JP4800135B2 - Electronic component mounting equipment - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品の実装装置に関する。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus.

従来、電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置が広く知られている。この種の実装装置は、例えば図4に示されるように、吸着ノズル18を備えた移載ヘッド11が、XYテーブル12、13上に移動自在に組み込まれている。符号19はコンベアであり、基板14を位置決め部15へ搬送する。位置決め部15は、基板14をクランプして位置決めする。位置決め部15の奥にはパーツフィーダ(部品供給装置)Fが設けられている。   2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component mounting apparatus configured to suck and convey an electronic component with a suction nozzle and mount it at a predetermined position on a substrate is widely known. In this type of mounting apparatus, for example, as shown in FIG. 4, the transfer head 11 including the suction nozzle 18 is incorporated on the XY tables 12 and 13 so as to be movable. Reference numeral 19 denotes a conveyor which conveys the substrate 14 to the positioning unit 15. The positioning unit 15 clamps and positions the substrate 14. A parts feeder (part supply device) F is provided at the back of the positioning unit 15.

パーツフィーダF上にX−Y移動した移載ヘッド11は、吸着ノズル18を下降させ、吸着ノズル18の先端部が電子部品Pの上面に到達した時点で下降を止め、負圧を発生させることによって電子部品Pを吸着する。その後、吸着ノズル18を上昇させて電子部品Pを持ち上げ、再びX−Y移動して基板14上の所定の位置決め部15の搭載位置に移動し、吸着ノズル18を降下させる。電子部品Pの底面が基板14の上面に到達した時点で負圧を遮断し、吸着ノズル18を上昇させて電子部品Pの基板14上への搭載動作を終了する。   The transfer head 11 that has moved XY onto the parts feeder F lowers the suction nozzle 18, stops the lowering when the tip of the suction nozzle 18 reaches the upper surface of the electronic component P, and generates negative pressure. The electronic component P is adsorbed by Thereafter, the suction nozzle 18 is raised to lift the electronic component P, and the XY movement is again performed to move to the mounting position of the predetermined positioning portion 15 on the substrate 14 to lower the suction nozzle 18. When the bottom surface of the electronic component P reaches the top surface of the substrate 14, the negative pressure is cut off, the suction nozzle 18 is raised, and the mounting operation of the electronic component P on the substrate 14 is completed.

移載ヘッド11の先端部に取り付けられる吸着ノズル18は、電子部品Pのサイズに合わせて数種類の形があり、用途に応じて交換するようになっている。図5に一般的な吸着ノズル18の保持構造を示す。吸着ノズル18は上下方向Z及びθ方向に動作可能とされ、且つその内部にエアの通路23が確保されている。ノズルホルダ40の下面に当て板(図示略)を当てた状態で吸着ノズル18を降下させるとボール25と吸着ノズル18の溝部18Aの係合が解かれ、吸着ノズル18を保持する力が減少する。しかし、このとき、吸着ノズル18は摩擦等により、必ずしも円滑に離脱できないことが多い。そのため、エアの通路23を介して吸着ノズル離脱用の正圧を発生させて吸着ノズル18を下方に押し出すことで吸着ノズル18を外す際の補助を行うようにしている。   The suction nozzle 18 attached to the tip of the transfer head 11 has several types according to the size of the electronic component P and is exchanged according to the application. FIG. 5 shows a general holding structure for the suction nozzle 18. The suction nozzle 18 is operable in the vertical direction Z and the θ direction, and an air passage 23 is secured therein. When the suction nozzle 18 is lowered with the contact plate (not shown) applied to the lower surface of the nozzle holder 40, the engagement between the ball 25 and the groove 18A of the suction nozzle 18 is released, and the force for holding the suction nozzle 18 decreases. . However, at this time, the suction nozzle 18 cannot always be smoothly separated due to friction or the like. Therefore, a positive pressure for separating the suction nozzle is generated through the air passage 23 and the suction nozzle 18 is pushed downward to assist in removing the suction nozzle 18.

図6は、(1)通常時(電子部品非吸着時)、(2)電子部品吸着時、(3)吸着ノズル交換時のそれぞれのエアの制御態様を示したものである。図中太い矢印で書かれた部分にエアの流れが生じている。   6A and 6B show control modes of air during (1) normal time (when electronic parts are not picked up), (2) when electronic parts are picked up, and (3) when the suction nozzle is replaced. In the figure, an air flow is generated in a portion indicated by a thick arrow.

図6の(1)に示す通常時においては、エア供給源20から供給されたエアは、正圧発生用(オン−オフ)バルブ21、負圧発生用の(オン−オフ)バルブ(エジェクタ)22がともにオフとされているため、エアはそこで止められ、吸着ノズル18には供給されない。なお、図6の符号23は、(絞りの程度が小さめの)絞り弁である。   In the normal time shown in (1) of FIG. 6, the air supplied from the air supply source 20 includes a positive pressure generating (on-off) valve 21 and a negative pressure generating (on-off) valve (ejector). Since both 22 are turned off, the air is stopped there and is not supplied to the suction nozzle 18. In addition, the code | symbol 23 of FIG. 6 is a throttle valve (the degree of a throttle is small).

図6の(2)で示す部品吸着時においては、正圧発生用バルブ21がオフの状態を維持すると共に、負圧発生用バルブ22がオンとされるため、当該バルブ22から吸着ノズル18までのエア回路A2に負圧が発生し、吸着ノズル18にて電子部品Pの吸着が可能となる。   At the time of component suction shown in (2) of FIG. 6, the positive pressure generating valve 21 is kept off and the negative pressure generating valve 22 is turned on. Therefore, from the valve 22 to the suction nozzle 18 A negative pressure is generated in the air circuit A <b> 2, and the electronic component P can be sucked by the suction nozzle 18.

図6の(3)で示す吸着ノズル18の交換時においては、正圧発生用バルブ21のみがオンとされ、エア供給源20から供給されたエアが絞り弁23を介して吸着ノズル18に到達し、吸着ノズル18の離脱を補助する。   At the time of replacement of the suction nozzle 18 shown in (3) of FIG. 6, only the positive pressure generating valve 21 is turned on, and the air supplied from the air supply source 20 reaches the suction nozzle 18 via the throttle valve 23. And assisting the removal of the suction nozzle 18.

ところで、ベアチップ等の電子部品Pの搭載を行うような場合には、基板14と電子部品(ベアチップ)Pの接着にはフラックスを使用する場合が多い。一般にフラックスは、半田ペーストや接着剤よりも接着力が弱く、吸着ノズル18と電子部品Pとの間で微弱な静電気や負圧の残り、摩擦の発生などにより電子部品Pを基板14上に載置できずにそのまま持ち帰ってしまうという問題が発生してしまうことがある。   By the way, when the electronic component P such as a bare chip is mounted, a flux is often used for bonding the substrate 14 and the electronic component (bare chip) P. In general, the flux has a weaker adhesive strength than the solder paste or adhesive, and the electronic component P is mounted on the substrate 14 due to weak static electricity, negative pressure remaining between the suction nozzle 18 and the electronic component P, or generation of friction. There is a case where the problem of taking it home without being placed may occur.

特許文献1においては、この問題に対し、正圧を制御する電磁弁の動作時間(動作タイミング)を制御することで吸着ノズルから吐き出される空気の圧力を調整するという技術を開示している。   Patent Document 1 discloses a technique for adjusting the pressure of the air discharged from the suction nozzle by controlling the operation time (operation timing) of the electromagnetic valve that controls the positive pressure.

特開2000−151192号公報JP 2000-151192 A

しかしながら、特許文献1において開示されている技術は、電磁弁が動作する非常に短い時間(タイミング)を制御しようとする試みであり、安定性に欠けるという問題があった。すなわち、ここで発生させようとする正圧は、基本的には、電子部品を基板上に載置するときにこれまで発生していた負圧を速やかに解消させようとするものであり、非常に微妙なものである。例えば、正圧を掛ける時間が適正時間よりわずかでも足りなかったり、時間は適正でもその付与タイミングが早過ぎたりすると負圧が残存し電子部品Pをそのまま持ち帰ってしまうという問題を解消することができない。逆に、正圧を掛ける時間が長過ぎたり、遅過ぎたりすると、強過ぎる正圧が発生して電子部品Pの搭載位置や搭載角度がずれたり、甚だしい場合には、既に搭載済みの電子部品Pが吹き飛ばされてしまうこともある。   However, the technique disclosed in Patent Document 1 is an attempt to control a very short time (timing) during which the solenoid valve operates, and has a problem of lack of stability. That is, the positive pressure to be generated here is basically intended to quickly eliminate the negative pressure that has been generated so far when the electronic component is placed on the substrate. It is a delicate thing. For example, if the time for applying positive pressure is slightly shorter than the appropriate time, or if the application timing is too early even if the time is appropriate, the problem that the negative pressure remains and the electronic component P is brought home cannot be solved. . On the other hand, if the time for applying positive pressure is too long or too slow, a positive pressure that is too strong is generated and the mounting position and mounting angle of the electronic component P are shifted. P may be blown away.

本発明は、このような従来の問題を解消するためになされたものであって、装置の構成が簡易で低コストであり、且つ不具合を発生することなく電子部品を適正な位置に確実に搭載可能とする電子部品の実装装置を提供することをその課題としている。   The present invention has been made to solve such a conventional problem, and the configuration of the apparatus is simple and low-cost, and the electronic component is securely mounted at an appropriate position without causing any trouble. It is an object of the present invention to provide an electronic component mounting apparatus that can be realized.

本発明は、電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、前記吸着ノズルの交換に当たって、当該交換しようとする吸着ノズルに対して吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段と、少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して、前記吸着ノズル離脱用の正圧よりも弱い正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、を備え、且つ、前記微弱正圧発生手段によって発生される前記微弱正圧が、前記吸着ノズルに対して常時印加されていることにより、上記課題を解決したものである。 The present invention relates to an electronic component mounting apparatus configured to suck and transport an electronic component by a suction nozzle and to be mounted at a predetermined position on a substrate. On the other hand, a positive pressure generating means capable of generating a positive pressure for separating the suction nozzle, and at least the electronic component sucked by the suction nozzle at the time of mounting the electronic component, A weak positive pressure generating means capable of generating a weak positive pressure , and the weak positive pressure generated by the weak positive pressure generating means is constantly applied to the suction nozzle , It solves the above problems.

また、本発明は、電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、前記電子部品の吸着・搬送に当たって、前記吸着ノズルに対して電子部品吸着用の負圧を発生可能な負圧発生手段と、少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して前記電子部品吸着用の負圧よりもその絶対値が弱い微弱正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、を備え、且つ、前記微弱正圧発生手段によって発生される前記微弱正圧が、前記吸着ノズルに対して常時印加されていることにより、同じく上記課題を解決したものである。 Further, the present invention provides an electronic component mounting apparatus configured to suck and transport an electronic component with a suction nozzle and attach it to a predetermined position on a substrate. On the other hand, a negative pressure generating means capable of generating a negative pressure for sucking an electronic component, and at least when mounting the electronic component, the electronic component sucked by the suction nozzle is less than the negative pressure for sucking the electronic component. A weak positive pressure generating means capable of generating a weak positive pressure whose absolute value is weak , and the weak positive pressure generated by the weak positive pressure generating means is constantly applied to the suction nozzle. This solves the same problem as above.

本発明においては、電子部品の装着の際に、電子部品の持ち帰りを防止するために最適な値に設定された「微弱正圧」を掛けるようにしている。この「微弱正圧」は、定性的には、「そのまま印加しても不具合が発生しないほどに弱い正圧」を意味している。より具体的には、この「微弱正圧」は、吸着ノズルの交換に当たって当該交換しようとする吸着ノズルに対して発生される吸着ノズル離脱用の正圧(MPaのオーダ)よりもはるかに低い正圧である。例えば、後述する実施形態では吸着ノズルに吸着した電子部品に対して発生される電子部品吸着用の圧力が70kPaの負圧に対して3kPaの正圧としている。前記微弱正圧は強すぎれば部品搭載精度を落とし、弱すぎれば部品を持ち帰ってしまうこととなるから、好ましくは1〜5kPaの正圧である。   In the present invention, when the electronic component is mounted, a “weak positive pressure” set to an optimum value is applied to prevent the electronic component from being taken home. This “weak positive pressure” qualitatively means “a positive pressure that is so weak that no problem occurs even if it is applied as it is”. More specifically, the “weak positive pressure” is a positive pressure that is much lower than the positive pressure for removing the suction nozzle (on the order of MPa) generated for the suction nozzle to be replaced when the suction nozzle is replaced. Pressure. For example, in an embodiment to be described later, the pressure for electronic component suction generated for the electronic component sucked by the suction nozzle is set to a positive pressure of 3 kPa with respect to a negative pressure of 70 kPa. If the weak positive pressure is too strong, the component mounting accuracy is lowered. If the weak positive pressure is too weak, the components are brought home. Therefore, the positive pressure is preferably 1 to 5 kPa.

そのため、制御自体を極めて簡素化することができ、また、たとえ簡素な制御系であっても、電子部品の持ち帰りの防止しながら強い正圧の掛け過ぎによる部品の吹き飛ばし等が発生するのを防止することができる。   Therefore, the control itself can be greatly simplified, and even with a simple control system, it is possible to prevent parts from being blown off due to excessive application of strong positive pressure while preventing the electronic parts from being taken home. can do.

また、本発明においては、前記微弱正圧発生手段によって発生される微弱正圧が、前記吸着ノズルに対して常時印加されている構成とされている。これは、制御系としては最も簡易な追加構成であるが、本発明に係る「微弱正圧」は、微弱であるが故に、「常時付与」の構成を採用することができ、後述するように、ノズル離脱用の正圧、あるいは電子部品吸着用の負圧と極めて合理的な共同作業を行わせることができる。 Further, the Te present invention odor, weak positive pressure generated by the weak positive pressure generating means, wherein that is configured to be constantly applied to the suction nozzle. This is the simplest additional configuration for the control system. However, since the “weak positive pressure” according to the present invention is weak, the configuration of “always applied” can be adopted, as will be described later. It is possible to perform a very rational joint work with the positive pressure for detaching the nozzle or the negative pressure for sucking the electronic components.

また、本発明の好ましい実施形態は、前記微弱正圧発生手段によって発生される圧力が電子部品の種類毎に可変とされることである。これにより、電子部品の種類の如何に関わらず常に適正な(短時間で持ち帰り等のない)電子部品の装着が可能となる。 Also, good preferable embodiment of the present invention, the pressure generated by the weak positive pressure generating means is to be varied for each type of electronic component. As a result, it is possible to always mount an appropriate electronic component (without taking it away in a short time) regardless of the type of the electronic component.

また、本発明の他の好ましい実施形態は、更に、前記吸着ノズルに現に発生しているエアの圧力値を検出する圧力センサを備え、該圧力センサの検出値に基づいて電子部品の持ち帰りを検出し、このときの圧力センサの検出値に基づいて同種の電子部品に付与される前記微弱正圧を学習補正するように構成することである。これにより、各電子部品に対して最適な「微弱な正圧」を付与できるようになる。   In addition, another preferred embodiment of the present invention further includes a pressure sensor that detects a pressure value of air that is actually generated in the suction nozzle, and detects the take-back of the electronic component based on the detected value of the pressure sensor. Then, the weak positive pressure applied to the same kind of electronic component is learned and corrected based on the detection value of the pressure sensor at this time. As a result, an optimal “weak positive pressure” can be applied to each electronic component.

