JP4817826B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
非破壊検査においては、至近距離から打音してコンクリートや外壁の剥離状況を調べる方法が主に用いられ、赤外線カメラやレーザスキャニングによる電子写真方式でコンクリート表面のひび割れや剥離の検査が試験的に行われている。またコンクリート内部の欠陥検査に関しては、ハンマー打音検査が主に用いられ、100MHz〜3GHzの電磁波を用いたレーダ技術が試験的に用いられている。
2…ステム
3…スライディングショート
4…バイアスピン
5…方形導波路
6…ホーンアンテナ
7…石英スタンドオフ
8…ダイオード素子
9…金リボン
81…n+GaAs基板結晶
82…GaAsn−層
83…GaAsn+層
84…GaAsp+層
10…発振素子
11…レンズ
12…ビームスプリッタ
13…検出器
14…支持躯体
15…プローブA
16…プローブB
17…x−y方向駆動機構
18…z方向駆動機構
19…信号処理部
20…被測定物
21…内部構造欠陥
22…異物
23…ひび割れ
24、28…法線方向(r)駆動機構
25、29…回転方向(θ)駆動機構
26、30…長手方向(Z)駆動機構
27…円筒状建造物
31…中空の円筒状建造物
Claims (6)
- 10GHz−10THzの範囲の電磁波を発生する発生手段、前記電磁波の集光手段及び検出手段を、一体化したプローブ構造を少なくとも2つ備え、
前記少なくとも2つのプローブ構造のそれぞれの発生手段が、それぞれ互いに異なる発振周波数のテラヘルツ発生装置によって構成され、
前記少なくとも2つのプローブ構造をそれぞれ走査することにより、建造物からの電磁波の反射または透過を測定し、前記建造物の構造を検査することを特徴とする検査システム。 - 10GHz−10THzの範囲の電磁波を発生する発生手段、該発生手段の1つに対して、少なくとも2つの検出手段、前記発生手段から出射する電磁波及び前記検出手段に入射する電磁波の集光手段を備え、
前記発生手段、前記検出手段、及び前記集光手段を一体化したプローブ構造を走査することにより、建造物を検査する検査システムであって、
前記建造物から反射または透過する電磁波の位相ずれから、前記反射または透過してくる場所を求め、また前記電磁波の振幅から減衰量求め、前記場所と前記減衰量を3次元的に図式化し、前記建造物の内部欠陥分布図を抽出することを特徴とする検査システム。 - 前記発生手段が、ガンダイオード、インパットダイオード、タンネットダイオード、量子カスケードレーザ、p型ゲルマニウムレーザ、共鳴トンネルダイオード、電子管、高周波トランジスタを用いた発振器、自由電子レーザ、テラヘルツ時間領域分光によるテラヘルツ発生法、およびテラヘルツパラメトリック発振器、半導体結晶を用いたテラヘルツ差周波発生器のいずれかであることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査システム。
- 前記発生手段が、少なくとも20−140GHz、および140−325GHzの範囲の少なくとも2つの周波数成分を含む電磁波を発生することを特徴とする、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記走査を実行するために、
x−y平面の走査手段と、
x−y平面の法線方向の走査手段
とを更に含み、前記建造物の3次元画像を得ることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の検査システム。 - 前記建造物が、非平面を含む中空パイプ状あるいは柱状であり、前記プローブ構造が中空内部より物体表面に対し、法線方向(r)、回転方向(θ)、および長さ方向(Z)に走査されることを特徴とする、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の検査システム。
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