JP4799982B2 - Electromagnetic wave shielding material roll body and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、電磁波シールド材及びその製造方法に関し、さらに詳細には、主に大型建築物の窓ガラスや自動車の窓ガラスなどの屋外側に貼り付けて使用するための連続ロールシート状態で供給される電磁波シールド材ロール体及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an electromagnetic wave shielding material and a method for producing the same, and more specifically, is supplied in a continuous roll sheet state for use mainly by sticking to an outdoor side such as a window glass of a large building or a window glass of an automobile. The present invention relates to an electromagnetic shielding material roll body and a manufacturing method thereof.

近年、各種の電子機器から発生する電磁波が人体に悪影響を与えたり、周囲の電子機器を誤動作させることが問題とされるようになり、さらには、無線LANの普及により建物内の通信データが建物の外部に漏洩して傍受されるのを防止する必要が生じており、電磁波シールドの対策がますます重要視されつつある。   In recent years, electromagnetic waves generated from various electronic devices have a negative effect on the human body and malfunction of surrounding electronic devices has become a problem. Furthermore, with the spread of wireless LAN, communication data in buildings has been Therefore, it is necessary to prevent leakage and interception, and countermeasures against electromagnetic wave shielding are becoming increasingly important.

従来、電子機器から発生する電磁波が外部に漏洩して人体への悪影響を防ぐという要求に対して、種々の透明導電性フィルムおよび電磁波シールドフィルムが開発されている。公知の電磁波シールド材は、大きくは、透明導電膜による電磁波シールド材と、導電性の金属メッシュによる電磁波シールド材の2つに区分される。このうち、透明導電膜による電磁波シールド材は、金属メッシュによる電磁波シールド材に比べて透明性に優れる反面、表面抵抗率が大きく、電磁波シールド性能に劣る。このため高度な電磁波シールド性能が必要とされる用途では、金属メッシュによる電磁波シールド材が好ましい。   Conventionally, various transparent conductive films and electromagnetic wave shielding films have been developed in response to the requirement that electromagnetic waves generated from electronic devices leak to the outside and prevent adverse effects on the human body. Known electromagnetic shielding materials are roughly classified into two types: an electromagnetic shielding material made of a transparent conductive film and an electromagnetic shielding material made of a conductive metal mesh. Among these, the electromagnetic shielding material using a transparent conductive film is superior in transparency to the electromagnetic shielding material using a metal mesh, but has a large surface resistivity and inferior electromagnetic shielding performance. For this reason, the electromagnetic shielding material by a metal mesh is preferable in the use where high electromagnetic shielding performance is required.

さらに、導電性の金属メッシュによる電磁波シールド材の作製方法としては、下記の(1)〜(3)に示す方法が挙げられる。
(1)透明基材に金属箔を貼り合わせ、または透明基材に金属の薄膜を蒸着した後、フォトリソグラフ法により導電性金属パターンを形成するエッチング法(例えば、特許文献1参照)。
(2)透明基材の上に導電性の金属ペーストをメッシュパターンに印刷した後にメッキして導電性金属パターンを形成する印刷−メッキ法(例えば、特許文献2参照)。
(3)細線パターンを写真製法により現像された金属銀で形成した後、この金属銀を物理現像および/またはメッキすることにより導電性金属パターンを形成する写真銀−メッキ法(例えば、特許文献3および特許文献4参照)。
Furthermore, as a method for producing an electromagnetic wave shielding material using a conductive metal mesh, the following methods (1) to (3) are exemplified.
(1) An etching method in which a metal foil is bonded to a transparent substrate, or a metal thin film is deposited on the transparent substrate, and then a conductive metal pattern is formed by a photolithographic method (see, for example, Patent Document 1).
(2) A printing-plating method in which a conductive metal paste is printed on a transparent substrate and then plated to form a conductive metal pattern (see, for example, Patent Document 2).
(3) A photographic silver-plating method for forming a conductive metal pattern by forming a fine line pattern with metallic silver developed by a photographic method and then physically developing and / or plating the metallic silver (for example, Patent Document 3) And Patent Document 4).

そして、写真製法により金属銀でメッシュパターンを形成する方法には、下記の(a)、(b)に示す2通りがある。   Then, there are two methods shown in the following (a) and (b) for forming a mesh pattern with metallic silver by a photographic manufacturing method.

(a)支持体上に設けられた銀塩を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、さらに前記金属銀部を物理現像及び/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させた導電性金属部を形成する方法(例えば、特許文献3参照)。この方法は、露光マスクに覆われて露光されなかった部分には現像銀は発現せず、露光マスクに覆われていなくて露光された部分に現像銀が発現する、したがって、露光マスクと比較して反転した形に現像銀が表れるネガ型の露光・現像法である。 (A) A silver salt-containing layer containing a silver salt provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver part and a light-transmitting part, and the metallic silver part is further subjected to physical development and A method of forming a conductive metal part in which conductive metal particles are supported on the metal silver part by plating (see, for example, Patent Document 3). In this method, developed silver does not appear in the portion that is covered with the exposure mask and is not exposed, and developed silver appears in the portion that is not covered with the exposure mask and exposed. Therefore, compared with the exposure mask. This is a negative exposure / development method in which developed silver appears in an inverted form.

(b)透明基材上に、物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順で有する感光材料を露光し、物理現像核上に任意の細線パターンで金属銀を析出させ、次いで前記物理現像核上に設けられた層を除去した後、前記物理現像された金属銀を触媒核として金属をめっきする方法(例えば、特許文献4参照)。この方法は、露光マスクに覆われて露光されなかった部分には現像銀が発現し、露光マスクに覆われていなくて露光された部分には現像銀が発現しない、したがって、露光マスクと同じ形に現像銀が表れるポジ型の露光・現像法(銀錯塩拡散転写法、以降DTR法と称す。)である。 (B) A light-sensitive material having a physical development nucleus layer and a silver halide emulsion layer in this order is exposed on a transparent substrate, and metallic silver is deposited on the physical development nucleus in an arbitrary fine line pattern. A method of plating a metal using the physically developed metallic silver as a catalyst nucleus after removing a layer provided on the development nucleus (see, for example, Patent Document 4). In this method, developed silver appears in a portion which is covered with the exposure mask and is not exposed, and developed silver does not appear in a portion which is not covered with the exposure mask and exposed. Is a positive exposure / development method (silver complex diffusion transfer method, hereinafter referred to as DTR method).

また、特許文献5には、建築物の窓ガラス、列車や自動車の窓ガラスなどに貼り付ける電磁波シールド材に関して、フォトレジスト法を用いて、基体に接着剤層を介して積層した金属箔をエッチングすることによりメッシュを作製する方法が記載されている。
特開平10−075087号公報 特開平11−170420号公報 特開2004−221564号公報 国際公開WO2004/007810号パンフレット 特開2002−190692号公報
In addition, Patent Document 5 describes etching of a metal foil laminated on a substrate via an adhesive layer using a photoresist method with respect to an electromagnetic wave shielding material to be attached to a window glass of a building, a window glass of a train or an automobile. A method for producing a mesh is described.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-075087 JP 11-170420 A JP 2004-221564 A International Publication WO2004 / 007810 Pamphlet JP 2002-190692 A

上記(1)のエッチング法においては、エッチングにより細線部分となるほんのわずかな部分のみを残し、それ以外のほとんど大部分の金属を溶解除去するのは資源を節減するという観点から問題である。また、市販されている金属箔の最大規格寸法幅が約600mm以下であるから、金属箔を貼り合わせる方法ではこれ以上の寸法幅が広い電磁波シールド材は製造できない。また、金属の薄膜を蒸着する場合は、膨大な設備費が必要となることから簡単に製造を行うことができないという問題があった。
上記(2)の印刷−メッキ法においては、メッシュパターンの線幅を30μm以下にするのが困難であり、また、透明基材とメッシュパターンの密着性が悪く剥がれ易いという問題があった。
In the etching method (1), it is a problem from the viewpoint of saving resources that only a very small portion which becomes a thin line portion is left by etching and most other metals are dissolved and removed. In addition, since the maximum standard dimension width of a commercially available metal foil is about 600 mm or less, an electromagnetic wave shielding material having a wider dimension width cannot be produced by the method of bonding the metal foil. In addition, when a metal thin film is deposited, there is a problem that it cannot be easily manufactured because a huge equipment cost is required.
In the printing-plating method (2), it is difficult to reduce the line width of the mesh pattern to 30 μm or less, and there is a problem in that the adhesiveness between the transparent substrate and the mesh pattern is poor and is easily peeled off.

上記(3)の写真銀−メッキ法においては、高い電磁波シールド性が得られ、また、透明基材の寸法に制約を受けることが無く、ロールtoロールで製造でき非常に生産性が高いことから好ましい製造方法である。   In the photographic silver-plating method of (3) above, high electromagnetic shielding properties are obtained, and there is no restriction on the dimensions of the transparent base material, so that it can be produced with a roll-to-roll and the productivity is very high. This is a preferred production method.

