JP4809844B2 - 半導体基板のキャリア濃度レベルと電気接合深さを独立して引き出す方法および装置 - Google Patents
半導体基板のキャリア濃度レベルと電気接合深さを独立して引き出す方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4809844B2 JP4809844B2 JP2007545937A JP2007545937A JP4809844B2 JP 4809844 B2 JP4809844 B2 JP 4809844B2 JP 2007545937 A JP2007545937 A JP 2007545937A JP 2007545937 A JP2007545937 A JP 2007545937A JP 4809844 B2 JP4809844 B2 JP 4809844B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected signal
- substrate
- optical measurement
- measurement method
- semiconductor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2831—Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1717—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N2021/1734—Sequential different kinds of measurements; Combining two or more methods
- G01N2021/1736—Sequential different kinds of measurements; Combining two or more methods with two or more light sources
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2648—Characterising semiconductor materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/265—Contactless testing
- G01R31/2656—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
n0はキャリア濃度の無い半導体材料の屈折率(例えばシリコンでは3.42)、
Nは自由キャリア濃度、
βは定数である。
rsは、空気/基板界面の反射係数(特にシリコン界面ではrs=−0.549)、
βn及びβpは、電子およびホールに関連する定数であり、その要素の中に、電子およびホールの有効質量を含む、
tは、空気/基板界面の透過係数、
NsurfおよびPsurfは、表面電子およびホールの過剰キャリアレベル、
k=2π/λは、真空中の場伝達定数、
nSiは、基板材料の屈折率(特に、980nmにおけるSiの屈折率nSi=3.435)、
zは、表面から半導体基板方向で定義される深さ、
N(z)およびP(z)は、それぞれ電子およびホールの過剰キャリアプロファイル、
qは、初期電子電荷、
mnおよびmpは、電子およびホール光有効質量、
ωは、角周波数(ω=k・c、ここでcは光の速度)、
ε0およびεは、それぞれ、真空および例えばシリコンのような半導体基板材料の誘電体定数、である。
例えば、75mAの励起信号パワーのような、予め定められた励起信号パワーに対して、このドーパントプロファイルに対してCI信号を測定する工程と、
SIMSを用いて、選択された濃度レベルにおける接合深さを測定する工程と、
図2の上に双方の点(選択された濃度レベルにおけるSIMS深さ、選択されたパワーにおけるCI信号)をプロットする工程と、
同じピーク濃度であるが深さが異なったこの種のドーピングプロファイルを有する試料について上記連続した測定を繰り返し、対応するカーブを形成する工程と、
異なった型のドーパントまたは濃度レベルに対して上記連続した工程を繰り返し、追加の対応するカーブを形成する工程と、である。
濃度レベルと接合深さで特徴づけられるドーパントプロファイルを有する半導体材料の第1基板において、異なった濃度の過剰キャリアを形成し、過剰キャリアにより少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビームにより得られた測定された反射信号の第1振幅と、第1基板中のドーパントのドーパント濃度との間の第1の相関関係と、
測定された反射信号の第1振幅と、第1基板のドーパントプロファイルの接合深さとの間の、第2の相関関係とを用いる。
濃度レベルと接合深さにより特徴づけられるドーパントプロファイルを有する半導体基板で、過剰キャリアを形成して過剰キャリアにより少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビームを照射することにより、得られた反射信号の第2振幅を測定する工程と、
第1および第2の相関関係と第2振幅から、半導体基板についての接合深さとドーパント濃度レベルとを特定する工程とを含む。
励起パワーレベルの関数として反射信号を測定し、これにより変曲点を示すパワーカーブを得る工程と、
変曲点に応じて第1励起パワーレベル値を決定する工程と、
第2励起パワーレベルにおける反射信号を特定する工程とを含む。
第2励起パワーレベルにおける反射信号と、変曲点に対応する第1励起パワーレベルとから、キャリア濃度レベルを特定する工程を含んでも良い。
半導体基板中に過剰キャリアを形成する工程と、
過剰キャリアによって少なくとも部分的に反射されるプローブレーザビームを、半導体基板に照射する工程と、
プローブレーザパワーの関数として反射された信号を測定し、これにより変曲点を示すパワーカーブを求める工程と、
変曲点に応じた第1励起パワー値を特定する工程と、
第2励起レーザパワーにおける反射信号を特定する工程と、
第2励起レーザパワーにおける反射信号と、変曲点に対応する励起レーザパワーとから、キャリア濃度を特定する工程とを含んでも良い。
