JP4831059B2 - Unnecessary parts collection device - Google Patents
Unnecessary parts collection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4831059B2 JP4831059B2 JP2007315600A JP2007315600A JP4831059B2 JP 4831059 B2 JP4831059 B2 JP 4831059B2 JP 2007315600 A JP2007315600 A JP 2007315600A JP 2007315600 A JP2007315600 A JP 2007315600A JP 4831059 B2 JP4831059 B2 JP 4831059B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parts
- component
- nozzle
- storage container
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明は、電子部品搭載装置(部品マウンタやボンディング装置)での生産過程で不要となった部品を回収する不要部品の回収装置に関するものである。 The present invention relates to an unnecessary part collecting apparatus that collects parts that are no longer needed in the production process of an electronic component mounting apparatus (part mounter or bonding apparatus).
ダイシングによって半導体ウェハから個片化された部品は、電子部品搭載装置での生産過程で外観検査を経て基板等に実装される。外観検査により欠けや割れ等の瑕疵が発見された部品は生産ラインから除かれ、不要部品として回収される。不要部品を回収する装置として、不要部品を吸引して所定位置で回収する装置が知られている(特許文献1、2参照)。
特許文献1に記載された装置は、ボンディング装置で発生した不良部品を回収する装置であり、ノズルに吸着した部品が不良部品である場合に、ノズルと回収部を相対的に移動させ、回収部内部を負圧にすることで不良部品を吸引回収するように構成されている。回収部の不良部品が満杯になると、ボンディング装置の稼働を一時停止して回収部の不良部品を搬出する作業を要するので、交換の頻度を少なくする為には容量の大きな回収部を用いるのが有利である。しかし、回収部はノズルの移動範囲内に配置されるため、回収部の容量を大きくすることには限界がある。
The apparatus described in
特許文献2に記載された装置は、バルクフィーダに残留する部品を回収する装置であり、バルクフィーダから部品を吸い出すチューブと、真空ポンプと接続されたチューブを1つのケースに接続し、一方のチューブからケース内を真空吸引することで他方のチューブから吸い出した部品をケースに回収するように構成されている。しかし、真空吸引によりケース内に気流が発生し、既に回収された部品が巻き上げられることがあるので、部品同士の接触により発生した欠片やダイシングダストが気流に乗って真空ポンプに吸引されてしまう。これらのダストは真空ポンプのフィルタで捕捉されるが、多量に発生することでフィルタの寿命が縮まり、交換コストが増大するという問題がある。
The apparatus described in
本発明は、回収部の容積を小さくするとともにランニングコストも低減することができる不要部品の回収装置を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an unnecessary parts collecting apparatus that can reduce the volume of a collecting unit and reduce the running cost.
請求項1に記載の不要部品の回収装置は、部品を吸着して移送するノズルを備えた電子部品搭載装置における不要部品の回収装置であって、不要部品を吸引する吸引口を有した部品回収部と、上方に開口部を有した部品保管容器と、部品回収部から延びる部品通過可能な内径を有した第1の管路と、上端で負圧付与手段へつながる管路に接続されるとともに下端に前記部品保管容器の開口部を装着する部品保管容器装着部を有した第2の管路と、前記負圧付与手段につながる管路を開閉するバルブと、前記バルブの開閉を制御する制御手段を備え、前記第2の管路に部品は通さないが通気は可能なフィルタ部を設けるとともに前記フィルタ部より下方で前記部品保管容器装着部よりも上方の位置に前記第1の管路を接続した。
The unnecessary part recovery apparatus according to
請求項2に記載の不要部品の回収装置は、請求項1に記載の不要部品の回収装置であっ
て、前記部品回収部の吸引口は、ノズルの先端部が部品を吸着したままの状態で挿通可能な内径を有した。
The unnecessary part recovery apparatus according to
本発明によれば、不要部品をノズルから回収する回収部とそれを保管する容器を分離し、これらを部品通過可能な内径を有した第1の管路で接続したので、稠密部に配置される回収部の容積は小さく抑えるとともに部品保管容器はスペースの制約を受けない箇所に比較的大容積で配置することが可能になる。また、不要部品を回収する際に生じる気流が部品保管容器に影響を与えないので、部品同士の接触により発生した欠片やダイシングダストが気流に乗ってフィルタ部まで運ばれることがなく、フィルタの寿命短縮により交換コストが増大するようなことがない。 According to the present invention, the collecting part for collecting unnecessary parts from the nozzle and the container for storing the parts are separated, and these are connected by the first pipe having an inner diameter through which the parts can pass. In addition, the volume of the recovery unit can be kept small, and the parts storage container can be arranged at a relatively large volume in a place where space is not limited. In addition, since the airflow generated when collecting unnecessary parts does not affect the parts storage container, fragments and dicing dust generated by contact between parts are not carried on the airflow to the filter section, and the life of the filter The replacement cost does not increase due to the shortening.
