JP4830099B2 - 音速測定方法、及び音速測定装置 - Google Patents
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Description
2…パルス励起型超音波顕微鏡
14a…超音波振動子としての薄膜圧電素子
20…試料載置板としてのガラス基板
20a…非載置面としてのガラス面
21…被検査物としての生体組織
31…処理手段、波形分離手段、及び算出手段としてのCPU
Claims (3)
- パルス励起型超音波顕微鏡を利用して、試料載置板上に載置された被検査物の音速を超音波の反射波に基づいて測定する音速測定方法であって、
前記試料載置板における被検査物の非載置面からの反射波を取得するステップと、
前記被検査物からの反射波を取得するステップと、
前記非載置面からの反射波を参照波形として前記被検査物からの反射波を補正するデコンボリューション処理を行うステップと、
前記補正された反射波を用いて前記被検査物の表面の反射波と前記被検査物の裏面の反射波とを時間領域で分離するステップと、
前記被検査物の表面の反射波と前記被検査物の裏面の反射波とをそれぞれ周波数領域で解析し、その解析結果から、前記被検査物の表面の反射波の周波数とこれに対応する位相と、前記被検査物の裏面の反射波の周波数とこれに対応する位相とを計算し、これらに基づいて周波数に対応した被検査物の音速を算出するステップと
を含むことを特徴とする音速測定方法。 - 前記非載置面からの反射波と前記被検査物の表面の反射波との位相差から被検査物の厚さを求め、前記非載置面からの反射波と前記被検査物の裏面の反射波との位相差と前記被検査物の厚さとに基づいて前記音速を求めることを特徴とする請求項1に記載の音速測定方法。
- パルス励起型超音波顕微鏡を利用して、試料載置板上に載置された被検査物の音速を超音波の反射波に基づいて測定する音速測定装置であって、
パルス励起されることによって超音波を被検査物に照射するとともに、前記被検査物からの反射波を受信する超音波振動子と、
前記試料載置板における被検査物の非載置面からの反射波を参照波形として前記被検査物からの反射波を補正するデコンボリューション処理を行う処理手段と、
前記処理手段により補正された反射波を用いて前記被検査物の表面の反射波と前記被検査物の裏面の反射波とを時間領域で分離する波形分離手段と、
前記波形分離手段により分離された前記被検査物の表面の反射波と前記被検査物の裏面の反射波とをそれぞれ周波数領域で解析し、その解析結果から、前記被検査物の表面の反射波の周波数とこれに対応する位相と、前記被検査物の裏面の反射波の周波数とこれに対応する位相とを計算し、これらに基づいて周波数に対応した被検査物の音速を算出する算出手段と
を備えることを特徴とする音速測定装置。
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