励起レーザビームを半導体基板上に照射することにより、半導体基板中に過剰電荷キャリアプロファイルを形成する工程と、
プローブレーザビームを半導体基板に照射する工程とを含む。
励起レーザビームを半導体基板に照射して、半導体基板中に過剰電荷キャリアプロファイルを形成する工程と、
半導体基板にプローブレーザビームを照射する工程とを含んでも良い。
基板で、基板中に異なった濃度の過剰キャリアを形成し、過剰キャリアで少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビームにより得られた測定された反射信号の第1成分と、
基板のドーパントのドーパント濃度レベルとの間の第1の相関関係カーブを特定する工程と、
測定された反射信号の振幅と基板の接合深さとの間の第2の相関関係を特定する工程とを含む。
それぞれの半導体基板について、試料中に異なった濃度の過剰キャリアを形成し、基板で、過剰キャリアもより少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビームにより形成される反射信号の第1振幅を測定する工程と、
それぞれの反射信号の第1測定振幅と、少なくとも2つの半導体基板の濃度レベルとの間の第1相関関係を特定する工程とを含むことが好ましい。
基板に、過剰キャリアを形成する手段と、過剰キャリアにより少なくとも部分的に反射されたレーザビームを照射し、これにより反射信号を形成するプローブレーザとを含む照射装置と、
測定された反射信号の第1振幅と、基板のドーパントのドーパント濃度レベルとの間の第1相関関係を記憶する第1記憶手段と、
測定された反射信号の第1振幅と、基板のドーパントプロファイルの接合深さとの間の、第2相関関係を記憶する第2記憶手段と、
測定された反射信号の第2振幅を測定する手段と、
記憶された第1および第2相関関係と、測定された第2振幅から、半導体基板の接合深さとドーパント濃度レベルとを特定する手段とを含む。
半導体基板にレーザビームを照射し、これにより反射信号を形成するための励起レーザとプローブレーザとを含むキャリア照射装置と、
励起レーザパワーの関数として反射信号を測定し、これにより変曲点を示すパワーカーブを形成する測定手段と、
変曲点に対応する第1励起レーザパワー値を特定する手段と、
第2励起レーザパワーでの反射信号を特定する手段と、
第2励起レーザパワーでの反射信号と、変曲点に対応する第1励起レーザパワーから、キャリア濃度レベルを特定する手段とを含む。
半導体基板にレーザビームを照射し、これにより反射信号を形成するための励起レーザとプローブレーザとを含む照射装置と、
反射信号の第1成分を測定する手段と、
反射信号の測定された第1成分からキャリア濃度レベルを特定する手段とを含むことが好ましい。
最初は、表面成分であり、空気/半導体基板界面で励起レーザビーム11aが反射で形成される。
第2は、表面近傍成分であり、表面近傍キャリアでの反射で形成される。
第3は、界面成分であり、半導体基板12の、ドープされた領域12aとドープされていない又は定ドープの領域12bとの間の界面で注入された過剰キャリアの関連するドーパントの反射で形成される。
Claims (34)
- 濃度レベルと接合深さで特徴づけられる、半導体基板(12)のドーパント濃度プロファイルを特定するための光学測定方法であって、
a)濃度レベルと接合深さで特徴づけられるドーパントプロファイルを有する半導体材料の第1基板(12)において、異なった濃度の過剰キャリアを形成し、該過剰キャリアにより少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビーム(11a)により得られた測定された反射信号の第1振幅と、第1基板(12)中のドーパントのドーパント濃度との間の第1の相関関係と、
b)測定された反射信号の第1振幅と、第1基板(12)のドーパントプロファイルの接合深さとの間の、第2の相関関係とを用い、該方法が、
濃度レベルと接合深さにより特徴づけられるドーパントプロファイルを有する半導体基板(12)で、過剰キャリアを形成して過剰キャリアにより少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビーム(11a)を照射することにより、得られた反射信号の第2振幅を測定する工程と、
第1および第2の相関関係と第2振幅から、半導体基板(12)についての接合深さとドーパント濃度レベルとを特定する工程とを含む光学測定方法。 - 過剰キャリアの形成工程が、励起レーザビーム(11b)を照射する工程を含む請求項1に記載の光学測定方法。
- 上記第1また第2の振幅の測定工程が、
励起パワーレベルの関数として反射信号を測定し、これにより変曲点を示すパワーカーブを得る工程と、
変曲点に応じて第1励起パワーレベル値を決定する工程と、
第2励起パワーレベルにおける反射信号を特定する工程とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学測定方法。 - 基板(12)の接合深さとキャリア濃度レベルを特定する工程が、
第2励起パワーレベルにおける反射信号と、変曲点に対応する第1励起パワーレベルからキャリア濃度レベルを特定する工程を含む請求項3に記載の光学測定方法。 - 反射信号の特定工程が、励起レーザパワーの予め決められた第1の値で行われ、
反射信号からキャリア濃度レベルの特定工程が、励起レーザパワーの予め決められた第2の値で行われ、第1の励起レーザパワーが変曲点に対応する請求項3又は4に記載の光学測定方法。 - 基板(12)が、高くから低くにドープされた構造である請求項3から5のいずれかに記載の光学測定方法。
- 基板(12)が、ボックス状のドーパントプロファイルを有する請求項6に記載の光学測定方法。
- 更に、第2励起レーザパワーにおける反射信号と特定されたキャリア濃度レベルから、半導体基板(12)の接合深さを特定する工程を含む請求項3から7のいずれかに記載の光学測定方法。
- 反射信号を形成する工程が、
励起レーザビーム(11b)を半導体基板(12)に照射して、半導体基板(12)中に過剰電荷キャリアプロファイルを形成する工程と、