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態における不要部品の回収装置の構成図、図2は本発明の実施の形態における電子部品搭載装置の斜視図、図3は本発明の実施の形態における電子部品搭載装置の制御ブロック図である。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of an unnecessary part collecting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an electronic component mounting according to the embodiment of the present invention. It is a control block diagram of an apparatus.
最初に本発明の実施の形態における不要部品の回収装置について図1を参照して説明する。不要部品の回収装置は、電子部品搭載装置(部品マウンタやボンディング装置)での生産過程で不要となった部品Pを吸引する吸引口1を有した部品回収部2と、上方に開口部3を有した部品保管容器4と、部品回収部2から延びる部品Pが通過可能な内径を有した第1の管路5と、上端で真空源6へつながる管路7に接続されるとともに下端に部品保管容器4の開口部3を装着する部品保管容器装着部8を有した第2の管路9と、真空源6につながる管路7を開閉するバルブ10と、バルブ10の開閉を制御する制御装置11で構成され、第2の管路9には部品は通さないが通気は可能なフィルタ部12が設けられ、フィルタ部12より下方で部品保管容器装着部8よりも上方の位置に第1の管路5が接続されている。フィルタ部12は、空気中の塵埃や部品Pに付着したダイシングダスト等を捕捉するフィルタ12aと、部品Pを通過させない程度のメッシュ12bで構成され、吸引口1から吸引されてきた部品Pをメッシュ12bで捕捉し、フィルタ12aには接触しないようにしている。
First, an unnecessary part collecting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The unnecessary parts collecting device includes a
ノズル13は、真空源6につながる管路14および圧力源15につながる管路16と管路切替部17を介して接続されており、真空源6と圧力源15の何れかと選択的に接続できるようになっている。管路7、14内を負圧に維持する負圧付与手段である真空源6と接続した状態のノズル13は、吸着孔18が設けられた先端部に部品Pを吸着して保持することが可能である。また、管路16内を正圧に維持する正圧付与手段である圧力源15と接続した状態のノズル13は、真空破壊により先端部に吸着した部品Pを離脱することが可能である。
The nozzle 13 is connected to the
部品回収部2の吸引口1は、ノズル13の先端部が部品Pを吸着したままの状態で挿通可能な内径を有しており、部品Pの回収時には、部品Pを吸着して保持したノズル13の先端部を吸引口1に挿通した状態で真空破壊を行う。部品回収部2の内部で部品Pをノズル13から離脱させるので確実に回収することができる。
The
制御装置11は、部品Pの回収時におけるバルブ10の開閉と管路切替部17の切替を制御する。生産過程で不要となった部品Pを部品回収部2に移送するときには、ノズル13が真空源6と接続するように管路切替部17の切替を行う。そして、部品Pを吸着して保持したノズル13の先端部が吸引口1に挿通されたときに、ノズル13が真空源6と遮断されて圧力源15と接続するように管路切替部17の切替を行う。これとタイミングを
同じくもしくは若干前後してバルブ10を開き、真空源6と第2の管路9を接続させる。この結果、部品回収部2から第1の管路5を経て第2の管路9の上端に至る気流が発生し、ノズル13の先端部から真空破壊により離脱された部品Pが吸引口1から第2の管路9に設けられたフィルタ部12の下端まで吸引される。その後、バルブ10を閉めて負圧付与を停止すると、第2の管路9内が大気圧開放されるので、フィルタ部12の下端まで吸引されていた部品Pは自重で下方の部品保管容器4内に落下する。吸引口1をノズル13が完全に塞ぐと部品Pを吸引することができないので、ノズル13の先端部は吸引口1を塞がない程度に挿通するか、吸引口1の内周に切り欠き部を設けて通気を確保する必要がある。