なお、圧力センサを設置する場合には、このように適正な微弱正圧を学習補正する構成の他に、当該圧力センサの検出値に基づいて微弱正圧をリアルタイムで可変制御するように構成することもできる。これにより、個々の電子部品のばらつきの如何に関わらず、確実に最短且つ最適な載置制御を行うことができるようになる。   When a pressure sensor is installed, in addition to the configuration for learning and correcting an appropriate weak positive pressure in this way, the weak positive pressure is variably controlled in real time based on the detection value of the pressure sensor. You can also. As a result, the shortest and optimum placement control can be surely performed regardless of variations in individual electronic components.

本発明によれば、簡易且つ低コストな構成で、電子部品の持ち帰り等を発生させることなく、基板上の適切な位置に吸着した電子部品を確実に搭載することができる。   According to the present invention, an electronic component attracted to an appropriate position on a substrate can be reliably mounted with a simple and low-cost configuration without causing the electronic component to be taken home.

以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。   Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described in detail based on the drawings.

なお、本実施形態に係る実装装置における電子部品の実装に関する基本的な構成は、既に説明した従来構成と同様である。異なる部分は、図6を用いて説明したエアの供給制御に関する構成である。そのため、ここでは、図6に相当する図面を用いてこの異なる部分の構成を中心に説明することとし、重複説明は適宜省略する。なお、図6に記載した部分と同一又は類似する部分には、下2桁が同一の符号を付すようにしている。   Note that the basic configuration related to mounting electronic components in the mounting apparatus according to the present embodiment is the same as the conventional configuration already described. A different part is the structure regarding the air supply control demonstrated using FIG. Therefore, here, the configuration corresponding to this different part will be mainly described with reference to the drawing corresponding to FIG. Note that the same or similar parts as those shown in FIG. 6 are given the same reference numerals in the last two digits.

図1に本発明の第1実施形態の構成例を示す。   FIG. 1 shows a configuration example of the first embodiment of the present invention.

この第1実施形態では、ノズル交換の際に機能する正圧発生用のバルブ121、第1絞り弁を備えた第1エア回路(吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段)A101、部品吸着の際に機能する負圧発生用のバルブ122を備えた第2エア回路(負圧発生手段)A102のほかに、微弱正圧発生用の第2絞り弁130を備えた第3エア回路(微弱正圧発生手段)A103を備える。   In the first embodiment, a positive pressure generating valve 121 that functions when the nozzle is replaced, and a first air circuit having a first throttle valve (a positive pressure generating means capable of generating a positive pressure for separating the suction nozzle) In addition to A101, a second air circuit (negative pressure generating means) A102 having a negative pressure generating valve 122 that functions during component adsorption, a third throttle valve 130 having a weak positive pressure generating second throttle valve 130 is provided. An air circuit (weak positive pressure generating means) A103 is provided.

前記正圧発生用のバルブ121は、エア供給源120から供給されるエアの第1エア回路A101への流入のオン−オフを司る2値バルブである。前記第1絞り弁123は、具体的には、大流量を許容する(絞りの程度が小さめな)を固定オリフィスである。前記負圧発生用のバルブ122は、エア供給源120から供給される圧縮空気を図示せぬノズルを介して排出路122Aから放出させることによって第2エア回路A102に負圧をオン−オフ的に発生させるいわゆるエジェクタである。前記微弱正圧発生用の第2絞り弁130は、エア供給源120から供給されるエアの圧力(或いは流量)を、電子部品装着の際に付与する正圧として最適な微小正圧にまで減少させるためのもので、具体的には小流量のみを許容する(絞りの程度が大きめな)固定オリフィスである。これにより、第1エア回路A101に発生する吸着ノズル離脱用の正圧より弱い「微弱正圧」が発生される。なお、この「微弱正圧」は、この実施形態では例えば3kPaに設定されており、第2エア回路A102に発生される電子部品吸着用の負圧(例えば70kPa)よりもその絶対値がはるかに小さい。   The positive pressure generating valve 121 is a binary valve that controls on / off of the flow of air supplied from the air supply source 120 into the first air circuit A101. Specifically, the first throttle valve 123 is a fixed orifice that allows a large flow rate (the degree of throttling is small). The negative pressure generating valve 122 discharges the compressed air supplied from the air supply source 120 from the discharge passage 122A through a nozzle (not shown) so that the negative pressure is turned on and off in the second air circuit A102. It is a so-called ejector to be generated. The second throttle valve 130 for generating a weak positive pressure reduces the pressure (or flow rate) of the air supplied from the air supply source 120 to a fine positive pressure that is optimal as a positive pressure applied when an electronic component is mounted. Specifically, it is a fixed orifice that allows only a small flow rate (a large degree of throttling). As a result, a “weak positive pressure” that is weaker than the positive pressure for separating the suction nozzle generated in the first air circuit A101 is generated. In this embodiment, the “weak positive pressure” is set to 3 kPa, for example, and its absolute value is far greater than the negative pressure (for example, 70 kPa) for sucking electronic components generated in the second air circuit A102. small.

第1〜第3エア回路A101、A102、A103は、それぞれ分岐部125から分岐し、合流部126において合流した状態で吸着ノズル118に接続されている。このうち、第3エア回路A103は、オン−オフを司るバルブを有しておらず、第1、第2エア回路A101、102と並列に両エア回路A101、A102をバイパスするようにして、常時微弱正圧を発生する態様で付設されている。   The first to third air circuits A101, A102, A103 are each branched from the branching portion 125 and connected to the suction nozzle 118 in a state of being joined at the joining portion 126. Of these, the third air circuit A103 does not have a valve for controlling on / off, and always bypasses both the air circuits A101 and A102 in parallel with the first and second air circuits A101 and 102. It is attached in such a manner as to generate a weak positive pressure.

次に、この第1実施形態の作用を説明する。   Next, the operation of the first embodiment will be described.

図1の(1)を参照して、通常時、すなわち電子部品Pの吸着を開始する前の段階においては、エア供給源120から送り出されたエアは、正圧発生用のバルブ121と負圧発生用のバルブ122によってオフ(遮断)状態に維持されるため、第1エア回路A101及び第2エア回路A102にはエアは流れてこない(正圧も負圧も発生しない)。   Referring to (1) of FIG. 1, at the normal time, that is, before the electronic component P starts to be sucked, the air sent from the air supply source 120 is supplied with the positive pressure generating valve 121 and the negative pressure. Since the generating valve 122 maintains the off (shut off) state, air does not flow through the first air circuit A101 and the second air circuit A102 (no positive or negative pressure is generated).

一方、エア供給源120から分岐部125を介して微弱正圧発生用の第2絞り弁130に到達したエアは、ここで大きく減圧され(あるいは流量を絞られ)、第3エア回路A103側に常時流入してくる。従って、通常時においては、吸着ノズル118に対してこの微弱正圧が常に印加される状態が形成されることになる。この微弱正圧は、一定圧で常時発生している構成であることから、回路が簡易で低コストであり、後述するように電子部品搭載時の負圧との切り換えを安定的に行うことができる。更にはノズルの先端に細かなちり等が付着するのを未然に防止する機能を果たすことも期待できる。   On the other hand, the air that has reached the second throttle valve 130 for generating a weak positive pressure from the air supply source 120 via the branching portion 125 is greatly reduced in pressure (or the flow rate thereof is reduced), and is moved to the third air circuit A103 side. It always flows in. Therefore, in a normal state, a state in which this weak positive pressure is always applied to the suction nozzle 118 is formed. Since this weak positive pressure is always generated at a constant pressure, the circuit is simple and low-cost, and switching to negative pressure when mounting electronic components can be performed stably as described later. it can. Furthermore, it can also be expected to fulfill the function of preventing fine dust and the like from adhering to the tip of the nozzle.

図1の(2)を参照して、電子部品の吸着時には、正圧発生用のバルブ121がオフ、負圧発生用のバルブ122がオンの状態とされる。この結果、エア供給源120から供給されたエアは排出路122Aから排出されると共に、第2エア回路A102に負圧が発生し、吸着ノズル118での電子部品の吸着が可能となる。なお、第3エア回路103には、先の(1)の例と同様に微弱正圧が発生されるが、この正圧の絶対値(例えば3kPa)が第2エア回路A102に発生する負圧(例えば70kPaの負圧)の絶対値よりもはるかに小さく設定されている。そのため、結果として第3エア回路A103側に流出したエアは、第2エア回路A102を介して負圧発生用のバルブ122側に引き込まれる。従って、吸着ノズル118には、電子部品を吸着するのに十分な負圧が発生する。   Referring to (2) of FIG. 1, when the electronic component is attracted, the positive pressure generating valve 121 is turned off and the negative pressure generating valve 122 is turned on. As a result, the air supplied from the air supply source 120 is discharged from the discharge path 122A, and a negative pressure is generated in the second air circuit A102, so that the electronic components can be sucked by the suction nozzle 118. Note that a weak positive pressure is generated in the third air circuit 103 as in the example of (1) above, but the absolute value of this positive pressure (for example, 3 kPa) is generated in the second air circuit A102. It is set much smaller than the absolute value (for example, a negative pressure of 70 kPa). Therefore, as a result, the air flowing out to the third air circuit A103 side is drawn into the negative pressure generating valve 122 side via the second air circuit A102. Therefore, the suction nozzle 118 generates a negative pressure sufficient to suck the electronic component.

図1の(3)を参照して、この状態から、電子部品Pを基板上の所定の位置に載置するときは、正圧発生用のバルブ121、負圧発生用のバルブ122を共にオフとする。これにより、自動的に第3エア回路A102の微弱正圧のみが残存する状態に切換られ、吸着ノズル118から電子部品Pを円滑に離脱させることができる。この切換によって発生・残存する正圧は「微弱」なものであるため、ばらつきがあっても確実に負圧が零になる時間が経過した後に吸着ノズル118を上昇させるように設定しておけば、「正圧の供給開始及び停止」のタイミングが不適で電子部品をそのまま持ち帰ってしまったりする問題が生じることはなく、また、正圧が強過ぎてこれまで吸着していた電子部品や既に搭載済みの電子部品が吹き飛ばされてしまうような不具合が発生することもない。   Referring to (3) of FIG. 1, when the electronic component P is placed at a predetermined position on the substrate from this state, both the positive pressure generating valve 121 and the negative pressure generating valve 122 are turned off. And Thereby, the state is automatically switched to a state where only the weak positive pressure of the third air circuit A102 remains, and the electronic component P can be smoothly detached from the suction nozzle 118. The positive pressure generated / remaining due to this switching is “weak”. Therefore, even if there is a variation, it is necessary to set the suction nozzle 118 to rise after a certain period of time until the negative pressure reaches zero. , “Positive pressure supply start and stop” timing is not suitable, and there will be no problem of bringing back the electronic parts as they are, and the positive pressure is too strong and the electronic parts that have been adsorbed so far There is no problem that a used electronic component is blown away.

図1の(4)を参照して、吸着ノズルの交換時には、正圧発生用のバルブ121がオン、負圧発生用のバルブ122がオフとされる状態が形成される。これにより、第1エア回路A101に発生したノズル離脱用の強めの正圧と、第3エア回路A103に発生した微弱正圧とが合流した形で吸着ノズル118に印加され、吸着ノズルの離脱作業が円滑に行われる。   Referring to (4) of FIG. 1, when the suction nozzle is replaced, a state is formed in which the positive pressure generating valve 121 is turned on and the negative pressure generating valve 122 is turned off. Thereby, the strong positive pressure for nozzle separation generated in the first air circuit A101 and the weak positive pressure generated in the third air circuit A103 are applied to the suction nozzle 118 in a merged state, and the suction nozzle is removed. Is done smoothly.

図2に、本発明の参考例を示す。 FIG. 2 shows a reference example of the present invention.

この参考例では、図1の実施形態の第3エア回路A203に「微弱正圧」の付与をオン−オフすることのできる微弱正圧発生用のバルブ238を付設したものである。これにより、第3エア回路A203に常時微弱正圧が流れ続けるのを防止することができる。制御としては、負圧発生用のバルブ222をオフからオンに切り換える前から微弱正圧発生用のバルブ238をオンとし、電子部品が確実に載置されたと推定される時期にオフとするようにすれば、図2の(2)、(3)において図1(2)、(3)で得られる作用と実質的に同一の作用を得ることができる。 In this reference example , a valve 238 for generating weak positive pressure capable of turning on and off the application of “weak positive pressure” is added to the third air circuit A203 of the embodiment of FIG. Thereby, it is possible to prevent the weak positive pressure from constantly flowing through the third air circuit A203. The control is such that the weak positive pressure generating valve 238 is turned on before the negative pressure generating valve 222 is switched from off to on, and is turned off at the time when it is estimated that the electronic component is surely placed. 2 (2) and (3) in FIG. 2 can obtain substantially the same action as that obtained in FIGS. 1 (2) and (3).

なお、微弱正圧発生用のバルブ238は、この参考例では図2の(4)のノズル交換時にはオフとされるようにしているが、オンとするように構成しても良い。その他の構成・作用については先の実施形態と基本的に同様であるため、同一又は類似する部分に、図2中で下2桁が図1と同一の符号を付すにとどめ、重複説明を省略する。 The weak positive pressure generating valve 238 is turned off when the nozzle is replaced in FIG. 2 (4) in this reference example , but it may be turned on. Since other configurations and operations are basically the same as those of the previous embodiment, the same or similar parts are denoted by the same reference numerals as those in FIG. To do.

この参考例では、通常時において吸着ノズルから常時微弱なエアが流れ出ることがないため、エネルギーロスの低減という観点で優れる。 This reference example is excellent in terms of reducing energy loss because weak air does not always flow out of the suction nozzle at normal times.

図3に、本発明の第実施形態の例を示す。 FIG. 3 shows an example of the second embodiment of the present invention.

この第実施形態は、第1、第2の2つのエア回路A302、A305のみを有する。但し、このうちの第1エア回路A305は、固定絞り弁の代わりに絞りの程度を調整可能な電気制御減圧弁350を備え、吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段と、吸着ノズル離脱用の正圧よりも弱い正圧を発生可能な微弱正圧発生手段を兼ねている。すなわち、先の実施形態や参考例における第1エア回路A101、A201の機能と、第3エア回路A103、A203の機能とを兼ねたものとなっている。また、この第実施形態では、更に、第1エア回路A305に圧力センサ351が設けられ、該第1エア回路A305中のエアの実際の圧力を検出可能である。 This second embodiment has only the first and second two air circuits A302 and A305. However, the first air circuit A305 is provided with an electric control pressure reducing valve 350 capable of adjusting the degree of throttling instead of the fixed throttle valve, and a positive pressure generating means capable of generating a positive pressure for removing the suction nozzle; It also serves as a weak positive pressure generating means capable of generating a positive pressure weaker than the positive pressure for separating the suction nozzle. That is, the functions of the first air circuits A101 and A201 and the functions of the third air circuits A103 and A203 in the previous embodiments and reference examples are combined. In the second embodiment, a pressure sensor 351 is further provided in the first air circuit A305, and the actual pressure of the air in the first air circuit A305 can be detected.

この実施形態では、通常時は、図3の(1)で示される制御態様とされ、電子部品Pの吸着時は図3の(2)で示される制御態様とされ、また、搭載時は図3の(3)で示される制御態様とされる。本実施形態では、圧力センサ351が組み込まれているため、搭載時のより具体的な制御の態様としては、例えば次の2つが考えられる。   In this embodiment, the control mode shown in (1) of FIG. 3 is normally used, the control mode shown in (2) of FIG. 3 is used when the electronic component P is attracted, and the control mode shown in FIG. The control mode shown in 3 (3) is used. In the present embodiment, since the pressure sensor 351 is incorporated, for example, the following two modes can be considered as more specific control modes at the time of mounting.

第1の制御態様は、圧力センサ351の検出値に基づいて電子部品Pの持ち帰り(吸着ノズル318が上昇工程に入っているにも拘わらず負圧が解消しない状態)を検出し、このときの圧力センサ351の検出値に基づいて以降の同種の電子部品Pに付与される微弱正圧の値を学習補正するというものである。この学習補正は、吸着ノズルの種類、及び(又は)電子部品の種類毎に行われる。なお、圧力センサ351の検出値が正になる時期が早過ぎるときは、付与した微弱正圧が強過ぎたということであるから、より弱くするように学習補正する。因みに、持ち帰りが検出された場合は、吸着ノズル318は、もう一度載置すべき箇所に戻され、再度「微弱正圧」が付与されることにより、再載置が行われる。   The first control mode detects the return of the electronic component P based on the detection value of the pressure sensor 351 (a state in which the negative pressure is not eliminated even though the suction nozzle 318 is in the ascending process). Based on the detection value of the pressure sensor 351, the value of the weak positive pressure applied to the subsequent electronic component P of the same kind is learned and corrected. This learning correction is performed for each type of suction nozzle and / or each type of electronic component. In addition, when the time when the detection value of the pressure sensor 351 becomes positive is too early, the applied weak positive pressure is too strong, so learning correction is made so as to make it weaker. Incidentally, when the take-out is detected, the suction nozzle 318 is returned to the place where it should be placed again, and is again placed by applying “weak positive pressure” again.

第2の制御態様は、圧力センサ351の検出値に基づいて電子部品Pに現に付与される微弱正圧をリアルタイムで可変制御するというものである。圧力センサ351の検出値が負の値を示しているというのは、換言すると、吸着ノズル318の先端に未だ電子部品Pが吸着されている(離反していない)状態であるということである。そこで、この場合には「微弱正圧」の付与を続けるが、その際、圧力センサ351の検出値が「零」に近づくにしたがってより弱い「微弱正圧」を付与するようにする。   The second control mode is to variably control the weak positive pressure that is actually applied to the electronic component P based on the detection value of the pressure sensor 351 in real time. That the detected value of the pressure sensor 351 indicates a negative value means that the electronic component P is still sucked (not separated) at the tip of the suction nozzle 318. Therefore, in this case, the “weak positive pressure” is continuously applied. At this time, the weaker “weak positive pressure” is applied as the detection value of the pressure sensor 351 approaches “zero”.

本発明では、もともと電子部品に「微弱正圧」を付与するようにしているため、多少時間的に長めに「微弱正圧」が付与されても特に問題がない(正圧付与の停止タイミングの厳密な設定が要求されない)。しかし、このように圧力センサ351の検出値が零に近づくにつれて若干強めの値からより弱い値に変化する「微弱正圧」を付与する構成とすることにより、不具合を発生させることなく、電子部品Pの種類や各種ばらつきの如何に関わらず、最短の時間で、残存負圧を零にすることが可能となる。   In the present invention, since the “weak positive pressure” is originally applied to the electronic component, there is no particular problem even if the “weak positive pressure” is applied a little longer in time (the stop timing of the positive pressure application). Strict configuration is not required). However, by adopting a configuration in which a “weak positive pressure” that changes from a slightly stronger value to a weaker value as the detection value of the pressure sensor 351 approaches zero in this way is provided without causing a malfunction, Regardless of the type of P and various variations, the residual negative pressure can be made zero in the shortest time.

なお、第1、第2のいずれの制御態様の場合も、吸着ノズルの交換時には、大きな正圧が付与されるようになっており、ノズル交換の補助が行われる(図3(4)参照)。   In both the first and second control modes, a large positive pressure is applied when the suction nozzle is replaced, and the nozzle replacement is assisted (see FIG. 3 (4)). .

その他の構成・作用については先の構成例と基本的に同様であるため、同一又は類似する部分に、図3中で下2桁が図1又は図2と同一の符号を付すにとどめ、重複説明を省略する。 Since the other configurations and actions are basically the same as the previous configuration example , the same or similar parts are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 or FIG. Description is omitted.

なお、圧力センサの検出値を利用した微弱正圧の学習補正や、リアルタイム補正は、必ずしも行う必要はなく、単に該検出値を吸着ノズル上昇の指標として用いるだけでも良い。更には、圧力センサ自体も、必ずしも必須な要素ではなく、電気制御減圧弁によるフィードフォワードの減圧制御のみを実施するものであっても良い。   Note that the weak positive pressure learning correction using the detection value of the pressure sensor and the real-time correction are not necessarily performed, and the detection value may be simply used as an index for raising the suction nozzle. Furthermore, the pressure sensor itself is not necessarily an essential element, and only the feedforward pressure reduction control by the electric control pressure reducing valve may be performed.

電子部品の実装装置に広く適用可能である。   Widely applicable to electronic component mounting apparatuses.

本発明の第1実施形態の構成例の要部を示す模式的エア制御回路図Schematic air control circuit diagram showing the main part of the configuration example of the first embodiment of the present invention 本発明の参考例の要部を示す模式的エア制御回路図Schematic air control circuit diagram showing the main part of a reference example of the present invention 本発明の第実施形態の構成例の要部を示す模式的エア制御回路図Schematic air control circuit diagram showing the main part of the configuration example of the second embodiment of the present invention 従来(及び本発明の実施形態)の電子部品の実装装置の要部概略構成図Main part schematic block diagram of the conventional (and embodiment of this invention) electronic component mounting apparatus 同吸着ノズル付近の構成例を示す断面図Sectional view showing a configuration example near the suction nozzle 従来のエア制御の構成例を示す図1相当の模式的エア制御回路図1 is a schematic air control circuit diagram corresponding to FIG.

符号の説明Explanation of symbols

A101、A201…第1エア回路(ノズル交換用の正圧発生手段)
A102、A202、A302…第2エア回路(負圧発生手段)
A103、A203…第3エア回路(微弱正圧発生手段)
A305…第1エア回路(ノズル交換用の正圧及び微弱正圧発生手段)
118…吸着ノズル
120…エア供給源
121…正圧発生用のバルブ
122…負圧発生用のバルブ
123…第1絞り弁
130…第2絞り弁
138…微弱正圧発生用のバルブ
350…電気制御減圧弁
351…圧力センサ
A101, A201 ... first air circuit (positive pressure generating means for nozzle replacement)
A102, A202, A302 ... second air circuit (negative pressure generating means)
A103, A203 ... Third air circuit (weak positive pressure generating means)
A305: first air circuit (positive pressure for nozzle replacement and weak positive pressure generating means)
118 ... Adsorption nozzle 120 ... Air supply source 121 ... Valve for generating positive pressure 122 ... Valve for generating negative pressure 123 ... First throttle valve 130 ... Second throttle valve 138 ... Valve for generating weak positive pressure 350 ... Electric control Pressure reducing valve 351 ... Pressure sensor

Claims (5)

電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、
前記吸着ノズルの交換に当たって、当該交換しようとする吸着ノズルに対して吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段と、
少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して、前記吸着ノズル離脱用の正圧よりも弱い正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、
を備え、且つ、
前記微弱正圧発生手段によって発生される前記微弱正圧が、前記吸着ノズルに対して常時印加されていることを特徴とする電子部品の実装装置。
In an electronic component mounting apparatus configured to suck and transport electronic components with a suction nozzle and to be mounted at a predetermined position on a substrate,
When replacing the suction nozzle, a positive pressure generating means capable of generating a positive pressure for separating the suction nozzle with respect to the suction nozzle to be replaced;
A weak positive pressure generating means capable of generating a positive pressure weaker than the positive pressure for separating the suction nozzle with respect to the electronic component sucked by the suction nozzle at least when the electronic component is mounted;
The equipped, and,
The electronic component mounting apparatus , wherein the weak positive pressure generated by the weak positive pressure generating means is constantly applied to the suction nozzle .
電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、
前記電子部品の吸着・搬送に当たって、前記吸着ノズルに対して電子部品吸着用の負圧を発生可能な負圧発生手段と、
少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して前記電子部品吸着用の負圧よりもその絶対値が弱い微弱正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、
を備え、且つ、
前記微弱正圧発生手段によって発生される前記微弱正圧が、前記吸着ノズルに対して常時印加されていることを特徴とする電子部品の実装装置。
In an electronic component mounting apparatus configured to suck and transport electronic components with a suction nozzle and to be mounted at a predetermined position on a substrate,
A negative pressure generating means capable of generating a negative pressure for sucking an electronic component with respect to the suction nozzle when sucking and conveying the electronic component;
At least when the electronic component is mounted, a weak positive pressure generating means capable of generating a weak positive pressure whose absolute value is weaker than the negative pressure for the electronic component suction with respect to the electronic component sucked by the suction nozzle;
The equipped, and,
The electronic component mounting apparatus , wherein the weak positive pressure generated by the weak positive pressure generating means is constantly applied to the suction nozzle .
請求項1又は2において、
前記微弱正圧発生手段によって発生される前記微弱正圧が、前記吸着ノズルの種類及び電子部品の種類の少なくとも一方に依存して可変とされた
ことを特徴とする電子部品の実装装置。
In claim 1 or 2 ,
The electronic component mounting apparatus, wherein the weak positive pressure generated by the weak positive pressure generating means is variable depending on at least one of the type of the suction nozzle and the type of electronic component.
請求項1〜のいずれかにおいて、更に、
前記吸着ノズルに現に印加されているエアの圧力値を検出する圧力センサを備え、
該圧力センサの検出値に基づいて電子部品の持ち帰りを検出し、このときの圧力センサの検出値に基づいて同種の前記電子部品に対して印加される前記微弱正圧を学習補正する
ことを特徴とする電子部品の実装装置。
In any one of Claims 1-3 , Furthermore,
A pressure sensor for detecting the pressure value of the air currently applied to the suction nozzle;
The take-out of the electronic component is detected based on the detection value of the pressure sensor, and the weak positive pressure applied to the same kind of electronic component is learned and corrected based on the detection value of the pressure sensor at this time. An electronic component mounting apparatus.
請求項1〜のいずれかにおいて、更に、
前記吸着ノズルに現に印加されているエアの圧力値を検出する圧力センサを備え、
該圧力センサの検出値に基づいて前記電子部品に現に印加される前記微弱正圧をリアルタイムで可変制御する
ことを特徴とする電子部品の実装装置。
In any one of Claims 1-3 , Furthermore,
A pressure sensor for detecting the pressure value of the air currently applied to the suction nozzle;
An electronic component mounting apparatus, wherein the weak positive pressure that is actually applied to the electronic component is variably controlled in real time based on a detection value of the pressure sensor.
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