半導体基板(12)にプローブレーザビーム(11a)を照射する工程とを含む請求項3から8のいずれかに記載の光学測定方法。 - 変曲点が、パワーカーブの第2微分係数の定数に基づいて特定される請求項3から9のいずれかに記載の光学測定方法。
- パワーカーブの第2微分係数の定数が0に等しい請求項10に記載の光学測定方法。
- 光学測定方法が、キャリア照射に基づく請求項3から11のいずれかに記載の光学測定方法。
- 励起レーザビーム(11b)が、830nmの固定波長を有する請求項12に記載の光学測定方法。
- 反射信号の第1または第2の振幅を測定する工程が、励起レーザ信号と位相が同じ反射信号の成分を特定する工程と、励起レーザ信号と位相が90°異なる反射信号の成分を特定する工程とを含む請求項1又は2に記載の光学測定方法。
- 励起レーザ信号のパワーレベルが、予め定められたレベルである請求項14に記載の光学測定方法。
- 基板(12)の接合深さとキャリア濃度レベルを特定する工程が、励起レーザ信号と位相が同じ反射信号の振幅から、および励起レーザ信号と位相が90°異なる反射信号の振幅から、キャリア濃度レベルを特定する工程を含む請求項14又は15に記載の光学測定方法。
- 基板(12)の接合深さとキャリア濃度レベルを特定する工程が、励起レーザ信号と位相が90°異なる反射信号の成分から、および特定されたキャリア濃度レベルから、接合深さを特定する工程を含む請求項16に記載の光学測定方法。
- 基板(12)が、高くから低くにドープされた構造である請求項14から17のいずれかに記載の光学測定方法。
- 基板(12)が、ボックス状のドーパントプロファイルを有する請求項18に記載の光学測定方法。
- 反射信号を形成する工程が、
励起レーザビーム(11b)を半導体基板(12)に照射して、半導体基板(12)中に過剰電荷キャリアプロファイルを形成する工程と、
半導体基板(12)にプローブレーザビーム(11a)を照射する工程とを含む請求項14から19のいずれかに記載の光学測定方法。 - 光学測定方法が、温度波法に基づく請求項14から20のいずれかに記載の光学測定方法。
- 励起レーザビーム(11b)が、790nmの固定波長を有する請求項21に記載の光学測定方法。
- 基板(12)の濃度レベルと接合深さで特徴づけられるドーパントプロファイルを有する半導体材料からなる基板(12)を測定する光学測定方法であって、該方法が、
基板(12)で、基板(12)中に異なった濃度の過剰キャリアを形成し、過剰キャリアで少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビーム(11a)により得られた測定された反射信号の第1成分と、基板(12)のドーパントのドーパント濃度レベルと、の間の第1の相関関係カーブを特定する工程と、
測定された反射信号の振幅と、基板(12)の接合深さとの間の第2の相関関係を特定する工程とを含む光学測定方法。 - 第1の相関関係のカーブを形成する工程が、
濃度レベルと接合深さで特徴づけられる、予め定められた異なったドーパントプロファイルを有する少なくとも2つの半導体基板(12)を提供する工程と、
それぞれの半導体基板(12)について、試料中に異なった濃度の過剰キャリアを形成し、基板(12)で、過剰キャリアにより少なくとも部分的に反射されたプローブレーザビーム(11b)により形成される反射信号の第1振幅を測定する工程と、
それぞれの反射信号の第1測定振幅と、少なくとも2つの半導体基板(12)の濃度レベルとの間の第1相関関係を特定する工程とを含む請求項23に記載の光学測定方法。 - 第2の相関関係を特定する方法が、少なくとも2つの半導体基板(12)の、それぞれの反射された信号と接合深さとの間の、第2の相関関係を特定する工程を含む請求項24に記載の光学測定方法。
- 半導体基板(12)のバルク特性を測定するための装置であって、
基板(12)に、過剰キャリアを形成する手段と、過剰キャリアにより少なくとも部分的に反射されたレーザビーム(11b、11a)を照射し、これにより反射信号を形成するプローブレーザ(10a)とを含む照射装置と、
測定された反射信号の第1振幅と、基板(12)のドーパントのドーパント濃度レベルとの間の第1相関関係を記憶する第1記憶手段と、
測定された反射信号の第1振幅と、基板(12)のドーパントプロファイルの接合深さとの間の、第2相関関係を記憶する第2記憶手段と、
測定された反射信号の第2振幅を測定する手段と、
記憶された第1および第2相関関係と、測定された第2振幅から、半導体基板(12)の接合深さとドーパント濃度レベルとを特定する手段と、を含む装置。 - 半導体基板(12)にレーザビーム(11b、11a)を照射し、これにより反射信号を形成するための励起レーザ(11b)とプローブレーザ(10a)とを含むキャリア照射装置と、
励起レーザパワーの関数として反射信号を測定し、これにより変曲点を示すパワーカーブを形成する測定手段と、
変曲点に対応する第1励起レーザパワー値を特定する手段と、
第2励起レーザパワーでの反射信号を特定する手段と、
第2励起レーザパワーでの反射信号と、変曲点に対応する第1励起レーザパワーから、キャリア濃度レベルを特定する手段とを含む請求項26に記載の装置。 - 更に、第2励起レーザパワーと、特定された濃度レベルとから、半導体基板(12)の接合深さを特定する手段を含む請求項27に記載の装置。
- 励起レーザ(10b)が、830nmに固定された波長の励起レーザビーム(11b)を形成する請求項27又は28のいずれかに記載の装置。
- 半導体基板(12)にレーザビーム(11b、11a)を照射し、これにより反射信号を形成するための励起レーザ(11b)とプローブレーザ(10a)とを含む照射装置と、
反射信号の第1成分を測定する手段と、反射信号の測定された第1成分からキャリア濃度レベルを特定する手段とを含む請求項26に記載の装置。 - 更に、反射信号の測定された第1成分と、特定された濃度レベルに対して、半導体基板(12)接続深さを特定する手段を含む請求項30に記載の装置。
- 励起レーザ(11b)が、790nmの固定波長の励起レーザビーム(11b)を形成する請求項30又は31のいずれかに記載の装置。
- コンピュータ装置で実行された場合に請求項1から25のいずれかに記載の方法を実行するためのコンピュータプログラム。