ところで、従来の電磁波シールド材の用途としては、PDP(プラズマディスプレイパネル)から発生する電磁波をシールドするために、PDPの光学フィルターの中に組み込まれる電磁波シールドフィルムが主要なものである。このような比較的に小型の機器を対象としたものでは、一台当たりに使用する電磁波シールドフィルムの面積は狭くなってしまう。また、PDP用等の電磁波シールドフィルムは、PDPの画面サイズのメッシュパターンをロールシート面上に一定間隔で間欠的に不連続に製造しており、ロールシート面上に切れ目のない連続したメッシュパターンからなる電磁波シールド材を製造することは知られていなかった。   By the way, as an application of the conventional electromagnetic wave shielding material, an electromagnetic wave shielding film incorporated in an optical filter of the PDP in order to shield an electromagnetic wave generated from a PDP (plasma display panel) is a main one. In such a comparatively small device, the area of the electromagnetic shielding film used per unit becomes narrow. In addition, an electromagnetic shielding film for PDP, etc., is produced by discontinuously manufacturing a PDP screen size mesh pattern at regular intervals on the roll sheet surface, and a continuous mesh pattern without any breaks on the roll sheet surface. It has not been known to produce an electromagnetic shielding material comprising:

また、特許文献5には、金属箔メッシュによる建築物の窓ガラス、列車や自動車の窓ガラスなどに貼り付けて用いる電磁波シールド材が開示されている。この文献には、フォトレジスト法を用いて金属箔をエッチングすることにより金属箔メッシュを作製するという一般的な技術が開示されているが、切れ目のない長尺の連続メッシュパターンを製造することに係わる技術に関しては、何ら開示も示唆もされていない。   Patent Document 5 discloses an electromagnetic wave shielding material used by being attached to a window glass of a building made of metal foil mesh, a window glass of a train or an automobile, and the like. This document discloses a general technique of producing a metal foil mesh by etching a metal foil using a photoresist method. There is no disclosure or suggestion regarding the technology involved.

大型建築物では、窓ガラスを保持する機構を窓ガラスの屋内側に備えている場合があり、このような場合には屋外側から窓ガラスに電磁波シールド材を貼り付ける必要がある。このため、耐候性があって大型建築物の窓ガラスなどの屋外側に貼り付けて使用するための切れ目のない連続メッシュパターンが形成された連続ロールシート状態で供給される電磁波シールド材を安価に提供できる技術が求められていた。   In a large building, a mechanism for holding a window glass may be provided on the indoor side of the window glass. In such a case, it is necessary to attach an electromagnetic wave shielding material to the window glass from the outdoor side. For this reason, the electromagnetic shielding material supplied in a continuous roll sheet state in which a continuous mesh pattern without a break is formed to be used on the outdoor side such as a window glass of a large building, which is weather resistant, is inexpensive. There was a need for technology that could be provided.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、従来の製造方法では対応できない、耐候性があって大型建築物の窓ガラスなどの屋外側に貼り付けて使用するための連続ロールシート状態で供給される電磁波シールド材及びその製造方法を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a continuous roll sheet for use by being attached to the outdoor side such as a window glass of a large building that has weather resistance and cannot be handled by a conventional manufacturing method. It is an object of the present invention to provide an electromagnetic wave shielding material and a manufacturing method thereof.

前記課題を解決するため、本発明は、長尺の透明基材の少なくとも一方の面に、前記透明基材の長手方向に線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンが設けられ、ロールの状態で供給される電磁波シールド材ロール体であって、前記金属メッシュパターンは、現像銀が発現する写真製法により生成されてなる、前記透明基材の送りが連続送りであり、前記透明基材への光の照射が断続することなく連続して露光することができ、かつ、線が切れ目なく連続したメッシュパターンを形成できる連続露光装置を用いて露光マスクをとおして露光し、次いで現像することにより形成された現像銀メッシュパターンと、その上に、ロールtoロールで無電解メッキを連続して行う装置を用いて形成された、無電解銅メッキ層及び/又は無電解ニッケルメッキ層からなる金属メッキ層とを有し、かつ前記金属メッシュパターンは、前記透明基材の長手方向に線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンであって、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層が埋め込まれていることを特徴とする電磁波シールド材ロール体を提供する。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a metal mesh pattern in which a continuous line is continuous in the longitudinal direction of the transparent substrate on at least one surface of the long transparent substrate, and is supplied in a roll state. The electromagnetic mesh shielding material roll body, wherein the metal mesh pattern is generated by a photographic process in which developed silver is developed , the feeding of the transparent base material is continuous feeding, and the light to the transparent base material is transmitted. It was formed by exposing through an exposure mask using a continuous exposure apparatus that can form a continuous mesh pattern that can be continuously exposed without being interrupted and the lines can be continuously formed, and then developed. An electroless copper plating layer and / or an electroless nickel layer formed using a developed silver mesh pattern and an apparatus that continuously performs electroless plating with a roll-to-roll pattern thereon. And the metal mesh pattern is a metal mesh pattern in which lines are continuous in the longitudinal direction of the transparent base material, and a transparent resin is formed on the concave and convex portions of the metal mesh pattern. An electromagnetic shielding material roll body in which a layer is embedded is provided.

本発明の電磁波シールド材ロール体においては、前記透明樹脂層の上には防汚層が積層されていることが好ましい。また、前記透明樹脂層と防汚層との間にハードコート層を積層することもできる。また、前記透明樹脂層の中に紫外線吸収剤を含有した構成とすることもできる。前記金属メッシュパターンを透明基材の一方の面に設け、かつ該透明基材の他方の面に粘着剤層を設けた構成とすることもできる。
前記現像銀メッシュパターンとしては、露光した部分に現像銀が発現するネガ型の現像方法により生成されたもの、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型の現像方法により生成されたもののいずれを採用することも可能である。
In the electromagnetic wave shielding material roll of the present invention, an antifouling layer is preferably laminated on the transparent resin layer. Further, a hard coat layer can be laminated between the transparent resin layer and the antifouling layer. Moreover, it can also be set as the structure which contained the ultraviolet absorber in the said transparent resin layer. The metal mesh pattern may be provided on one surface of the transparent substrate, and an adhesive layer may be provided on the other surface of the transparent substrate.
As the developed silver mesh pattern, either a negative-type development method in which developed silver appears in the exposed portion or a positive-type development method in which developed silver appears in the unexposed portion is adopted. It is also possible to do.

また本発明は、長尺の透明基材の少なくとも一方の面に、前記透明基材の長手方向に線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンが設けられ、ロールの状態で供給される電磁波シールド材ロール体の製造方法であって、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた透明基材を、前記透明基材の送りが連続送りであり、前記透明基材への光の照射が断続することなく連続して露光することができ、かつ、線が切れ目なく連続したメッシュパターンを形成できる連続露光装置を用いて露光マスクをとおして露光し、次いで現像することにより、前記透明基材の長手方向に、メッシュパターンを構成する線が切れ目なく連続した現像銀メッシュパターンが生成された原反ロールを製造する工程と、当該現像銀メッシュパターンが設けられた透明基材を前記原反ロールから連続的に繰り出したのち、前記現像銀メッシュパターンの上に、ロールtoロールで無電解メッキを連続して行う装置を用いて、銅及び/又はニッケルを無電解メッキすることにより金属メッキ層を形成し、再び巻き取ってロール体とする工程と、前記金属メッシュパターンが形成された透明基材を連続的に繰り出し、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層を埋め込む透明樹脂埋め込み工程と、を有することを特徴とする電磁波シールド材ロール体の製造方法を提供する。 Further, the present invention provides an electromagnetic wave shielding material roll that is provided in a roll state in which a metal mesh pattern in which lines are continuous in the longitudinal direction of the transparent base material is provided on at least one surface of the long transparent base material. A transparent substrate provided with a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development, wherein the transparent substrate is continuously fed, and the light is transmitted to the transparent substrate. It is possible to expose continuously through an exposure mask using a continuous exposure apparatus capable of forming a continuous mesh pattern with continuous lines without irradiation, and then developing the transparent. in the longitudinal direction of the substrate, a step of lines constituting the mesh pattern to produce a master roll that contiguous developed silver mesh pattern is generated seamlessly, the developed silver mesh pattern After the continuously feeding the transparent substrate provided from the source roll, on the developed silver mesh pattern, using the apparatus continuously performs electroless plating a roll-to-roll, copper and / or A step of forming a metal plating layer by electroless plating of nickel, winding it again to form a roll body, and continuously feeding out the transparent substrate on which the metal mesh pattern is formed. And a transparent resin embedding step of embedding the transparent resin layer in the electromagnetic wave shielding material roll manufacturing method.