The control device 11 controls the opening / closing of the
このようにバルブ10の開閉と管路切替部17の切替を所定のタイミングで制御することで制御装置11は電子部品搭載装置における部品Pの回収動作制御を行う。部品保管容器4は部品保管容器装着部8にシール19を介して気密な状態で装着されているので、第2の管路9内に付与された負圧が部品保管容器4内の空気に影響を及ぼすことはない。従って、部品保管容器4内に回収された複数の部品Pが保管されていても、これらの部品Pは負圧に関係なく静的な状態を維持することができるので、部品保管容器4内のダイシングダストや部品Pの欠片等がフィルタ12aに捕捉されることでフィルタ12aの寿命を短縮し、交換コストを増大させるようなことも起らない。
As described above, the control device 11 controls the recovery operation of the component P in the electronic component mounting device by controlling the opening and closing of the
なお、第1の管路5は、フィルタ部12より下方で部品保管容器装着部8よりも上方の位置で第2の管路9に接続されていればよいが、第1の管路5から第2の管路9の上端に向けて生じる気流の影響を避けるため、第1の管路5をより上方の位置で第2の管路9と接続し、部品保管容器4との距離をより長くしておくことが好ましい。
The first pipeline 5 may be connected to the
次に本発明の実施の形態における電子部品搭載装置について図2および図3を参照して説明する。図2および図3において、電子部品搭載装置21は、部品供給ステージ22と、基板保持ステージ23と、部品検査ステージ24と、ピックアップユニット25と、移送ヘッドユニット26と、ペースト供給ユニット27と、直動ユニット28と、カメラユニット29(29a、29b、29c、29d)で構成されている。
Next, an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3, the electronic
直動ユニット28は固定子28aと二個の移動子28bを備えたリニアモータであり、これらの移動子28bは固定子28aに水平に取り付けられたガイドレール28cに沿って水平方向へ移動する。移送ヘッドユニット26とペースト供給ユニット27はそれぞれ移動子28bの側面に取り付けられており、移動子28bとともに水平移動可能である。
The
ピックアップユニット25は直動ユニット28の下面に取り付けられており、部品Pを吸着保持するノズル36を先端に備えたアームを水平方向および上下方向へ移動させる。
The pick-up
基板保持ステージ23は、上面に基板30を水平姿勢で保持するとともに水平移動し、基板30の部品搭載位置を所定の作業位置に位置決めする。ペースト供給ユニット27と移送ヘッドユニット26は作業位置において基板30の部品搭載位置にペーストを塗布し、部品を装着する。
The
部品検査ステージ24は上部に取り付けられた移動テーブル31をピックアップユニット25および移送ヘッドユニット26の移動方向と直交する方向に水平移動させる。移動テーブル31には部品中継テーブル32と部品回収部2が移動テーブル31の移動方向に並べて載置されている。部品供給ステージ22は複数の部品に切断されたウェハ34が貼り付けられた粘着シート33を水平に保持し、任意の部品が図示しないエジェクタ機構の鉛直上方であるピックアップ位置に位置するようにウェハ34を水平移動させる。
The
カメラユニット29は、部品供給ステージ22の上方に配置された第1カメラ29aと、部品中継テーブル32の上方に配置された第2カメラ29bと、基板保持ステージ23の上方に配置された第3カメラ29cと、移動テーブル31に取り付けられた第4カメラ29dで構成されている。第1カメラ29aは部品供給ステージ22上の部品Pを撮像する。第2カメラ29bは部品中継テーブル32上の部品を上方から撮像する。第3カメラ29cは基板30の位置認識マーク30aを撮像する。第4カメラ29dは移送ヘッドユニット26に昇降可能に取り付けられたノズル13に吸着されている部品を下方から撮像する。
The