- 請求項33のコンピュータプログラムを記憶する機械判読データ記憶装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0427318.1 | 2004-12-14 | ||
GBGB0427318.1A GB0427318D0 (en) | 2004-12-14 | 2004-12-14 | Method and device for the independent extraction of carrier concentration level and electrical junction depth in a semiconductor substrate |
PCT/EP2005/013423 WO2006063809A2 (en) | 2004-12-14 | 2005-12-14 | Method and device for the independent extraction of carrier concentration level and electrical junction depth in a semiconductor substrate from a single measurement |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008523634A JP2008523634A (ja) | 2008-07-03 |
JP4809844B2 true JP4809844B2 (ja) | 2011-11-09 |
Family
ID=34089985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007545937A Expired - Fee Related JP4809844B2 (ja) | 2004-12-14 | 2005-12-14 | 半導体基板のキャリア濃度レベルと電気接合深さを独立して引き出す方法および装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8314628B2 (ja) |
EP (1) | EP1834168B1 (ja) |
JP (1) | JP4809844B2 (ja) |
GB (1) | GB0427318D0 (ja) |
WO (1) | WO2006063809A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010217184A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Imec | 半導体領域の接合深さを測定する方法および装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0518200D0 (en) * | 2005-09-07 | 2005-10-19 | Imec Inter Uni Micro Electr | A method and device to quantify active carrier profiles in ultra-shallow semiconductor structures |
US7939811B2 (en) * | 2007-07-16 | 2011-05-10 | Ut-Battelle, Llc | Microscale fluid transport using optically controlled marangoni effect |
WO2012010647A1 (en) * | 2010-07-21 | 2012-01-26 | Imec | Method for determining an active dopant profile |
US8912799B2 (en) * | 2011-11-10 | 2014-12-16 | Semiconductor Physics Laboratory Co., Ltd. | Accurate measurement of excess carrier lifetime using carrier decay method |
CN102738030B (zh) * | 2012-06-21 | 2014-07-02 | 中国科学院微电子研究所 | 一种pn结结深测算方法 |
JP6490671B2 (ja) * | 2014-04-18 | 2019-04-03 | 国立大学法人九州工業大学 | 半導体ウェーハのバルク品質評価方法および装置 |
TWI686598B (zh) | 2014-08-29 | 2020-03-01 | 加拿大商奧羅拉太陽能科技加拿大公司 | 一種用測量半導體材料輻射反射值測量半導體材料掺雜量的系統 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60256031A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-17 | サーマ‐ウエイブ・インコーポレーテツド | 標本の表面状態を評価する方法及び装置 |
JPS61223543A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-10-04 | サーマ―ウェイブ・インク | 半導体の表面および表面下の特性を評価する方法ならびに装置 |
JPH06318560A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Nec Corp | サーマウェーブ測定方法 |
JPH10125753A (ja) * | 1996-09-02 | 1998-05-15 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体のキャリア濃度測定方法、半導体デバイス製造方法及び半導体ウエハ |
US6049220A (en) * | 1998-06-10 | 2000-04-11 | Boxer Cross Incorporated | Apparatus and method for evaluating a wafer of semiconductor material |
