JP4831998B2 - Magnifying observation stand device and microscope equipped with the same - Google Patents

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Description

本発明は、支持装置およびそれを備えた顕微鏡に関する。   The present invention relates to a support device and a microscope including the support device.

従来より、カメラが取り付けられた拡大観察用のスタンド装置が開発されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a stand device for magnifying observation to which a camera is attached has been developed (for example, see Patent Document 1).

ここで、上記従来のスタンド装置の概略について図面を参照しながら説明する。   Here, an outline of the conventional stand device will be described with reference to the drawings.

図11は、従来の拡大観察用のスタンド装置を示す側面図であり、図12は、従来の拡大観察用のスタンド装置を示す正面図である。   FIG. 11 is a side view showing a conventional stand device for magnified observation, and FIG. 12 is a front view showing a conventional stand device for magnified observation.

図11に示すように、従来の拡大観察用のスタンド装置(以下、単にスタンド装置と呼ぶ)は、固定支柱120および固定支柱130を有する。固定支柱120および固定支柱130はそれぞれベース140に立設されている。   As shown in FIG. 11, a conventional stand device for magnification observation (hereinafter simply referred to as a stand device) includes a fixed column 120 and a fixed column 130. The fixed column 120 and the fixed column 130 are each erected on the base 140.

固定支柱130の上端部には回動機構130Aを介して回動支柱110が取り付けられている。   A rotating column 110 is attached to the upper end portion of the fixed column 130 via a rotating mechanism 130A.

回動支柱110にはカメラ取り付け部111が取り付けられている。このカメラ取り付け部111には拡大観察用のカメラCが取り付けられている。   A camera mounting portion 111 is attached to the rotating column 110. A camera C for magnifying observation is attached to the camera attachment portion 111.

また、固定支柱120には、ステージ取り付け部121を介して測定対象物Wを載置するためのステージ126が取り付けられている。ステージ126は、平面を構成するX軸方向およびY軸方向に移動可能なX−Yステージからなり、ステージ取り付け部121上に止めネジ125により固定されている。なお、カメラCで撮像された測定対象物Wの拡大像は、例えば液晶ディスプレイのような表示器に表示される。   In addition, a stage 126 for mounting the measurement object W is attached to the fixed support 120 via the stage attachment part 121. The stage 126 is composed of an XY stage that can move in the X-axis direction and the Y-axis direction constituting a plane, and is fixed on the stage mounting portion 121 by a set screw 125. Note that an enlarged image of the measurement object W captured by the camera C is displayed on a display such as a liquid crystal display.

上記の回動機構130Aは、水平軸Hの周りに回動支柱110を回動可能に支持するものである。   The rotating mechanism 130A supports the rotating column 110 about the horizontal axis H in a rotatable manner.

回動機構130Aは、円筒軸受131、回動軸132および止めネジつまみ133からなる。この円筒軸受131に回動軸132が嵌合していることにより、回動軸132は水平軸Hの周りに回動する。   The rotation mechanism 130 </ b> A includes a cylindrical bearing 131, a rotation shaft 132, and a set screw knob 133. When the rotation shaft 132 is fitted to the cylindrical bearing 131, the rotation shaft 132 rotates around the horizontal axis H.

また、止めネジつまみ133は、円筒軸受131を貫通するように設けられており、この止めネジつまみ133を回動軸132に当接させることによって、回動軸132の不必要な回転が防止されている。   Further, the set screw knob 133 is provided so as to penetrate the cylindrical bearing 131, and unnecessary rotation of the rotary shaft 132 is prevented by bringing the set screw knob 133 into contact with the rotary shaft 132. ing.

すなわち、図12において一点鎖線で示すように、回動支柱110は、鉛直線Vに対する傾斜角Aを自在に調整できるように設けられている。   That is, as shown by a one-dot chain line in FIG. 12, the rotating support column 110 is provided so that the inclination angle A with respect to the vertical line V can be freely adjusted.

回動支柱110には粗動機構150A(図11)および微調整機構160Aがそれぞれ設けられており、固定支柱120には粗動機構150Bおよび微調整機構160Bがそれぞれ設けられている。このような構成により、カメラ取り付け部111およびステージ126は、それぞれ回動支柱110および固定支柱120に対して鉛直線Vの方向(上下方向)に粗動および微調整される。   The rotary support 110 is provided with a coarse adjustment mechanism 150A (FIG. 11) and a fine adjustment mechanism 160A, and the fixed support 120 is provided with a coarse adjustment mechanism 150B and a fine adjustment mechanism 160B. With such a configuration, the camera mounting portion 111 and the stage 126 are coarsely moved and finely adjusted in the direction of the vertical line V (up and down direction) with respect to the rotating support column 110 and the fixed support column 120, respectively.

ここで、上記の粗動機構150A,150Bおよび微調整機構160A,160Bの詳細について説明する。   Here, the details of the coarse movement mechanisms 150A and 150B and the fine adjustment mechanisms 160A and 160B will be described.

図11に示すように、粗動機構150A,150Bは、それぞれ回動支柱110および固定支柱120に摺動可能に設けられたスライダ112,122と、これらスライダ112,122を回動支柱110および固定支柱120にそれぞれ固定するための止めネジからなるポール固定用の粗動つまみ113,123とにより構成されている。   As shown in FIG. 11, coarse movement mechanisms 150A and 150B are respectively provided with sliders 112 and 122 slidably provided on a rotating support column 110 and a fixed supporting column 120, and these sliders 112 and 122 are fixed to the rotating support column 110 and fixed. This is composed of coarse fixing knobs 113 and 123 for fixing the pole, each of which is a set screw for fixing to the support 120.

一方、微調整機構160A,160Bは、カメラ取り付け部111およびステージ取り付け部121にそれぞれ設けたラック(図示せず)と、スライダ112,122にそれぞれ設けたピニオン(図示せず)と、これらのラックとピニオンとを噛み合わせることにより上記ピニオンを回転させる微調整つまみ114,124とから構成されている。このような構成により、スライダ112,122に対してカメラ取り付け部111およびステージ取り付け部121がそれぞれ鉛直線Vの方向に摺動される。   On the other hand, the fine adjustment mechanisms 160A and 160B include racks (not shown) provided on the camera attachment part 111 and the stage attachment part 121, pinions (not shown) provided on the sliders 112 and 122, and these racks, respectively. And fine adjustment knobs 114 and 124 for rotating the pinion by engaging the pinion with each other. With such a configuration, the camera attachment portion 111 and the stage attachment portion 121 are slid relative to the sliders 112 and 122 in the direction of the vertical line V, respectively.

このような構成を有するスタンド装置を用いることにより、高さの異なる測定対象物Wを観察する場合においても、ステージ取り付け部121を鉛直線Vの方向に摺動させることによって、カメラCの焦点が合う位置と測定対象物Wの観察ポイントとを一致させることができる。
特開2001−59599号公報
By using the stand device having such a configuration, the focus of the camera C can be adjusted by sliding the stage mounting portion 121 in the direction of the vertical line V even when observing the measuring object W having different heights. The matching position and the observation point of the measurement object W can be matched.
JP 2001-59999 A

しかしながら、上記従来のスタンド装置において、カメラCの視野中心I1と回動支柱110の回動中心I2とがずれるようにカメラCがカメラ取り付け部111に取り付けられている場合、次のような問題が生じる。   However, in the conventional stand device, when the camera C is mounted on the camera mounting portion 111 so that the visual field center I1 of the camera C and the rotation center I2 of the rotation column 110 are shifted, the following problems occur. Arise.

すなわち、上記回動中心を基準にして回動支柱110を傾斜させたときに、回動支柱110を傾斜させないで観察する測定対象物Wの観察ポイントおよび焦点がずれてしまう。そのため、従来のスタンド装置では、回動支柱110の傾斜角Aが変更される度に、ステージ取り付け部121を上下に移動させることにより観察ポイントおよび焦点を修正しなければならず、非常に手間がかかる。特に、高倍率(例えば、100倍〜500倍)のカメラCを用いた場合には、上記観察ポイントのずれ量は著しくなる。   That is, when the rotation support 110 is tilted with reference to the rotation center, the observation point and the focus of the measurement object W observed without tilting the rotation support 110 are shifted. Therefore, in the conventional stand device, the observation point and the focus must be corrected by moving the stage mounting portion 121 up and down each time the inclination angle A of the rotating support column 110 is changed, which is very troublesome. Take it. In particular, when the camera C with a high magnification (for example, 100 to 500 times) is used, the amount of deviation of the observation point becomes significant.

本発明の目的は、撮像手段の光軸(視野中心)と撮像手段を支持する支持部材の回動軸(回動中心)とを容易に直交させることが可能な支持装置およびそれを備えた顕微鏡を提供することである。   An object of the present invention is to provide a support device capable of easily making the optical axis (center of field of view) of an image pickup means and the rotation axis (rotation center) of a support member supporting the image pickup means orthogonal to each other and a microscope equipped with the support device Is to provide.

第1の発明に係る拡大観察用のスタンド装置は、測定対象物を拡大観察するために、測定対象物を撮像する撮像手段が取り付けられる拡大観察用のスタンド装置であって、測定対象物が載置される載置面を有するステージと、ステージに光軸が向くように撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、取り付け手段を支持する支持部材と、支持部材に設けられ、支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、回動軸を回動可能に保持する保持手段と、保持手段を支持する支持台と、支持台が取り付けられるベースと、ステージの下方かつベース上に設けられ、ステージに載置された測定対象物の表面の高さが支持部材の回動中心の高さに一致するようにステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、取り付け手段は、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対する撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えたものである。 A stand device for magnification observation according to a first aspect of the present invention is a stand device for magnification observation to which an imaging means for imaging a measurement object is attached in order to enlarge and observe the measurement object. A stage having a mounting surface to be placed; an attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage; a support member that supports the attachment means; and a support member that is provided on the support member and is integrated with the support member A rotating shaft that rotates about a horizontal axis, a holding means that rotatably holds the rotating shaft, a support base that supports the holding means, a base to which the support base is attached, a stage below and on the base And a height adjustment mechanism that can adjust the height of the stage so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage matches the height of the rotation center of the support member. Means imaging As the optical axis of the stage is perpendicular to the pivot axis, which has an adjustment means for adjusting the relative horizontal position of the imaging means relative to the support member while the optical axis of the imaging means is perpendicular to the mounting surface of the stage is there.

本発明に係る支持装置においては、ステージの載置面に測定対象物が載置される。撮像手段はステージに光軸が向くように取り付け手段に取り付けられ、この取り付け手段は支持部材に支持される。支持部材は、回動軸を中心として所定の面内で傾斜できるよう保持手段により保持される。また、撮像手段の相対的な水平位置は、取り付け手段の調整手段により、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対して相対的に調整される。 In the support device according to the present invention, the measurement object is placed on the placement surface of the stage. The imaging means is attached to the attachment means so that the optical axis faces the stage, and this attachment means is supported by the support member. The support member is held by the holding means so as to be inclined within a predetermined plane around the rotation axis. The relative horizontal position of the imaging means is supported by the adjusting means of the attachment means while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the stage mounting surface so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. It is adjusted relative to the member.

このような構成において、調整手段を用いることにより、回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率の撮像手段を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。 In such a configuration, by using the adjustment means, it can be easily perpendicular to the optical axis of rotating shaft and the imaging means. Thereby, even when the measurement object is observed from an oblique direction by tilting the rotating member, the observation point on the measurement object and the desired observation point can be observed in a focused state without shifting the focus. it can. In particular, when a high-magnification image pickup unit is used, the above-described effects are prominent.