制御装置11は、不要部品の回収装置のバルブ10と管路切替部17の動作制御に加え、部品供給ステージ22、基板保持ステージ23、部品検査ステージ24、ピックアップユニット25、移送ヘッドユニット26、ペースト供給ユニット27、直動ユニット28、カメラユニット29の各駆動系の動作制御を行う。また、制御装置11はカメラユニット29の各カメラで撮像された画像を処理して基板30や部品Pの位置認識、さらには部品Pの欠け等の検査を行い、結果を参照して各ユニット等を制御する。
The control device 11 controls the operation of the
本発明の実施の形態における電子部品搭載装置においては次の手順で各駆動部の動作制御を行う。部品搭載の準備として先ず第3カメラ29cにより基板30の位置認識マーク30aを撮像し、撮像データに基づいて基板30の位置を認識し、基板30の部品搭載位置を作業位置に位置決めする。次に作業位置に位置決めされた基板30の部品搭載位置にシリンジ35から吐出したペーストを塗布する。また、第1カメラ29aによりウェハ34の部品Pを撮像し、制御装置11でピックアップの対象となる部品Pの位置を認識してピックアップ位置に位置決めする。部品搭載は、先ずピックアップユニット25のノズル36でウェハ34から任意の部品をピックアップし、部品中継テーブル32に搭載する。次に第2カメラ29bで部品を上方から撮像し、撮像データに基づいて部品の位置認識や部品の上面側の外観検査を行う。部品に欠けや割れ等の不具合が発見された場合にはノズル13で部品を吸着し、部品回収部2の吸引口1に部品を吸引させる。部品が良品である場合にはノズル13で吸着し、基板30のペーストの塗布位置、すなわち部品搭載位置に搭載する。
In the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, operation control of each drive unit is performed in the following procedure. As preparation for component mounting, the position recognition mark 30a of the
部品保管容器4は各駆動系の動作と干渉しない箇所、ここではオペレータが部品搭載装置21を操作する際にアクセスする側の隅部に配置されている。部品保管容器4と部品回収部2は延伸された第1の管路5によって接続されている。生産ラインで不要となった部品Pを回収する箇所(部品回収部2)とそれを保管する箇所(部品保管容器4)を分離し、また部品保管容器4をオペレータが容易にアクセスすることができる場所に配置することで、スペースの制約を受けずに比較的容量の大きな部品保管容器4を使用することが可能になり、容器交換の頻度を少なくできる。
The
なお、本発明の実施の形態では、部品中継テーブル32上で欠けや割れ等の不具合が発見された部品Pを移送ヘッドユニット26のノズル13で部品回収部2へ移送しているがピックアップユニット25のノズル36で移送してもよい。つまり、部品回収部2へ移送するノズルは移送ヘッドユニット26のノズル13には限らず、ピックアップユニット25のノズル36でもよい。また、部品の位置認識や部品の外観検査は部品中継テーブル32に搭載された部品に限らず、移送ヘッドユニット26のノズル13に保持された部品に対して行ってもよい。この場合は第4カメラ29dで移送ヘッドユニット26のノズル13に保持された部品を下方から撮像する。
In the embodiment of the present invention, the component P in which a defect such as chipping or cracking is found on the component relay table 32 is transferred to the
本発明によれば、回収部の容積を小さくするとともにランニングコストも低減可能な不要部品の回収装置が実現できるので、部品を基板に搭載する電子部品搭載装置において特
に有用である。
According to the present invention, it is possible to realize an unnecessary component recovery apparatus that can reduce the volume of the recovery unit and reduce the running cost, and is thus particularly useful in an electronic component mounting apparatus that mounts components on a substrate.
1 吸引口
2 部品回収部
3 開口部
4 部品保管容器
5 第1の管路
6 真空源
9 第2の管路
10 バルブ
11 制御装置
12 フィルタ部
13 ノズル
P 部品
DESCRIPTION OF
Claims (2)
不要部品を吸引する吸引口を有した部品回収部と、上方に開口部を有した部品保管容器と、部品回収部から延びる部品通過可能な内径を有した第1の管路と、上端で負圧付与手段へつながる管路に接続されるとともに下端に前記部品保管容器の開口部を装着する部品保管容器装着部を有した第2の管路と、前記負圧付与手段につながる管路を開閉するバルブと、前記バルブの開閉を制御する制御手段を備え、
前記第2の管路に部品は通さないが通気は可能なフィルタ部を設けるとともに前記フィルタ部より下方で前記部品保管容器装着部よりも上方の位置に前記第1の管路を接続したことを特徴とする不要部品の回収装置。 A device for collecting unnecessary parts in an electronic component mounting apparatus equipped with a nozzle for sucking and transferring parts,
A negative part at the upper end, a parts collection part having a suction port for sucking unnecessary parts, a parts storage container having an opening in the upper part, a first pipe line having an inner diameter that allows passage of parts extending from the part collection part, A second conduit having a component storage container mounting portion that is connected to a conduit connected to the pressure applying means and has an opening of the component storage container at the lower end, and a conduit connected to the negative pressure applying means are opened and closed. And a control means for controlling opening and closing of the valve,
A filter part that does not allow parts to pass through the second pipe line but allows ventilation is provided, and the first pipe line is connected to a position below the filter part and above the part storage container mounting part. Unnecessary parts collection device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007315600A JP4831059B2 (en) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | Unnecessary parts collection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007315600A JP4831059B2 (en) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | Unnecessary parts collection device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009141097A JP2009141097A (en) | 2009-06-25 |
JP4831059B2 true JP4831059B2 (en) | 2011-12-07 |
Family
ID=40871441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007315600A Active JP4831059B2 (en) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | Unnecessary parts collection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4831059B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109444157A (en) * | 2018-12-25 | 2019-03-08 | 苏州凡目视觉科技有限公司 | A kind of scratch detection apparatus and method |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11354990A (en) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Residual chip collector for bulk feeder |
JP2005251979A (en) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic component recovery apparatus and method therefor, and electronic component mounting apparatus |
-
2007
- 2007-12-06 JP JP2007315600A patent/JP4831059B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009141097A (en) | 2009-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20070058982A (en) | Work transporting device and work transporting method | |
JP5505276B2 (en) | Component mounting equipment | |
JP2015205730A (en) | Component mounting apparatus and component mounting method | |
JP4831059B2 (en) | Unnecessary parts collection device | |
JP6959916B2 (en) | Electronic component mounting machine and electronic component separation method | |
JP6417288B2 (en) | Component mounter, component disposal method | |
JP2007220754A (en) | Recovery system of defective electronic components | |
JP3493143B2 (en) | Component mounting method and equipment | |
KR102057588B1 (en) | Peeling Apparatus Protect Film for Substrate | |
JP4327587B2 (en) | Parts transfer device | |
WO2014147733A1 (en) | Component mounting machine | |
JP4618204B2 (en) | Component mounting head and air filter unit | |
KR20150068575A (en) | Board grip and carrying device and method for using thereof | |
JP6652938B2 (en) | Suction nozzle, mounting device and component detachment method | |
WO2012117466A1 (en) | Component mounting device, component mounting method, imaging device, and imaging method | |
JP4992881B2 (en) | Electronic component mounting equipment | |
CN115596747A (en) | Assembly production line | |
CN115889335A (en) | Automatic cleaning equipment | |
JP4242328B2 (en) | Component mounter and component recovery method | |
TWI640371B (en) | Bonding apparatus and bonding method | |
TWI677774B (en) | Electronic component transfer mechanism and operation equipment applied thereto | |
KR101981646B1 (en) | An apparatus for loading components | |
KR102062278B1 (en) | Chip mounter | |
JP2005251979A (en) | Electronic component recovery apparatus and method therefor, and electronic component mounting apparatus | |
CN212291916U (en) | PCB removes two and gets device and automatic equipment of getting of PCB |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091125 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110811 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110823 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110905 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4831059 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |