JP4826569B2 - Metal plate material for printed wiring board and manufacturing method thereof - Google Patents

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本発明は、例えば自動車用プリント配線板のような比較的大電流容量対応のプリント配線板などに好適なプリント配線板用金属板材およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a metal plate material for a printed wiring board suitable for a printed wiring board for a relatively large current capacity, such as a printed wiring board for automobiles, and a method for manufacturing the same.

比較的大電流容量を有することが要請される分野で、代表的なものとしては、いわゆる自動車エレクトロニクス分野があるが、自動車のエレクトロニクス化は近年、ますます進展しつつある。そのなかでも、例えばジャンクションボックスでは従来一般に大電流通電を行うためにバスバーが用いられている。このバスバーのような配電構造は、厳しい温度や湿度等の環境変化に対する耐久性が良好であるという特長を有しているが、その反面、空間的な制約が著しく、その制約に妨げられて設計の自由度が低くなる傾向にある。そこで、ジャンクションボックスの配線構造全体をプリント配線板化することが望まれる。但し、それを実現化するためには、厳しい使用環境下で比較的大電流を流し続けても断線や配線劣化等が生じる虞のない、耐久性が高くて信頼性に富んだプリント配線板を用いることが強く要請される。   As a typical field that is required to have a relatively large current capacity, there is a so-called automobile electronics field, and the use of automobiles in electronics has been increasingly developed in recent years. Among them, for example, in a junction box, a bus bar is generally used for energizing a large current. The distribution structure such as this bus bar has the feature that it has good durability against environmental changes such as severe temperature and humidity, but on the other hand, there are significant spatial restrictions and the design is hindered by the restrictions. The degree of freedom tends to be low. Therefore, it is desired to make the entire wiring structure of the junction box into a printed wiring board. However, in order to realize this, a highly durable and reliable printed wiring board that does not cause disconnection or wiring deterioration even if a relatively large current is continuously applied in a severe operating environment. It is strongly requested to use it.

プリント配線板は、板状またはシート状のガラスエポキシ基材の表面に銅箔または銅薄板を張り合わせてなる、いわゆる銅張基板を加工して製造される。その銅張基板は、例えばFR4(Flame Retardant Type4)のようなガラス繊維とエポキシ樹脂の複合材料からなる難燃性のプリント配線板用樹脂基材と、数10μm〜100μm程度の板厚の銅板材からなるプリント配線板用金属板材とを、ホットプレス法により全面的に接合して作製されるが、この接合をより確実なものとするためには、銅板材の表面全面に粗面化処理を施すことが望まれる。   A printed wiring board is manufactured by processing a so-called copper-clad substrate, which is formed by laminating a copper foil or a copper thin plate on the surface of a plate-like or sheet-like glass epoxy substrate. The copper-clad board is made of, for example, a flame-retardant resin substrate for printed wiring boards made of a composite material of glass fiber and epoxy resin, such as FR4 (Frame Regentant Type 4), and a copper plate material having a thickness of several tens to 100 μm In order to make this bonding more reliable, a roughening treatment is applied to the entire surface of the copper plate material. It is desirable to apply.

そのような従来の粗面化処理の代表的な例としては、特開2004−200557号公報(特許文献1)によって提案された技術がある。
これは、比較的厚い0.1mm以上の厚さの金属板材の表面を、いわゆるハーフエッチングの要領で全面的に蝕刻することで、その金属板材を構成している金属の粒界に沿って平均粒径1μm〜30μm程度の多数の凸部からなる第一粗化面を形成し、さらにその粒界に沿って電界が集中することを利用して、電析により平均粒径0.1μm〜10μmの微粒子をその粒界に沿って集中的に付着させることで第二粗化面を形成する、というものである。
As a typical example of such a conventional roughening process, there is a technique proposed by Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-200557 (Patent Document 1).
This is because the surface of a relatively thick metal plate having a thickness of 0.1 mm or more is etched entirely in the manner of so-called half-etching, and averaged along the grain boundaries of the metal constituting the metal plate. An average particle size of 0.1 μm to 10 μm is formed by electrodeposition using the fact that a first roughened surface comprising a large number of convex portions having a particle size of about 1 μm to 30 μm is formed and an electric field is concentrated along the grain boundary. The second roughened surface is formed by intensively adhering the fine particles along the grain boundary.

特開2004−200557号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-200557

しかしながら、上記のような特開2004−200557号公報にて提案された技術を以てしてもなお、例えば自動車用大電流対応のプリント配線板の場合のようなエンジンルーム内等の過酷な使用環境下では、樹脂基材と金属板材との接合力に関して耐久性が十分ではなく、金属板材を加工してなる回路や放熱材等が剥離してしまうという問題がある。
すなわち、上記の特開2004−200557号公報にて提案された技術では、金属板材を構成している金属材料の粒界に沿って電析により微粒子を適度に集中させて付着させているが、そのようにしてもなお、その粒界付近以外の部分では粒界の部分よりも微粒子が集中していない(微粒子の密度が必ずしも十分でない)ことなどから、必ずしも十分な接合力が得られず、自動車用途等の極めて過酷な使用環境下では、接合の耐久性が不足して金属板材の剥離や部分的剥れなどが発生する場合があった。
However, even with the technique proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-200557 as described above, for example, in a severe use environment such as in an engine room as in the case of a printed wiring board corresponding to a large current for automobiles. However, there is a problem that the durability of the bonding force between the resin base material and the metal plate material is not sufficient, and a circuit, a heat dissipation material, or the like formed by processing the metal plate material is peeled off.
That is, in the technique proposed in the above Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-200557, fine particles are appropriately concentrated and adhered along the grain boundaries of the metal material constituting the metal plate, Even in such a case, fine particles are not concentrated in the portion other than the vicinity of the grain boundary than the portion of the grain boundary (the density of the fine particles is not necessarily sufficient). Under extremely harsh usage environments such as automobile applications, the durability of bonding is insufficient, and metal plate materials may be peeled off or partially peeled off.

また、その他にも、例えば10μm以上〜100μm未満程度の薄い圧延銅箔について、その表面に粗化処理を施すことで、ポリイミドフィルム基材のような樹脂基材との接合の耐久性や信頼性を高くするという技術が種々提案されている。しかし、それらの技術はあくまでも厚さの極めて薄い圧延銅箔に適したものであるため、板厚100μm以上の厚い金属板材に適用することは実際上困難ないし不可能であった。   In addition, for example, a thin rolled copper foil having a thickness of about 10 μm to less than 100 μm is subjected to a roughening treatment on the surface thereof, so that the durability and reliability of bonding with a resin base material such as a polyimide film base material is achieved. Various techniques have been proposed for increasing the image quality. However, since these techniques are suitable for rolled copper foil having a very thin thickness, it is practically difficult or impossible to apply to a thick metal plate having a thickness of 100 μm or more.

本発明は、このような問題に鑑みて成されたもので、その目的は、例えば自動車用プリント配線板のような、きわめて過酷な温度・湿度等の環境下でも、プリント配線板用樹脂基材とプリント配線板用金属板材との接合についての高い耐久性や信頼性を維持することを可能とする、プリント配線板用金属板材およびその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and its purpose is to provide a resin substrate for a printed wiring board, even under extremely harsh environments such as temperature and humidity, such as a printed wiring board for automobiles. An object of the present invention is to provide a metal sheet for printed wiring board and a method for producing the same, which can maintain high durability and reliability for bonding between the metal sheet and the metal sheet for printed wiring board.

本発明の第1のプリント配線板用金属板材は、板状のプリント配線板用樹脂基材と張り合わされる、最も厚い部分の厚さ100μm以上であり、かつ、圧延銅箔に設けられた溝に微粒子を付着させたプリント配線板用金属板材であって、前記溝は、前記圧延銅箔の前記プリント配線板用樹脂基材に対して張り合わされる表面に、当該表面の十点平均表面粗さRzが4.5μm以上〜6.5μm以下となるように形されており、かつ、前記微粒子は、粒径1.2μm以上〜4.0μm以下で、前記溝の内部における前記微粒子の付着した面積の、前記溝の面積に対する割合が3%以上60%以下であり、さらに、T−ピール法による引き剥がし強度が、5.3N/mm〜6.2N/mmであることを特徴としている。
The first metal plate material for a printed wiring board according to the present invention is a groove provided on a rolled copper foil having a thickness of 100 μm or more at the thickest portion, which is bonded to a plate-shaped resin substrate for a printed wiring board. A metal plate material for a printed wiring board in which fine particles are adhered to the groove , and the groove has a ten-point average surface roughness of the surface on the surface of the rolled copper foil bonded to the resin substrate for the printed wiring board. are forms formed such that the Rz of 4.5 [mu] m or more ~ 6.5 [mu] m or less, and the fine particles in the particle diameter 1.2μm or more ~4.0μm less, the fine particles in the interior of the groove The ratio of the area to which the film adheres to the groove area is 3% or more and 60% or less, and the peel strength according to the T-peel method is 5.3 N / mm to 6.2 N / mm. It is said.

本発明の第2のプリント配線板用金属板材は、上記第1のプリント配線板用金属板材において、前記微粒子が、Cu、Ni、Zn、Co、Fe、Mo、Wのうちのいずれか1つの金属元素からなる材料または2以上の金属元素を組み合わせた材料からなるものであることを特徴としている。   The second metal plate material for a printed wiring board according to the present invention is the metal plate material for the first printed wiring board, wherein the fine particles are any one of Cu, Ni, Zn, Co, Fe, Mo, and W. It is characterized by comprising a material composed of a metal element or a material combining two or more metal elements.

本発明の第3のプリント配線板用金属板材は、上記第1または第2のプリント配線板用金属板材において、前記微粒子の粒径が、前記Rzの値に対して5%以上〜50%以下であることを特徴としている。   The third metal plate material for a printed wiring board according to the present invention is the above-described first or second metal plate material for a printed wiring board, wherein the particle size of the fine particles is 5% to 50% with respect to the value of Rz. It is characterized by being.

本発明の第のプリント配線板用金属板材は、上記第1ないし第のうちいずれかのプリント配線板用金属板材において、前記微粒子の、当該プリント配線板用金属板材全面に対する付着占有面積比率が、当該プリント配線板用金属板材の全面積の60%以上〜95%以下であることを特徴としている。
According to a fourth printed wiring board metal plate of the present invention, in any one of the first to third printed wiring board metal plates, the adhesion occupation area ratio of the fine particles to the entire surface of the printed wiring board metal plate However, it is characterized by being 60% to 95% of the total area of the metal sheet material for printed wiring boards.

本発明の第1のプリント配線板用金属板材の製造方法は、板状のプリント配線板用樹脂基材に対して張り合わされる、最も厚い部分の厚さ100μm以上であり、かつ、圧延銅箔に設けられた溝に微粒子を付着させたプリント配線板用金属板材の製造方法であって、前記圧延銅箔の前記プリント配線板用金属板材における、前記プリント配線板用樹脂基材に対して張り合わされる表面に、当該表面の十点平均表面粗さRzが4.5μm以上〜6.5μm以下となるように溝を形成する第1の粗面化工程と、前記第1の粗面化を施してなる表面に、粒径0.2μm以上〜4.0μm以下の微粒子を前記溝の内部における前記微粒子の付着した面積の、前記溝の面積に対する割合が3%以上60%以下となるよう付着させる第2の粗面化工程とを含むことを特徴としている。
The first method for producing a metal plate material for a printed wiring board according to the present invention has a thickness of 100 μm or more at the thickest portion bonded to a plate-shaped resin substrate for a printed wiring board , and rolled copper foil A method for producing a printed wiring board metal plate material in which fine particles are adhered to a groove provided in the printed wiring board, wherein the rolled copper foil is bonded to the printed wiring board resin substrate. A first roughening step of forming grooves on the surface to have a ten-point average surface roughness Rz of 4.5 μm or more to 6.5 μm or less, and the first rough surface The ratio of the area where fine particles having a particle size of 0.2 μm to 4.0 μm adhere to the inside of the groove to the surface of the groove is 3% to 60%. including a second roughened depositing as It is characterized by that.

本発明の第2のプリント配線板用金属板材の製造方法は、上記第1のプリント配線板用金属板材の製造方法において、前記第2の粗面化工程を、エッチング、ショットブラスト、電気粗化めっきのうちのいずれか1つまたは2つ以上の組み合わせにより行うことを特徴としている。   The second method for producing a metal plate material for a printed wiring board according to the present invention is the above-described first method for producing a metal plate material for a printed wiring board, wherein the second roughening step includes etching, shot blasting, and electric roughening. It is characterized by being performed by any one of plating or a combination of two or more.

本発明の第3のプリント配線板用金属板材の製造方法は、上記第1または第2のプリント配線板用金属板材の製造方法において、前記第1の粗面化処理および第2の粗面化処理を施した後、さらにNiめっき、Znめっき、クロメート処理、シランカップリング処理のうちのいずれか1つまたは2つ以上を組み合わせた処理を施すことを特徴としている。   A third method for producing a metal sheet for printed wiring board according to the present invention is the first or second method for producing a metal sheet for printed wiring board, wherein the first roughening treatment and the second roughening are performed. After the treatment, it is further characterized in that a treatment combining any one or two or more of Ni plating, Zn plating, chromate treatment, and silane coupling treatment is performed.

また、プリント配線板用金属板材自体の金属板材としては、一般に最もよく用いられる銅板材などが好適である。但し、これのみには限定されないことは勿論である。この他にも、例えばアルミニウム板にも適用可能である。さらに、近年では金属と有機材料とを組み合わせた熱伝導率の高いハイブリット複合材の開発等も行われており、このような材料に対して同様の処理を施すことも可能である。   Moreover, as a metal plate material of the printed wiring board metal plate material itself, a copper plate material that is most often used is generally suitable. However, it is needless to say that the present invention is not limited to this. In addition, for example, the present invention can be applied to an aluminum plate. Furthermore, in recent years, a hybrid composite material having a high thermal conductivity in which a metal and an organic material are combined has been developed, and the same treatment can be applied to such a material.

本発明によれば、最大厚さ100μm以上のプリント配線板用金属板材における、プリント配線板用樹脂基材に対して張り合わされる表面に、その表面の十点平均表面粗さRzが1.0μm以上〜10μm以下となるように溝を形成し、かつ粒径0.2μm以上〜4.0μm以下の微粒子を付着させるようにしたので、プリント配線板用樹脂基材がプリント配線板用金属板材の溝の深さ方向に立体的に食い込むと共に、微粒子の付着による表面の凹凸にもプリント配線板用樹脂基材が食い込んで、極めて強力に接合されることとなる。その結果、プリント配線板用樹脂基材とプリント配線板用金属板材との接合についての高い耐久性や信頼性を維持することが可能となる。   According to the present invention, the 10-point average surface roughness Rz of the surface of the metal plate material for a printed wiring board having a maximum thickness of 100 μm or more is 1.0 μm. Since grooves are formed so as to be 10 μm or less and fine particles having a particle diameter of 0.2 μm or more and 4.0 μm or less are adhered, the resin substrate for printed wiring board is a metal plate material for printed wiring board. In addition to three-dimensionally biting in the depth direction of the groove, the resin substrate for the printed wiring board bites into the irregularities on the surface due to the adhesion of the fine particles, resulting in extremely strong bonding. As a result, it becomes possible to maintain high durability and reliability with respect to the bonding between the printed wiring board resin substrate and the printed wiring board metal plate.

また、特に、微粒子の粒径を、プリント配線板用金属板材の表面のRzの値に対して5%以上〜50%以下の大きさとすることにより、溝付近における微粒子の存在に因って妨げられることなく、さらに確実に、プリント配線板用金属板材の溝の深さ方向にプリント配線板用樹脂基材を立体的に食い込ませるようにすることができ、これによりプリント配線板用樹脂基材とプリント配線板用金属板材との接合についての高い耐久性や信頼性をさらに確実に維持することが可能となる。   In particular, by setting the particle size of the fine particles to a value of 5% to 50% with respect to the Rz value on the surface of the metal plate material for printed wiring boards, it is hindered due to the presence of fine particles in the vicinity of the grooves. The resin substrate for printed wiring board can be bite in three dimensions in the depth direction of the groove of the metal plate material for printed wiring board, and thus, the resin substrate for printed wiring board. It is possible to more reliably maintain the high durability and reliability of the bonding between the metal plate material for printed wiring boards.

また、特に、溝における微粒子の付着する面積を、その溝の面積の3%以上〜60%以下とすることにより、溝付近における微粒子の存在に因って妨げられることなく、さらに確実に、プリント配線板用金属板材の溝の深さ方向にプリント配線板用樹脂基材を立体的に食い込ませるようにすることができ、これによりプリント配線板用樹脂基材とプリント配線板用金属板材との接合についての高い耐久性や信頼性をさらに確実に維持することが可能となる。   In particular, by setting the area where the fine particles adhere to the groove to be 3% or more to 60% or less of the area of the groove, it is possible to print more reliably without being hindered by the presence of the fine particles near the groove. The printed wiring board resin base material can be bite in three dimensions in the depth direction of the groove of the wiring board metal plate material, and thereby the printed wiring board resin base material and the printed wiring board metal plate material It becomes possible to more reliably maintain high durability and reliability of bonding.

また、微粒子のプリント配線板用金属板材全面に対する付着占有面積比率を、そのプリント配線板用金属板材の全面積の60%以上〜95%以下とすることにより、溝付近における微粒子の存在に因って妨げられることなく、さらに確実に、プリント配線板用金属板材の溝の深さ方向にプリント配線板用樹脂基材を立体的に食い込ませるようにすることができると共に、プリント配線板用金属板材の表面全体におけるプリント配線板用樹脂基材の接合力を増強することができ、これによりプリント配線板用樹脂基材とプリント配線板用金属板材との接合についての高い耐久性や信頼性をさらに確実に維持することが可能となる。   In addition, the ratio of the area occupied by adhesion of fine particles to the entire surface of the metal sheet for printed wiring boards is set to 60% to 95% of the total area of the metal sheet for printed wiring boards. The printed wiring board resin base material can be bite in three dimensions in the depth direction of the groove of the printed wiring board metal plate material without being obstructed, and the printed wiring board metal plate material The bonding force of the printed wiring board resin base material on the entire surface of the printed wiring board can be enhanced, thereby further enhancing the durability and reliability of the bonding between the printed wiring board resin base material and the printed wiring board metal plate material. It becomes possible to maintain it reliably.

また、プリント配線板用金属板材に第1の粗面化処理および第2の粗面化処理を施した後、さらにNiめっき、Znめっき、クロメート処理、シランカップリング処理のうちのいずれか1つまたは2つ以上を組み合わせた処理を施すことにより、プリント配線板用樹脂基材とプリント配線板用金属板材との接合についてのさらなる高い耐久性や信頼性を、確実に維持することが可能となる。   Moreover, after performing the 1st surface roughening process and the 2nd surface roughening process to the metal plate material for printed wiring boards, it is any one of Ni plating, Zn plating, chromate processing, and silane coupling processing. Or it becomes possible to maintain reliably further high durability and reliability about joining of the resin base material for printed wiring boards, and the metal plate material for printed wiring boards by performing the process which combined two or more. .

以下、本実施の形態に係るプリント配線板用金属板材およびその製造方法について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施の形態に係るプリント配線板用金属板材の積層構造を示す図、図2は、その主要な製造工程を示す図、図3は、本発明の一実施の形態に係るプリント配線板用金属板材の作用における比較例として、プリント配線板用金属板の表面に溝が形成されておらず平坦な場合の表面構造(a)および溝が微粒子で埋まった状態の場合の表面構造(b)を模式的に示す図である。
Hereinafter, the metal plate material for printed wiring boards and the manufacturing method thereof according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a laminated structure of a metal plate material for a printed wiring board according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing its main manufacturing process, and FIG. 3 is an embodiment of the present invention. As a comparative example in the operation of the metal plate material for a printed wiring board according to the present invention, the surface structure (a) when the groove is not formed on the surface of the metal plate for the printed wiring board and the groove is filled with fine particles It is a figure which shows typically the surface structure (b).

本実施の形態に係るプリント配線板用金属板材1は、図1に示したように、プリント配線板用樹脂基材2の表面に、ホットプレス法などの熱圧着プロセスによって、強固に接合されている。
プリント配線板用金属板材1a(配線パターン層とも呼ぶ)は、第1の粗面化処理および第2の粗面化処理を施された後、プリント配線板用樹脂基材2の配線形成側の表面に接合され、さらにフォトエッチング法などによってパターニング加工されて、配線パターン層となっている。
プリント配線板用金属板材1b(ヒートシンク層とも呼ぶ)は、第1の粗面化処理および第2の粗面化処理を施された後、プリント配線板用樹脂基材2の配線形成側とは反対側の(裏面側の)表面に接合されて、ヒートシンク層となっている。
As shown in FIG. 1, the printed wiring board metal plate 1 according to the present embodiment is firmly bonded to the surface of the printed wiring board resin substrate 2 by a thermocompression bonding process such as a hot press method. Yes.
The printed wiring board metal plate 1a (also referred to as a wiring pattern layer) is subjected to the first roughening treatment and the second roughening treatment, and then the printed wiring board resin substrate 2 on the wiring formation side. Bonded to the surface and further patterned by a photoetching method or the like to form a wiring pattern layer.
The printed wiring board metal plate 1b (also referred to as a heat sink layer) is subjected to the first roughening treatment and the second roughening treatment, and then the wiring forming side of the printed wiring board resin substrate 2 is defined as A heat sink layer is formed by bonding to the opposite surface (back surface side).

プリント配線板用金属板材1aの金属材料としては、例えば自動車用プリント配線板の配線パターン層として要求される、限られたスペース内で(すなわち限られた配線幅で)比較的大電流を安定的に流すことが可能な電流容量を確保するために、100μm以上の厚さのプリント配線板用銅系板材が好適に用いられる。
プリント配線板用金属板材1bの金属材料としては、ヒートシンク層として要求される放熱特性を確保するために、プリント配線板用金属板材1aの金属材料と同様に100μm以上の厚さのプリント配線板用銅系板材が好適に用いられる。
As a metal material of the metal plate material 1a for a printed wiring board, for example, a relatively large current is stable in a limited space (that is, with a limited wiring width) required as a wiring pattern layer of an automotive printed wiring board. In order to secure a current capacity that can be passed through, a copper-based board material for a printed wiring board having a thickness of 100 μm or more is preferably used.
The metal material for the printed wiring board metal plate 1b is for a printed wiring board having a thickness of 100 μm or more in the same manner as the metal material for the printed wiring board metal plate 1a in order to ensure the heat dissipation characteristics required for the heat sink layer. A copper-based plate material is preferably used.

これらプリント配線板用金属板材1における、プリント配線板用樹脂基材2に対して張り合わされる表面には、第1の粗面化処理として、図2(b)に模式的に示したように、その表面の十点平均表面粗さRzが1.0μm以上〜10μm以下となるような溝3が形成されている。これは、換言すれば、プリント配線板用金属板材1の表面における十点平均表面粗さRzを1.0μm以上〜10μm以下とするような深さおよび密度に設定された多数の溝3が、そのプリント配線板用金属板材1の表面に設けられている、ということである。   As shown schematically in FIG. 2 (b), the first roughening treatment is performed on the surface of the metal plate material 1 for printed wiring board which is bonded to the resin base material 2 for printed wiring board. The groove 3 is formed such that the ten-point average surface roughness Rz of the surface is 1.0 μm or more and 10 μm or less. In other words, a large number of grooves 3 set to such a depth and density that the ten-point average surface roughness Rz on the surface of the printed wiring board metal plate 1 is 1.0 μm or more to 10 μm or less, That is, it is provided on the surface of the printed wiring board metal plate 1.

さらに、プリント配線板用金属板材1における、プリント配線板用樹脂基材2に対して張り合わされる表面には、第2の粗面化処理として、図2(c)に模式的に示したように、粒径0.2μm以上〜4.0μm以下の微粒子4が付着されている。この微粒子4は、Cu(銅)、Ni(ニッケル)、Zn(亜鉛)、Co(コバルト)、Fe(鉄)、Mo(モリブデン)、W(タングステン)のうちの、いずれか1または2以上の金属元素を組み合わせた材料からなるものである。この微粒子4の粒径は、プリント配線板用金属板材1の表面のRzの値に対して、5%以上〜50%以下の大きさに設定されている。この微粒子4の分布密度は、プリント配線板用金属板材1の全面積の60%以上〜95%以下となるように調節されており、かつ、特に溝3の内部におけるこの微粒子4の付着面積が溝3内の面積の3%以上〜60%以下となるように調節されている。ここで、溝3内の面積とは、その溝3の側面3aおよび底面3bを含む全表面積を言う。   Further, the surface of the printed wiring board metal plate 1 bonded to the printed wiring board resin substrate 2 is schematically shown in FIG. 2C as a second roughening treatment. In addition, fine particles 4 having a particle size of 0.2 μm to 4.0 μm are attached. The fine particles 4 may be one or more of Cu (copper), Ni (nickel), Zn (zinc), Co (cobalt), Fe (iron), Mo (molybdenum), and W (tungsten). It consists of a material that combines metal elements. The particle size of the fine particles 4 is set to a value of 5% to 50% with respect to the Rz value on the surface of the metal plate material 1 for printed wiring board. The distribution density of the fine particles 4 is adjusted to be not less than 60% and not more than 95% of the total area of the metal plate material 1 for a printed wiring board, and in particular, the adhesion area of the fine particles 4 in the groove 3 is It is adjusted to be 3% to 60% of the area in the groove 3. Here, the area in the groove 3 refers to the total surface area including the side surface 3 a and the bottom surface 3 b of the groove 3.

プリント配線板用樹脂基材2は、例えばFR4(Flame Retardant Type4)のようなガラス繊維とエポキシ樹脂の複合材料からなる難燃性の樹脂材料であ
る。このプリント配線板用樹脂基材2の表面に、第1の粗面化処理および第2の粗面化処理を施してなるプリント配線板用金属板材1が、ホットプレス法などによって熱圧着されて、両者が強固に接合される。
The printed wiring board resin substrate 2 is a flame-retardant resin material made of a composite material of glass fiber and epoxy resin such as FR4 (Frame Regentant Type 4). The printed wiring board metal plate 1 obtained by subjecting the surface of the printed wiring board resin substrate 2 to the first roughening treatment and the second roughening treatment is hot-pressed by a hot press method or the like. Both are firmly joined.

上記のプリント配線板用金属板材1の製造工程における、特に第1の粗面化処理工程および第2の粗面化処理工程は、図2に示したような流れで行われる。
まず、図2(a)に示したような未処理の状態の銅系板材1cを用意する。この銅系板材1cの表面に、図2(b)に示したように、溝3を形成する。この溝3は、この溝3を形成してなるプリント配線板用金属板材1の表面のRz(十点平均表面粗さ)が1.0μm以上〜10μm以下となるように、深さおよび密度(プリント配線板用金属板材1の表面における単位面積当たりの本数または面積比率)を設定されて、ショットブラスト法、電気粗めっき法、エッチング法、あるいは機械的ラビング法などによって形成される。
In particular, the first roughening treatment step and the second roughening treatment step in the manufacturing process of the printed wiring board metal sheet 1 are performed according to the flow shown in FIG.
First, an untreated copper-based plate 1c as shown in FIG. 2 (a) is prepared. Grooves 3 are formed on the surface of the copper-based plate 1c as shown in FIG. The groove 3 has a depth and density (Rz (ten-point average surface roughness) of the surface of the printed wiring board metal plate 1 formed by forming the groove 3 so as to be 1.0 μm or more and 10 μm or less. The number or area ratio per unit area on the surface of the metal plate material 1 for printed wiring boards is set, and is formed by a shot blast method, an electro rough plating method, an etching method, a mechanical rubbing method, or the like.

第1の粗面化処理で上記のようにプリント配線板用金属板材1の表面粗さRzが1.0μm以上〜10μm以下となるように溝3を形成するのは、その溝3の深さ方向にプリント配線板用樹脂基材2の樹脂を立体的に食い込ませることによって、プリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2との間での強固な接合力を確保することを目的としている。この目的と照合すると、Rzが1.0μm未満の場合には、溝3の深さが浅いため、十分な接合力を確保することができない。このため、Rzは1.0μm以上であることが望ましい。
また逆に、Rzが10μm超の場合には、溝3が余りにも深くなり過ぎてしまう傾向にある。このため、溝3の深さ方向に完全にはプリント配線板用樹脂基材2の樹脂が入り込むことが困難となり、その溝3の底部付近にいわゆるボイド(樹脂が完全には充填できなかった空隙)が生じる。そうすると、そのボイドに残された空気や水蒸気が、加熱時に膨張して甚だしくは配線板を破損させたり、徐々に表面方向へと滲み出してきて配線パターン層の銅を腐食させたりする虞が高くなる。このため、Rzは10μm以下であることが望ましい。
In the first roughening treatment, the groove 3 is formed so that the surface roughness Rz of the printed wiring board metal plate 1 is 1.0 μm to 10 μm as described above. Secure a strong bonding force between the printed wiring board metal plate 1 and the printed wiring board resin substrate 2 by three-dimensionally biting the resin of the printed wiring board resin substrate 2 in the direction. It is an object. In comparison with this purpose, when Rz is less than 1.0 μm, the depth of the groove 3 is shallow, so that a sufficient bonding force cannot be ensured. For this reason, Rz is desirably 1.0 μm or more.
Conversely, when Rz exceeds 10 μm, the groove 3 tends to be too deep. For this reason, it becomes difficult for the resin of the resin substrate 2 for printed wiring boards to enter completely in the depth direction of the groove 3, and so-called voids (voids in which the resin cannot be completely filled) are formed near the bottom of the groove 3. ) Occurs. As a result, the air or water vapor left in the voids expands during heating and damages the wiring board or gradually oozes out toward the surface and corrodes the copper in the wiring pattern layer. Become. For this reason, Rz is desirably 10 μm or less.

上記のようにしてプリント配線板用金属板材1における、第1の粗面化処理を施した表面に、図2(c)に示したように、第2の粗面化処理として、粒径0.2μm以上〜4.0μm以下の微粒子4を、プリント配線板用金属板材1の全面積に対して60%以上〜95%以下の面内分布密度となり、かつ溝3の内部におけるこの微粒子4の付着面積が溝3内の面積の3%以上〜60%以下となるように、例えば電気めっき法等により、微粒子4を付着させる。この微粒子4を、第1の粗面化処理が施されたプリント配線板用金属板材1の表面に付着させるのは、この微粒子4の付着によってプリント配線板用金属板材1の表面に形成される微小な凹凸によってプリント配線板用樹脂基材2との接合面積をさらに増大させることを、目的としている。このように接合面積を増大させることで、上記の溝3による接合力の増強作用と相まって、プリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2との極めて強固な接合を実現することが可能となるのである。   As shown in FIG. 2 (c), the surface of the metal plate material for printed wiring board 1 subjected to the first roughening treatment as described above has a particle size of 0 as the second roughening treatment. The fine particles 4 of 2 μm or more and 4.0 μm or less have an in-plane distribution density of 60% or more and 95% or less with respect to the total area of the metal plate material 1 for a printed wiring board, and The fine particles 4 are adhered by, for example, an electroplating method so that the adhesion area is 3% to 60% of the area in the groove 3. The fine particles 4 are attached to the surface of the printed wiring board metal plate 1 that has been subjected to the first roughening treatment, because the fine particles 4 adhere to the surface of the printed wiring board metal plate 1. The object is to further increase the bonding area with the resin substrate 2 for printed wiring boards by minute irregularities. By increasing the bonding area in this way, it is possible to realize extremely strong bonding between the printed wiring board metal plate 1 and the printed wiring board resin substrate 2 in combination with the above-described enhancement of the bonding force by the grooves 3. Is possible.

このような電気めっき法によりプリント配線板用金属板材1の表面に付着させる微粒子4としては、Cu、Ni、Zn、Co、Fe、Mo、Wのうちのいずれか1または2以上の金属元素を組み合わせた材料からなるものが望ましい。但しこれらのみには限定されないことは言うまでもない。   As the fine particles 4 adhered to the surface of the printed wiring board metal plate material 1 by such an electroplating method, any one or more metal elements of Cu, Ni, Zn, Co, Fe, Mo, and W are used. Those made of combined materials are desirable. However, it goes without saying that the present invention is not limited to these.

ここで、図3(a)に模式的に示したように、仮にプリント配線板用金属板材1の表面に溝3が形成されていなかった場合(第1の粗面化処理が施されていなかった場合)について考えると、微粒子4はプリント配線板用金属板材1の平滑な表面上にほぼ均一に付着することとなるが、溝3が形成されていないので、その深さ方向への立体的な樹脂の食い込みが全くないため、本実施の形態に係るプリント配線板用金属板材1と比較すると、そ
の接合力は極めて小さなものとなってしまう。
他方、本実施の形態に係るプリント配線板用金属板材1のように溝3を形成した場合には、その溝3によって接合力が飛躍的に増大することは既述の通りであるが、しかしその反面、図3(b)に模式的に示したように、溝3の淵(エッジ)の部分に微粒子4の付着が集中する傾向にある。これは、微粒子4をプリント配線板用金属板材1の表面に付着させる際に、溝3の淵のエッジ部分に、いわゆるエッジ効果によって電界が集中し、その部分に集中的に微粒子4が付着するためである。このように溝3の淵の部分に微粒子4が集中して付着すると、その溝3の淵すなわち入り口の部分が微粒子4に因って塞がれてしまい、プリント配線板用樹脂基材2の樹脂が溝3の深さ方向へと食い込むことが困難になる虞がある。
Here, as schematically shown in FIG. 3A, if the groove 3 is not formed on the surface of the printed wiring board metal plate 1 (the first roughening treatment has not been performed). In this case, the fine particles 4 adhere almost uniformly on the smooth surface of the metal plate 1 for printed wiring board. However, since the groove 3 is not formed, the three-dimensional structure in the depth direction is provided. Since there is no encroachment of the resin, the bonding force is extremely small as compared with the printed wiring board metal plate 1 according to the present embodiment.
On the other hand, when the groove 3 is formed like the metal plate material 1 for a printed wiring board according to the present embodiment, the bonding force is dramatically increased by the groove 3 as described above. On the other hand, as shown schematically in FIG. 3B, the adhesion of the fine particles 4 tends to concentrate on the ridges (edges) of the grooves 3. This is because when the fine particles 4 are attached to the surface of the metal plate material 1 for a printed wiring board, the electric field is concentrated on the edge portion of the groove 3 by the so-called edge effect, and the fine particles 4 are concentrated on that portion. Because. If the fine particles 4 concentrate and adhere to the ridges of the grooves 3 in this way, the ridges, that is, the entrance portions of the grooves 3 are blocked by the fine particles 4, and the resin substrate 2 for printed wiring board 2 It may be difficult for the resin to bite in the depth direction of the groove 3.

このような観点から、微粒子4の粒径は、最大4.0μm以下であることが望ましい。但し、逆に粒径が余りにも小さいと、その微粒子4自体のプリント配線板用金属板材1の表面への付着力が不足して脱落しやすくなってしまう。このため、微粒子の粒径は、最小0.2μm以上であることが望ましい。
また、上記と同様の観点から、微粒子4の粒径は、プリント配線板用金属板材1の表面のRzの値に対して、5%以上〜50%以下の大きさに設定することが望ましい。すなわち、微粒子4の粒径がRz(すなわち概ね溝3の深さの平均値)の50%超であると、微粒子4が溝3内を塞いでしまう虞が高くなり、かつ粒径がRzの5%未満であると、その、微粒子4がプリント配線板用金属板材1の表面から脱落する虞が高くなるからである。
また、上記と同様の観点から、溝3の内部における微粒子4の付着面積を、溝3内の面積の3%以上〜60%以下とすることが望ましい。
また、プリント配線板用金属板材1の表面全体における微粒子4の面内分布密度を、プリント配線板用金属板材1の全面積のとすることが望ましい。これは、プリント配線板用金属板材1の表面全体における微粒子4の面内分布密度が60%未満であると、プリント配線板用樹脂基材2との接合面積の増大効果が十分には得られなくなる虞が高くなり、95%超であると上記のように微粒子4が溝3内を塞いでしまう虞が高くなるからである。
From such a viewpoint, the particle size of the fine particles 4 is desirably 4.0 μm or less at the maximum. However, if the particle diameter is too small, the adhesion force of the fine particles 4 itself to the surface of the printed wiring board metal plate 1 is insufficient and the particles 4 are likely to fall off. For this reason, the particle diameter of the fine particles is desirably at least 0.2 μm.
Further, from the same viewpoint as described above, the particle diameter of the fine particles 4 is desirably set to a value of 5% to 50% with respect to the Rz value of the surface of the metal plate material 1 for printed wiring board. That is, when the particle size of the fine particles 4 is more than 50% of Rz (that is, approximately the average value of the depth of the groove 3), there is a high possibility that the fine particles 4 block the inside of the groove 3, and the particle size is Rz. This is because if it is less than 5%, there is a high possibility that the fine particles 4 will drop off from the surface of the printed wiring board metal plate 1.
From the same viewpoint as described above, it is desirable that the adhesion area of the fine particles 4 in the groove 3 is 3% to 60% of the area in the groove 3.
Moreover, it is desirable that the in-plane distribution density of the fine particles 4 on the entire surface of the printed wiring board metal plate 1 is the total area of the printed wiring board metal plate 1. When the in-plane distribution density of the fine particles 4 on the entire surface of the printed wiring board metal plate 1 is less than 60%, the effect of increasing the bonding area with the printed wiring board resin substrate 2 is sufficiently obtained. This is because there is a high possibility that it will disappear, and if it exceeds 95%, there is a high possibility that the fine particles 4 will block the groove 3 as described above.

このような本実施の形態に係るプリント配線板用金属板材およびその製造方法によれば、最大厚さ100μm以上のプリント配線板用金属板材1における、プリント配線板用樹脂基材2に対して張り合わされる表面に、第1の粗面化処理として、そのプリント配線板用金属板材1の表面の十点平均表面粗さRzが1.0μm以上〜10μm以下となるように溝3を形成し、かつ第2の粗面化処理として、粒径0.2μm以上〜4.0μm以下の微粒子4を付着させるようにしたので、プリント配線板用樹脂基材2がプリント配線板用金属板材1の溝3の深さ方向に立体的に食い込むと共に、微粒子4の付着によるプリント配線板用金属板材1の表面の凹凸にもプリント配線板用樹脂基材2の樹脂が食い込んでその接合面積が大きくなり、プリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2とが極めて強力に接合されることとなる。その結果、プリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2との接合についての高い耐久性や信頼性を維持することが可能となる。   According to such a metal plate material for a printed wiring board and a manufacturing method thereof according to the present embodiment, the printed wiring board metal plate material 1 having a maximum thickness of 100 μm or more is bonded to the resin substrate 2 for the printed wiring board. The groove 3 is formed on the surface to be the first roughening treatment so that the ten-point average surface roughness Rz of the surface of the printed wiring board metal sheet 1 is 1.0 μm or more and 10 μm or less, In addition, since the fine particles 4 having a particle size of 0.2 μm to 4.0 μm are attached as the second roughening treatment, the printed wiring board resin substrate 2 is formed in the groove of the printed wiring board metal plate material 1. 3 in the depth direction, and the resin of the printed wiring board resin base material 2 bites into the unevenness of the surface of the printed wiring board metal plate 1 due to the adhesion of the fine particles 4 to increase the bonding area. Print The metal board material 1 for wiring boards and the resin base material 2 for printed wiring boards are joined extremely strongly. As a result, it is possible to maintain high durability and reliability for joining the printed wiring board metal plate 1 and the printed wiring board resin substrate 2.

また、上記の微粒子4を、Cu、Ni、Zn、Co、Fe、Mo、Wのうちのいずれか1または2以上の金属元素を組み合わせた材料からなるものとすることにより、プリント配線板用金属板材1の表面に対して付着可能な微粒子4を簡易な電気めっきプロセスによって付着させることができ、これによりプリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2との接合についての高い耐久性や信頼性を確実に維持することが可能となる。   In addition, the fine particles 4 are made of a material in which any one or two or more metal elements of Cu, Ni, Zn, Co, Fe, Mo, and W are combined. The fine particles 4 that can adhere to the surface of the plate material 1 can be attached by a simple electroplating process, and thereby high durability for joining the metal plate material 1 for a printed wiring board and the resin base material 2 for the printed wiring board. Reliability and reliability can be reliably maintained.

また、微粒子4の粒径を、プリント配線板用金属板材1の表面のRzの値に対して5%以上〜50%以下の大きさとすることにより、溝3付近における微粒子4の存在に因って妨げられることなく、さらに確実にプリント配線板用金属板材1の溝の深さ方向にプリン
ト配線板用樹脂基材2の樹脂を立体的に食い込ませるようにすることができ、これによりプリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2との接合についての高い耐久性や信頼性を確実に維持することが可能となる。
In addition, by setting the particle size of the fine particles 4 to be not less than 5% and not more than 50% with respect to the value of Rz on the surface of the metal plate material 1 for a printed wiring board, the presence of the fine particles 4 in the vicinity of the grooves 3 The resin of the printed wiring board resin base material 2 can be bite in three-dimensionally in the depth direction of the groove of the printed wiring board metal plate 1 without being obstructed. It becomes possible to reliably maintain high durability and reliability for joining the metal plate material 1 for a plate and the resin base material 2 for a printed wiring board.

また、溝3における微粒子4の付着する面積を、その溝3の面積の3%以上〜60%以下とすることにより、溝3内における微粒子4の存在に因って妨げられることなくさらに確実にプリント配線板用金属板材1の溝3の深さ方向にプリント配線板用樹脂基材2の樹脂を立体的に食い込ませるようにすることができ、これによりプリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2との接合についての高い耐久性や信頼性を確実に維持することが可能となる。   Further, by setting the area of the groove 3 to which the fine particles 4 adhere to be not less than 3% to not more than 60% of the area of the groove 3, it is further ensured without being hindered by the presence of the fine particles 4 in the groove 3. The resin of the printed wiring board resin base material 2 can be bite in three dimensions in the depth direction of the groove 3 of the printed wiring board metal plate material 1, whereby the printed wiring board metal plate material 1 and the printed wiring It is possible to reliably maintain high durability and reliability for bonding with the resin base material 2 for plates.

また、プリント配線板用金属板材1の表面全体における微粒子4の面内分布密度を、プリント配線板用金属板材1の全面積の60%以上〜95%以下とすることにより、プリント配線板用樹脂基材2との接合面積を効果的に増大することができると共に、溝3内における微粒子4の存在に因って妨げられることなくさらに確実にプリント配線板用金属板材1の溝3の深さ方向にプリント配線板用樹脂基材2の樹脂を立体的に食い込ませるようにすることができ、これによりプリント配線板用金属板材1とプリント配線板用樹脂基材2との接合についての高い耐久性や信頼性を確実に維持することが可能となる。   Further, by setting the in-plane distribution density of the fine particles 4 on the entire surface of the printed wiring board metal plate 1 to 60% to 95% of the total area of the printed wiring board metal plate 1, a printed wiring board resin is obtained. The joint area with the base material 2 can be effectively increased, and the depth of the groove 3 of the metal plate 1 for printed wiring board is more surely prevented without being hindered by the presence of the fine particles 4 in the groove 3. The resin of the printed wiring board resin base material 2 can be three-dimensionally bited in the direction, and thereby high durability for joining the printed wiring board metal plate material 1 and the printed wiring board resin base material 2 Reliability and reliability can be reliably maintained.

上記の実施の形態で説明したようなプリント配線板用金属板材1を製造し、それをプリント配線板用樹脂基材2の表裏ににホットプレス法により接合させて、各実施例のプリント配線板を作製した。また、比較例として、上記の実施の形態で説明した設定とは敢えて異なる設定としたプリント配線板用金属板材を製造し、それを用いて各比較例のプリント配線板を作製した。そして、それら各実施例および各比較例のプリント配線板の引き剥がし強度およびPCT(Pressure Cooker Test)24時間放置後の接合強度保持率を確認した。
図4は、各実施例および各比較例のプリント配線板の引き剥がし強度の計測方法について模式的に示す図であり、図5は、各実施例および各比較例のプリント配線板用金属板材に関する各種設定と、それを用いて作製された各プリント配線板の引き剥がし強度およびPCT後の接合強度保持率とを、纏めて示す図である。ここで、図5および以下の説明では、引き剥がし強度の単位は、[N/mm]で表すものとし、接合強度保持率の単位は、PCT前の接合強度に対するPCT後の接合強度の割合を[%]で表すものとした。
The printed wiring board metal plate material 1 as described in the above embodiment is manufactured, and bonded to the front and back of the printed wiring board resin base material 2 by a hot press method. Was made. Further, as a comparative example, a printed wiring board metal plate material having a setting different from the setting described in the above embodiment was manufactured, and a printed wiring board of each comparative example was manufactured using the metal sheet material. And the peeling strength of the printed wiring board of each of these Examples and each comparative example and the bonding strength retention after 24 hours of PCT (Pressure Cooker Test) were confirmed.
FIG. 4 is a diagram schematically illustrating a method for measuring the peel strength of the printed wiring board of each example and each comparative example, and FIG. 5 relates to the metal plate material for the printed wiring board of each example and each comparative example. It is a figure which shows collectively the peeling strength of each setting printed wiring board produced using it, and the joint strength retention after PCT. Here, in FIG. 5 and the following description, the unit of peel strength is represented by [N / mm], and the unit of bond strength retention is the ratio of the bond strength after PCT to the bond strength before PCT. It was expressed as [%].

プリント配線板用金属板材1の銅板基材である銅系板材1cとしては、20cm×10cm×0.28mmの無酸素銅板を用いた。その表面を脱脂した後、12wt%の硫酸に30秒間浸潤させて表面の酸化膜を除去した。   As a copper-type board | plate material 1c which is a copper plate base material of the metal board | plate material 1 for printed wiring boards, the oxygen-free copper plate of 20 cm x 10 cm x 0.28 mm was used. The surface was degreased and then immersed in 12 wt% sulfuric acid for 30 seconds to remove the oxide film on the surface.

そして第1の粗面化処理として、過酸化水素系エッチング液を用いてウェットエッチング法により、銅系板材1cの表面に溝3を形成し、その表面全体の表面粗さRzが0.8μm以上〜12μm以下の範囲内に収まる数値となるようにした。
より詳細には、各実施例については、実施例1、2、4がRz=4.5μm、実施例3がRz=6.5μmとなり、比較例1、3、4がRz=4.5μm、比較例5がRz=0.8μm、比較例6がRz=12μmとなるように、それぞれ溝3を形成した。比較例2については、この溝3は形成しない(すなわち第1の粗面化処理は敢えて施さない)ものとした。
Then, as the first roughening treatment, the grooves 3 are formed on the surface of the copper-based plate 1c by a wet etching method using a hydrogen peroxide-based etchant, and the surface roughness Rz of the entire surface is 0.8 μm or more. It was made to become a numerical value falling within a range of ˜12 μm or less.
More specifically, for each example, Examples 1, 2, and 4 have Rz = 4.5 μm, Example 3 has Rz = 6.5 μm, and Comparative Examples 1, 3, and 4 have Rz = 4.5 μm. The grooves 3 were formed so that Comparative Example 5 had Rz = 0.8 μm and Comparative Example 6 had Rz = 12 μm. In Comparative Example 2, the groove 3 was not formed (that is, the first roughening treatment was not performed).

続いて、第2の粗面化処理として、添加剤を加えた140g/Lの硫酸銅水溶液を用いて液温を40℃に保ちながら電流密度20A/dm〜50A/dmで電気粗化めっきを行って、粒径0.2μm以上〜4.0μm以下の微粒子4を銅系板材1cの表面に付着
させた。
より詳細には、各実施例については、微粒子4の平均粒径は、実施例1、3では1.2μm、実施例2、4では2.3μmとした。また、電気銅めっきの電流密度および処理時間は、実施例1、3では30A/dmで9秒(図5では電気銅めっきBと表記)とし、実施例2、4では50A/dmで9秒(図5では電気銅めっきCと表記)とした。これらの電気銅めっきのプロセス条件の設定によれば、各実施例で付着される微粒子4は、プリント配線板用金属板材1の全面積に対して60%以上〜95%以下の面内分布密度となり、かつ溝3の内部における粒子4の付着密度が溝3内の全面積に亘って3%以上〜60%以下となった。
Subsequently, as a second roughening treatment, electric roughening was performed at a current density of 20 A / dm 2 to 50 A / dm 2 while keeping the liquid temperature at 40 ° C. using an aqueous solution of 140 g / L copper sulfate to which additives were added. Plating was performed to attach fine particles 4 having a particle size of 0.2 μm to 4.0 μm to the surface of the copper-based plate 1c.
More specifically, for each example, the average particle size of the fine particles 4 was 1.2 μm in Examples 1 and 3, and 2.3 μm in Examples 2 and 4. In addition, the current density and the processing time of the electrolytic copper plating are 9 seconds (indicated as electrolytic copper plating B in FIG. 5) at 30 A / dm 2 in Examples 1 and 3, and 50 A / dm 2 in Examples 2 and 4. 9 seconds (indicated as electrolytic copper plating C in FIG. 5). According to the setting of these electrolytic copper plating process conditions, the fine particles 4 adhered in each example have an in-plane distribution density of 60% to 95% with respect to the total area of the metal plate material 1 for a printed wiring board. In addition, the adhesion density of the particles 4 inside the groove 3 was 3% or more and 60% or less over the entire area in the groove 3.

また、特に実施例4では、実施例2と同様の仕様で第1および第2の粗面化処理を施してなるプリント配線板用金属板材1の表面に、さらにNi−Co合金めっきおよびシランカップリング処理を施した。Ni−Co合金めっきは、めっき液として150g/LのNiSOおよび40g/LのCoSOを用いて、電流密度1.5A/dmで10秒間行った。その後、一般的な浸潤法によるシランカップリング剤処理を行った。 Particularly in Example 4, Ni—Co alloy plating and silane cups were further formed on the surface of the printed wiring board metal plate 1 subjected to the first and second roughening treatments with the same specifications as in Example 2. Ring treatment was applied. Ni—Co alloy plating was performed for 10 seconds at a current density of 1.5 A / dm 2 using 150 g / L NiSO 4 and 40 g / L CoSO 4 as plating solutions. Then, the silane coupling agent process by the general infiltration method was performed.

他方、各比較例については、微粒子4の平均粒径は、比較例2、5、6では1.2μm、比較例3では0.1μm、比較例4では4.1μmとした。また、電気銅めっきの電流密度および処理時間は、比較例2、5、6では30A/dmで9秒(図5では電気銅めっきBと表記)とし、比較例3では20A/dmで4秒(図5では電気銅めっきAと表記)とし、比較例4では50A/dmで15秒(図5では電気銅めっきDと表記)とした。比較例1については、微粒子4は付着させない(すなわち第2の粗面化処理は敢えて施さない)ものとした。これらの電気銅めっきのプロセス条件の設定によれば、比較例2、5、6の場合には、微粒子4の付着状態は、各実施例と同様に上記の実施の形態で説明したような各数値範囲を満たすものとなった。比較例3の場合には、電流密度および処理時間が不足して微粒子4の分布密度が不十分なものとなり、比較例4の場合には、電流密度および処理時間が過剰となり微粒子4の分布密度が過多となった。比較例1の場合には、既述したように、微粒子4は全く付着させていない。 On the other hand, for each comparative example, the average particle size of the fine particles 4 was 1.2 μm in Comparative Examples 2, 5, and 6, 0.1 μm in Comparative Example 3, and 4.1 μm in Comparative Example 4. In addition, the current density and the processing time of the electrolytic copper plating were set to 9 seconds (indicated as electrolytic copper plating B in FIG. 5) at 30 A / dm 2 in Comparative Examples 2, 5, and 6, and 20 A / dm 2 in Comparative Example 3. It was 4 seconds (indicated as electrolytic copper plating A in FIG. 5), and in comparative example 4, it was 15 seconds at 50 A / dm 2 (indicated as electrolytic copper plating D in FIG. 5). In Comparative Example 1, the fine particles 4 were not attached (that is, the second roughening treatment was not performed). According to the setting of the process conditions for these electrolytic copper plating, in the case of Comparative Examples 2, 5, and 6, the adhesion state of the fine particles 4 is the same as that described in the above embodiment as in each Example. The numerical range was satisfied. In the case of Comparative Example 3, the current density and the processing time are insufficient, and the distribution density of the fine particles 4 is insufficient. In the case of Comparative Example 4, the current density and the processing time are excessive, and the distribution density of the fine particles 4 is insufficient. Became excessive. In the case of Comparative Example 1, as described above, the fine particles 4 are not attached at all.

ここで、上記の微粒子4の粒径の計測は、SEM(走査型電子顕微鏡)観察によって行った。具体的には、溝3付近の微粒子4を20個選び出して、その面積を検出し、それと等価な面積を有する真円の直径をそれぞれ算出し、それら20個の円の直径の平均値を、平均粒径とした。   Here, the particle size of the fine particles 4 was measured by SEM (scanning electron microscope) observation. Specifically, 20 fine particles 4 in the vicinity of the groove 3 are selected, the area is detected, the diameter of a perfect circle having an equivalent area is calculated, and the average value of the diameters of the 20 circles is calculated. The average particle size was taken.

このようにして製造された各実施例および各比較例のプリント配線板用金属板材1を、プリント配線板用樹脂基材2として日立化成(社名)製のGEA67−N(製品名)を用いてその表面にホットプレス法により接合させ、各実施例および各比較例のプリント配線板を作製した。そして、それら各実施例および各比較例のプリント配線板の引き剥がし強度およびPCT24時間放置後の接合強度保持率を確認する実験(計測)を行った。   The metal plate material 1 for printed wiring board of each Example and each comparative example manufactured in this way was used as a resin substrate 2 for printed wiring board using GEA67-N (product name) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. The surface was joined by the hot press method, and the printed wiring board of each Example and each comparative example was produced. Then, an experiment (measurement) was performed to confirm the peel strength of the printed wiring boards of each of the examples and the comparative examples and the bonding strength retention after leaving the PCT for 24 hours.

引き剥がし強度の計測は、図4に模式的に示したような、T−ピール法(IPC−TM−650参照)により行った。すなわち、基材のプリント配線板用樹脂基材2の表裏両面にプリント配線板用金属板材1をホットプレス法によって接合させた後、表裏のプリント配線板用金属板材1を上下に各々引き剥がして、その引き剥がしに掛かる力を計測した。これによって計測された引き剥がし強度を通常の状態での接合強度とした。そして、PCT24時間放置後の各プリント配線板にも同様の引き剥がし強度計測を行い、それによって計測された接合強度の、通常の接合強度に対する割合を%で表記したものを、接合強度保持率とした。PCTは、温度121℃、湿度97%、圧力196kPaに設定して24時間行った。
目標値(合格基準値)としては、引き剥がし強度5.0N/mm以上、接合強度保持率
70%以上とした。
The peel strength was measured by the T-peel method (see IPC-TM-650) as schematically shown in FIG. That is, after the printed wiring board metal plate 1 is bonded to both the front and back surfaces of the printed wiring board resin substrate 2 by the hot press method, the printed wiring board metal plate 1 on the front and back is peeled up and down respectively. The force applied to the peeling was measured. The peel strength measured in this way was defined as the bonding strength in a normal state. Then, the same peeling strength measurement is performed on each printed wiring board after being left for 24 hours as PCT, and the ratio of the bonding strength measured thereby to the normal bonding strength is expressed in% as the bonding strength retention rate. did. PCT was performed for 24 hours at a temperature of 121 ° C., a humidity of 97%, and a pressure of 196 kPa.
As target values (acceptance standard values), the peel strength was 5.0 N / mm or more and the bonding strength retention was 70% or more.

その結果は、図5に示したようなものとなった。
すなわち、各実施例のプリント配線板用金属板材1は、そのいずれも、目標である引き剥がし強度5.0N/mm以上および接合強度保持率70%以上の、両方を満たすことが確認された。
他方、比較例の場合には、そのいずれもが、目標の引き剥がし強度5.0N/mm以上および接合強度保持率70%以上のうちのいずれか一方または両方を満たすことができないことが確認された。
The result was as shown in FIG.
That is, it was confirmed that each of the metal sheet materials 1 for printed wiring boards of each Example satisfies both the target peel strength of 5.0 N / mm or more and the bonding strength retention of 70% or more.
On the other hand, in the case of the comparative example, it is confirmed that none of them can satisfy one or both of the target peel strength of 5.0 N / mm or more and the bonding strength retention of 70% or more. It was.

さらに詳細には、溝3による表面の粗さRzは実施例と同様の仕様に形成したが、微粒子4は全く付着していない、比較例1の場合には、引き剥がし強度および接合強度保持率の、どちらも目標値を満たさなかった。
微粒子4は付着しているが、溝3が全く形成されていない、比較例2の場合には、引き剥がし強度および接合強度保持率の、どちらも満たさない結果となった。
溝3による表面粗さRzは実施例と同様の仕様に形成したが、微粒子4の粒径が実施例の仕様よりも小さ過ぎる、比較例3の場合には、引き剥がし強度は目標値を達成できたが、接合強度保持率は満たさない結果となった。
溝3による表面粗さRzは実施例と同様の仕様に形成したが、微粒子4の粒径が実施例の仕様よりも大き過ぎる、比較例4の場合には、引き剥がし強度は目標値を達成できたが、接合強度保持率は満たさない結果となった。
微粒子4の粒径および分布密度等は実施例の仕様と同様であるが、溝3による表面粗さRzが実施例の仕様よりも小さ過ぎる、比較例5の場合には、引き剥がし強度は目標値を達成できたが、接合強度保持率は満たさない結果となった。
微粒子4の粒径および分布密度等は実施例の仕様と同様であるが、溝3による表面粗さRzが実施例の仕様よりも大き過ぎる、比較例6の場合には、引き剥がし強度は目標値を達成できたが、接合強度保持率は満たさない結果となった。
More specifically, the surface roughness Rz due to the grooves 3 was formed in the same specifications as in the example, but in the case of Comparative Example 1 in which the fine particles 4 were not attached at all, the peel strength and the bonding strength retention rate. Neither of them met the target value.
In the case of Comparative Example 2 in which the fine particles 4 are adhered but the grooves 3 are not formed at all, neither the peeling strength nor the bonding strength retention rate is satisfied.
The surface roughness Rz due to the groove 3 was formed to the same specifications as in the example, but in the case of Comparative Example 3 in which the particle size of the fine particles 4 was too small than the specification of the example, the peel strength achieved the target value. Although it was possible, the result was that the bonding strength retention rate was not satisfied.
The surface roughness Rz due to the grooves 3 was formed to the same specifications as in the example, but in the case of Comparative Example 4 where the particle size of the fine particles 4 is too larger than the specification of the example, the peel strength achieved the target value. Although it was possible, the result was that the bonding strength retention rate was not satisfied.
The particle size, distribution density, and the like of the fine particles 4 are the same as in the specification of the example, but in the case of Comparative Example 5 in which the surface roughness Rz due to the groove 3 is too small than the specification of the example, the peel strength is the target. Although the value could be achieved, the result was that the bonding strength retention rate was not satisfied.
The particle size, distribution density, and the like of the fine particles 4 are the same as the specifications of the example, but in the case of Comparative Example 6 where the surface roughness Rz due to the grooves 3 is too larger than the specifications of the example, the peel strength is the target. Although the value could be achieved, the result was that the bonding strength retention rate was not satisfied.

このような実験結果から、上記実施の形態で説明したような仕様で溝3を形成して表面粗さRzを調節すると共に微粒子4を付着してなる、各実施例のプリント配線板用金属板材1では、目標とした引き剥がし強度5.0N/mm以上および接合強度保持率70%以上の両方を達成することができることが確認された。
また、各比較例のプリント配線板用金属板材では、目標とした引き剥がし強度5.0N/mm以上および接合強度保持率70%以上のうちの一方または両方を満たすことができないことが確認された。
また、さらに、板厚100μmの板材、板厚1000μmの板材、および板厚3000μmの板材を用いて、上記実施例と同様の条件設定でプリント配線板を作製し実験を行った場合でも、上記の目標値を達成できた。
From such experimental results, the metal plate material for printed wiring board of each example, in which the grooves 3 are formed with the specifications as described in the above embodiment to adjust the surface roughness Rz and the fine particles 4 are adhered. 1, it was confirmed that both the target peel strength of 5.0 N / mm or more and the bonding strength retention of 70% or more can be achieved.
Moreover, it was confirmed that the metal plate material for printed wiring board of each comparative example could not satisfy one or both of the target peeling strength of 5.0 N / mm or more and the bonding strength retention of 70% or more. .
Furthermore, even when a printed wiring board was manufactured under the same condition setting as in the above example using a plate material with a plate thickness of 100 μm, a plate material with a plate thickness of 1000 μm, and a plate material with a plate thickness of 3000 μm, The target value was achieved.

また、各実施例のプリント配線板用金属板材1の表面をSEMで観察すると、そのいずれにおいても、図2(c)に模式的に示したように、プリント配線板用樹脂基材2の樹脂がボイド等を生じることなく完全に食い込める適度な深さの溝3が形成されており、かつ微粒子4がその溝3の淵(入り口)を塞ぐことなく、溝3内にも適度な密度で付着していることが確認された。   Moreover, when the surface of the metal plate material 1 for printed wiring boards of each Example is observed by SEM, in either case, as schematically shown in FIG. 2 (c), the resin of the resin substrate 2 for printed wiring boards The groove 3 having an appropriate depth that can be completely entrapped without causing voids or the like is formed, and the fine particles 4 adhere to the groove 3 at an appropriate density without blocking the ridge (entrance) of the groove 3. It was confirmed that

これらの実験および観察ならびに考察の結果から、次のような結論が得られた。
表面粗さRzが小さ過ぎると、プリント配線板用金属板材1に対するプリント配線板用樹脂基材2の樹脂の食い込み(いわゆるアンカー効果)を十分に得ることが困難となり、逆に表面粗さRzが大き過ぎると、引き剥がし強度自体には問題はないが、PCT後の接合強度保持率が顕著に低下する。
微粒子4の粒径が小さ過ぎる、またはその分布密度が小さ過ぎると、十分な接合強度保持率を達成できない。また、特に溝3の淵の部分付近や溝3内における微粒子4の分布密度が大き過ぎる、または微粒子4の粒径が大き過ぎると、図3(b)に模式的に示したように、その微粒子4が溝3を塞いでしまうこととなり、プリント配線板用金属板材1に対するプリント配線板用樹脂基材2の樹脂の食い込みが妨げられて、PCT後の接合強度保持率が顕著に低下する。
第1の粗面化処理および第2の粗面化処理を施してなるプリント配線板用金属板材1に、さらにNi/Coめっきおよびシランカップリング処理を施すことにより、引き剥がし強度および接合強度保持率の両方を、さらに良好なものとすることができる。
From the results of these experiments, observations and discussions, the following conclusions were obtained.
If the surface roughness Rz is too small, it is difficult to sufficiently obtain the resin bite (so-called anchor effect) of the resin substrate 2 for the printed wiring board with respect to the metal plate material 1 for the printed wiring board. If it is too large, there is no problem in the peeling strength itself, but the bonding strength retention after PCT is significantly reduced.
If the particle diameter of the fine particles 4 is too small or the distribution density thereof is too small, sufficient bonding strength retention cannot be achieved. In particular, when the distribution density of the fine particles 4 in the vicinity of the ridge portion of the groove 3 or in the groove 3 is too large, or the particle diameter of the fine particles 4 is too large, as schematically shown in FIG. The fine particles 4 block the grooves 3, and the biting of the resin of the printed wiring board resin base material 2 into the printed wiring board metal plate material 1 is hindered, so that the bonding strength retention after PCT is significantly reduced.
Holding the peel strength and bonding strength by further applying Ni / Co plating and silane coupling treatment to the printed wiring board metal plate 1 that has been subjected to the first roughening treatment and the second roughening treatment. Both rates can be even better.

以上のように、本実施例に係るプリント配線板用金属板材1によれば、上記のPCT実験のような極めて過酷な温度・湿度等の環境下でも、プリント配線板用樹脂基材2に対するプリント配線板用金属板材1の接合についての高い耐久性や信頼性を維持することが可能であることが確認された。
なお、上記の実施の形態および実施例では、プリント配線板用金属板材1自体の金属板材として、一般に最もよく用いられる銅板材を用いる場合について説明したが、これのみには限定されないことは勿論である。この他にも、例えばアルミニウム板等を用いることなども可能である。あるいは、例えば樹脂に対する表面濡れ性が銅板と同等の金属板材であれば、その他の材料からなる板材にも適用可能である。
また、実施例2で行ったNi/Coめっきおよびシランカップリング処理の他にも、例えばNiめっきのみ、Znめっきのみ、シランカップリング処理のみ、あるいはクロメート処理のみ、もしくはそれらの2つ以上の組み合わせ等を行うようにすることなども可能である。
As described above, according to the metal plate material 1 for a printed wiring board according to the present embodiment, printing on the resin base material 2 for the printed wiring board can be performed even under an extremely severe environment such as temperature and humidity as in the PCT experiment. It was confirmed that it was possible to maintain high durability and reliability with respect to the bonding of the metal plate material 1 for wiring boards.
In the above-described embodiments and examples, the case of using the most commonly used copper plate material as the metal plate material of the printed wiring board metal plate material 1 itself has been described, but it is of course not limited thereto. is there. In addition, for example, an aluminum plate or the like can be used. Or if it is a metal plate material with the surface wettability with respect to resin equivalent to a copper plate, it is applicable also to the board | plate material which consists of other materials.
In addition to the Ni / Co plating and silane coupling treatment performed in Example 2, for example, only Ni plating, only Zn plating, only silane coupling treatment, only chromate treatment, or a combination of two or more thereof Etc. are also possible.

本発明の一実施の形態に係るプリント配線板用金属板材の積層構造を示す図である。It is a figure which shows the laminated structure of the metal plate material for printed wiring boards which concerns on one embodiment of this invention. 図1に示したプリント配線板用金属板材の主要な製造工程を示す図である。It is a figure which shows the main manufacturing processes of the metal plate material for printed wiring boards shown in FIG. 本発明の一実施の形態に係るプリント配線板用金属板材の作用における比較例として、プリント配線板用金属板の表面に溝が形成されておらず平坦な場合の表面構造(a)および溝が微粒子で埋められている場合の表面構造(b)を模式的に示す図である。As a comparative example in the operation of the metal plate material for a printed wiring board according to one embodiment of the present invention, the surface structure (a) and the groove in the case where the groove is not formed on the surface of the metal plate for the printed wiring board are flat. It is a figure which shows typically the surface structure (b) at the time of being filled with microparticles | fine-particles. 各実施例および各比較例のプリント配線板の引き剥がし強度の計測方法について模式的に示す図である。It is a figure which shows typically about the measuring method of the peeling strength of the printed wiring board of each Example and each comparative example. 各実施例および各比較例のプリント配線板用金属板材に関する各種設定とそれを用いて作製された各プリント配線板の、接合強度およびPCT後の接合強度保持率とを纏めて示す図である。It is a figure which shows collectively the various settings regarding the metal plate material for printed wiring boards of each Example and each comparative example, and the joint strength of each printed wiring board produced using it, and the joint strength retention after PCT.

符号の説明Explanation of symbols

1 プリント配線板用金属板材
2 プリント配線板用樹脂基材
3 溝
4 微粒子
1 Metal Plate Material for Printed Wiring Board 2 Resin Base Material for Printed Wiring Board 3 Groove 4 Fine Particle

Claims (7)

板状のプリント配線板用樹脂基材と張り合わされる、最も厚い部分の厚さ100μm以上であり、かつ、圧延銅箔に設けられた溝に微粒子を付着させたプリント配線板用金属板材であって、
前記溝は、前記圧延銅箔の前記プリント配線板用樹脂基材に対して張り合わされる表面に、当該表面の十点平均表面粗さRzが4.5μm以上〜6.5μm以下となるように形されており、かつ、
前記微粒子は、粒径1.2μm以上〜4.0μm以下で、前記溝の内部における前記微粒子の付着した面積の、前記溝の面積に対する割合が3%以上60%以下であり、さらに、
T−ピール法による引き剥がし強度が、5.3N/mm〜6.2N/mmであることを特徴とするプリント配線板用金属板材。
A metal plate material for a printed wiring board that has a thickness of 100 μm or more at the thickest portion and is adhered to a plate-shaped resin substrate for a printed wiring board , and fine particles are adhered to a groove provided in a rolled copper foil. And
The groove has a ten-point average surface roughness Rz of 4.5 μm or more to 6.5 μm or less on the surface of the rolled copper foil bonded to the resin substrate for a printed wiring board. It is form formed as, and,
The fine particles have a particle size of 1.2 μm or more and 4.0 μm or less , and the ratio of the area where the fine particles adhere to the inside of the groove to the groove area is 3% or more and 60% or less,
A metal sheet material for a printed wiring board , having a peel strength by a T-peel method of 5.3 N / mm to 6.2 N / mm .
請求項1記載のプリント配線板用金属板材において、
前記微粒子が、Cu、Ni、Zn、Co、Fe、Mo、Wのうちのいずれか1つの金属元素からなる材料または2以上の金属元素を組み合わせた材料からなるものであることを特徴とするプリント配線板用金属板材。
In the metal plate material for printed wiring boards according to claim 1,
The print is characterized in that the fine particles are made of a material made of any one metal element of Cu, Ni, Zn, Co, Fe, Mo, and W or a material made by combining two or more metal elements. Metal plate material for wiring boards.
請求項1または2記載のプリント配線板用金属板材において、
前記微粒子の粒径が、前記Rzの値に対して5%以上〜50%以下であることを特徴とするプリント配線板用金属板材。
In the metal plate material for printed wiring boards according to claim 1 or 2,
The fine metal particle has a particle size of 5% to 50% with respect to the Rz value.
請求項1ないしのうちいずれか1つの項に記載のプリント配線板用金属板材において、
前記微粒子の、当該プリント配線板用金属板材全面における付着占有面積比率が、当該プリント配線板用金属板材の全面積の60%以上〜95%以下であることを特徴とするプリント配線板用金属板材。
In the metal plate material for printed wiring boards according to any one of claims 1 to 3 ,
A metal plate material for a printed wiring board, wherein a ratio of the occupied area of the fine particles to the entire surface of the metal plate material for the printed wiring board is 60% to 95% of the total area of the metal plate material for the printed wiring board .
板状のプリント配線板用樹脂基材に対して張り合わされる、最も厚い部分の厚さ100μm以上であり、かつ、圧延銅箔に設けられた溝に微粒子を付着させたプリント配線板用金属板材の製造方法であって、
前記圧延銅箔の前記プリント配線板用金属板材における、前記プリント配線板用樹脂基材に対して張り合わされる表面に、当該表面の十点平均表面粗さRzが4.5μm以上〜6.5μm以下となるように溝を形成する第1の粗面化工程と、
前記第1の粗面化を施してなる表面に、粒径0.2μm以上〜4.0μm以下の微粒子を前記溝の内部における前記微粒子の付着した面積の、前記溝の面積に対する割合が3%以上60%以下となるよう付着させる第2の粗面化工程とを含むことを特徴とするプリント配線板用金属板材の製造方法。
A metal plate material for a printed wiring board in which the thickest part has a thickness of 100 μm or more and is adhered to a plate-like resin substrate for a printed wiring board , and fine particles are adhered to a groove provided in a rolled copper foil. A manufacturing method of
The ten-point average surface roughness Rz of the surface is 4.5 μm or more to the surface of the rolled copper foil bonded to the resin substrate for the printed wiring board in the printed wiring board metal plate . A first roughening step of forming grooves so as to be 5 μm or less;
The ratio of the area where fine particles having a particle size of 0.2 μm to 4.0 μm adhere to the inside of the groove to the surface of the first roughened surface with respect to the groove area is 3%. A method for producing a metal sheet material for a printed wiring board, comprising: a second roughening step for adhering to 60% or less .
請求項記載のプリント配線板用金属板材の製造方法において、
前記第2の粗面化工程を、エッチング、ショットブラスト、電気粗化めっきのうちのいずれか1つまたは2つ以上の組み合わせにより行うことを特徴とするプリント配線板用金属板材の製造方法。
In the manufacturing method of the metal plate material for printed wiring boards of Claim 5 ,
The method for producing a metal plate material for a printed wiring board, wherein the second roughening step is performed by any one or a combination of two or more of etching, shot blasting, and electric roughening plating.
請求項または記載のプリント配線板用金属板材の製造方法において、
前記第1の粗面化処理および前記第2の粗面化処理を施した後、さらにNiめっき、Znめっき、クロメート処理、シランカップリング処理のうちのいずれか1つまたは2つ以上を組み合わせた処理を施すことを特徴とするプリント配線板用金属板材の製造方法。
In the manufacturing method of the metal plate material for printed wiring boards of Claim 5 or 6 ,
After performing the first roughening treatment and the second roughening treatment, any one or more of Ni plating, Zn plating, chromate treatment, and silane coupling treatment is further combined. The manufacturing method of the metal plate material for printed wiring boards characterized by performing a process.
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