ステージは、載置面に垂直な回転軸の周りで回転可能に設けられ、ステージの回転軸と、回動軸とが直交するようにステージおよび保持手段が配置されてもよい。 The stage may be provided so as to be rotatable around a rotation axis perpendicular to the mounting surface, and the stage and the holding means may be arranged so that the rotation axis of the stage and the rotation axis are orthogonal to each other.

このように、ステージの回転軸と回動軸とが直交するようにステージおよび保持手段が配置されることにより、作業者はステージの回転軸と撮像手段の光軸とを一致させることによって、撮像手段の光軸と回動軸とを間接的に直交させることができる。この場合、作業者は、ステージを回転させつつ撮像手段により得られる画像を観察することにより、ステージの回転軸と撮像手段の光軸とを容易に一致させることができる。 Thus, by arranging the stage and the holding means so that the rotation axis and the rotation axis of the stage are orthogonal to each other, the operator can take an image by matching the rotation axis of the stage and the optical axis of the imaging means. The optical axis of the means and the rotation axis can be made to be orthogonal to each other. In this case, the operator can easily match the rotation axis of the stage and the optical axis of the imaging means by observing the image obtained by the imaging means while rotating the stage.

調整手段は、支持部材に対する撮像手段の相対的な水平位置を調整するために、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含み、取り付け手段は、孔部を有する取り付け部材と、孔部内において第1および第2の軸を含む面内で移動可能に設けられ、撮像手段が挿通される環状具とを含み、第1および第2の調整手段は、環状具の外周面に当接するとともに第1および第2の軸の方向に移動可能な第1および第2の調整部材をそれぞれ含んでもよい。 The adjusting means moves the imaging means in first and second axis directions orthogonal to the optical axis of the imaging means in order to adjust the relative horizontal position of the imaging means with respect to the support member. The adjusting means includes an attaching member having a hole, and an annular tool provided in the hole so as to be movable in a plane including the first and second shafts and through which the imaging means is inserted; The first and second adjusting means may include first and second adjusting members that are in contact with the outer peripheral surface of the annular tool and are movable in the directions of the first and second axes, respectively.

この場合、撮像手段は、第1および第2の調整手段により、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に移動される。撮像手段が挿通された環状具の外周面を第1および第2の調整部材により押圧することによって、撮像手段を第1および第2の軸の方向に間接的に移動させることができる。撮像手段は第1および第2の調整部材に直接当接していないので、作業者は環状具内から撮像手段を抜き取り、環状具内に撮像手段を挿入することにより、撮像手段の取り替えを容易かつ迅速に行うことができる。 In this case, the imaging unit is moved in the directions of the first and second axes orthogonal to the optical axis of the imaging unit by the first and second adjustment units. By pressing the outer peripheral surface of the annular tool through which the imaging means is inserted with the first and second adjustment members, the imaging means can be moved indirectly in the directions of the first and second axes. Since the imaging means is not in direct contact with the first and second adjustment members, the operator can easily replace the imaging means by removing the imaging means from the annular tool and inserting the imaging means into the annular tool. Can be done quickly.

取り付け手段は、環状具の外周面を環状具の略中心を向かうように付勢する付勢手段をさらに含んでもよい。   The attaching means may further include an urging means for urging the outer peripheral surface of the annular tool so as to face the substantially center of the annular tool.

この場合、付勢手段により、環状具は第1および第2の調整部材の先端に押圧される。それにより、作業者による第1および第2の調整部材の操作によって環状具が過度に移動されることが防止される。その結果、第1および第2の調整部材の先端が環状具に常に当接した状態で、環状具の位置を正確に調整することが可能となる。   In this case, the annular tool is pressed against the tips of the first and second adjustment members by the biasing means. Thereby, it is prevented that an annular tool is moved too much by operation of the 1st and 2nd adjustment member by an operator. As a result, it is possible to accurately adjust the position of the annular tool while the tips of the first and second adjustment members are always in contact with the annular tool.

取り付け手段は、付勢手段により付勢されている環状具の部分に当接することにより第1および第2の調整部材とともに環状具を固定する固定具をさらに含んでもよい。   The attachment means may further include a fixture that fixes the annular tool together with the first and second adjustment members by contacting the portion of the annular tool that is biased by the biasing means.

この場合、第1および第2の調整部材とともに固定具により、環状具の上記孔部内における位置が確実に固定される。   In this case, the position of the annular tool in the hole is reliably fixed by the fixing tool together with the first and second adjusting members.

支持装置は、保持手段に設けられ、撮像手段に接続されたケーブルを拘束するケーブル拘束手段をさらに備えてもよい。   The support device may further include a cable restraining unit that is provided in the holding unit and restrains a cable connected to the imaging unit.

この場合、ケーブルがケーブル拘束手段に拘束されていることにより、支持部材の傾斜に伴ってケーブルが接続されている撮像手段が傾斜した場合でも、撮像手段とケーブルとの接続部分におけるがたつきを防止することができるとともに、撮像手段の傾斜によるケーブルの強制的な引張りを防止することができる。それにより、撮像手段が傾斜されて測定対象物が観察される場合でも、撮像手段の位置を安定させることが可能となる。   In this case, since the cable is restrained by the cable restraining means, even if the imaging means to which the cable is connected is tilted with the inclination of the support member, rattling at the connection portion between the imaging means and the cable is prevented. It is possible to prevent the cable from being forcibly pulled due to the inclination of the image pickup means. Thereby, even when the imaging unit is tilted and the measurement object is observed, the position of the imaging unit can be stabilized.

取り付け手段は孔部を有し、支持部材は、取り付け手段の孔部に移動可能に挿通される棒状部材を含み、取り付け手段の孔部に棒状部材が挿通された状態で取り付け手段を棒状部材に固定する粗動手段をさらに備え、粗動手段は、くさび形状の先端部を有し、棒状部材は、軸方向に延びる長溝を有し、粗動手段の先端部が棒状部材の長溝に嵌合されてもよい。   The attachment means has a hole, the support member includes a rod-like member that is movably inserted into the hole of the attachment means, and the attachment means is made into a rod-like member in a state where the rod-like member is inserted into the hole of the attachment means. Coarse movement means is further provided, the coarse movement means has a wedge-shaped tip, the rod-like member has a long groove extending in the axial direction, and the tip of the coarse movement means is fitted into the long groove of the rod-like member. May be.

この場合、棒状部材に取り付け手段を固定する場合、作業者は粗動手段を操作する。それにより、粗動手段であるポール固定つまみのくさび形状を有する先端部が、棒状部材に形成された長溝に強固に嵌合される。これにより、取り付け手段が粗動手段に対して精度良く位置決めされた状態で固定される。   In this case, when fixing the attachment means to the rod-shaped member, the operator operates the coarse movement means. Thus, the wedge-shaped tip portion of the pole fixing knob that is the coarse movement means is firmly fitted in the long groove formed in the rod-shaped member. Thereby, the attachment means is fixed in a state of being accurately positioned with respect to the coarse movement means.

また、上記長溝は、棒状部材の長さ方向に沿った所定の長さを有するので、作業者は、所定の範囲内で取り付け手段を上下に摺動させ、所望の高さの位置で粗動手段の先端部を長溝に嵌合させることによって、取り付け手段を棒状部材の所望の位置に固定することができる。   Further, since the long groove has a predetermined length along the length direction of the rod-shaped member, the operator slides the mounting means up and down within a predetermined range, and coarsely moves at a desired height position. The fitting means can be fixed at a desired position of the rod-shaped member by fitting the tip of the means into the long groove.

棒状部材は、軸方向の複数の位置を示す複数の目盛部を備えてもよい。   The rod-shaped member may include a plurality of scale portions indicating a plurality of positions in the axial direction.

この場合、上記複数の位置には、例えば使用している撮像手段の型番または品名を示すことができる。このような構成により、作業者は、使用している撮像手段の型番または品名の位置に、取り付け手段の棒状部材に対する固定位置を容易に合わせることが可能となる。それにより、撮像手段の種類に応じて撮像手段の先端とステージとの間の距離が適切に設定される。   In this case, the plurality of positions can indicate, for example, the model number or product name of the imaging means being used. With such a configuration, the operator can easily adjust the fixing position of the attaching means with respect to the rod-shaped member to the position of the model number or product name of the imaging means being used. Thereby, the distance between the tip of the imaging means and the stage is appropriately set according to the type of the imaging means.

第2の発明に係る顕微鏡は、測定対象物を撮像する撮像手段と、測定対象物を拡大観察するために、撮像手段が取り付けられる拡大観察用のスタンド装置とを備え、拡大観察用のスタンド装置は、測定対象物が載置される載置面を有するステージと、ステージに光軸が向くように撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、取り付け手段を支持する支持部材と、支持部材に設けられ、支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、回動軸を回動可能に保持する保持手段と、保持手段を支持する支持台と、支持台が取り付けられるベースと、ステージの下方かつベース上に設けられ、ステージに載置された測定対象物の表面の高さが支持部材の回動中心の高さに一致するようにステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、取り付け手段は、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対する撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えるものである。 A microscope according to a second aspect of the present invention includes an imaging means for imaging a measurement object, and a magnification observation stand device to which the imaging means is attached in order to enlarge and observe the measurement object, and a magnification observation stand apparatus. Is provided on the support member, a stage having a placement surface on which the measurement object is placed, an attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage, a support member that supports the attachment means , A rotating shaft that rotates integrally with the support member and rotates about a horizontal axis; a holding means that rotatably holds the rotating shaft; a support base that supports the holding means; a base to which the support base is attached; A height adjustment that is provided below the stage and on the base, and the height of the stage can be adjusted so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage matches the height of the rotation center of the support member. And a mechanism The attaching means adjusts the relative horizontal position of the imaging means with respect to the support member while making the optical axis of the imaging means orthogonal to the mounting surface of the stage so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. Is provided .

本発明に係る顕微鏡においては、ステージの載置面に測定対象物が載置される。撮像手段はステージに光軸が向くように取り付け手段に取り付けられ、この取り付け手段は支持部材に支持される。支持部材は、回動軸を中心として所定の面内で傾斜できるよう保持手段により保持される。また、撮像手段の相対的な水平位置は、取り付け手段の調整手段により、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対して相対的に調整される。 In the microscope according to the present invention, the measurement object is placed on the placement surface of the stage. The imaging means is attached to the attachment means so that the optical axis faces the stage, and this attachment means is supported by the support member. The support member is held by the holding means so as to be inclined within a predetermined plane around the rotation axis. The relative horizontal position of the imaging means is supported by the adjusting means of the attachment means while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the stage mounting surface so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. It is adjusted relative to the member.

このような構成において、調整手段を用いることにより、回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率の撮像手段を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。 In such a configuration, by using the adjustment means, it can be easily perpendicular to the optical axis of rotating shaft and the imaging means. Thereby, even when the measurement object is observed from an oblique direction by tilting the rotating member, the observation point on the measurement object and the desired observation point can be observed in a focused state without shifting the focus. it can. In particular, when a high-magnification image pickup unit is used, the above-described effects are prominent.

本発明によれば、調整手段を用いることにより、回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。 According to the present invention, by using the adjustment means, it can be easily perpendicular to the optical axis of the rotary shaft and the imaging means. Thereby, even when the measurement object is observed from an oblique direction by tilting the rotating member, the observation point on the measurement object and the desired observation point can be observed in a focused state without shifting the focus. it can.

以下、本実施の形態に係る顕微鏡について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, the microscope according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.

図1は、本実施の形態に係る顕微鏡の一例を示す斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing an example of a microscope according to the present embodiment.

以下において、水平面内で直交する2方向をX軸およびY軸とし、X軸およびY軸に垂直な方向をZ軸とする。   Hereinafter, two directions orthogonal to each other in the horizontal plane are defined as an X axis and a Y axis, and a direction perpendicular to the X axis and the Y axis is defined as a Z axis.

図1に示すように、本実施の形態に係る顕微鏡100はベース1を有する。ベース1は、X軸およびY軸からなる平面上に位置する。   As shown in FIG. 1, a microscope 100 according to the present embodiment has a base 1. The base 1 is located on a plane composed of the X axis and the Y axis.

ベース1上の一端には、剛性を有する第1の支持台2およびこの第1の支持台2の前面に嵌め込まれるように設けられた第2の支持台3が取り付けられている。第1の支持台2が剛性を有するように形成されていることにより、除振性が向上されている。なお、第1の支持台2および第2の支持台3は一体的なものであってもよい。   A rigid first support base 2 and a second support base 3 provided to be fitted on the front surface of the first support base 2 are attached to one end on the base 1. Since the first support base 2 is formed to have rigidity, vibration isolation is improved. In addition, the 1st support stand 2 and the 2nd support stand 3 may be integral.

第1の支持台2は、後述のカメラ10を支持するものであり、第2の支持台3は測定対象物Wを載置する後述のステージSを支持するものである。以下、これらについて詳細に説明する。   The first support base 2 supports a camera 10 to be described later, and the second support base 3 supports a stage S to be described later on which the measurement object W is placed. Hereinafter, these will be described in detail.

第1の支持台2は、その上部に軸受部3aを備える。軸受部3aの詳細な構造については後述する。   The 1st support stand 2 equips the upper part with the bearing part 3a. The detailed structure of the bearing portion 3a will be described later.

軸受部3aの上部は、側面から見た場合に凹形状に形成されている。第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cが、上記凹形状の両側の突起部としてそれぞれ形成されている。   The upper part of the bearing portion 3a is formed in a concave shape when viewed from the side. The 1st guide part 3b and the 2nd guide part 3c are each formed as a projection part of the both sides of the said concave shape.

これら第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cは、共にY軸方向に平行な軸を中心軸として形成された円形の孔部(後述の図に記載)を有する。これらの孔部に回動軸(後述の図に記載)がY軸方向に沿って嵌合されている。   Each of the first guide portion 3b and the second guide portion 3c has a circular hole portion (described in the drawings described later) formed with an axis parallel to the Y-axis direction as a central axis. Rotating shafts (described in the drawings described later) are fitted in these holes along the Y-axis direction.

ここで、軸受部3aにおける第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間には、上記回動軸が嵌合されるための孔部(後述の図に記載)を有する連結部4が設けられている。この連結部4の孔部が上記回動軸に嵌合されていることにより、連結部4はY軸の周りに回動(傾斜)可能になっている。   Here, a connecting portion having a hole (described in the drawings described later) for fitting the rotating shaft between the first guide portion 3b and the second guide portion 3c in the bearing portion 3a. 4 is provided. By fitting the hole portion of the connecting portion 4 to the rotating shaft, the connecting portion 4 can be rotated (inclined) around the Y axis.

また、本実施の形態では、軸受部3aの第2のガイド部3bの側方には、カメラ10に接続されるケーブルCを拘束するためのケーブル拘束具3dが設けられている。ケーブル拘束具3dは、略凹状の水平断面を有し、この凹状内の空間に上記ケーブルCが挿通されている。   In the present embodiment, a cable restraint 3d for restraining the cable C connected to the camera 10 is provided on the side of the second guide portion 3b of the bearing portion 3a. The cable restraint tool 3d has a substantially concave horizontal cross section, and the cable C is inserted into a space in the concave shape.

連結部4には回動支柱5が取り付けられている。これにより、回動支柱5は連結部4とともにY軸の周りに回動可能になっている。すなわち、連結部4および回動支柱5は同じ回動軸(回動中心)R1を有する。   A rotating column 5 is attached to the connecting portion 4. Thereby, the rotation support | pillar 5 can be rotated to the surroundings of the Y-axis with the connection part 4. FIG. In other words, the connecting portion 4 and the rotation support column 5 have the same rotation axis (rotation center) R1.

回動支柱5にはZ軸方向に摺動自在なスライダ6aが取り付けられている。このスライダ6aは、ポール固定用の粗動つまみ7により回動支柱5に固定される。粗動つまみ7による固定方法の詳細については後述する。   A slider 6 a that is slidable in the Z-axis direction is attached to the rotating support column 5. The slider 6a is fixed to the rotating column 5 by a coarse movement knob 7 for fixing the pole. Details of the fixing method using the coarse movement knob 7 will be described later.

ここで、本実施の形態においては、スライダ6aのZ軸方向(高さ方向)における設定位置を示すための複数の目盛線5aが回動支柱5に設けられている。複数の目盛線5aの側方には、例えばカメラ10の型番または品名が示されている。それにより、作業者は、粗動つまみ7の操作によって、使用しているカメラ10の型番または品名の位置に、スライダ6aの回動支柱5に対する固定位置を容易に合わせることが可能となっている。それにより、カメラ10の種類に応じてカメラ10の先端とステージSとの間の距離が適切に設定される。   Here, in the present embodiment, a plurality of graduation lines 5 a are provided on the rotating support column 5 for indicating the set position of the slider 6 a in the Z-axis direction (height direction). On the side of the plurality of scale lines 5a, for example, the model number or product name of the camera 10 is shown. Thereby, the operator can easily adjust the fixed position of the slider 6a with respect to the rotating column 5 to the position of the model number or product name of the camera 10 being used by operating the coarse movement knob 7. . Thereby, the distance between the tip of the camera 10 and the stage S is appropriately set according to the type of the camera 10.

スライダ6aの前面にはZ軸方向に摺動自在な取り付け連結部6bが取り付けられている。この取り付け連結部6bを摺動させるための微調整つまみ8がスライダ6aに設けられている。なお、微調整つまみ8は、ラックおよびピニオン(共に図示せず)より構成される。   An attachment connecting portion 6b slidable in the Z-axis direction is attached to the front surface of the slider 6a. A fine adjustment knob 8 for sliding the attachment connecting portion 6b is provided on the slider 6a. The fine adjustment knob 8 is composed of a rack and a pinion (both not shown).

取り付け連結部6bにはカメラ取り付け部9が固定されている。カメラ取り付け部9にはカメラ10がZ軸方向に沿って取り付けられている。なお、本実施の形態におけるカメラ取り付け部9に対するカメラ10の取り付け方法の詳細およびカメラ取り付け部9の構造の詳細については後述する。   A camera attachment portion 9 is fixed to the attachment connecting portion 6b. A camera 10 is attached to the camera attachment unit 9 along the Z-axis direction. In addition, the detail of the attachment method of the camera 10 with respect to the camera attachment part 9 in this Embodiment and the detail of the structure of the camera attachment part 9 are mentioned later.

上記のような構成により、作業者は、最初にカメラ10のZ軸方向の大まかな設定位置を粗動つまみ7により調整することができ、その後、カメラ10のZ軸方向の精密な設定位置を微調整つまみ8により調整することができる。   With the configuration as described above, the operator can first adjust the rough setting position of the camera 10 in the Z-axis direction with the coarse movement knob 7, and then set the precise setting position of the camera 10 in the Z-axis direction. The fine adjustment knob 8 can be used for adjustment.

次に、測定対象物を載置するステージSの位置設定およびステージSの取り付け構造について説明する。   Next, the position setting of the stage S on which the measurement object is placed and the mounting structure of the stage S will be described.

上述したように、図1において、ベース1上に第2の支持台3が設けられている。第2の支持台3には、Z軸方向に摺動自在なスライダ20が取り付けられている。   As described above, in FIG. 1, the second support 3 is provided on the base 1. A slider 20 that is slidable in the Z-axis direction is attached to the second support 3.

スライダ20のZ軸方向(高さ方向)の位置については、第2の支持台3に設けられた調整つまみ21により調整することができる。   The position of the slider 20 in the Z-axis direction (height direction) can be adjusted by an adjustment knob 21 provided on the second support 3.

また、測定対象物Wが載置されるステージSは、中間連結部22を介してスライダ20に固定され回転可能に設けられているとともに、X軸方向およびY軸方向に移動可能なX−Yステージからなる。なお、回転可能なステージSは、一般的にθステージと呼ばれている。   Further, the stage S on which the measurement object W is placed is fixed to the slider 20 via the intermediate connecting portion 22 and is rotatably provided, and is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction. It consists of stages. The rotatable stage S is generally called a θ stage.

ここで、本実施の形態においては、第2の支持台3に対して摺動可能に設けられたスライダ20の摺動を所定の上限位置で阻止するように、第2の支持台3における所定の位置に摺動阻止部23が設けられている。   Here, in the present embodiment, the predetermined amount of the second support base 3 is set so as to prevent the slider 20 slidably provided with respect to the second support base 3 from sliding at a predetermined upper limit position. The sliding prevention part 23 is provided in the position.

この場合、作業者が調整つまみ21を操作することにより、スライダ20が上昇し、スライダ20の一部が摺動阻止部23に当接する。それにより、ステージSがZ軸方向の所定の位置に設定される。   In this case, when the operator operates the adjustment knob 21, the slider 20 rises, and a part of the slider 20 comes into contact with the sliding prevention portion 23. Thereby, the stage S is set to a predetermined position in the Z-axis direction.

すなわち、X軸方向から見た場合に、ステージSの上面の高さが、回動支柱5の回動軸R1の高さに一致する。ステージSの上面とは、中間連結部22が取り付けられた面と逆側の面のことである。   That is, when viewed from the X-axis direction, the height of the upper surface of the stage S matches the height of the rotation axis R <b> 1 of the rotation column 5. The upper surface of the stage S is a surface on the opposite side to the surface to which the intermediate connecting portion 22 is attached.

なお、スライダ20の一部が摺動阻止部23に当接した場合に、ステージSの上面の高さが回動支柱5の回動軸R1の高さに一致するように、予め出荷時において摺動阻止部23が第2の支持台3における所定の位置に取り付けられている。   It should be noted that when a part of the slider 20 comes into contact with the sliding prevention part 23, the height of the upper surface of the stage S is set in advance so that it matches the height of the rotation axis R1 of the rotation column 5. The sliding prevention part 23 is attached to a predetermined position on the second support 3.

また、本実施の形態では、Y軸方向から見た場合に、ステージSの回転軸R3のX軸方向の位置が、回動支柱5の回動軸R1のX軸方向の位置に合うように出荷時に中間連結部22の位置が調整されている。   In the present embodiment, when viewed from the Y-axis direction, the position of the rotation axis R3 of the stage S in the X-axis direction matches the position of the rotation axis R1 of the rotation column 5 in the X-axis direction. The position of the intermediate connecting portion 22 is adjusted at the time of shipment.

この場合、突起部3eが軸受部3aの第2のガイド部3cにおいて回動支柱5の回動軸R1と同じ高さに設けられている。出荷時において、レーザ光等によりステージSの上面の高さが突起部3eの位置に一致するように、摺動阻止部23の位置が設定される。   In this case, the protrusion 3e is provided at the same height as the rotation axis R1 of the rotation support column 5 in the second guide portion 3c of the bearing portion 3a. At the time of shipment, the position of the sliding prevention portion 23 is set so that the height of the upper surface of the stage S coincides with the position of the protruding portion 3e by laser light or the like.

次に、粗動つまみ7によるスライダ6aの固定方法について図面を参照しながら詳細に説明する。   Next, a method for fixing the slider 6a with the coarse movement knob 7 will be described in detail with reference to the drawings.

図2は、粗動つまみ7によりスライダ6aが回動支柱5に固定されている部分を示す模式図である。図2(a)は、粗動つまみ7による固定部分の横断面図であり、図2(b)は、図1に示した顕微鏡100の一部が省略されて示された斜視図である。   FIG. 2 is a schematic diagram showing a portion in which the slider 6 a is fixed to the rotating column 5 by the coarse movement knob 7. 2A is a cross-sectional view of a portion fixed by the coarse movement knob 7, and FIG. 2B is a perspective view in which a part of the microscope 100 shown in FIG. 1 is omitted.

図2(a)に示すように、回動支柱5は、Z軸方向に沿って形成された長溝5bを有する。また、粗動つまみ7は、その先端部がくさび形状に形成されている。   As shown in FIG. 2A, the rotating support column 5 has a long groove 5b formed along the Z-axis direction. The coarse movement knob 7 has a wedge-shaped tip.

本実施の形態では、回動支柱5にスライダ6aを固定する場合、作業者は、粗動つまみ7を所定の方向に回す。この場合、粗動つまみ7のくさび形状を有する先端部が、回動支柱5に形成された長溝5bに強固に嵌合される。それにより、図2(b)に示すように、回動支柱5にスライダ6aが固定される。   In the present embodiment, when the slider 6a is fixed to the rotating column 5, the operator turns the coarse knob 7 in a predetermined direction. In this case, the wedge-shaped distal end portion of the coarse movement knob 7 is firmly fitted into the long groove 5 b formed in the rotating support column 5. Thereby, as shown in FIG. 2B, the slider 6 a is fixed to the rotating column 5.

また、長溝5bは、Z軸方向に沿った所定の長さを有するので、作業者は、Z軸方向の所定の範囲内でスライダ6aを上下に摺動させ、所望の高さの位置で粗動つまみ7の先端部を長溝5bに嵌合させることによって、スライダ6aを回動支柱5の所望の位置に固定することができる。   Further, since the long groove 5b has a predetermined length along the Z-axis direction, the operator slides the slider 6a up and down within a predetermined range in the Z-axis direction, and roughens it at a desired height position. The slider 6a can be fixed at a desired position of the rotary support 5 by fitting the tip of the moving knob 7 into the long groove 5b.

次に、カメラ取り付け部9に対するカメラ10の取り付け方法およびカメラ取り付け部9の構造について説明する。   Next, a method for attaching the camera 10 to the camera attachment unit 9 and a structure of the camera attachment unit 9 will be described.

図3(a)は、カメラ取り付け部9にカメラ10が取り付けられた状態を示す斜視図であり、図3(b)は、カメラ取り付け部9の上面図である。なお、図3(b)には、カメラ取り付け部9のみが示されており、カメラ10は示されていない。   FIG. 3A is a perspective view showing a state where the camera 10 is attached to the camera attachment portion 9, and FIG. 3B is a top view of the camera attachment portion 9. In FIG. 3B, only the camera mounting portion 9 is shown, and the camera 10 is not shown.

図3(b)に示すように、カメラ取り付け部9は、カメラ当接部91を有する。また、カメラ当接部91の内側には、カメラ10が挿通するための孔部91aが設けられている。   As shown in FIG. 3B, the camera attachment portion 9 has a camera contact portion 91. In addition, a hole 91 a through which the camera 10 is inserted is provided inside the camera contact portion 91.

図3(a)に示すように、カメラ10はフランジ状の当接部10aを備える。なお、当接部10aの直径は、カメラ当接部91の内径よりも大きくなっている。   As shown in FIG. 3A, the camera 10 includes a flange-shaped contact portion 10a. Note that the diameter of the contact portion 10 a is larger than the inner diameter of the camera contact portion 91.

カメラ10がZ軸方向に沿ってカメラ取り付け部9の孔部91aに挿通されることにより、カメラ10の当接部10aがカメラ取り付け部9のカメラ当接部91に当接する。それにより、カメラ10の高さ(Z軸方向の位置)が拘束される。   When the camera 10 is inserted through the hole 91 a of the camera attachment portion 9 along the Z-axis direction, the contact portion 10 a of the camera 10 contacts the camera contact portion 91 of the camera attachment portion 9. Thereby, the height (position in the Z-axis direction) of the camera 10 is constrained.

続いて、図1のカメラ10の光軸(視野中心)R2と、ステージSの回転軸R3とを一致させる方法、すなわち、カメラ10の視野中心とステージSの回転中心とを一致させる方法について説明する。   Next, a method of matching the optical axis (field center) R2 of the camera 10 of FIG. 1 with the rotation axis R3 of the stage S, that is, a method of matching the center of field of view of the camera 10 and the rotation center of the stage S will be described. To do.

図3(b)に示すように、カメラ取り付け部9は、カメラ取り付け部9の孔部91aに挿通されたカメラ10を固定するための固定ネジ92、孔部91aに挿通されたカメラ10をそれぞれX軸方向およびY軸方向に移動させるためのX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93b、ならびにX軸方向およびY軸方向への移動量が微調整された後、カメラ10のX軸およびY軸方向への移動を防止するための固定具94を含む。   As shown in FIG. 3 (b), the camera attachment unit 9 includes a fixing screw 92 for fixing the camera 10 inserted through the hole 91a of the camera attachment unit 9, and a camera 10 inserted through the hole 91a, respectively. After the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b for moving in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the amount of movement in the X-axis direction and the Y-axis direction are finely adjusted, the X-axis and Y-axis of the camera 10 are adjusted. A fixture 94 for preventing axial movement is included.

以下、上記の固定ネジ92、X軸調整ネジ93a、Y軸調整ネジ93bおよび固定具94を用いたカメラ10のX軸方向およびY軸方向の位置決めについて説明する。   Hereinafter, positioning of the camera 10 in the X-axis direction and the Y-axis direction using the fixing screw 92, the X-axis adjusting screw 93a, the Y-axis adjusting screw 93b, and the fixture 94 will be described.

図4は、カメラ取り付け部9の断面図である。なお、図4に示すカメラ取り付け部9は、ベース1側から見た場合のものを示している。以下、ベース1側から見た場合のカメラ取り付け部9の側をカメラ取り付け部9の裏面側と呼ぶ。   FIG. 4 is a cross-sectional view of the camera attachment unit 9. Note that the camera mounting portion 9 shown in FIG. 4 is shown when viewed from the base 1 side. Hereinafter, the side of the camera attachment unit 9 when viewed from the base 1 side is referred to as the back side of the camera attachment unit 9.

図4に示すように、カメラ取り付け部9の裏面側には、カメラ取り付け部9の裏面側と逆の側(表側)に形成された上述の孔部91aの径よりも大きな径を有する略円形の孔部91bを有する。   As shown in FIG. 4, the rear surface side of the camera mounting portion 9 has a substantially circular shape having a diameter larger than the diameter of the hole 91 a formed on the opposite side (front side) of the rear surface side of the camera mounting portion 9. Hole portion 91b.

孔部91b内には、リング状に形成された薄肉のアダプタ95が設けられている。このアダプタ95は、カメラ取り付け部9の側面に螺合された固定ネジ92に取り付けられている。   A thin adapter 95 formed in a ring shape is provided in the hole 91b. The adapter 95 is attached to a fixing screw 92 screwed into the side surface of the camera attachment portion 9.

また、カメラ取り付け部9の側面には、X軸方向およびY軸方向に沿って、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bがそれぞれ螺合されている。すなわち、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bは、それぞれアダプタ95の中心に向かうように螺合されている。なお、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの移動量は例えば2mmである。   Further, an X-axis adjustment screw 93a and a Y-axis adjustment screw 93b are threadedly engaged with the side surface of the camera attachment portion 9 along the X-axis direction and the Y-axis direction. That is, the X-axis adjustment screw 93 a and the Y-axis adjustment screw 93 b are screwed together so as to go toward the center of the adapter 95. The movement amount of the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b is 2 mm, for example.

上記X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bは、アダプタ95の外周面をX軸方向およびY軸方向にそれぞれ押圧する。作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bをそれぞれ回すことにより、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの先端部がアダプタ95の外周面に当接する。それにより、アダプタ95は、X軸方向およびY軸方向に移動される。   The X-axis adjusting screw 93a and the Y-axis adjusting screw 93b press the outer peripheral surface of the adapter 95 in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively. The operator rotates the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b so that the tip ends of the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b come into contact with the outer peripheral surface of the adapter 95. Thereby, the adapter 95 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction.

カメラ10は、上記アダプタ95の内周面に当接するようにZ軸方向に沿ってアダプタ95に挿通される。   The camera 10 is inserted through the adapter 95 along the Z-axis direction so as to contact the inner peripheral surface of the adapter 95.

このような構成により、本実施の形態においては、カメラ10が挿通されたアダプタ95の外周面をX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bにより押圧することによって、カメラ10をX軸方向およびY軸方向に間接的に移動させている。それにより、作業者は、カメラ10の取り替えを容易かつ迅速に行うことができる。   With such a configuration, in the present embodiment, the outer surface of the adapter 95 through which the camera 10 is inserted is pressed by the X-axis adjusting screw 93a and the Y-axis adjusting screw 93b, thereby moving the camera 10 in the X-axis direction and the Y-axis. It is moved indirectly in the axial direction. Thereby, the operator can easily and quickly replace the camera 10.

また、図4において、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bがアダプタ95の外周面に当接する位置を、それぞれ三角形を構成する3つの頂点における2つの頂点とした場合に、残りの1つの頂点の位置に対応するアダプタ95の外周面の位置に当接するように固定具94が設けられている。   In FIG. 4, when the positions where the X-axis adjusting screw 93a and the Y-axis adjusting screw 93b are in contact with the outer peripheral surface of the adapter 95 are two vertices of the three vertices constituting the triangle, the remaining one A fixture 94 is provided so as to contact the position of the outer peripheral surface of the adapter 95 corresponding to the position of the apex.

上記固定具94によるアダプタ95の外周面の当接は、板ばね96を介して行われる。板ばね96は、その断面形状がコ字状となっており、平面部96aおよびこの平面部96aに対向する平面部96bを有する。   The abutment of the outer peripheral surface of the adapter 95 by the fixture 94 is performed via a leaf spring 96. The leaf spring 96 has a U-shaped cross section, and has a flat surface portion 96a and a flat surface portion 96b facing the flat surface portion 96a.

板ばね96の平面部96bは、止めネジ97により固定されており、平面部96aは、アダプタ95の外周面に当接され、この外周面を付勢している。それにより、アダプタ95は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの先端に押圧される。   The flat portion 96b of the leaf spring 96 is fixed by a set screw 97, and the flat portion 96a is in contact with the outer peripheral surface of the adapter 95 and urges the outer peripheral surface. Thereby, the adapter 95 is pressed against the tips of the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b.

作業者がX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを回すことにより、アダプタ95の位置を調整することが可能となる。   The operator can adjust the position of the adapter 95 by turning the X-axis adjusting screw 93a and the Y-axis adjusting screw 93b.

また、固定具94は、カメラ取り付け部9の側面に螺合された固定具当接部94aと、この固定具当接部94aに取り付けられた固定具つまみ部94bとを備える。固定具当接部94aは、板ばね96の平面部96aに当接する。   The fixture 94 includes a fixture contact portion 94a that is screwed to the side surface of the camera attachment portion 9 and a fixture knob portion 94b that is attached to the fixture contact portion 94a. The fixture contact portion 94 a contacts the flat portion 96 a of the leaf spring 96.

作業者により上記固定具つまみ部94bが回された場合、その回転力が固定具当接部94aに伝わる。   When the fixture knob portion 94b is turned by an operator, the rotational force is transmitted to the fixture contact portion 94a.

ここで、固定具つまみ部94bは、所定のトルクで空回りする機構(クラッチ機構)を有する。この場合、作業者が過度に固定具つまみ部94bを回し、その回転力(駆動力)が所定のトルクに達した場合、それ以上の回転力は固定具当接部94aに伝わらない。このような構成により、作業者が固定具つまみ部94を過度に操作した場合にも、固定具当接部94aによる板ばね96の平面部96aに対する過度の押圧を防止することが可能となる。それにより、カメラ10の位置決めを容易に行うことができる。   Here, the fixture knob portion 94b has a mechanism (clutch mechanism) that idles with a predetermined torque. In this case, when the operator turns the fixture knob portion 94b excessively and the rotational force (driving force) reaches a predetermined torque, no further rotational force is transmitted to the fixture contact portion 94a. With such a configuration, even when the operator excessively operates the fixture knob portion 94, it is possible to prevent excessive pressing against the flat portion 96a of the leaf spring 96 by the fixture contact portion 94a. Thereby, the camera 10 can be easily positioned.

次に、顕微鏡100の回動支柱5の傾斜方法について図面を参照しながら説明する。   Next, a method of tilting the rotating column 5 of the microscope 100 will be described with reference to the drawings.

図5は、顕微鏡100の回動支柱5が傾斜されずにZ軸に沿って固定されている状態を示す模式図であり、図6は、顕微鏡100の回動支柱5が所望の角度に傾斜されて固定されている状態を示す模式図である。なお、図5および図6の顕微鏡100は、それらの一部が省略されて図示されているとともに、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部構成がそれぞれ示されている。   FIG. 5 is a schematic diagram showing a state in which the rotating support column 5 of the microscope 100 is fixed along the Z axis without being inclined, and FIG. 6 is an inclined view of the rotating support column 5 of the microscope 100 at a desired angle. It is a schematic diagram which shows the state fixed by being carried out. 5 and 6 are shown with some of them omitted, and the internal configuration of the second guide portion 3b of the bearing portion 3a is shown.

図5に示すように、軸受部3aの第2のガイド部3b内には、回動支柱5の回動をロックするとともに解錠するための回動ロック解錠部材30が設けられている。   As shown in FIG. 5, a rotation lock unlocking member 30 for locking and unlocking the rotation of the rotation column 5 is provided in the second guide portion 3 b of the bearing portion 3 a.

上記回動ロック解錠部材30は、孔部30aを有する。この孔部30aには、上述した図1の連結部4に嵌合された回動軸31が嵌合されている。   The rotation lock unlocking member 30 has a hole 30a. The hole 30a is fitted with the rotating shaft 31 fitted in the connecting portion 4 in FIG.

また、回動ロック解錠部材30は、上記孔部30aに連通するスリット部30bを有する。なお、このスリット部30bは、Z軸方向に沿って形成されており、例えば1〜2mmの幅を有する。   Moreover, the rotation lock unlocking member 30 has the slit part 30b connected to the said hole part 30a. In addition, this slit part 30b is formed along the Z-axis direction, and has a width of 1 to 2 mm, for example.

回動ロック解錠部材30の一方の側面にはスリットつまみ32が螺合されており、このスリットつまみ32は、上記スリット部30bを介して他方の側面に螺合される。   A slit knob 32 is screwed to one side surface of the rotation lock unlocking member 30, and the slit knob 32 is screwed to the other side surface through the slit portion 30b.

このような構成において、作業者がスリットつまみ32を回すことにより、スリットつまみ32が図5の矢印Lの方向へ進む。それにより、スリット部30bの幅が狭まることによって、このスリット部30bに連通した孔部30aの円周の長さが小さくなる。これにより、連結部4に嵌合された回動軸31の回動が拘束され、回動支柱5の回動が阻止される。   In such a configuration, when the operator turns the slit knob 32, the slit knob 32 advances in the direction of the arrow L in FIG. Thereby, the width of the slit portion 30b is narrowed, so that the circumferential length of the hole portion 30a communicating with the slit portion 30b is reduced. Thereby, the rotation of the rotation shaft 31 fitted to the connecting portion 4 is restrained, and the rotation of the rotation column 5 is prevented.

逆に、作業者がスリットつまみ32を上記と逆の方向に回すことにより、スリットつまみ32が矢印Lの逆の方向へ進む。それにより、スリット部30bの幅が拡がることによって、このスリット部に連通した孔部30aの円周の長さが大きくなる。これにより、連結部4に嵌合された回動軸31の拘束が解除され、回動支柱5を回動させることが可能となる。   Conversely, when the operator turns the slit knob 32 in the opposite direction, the slit knob 32 advances in the direction opposite to the arrow L. Thereby, when the width of the slit portion 30b is expanded, the circumferential length of the hole portion 30a communicating with the slit portion is increased. Thereby, the restraint of the rotating shaft 31 fitted to the connecting portion 4 is released, and the rotating support column 5 can be rotated.

続いて、作業者による回動支柱5の回動(傾斜)方法について図5および図6を参照しながら説明する。   Next, a method for rotating (inclining) the rotating column 5 by the operator will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

図5において、回動軸31の端面には、円柱状に形成されるとともにその中心軸が回動軸31の中心軸と同軸の掛かり部31aが設けられている。この掛かり部31aにレバー33の長孔33aが嵌合されている。また、回動軸31の端面の周縁部において、この端面に垂直に回動当接ピン31bが設けられている。以下、レバー33の構成について説明する。   In FIG. 5, the end surface of the rotation shaft 31 is provided with a hook portion 31 a which is formed in a columnar shape and whose central axis is coaxial with the central axis of the rotation shaft 31. A long hole 33a of the lever 33 is fitted in the hook portion 31a. In addition, a rotation contact pin 31b is provided at the peripheral edge of the end surface of the rotation shaft 31 perpendicularly to the end surface. Hereinafter, the configuration of the lever 33 will be described.

レバー33は、回動軸31の回動に伴って反時計回りに回動する回動当接ピン31bの回動を所定の角度で阻止する第1の回動規制部33bと、回動軸31の回動に伴って時計回りに回動する回動当接ピン31bの回動を所定の角度で阻止する第2の回動規制部33cとを備える。なお、上記の所定の角度とは、それぞれZ軸方向を基準(0°)とした角度である。   The lever 33 includes a first rotation restricting portion 33b that prevents the rotation of the rotation contact pin 31b that rotates counterclockwise with the rotation of the rotation shaft 31 at a predetermined angle, and the rotation shaft. A second rotation restricting portion 33c that prevents the rotation of the rotation contact pin 31b that rotates clockwise with the rotation of the rotation angle 31 at a predetermined angle. The predetermined angle is an angle with respect to the Z-axis direction as a reference (0 °).

上記のような構成において、作業者が回動支柱5を反時計回りに例えば90°傾斜させた場合には、回動軸31の回動に伴って回動当接ピン31bがレバー33の第1の回動規制部33bに当接することによって、回動支柱5は反時計回りに90°を超える角度では傾斜されない。   In the configuration as described above, when the operator tilts the rotation column 5 counterclockwise by, for example, 90 °, the rotation contact pin 31 b is moved to the second position of the lever 33 along with the rotation of the rotation shaft 31. By abutting against one rotation restricting portion 33b, the rotation support column 5 is not inclined counterclockwise at an angle exceeding 90 °.

また、図6に示すように、作業者が回動支柱5を時計回りに例えば60°傾斜させた場合には、回動軸31の回動に伴って回動当接ピン31bがレバー33の第2の回動規制部33cに当接することによって、回動支柱5は時計回りに60°を超える角度では傾斜されない。   In addition, as shown in FIG. 6, when the operator tilts the rotation column 5 clockwise by, for example, 60 °, the rotation contact pin 31 b moves to the lever 33 as the rotation shaft 31 rotates. By contacting the second rotation restricting portion 33c, the rotation support column 5 is not inclined clockwise at an angle exceeding 60 °.

このような構成により、作業者は、所定の角度の範囲で回動支柱5を傾斜させることができるとともに、回動支柱5が不用意に傾斜されることによって、高価なカメラ10がステージSに衝突し損傷を受けることが防止されている。   With such a configuration, the operator can tilt the rotating column 5 within a range of a predetermined angle, and the rotating camera 5 is inadvertently inclined, so that the expensive camera 10 is placed on the stage S. Collision and damage are prevented.

ここで、本実施の形態では、レバー33を用いて回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度で傾斜させることができる。以下、この方法について説明する。   Here, in this embodiment, the lever 33 can be used to incline the rotary support column 5 at an angle exceeding 90 ° counterclockwise. Hereinafter, this method will be described.

図7は、レバー33を用いて回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度で傾斜させた状態を示す模式図である。なお、図7の顕微鏡100は、それらの一部が省略されて図示されているとともに、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部構成が示されている。   FIG. 7 is a schematic view showing a state in which the rotating support column 5 is tilted counterclockwise at an angle exceeding 90 ° using the lever 33. Note that the microscope 100 in FIG. 7 is illustrated with some of them omitted, and the internal configuration of the second guide portion 3b of the bearing portion 3a is shown.

図7に示すように、レバー33の一方の端部にはスプリングSPの一端が取り付けられている。スプリングSPの他端は、回動ロック解錠部材30に固定されている。このスプリングSPにより、レバー33は、通常の状態では、矢印Lの方向へ付勢されている。   As shown in FIG. 7, one end of the spring SP is attached to one end of the lever 33. The other end of the spring SP is fixed to the rotation lock unlocking member 30. The lever 33 is urged by the spring SP in the direction of the arrow L in a normal state.

レバー33の他方の端部は、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部から外方へ突出するように設けられている。   The other end portion of the lever 33 is provided so as to protrude outward from the inside of the second guide portion 3b of the bearing portion 3a.

作業者によりレバー33が矢印Lと逆の方向へ引っ張られた場合に、掛かり部31aに対するレバー33の長孔33aの嵌合の位置が移動することにより、レバー33は矢印Lと逆の方向へ移動する。   When the lever 33 is pulled in the direction opposite to the arrow L by the operator, the position of the fitting of the elongated hole 33a of the lever 33 with respect to the hanging portion 31a moves, so that the lever 33 moves in the direction opposite to the arrow L. Moving.

この場合、レバー33の第1の回動規制部33bが矢印Lと逆の方向へ移動しているので、作業者は、回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させても、回動支柱5の回動に伴って反時計回りに回動する回動当接ピン31bが第1の回動規制部33bに当接しない。それにより、作業者は、回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させることができる。   In this case, since the first rotation restricting portion 33b of the lever 33 is moved in the direction opposite to the arrow L, the operator tilts the rotation column 5 counterclockwise to an angle exceeding 90 °. In addition, the rotation contact pin 31b that rotates counterclockwise as the rotation column 5 rotates does not contact the first rotation restriction portion 33b. Thereby, the operator can incline the rotation support | pillar 5 to the angle exceeding 90 degrees counterclockwise.

なお、上記のように、回動支柱5が反時計回りに90°を超える角度まで傾斜された場合においても、回動支柱5が所定の角度以上さらに傾斜しないようにされている。これについて以下に説明する。   As described above, even when the rotating support column 5 is inclined counterclockwise to an angle exceeding 90 °, the rotating support column 5 is not further inclined more than a predetermined angle. This will be described below.

図8は、回動支柱5を反時計回りに可能な限り傾斜させた状態を示す模式図である。   FIG. 8 is a schematic diagram showing a state in which the rotating support column 5 is tilted counterclockwise as much as possible.

図8に示すように、第1の支持台2および軸受部3aの背面を覆うように背面カバー2aが設けられている。なお、上記の背面とは、第1の支持台2および軸受部3aのステージS側の面と反対側の面をいう。   As shown in FIG. 8, the back cover 2a is provided so that the back surface of the 1st support stand 2 and the bearing part 3a may be covered. In addition, said back surface means the surface on the opposite side to the surface by the side of the stage S of the 1st support stand 2 and the bearing part 3a.

本実施の形態においては、上記のカバー2aには、回動支柱5の回動に伴って時計回りおよび反時計回りに回動する回動当接ピン31bの軌跡に沿った円弧形状の孔部2bが設けられている。   In the present embodiment, the cover 2a has an arcuate hole along the locus of the rotating contact pin 31b that rotates clockwise and counterclockwise as the rotating column 5 rotates. 2b is provided.

カバー2aの上記孔部2bから外方へ突出するように回動当接ピン31bが設けられている。   A rotation contact pin 31b is provided so as to protrude outward from the hole 2b of the cover 2a.

孔部2aは、回動当接ピン31bが反時計回りに例えば120°傾斜された場合に、この回動当接ピン31bが上記120°の位置で当接する一方の端部2cと、回動当接ピン31bが時計回りに例えば70°傾斜された場合に、この回動当接ピン31bが上記70°の位置で当接する他方の端部2dとを有する。   The hole portion 2a rotates with one end portion 2c with which the rotation contact pin 31b contacts at the position of 120 ° when the rotation contact pin 31b is inclined, for example, 120 ° counterclockwise. When the contact pin 31b is inclined, for example, 70 ° clockwise, the rotation contact pin 31b has the other end 2d that contacts at the 70 ° position.

このような構成において、上記120°の位置および上記70°の位置で回動当接ピン31bが、上記孔部2aの一方の端部2cおよび他方の端部2dにそれぞれ当接することにより、回動支柱5は、反時計回りに120°を超える角度に向かって傾斜されることがなく、また、時計回りに70°を超える角度に向かって傾斜されることがない。それにより、安全性およびカメラ10の保護性が向上されている。なお、上記120°および70°は例示であり、これに限定されず、上記120°が例えば110°であってもよく、上記70°が例えば75°であってもよい。   In such a configuration, the rotation contact pin 31b contacts the one end 2c and the other end 2d of the hole 2a at the 120 ° position and the 70 ° position, respectively. The moving column 5 is not inclined counterclockwise toward an angle exceeding 120 °, and is not inclined clockwise toward an angle exceeding 70 °. Thereby, safety and protection of the camera 10 are improved. Note that the above 120 ° and 70 ° are merely examples, and the present invention is not limited thereto. The 120 ° may be 110 °, for example, and the 70 ° may be 75 °, for example.

次に、本実施の形態における軸受部3aの詳細な構造およびこの軸受部3aに対する連結部4の取り付け方法について説明する。   Next, the detailed structure of the bearing part 3a in this Embodiment and the attachment method of the connection part 4 with respect to this bearing part 3a are demonstrated.

図9は、軸受部3a、回動軸31および連結部4が組み立てられる前の状態を示す模式図であり、図10(a)は、連結部4が回動軸31を介して軸受部3aに取り付けられた状態を示す正面図であり、図10(b)は、図10(a)のAA線断面図である。   FIG. 9 is a schematic view showing a state before the bearing portion 3 a, the rotating shaft 31 and the connecting portion 4 are assembled. FIG. 10A shows the bearing portion 3 a via the rotating shaft 31. FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 10A.

以下、軸受部3aの詳細な構造および軸受部3aに対する連結部4の取り付け方法について、理解を容易にするため、図9および図10(b)を同時に参照しながら説明する。   Hereinafter, the detailed structure of the bearing portion 3a and the method of attaching the connecting portion 4 to the bearing portion 3a will be described with reference to FIG. 9 and FIG.

図9および図10(b)に示すように、連結部4は孔部4aを有し、軸受部3aの第1のガイド部3bは孔部3fを有し、軸受部3aの第2のガイド部3cは孔部3gを有する。   As shown in FIGS. 9 and 10B, the connecting portion 4 has a hole portion 4a, the first guide portion 3b of the bearing portion 3a has a hole portion 3f, and the second guide of the bearing portion 3a. The part 3c has a hole 3g.

これら孔部4a、孔部3fおよび孔部3gの各中心軸は、連結部4が第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間に設けられた場合において、それぞれ同軸となる。   The central axes of the hole 4a, the hole 3f, and the hole 3g are respectively coaxial when the connecting portion 4 is provided between the first guide portion 3b and the second guide portion 3c.

第1の支持台2および軸受部3aの背面を覆うための図8のカバー2aが取り付けられる前に、回動ロック解錠部材30が軸受部3aの背面側における所定の位置に取り付けられる。   Before the cover 2a of FIG. 8 for covering the first support 2 and the back surface of the bearing portion 3a is attached, the rotation lock unlocking member 30 is attached to a predetermined position on the back surface side of the bearing portion 3a.

軸受部3aの第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間に連結部4が設けられる。この際に、連結部4の両面ならびに第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cの一方の面にそれぞれ密着するように、第1のベアリング40および第2のベアリング41がそれぞれ設けられる。   A connecting portion 4 is provided between the first guide portion 3b and the second guide portion 3c of the bearing portion 3a. At this time, the first bearing 40 and the second bearing 41 are provided so as to be in close contact with both surfaces of the connecting portion 4 and one surface of the first guide portion 3b and the second guide portion 3c, respectively.

上記の状態で、回動軸31が、回動ロック解錠部材30の孔部30a、第1のガイド部3bの孔部3f、第2のベアリング41、連結部4の孔部4a、第1のベアリング40および第2のガイド部3cの孔部3gにそれぞれ嵌合される。   In the above state, the rotation shaft 31 is provided with the hole 30a of the rotation lock unlocking member 30, the hole 3f of the first guide 3b, the second bearing 41, the hole 4a of the connecting portion 4, and the first. The bearing 40 and the hole 3g of the second guide portion 3c are respectively fitted.

ここで、本実施の形態では、回動軸31は、回動軸部34およびこの回動軸部34と同軸で径大な円柱状に形成された回動調節部35を有している。   Here, in the present embodiment, the rotation shaft 31 has a rotation shaft portion 34 and a rotation adjustment portion 35 that is coaxial with the rotation shaft portion 34 and is formed in a cylindrical shape having a large diameter.

回動軸31の上記回動調節部35が回動ロック解錠部材30の孔部30aに嵌合される。回動調節部35は、その側面においてY軸方向に沿って複数の直線状凸部からなるプランジャ当接部36が、例えば15°間隔でそれぞれ設けられている。また、回動ロック解錠部材30には、プランジャ用孔部30cが設けられている。   The rotation adjustment portion 35 of the rotation shaft 31 is fitted into the hole 30 a of the rotation lock unlocking member 30. As for the rotation adjustment part 35, the plunger contact part 36 which consists of a some linear convex part is provided in the side surface along the Y-axis direction, respectively, for example at 15 degree intervals. Moreover, the rotation lock unlocking member 30 is provided with a plunger hole 30c.

回動ロック解錠部材30の孔部30aに回動調節部35が嵌合された場合に、プランジャ37が回動ロック解錠部材30の孔部30aに向かって上記プランジャ用孔部30cに嵌合される。   When the rotation adjusting unit 35 is fitted into the hole 30a of the rotation lock unlocking member 30, the plunger 37 is fitted into the plunger hole 30c toward the hole 30a of the rotation lock unlocking member 30. Combined.

この場合、回動軸31の回動に伴って、プランジャ37が所定の間隔で設けられたプランジャ当接部36に当接することにより、作業者は、図1の回動支柱5の傾斜角度を把握し易くなるとともに、回動支柱5が急激に傾斜されることが防止される。   In this case, as the rotation shaft 31 rotates, the plunger 37 abuts against the plunger abutting portion 36 provided at a predetermined interval, so that the operator can change the inclination angle of the rotation column 5 of FIG. It becomes easy to grasp, and it is prevented that the rotation support | pillar 5 inclines rapidly.

回動軸31の回動軸部34には、その断面の中心点を通るようにZ軸方向に沿って複数の連結用孔部31cが設けられている。   The rotation shaft portion 34 of the rotation shaft 31 is provided with a plurality of connecting hole portions 31c along the Z-axis direction so as to pass through the center point of the cross section.

回動軸31が、回動ロック解錠部材30の孔部30a、第1のガイド部3bの孔部3f、ベアリング41、連結部4の孔部4a、ベアリング40および第2のガイド部3cの孔部3gにそれぞれ嵌合された後に、上記連結用孔部31cを介して止めネジ38により回動軸部34が連結部4に固定される。このような構成により、連結部4の回動に伴って回動軸31も回動する。   The rotation shaft 31 is formed of the hole 30a of the rotation lock unlocking member 30, the hole 3f of the first guide 3b, the bearing 41, the hole 4a of the connecting portion 4, the bearing 40 and the second guide 3c. After being fitted in the holes 3g, the rotating shaft 34 is fixed to the connecting part 4 by the set screw 38 through the connecting hole 31c. With such a configuration, the rotation shaft 31 also rotates as the connecting portion 4 rotates.

また、本実施の形態では、ストッパー44を第1のガイド部3bの上方から、回動ロック解錠部材30に設けられた垂直用孔部30dおよび回動調節部35に設けられた垂直用孔部35aに嵌合させることにより、連結部4の回動を阻止することができる。それにより、回動支柱5を傾斜させることなく垂直に固定させることができる。   Further, in the present embodiment, the stopper 44 is disposed above the first guide portion 3b from the vertical hole portion 30d provided in the rotation lock unlocking member 30 and the vertical hole provided in the rotation adjustment portion 35. By fitting the portion 35a, the rotation of the connecting portion 4 can be prevented. Thereby, the rotation support | pillar 5 can be fixed vertically, without making it incline.

なお、第2のガイド部3cの孔部3gを覆うように、ステージS側から蓋42が取り付けられる。蓋42は孔部42aを有する。この孔部42aを介して固定ネジ43が、回動軸31の端面に設けられた孔部31dに嵌合されている。   A lid 42 is attached from the stage S side so as to cover the hole 3g of the second guide portion 3c. The lid 42 has a hole 42a. The fixing screw 43 is fitted into a hole 31d provided on the end surface of the rotating shaft 31 through the hole 42a.

本実施の形態においては、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、Y軸方向から見た場合における回動支柱5の回動中心とカメラ10の光軸R2とを容易に一致させることができる。すなわち、回動支柱5の回動軸R1とカメラ10の光軸R2とを容易に直交させることができる。それにより、回動支柱5を傾斜させることにより測定対象物Wを斜め方向から観察する場合にも、測定対象物W上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率(例えば、100倍〜500倍)のカメラ10を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。   In the present embodiment, by using the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b, the rotation center of the rotation column 5 and the optical axis R2 of the camera 10 when viewed from the Y-axis direction can be easily obtained. Can be matched. That is, the rotation axis R1 of the rotation column 5 and the optical axis R2 of the camera 10 can be easily made orthogonal. Thereby, even when the measuring object W is observed from an oblique direction by inclining the rotating support column 5, the observation point on the measuring object W and the desired observation point are observed in a focused state without being deviated. can do. In particular, when the camera 10 with a high magnification (for example, 100 times to 500 times) is used, the above-described effect appears remarkably.

ここで、上記のように、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致しているか否かの判断は以下のように行われる。   Here, as described above, whether or not the rotation axis R3 of the stage S is coincident with the optical axis R2 of the camera 10 is determined as follows.

最初に、カメラ10により測定対象物Wが載置されていないステージS上の画像をディスプレイ(図示せず)の画面に表示する。そして、ステージSを回転させる。   First, an image on the stage S on which the measurement object W is not placed is displayed on the screen of a display (not shown) by the camera 10. Then, the stage S is rotated.

この場合において、ステージS上の目印となるもの(例えば、凹凸および傷等)の画像がディスプレイの画面の中心を基準として円を描くように移動する。ここで、画面上で回転する画像の回転中心にある目印(例えば、凹凸および傷等)の位置がステージSの回転中心に相当する。したがって、画像の回転中心にある上記目印が画面の中心と一致すれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していると判断される。   In this case, the image of the mark on the stage S (for example, unevenness and scratches) moves so as to draw a circle with reference to the center of the display screen. Here, the position of the mark (for example, unevenness and scratches) at the rotation center of the image rotating on the screen corresponds to the rotation center of the stage S. Therefore, if the mark at the rotation center of the image matches the center of the screen, it is determined that the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the camera 10 match.

逆に、画像の回転中心にある目印が画面の中心から外れていれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していないと判断される。   Conversely, if the mark at the rotation center of the image is off the center of the screen, it is determined that the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the camera 10 do not match.

このように、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していない場合、作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とを一致させることができる。回動支柱5の回動軸R1とステージSの回転軸R3とは直交するように予め設定されているので、作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いてステージSの回転軸R3をカメラ10の光軸R2に一致させることにより、回動支柱5の回動軸R1をカメラ10の光軸R2に直交させることができる。   As described above, when the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the camera 10 do not coincide with each other, the operator uses the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b to thereby rotate the rotation axis of the stage S. R3 and the optical axis R2 of the camera 10 can be matched. Since the rotation axis R1 of the rotation column 5 and the rotation axis R3 of the stage S are preset so as to be orthogonal to each other, the operator uses the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b. By making the rotation axis R3 coincide with the optical axis R2 of the camera 10, the rotation axis R1 of the rotation column 5 can be made orthogonal to the optical axis R2 of the camera 10.

また、より良い方法として、所定のソフトウェアを用いて上記ディスプレイの画面上に、例えば直径10mmの円を描いておく。そして、ステージSが回転された場合に、画像の回転中心にある目印が上記直径10mmの円内に入るように移動すれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していると判断される。   As a better method, for example, a circle with a diameter of 10 mm is drawn on the screen of the display using predetermined software. When the stage S is rotated, if the mark at the center of rotation of the image moves so as to fall within the circle having a diameter of 10 mm, the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the camera 10 coincide. It is judged that

逆に、画像の回転中心にある目印が上記直径10mmの円内に入るように移動しなければ、すなわち、上記直径10mmの円内から外れるようであれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していないと判断される。   Conversely, if the mark at the center of rotation of the image does not move so as to fall within the circle with a diameter of 10 mm, that is, if it does not move out of the circle with a diameter of 10 mm, the rotation axis R3 of the stage S and the camera 10 Is determined not to coincide with the optical axis R2.

なお、上記のようなステージS上の凹凸および傷等の目印の代わりに、ステージSがX軸方向およびY軸方向に移動しないように拘束されるのであれば、例えばステージS上に目印となる刻印を設けておいてもよいし、印を付けておいてもよい。   If the stage S is restrained so as not to move in the X-axis direction and the Y-axis direction instead of the marks such as the unevenness and scratches on the stage S as described above, it becomes a mark on the stage S, for example. A stamp may be provided, or a mark may be provided.

これらの結果、カメラ10を交換した場合でも、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、Y軸方向から見た場合における回動支柱5の回動中心とカメラ10の光軸R2とを容易に一致させることができる。すなわち、回動支柱5の回動軸R1をカメラ10の光軸R2に容易に直交させることができる。したがって、種々のカメラ10を容易に使用することができる。   As a result, even when the camera 10 is replaced, by using the X-axis adjustment screw 93a and the Y-axis adjustment screw 93b, the rotation center of the rotation column 5 and the optical axis of the camera 10 when viewed from the Y-axis direction. R2 can be easily matched. That is, the rotation axis R1 of the rotation column 5 can be easily made orthogonal to the optical axis R2 of the camera 10. Therefore, various cameras 10 can be used easily.

また、通常、作業者は、回動ロック解錠部材30による回動軸31の拘束を解除し、測定対象物Wの観察を行いながら回動支柱5を時計回りまたは反時計回りに幾度となく傾斜させる。この場合、回動軸31には大きな負荷が加わる。   Usually, the operator releases the restraint of the rotation shaft 31 by the rotation lock unlocking member 30, and observes the measuring object W, while rotating the rotation column 5 clockwise or counterclockwise several times. Tilt. In this case, a large load is applied to the rotating shaft 31.

本実施の形態では、回動軸31が嵌合されている連結部4が第1のベアリング40および第2のベアリング41により両側から支持されているので、回動軸31が水平方向から傾くことが確実に防止される。   In the present embodiment, since the connecting portion 4 with which the rotating shaft 31 is fitted is supported from both sides by the first bearing 40 and the second bearing 41, the rotating shaft 31 is inclined from the horizontal direction. Is reliably prevented.

さらに、本実施の形態においては、ケーブルCがケーブル拘束具3dに挿通され拘束されていることにより、回動支柱5の傾斜に伴って上記ケーブルCが接続されているカメラ10が傾斜した場合でも、カメラ10とケーブルCとの接続部分におけるがたつきを防止することができるとともに、カメラ10の傾斜によるケーブルCの強制的な引張りを防止することができる。それにより、カメラ10が傾斜されて測定対象物Wが観察される場合でも、カメラ10の位置を安定させることが可能となる。   Further, in the present embodiment, the cable C is inserted and restrained by the cable restraint 3d, so that even when the camera 10 to which the cable C is connected is tilted along with the tilt of the rotating support column 5. In addition, it is possible to prevent rattling at the connection portion between the camera 10 and the cable C and to prevent the cable C from being forcibly pulled due to the inclination of the camera 10. Thereby, even when the camera 10 is tilted and the measurement object W is observed, the position of the camera 10 can be stabilized.

本実施の形態においては、カメラ10が撮像手段に相当し、カメラ取り付け部9、スライダ6aおよび取り付け連結部6bが取り付け手段に相当し、回動支柱5が支持部材および棒状部材に相当し、第1の支持台2および軸受部3aが保持手段に相当し、X軸方向およびY軸方向がそれぞれ第1および第2の軸の方向に相当し、X軸調整ネジ93aが第1の調整手段および第1の調整部材に相当し、Y軸調整ネジ93bが第2の調整手段および第2の調整部材に相当する。
また、回動軸31が回動軸に相当し、軸受部3aが保持手段に相当し、ベース1がベースに相当し、第1の支持台2が支持台に相当し、第2の支持台3、スライダ20および調整つまみ21が高さ調整機構に相当する。
In the present embodiment, the camera 10 corresponds to the imaging means, the camera attachment portion 9, the slider 6a and the attachment connecting portion 6b correspond to the attachment means, the rotary support column 5 corresponds to the support member and the rod-like member, 1 support base 2 and bearing portion 3a correspond to the holding means, the X-axis direction and the Y-axis direction correspond to the directions of the first and second axes, respectively, and the X-axis adjusting screw 93a corresponds to the first adjusting means and The Y-axis adjusting screw 93b corresponds to the first adjusting member, and the Y-axis adjusting screw 93b corresponds to the second adjusting means and the second adjusting member.
The rotation shaft 31 corresponds to the rotation shaft, the bearing portion 3a corresponds to the holding means, the base 1 corresponds to the base, the first support base 2 corresponds to the support base, and the second support base. 3. The slider 20 and the adjustment knob 21 correspond to a height adjustment mechanism.

また、本実施の形態においては、アダプタ95が環状具に相当し、板ばね96が付勢手段に相当し、ケーブル拘束具3dがケーブル拘束手段に相当し、粗動つまみ7が粗動手段に相当し、目盛線5aが目盛部に相当する。   Further, in the present embodiment, the adapter 95 corresponds to the annular tool, the leaf spring 96 corresponds to the biasing means, the cable restraining tool 3d corresponds to the cable restraining means, and the coarse movement knob 7 serves as the coarse movement means. The scale line 5a corresponds to the scale part.

本発明に係る顕微鏡は、各種試料の観察等に利用することができる。   The microscope according to the present invention can be used for observation of various samples.

本実施の形態に係る顕微鏡の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the microscope which concerns on this Embodiment. 粗動つまみによりスライダが回動支柱に固定されている部分を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the part by which the slider is being fixed to the rotation support | pillar with the coarse movement knob. (a)は、カメラ取り付け部にカメラが取り付けられた状態を示す斜視図であり、(b)は、カメラ取り付け部の上面図である。(A) is a perspective view which shows the state in which the camera was attached to the camera attachment part, (b) is a top view of a camera attachment part. カメラ取り付け部の断面図である。It is sectional drawing of a camera attachment part. 顕微鏡の回動支柱が傾斜されずにZ軸に沿って固定されている状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state by which the rotation support | pillar of a microscope is being fixed along the Z-axis without inclining. 顕微鏡の回動支柱が所望の角度に傾斜されて固定されている状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state in which the rotation support | pillar of a microscope is inclined and fixed to the desired angle. レバーを用いて回動支柱を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させた状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state which inclined the rotation support | pillar counterclockwise to the angle exceeding 90 degrees using a lever. 回動支柱を反時計回りに可能な限り傾斜させた状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state which inclined the rotation support | pillar as counterclockwise as possible. 軸受部、回動軸および連結部が組み立てられる前の状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state before a bearing part, a rotating shaft, and a connection part are assembled. (a)は、連結部が回動軸を介して軸受部に取り付けられた状態を示す正面図であり、(b)は、(a)のAA線断面図である。(A) is a front view which shows the state by which the connection part was attached to the bearing part via the rotating shaft, (b) is AA sectional view taken on the line of (a). 従来の拡大観察用のスタンド装置を示す側面図である。It is a side view which shows the conventional stand apparatus for magnified observation. 従来の拡大観察用のスタンド装置を示す正面図である。It is a front view which shows the conventional stand apparatus for magnified observation.