US6323951B1 (en) * | 1999-03-22 | 2001-11-27 | Boxer Cross Incorporated | Apparatus and method for determining the active dopant profile in a semiconductor wafer |
JP2004311580A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Toshiba Corp | 半導体評価装置及び半導体評価方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5042952A (en) * | 1984-05-21 | 1991-08-27 | Therma-Wave, Inc. | Method and apparatus for evaluating surface and subsurface and subsurface features in a semiconductor |
US6392756B1 (en) * | 1999-06-18 | 2002-05-21 | N&K Technology, Inc. | Method and apparatus for optically determining physical parameters of thin films deposited on a complex substrate |
WO2005017996A1 (en) * | 2003-03-14 | 2005-02-24 | Andreas Mandelis | Method of photocarrier radiometry of semiconductors |
DE10319843A1 (de) * | 2003-05-03 | 2004-12-02 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Bestimmen der Tiefe einer vergrabenen Struktur |
-
2004
- 2004-12-14 GB GBGB0427318.1A patent/GB0427318D0/en not_active Ceased
-
2005
- 2005-12-14 EP EP05819295A patent/EP1834168B1/en not_active Not-in-force
- 2005-12-14 WO PCT/EP2005/013423 patent/WO2006063809A2/en active Application Filing
- 2005-12-14 JP JP2007545937A patent/JP4809844B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-06-14 US US11/763,401 patent/US8314628B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60256031A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-17 | サーマ‐ウエイブ・インコーポレーテツド | 標本の表面状態を評価する方法及び装置 |
JPS61223543A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-10-04 | サーマ―ウェイブ・インク | 半導体の表面および表面下の特性を評価する方法ならびに装置 |
JPH06318560A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Nec Corp | サーマウェーブ測定方法 |
JPH10125753A (ja) * | 1996-09-02 | 1998-05-15 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体のキャリア濃度測定方法、半導体デバイス製造方法及び半導体ウエハ |
US6049220A (en) * | 1998-06-10 | 2000-04-11 | Boxer Cross Incorporated | Apparatus and method for evaluating a wafer of semiconductor material |
US6323951B1 (en) * | 1999-03-22 | 2001-11-27 | Boxer Cross Incorporated | Apparatus and method for determining the active dopant profile in a semiconductor wafer |
JP2004311580A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Toshiba Corp | 半導体評価装置及び半導体評価方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010217184A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Imec | 半導体領域の接合深さを測定する方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8314628B2 (en) | 2012-11-20 |
WO2006063809A2 (en) | 2006-06-22 |
EP1834168B1 (en) | 2012-08-01 |
GB0427318D0 (en) | 2005-01-19 |
US20070292976A1 (en) | 2007-12-20 |
EP1834168A2 (en) | 2007-09-19 |
WO2006063809A3 (en) | 2006-08-17 |
JP2008523634A (ja) | 2008-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4809844B2 (ja) | 半導体基板のキャリア濃度レベルと電気接合深さを独立して引き出す方法および装置 | |
