JP4831059B2 - Unnecessary parts collection device - Google Patents

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本発明は、電子部品搭載装置(部品マウンタやボンディング装置)での生産過程で不要となった部品を回収する不要部品の回収装置に関するものである。   The present invention relates to an unnecessary part collecting apparatus that collects parts that are no longer needed in the production process of an electronic component mounting apparatus (part mounter or bonding apparatus).

ダイシングによって半導体ウェハから個片化された部品は、電子部品搭載装置での生産過程で外観検査を経て基板等に実装される。外観検査により欠けや割れ等の瑕疵が発見された部品は生産ラインから除かれ、不要部品として回収される。不要部品を回収する装置として、不要部品を吸引して所定位置で回収する装置が知られている(特許文献1、2参照)。
特開2007−220754号公報 特開平11−354990号公報
Parts separated from a semiconductor wafer by dicing are mounted on a substrate or the like through appearance inspection in a production process in an electronic component mounting apparatus. Parts in which defects such as chips or cracks are found by visual inspection are removed from the production line and collected as unnecessary parts. As an apparatus for collecting unnecessary parts, an apparatus for sucking and collecting unnecessary parts at a predetermined position is known (see Patent Documents 1 and 2).
JP 2007-220754 A JP 11-354990 A

特許文献1に記載された装置は、ボンディング装置で発生した不良部品を回収する装置であり、ノズルに吸着した部品が不良部品である場合に、ノズルと回収部を相対的に移動させ、回収部内部を負圧にすることで不良部品を吸引回収するように構成されている。回収部の不良部品が満杯になると、ボンディング装置の稼働を一時停止して回収部の不良部品を搬出する作業を要するので、交換の頻度を少なくする為には容量の大きな回収部を用いるのが有利である。しかし、回収部はノズルの移動範囲内に配置されるため、回収部の容量を大きくすることには限界がある。   The apparatus described in Patent Document 1 is an apparatus that collects defective parts generated in a bonding apparatus. When a part adsorbed on a nozzle is a defective part, the nozzle and the collection part are relatively moved, and the collection part It is configured to suck and collect defective parts by making the inside negative pressure. When the defective parts in the recovery unit become full, it is necessary to temporarily stop the operation of the bonding apparatus and carry out the defective parts in the recovery unit. Therefore, in order to reduce the frequency of replacement, it is necessary to use a recovery unit with a large capacity. It is advantageous. However, since the collection unit is disposed within the movement range of the nozzle, there is a limit to increasing the capacity of the collection unit.

特許文献2に記載された装置は、バルクフィーダに残留する部品を回収する装置であり、バルクフィーダから部品を吸い出すチューブと、真空ポンプと接続されたチューブを1つのケースに接続し、一方のチューブからケース内を真空吸引することで他方のチューブから吸い出した部品をケースに回収するように構成されている。しかし、真空吸引によりケース内に気流が発生し、既に回収された部品が巻き上げられることがあるので、部品同士の接触により発生した欠片やダイシングダストが気流に乗って真空ポンプに吸引されてしまう。これらのダストは真空ポンプのフィルタで捕捉されるが、多量に発生することでフィルタの寿命が縮まり、交換コストが増大するという問題がある。   The apparatus described in Patent Document 2 is an apparatus that collects parts remaining in a bulk feeder. A tube that sucks out parts from the bulk feeder and a tube connected to a vacuum pump are connected to one case, and one of the tubes The part sucked out from the other tube is collected in the case by vacuum suction inside the case. However, an air flow is generated in the case by vacuum suction, and the parts that have already been collected may be rolled up, so that fragments and dicing dust generated by the contact between the components ride on the air current and are sucked by the vacuum pump. These dusts are captured by the filter of the vacuum pump, but there is a problem that the life of the filter is shortened and the replacement cost is increased due to generation of a large amount.

本発明は、回収部の容積を小さくするとともにランニングコストも低減することができる不要部品の回収装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an unnecessary parts collecting apparatus that can reduce the volume of a collecting unit and reduce the running cost.

請求項1に記載の不要部品の回収装置は、部品を吸着して移送するノズルを備えた電子部品搭載装置における不要部品の回収装置であって、不要部品を吸引する吸引口を有した部品回収部と、上方に開口部を有した部品保管容器と、部品回収部から延びる部品通過可能な内径を有した第1の管路と、上端で負圧付与手段へつながる管路に接続されるとともに下端に前記部品保管容器の開口部を装着する部品保管容器装着部を有した第2の管路と、前記負圧付与手段につながる管路を開閉するバルブと、前記バルブの開閉を制御する制御手段を備え、前記第2の管路に部品は通さないが通気は可能なフィルタ部を設けるとともに前記フィルタ部より下方で前記部品保管容器装着部よりも上方の位置に前記第1の管路を接続した。   The unnecessary part recovery apparatus according to claim 1 is an unnecessary part recovery apparatus in an electronic component mounting apparatus provided with a nozzle that sucks and transfers a part, and has a suction port for suctioning the unnecessary part. And a part storage container having an opening on the upper side, a first pipe having an inner diameter capable of passing through the part extending from the part collection part, and a pipe connected to the negative pressure applying means at the upper end A second pipe having a parts storage container mounting portion for mounting the opening of the parts storage container at a lower end, a valve for opening and closing the pipe connected to the negative pressure applying means, and a control for controlling opening and closing of the valve Provided with a filter part that does not allow parts to pass through the second pipe line but allows ventilation, and the first pipe line is disposed at a position below the filter part and above the part storage container mounting part. Connected.

請求項2に記載の不要部品の回収装置は、請求項1に記載の不要部品の回収装置であっ
て、前記部品回収部の吸引口は、ノズルの先端部が部品を吸着したままの状態で挿通可能な内径を有した。
The unnecessary part recovery apparatus according to claim 2 is the unnecessary part recovery apparatus according to claim 1, wherein the suction port of the part recovery part is in a state where the tip of the nozzle remains adsorbing the part. It had an inner diameter that could be inserted.

本発明によれば、不要部品をノズルから回収する回収部とそれを保管する容器を分離し、これらを部品通過可能な内径を有した第1の管路で接続したので、稠密部に配置される回収部の容積は小さく抑えるとともに部品保管容器はスペースの制約を受けない箇所に比較的大容積で配置することが可能になる。また、不要部品を回収する際に生じる気流が部品保管容器に影響を与えないので、部品同士の接触により発生した欠片やダイシングダストが気流に乗ってフィルタ部まで運ばれることがなく、フィルタの寿命短縮により交換コストが増大するようなことがない。   According to the present invention, the collecting part for collecting unnecessary parts from the nozzle and the container for storing the parts are separated, and these are connected by the first pipe having an inner diameter through which the parts can pass. In addition, the volume of the recovery unit can be kept small, and the parts storage container can be arranged at a relatively large volume in a place where space is not limited. In addition, since the airflow generated when collecting unnecessary parts does not affect the parts storage container, fragments and dicing dust generated by contact between parts are not carried on the airflow to the filter section, and the life of the filter The replacement cost does not increase due to the shortening.

本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態における不要部品の回収装置の構成図、図2は本発明の実施の形態における電子部品搭載装置の斜視図、図3は本発明の実施の形態における電子部品搭載装置の制御ブロック図である。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of an unnecessary part collecting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an electronic component mounting according to the embodiment of the present invention. It is a control block diagram of an apparatus.

最初に本発明の実施の形態における不要部品の回収装置について図1を参照して説明する。不要部品の回収装置は、電子部品搭載装置(部品マウンタやボンディング装置)での生産過程で不要となった部品Pを吸引する吸引口1を有した部品回収部2と、上方に開口部3を有した部品保管容器4と、部品回収部2から延びる部品Pが通過可能な内径を有した第1の管路5と、上端で真空源6へつながる管路7に接続されるとともに下端に部品保管容器4の開口部3を装着する部品保管容器装着部8を有した第2の管路9と、真空源6につながる管路7を開閉するバルブ10と、バルブ10の開閉を制御する制御装置11で構成され、第2の管路9には部品は通さないが通気は可能なフィルタ部12が設けられ、フィルタ部12より下方で部品保管容器装着部8よりも上方の位置に第1の管路5が接続されている。フィルタ部12は、空気中の塵埃や部品Pに付着したダイシングダスト等を捕捉するフィルタ12aと、部品Pを通過させない程度のメッシュ12bで構成され、吸引口1から吸引されてきた部品Pをメッシュ12bで捕捉し、フィルタ12aには接触しないようにしている。   First, an unnecessary part collecting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The unnecessary parts collecting device includes a parts collecting part 2 having a suction port 1 for sucking parts P which are no longer needed in the production process of an electronic parts mounting apparatus (a parts mounter or a bonding apparatus), and an opening 3 above. It is connected to the part storage container 4 having, the first pipe line 5 having an inner diameter through which the part P extending from the part collection part 2 can pass, and the pipe line 7 connected to the vacuum source 6 at the upper end and the parts at the lower end A second conduit 9 having a component storage container mounting portion 8 for mounting the opening 3 of the storage container 4, a valve 10 for opening and closing the conduit 7 connected to the vacuum source 6, and a control for controlling the opening and closing of the valve 10. The second pipe 9 is provided with a filter part 12 that does not allow parts to pass but allows ventilation, and is located below the filter part 12 and above the part storage container mounting part 8. The pipe line 5 is connected. The filter unit 12 includes a filter 12a that captures dust in the air, dicing dust attached to the component P, and the like, and a mesh 12b that does not allow the component P to pass through. The filter unit 12 meshes the component P that has been sucked from the suction port 1. It captures at 12b and does not touch the filter 12a.

ノズル13は、真空源6につながる管路14および圧力源15につながる管路16と管路切替部17を介して接続されており、真空源6と圧力源15の何れかと選択的に接続できるようになっている。管路7、14内を負圧に維持する負圧付与手段である真空源6と接続した状態のノズル13は、吸着孔18が設けられた先端部に部品Pを吸着して保持することが可能である。また、管路16内を正圧に維持する正圧付与手段である圧力源15と接続した状態のノズル13は、真空破壊により先端部に吸着した部品Pを離脱することが可能である。   The nozzle 13 is connected to the conduit 14 connected to the vacuum source 6 and the conduit 16 connected to the pressure source 15 via the conduit switching unit 17, and can be selectively connected to either the vacuum source 6 or the pressure source 15. It is like that. The nozzle 13 in a state of being connected to the vacuum source 6 which is a negative pressure applying means for maintaining the inside of the pipes 7 and 14 at a negative pressure can adsorb and hold the component P at the tip portion where the adsorption hole 18 is provided. Is possible. Further, the nozzle 13 in a state connected to the pressure source 15 which is a positive pressure applying means for maintaining the inside of the pipe line 16 at a positive pressure can detach the component P adsorbed on the tip portion by vacuum break.

部品回収部2の吸引口1は、ノズル13の先端部が部品Pを吸着したままの状態で挿通可能な内径を有しており、部品Pの回収時には、部品Pを吸着して保持したノズル13の先端部を吸引口1に挿通した状態で真空破壊を行う。部品回収部2の内部で部品Pをノズル13から離脱させるので確実に回収することができる。   The suction port 1 of the component collection unit 2 has an inner diameter that can be inserted with the tip of the nozzle 13 adsorbing the component P. When collecting the component P, the nozzle that adsorbs and holds the component P. The vacuum break is performed with the tip of 13 inserted through the suction port 1. Since the component P is detached from the nozzle 13 inside the component recovery unit 2, it can be reliably recovered.

制御装置11は、部品Pの回収時におけるバルブ10の開閉と管路切替部17の切替を制御する。生産過程で不要となった部品Pを部品回収部2に移送するときには、ノズル13が真空源6と接続するように管路切替部17の切替を行う。そして、部品Pを吸着して保持したノズル13の先端部が吸引口1に挿通されたときに、ノズル13が真空源6と遮断されて圧力源15と接続するように管路切替部17の切替を行う。これとタイミングを
同じくもしくは若干前後してバルブ10を開き、真空源6と第2の管路9を接続させる。この結果、部品回収部2から第1の管路5を経て第2の管路9の上端に至る気流が発生し、ノズル13の先端部から真空破壊により離脱された部品Pが吸引口1から第2の管路9に設けられたフィルタ部12の下端まで吸引される。その後、バルブ10を閉めて負圧付与を停止すると、第2の管路9内が大気圧開放されるので、フィルタ部12の下端まで吸引されていた部品Pは自重で下方の部品保管容器4内に落下する。吸引口1をノズル13が完全に塞ぐと部品Pを吸引することができないので、ノズル13の先端部は吸引口1を塞がない程度に挿通するか、吸引口1の内周に切り欠き部を設けて通気を確保する必要がある。
The control device 11 controls the opening / closing of the valve 10 and the switching of the pipe switching unit 17 when the component P is collected. When the parts P that are no longer necessary in the production process are transferred to the parts collection unit 2, the pipe switching unit 17 is switched so that the nozzle 13 is connected to the vacuum source 6. Then, when the tip of the nozzle 13 that sucks and holds the component P is inserted into the suction port 1, the nozzle 13 is disconnected from the vacuum source 6 and connected to the pressure source 15. Switch. The valve 10 is opened at the same timing or slightly before and after this, and the vacuum source 6 and the second conduit 9 are connected. As a result, an air flow is generated from the component recovery unit 2 through the first conduit 5 to the upper end of the second conduit 9, and the component P detached from the tip of the nozzle 13 by vacuum breakage is discharged from the suction port 1. Suction is performed up to the lower end of the filter portion 12 provided in the second conduit 9. Thereafter, when the valve 10 is closed and the application of the negative pressure is stopped, the inside of the second conduit 9 is released to the atmospheric pressure, so that the part P sucked up to the lower end of the filter unit 12 is its own weight and the lower part storage container 4 Fall into. If the nozzle 13 completely closes the suction port 1, the component P cannot be sucked. Therefore, the tip of the nozzle 13 is inserted so as not to block the suction port 1, or a notch is formed in the inner periphery of the suction port 1. It is necessary to provide ventilation.

このようにバルブ10の開閉と管路切替部17の切替を所定のタイミングで制御することで制御装置11は電子部品搭載装置における部品Pの回収動作制御を行う。部品保管容器4は部品保管容器装着部8にシール19を介して気密な状態で装着されているので、第2の管路9内に付与された負圧が部品保管容器4内の空気に影響を及ぼすことはない。従って、部品保管容器4内に回収された複数の部品Pが保管されていても、これらの部品Pは負圧に関係なく静的な状態を維持することができるので、部品保管容器4内のダイシングダストや部品Pの欠片等がフィルタ12aに捕捉されることでフィルタ12aの寿命を短縮し、交換コストを増大させるようなことも起らない。   As described above, the control device 11 controls the recovery operation of the component P in the electronic component mounting device by controlling the opening and closing of the valve 10 and the switching of the pipe switching unit 17 at a predetermined timing. Since the parts storage container 4 is mounted in an airtight state on the parts storage container mounting portion 8 via the seal 19, the negative pressure applied in the second conduit 9 affects the air in the parts storage container 4. Will not affect. Therefore, even if a plurality of parts P collected in the parts storage container 4 are stored, these parts P can maintain a static state regardless of the negative pressure. Dicing dust, pieces of parts P, etc. are captured by the filter 12a, so that the life of the filter 12a is shortened and the replacement cost is not increased.

なお、第1の管路5は、フィルタ部12より下方で部品保管容器装着部8よりも上方の位置で第2の管路9に接続されていればよいが、第1の管路5から第2の管路9の上端に向けて生じる気流の影響を避けるため、第1の管路5をより上方の位置で第2の管路9と接続し、部品保管容器4との距離をより長くしておくことが好ましい。   The first pipeline 5 may be connected to the second pipeline 9 at a position below the filter unit 12 and above the component storage container mounting unit 8. In order to avoid the influence of the air flow generated toward the upper end of the second conduit 9, the first conduit 5 is connected to the second conduit 9 at a higher position so that the distance from the component storage container 4 is further increased. It is preferable to keep it long.

次に本発明の実施の形態における電子部品搭載装置について図2および図3を参照して説明する。図2および図3において、電子部品搭載装置21は、部品供給ステージ22と、基板保持ステージ23と、部品検査ステージ24と、ピックアップユニット25と、移送ヘッドユニット26と、ペースト供給ユニット27と、直動ユニット28と、カメラユニット29(29a、29b、29c、29d)で構成されている。   Next, an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3, the electronic component mounting apparatus 21 includes a component supply stage 22, a substrate holding stage 23, a component inspection stage 24, a pickup unit 25, a transfer head unit 26, a paste supply unit 27, And a camera unit 29 (29a, 29b, 29c, 29d).

直動ユニット28は固定子28aと二個の移動子28bを備えたリニアモータであり、これらの移動子28bは固定子28aに水平に取り付けられたガイドレール28cに沿って水平方向へ移動する。移送ヘッドユニット26とペースト供給ユニット27はそれぞれ移動子28bの側面に取り付けられており、移動子28bとともに水平移動可能である。   The linear motion unit 28 is a linear motor including a stator 28a and two movers 28b, and these movers 28b move in a horizontal direction along guide rails 28c attached horizontally to the stator 28a. The transfer head unit 26 and the paste supply unit 27 are respectively attached to the side surfaces of the mover 28b and can move horizontally together with the mover 28b.

ピックアップユニット25は直動ユニット28の下面に取り付けられており、部品Pを吸着保持するノズル36を先端に備えたアームを水平方向および上下方向へ移動させる。   The pick-up unit 25 is attached to the lower surface of the linear motion unit 28, and moves an arm having a nozzle 36 at the tip for sucking and holding the component P in the horizontal and vertical directions.

基板保持ステージ23は、上面に基板30を水平姿勢で保持するとともに水平移動し、基板30の部品搭載位置を所定の作業位置に位置決めする。ペースト供給ユニット27と移送ヘッドユニット26は作業位置において基板30の部品搭載位置にペーストを塗布し、部品を装着する。   The substrate holding stage 23 holds the substrate 30 in a horizontal posture on the upper surface and moves horizontally to position the component mounting position of the substrate 30 at a predetermined work position. The paste supply unit 27 and the transfer head unit 26 apply the paste to the component mounting position of the substrate 30 at the work position and mount the component.

部品検査ステージ24は上部に取り付けられた移動テーブル31をピックアップユニット25および移送ヘッドユニット26の移動方向と直交する方向に水平移動させる。移動テーブル31には部品中継テーブル32と部品回収部2が移動テーブル31の移動方向に並べて載置されている。部品供給ステージ22は複数の部品に切断されたウェハ34が貼り付けられた粘着シート33を水平に保持し、任意の部品が図示しないエジェクタ機構の鉛直上方であるピックアップ位置に位置するようにウェハ34を水平移動させる。   The component inspection stage 24 horizontally moves the moving table 31 attached to the upper part in a direction orthogonal to the moving direction of the pickup unit 25 and the transfer head unit 26. On the moving table 31, the component relay table 32 and the component collection unit 2 are placed side by side in the moving direction of the moving table 31. The component supply stage 22 horizontally holds an adhesive sheet 33 on which a wafer 34 cut into a plurality of components is attached, and the wafer 34 is positioned so that an arbitrary component is located at a pickup position vertically above an ejector mechanism (not shown). Move horizontally.

カメラユニット29は、部品供給ステージ22の上方に配置された第1カメラ29aと、部品中継テーブル32の上方に配置された第2カメラ29bと、基板保持ステージ23の上方に配置された第3カメラ29cと、移動テーブル31に取り付けられた第4カメラ29dで構成されている。第1カメラ29aは部品供給ステージ22上の部品Pを撮像する。第2カメラ29bは部品中継テーブル32上の部品を上方から撮像する。第3カメラ29cは基板30の位置認識マーク30aを撮像する。第4カメラ29dは移送ヘッドユニット26に昇降可能に取り付けられたノズル13に吸着されている部品を下方から撮像する。   The camera unit 29 includes a first camera 29 a disposed above the component supply stage 22, a second camera 29 b disposed above the component relay table 32, and a third camera disposed above the substrate holding stage 23. 29c and a fourth camera 29d attached to the moving table 31. The first camera 29 a images the component P on the component supply stage 22. The second camera 29b images the parts on the parts relay table 32 from above. The third camera 29c images the position recognition mark 30a on the substrate 30. The fourth camera 29d images from below the parts adsorbed by the nozzle 13 attached to the transfer head unit 26 so as to be movable up and down.

制御装置11は、不要部品の回収装置のバルブ10と管路切替部17の動作制御に加え、部品供給ステージ22、基板保持ステージ23、部品検査ステージ24、ピックアップユニット25、移送ヘッドユニット26、ペースト供給ユニット27、直動ユニット28、カメラユニット29の各駆動系の動作制御を行う。また、制御装置11はカメラユニット29の各カメラで撮像された画像を処理して基板30や部品Pの位置認識、さらには部品Pの欠け等の検査を行い、結果を参照して各ユニット等を制御する。   The control device 11 controls the operation of the valve 10 and the pipe switching unit 17 of the unnecessary component collecting device, and also supplies the component supply stage 22, the substrate holding stage 23, the component inspection stage 24, the pickup unit 25, the transfer head unit 26, and the paste. Operation control of each drive system of the supply unit 27, the linear motion unit 28, and the camera unit 29 is performed. Further, the control device 11 processes the images picked up by the respective cameras of the camera unit 29 to recognize the positions of the substrate 30 and the parts P, and further inspect the chip of the parts P, etc. To control.

本発明の実施の形態における電子部品搭載装置においては次の手順で各駆動部の動作制御を行う。部品搭載の準備として先ず第3カメラ29cにより基板30の位置認識マーク30aを撮像し、撮像データに基づいて基板30の位置を認識し、基板30の部品搭載位置を作業位置に位置決めする。次に作業位置に位置決めされた基板30の部品搭載位置にシリンジ35から吐出したペーストを塗布する。また、第1カメラ29aによりウェハ34の部品Pを撮像し、制御装置11でピックアップの対象となる部品Pの位置を認識してピックアップ位置に位置決めする。部品搭載は、先ずピックアップユニット25のノズル36でウェハ34から任意の部品をピックアップし、部品中継テーブル32に搭載する。次に第2カメラ29bで部品を上方から撮像し、撮像データに基づいて部品の位置認識や部品の上面側の外観検査を行う。部品に欠けや割れ等の不具合が発見された場合にはノズル13で部品を吸着し、部品回収部2の吸引口1に部品を吸引させる。部品が良品である場合にはノズル13で吸着し、基板30のペーストの塗布位置、すなわち部品搭載位置に搭載する。   In the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, operation control of each drive unit is performed in the following procedure. As preparation for component mounting, the position recognition mark 30a of the board 30 is first imaged by the third camera 29c, the position of the board 30 is recognized based on the imaging data, and the component mounting position of the board 30 is positioned at the work position. Next, the paste discharged from the syringe 35 is applied to the component mounting position of the substrate 30 positioned at the work position. Further, the part P of the wafer 34 is imaged by the first camera 29a, and the position of the part P to be picked up is recognized by the control device 11 and positioned at the pickup position. For component mounting, an arbitrary component is first picked up from the wafer 34 by the nozzle 36 of the pickup unit 25 and mounted on the component relay table 32. Next, the second camera 29b images the component from above, and performs position recognition of the component and appearance inspection on the upper surface side of the component based on the imaging data. When a defect such as chipping or cracking is found in the component, the component is sucked by the nozzle 13 and sucked into the suction port 1 of the component collecting unit 2. When the component is a non-defective product, it is adsorbed by the nozzle 13 and mounted at the paste application position on the substrate 30, that is, the component mounting position.

部品保管容器4は各駆動系の動作と干渉しない箇所、ここではオペレータが部品搭載装置21を操作する際にアクセスする側の隅部に配置されている。部品保管容器4と部品回収部2は延伸された第1の管路5によって接続されている。生産ラインで不要となった部品Pを回収する箇所(部品回収部2)とそれを保管する箇所(部品保管容器4)を分離し、また部品保管容器4をオペレータが容易にアクセスすることができる場所に配置することで、スペースの制約を受けずに比較的容量の大きな部品保管容器4を使用することが可能になり、容器交換の頻度を少なくできる。   The parts storage container 4 is disposed at a location that does not interfere with the operation of each drive system, in this case, at the corner that is accessed when the operator operates the parts mounting device 21. The parts storage container 4 and the parts collection part 2 are connected by the extended first pipe line 5. The part (parts collection unit 2) that collects parts P that are no longer necessary on the production line is separated from the part (parts storage container 4) that stores them, and the parts storage container 4 can be easily accessed by the operator. By arranging the parts in place, it is possible to use the parts storage container 4 having a relatively large capacity without being restricted by space, and the frequency of container replacement can be reduced.

なお、本発明の実施の形態では、部品中継テーブル32上で欠けや割れ等の不具合が発見された部品Pを移送ヘッドユニット26のノズル13で部品回収部2へ移送しているがピックアップユニット25のノズル36で移送してもよい。つまり、部品回収部2へ移送するノズルは移送ヘッドユニット26のノズル13には限らず、ピックアップユニット25のノズル36でもよい。また、部品の位置認識や部品の外観検査は部品中継テーブル32に搭載された部品に限らず、移送ヘッドユニット26のノズル13に保持された部品に対して行ってもよい。この場合は第4カメラ29dで移送ヘッドユニット26のノズル13に保持された部品を下方から撮像する。   In the embodiment of the present invention, the component P in which a defect such as chipping or cracking is found on the component relay table 32 is transferred to the component recovery unit 2 by the nozzle 13 of the transfer head unit 26. The nozzle 36 may be used for transfer. That is, the nozzle to be transferred to the component recovery unit 2 is not limited to the nozzle 13 of the transfer head unit 26 but may be the nozzle 36 of the pickup unit 25. The position recognition of the parts and the appearance inspection of the parts are not limited to the parts mounted on the part relay table 32 but may be performed on the parts held by the nozzle 13 of the transfer head unit 26. In this case, the part held by the nozzle 13 of the transfer head unit 26 is imaged from below by the fourth camera 29d.

本発明によれば、回収部の容積を小さくするとともにランニングコストも低減可能な不要部品の回収装置が実現できるので、部品を基板に搭載する電子部品搭載装置において特
に有用である。
According to the present invention, it is possible to realize an unnecessary component recovery apparatus that can reduce the volume of the recovery unit and reduce the running cost, and is thus particularly useful in an electronic component mounting apparatus that mounts components on a substrate.

本発明の実施の形態における不要部品の回収装置の構成図The block diagram of the collection | recovery apparatus of the unnecessary parts in embodiment of this invention 本発明の実施の形態における電子部品搭載装置の斜視図The perspective view of the electronic component mounting apparatus in embodiment of this invention 本発明の実施の形態における電子部品搭載装置の制御ブロック図Control block diagram of electronic component mounting apparatus in an embodiment of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

1 吸引口
2 部品回収部
3 開口部
4 部品保管容器
5 第1の管路
6 真空源
9 第2の管路
10 バルブ
11 制御装置
12 フィルタ部
13 ノズル
P 部品
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suction port 2 Parts collection | recovery part 3 Opening part 4 Parts storage container 5 1st pipe line 6 Vacuum source 9 2nd pipe line 10 Valve | bulb 11 Control apparatus 12 Filter part 13 Nozzle P Parts

Claims (2)

部品を吸着して移送するノズルを備えた電子部品搭載装置における不要部品の回収装置であって、
不要部品を吸引する吸引口を有した部品回収部と、上方に開口部を有した部品保管容器と、部品回収部から延びる部品通過可能な内径を有した第1の管路と、上端で負圧付与手段へつながる管路に接続されるとともに下端に前記部品保管容器の開口部を装着する部品保管容器装着部を有した第2の管路と、前記負圧付与手段につながる管路を開閉するバルブと、前記バルブの開閉を制御する制御手段を備え、
前記第2の管路に部品は通さないが通気は可能なフィルタ部を設けるとともに前記フィルタ部より下方で前記部品保管容器装着部よりも上方の位置に前記第1の管路を接続したことを特徴とする不要部品の回収装置。
A device for collecting unnecessary parts in an electronic component mounting apparatus equipped with a nozzle for sucking and transferring parts,
A negative part at the upper end, a parts collection part having a suction port for sucking unnecessary parts, a parts storage container having an opening in the upper part, a first pipe line having an inner diameter that allows passage of parts extending from the part collection part, A second conduit having a component storage container mounting portion that is connected to a conduit connected to the pressure applying means and has an opening of the component storage container at the lower end, and a conduit connected to the negative pressure applying means are opened and closed. And a control means for controlling opening and closing of the valve,
A filter part that does not allow parts to pass through the second pipe line but allows ventilation is provided, and the first pipe line is connected to a position below the filter part and above the part storage container mounting part. Unnecessary parts collection device.
前記部品回収部の吸引口は、ノズルの先端部が部品を吸着したままの状態で挿通可能な内径を有したことを特徴とする請求項1に記載の不要部品の回収装置。   2. The unnecessary part collecting apparatus according to claim 1, wherein the suction port of the part collecting part has an inner diameter that allows the nozzle tip to be inserted in a state where the tip of the nozzle is sucking the part.
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