符号の説明Explanation of symbols

1 ベース
2 第1の支持台
3 第2の支持台
3a 軸受部
3b 第1のガイド部
3c 第2のガイド部
3d ケーブル拘束具
3e 突起部
4 連結部
5 回動支柱
5a 目盛線
5b 長溝
6a スライダ6a
6b 取り付け連結部
7 粗動つまみ
8 微調整つまみ
9 カメラ取り付け部
10 カメラ
30 回動ロック解錠部材
31 回動軸
34 回動軸部
35 回動調節部
36 プランジャ当接部
37 プランジャ
38 止めネジ
40 第1のベアリング
41 第2のベアリング
44 ストッパー
91 カメラ当接部
91b 孔部
92 固定ネジ
93a X軸調整ネジ
93b Y軸調整ネジ
94 固定具
94a 固定具当接部
94b 固定具つまみ部
95 アダプタ
96 板ばね
96a,96b 平面部
97 止めネジ
100 顕微鏡
C ケーブル
R1 回動軸
R2 光軸
R3 回転軸
S ステージ
W 測定対象物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 1st support stand 3 2nd support stand 3a Bearing part 3b 1st guide part 3c 2nd guide part 3d Cable restraint tool 3e Protrusion part 4 Connection part 5 Rotating support | pillar 5a Scale line 5b Long groove 6a Slider 6a
6b Attachment connecting portion 7 Coarse movement knob 8 Fine adjustment knob 9 Camera attachment portion 10 Camera 30 Rotation lock unlocking member 31 Rotation shaft 34 Rotation shaft portion 35 Rotation adjustment portion 36 Plunger contact portion 37 Plunger 38 Set screw 40 First bearing 41 Second bearing 44 Stopper 91 Camera contact portion 91b Hole portion 92 Fixing screw 93a X-axis adjustment screw 93b Y-axis adjustment screw 94 Fixing tool 94a Fixing tool contact portion 94b Fixing tool knob portion 95 Adapter 96 Plate Spring 96a, 96b Flat part 97 Set screw 100 Microscope C Cable R1 Rotating axis R2 Optical axis R3 Rotating axis S Stage W Measurement object

Claims (9)

測定対象物を拡大観察するために、測定対象物を撮像する撮像手段が取り付けられる拡大観察用のスタンド装置であって、
測定対象物が載置される載置面を有するステージと、
前記ステージに光軸が向くように前記撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、
前記取り付け手段を支持する支持部材と、
前記支持部材に設けられ、前記支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、
前記回動軸を回動可能に保持する保持手段と、
前記保持手段を支持する支持台と、
前記支持台が取り付けられるベースと、
前記ステージの下方かつ前記ベース上に設けられ、前記ステージに載置された測定対象物の表面の高さが前記支持部材の回動中心の高さに一致するように前記ステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、
前記取り付け手段は、前記撮像手段の光軸が前記回動軸と直交するように、前記撮像手段の光軸を前記ステージの載置面と直交させながら前記支持部材に対する前記撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えていることを特徴とする拡大観察用のスタンド装置。
In order to magnify and observe a measurement object, a stand device for magnifying observation to which an imaging means for imaging the measurement object is attached,
A stage having a placement surface on which a measurement object is placed;
An attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage ;
A support member for supporting the attachment means;
A rotation shaft provided on the support member and rotating about a horizontal axis integrally with the support member;
Holding means for rotatably holding the rotation shaft;
A support for supporting the holding means;
A base to which the support is attached;
The height of the stage is adjusted so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage and below the stage matches the height of the rotation center of the support member. A possible height adjustment mechanism,
The mounting means is configured such that the imaging means is relative to the support member while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the mounting surface of the stage so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. A stand device for magnification observation, comprising an adjusting means for adjusting a horizontal position.
前記ステージは、前記載置面に垂直な回転軸の周りで回転可能に設けられ、
前記ステージの回転軸と、前記回動軸とが直交するように前記ステージおよび前記保持手段が配置されたことを特徴とする請求項1記載の拡大観察用のスタンド装置
The stage is provided so as to be rotatable around a rotation axis perpendicular to the mounting surface.
The rotation axis of the stage, the stand device for magnifying observation according to claim 1, wherein said rotating shaft, wherein said stage and said holding means is arranged so as to be orthogonal.
前記調整手段は、
前記支持部材に対する前記撮像手段の相対的な水平位置を調整するために、前記撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に前記撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含み、
前記取り付け手段は、
孔部を有する取り付け部材と、前記孔部内において前記第1および第2の軸を含む面内で移動可能に設けられ、前記撮像手段が挿通される環状具とを含み、
前記第1および第2の調整手段は、
前記環状具の外周面に当接するとともに前記第1および第2の軸の方向に移動可能な第1および第2の調整部材をそれぞれ含むことを特徴とする請求項1または2記載の拡大観察用のスタンド装置
The adjusting means includes
In order to adjust the relative horizontal position of the imaging means with respect to the support member, first and second moving the imaging means in directions of first and second axes orthogonal to the optical axis of the imaging means Including adjustment means,
The attachment means includes
An attachment member having a hole, and an annular tool provided in the hole so as to be movable in a plane including the first and second axes, and through which the imaging means is inserted,
The first and second adjusting means include
3. The enlarged observation device according to claim 1, further comprising first and second adjustment members that are in contact with an outer peripheral surface of the annular tool and are movable in the directions of the first and second axes . Stand device .
前記取り付け手段は、前記環状具の前記外周面を前記環状具の略中心を向かうように付勢する付勢手段をさらに含むことを特徴とする請求項記載の拡大観察用のスタンド装置 The stand device for magnification observation according to claim 3 , wherein the attaching means further includes a biasing means for biasing the outer peripheral surface of the annular tool so as to be directed toward a substantially center of the annular tool. 前記取り付け手段は、前記付勢手段により付勢されている前記環状具の部分に当接することにより前記第1および第2の調整部材とともに前記環状具を固定する固定具をさらに含むことを特徴とする請求項記載の拡大観察用のスタンド装置The attachment means further includes a fixing tool that fixes the annular tool together with the first and second adjustment members by abutting against a portion of the annular tool biased by the biasing means. The stand device for magnified observation according to claim 4 . 前記保持手段に設けられ、前記撮像手段に接続されたケーブルを拘束するケーブル拘束手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の拡大観察用のスタンド装置 The stand device for magnification observation according to any one of claims 1 to 5, further comprising a cable restraining means provided on the holding means and restraining a cable connected to the imaging means. 前記取り付け手段は孔部を有し、
前記支持部材は、前記取り付け手段の孔部に移動可能に挿通される棒状部材を含み、
前記取り付け手段の前記孔部に前記棒状部材が挿通された状態で前記取り付け手段を前記棒状部材に固定する粗動手段をさらに備え、
前記粗動手段は、くさび形状の先端部を有し、
前記棒状部材は、軸方向に延びる長溝を有し、
前記粗動手段の前記先端部が前記棒状部材の前記長溝に嵌合されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の拡大観察用のスタンド装置
The attachment means has a hole;
The support member includes a rod-like member that is movably inserted into the hole of the attachment means,
Coarse movement means for fixing the attachment means to the rod-like member in a state where the rod-like member is inserted through the hole of the attachment means,
The coarse movement means has a wedge-shaped tip.
The rod-shaped member has a long groove extending in the axial direction,
The stand device for magnifying observation according to any one of claims 1 to 6, wherein the tip of the coarse movement means is fitted into the long groove of the rod-shaped member.
前記棒状部材は、軸方向の複数の位置を示す複数の目盛部を備えたことを特徴とする請求項7記載の拡大観察用のスタンド装置 The stand device for magnification observation according to claim 7, wherein the rod-shaped member includes a plurality of scale portions indicating a plurality of positions in the axial direction. 測定対象物を撮像する撮像手段と、
測定対象物を拡大観察するために、前記撮像手段が取り付けられる拡大観察用のスタンド装置とを備え、
前記拡大観察用のスタンド装置は、
前記測定対象物が載置される載置面を有するステージと、
前記ステージに光軸が向くように前記撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、
前記取り付け手段を支持する支持部材と、
前記支持部材に設けられ、前記支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、
前記回動軸を回動可能に保持する保持手段と、
前記保持手段を支持する支持台と、
前記支持台が取り付けられるベースと、
前記ステージの下方かつ前記ベース上に設けられ、前記ステージに載置された測定対象物の表面の高さが前記支持部材の回動中心の高さに一致するように前記ステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、
前記取り付け手段は、前記撮像手段の光軸が前記回動軸と直交するように、前記撮像手段の光軸を前記ステージの載置面と直交させながら前記支持部材に対する前記撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えていることを特徴とする顕微鏡。
An imaging means for imaging a measurement object;
In order to magnify the object to be measured, the magnifying observation stand device to which the imaging means is attached,
The stand device for magnification observation is
A stage having a placement surface on which the measurement object is placed;
An attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage ;
A support member for supporting the attachment means;
A rotation shaft provided on the support member and rotating about a horizontal axis integrally with the support member;
Holding means for rotatably holding the rotation shaft;
A support for supporting the holding means;
A base to which the support is attached;
The height of the stage is adjusted so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage and below the stage matches the height of the rotation center of the support member. A possible height adjustment mechanism,
The mounting means is configured such that the imaging means is relative to the support member while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the mounting surface of the stage so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. A microscope comprising adjusting means for adjusting a horizontal position.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107076976A (en) * 2014-10-06 2017-08-18 徕卡显微系统(瑞士)股份公司 Homocentric digit microscope with the pivoting unit being rotatably mounted

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009180764A (en) * 2008-01-29 2009-08-13 Moritex Corp Camera stand
JP5139176B2 (en) * 2008-07-02 2013-02-06 株式会社ミツトヨ microscope
JP5477762B2 (en) * 2009-01-23 2014-04-23 株式会社ニコン Lens barrel and optical equipment
JP5500493B2 (en) * 2009-06-12 2014-05-21 株式会社ニコン Lens barrel and optical equipment
JP5012861B2 (en) 2009-07-17 2012-08-29 株式会社ニコン Optical apparatus and optical apparatus
JP5273063B2 (en) * 2010-01-29 2013-08-28 株式会社ニコン Optical apparatus and optical apparatus
JP5572561B2 (en) * 2011-01-12 2014-08-13 株式会社キーエンス Lens module, magnification observation apparatus using the lens module, and magnification observation method
JP5841398B2 (en) 2011-10-07 2016-01-13 株式会社キーエンス Magnifying observation device
JP5969867B2 (en) * 2012-09-11 2016-08-17 株式会社キーエンス Optical microscope
JP6247933B2 (en) * 2013-12-27 2017-12-13 株式会社キーエンス Magnifying observation device
JP2015127779A (en) 2013-12-27 2015-07-09 株式会社キーエンス Microscope and magnifying observation method using the same
JP6325816B2 (en) 2013-12-27 2018-05-16 株式会社キーエンス Magnification observation apparatus, magnification image observation method, magnification image observation program, and computer-readable recording medium
JP6325815B2 (en) 2013-12-27 2018-05-16 株式会社キーエンス Magnification observation apparatus, magnification image observation method, magnification image observation program, and computer-readable recording medium
JP6300630B2 (en) * 2014-05-14 2018-03-28 オリンパス株式会社 Microscope system
DE102014114479B3 (en) 2014-10-06 2016-02-25 Leica Microsystems (Schweiz) Ag DIGITAL MICROSCOPE WITH CLICK STOP
DE102014114477B3 (en) * 2014-10-06 2016-02-25 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Digital microscope with a radial piston brake system
DE102014114478B3 (en) * 2014-10-06 2016-02-25 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Digital microscope with spring-mounted swiveling unit
WO2017110653A1 (en) 2015-12-22 2017-06-29 オリンパス株式会社 Microscope system
CN108303792A (en) * 2018-04-04 2018-07-20 殷跃锋 It is a kind of can the vertical microscopical method of adjustment of two level adjustment
JP2019203966A (en) * 2018-05-22 2019-11-28 富士通コンポーネント株式会社 Imaging apparatus
JP7092619B2 (en) * 2018-08-30 2022-06-28 株式会社キーエンス Magnifying observation device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3318014B2 (en) * 1992-11-20 2002-08-26 オリンパス光学工業株式会社 Lens tube and microscope
JPH0735645A (en) * 1993-07-23 1995-02-07 Sony Corp Apparatus for inspecting liquid crystal panel
JPH07123300A (en) * 1993-10-25 1995-05-12 Casio Comput Co Ltd Stand for image pickup
JPH08340472A (en) * 1995-06-14 1996-12-24 Canon Inc Image input device
JP4473992B2 (en) * 1999-06-15 2010-06-02 株式会社キーエンス Magnification observation stand device and magnification observation method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107076976A (en) * 2014-10-06 2017-08-18 徕卡显微系统(瑞士)股份公司 Homocentric digit microscope with the pivoting unit being rotatably mounted
CN107076976B (en) * 2014-10-06 2020-06-02 徕卡显微系统(瑞士)股份公司 Concentric digital microscope with rotatably mounted pivot unit

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