US20030043382A1 (en) | Apparatus and method for determining the active dopant profile in a semiconductor wafer | |
US7145658B2 (en) | Apparatus and method for evaluating semiconductor material | |
JP2002540396A5 (ja) | ||
US20040253751A1 (en) | Photothermal ultra-shallow junction monitoring system with UV pump | |
US7403022B2 (en) | Method for measuring peak carrier concentration in ultra-shallow junctions | |
EP1922539B1 (en) | Method and device to quantify active charge carrier profiles in ultra-shallow semiconductor structures | |
EP2251673B1 (en) | Method for determining the junction depth of a semiconductor region | |
JP5448607B2 (ja) | 部分的に活性化されたドープ半導体領域のドーピングプロファイル決定方法 | |
US20030227630A1 (en) | Computer-implemented reflectance system and method for non-destructive low dose ion implantation monitoring | |
Salnick et al. | Simultaneous determination of ultra-shallow junction depth and abruptness using thermal wave technique | |
US20040064263A1 (en) | System and method for measuring properties of a semiconductor substrate in a non-destructive way | |
Charpenay et al. | Model-based analysis for precise and accurate epitaxial silicon measurements | |
Bogdanowicz et al. | Advances in optical carrier profiling through high-frequency modulated optical reflectance | |
Bogdanowicz et al. | Nondestructive extraction of junction depths of active doping profiles from photomodulated optical reflectance offset curves | |
Clarysse et al. | Carrier illumination for characterization of ultrashallow doping profiles | |
Sasaki et al. | Sheet resistance measurement for ultra-high energy ion implantation | |
Tulsyan | Doping profile measurements in silicon using terahertz time domain spectroscopy (THz-TDS) via electrochemical anodic oxidation | |
Gal | Measurement of damage and damage profile in semiconductors using an optical modulation technique | |
WO2016163500A1 (ja) | 半導体ウェーハの製造方法および半導体ウェーハの評価方法 | |
Bogdanowicz et al. | Non‐Destructive Characterization of Activated Ion‐Implanted Doping Profiles Based on Photomodulated Optical Reflectance | |
Li et al. | In-line implant and RTP process monitoring using the carrier illumination technique | |
Renoud et al. | In‐depth analysis of defects of an insulating sample by cathodoluminescence | |
Clarysse et al. | Junction and profile analysis using Carrier Illumination | |
Gal | Determination of damage profiles in semiconductors using differential reflectance |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110809 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110819 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140826 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4809844 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |