubber elastic body R. Then, when the standing wall portion on the outer periphery of the upper end of the housing H is bent to the inner peripheral side and the reinforcing metal fittings r1 and d1 overlapped on the stepped portion are caulked from above, the workpiece W without liquid filling is obtained.

前記のように得られたワークＷに液体を封入する方法は、上述した液封入装置を用いて、液体を脱気する工程と、ワークＷの液室ｗ１内の空気を排気する工程と、排気後の液室ｗ１に予め計量して液体を供給する工程と、液体を満たした後に液室ｗ１を密封する工程と、その後、ノズル８等に残留する液体を回収する工程と、を備えている。 The method for enclosing the liquid in the workpiece W obtained as described above includes the step of degassing the liquid, the step of exhausting the air in the liquid chamber w1 of the workpiece W, and the exhaust using the above-described liquid enclosure device. A step of supplying liquid by weighing in advance to the subsequent liquid chamber w1, a step of sealing the liquid chamber w1 after filling the liquid, and a step of recovering the liquid remaining in the nozzle 8 and the like thereafter. .

−脱気工程−
最初に液体を脱気する工程について説明する。この脱気工程は、貯留タンク３１内の液体を脱気する工程であり、前記排気工程、給液工程、密封工程及び回収工程と並行して、２つの貯留タンク３１ａ，３１ｂで交互に行われるものである。以下の説明では、２つの貯留タンク３１ａ，３１ｂを区別することなく、単に貯留タンク３１と呼び、これに倣って電磁開閉バルブ３８，３９等も特に必要がなければ区別せずに説明する。尚、貯留タンク３１には、既に液体が貯留されているものとする。 -Deaeration process-
First, the process of degassing the liquid will be described. This degassing step is a step of degassing the liquid in the storage tank 31, and is performed alternately in the two storage tanks 31a and 31b in parallel with the exhaust step, the liquid supply step, the sealing step and the recovery step. Is. In the following description, the two storage tanks 31a and 31b are simply referred to as the storage tank 31 without being distinguished from each other, and the electromagnetic on-off valves 38 and 39 are not distinguished from each other unless there is a particular need. It is assumed that the storage tank 31 has already stored the liquid.

貯留タンク３１内の液体を脱気するときには、まず、脱気ライン３６上に介設された電磁開閉バルブ３８を開いて、真空レギュレータ３７により調整しながら回収ライン６０の負圧を貯留タンク３１内へ導入する。尚、貯留タンク３１に設けられた他のバルブは全て閉じておく。 When degassing the liquid in the storage tank 31, first, the electromagnetic opening / closing valve 38 provided on the degassing line 36 is opened, and the negative pressure of the recovery line 60 is adjusted in the storage tank 31 while being adjusted by the vacuum regulator 37. To introduce. All other valves provided in the storage tank 31 are closed.

そして、貯留タンク３１内が所定の真空圧力に到達すれば、前記電磁開閉バルブ３８を閉じて、貯留タンク３１内を密閉空間にする。こうして、密閉された貯留タンク３１内で液体の脱気を所定時間、行い、それに溶け込んでいる空気を除去することで、マウントＭに封入した後に液中で気泡が生成することを防止でき、防振性能を安定的に確保する上で有利になる。 When the inside of the storage tank 31 reaches a predetermined vacuum pressure, the electromagnetic opening / closing valve 38 is closed to make the inside of the storage tank 31 a sealed space. In this way, the liquid is deaerated in the sealed storage tank 31 for a predetermined time, and the air dissolved therein is removed, so that bubbles can be prevented from being generated in the liquid after being sealed in the mount M. This is advantageous in ensuring stable vibration performance.

これに対し、排気行程、給液工程、密封工程及び回収工程は、この順番の一連のシーケンスとして行われる。まず、作業者は、図１、２のようにテーブル２が最下位置にある状態で、ワークＷをテーブル２上の保持具３にセットする。この際、作業者は、ワークＷのブラケット部ｈ１を手前にして、保持具３の所定位置に合わせてセットすればよい。それからフレーム１の最上部に配設されている操作盤１１（図１参照）のスイッチを押して、液封入装置を作動させる。 On the other hand, the exhaust process, the liquid supply process, the sealing process, and the recovery process are performed as a series of sequences in this order. First, the operator sets the workpiece W on the holder 3 on the table 2 with the table 2 in the lowest position as shown in FIGS. At this time, the operator may set the bracket 3 at a predetermined position of the holder 3 with the bracket portion h1 of the workpiece W facing forward. Then, the switch of the operation panel 11 (see FIG. 1) disposed at the uppermost part of the frame 1 is pushed to operate the liquid sealing device.

−排気工程−
液封入装置が作動すると、まず、エアシリンダ４の作動によってテーブル２が上昇し、その上の保持具３にセットされているワークＷの上部、即ちダイヤフラムＤ上面の外周寄りの部位が、上方の支持板７から下方に延びるノズル８及び押さえ棒９，９の下端に押し付けられる。このとき、ワークＷの封入孔ｄ２は、図４の如くノズル８と気密に接続される。また、供給機構９０のスライド板９５が前進して、通路形成部材２４の分岐孔２４ｃに鋼球Ｓが１つだけ落下した後に、ロッド９３が下降して分岐孔２４ｃの開口を気密に封止する。 -Exhaust process-
When the liquid sealing device is operated, first, the table 2 is raised by the operation of the air cylinder 4, and the upper part of the work W set on the holder 3 above that, that is, the portion near the outer periphery of the upper surface of the diaphragm D is It is pressed against the lower ends of the nozzle 8 and the holding rods 9, 9 extending downward from the support plate 7. At this time, the sealing hole d2 of the workpiece W is airtightly connected to the nozzle 8 as shown in FIG. Further, after the slide plate 95 of the supply mechanism 90 moves forward and only one steel ball S falls into the branch hole 24c of the passage forming member 24, the rod 93 descends to seal the opening of the branch hole 24c in an airtight manner. To do.

こうして、ワークＷの液室ｗ１にノズル８を介して連通する通路形成部材２４の通路２４ａ〜２４ｃとバルブユニット本体２０の共通通路２０ａとが、外部から気密に遮断された状態で、当該バルブユニット６における排気ライン５０の開閉バルブ２２のみが開かれるとともに、該排気ライン５０の高圧真空ポンプ５１が作動する。 Thus, in a state where the passages 24a to 24c of the passage forming member 24 communicating with the liquid chamber w1 of the workpiece W through the nozzle 8 and the common passage 20a of the valve unit body 20 are shut off from the outside, the valve unit. 6, only the opening / closing valve 22 of the exhaust line 50 is opened, and the high-pressure vacuum pump 51 of the exhaust line 50 is operated.

この高圧真空ポンプ５１の作動によって、真空圧力スイッチ５５をモニタしながらワークＷの液室ｗ１内の空気が吸引（真空引き）されて、強制的に排気される。この際、ノズル８や通路形成部材２４、さらにはバルブユニット６内からも空気が排出される。そして、例えば液室ｗ１内が所定の高真空圧状態になれば、高圧真空ポンプ５１が停止するともに、バルブユニット６では排気ライン５０の開閉バルブ２２が閉じられる。 By the operation of the high-pressure vacuum pump 51, the air in the liquid chamber w1 of the workpiece W is sucked (evacuated) while monitoring the vacuum pressure switch 55, and is forcibly exhausted. At this time, air is also discharged from the nozzle 8, the passage forming member 24, and the valve unit 6. For example, when the inside of the liquid chamber w <b> 1 becomes a predetermined high vacuum pressure state, the high-pressure vacuum pump 51 stops and the valve unit 6 closes the open / close valve 22 of the exhaust line 50.

−給液工程−
前記のようにワークＷの液室ｗ１から空気が排出されれば、今度はバルブユニット６において給液ライン３０の開閉バルブ２１が開かれるとともに、該給液ライン３０上の計量シリンダ４０において下流側の開閉バルブ４２が開かれ、且つサーボシリンダ４５の作動によりピストンロッド４４がシリンダボディ４３内へ所定量、進入する。尚、上流側の開閉バルブ４１は閉じられる。 -Liquid supply process-
If air is discharged from the liquid chamber w1 of the workpiece W as described above, the valve unit 6 opens the open / close valve 21 of the liquid supply line 30 and the downstream side of the metering cylinder 40 on the liquid supply line 30 is opened. The open / close valve 42 is opened, and the piston rod 44 enters the cylinder body 43 by a predetermined amount by the operation of the servo cylinder 45. The upstream opening / closing valve 41 is closed.

そうしてピストンロッド４４によりシリンダボディ４３から押し出され、開閉バルブ４２から下流側の給液ライン３０へ吐出された液体は、この給液ライン３０を流通してバルブユニット６へ送給され、ノズル８を介してワークＷの液室ｗ１内に供給される。この際、液室ｗ１内が負圧になっているので、液体はスムーズに供給されて液室ｗ１の隅々にまで充填される。 Then, the liquid pushed out from the cylinder body 43 by the piston rod 44 and discharged from the open / close valve 42 to the liquid supply line 30 on the downstream side is circulated through the liquid supply line 30 and fed to the valve unit 6. 8 is supplied into the liquid chamber w1 of the workpiece W. At this time, since the inside of the liquid chamber w1 has a negative pressure, the liquid is smoothly supplied and filled into every corner of the liquid chamber w1.

そうして液室ｗ１に充填される液体の分量は、前記のように計量シリンダ４０によって予め計量されているから、ワークＷのハウジングＨやゴム弾性体Ｒの大きさのばらつきやそれらを組み付ける際の誤差によって、液室ｗ１の容積にばらつきがあっても、そのことによって液の封入量がばらつくことはない。 Since the amount of the liquid filled in the liquid chamber w1 is previously measured by the measuring cylinder 40 as described above, the size variation of the housing H and the rubber elastic body R of the workpiece W and when assembling them. Even if there is a variation in the volume of the liquid chamber w1 due to the error, the amount of liquid filling does not vary.

−密封工程−
そうして液室ｗ１内に液体が満たされれば、バルブユニット６では給液ライン３０の開閉バルブ２１が閉じられる。また、通路形成部材２４の分岐路２４ｂでは、そこに挿入されているロッド９１が一旦、最後退位置まで後退した後に前進して、鋼球Ｓを供給通路２４ａに送り、続いてロッド１０１が下降して鋼球Ｓを、ノズル８内の通路を介してワークＷの封入孔ｄ２に嵌め入れる。 -Sealing process-
When the liquid chamber w1 is filled with the liquid, the valve unit 6 closes the open / close valve 21 of the liquid supply line 30. Further, in the branch passage 24b of the passage forming member 24, the rod 91 inserted therein temporarily advances to the last retracted position and then moves forward to feed the steel ball S to the supply passage 24a, and then the rod 101 descends. Then, the steel ball S is fitted into the sealing hole d2 of the workpiece W through the passage in the nozzle 8.

その際、鋼球Ｓの送られる分岐路２４ｂや供給通路２４ａ内が液によって満たされているため、そこを通って鋼球Ｓが封入孔ｄ２に嵌入されるときに、空気が混入する虞れはない。また、封入孔ｄ２から押し出された液体はノズル８内に留まり、外部にこぼれる心配はない。勿論、空気中の異物が封入液に混入する虞れもない。 At that time, since the inside of the branch path 24b and the supply path 24a through which the steel balls S are sent are filled with liquid, air may be mixed in when the steel balls S are inserted into the sealing holes d2 through the branches. There is no. Further, the liquid pushed out from the sealing hole d2 stays in the nozzle 8, and there is no fear of spilling outside. Of course, there is no possibility that foreign matter in the air is mixed into the sealing liquid.

−回収工程−
前記のように鋼球Ｓにより封入孔ｄ２が閉止され、液室ｗ１が密封されて、液封マウントＭが完成すれば、バルブユニット６では回収ライン６０の開閉バルブ２３のみが開かれる。そうすると、該回収ライン６０の真空ポンプ６１は常時、作動しているので、回収タンク６２内が負圧とされ、この負圧によってバルブユニット６や通路形成部材２４、さらにはノズル８内に残留している液体が吸引されて、回収タンク６２に回収される。 -Recovery process-
As described above, when the sealing hole d2 is closed by the steel ball S, the liquid chamber w1 is sealed, and the liquid seal mount M is completed, in the valve unit 6, only the open / close valve 23 of the recovery line 60 is opened. Then, since the vacuum pump 61 of the recovery line 60 is always operating, the recovery tank 62 has a negative pressure, and this negative pressure causes the valve unit 6, the passage forming member 24, and the nozzle 8 to remain. The sucked liquid is sucked and collected in the collection tank 62.

そして、予め設定されている時間が経過すれば、バルブユニット６では回収ライン６０の開閉バルブ２３が閉じられる。また、その間、給液ライン３０においては既に脱気の完了している貯留タンク３１の電磁開閉バルブ３２が開かれ、計量シリンダ４０において下流側の開閉バルブ４２が閉じられ、上流側の開閉バルブ４１が開かれるとともに、サーボシリンダ４５の作動によりピストンロッド４４がシリンダボディ４３内から退出する。これにより、ピストンロッド４４のストローク分の液体が計量シリンダ４０へ吸入される。 When the preset time has elapsed, the valve unit 6 closes the open / close valve 23 of the recovery line 60. Meanwhile, in the liquid supply line 30, the electromagnetic opening / closing valve 32 of the storage tank 31 that has already been deaerated is opened, the downstream opening / closing valve 42 is closed in the measuring cylinder 40, and the upstream opening / closing valve 41. Is opened, and the piston rod 44 is withdrawn from the cylinder body 43 by the operation of the servo cylinder 45. Thereby, the liquid corresponding to the stroke of the piston rod 44 is sucked into the measuring cylinder 40.

尚、前記のように脱気の完了した貯留タンク３１から計量シリンダ４０へ液を供給する際には、電磁開閉バルブ３２の開作動に先立って大気連通用の電磁開閉バルブ３９が開かれ、貯留タンク３１内が大気開放されている。 When supplying the liquid from the storage tank 31 that has been deaerated as described above to the measuring cylinder 40, the electromagnetic open / close valve 39 for air communication is opened prior to the opening operation of the electromagnetic open / close valve 32 to store the liquid. The tank 31 is open to the atmosphere.

また、前記のようにして液封マウントＭが完成すれば、エアシリンダ４の作動によってテーブル２が最下位置まで下降し、作業者は、完成したマウントＭをテーブル２上の保持具３から容易に取り外せるようになる。この際、前記したようにノズル８内から既に液体が除去されているので、上方のノズル８から液体が垂れる心配がなく、それを拭き取る手間も要らない。作業者は、完成したマウントＭを取り外した後に、次のワークＷを保持具３にセットして操作盤１１のスイッチを押し、前記の各工程を実行すればよい。 When the liquid-sealed mount M is completed as described above, the table 2 is lowered to the lowest position by the operation of the air cylinder 4, and the operator can easily remove the completed mount M from the holder 3 on the table 2. Can be removed. At this time, as described above, since the liquid has already been removed from the inside of the nozzle 8, there is no fear of the liquid dripping from the upper nozzle 8, and there is no need to wipe it off. After removing the completed mount M, the operator may set the next workpiece W on the holder 3 and press the switch on the operation panel 11 to execute the above steps.

（作用効果）
したがって、この実施形態の液封入装置によると、エンジンマウントＭとなるワークＷの液室ｗ１から空気を排出した後に、計量シリンダ４０によって正確に計量して液を供給するようにしたから、その液室ｗ１の容積等にばらつきがあっても液の封入量がばらつくことはなくなり、マウントＭの防振性能を安定的に確保する上で有利になる。 (Function and effect)
Therefore, according to the liquid sealing apparatus of this embodiment, after the air is discharged from the liquid chamber w1 of the workpiece W serving as the engine mount M, the liquid is accurately measured and supplied by the measuring cylinder 40. Even if the volume of the chamber w1 varies, the amount of liquid filling does not vary, which is advantageous in stably securing the vibration proof performance of the mount M.

しかも、計量シリンダ４０には電動サーボシリンダ４５を備え、そのストロークの調整を非常に高い精度で行うことができるので、供給液量の微調整が可能になり、仕様の異なるマウントＭに対して封入する液量を容易に変更することができる。 In addition, the measuring cylinder 40 is equipped with an electric servo cylinder 45, and its stroke can be adjusted with very high accuracy, so that the amount of liquid to be supplied can be finely adjusted and enclosed in mounts M having different specifications. The amount of liquid to be changed can be easily changed.

特にこの実施形態では、液の封入後にワークＷからノズル８を取り外す前に、そのノズル８を介して鋼球Ｓを封入孔ｄ２に嵌め入れるようにしたから、液体のこぼれや空気等の侵入も阻止することができる。 In particular, in this embodiment, before the nozzle 8 is removed from the workpiece W after the liquid is sealed, the steel ball S is fitted into the sealing hole d2 through the nozzle 8, so that liquid spillage or intrusion of air or the like may occur. Can be blocked.

その上さらに、ノズル８を取り外す前にその中の残液を吸引して回収するようにしたから、その残液の混入によって次のワークＷへの液体の封入量がばらつくことも阻止できる。また、完成したマウントＭを取り外すときにノズル８から液体がこぼれることもなく、マウントＭの金具の錆を引き起こす虞れもない。 In addition, since the residual liquid in the nozzle 8 is sucked and collected before the nozzle 8 is removed, it is possible to prevent the amount of liquid from being filled in the next workpiece W due to the mixture of the residual liquid. Further, when the completed mount M is removed, no liquid is spilled from the nozzle 8, and there is no possibility of causing rust of the metal fitting of the mount M.

（他の実施形態）
尚、本発明は、前記実施形態の構成に限定されるものではなく、その他の種々の構成をも包含する。すなわち、前記実施形態の液封入装置には回収ライン６０が設けられているが、これは必ずしも必要ではない。また、ワークＷの封入孔ｄ２に接続したノズル８から鋼球Ｓを嵌め入れるようにしているが、液の封入後に一旦、封入孔ｄ２からノズル８を取り外し、その後、鋼球Ｓを嵌入するようにすることも可能である。 (Other embodiments)
In addition, this invention is not limited to the structure of the said embodiment, It includes other various structures. That is, although the recovery line 60 is provided in the liquid sealing apparatus of the embodiment, this is not always necessary. In addition, the steel ball S is inserted from the nozzle 8 connected to the sealing hole d2 of the workpiece W, but after the liquid is sealed, the nozzle 8 is once removed from the sealing hole d2, and then the steel ball S is inserted. It is also possible to make it.

また、前記実施形態の液封入装置では、保持具３に正立状態でセットしたワークＷの封入孔ｄ２を、下向きに設けたノズル８に対し下方から押し付けて接続するようにしているが、これに限らず、例えばテーブル２上に上向きにノズル８を配設し、倒立させたワークＷの下部に開口する封入孔ｄ２を上方から接続するように構成することもできる。 In the liquid sealing apparatus of the above embodiment, the sealing hole d2 of the workpiece W set in the upright state on the holder 3 is pressed and connected from below to the nozzle 8 provided downward. For example, the nozzle 8 may be disposed upward on the table 2 and the sealing hole d2 opened in the lower portion of the inverted workpiece W may be connected from above.

また、前記実施形態ではバルブユニット６を、４つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂ，２２，２３を備えるものとしているが、これは１〜３個のバルブにて構成することも可能である。 Moreover, in the said embodiment, although the valve unit 6 shall be provided with the four opening-and-closing valves 21a, 21b, 22, and 23, this can also be comprised with 1-3 valves.

さらに、前記実施形態の液封入装置に、ワークＷの重量を検出するセンサをさらに備え、これにより検出したワークＷの重量の変化に応じて、計量シリンダ４０のストロークを補正するようにしてもよい。こうすれば、ワークＷの液室ｗ１へ実際に充填される液量に応じて、そこへの供給量を補正することができるので、ワークＷへの液の封入量のばらつきを完全になくすこともできる。 Furthermore, the liquid sealing apparatus of the embodiment may further include a sensor that detects the weight of the workpiece W, and the stroke of the measuring cylinder 40 may be corrected according to the change in the weight of the workpiece W detected thereby. . In this way, the amount of liquid supplied to the work chamber W1 can be corrected in accordance with the amount of liquid actually filled in the liquid chamber w1 of the work W, so that variations in the amount of liquid filled in the work W are completely eliminated. You can also.

また、前記実施形態では液封入装置に貯留タンク３１を２つ設けているが、これは１つであってもよい。さらに、給液ライン３０へ貯留タンク３１から液体を供給する際にこれを加圧するようにしてもよい。そのためには例えば、工場の設備であるエアの供給ラインを利用し、高圧のエアをレギュレータにより調整して貯留タンク３１内に導く加圧ラインを設ければよい。 In the embodiment, two storage tanks 31 are provided in the liquid sealing apparatus, but this may be one. Furthermore, when supplying the liquid from the storage tank 31 to the liquid supply line 30, it may be pressurized. For this purpose, for example, an air supply line that is a facility of a factory is used, and a high-pressure air is adjusted by a regulator, and a pressurization line that leads into the storage tank 31 may be provided.

前記実施形態では、一例として縦型の液封マウントＭを示したが、特にこれに限定されるものではなく、本発明の封入装置は、その他の液封マウントにも適用可能である。 In the above embodiment, although the liquid seal mount M of the vertical as an example, but the present invention is not particularly limited to, encapsulation equipment of the present invention is also applicable to other liquid sealed mount.

以上、説明したように、本発明は、液封マウントの封入液の量のばらつきを解消して、マウントの特性のばらつきを抑えることができるので、有用である。 As described above, the present invention is useful because it can eliminate variations in the amount of liquid contained in the liquid-sealed mount and suppress variations in mount characteristics.

実施形態の液封入装置の概略構成を示す正面図である。It is a front view which shows schematic structure of the liquid sealing apparatus of embodiment. (a)は、ワークをセットしたテーブルとその上方のバルブユニットとを示す斜視図であり、(b)は、特にノズルの位置を示す下方からの斜視図である。(a) is a perspective view which shows the table | surface which set the workpiece | work, and the valve unit above it, (b) is a perspective view from the lower part which shows the position of a nozzle especially. 液封マウントの構造の一例を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows an example of the structure of a liquid seal mount. 液封入装置の要部としてバルブユニットや鋼球の供給及び嵌入機構の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the supply and insertion mechanism of a valve unit and a steel ball as a principal part of a liquid sealing apparatus. バルブユニットの構成を示す図４のV-V線断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV in FIG. 4 showing the configuration of the valve unit. 液体供給系統の回路構成を示すシステム図である。It is a system diagram which shows the circuit structure of a liquid supply system. 計量シリンダの構成を示す(a)正面図及び(b)側面図である。It is (a) front view and (b) side view which show the structure of a measurement cylinder.

Ｍ液封マウント
Ｓ鋼球（封止部材）
Ｗワーク（マウントワーク）
ｗ１液室
ｄ２封入孔（封入口）
２テーブル
３保持具
６バルブユニット（切替バルブ）
８ノズル
３０給液ライン
４０計量シリンダ（計量供給手段）
４３シリンダボディ
４４ピストンロッド
４５サーボシリンダ（サーボモータ）
５０排気ライン
６０回収ライン
１００嵌入機構（嵌入手段） M Liquid seal mount S Steel ball (sealing member)
W Work (Mount Work)
w1 Liquid chamber d2 Enclosure hole (enclosure port)
2 Table 3 Holder 6 Valve unit (switching valve)
8 Nozzle 30 Liquid supply line 40 Measuring cylinder (Measuring supply means)
43 Cylinder body 44 Piston rod 45 Servo cylinder (servo motor)
50 exhaust line 60 recovery line 100 insertion mechanism (insertion means)

Claims

A liquid sealing device for liquid seal mounting that seals liquid in a liquid chamber of a mount work,
A nozzle that is hermetically connected to a sealing port communicating with the liquid chamber of the mount work;
A switching valve for switching and connecting the nozzle to an exhaust line for discharging air from the liquid chamber of the mount work and a liquid supply line for supplying liquid to the liquid chamber after the exhaust;
With
A metering supply means for metering and supplying the liquid to the liquid supply line is connected ,
The metering means comprises a cylinder driven by a servo motor,
The cylinder includes a cylinder body extending in the vertical direction, and a piston rod inserted therein.
A liquid sealing device for a liquid seal mount, wherein the suction port and the discharge port of the cylinder body are respectively provided on the lower end side of the cylinder body .

A collection line is provided for sucking and collecting the liquid remaining in the nozzle,
Switching valves, the liquid containment system of claim 1, characterized in that it is configured to connect the nozzle exhaust line, supply fluid line or any one to switched the recovery line.

Equipped with a detecting means for detecting the weight of the mounted work,
Metering means in accordance with a change in weight detected by the detection means, according to any one of claims 1 or 2, characterized in that is configured to correct a supply amount of the liquid Liquid sealing device.

The liquid sealing device according to any one of claims 1 to 3 , further comprising a fitting means for fitting a sealing member into the sealing port via a nozzle connected to the sealing port of the mount work.