また本発明は、長尺の透明基材の少なくとも一方の面に、前記透明基材の長手方向に線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンが設けられ、ロールの状態で供給される電磁波シールド材ロール体の製造方法であって、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた透明基材を連続的に繰り出し、該透明基材に、前記透明基材の送りが連続送りであり、前記透明基材への光の照射が断続することなく連続して露光することができ、かつ、線が切れ目なく連続したメッシュパターンを形成できる連続露光装置を用いて露光マスクをとおして露光し、次いで現像することにより、前記透明基材の長手方向に、メッシュパターンを構成する線が切れ目なく連続した現像銀メッシュパターンを生成し、引き続いて、前記現像銀メッシュパターンの上に、ロールtoロールで無電解メッキを連続して行う装置を用いて、銅及び/又はニッケルを無電解メッキすることにより金属メッキ層を形成したのち、再び巻き取ってロール体とする工程と、前記金属メッシュパターンが形成された透明基材を連続的に繰り出し、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層を埋め込む透明樹脂埋め込み工程と、を有することを特徴とする電磁波シールド材ロール体の製造方法を提供する。 Further, the present invention provides an electromagnetic wave shielding material roll that is provided in a roll state in which a metal mesh pattern in which lines are continuous in the longitudinal direction of the transparent base material is provided on at least one surface of the long transparent base material. A transparent substrate provided with a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development is continuously fed out, and the transparent substrate is fed continuously to the transparent substrate. Exposed through an exposure mask using a continuous exposure apparatus that can continuously expose the light to the transparent substrate without intermittent light irradiation and can form a continuous mesh pattern with no line breaks. was followed by development, in the longitudinal direction of the transparent substrate, to produce a developed silver mesh pattern lines constituting the mesh pattern are continuously without a break, and subsequently, the developing Ginme On the shoe pattern using a device to continuously perform the electroless plating a roll-to-roll, after the copper and / or nickel to form a metal plating layer by electroless plating, roll and wound again And a transparent resin embedding step of continuously feeding out the transparent base material on which the metal mesh pattern is formed and embedding a transparent resin layer in the concavo-convex portion of the metal mesh pattern. A method for producing a roll body is provided.

前記現像銀メッシュパターンの生成は、露光した部分に現像銀が発現するネガ型の現像方法、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型の現像方法のいずれによっても行うことができる。   The developed silver mesh pattern can be generated by either a negative developing method in which developed silver appears in the exposed portion or a positive developing method in which developed silver appears in the unexposed portion.

本発明によれば、耐候性があって大型建築物の窓ガラスなどの屋外側に貼り付けて使用するための切れ目のない連続メッシュパターンが形成された連続ロールシート状態で供給される電磁波シールド材ロール体及びその製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、ロールtoロールで電磁波シールド材を連続製造して供給することができるので、製造コストを大幅に低減することが可能である。   According to the present invention, the electromagnetic wave shielding material is provided in a continuous roll sheet state in which a continuous mesh pattern is formed that has weather resistance and is attached to an outdoor side such as a window glass of a large building. A roll body and a manufacturing method thereof can be provided. In addition, according to the present invention, the electromagnetic shielding material can be continuously manufactured and supplied by roll-to-roll, so that the manufacturing cost can be greatly reduced.

本発明の電磁波シールド材ロール体は、長尺の透明基材の少なくとも一方の面に金属メッシュパターンが設けられ、ロールの状態で供給される電磁波シールド材であって、前記金属メッシュパターンは、写真製法により生成された現像銀メッシュパターンとその上に無電解銅メッキ層及び/又は無電解ニッケルメッキ層からなる金属メッキ層とを有し、かつ前記金属メッシュパターンは、前記透明基材の長手方向に切れ目のない連続したパターンであって、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層が埋め込まれていることを特徴とする。
このような電磁波シールド材ロール体を製造する方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が長尺の透明基材の少なくとも一方の面に設けられた基材を用意して、この基材を露光し、次いで現像することにより、前記透明基材の長手方向に切れ目のない連続した現像銀メッシュパターンを生成する工程と、前記現像銀メッシュパターンの上に銅及び/又はニッケルを無電解メッキすることにより金属メッキ層を形成するメッキ工程と、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層を埋め込む透明樹脂埋め込み工程と、を少なくとも含む製造方法によって製造することができる。
さらに本発明を詳しくするため、以下、本発明の電磁波シールド材ロール体及びその製造方法の最良の形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。
The electromagnetic shielding material roll body of the present invention is an electromagnetic shielding material provided with a metal mesh pattern on at least one surface of a long transparent base material and supplied in a roll state, and the metal mesh pattern is a photograph. A developed silver mesh pattern generated by the production method and a metal plating layer formed of an electroless copper plating layer and / or an electroless nickel plating layer thereon, and the metal mesh pattern is a longitudinal direction of the transparent substrate It is a continuous pattern in which a transparent resin layer is embedded in the concavo-convex portion of the metal mesh pattern.
The method for producing such an electromagnetic shielding material roll body is not particularly limited. For example, a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development is at least one of the long transparent base material. Preparing a base material provided on the surface, exposing the base material, and then developing the base material, thereby generating a continuous developed silver mesh pattern in the longitudinal direction of the transparent base material; and the development At least a plating step of forming a metal plating layer by electroless plating copper and / or nickel on the silver mesh pattern, and a transparent resin embedding step of embedding the transparent resin layer in the uneven portion of the metal mesh pattern It can be manufactured by a manufacturing method.
In order to further explain the present invention, the present invention will be described below with reference to the drawings based on the best mode of the electromagnetic shielding material roll of the present invention and the manufacturing method thereof.

図1は、本発明において、ロールtoロールで露光・現像に引き続いて無電解メッキを連続して行う装置の一例を示す概略図である。図2は、本発明において、ロールtoロールで無電解メッキを行う装置の一例を示す概略図である。図3(a)は本発明の電磁波シールド材ロール体におけるメッシュパターンの配置の一例を示す部分平面図、図3(b)は、電磁波シールド材の層構成の一例を示す断面図、図3(c)は、電磁波シールド材の層構成の別の一例を示す断面図である。図4は、本発明で用いられる連続露光装置の一例を示す概略図である。図5は、本発明で用いられる連続露光装置の別の一例を示す概略図である。   FIG. 1 is a schematic view showing an example of an apparatus for continuously performing electroless plating following exposure / development by roll-to-roll in the present invention. FIG. 2 is a schematic view showing an example of an apparatus for performing electroless plating by roll-to-roll in the present invention. FIG. 3A is a partial plan view showing an example of the arrangement of the mesh pattern in the electromagnetic wave shielding material roll of the present invention, FIG. 3B is a cross-sectional view showing an example of the layer structure of the electromagnetic wave shielding material, and FIG. (c) is sectional drawing which shows another example of the layer structure of an electromagnetic wave shielding material. FIG. 4 is a schematic view showing an example of a continuous exposure apparatus used in the present invention. FIG. 5 is a schematic view showing another example of the continuous exposure apparatus used in the present invention.

(無電解メッキ工程)
図1に示す電磁波シールド材製造装置1において、原反ロール2は、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層(詳しくは後述)を長尺の透明基材上に設けたロールシート3をロール状に巻き取ったものである。原反ロール2から繰り出されたロールシート3は、所要箇所に配置された移送ロール4、4、4、…により、同図の左から右に移送される。ロールシート3は、まず、連続露光装置5に移送されて所定のマスクパターンで焼き付けられる(露光される)。ここで、連続露光装置5とは、詳しくは後述するが、透明基材を連続送りにて移送しながら露光を行う装置である。
(Electroless plating process)
In the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1, an original roll 2 is a roll sheet 3 in which a layer (details will be described later) containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development is provided on a long transparent substrate. Is rolled up into a roll. The roll sheet 3 fed out from the raw roll 2 is transferred from left to right in the figure by transfer rolls 4, 4, 4,. The roll sheet 3 is first transferred to the continuous exposure device 5 and baked (exposed) with a predetermined mask pattern. Here, the continuous exposure apparatus 5 is an apparatus that performs exposure while transporting the transparent substrate by continuous feeding, as will be described in detail later.

次に、露光されたロールシート3は、現像装置6に移送されて、写真現像された現像銀がメッシュパターン形状に定着される。次に、水洗浄槽7に通されて洗浄され、不要な異物や汚染物が除去された後、メッキ工程を行うため無電解メッキ槽8に移送される。   Next, the exposed roll sheet 3 is transferred to a developing device 6 where the developed silver developed by the photograph is fixed in a mesh pattern shape. Next, after passing through the water washing tank 7 and being washed to remove unnecessary foreign matters and contaminants, they are transferred to the electroless plating tank 8 for performing a plating process.

無電解メッキ槽8では、無電解メッキ液9を通して無電解メッキが行われ、ロールシート3の表面の現像銀メッシュパターン上に無電解メッキ層が析出する。無電解メッキ液9の温度は、所定温度となるように温度調整器(図示せず)にて制御される。無電解メッキ液9は、無電解メッキ槽8のロールシート3が通される隙間(スリット)から漏出して落下しうる。このため、無電解メッキ槽8の下方には、漏出した無電解メッキ液9を受ける受け槽10が設置されており、受け槽10に受け止められた無電解メッキ液9が循環ポンプ11及びフィルター12を経て再び無電解メッキ槽8に再循環するように構成されている。   In the electroless plating tank 8, electroless plating is performed through the electroless plating solution 9, and an electroless plating layer is deposited on the developed silver mesh pattern on the surface of the roll sheet 3. The temperature of the electroless plating solution 9 is controlled by a temperature regulator (not shown) so as to be a predetermined temperature. The electroless plating solution 9 can leak and fall from a gap (slit) through which the roll sheet 3 of the electroless plating tank 8 is passed. Therefore, a receiving tank 10 for receiving the leaked electroless plating solution 9 is installed below the electroless plating tank 8, and the electroless plating solution 9 received in the receiving tank 10 is supplied with the circulation pump 11 and the filter 12. Then, it is recirculated to the electroless plating tank 8 again.

無電解メッキ槽8を出たロールシート3は、水洗浄槽13で不要な無電解メッキ液9を洗い落としてから乾燥器14にて水切り乾燥され、再び巻き取られ、ロール形状の電磁波シールド材ロール体15が得られる。
さらに、得られた電磁波シールド材ロール体15を原反ロールとしてロールtoロールの工程を必要回数分実施し、前記金属メッシュパターンが形成された透明基材を連続的に繰り出し、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層を埋め込む透明樹脂埋め込み工程などを行うことにより、本発明の電磁波シールド材ロール体を得ることができる。
The roll sheet 3 that has exited the electroless plating tank 8 is washed away with an unnecessary electroless plating solution 9 in a water washing tank 13, drained and dried in a drier 14, wound up again, and rolled into a roll-shaped electromagnetic shielding material roll. A body 15 is obtained.
Furthermore, the process of roll-to-roll is performed as many times as necessary using the obtained electromagnetic shielding material roll body 15 as an original fabric roll, and the transparent base material on which the metal mesh pattern is formed is continuously fed out. The electromagnetic wave shielding material roll of the present invention can be obtained by performing a transparent resin embedding step of embedding the transparent resin layer in the uneven portion.

本発明の電磁波シールド材ロール体は、図3(a)及び図3(b)に示すように、長尺の透明基材21の少なくとも一方の面に金属メッシュパターン(電磁波シールド層)22を有する電磁波シールド材20がロールの状態に巻き取られており、該金属メッシュパターン22が、連続露光装置5と現像装置6とを用いた写真製法により生成された現像銀メッシュパターン23と、その上に無電解メッキ槽8を用いて生成された金属メッキ層24とを有し、さらに金属メッシュパターン22は、透明基材21の長手方向に切れ目のない連続したパターンであって、金属メッシュパターン22の凹凸部に透明樹脂層25が埋め込まれている。金属メッキ層24の層数が一層である場合、この金属メッキ層24は、無電解銅メッキ層又は無電解ニッケルメッキ層であることが好ましい。   The electromagnetic wave shielding material roll of the present invention has a metal mesh pattern (electromagnetic wave shielding layer) 22 on at least one surface of a long transparent substrate 21, as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). The electromagnetic shielding material 20 is wound up in a roll state, and the metal mesh pattern 22 is formed on the developed silver mesh pattern 23 generated by a photographic method using the continuous exposure device 5 and the developing device 6, A metal plating layer 24 generated using the electroless plating tank 8, and the metal mesh pattern 22 is a continuous pattern that is continuous in the longitudinal direction of the transparent base material 21. A transparent resin layer 25 is embedded in the uneven portion. When the number of metal plating layers 24 is one, this metal plating layer 24 is preferably an electroless copper plating layer or an electroless nickel plating layer.

ここで透明樹脂層25は、透明基材21上に設けた金属メッシュパターン22による凹凸を平坦化するために設けられた透明な樹脂層である。金属メッシュパターン22の厚みは0.5μm〜15μmあり、この金属メッシュパターン22による透明基材21との凹凸により金属メッシュパターン22の上面に例えば反射防止剤を直接塗布すると、塗りムラが発生しやすくなる。また、反射防止フィルムを直接ラミネートする場合でも気泡が発生しやすくなる。塗りムラや気泡ができると、反射防止効果の低下を招くことになる。そこで透明樹脂層25は、金属メッシュパターン22と透明基材21との凹凸を平坦化し、これらの不具合を防止するために設けられている。また、透明樹脂層25には金属酸化物を含有させることが好ましい。この金属酸化物は透明樹脂層25の透明性を低下させないため、透明性に優れ、高い屈折率を有するものであるとよい。高い屈折率を必要とするのは、透明樹脂層25の上面に設ける屈折率の低い層との組み合わせにより、より高い反射防止効果を得るためである。なお、この透明樹脂層25の屈折率は1.7以上であるとよい。また、このような条件を満たす金属酸化物の例として、酸化チタン、酸化ケイ素、酸化亜鉛などがある。   Here, the transparent resin layer 25 is a transparent resin layer provided in order to flatten the unevenness caused by the metal mesh pattern 22 provided on the transparent substrate 21. The thickness of the metal mesh pattern 22 is 0.5 μm to 15 μm. If an antireflection agent is directly applied to the upper surface of the metal mesh pattern 22 due to the unevenness of the metal mesh pattern 22 with the transparent base material 21, coating unevenness is likely to occur. Become. Moreover, even when the antireflection film is directly laminated, bubbles are likely to be generated. If coating unevenness or air bubbles are formed, the antireflection effect is lowered. Therefore, the transparent resin layer 25 is provided to flatten the unevenness between the metal mesh pattern 22 and the transparent base material 21 and prevent these problems. The transparent resin layer 25 preferably contains a metal oxide. Since this metal oxide does not reduce the transparency of the transparent resin layer 25, it is preferable that the metal oxide has excellent transparency and a high refractive index. The reason why a high refractive index is required is to obtain a higher antireflection effect by combining with a layer having a low refractive index provided on the upper surface of the transparent resin layer 25. The refractive index of the transparent resin layer 25 is preferably 1.7 or more. Examples of metal oxides that satisfy such conditions include titanium oxide, silicon oxide, and zinc oxide.

前記透明樹脂層25の上には、防汚層27を積層することが好ましい。本発明における防汚層27は、電磁波シールド材20の保護膜的な効果を狙うもので、外的要因により汚れた表面を清掃することで反射防止効果を常に保つことができるものである。この防汚層27の形成材料としては、撥水性および/または撥油性であることにより、それより下にある層の表面を保護し、さらに防汚性を高めるものであり、要求性能を満たすものであれば、いかなる材料であっても制限されるものではないが、電磁波シールド材を窓ガラスに貼り付けたときに充分な透明性を確保でき、反射防止特性を損なわないことが必要である。このような防汚性処理剤としては、例えば、アクリル系やフッ素系の処理剤が挙げられ、フルオロアルキル基含有樹脂やフルオロカーボンやフルオロシラン等、あるいはこれらの化合物等が好ましい。また指紋拭き取り性には、メチル基を導入した化合物も適している。前記防汚層27の形成方法としては適用材料に応じて、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法、プラズマ重合やロールコート法、スプレーコート法、ディップコート法等各種コーティング法を用いることができる。   An antifouling layer 27 is preferably laminated on the transparent resin layer 25. The antifouling layer 27 in the present invention aims at the protective film effect of the electromagnetic wave shielding material 20, and can always keep the antireflection effect by cleaning the surface that is soiled due to external factors. As a material for forming the antifouling layer 27, it is water repellant and / or oil repellant, thereby protecting the surface of the layer below it, further enhancing the antifouling property, and satisfying the required performance As long as it is any material, it is not limited, but it is necessary to ensure sufficient transparency when the electromagnetic wave shielding material is attached to the window glass and not to impair the antireflection property. Examples of such antifouling treatment agents include acrylic and fluorine treatment agents, and fluoroalkyl group-containing resins, fluorocarbons, fluorosilanes, and the like, or compounds thereof are preferable. A compound having a methyl group introduced is also suitable for wiping off fingerprints. The antifouling layer 27 can be formed by various coating methods such as vacuum deposition, sputtering, ion plating, plasma CVD, plasma polymerization, roll coating, spray coating, dip coating, etc., depending on the application material. Can be used.

さらに透明樹脂層25の中には、紫外線吸収剤を含有させることが好ましい。紫外線吸収剤としては合成樹脂用紫外線吸収剤として通常使用されているようなベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤、サリチル酸系紫外線吸収剤、フェニルトリアジン系紫外線吸収剤、シアノアクリレート系紫外線吸収剤などを好適に使用することができる。具体的化合物としては、たとえば以下に示すような化合物が挙げられる。
ベンゾトリアゾール系:オクチル−3−[3−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−5−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル]プロピオネート、2−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ペンチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(5−t−ブチル−2−ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(3−t−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(3,5−ジ−t−ブチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−[2−ヒドロキシ−5−(2−アクリロイルオキシエチル)フェニル]ベンゾトリアゾール、2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピル−3−[3−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル]プロピオネート、など。
ベンゾフェノン系:2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,2′−ジヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,2′−ジヒドロキシ−4,4′−ジメトキシベンゾフェノン、2,2′,4,4′−テトラヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−オクトキシベンゾフェノン、など。
サリチル酸系:p−t−ブチルフェニルサリチレート、フェニルサリチレート、p−オクチルフェニルサリチレート、など。
フェニルトリアジン系:2−[4−(2−ヒドロキシ−3−ドデシルオキシプロピルオキシ)−2−ヒドロキシフェニル]−4,6−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−1,3,5−トリアジン、など。
シアノアクリレート系:2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリル酸エチル、2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリル酸2−エチルヘキシル、など。
Further, the transparent resin layer 25 preferably contains an ultraviolet absorber. As UV absorbers, benzotriazole UV absorbers, benzophenone UV absorbers, salicylic acid UV absorbers, phenyltriazine UV absorbers, and cyanoacrylate UV absorbers that are commonly used as UV absorbers for synthetic resins An agent or the like can be preferably used. Specific examples of the compound include the following compounds.
Benzotriazole series: Octyl-3- [3- (2H-benzotriazol-2-yl) -5-tert-butyl-4-hydroxyphenyl] propionate, 2- (2-hydroxy-3,5-di-t- Pentylphenyl) benzotriazole, 2- (2-hydroxy-5-methylphenyl) benzotriazole, 2- (5-tert-butyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (2-hydroxy-3,5-di -T-butylphenyl) benzotriazole, 2- (3-t-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (3,5-di-t-butyl-2-hydroxy Phenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- [2-hydroxy-5- (2-acryloyloxyethyl) phenyl] benzo Riazor, 2-hydroxy-3-methacryloyloxy propyl-3- [3- (2H-benzotriazol-2-yl) -4-hydroxy -5-t-butylphenyl] propionate, and the like.
Benzophenone series: 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,2'-dihydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,2'-dihydroxy-4,4'-dimethoxybenzophenone, 2,2 ' , 4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-octoxybenzophenone, and the like.
Salicylic acid type: pt-butylphenyl salicylate, phenyl salicylate, p-octylphenyl salicylate, and the like.
Phenyltriazine series: 2- [4- (2-hydroxy-3-dodecyloxypropyloxy) -2-hydroxyphenyl] -4,6-bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine, Such.
Cyanoacrylate: ethyl 2-cyano-3,3-diphenylacrylate, 2-ethylhexyl 2-cyano-3,3-diphenylacrylate, and the like.

さらに透明樹脂層25と防汚層27との間にハードコート層26を積層することが好ましい。ハードコート層26としては、ポリシラザンを紫外線の照射により硬化させた緻密なシリカ層、テトラアルコキシシラン類の完全加水分解により生成する無機シリカ層、アルキル基等の非加水分解性基を有するアルコキシシラン類を部分又は完全加水分解させることにより生成するポリオルガノシロキサン層、(メタ)アクリレートやアクリルウレタンに代表される活性エネルギー線硬化性化合物を硬化させた層などが挙げられる。   Furthermore, it is preferable to laminate a hard coat layer 26 between the transparent resin layer 25 and the antifouling layer 27. As the hard coat layer 26, a dense silica layer obtained by curing polysilazane by irradiation of ultraviolet rays, an inorganic silica layer formed by complete hydrolysis of tetraalkoxysilanes, and alkoxysilanes having non-hydrolyzable groups such as alkyl groups. Examples include a polyorganosiloxane layer produced by partially or completely hydrolyzing the polymer, a layer obtained by curing an active energy ray-curable compound typified by (meth) acrylate or acrylic urethane, and the like.

さらに電磁波シールド材20を窓ガラスの屋外側に貼着する場合には、透明基材21の一方の面のみに金属メッシュパターン22を設け、他方の面に粘着剤層28を設けることが好ましい。粘着剤層28を形成する粘着剤としては、一般に粘着テープやシール等に使用されている公知の粘着剤を使用しうる。たとえば天然ゴム系、合成ゴム系、アクリル系、ポリビニルエーテル系、ウレタン系、シリコーン系等が挙げられる。これら粘着剤は、1種単独で、または2種以上を組合せて用いることができる。粘着剤には、さらに必要に応じて粘着付与剤、充填剤、軟化剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、架橋剤等を配合することができる。この粘着剤層28の厚さは、通常5〜100μm、好ましくは10〜50μmの範囲である。また、この粘着剤層28を保護するために設けられる剥離シート(図示略)としては、例えばグラシン紙、コート紙、ラミネート紙などの紙および各種プラスチックフィルムに、シリコーン樹脂などの剥離剤を塗付したものなどが挙げられる。この剥離シートの厚さについては特に制限はないが、通常20〜150μm程度である。   Furthermore, when the electromagnetic shielding material 20 is stuck on the outdoor side of the window glass, it is preferable to provide the metal mesh pattern 22 only on one surface of the transparent base material 21 and provide the adhesive layer 28 on the other surface. As the pressure-sensitive adhesive forming the pressure-sensitive adhesive layer 28, a known pressure-sensitive adhesive generally used for pressure-sensitive adhesive tapes and seals can be used. For example, natural rubber type, synthetic rubber type, acrylic type, polyvinyl ether type, urethane type, silicone type and the like can be mentioned. These pressure-sensitive adhesives can be used alone or in combination of two or more. The pressure-sensitive adhesive can further contain a tackifier, a filler, a softener, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a crosslinking agent, and the like as necessary. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 28 is usually 5 to 100 μm, preferably 10 to 50 μm. In addition, as a release sheet (not shown) provided to protect the pressure-sensitive adhesive layer 28, for example, a release agent such as silicone resin is applied to paper such as glassine paper, coated paper, laminated paper, and various plastic films. And the like. Although there is no restriction | limiting in particular about the thickness of this peeling sheet, Usually, it is about 20-150 micrometers.

また、メッキ工程において、無電解メッキ槽8及び水洗浄槽13を複数組(2組以上)繰り返して設置し、1回のロールtoロールの処理の間に無電解メッキを複数回行うことにより、図3(c)に示すように、金属メッシュパターン22が、現像銀メッシュパターン23と、その上に2層またはそれ以上の層数の金属メッキ層24a、24bが積層された電磁波シールド材20を得ることもできる。複数の金属メッキ層24a、24bを構成する金属の組み合わせは特に限定されないが、例えば、現像銀メッシュパターン23の直上に設けられる金属メッキ層24aとして無電解銅メッキ層、さらにその上に設けられる金属メッキ層24bとして無電解ニッケルメッキ層を有する構成が挙げられる。   Further, in the plating process, a plurality of sets (two or more sets) of the electroless plating tank 8 and the water washing tank 13 are repeatedly installed, and the electroless plating is performed a plurality of times during one roll-to-roll process. As shown in FIG. 3C, the metal mesh pattern 22 includes a developed silver mesh pattern 23 and an electromagnetic wave shielding material 20 in which two or more metal plating layers 24a and 24b are stacked thereon. It can also be obtained. The combination of the metals constituting the plurality of metal plating layers 24a and 24b is not particularly limited. For example, the electroless copper plating layer as the metal plating layer 24a provided immediately above the developed silver mesh pattern 23, and the metal provided thereon The structure which has an electroless nickel plating layer as the plating layer 24b is mentioned.

図1の構成によれば、1回のロールtoロール処理の間に、写真製法による現像銀メッシュパターンの生成(露光・現像工程)と無電解メッキ層の形成(メッキ工程)とを引き続いて連続的に実施することができ、処理速度の一層の向上、低コスト化を図ることができる。本形態例において、写真製法による現像銀メッシュパターンの生成後、透明基材の表面が湿潤した状態を保持したまま引き続いてメッキ工程を行うことが好ましい。この場合、微小気泡が現像銀のメッシュパターン表面に付着してメッキ液との接触を妨害してメッキ不良の原因となるのを減少させることができる。   According to the configuration shown in FIG. 1, the development of a developed silver mesh pattern (exposure / development process) and the formation of an electroless plating layer (plating process) are continuously performed during one roll-to-roll process. Therefore, the processing speed can be further improved and the cost can be reduced. In this embodiment, it is preferable that after the development silver mesh pattern is generated by the photographic manufacturing method, the plating process is continuously performed while the surface of the transparent substrate is kept wet. In this case, it is possible to reduce the occurrence of plating defects due to the minute bubbles adhering to the surface of the developed silver mesh pattern and obstructing the contact with the plating solution.

また、図2に示す電磁波シールド材製造装置1Aは、長尺の透明基材の少なくとも一方の面に、写真製法により露光・現像されて現像銀がメッシュパターン形状に定着されている原反ロール2Aからロールシート3を繰り出し、連続的に無電解メッキを行う装置である。図2に示す電磁波シールド材製造装置1Aにおいて、ロールシート3は、ロール状に巻き取られた原反ロール2Aから、所要箇所に配置された移送ロール4、4、4、…により、同図の左から右に移送される。ロールシート3は、まず、水洗浄槽7に通されて洗浄され、不要な異物や汚染物が除去される。次に、メッキ工程を行うため無電解メッキ槽8に移送される。
図2の電磁波シールド材製造装置1Aにおいて、無電解メッキ槽8から電磁波シールド材ロール体15までの構成は、図1に示す電磁波シールド材製造装置1と同様であり、この製造装置1Aを用いることによっても図3に示す構成の電磁波シールド材20を製造することができるので、重複する説明を省略する。
Moreover, the electromagnetic wave shielding material manufacturing apparatus 1A shown in FIG. 2 is an original roll 2A in which developed silver is fixed in a mesh pattern shape by exposure and development by a photographic method on at least one surface of a long transparent substrate. The roll sheet 3 is fed out from the apparatus to continuously perform electroless plating. In the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1A shown in FIG. 2, the roll sheet 3 is transferred from the raw roll 2A wound in a roll shape by transfer rolls 4, 4, 4,. Moved from left to right. The roll sheet 3 is first passed through the water washing tank 7 and washed to remove unnecessary foreign matters and contaminants. Next, it transfers to the electroless-plating tank 8 in order to perform a plating process.
In the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1A of FIG. 2, the configuration from the electroless plating tank 8 to the electromagnetic shielding material roll body 15 is the same as that of the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1, and this manufacturing apparatus 1A is used. 3 can manufacture the electromagnetic shielding material 20 having the configuration shown in FIG.

(透明基材)
本発明に使用される透明基材21としては、可視領域で透明性を有し、一般に全光線透過率が90%以上のものが好ましい。中でも、フレキシブル性を有する樹脂フィルムは、取扱い性が優れている点で、好適に用いられる。透明基材21に使用される透明樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等からなる厚さ50〜300μmの単層フィルム又は前記透明樹脂からなる複数層の複合フィルムが挙げられる。
(Transparent substrate)
The transparent substrate 21 used in the present invention is preferably a transparent substrate having transparency in the visible region and generally having a total light transmittance of 90% or more. Especially, the resin film which has flexibility is used suitably at the point which is easy to handle. Specific examples of the transparent resin film used for the transparent substrate 21 include polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), acrylic resins, epoxy resins, fluorine resins, silicone resins, polycarbonate resins, Single-layer film having a thickness of 50 to 300 μm made of acetate resin, triacetate resin, polyarylate resin, polyvinyl chloride, polysulfone resin, polyether sulfone resin, polyimide resin, polyamide resin, polyolefin resin, cyclic polyolefin resin, or the like A composite film having a plurality of layers made of a resin is exemplified.

(金属メッシュパターンの作製方法)
本発明に適用できる導電性の金属メッシュの作製方法は、細線パターンを写真製法により現像された金属銀で形成した後、この金属銀を物理現像および/またはメッキすることにより導電性金属パターンを形成する露光現像法によるものである。
本発明に適用できる、この写真製法に基づく露光現像法には、上記のとおり、(a)露光マスクに覆われていなくて露光された部分に現像銀が発現する、即ち、露光マスクと反対の形に現像銀が表れるいわゆるネガ型の露光現像方法と、(b)露光マスクに覆われて露光されなかった部分には現像銀が発現する、即ち、露光マスクと同じ形に現像銀が表れるいわゆるポジ型の露光現像方法の2通りがある。本発明には、(a)ネガ型の露光・現像方法と、(b)ポジ型の露光・現像方法のいずれでも適用できる。
(Metal mesh pattern production method)
The method for producing a conductive metal mesh applicable to the present invention is to form a conductive metal pattern by forming a fine line pattern with metallic silver developed by a photographic method and then physically developing and / or plating the metallic silver. This is due to the exposure development method.
In the exposure development method based on this photographic method applicable to the present invention, as described above, (a) developed silver appears in an exposed portion that is not covered with the exposure mask, that is, opposite to the exposure mask. A so-called negative exposure and development method in which developed silver appears in a shape; and (b) a developed silver appears in a portion that is covered with an exposure mask and not exposed, that is, a developed silver appears in the same shape as the exposure mask. There are two types of positive exposure development methods. Either (a) a negative exposure / development method or (b) a positive exposure / development method can be applied to the present invention.

以下、ポジ型の露光・現像方法(DTR法)と無電解メッキ法を用いた金属メッシュパターンの作製方法について説明する。DTR法の場合、透明基材表面には、予め物理現像核層が設けられていることが好ましい。物理現像核としては、重金属あるいはその硫化物からなる微粒子(粒子サイズは1〜数十nm程度)が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属硫化物等が挙げられる。これらの物理現像核の微粒子層は、真空蒸着法、カソードスパッタリング法、コーティング法等によって透明基材上に設けることができる。生産効率の面からコーティング法が好ましく用いられる。物理現像核層における物理現像核の含有量は、固形分で1平方メートル当たり0.1〜10mg程度が適当である。   Hereinafter, a method for producing a metal mesh pattern using a positive exposure / development method (DTR method) and an electroless plating method will be described. In the case of the DTR method, it is preferable that a physical development nucleus layer is provided in advance on the transparent substrate surface. As the physical development nuclei, fine particles (having a particle size of about 1 to several tens of nm) made of heavy metals or sulfides thereof are used. Examples thereof include colloids such as gold and silver, metal sulfides obtained by mixing water-soluble salts such as palladium and zinc and sulfides, and the like. The fine particle layer of these physical development nuclei can be provided on the transparent substrate by a vacuum deposition method, a cathode sputtering method, a coating method or the like. From the viewpoint of production efficiency, a coating method is preferably used. The content of physical development nuclei in the physical development nuclei layer is suitably about 0.1 to 10 mg per square meter in solid content.

透明基材は、塩化ビニリデンやポリウレタン等のポリマーラテックス層の接着層を設けることができ、また接着層と物理現像核層との間にはゼラチン等の親水性バインダーからなる中間層を設けることもできる。   The transparent substrate can be provided with an adhesive layer of a polymer latex layer such as vinylidene chloride or polyurethane, and an intermediate layer made of a hydrophilic binder such as gelatin can be provided between the adhesive layer and the physical development nucleus layer. it can.

物理現像核層には、親水性バインダーを含有するのが好ましい。親水性バインダー量は物理現像核に対して10〜300質量%程度が好ましい。親水性バインダーとしては、ゼラチン、アラビアゴム、セルロース、アルブミン、カゼイン、アルギン酸ナトリウム、各種デンプン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。物理現像核層には親水性バインダーの架橋剤を含有することもできる。   The physical development nucleus layer preferably contains a hydrophilic binder. The amount of the hydrophilic binder is preferably about 10 to 300% by mass with respect to the physical development nucleus. As the hydrophilic binder, gelatin, gum arabic, cellulose, albumin, casein, sodium alginate, various starches, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, polyacrylamide, a copolymer of acrylamide and vinyl imidazole, and the like can be used. The physical development nucleus layer may also contain a hydrophilic binder crosslinking agent.

物理現像核層や前記中間層等の塗布には、例えばディップコーティング、スライドコーティング、カーテンコーティング、バーコーティング、エアーナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティングなどの塗布方式で塗布することができる。本発明において物理現像核層は、上記したコーティング法によって、通常連続した均一な層として設けることが好ましい。   The physical development nucleus layer and the intermediate layer can be applied by an application method such as dip coating, slide coating, curtain coating, bar coating, air knife coating, roll coating, gravure coating, spray coating, and the like. In the present invention, the physical development nucleus layer is preferably provided as a continuous and uniform layer by the above-described coating method.

物理現像核層に金属銀を析出させるためのハロゲン化銀の供給は、透明基材上に物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層をこの順に一体的に設ける方法、あるいは別の紙やプラスチック樹脂フィルム等の基材上に設けられたハロゲン化銀乳剤層から可溶性銀錯塩を供給する方法がある。コスト及び生産効率の面からは前者の物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層を一体的に設けるのが好ましい。   The supply of silver halide for depositing metallic silver on the physical development nucleus layer is performed by a method in which the physical development nucleus layer and the silver halide emulsion layer are integrally formed in this order on a transparent substrate, or another paper or plastic resin. There is a method of supplying a soluble silver complex salt from a silver halide emulsion layer provided on a substrate such as a film. From the viewpoint of cost and production efficiency, the former physical development nucleus layer and the silver halide emulsion layer are preferably provided integrally.

前記ハロゲン化銀乳剤は、ハロゲン化銀写真感光材料の一般的なハロゲン化銀乳剤の製造方法に従って製造することができる。ハロゲン化銀乳剤は、通常、硝酸銀水溶液、塩化ナトリウムや臭化ナトリウムのハロゲン水溶液をゼラチンの存在下で混合熟成することによって作られる。
前記ハロゲン化銀乳剤層のハロゲン化銀組成は、塩化銀を80モル%以上含有するのが好ましく、特に90モル%以上が塩化銀であることが好ましい。塩化銀含有率を高くすることによって形成された物理現像銀の導電性が向上する。
The silver halide emulsion can be produced according to a general method for producing a silver halide emulsion of a silver halide photographic light-sensitive material. The silver halide emulsion is usually prepared by mixing and ripening an aqueous silver nitrate solution, an aqueous halogen solution of sodium chloride or sodium bromide in the presence of gelatin.
The silver halide composition of the silver halide emulsion layer preferably contains 80 mol% or more of silver chloride, and more preferably 90 mol% or more is silver chloride. The conductivity of the physically developed silver formed by increasing the silver chloride content is improved.

(露光方法)
前記ハロゲン化銀乳剤層は、各種の光源に対して感光性を有している。電磁波シールド材を作製するための1つの方法として、例えば網目状などの細線パターンの物理現像銀の形成が挙げられる。この場合、ハロゲン化銀乳剤層は細線パターン状に露光されるが、露光方法として、細線パターンの透過原稿とハロゲン化銀乳剤層を密着して露光する方法、あるいは各種レーザー光を用いて走査露光する方法等がある。前者の密着露光は、ハロゲン化銀の感光性は比較的低くても可能であるが、レーザー光を用いた走査露光の場合は比較的高い感光性が要求される。従って、後者の露光方法を用いる場合は、ハロゲン化銀の感光性を高めるために、ハロゲン化銀は化学増感あるいは増感色素による分光増感を施してもよい。化学増感としては、金化合物や銀化合物を用いた金属増感、硫黄化合物を用いた硫黄増感、あるいはこれらの併用が挙げられる。好ましくは、金化合物と硫黄化合物を併用した金−硫黄増感である。上記したレーザー光で露光する方法においては、450nm以下の発振波長の持つレーザー光、例えば400〜430nmに発振波長を有する青色半導体レーザー(バイオレットレーザーダイオードともいう)を用いることによって、明室下(明るいイエロー蛍光灯下)でも取り扱いが可能となる。
(Exposure method)
The silver halide emulsion layer is sensitive to various light sources. As one method for producing an electromagnetic wave shielding material, for example, formation of physically developed silver having a fine line pattern such as a mesh shape can be mentioned. In this case, the silver halide emulsion layer is exposed in a fine line pattern. As an exposure method, a method of exposing a fine line pattern transmission original and a silver halide emulsion layer in close contact with each other, or scanning exposure using various laser beams. There are ways to do this. The former contact exposure is possible even if the silver halide has relatively low photosensitivity, but in the case of scanning exposure using laser light, relatively high photosensitivity is required. Therefore, when the latter exposure method is used, the silver halide may be subjected to chemical sensitization or spectral sensitization with a sensitizing dye in order to increase the sensitivity of the silver halide. Chemical sensitization includes metal sensitization using a gold compound or silver compound, sulfur sensitization using a sulfur compound, or a combination thereof. Gold-sulfur sensitization using a gold compound and a sulfur compound in combination is preferable. In the above-described method of exposing with laser light, a laser beam having an oscillation wavelength of 450 nm or less, for example, a blue semiconductor laser (also referred to as a violet laser diode) having an oscillation wavelength of 400 to 430 nm is used. It can be handled even under a yellow fluorescent lamp.

(露光装置)
上記の露光方法による露光装置としては、枚葉式の露光マスク(フォトマスク)を用いる枚葉処理方式の露光装置と、連続したパターンが形成できる連続露光装置とがある。枚葉処理方式の露光装置は、所定のマスクパターンが形成された枚葉式の露光マスク(フォトマスク)を用いて、ロールシートを間欠送りで露光装置に送り、装置内を真空排気して露光マスクと基材とを密着させて隙間を無くしてから、例えば紫外線で露光する。枚葉処理方式の露光装置では、真空排気、露光、大気開放を間欠的に行うので処理速度は遅くなるとともに、切れ目のない連続パターンを得ることができない。
(Exposure equipment)
As an exposure apparatus using the above exposure method, there are a single wafer processing type exposure apparatus using a single wafer type exposure mask (photomask) and a continuous exposure apparatus capable of forming a continuous pattern. A single wafer processing type exposure apparatus uses a single wafer type exposure mask (photomask) on which a predetermined mask pattern is formed, intermittently feeds a roll sheet to the exposure apparatus, and evacuates the inside of the apparatus for exposure. After the mask and the substrate are brought into close contact with each other and no gap is formed, exposure is performed with, for example, ultraviolet rays. In a single wafer processing type exposure apparatus, vacuum exhaust, exposure, and release to the atmosphere are intermittently performed, so that the processing speed becomes slow and a continuous pattern without a break cannot be obtained.

これに対して本発明では、図4、図5に例示するように、パターンを連続的に形成できる連続露光装置60、70を用いる。
これらの連続露光装置60、70は、図1に示すように、ロールtoロールで露光・現像工程とメッキ工程を引き続いて連続的に行う場合には、電磁波シールド材製造装置1に組み込まれる連続露光装置5として、図4、図5に例示するような連続露光装置60、70を用いることができる。また、図2に示すように、メッキ工程を行うロールtoロール処理とは別に露光・現像工程を行う場合には、電磁波シールド材製造装置1Aとは別に設けられた装置により連続露光と現像を行い、前記原反ロール2Aを製造する。
なお、これら連続露光装置60、70を示す図面では、前記露光に用いる透明基材には、図1に示す電磁波シールド材製造装置1を用いる場合と図2に示す電磁波シールド材製造装置1Aを用いる場合とで区別することなく、共通の符号64、74を付して説明することにする。
On the other hand, in the present invention, as illustrated in FIGS. 4 and 5, continuous exposure apparatuses 60 and 70 capable of continuously forming a pattern are used.
As shown in FIG. 1, these continuous exposure apparatuses 60 and 70 are continuous exposure incorporated in the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1 when the exposure / development process and the plating process are continuously performed by roll-to-roll. As the apparatus 5, continuous exposure apparatuses 60 and 70 exemplified in FIGS. 4 and 5 can be used. In addition, as shown in FIG. 2, when performing the exposure / development process separately from the roll-to-roll process for performing the plating process, continuous exposure and development are performed by an apparatus provided separately from the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1A. The raw fabric roll 2A is manufactured.
In the drawings showing these continuous exposure apparatuses 60 and 70, the transparent substrate used for the exposure uses the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1 and the electromagnetic shielding material manufacturing apparatus 1A shown in FIG. The description will be made with common reference numerals 64 and 74 without distinguishing from the case.

図4に示す連続露光装置60は、写真製法における露光に用いられる光を透過する材質からなる円筒ドラム61と、円筒ドラム61の外周壁に設けられた露光マスク部分62と、円筒ドラム61の内部に配設された露光用光源63とを備え、円筒ドラム61の内側の光源63から出射した光によって円筒ドラム61に巻き付けられた透明基材64を露光する装置である。この連続露光装置60には、特定の照射方向に光を透過する開口部66を有する光源カバー65を露光用光源63の周囲に設けることができる。透明基材64を露光するパターンは、露光マスク部分62の光を透過する部分のパターンによって決定される。円筒ドラム61に対する露光マスク部分62の配設は、例えば、円筒ドラム61の外周壁の表面(内面又は外面)に設けられ、あるいは外周壁の内部に挿入又は挟み込まれることによって行われる。なお図4は、露光マスク部分62を円筒ドラム61の外周壁の外面に設けた場合を例示した図面である。   A continuous exposure apparatus 60 shown in FIG. 4 includes a cylindrical drum 61 made of a material that transmits light used for exposure in the photographic manufacturing method, an exposure mask portion 62 provided on the outer peripheral wall of the cylindrical drum 61, and the inside of the cylindrical drum 61. And an exposure light source 63 disposed on the surface of the cylindrical drum 61, and the transparent substrate 64 wound around the cylindrical drum 61 is exposed by light emitted from the light source 63 inside the cylindrical drum 61. In the continuous exposure apparatus 60, a light source cover 65 having an opening 66 that transmits light in a specific irradiation direction can be provided around the exposure light source 63. The pattern for exposing the transparent substrate 64 is determined by the pattern of the portion of the exposure mask portion 62 that transmits light. The exposure mask portion 62 is disposed on the cylindrical drum 61 by, for example, being provided on the surface (inner surface or outer surface) of the outer peripheral wall of the cylindrical drum 61, or being inserted or sandwiched inside the outer peripheral wall. FIG. 4 is a diagram illustrating the case where the exposure mask portion 62 is provided on the outer surface of the outer peripheral wall of the cylindrical drum 61.

この連続露光装置60では、円筒ドラム61は、連続的に移送される透明基材64と同じ速度で回転しているので、透明基材64の各部分が円筒ドラム61に巻き付けられた箇所において露光される間、透明基材64に対する露光マスク部分62のパターン(光を透過する部分と遮光する部分のパターン)がずれることがなく、所要時間の露光を継続することが可能である。露光装置に利用する光源63としては、ハロゲン化銀乳剤層に含まれるハロゲン化銀乳剤の分光特性、感度により適宜選択することができるが、例えばタングステンランプ、紫外線ランプ、蛍光ランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプ等を利用することができる。露光の際、光源カバー65は回転せず、開口部66が常時一定の方向(図4の右方向)を向いているので、透明基材64が円筒ドラム61の表面から離れている部分では光源63の光が光源カバー65によって遮られる。すなわち、露光装置60の光源63による透明基材64の露光は、透明基材64がその移送経路上において円筒ドラム61の表面に巻き付けられている一定の範囲67内でなされるので、感光層の感度に合わせて、露光の光量及び照射時間を制御することにより、最適な光量を確実に照射することができる。   In this continuous exposure apparatus 60, the cylindrical drum 61 rotates at the same speed as the transparent substrate 64 that is continuously transferred, so that exposure is performed at locations where each part of the transparent substrate 64 is wound around the cylindrical drum 61. During this time, the pattern of the exposure mask portion 62 on the transparent base material 64 (the pattern of the portion that transmits light and the portion that blocks light) is not shifted, and the exposure for the required time can be continued. The light source 63 used in the exposure apparatus can be appropriately selected depending on the spectral characteristics and sensitivity of the silver halide emulsion contained in the silver halide emulsion layer. For example, a tungsten lamp, an ultraviolet lamp, a fluorescent lamp, a xenon lamp, a metal halide A lamp or the like can be used. At the time of exposure, the light source cover 65 does not rotate, and the opening 66 is always directed in a certain direction (the right direction in FIG. 4), so that the light source is in a portion where the transparent base material 64 is away from the surface of the cylindrical drum 61. 63 light is blocked by the light source cover 65. That is, the exposure of the transparent substrate 64 by the light source 63 of the exposure apparatus 60 is performed within a certain range 67 where the transparent substrate 64 is wound around the surface of the cylindrical drum 61 on its transfer path. By controlling the exposure light amount and the irradiation time in accordance with the sensitivity, the optimum light amount can be reliably irradiated.

一方、図5に示す連続露光装置70は、円筒ドラム71と、連続したパターンが形成された露光マスクフィルム72と、前記円筒ドラム71の外部に配設された露光用光源73とを備え、前記円筒ドラム71に重ねて巻き付けられた透明基材74及び前記露光マスクフィルム72に対して前記円筒ドラム71の外側から光を照射し、透明基材74を露光する装置である。
露光マスクフィルム72は、透明樹脂フィルムの上に、縮小露光によるフォトリソグラフ方法などの公知の方法にてマスクとなるメッシュパターンを形成し、透明基材74と円筒ドラム71で重ね合わされて露光する。その後、露光マスクフィルム72は、透明基材74から切離されて巻き取られ、繰り返しての使用に供される。
光源73が円筒ドラム71の外部にある場合は、円筒ドラム71の透明性について特に限定はなく、不透明でもよい。
On the other hand, a continuous exposure apparatus 70 shown in FIG. 5 includes a cylindrical drum 71, an exposure mask film 72 on which a continuous pattern is formed, and an exposure light source 73 disposed outside the cylindrical drum 71, In this apparatus, the transparent substrate 74 and the exposure mask film 72 wound around the cylindrical drum 71 are irradiated with light from the outside of the cylindrical drum 71 to expose the transparent substrate 74.
The exposure mask film 72 forms a mesh pattern to be a mask on a transparent resin film by a known method such as a photolithographic method using reduced exposure, and is exposed by being superposed on the transparent substrate 74 and the cylindrical drum 71. Thereafter, the exposure mask film 72 is cut off from the transparent base material 74, wound up, and used repeatedly.
When the light source 73 is outside the cylindrical drum 71, the transparency of the cylindrical drum 71 is not particularly limited and may be opaque.

この連続露光装置70には、特定の照射方向に光を透過する開口部76を有する光源カバー75を露光用光源73の周囲に設けることができ、これにより、光源73による透明基材74の露光は、透明基材74がその移送経路上において円筒ドラム71の表面に巻き付けられている一定の範囲77内でなされるので、露光の光量及び照射時間の制御を確実に行うことができる。ここで光源73としては、上記の連続露光装置60の光源63と同様のものを利用できるので、重複する説明を省略する。   The continuous exposure apparatus 70 can be provided with a light source cover 75 having an opening 76 that transmits light in a specific irradiation direction around the exposure light source 73, whereby the transparent substrate 74 is exposed by the light source 73. Is performed within a certain range 77 in which the transparent base material 74 is wound around the surface of the cylindrical drum 71 on the transfer path, so that the exposure light amount and the irradiation time can be reliably controlled. Here, as the light source 73, the same light source 63 as that of the above-described continuous exposure apparatus 60 can be used.

この連続露光装置70は、重ね合わせた透明基材74と露光マスクフィルム72を、円筒ドラム71に巻きつけながら連続的に移送するので、両者に適度なテンションを与えながら移送が可能であり、移送速度の制御が容易であるとともに、透明基材74の各部分が円筒ドラム71に巻き付けられた箇所において露光される間、透明基材74に対する露光マスクフィルム72のパターン(光を透過する部分と遮光する部分のパターン)がずれることがなく、所要時間の露光を継続することが可能である。
なお、上記に例示した連続露光装置60、70以外にも、例えば、重ね合わせた透明基材と露光マスクフィルムを、直線状の経路に沿って連続的に搬送しながら光源を用いて連続露光する装置などを用いることもできる。また、露光用の光源の個数は特に限定されず、必要に応じて複数個(複数箇所に)設けても良い。
The continuous exposure apparatus 70 continuously transfers the superposed transparent base material 74 and the exposure mask film 72 while being wound around the cylindrical drum 71. Therefore, the continuous exposure apparatus 70 can be transferred while applying appropriate tension to both. The speed can be easily controlled, and the pattern of the exposure mask film 72 on the transparent substrate 74 (light-transmitting portion and light-shielding portion) is exposed while the portions of the transparent substrate 74 are wound around the cylindrical drum 71. Therefore, the exposure for the required time can be continued.
In addition to the continuous exposure apparatuses 60 and 70 exemplified above, for example, the superimposed transparent base material and exposure mask film are continuously exposed using a light source while being continuously conveyed along a linear path. An apparatus or the like can also be used. Further, the number of light sources for exposure is not particularly limited, and a plurality (in a plurality of locations) may be provided as necessary.

連続露光装置60、70は、従来の枚葉処理方式の露光装置に比較して処理速度が速く、かつ、切れ目のない連続したパターンが得られるという長所がある。本発明では、大型建築物の窓ガラスなどの広い面積を覆うための幅広で連続ロールシート状態の電磁波シールド材を製造するために、連続した切れ目のないメッシュパターンを形成する必要があるため、上記透明基材21上に現像銀メッシュパターン23を形成するとき、現像に先立つ露光の際に、連続露光装置60、70を用いる。   The continuous exposure apparatuses 60 and 70 have an advantage that the processing speed is high and a continuous pattern without a break is obtained as compared with a conventional single wafer processing type exposure apparatus. In the present invention, in order to produce a wide and continuous roll sheet electromagnetic shielding material for covering a large area such as a window glass of a large building, it is necessary to form a continuous unbroken mesh pattern. When the developed silver mesh pattern 23 is formed on the transparent substrate 21, the continuous exposure devices 60 and 70 are used for exposure prior to development.

物理現像核層が設けられる透明基材上の任意の位置、たとえば接着層、中間層、物理現像核層あるいはハロゲン化銀乳剤層、保護層、または支持体を挟んで設けられる裏塗り層にハレーションないしイラジエーション防止用の染料もしくは顔料を含有させてもよい。   Halation at any position on the transparent substrate on which the physical development nucleus layer is provided, for example, an adhesive layer, an intermediate layer, a physical development nucleus layer or a silver halide emulsion layer, a protective layer, or a backing layer provided with a support interposed therebetween Or a dye or pigment for preventing irradiation may be contained.

物理現像核層の上に直接にあるいは中間層を介してハロゲン化銀乳剤層が塗設された感光材料を用いて電磁波シールド材を作製する場合は、網目状パターンのような任意の細線パターンの透過原稿と上記感光材料を密着して露光、あるいは、任意の細線パターンのデジタル画像を各種レーザー光の出力機で上記感光材料に走査露光した後、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下でアルカリ液中で処理することにより銀錯塩拡散転写現像(DTR現像)が起こり、未露光部のハロゲン化銀が溶解されて銀錯塩となり、物理現像核上で還元されて金属銀が析出して細線パターンの物理現像銀薄膜を得ることができる。露光された部分はハロゲン化銀乳剤層中で化学現像されて黒化銀となる。現像後、ハロゲン化銀乳剤層及び中間層、あるいは必要に応じて設けられた保護層は水洗除去されて、細線パターンの物理現像銀薄膜が表面に露出する。   When producing an electromagnetic shielding material using a photosensitive material in which a silver halide emulsion layer is coated directly on the physical development nucleus layer or via an intermediate layer, an arbitrary fine line pattern such as a mesh pattern is used. After exposing a transparent original and the photosensitive material in close contact, or by scanning and exposing a digital image of an arbitrary fine line pattern to the photosensitive material with various laser light output machines, in the presence of a soluble silver complex salt forming agent and a reducing agent. Silver complex diffusion transfer development (DTR development) occurs by processing in an alkaline solution, the silver halide in the unexposed area is dissolved to form a silver complex salt, which is reduced on the physical development nuclei, and metallic silver is precipitated to form a fine line. A physically developed silver thin film with a pattern can be obtained. The exposed portion is chemically developed in the silver halide emulsion layer to become blackened silver. After development, the silver halide emulsion layer and the intermediate layer, or the protective layer provided as necessary, are washed away with water, and a physically developed silver thin film having a fine line pattern is exposed on the surface.

DTR現像後、物理現像核層の上に設けられたハロゲン化銀乳剤層等の除去方法は、水洗除去あるいは剥離紙等に転写剥離する方法がある。水洗除去は、スクラビングローラ等を用いて温水シャワーを噴射しながら除去する方法や温水をノズル等でジェット噴射しながら水の勢いで除去する方法がある。   After DTR development, the silver halide emulsion layer or the like provided on the physical development nucleus layer may be removed by washing with water or transferring and peeling to a release paper or the like. There are two methods for removing the water washing: a method of removing hot water using a scrubbing roller or the like while jetting it with a nozzle or the like, and a method of removing hot water by jetting with a nozzle or the like.

一方、物理現像核層が塗布された透明基材とは別の基材上に設けたハロゲン化銀乳剤層から可溶性銀錯塩を供給する場合、前述と同様にハロゲン化銀乳剤層に露光を与えた後、物理現像核層が塗布された透明基材と、ハロゲン化銀乳剤層が塗布された別の感光材料とを、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下でアルカリ液中で重ね合わせて密着し、アルカリ液中から取り出した後、数十秒〜数分間経過した後に、両者を剥がすことによって、物理現像核上に析出した細線パターンの物理現像銀薄膜が得られる。   On the other hand, when the soluble silver complex salt is supplied from a silver halide emulsion layer provided on a substrate different from the transparent substrate on which the physical development nucleus layer is coated, the silver halide emulsion layer is exposed as described above. After that, a transparent substrate coated with a physical development nucleus layer and another photosensitive material coated with a silver halide emulsion layer are superposed in an alkaline solution in the presence of a soluble silver complexing agent and a reducing agent. After several tens of seconds to several minutes after taking out from the alkaline solution, the both are removed to obtain a physically developed silver thin film having a fine line pattern deposited on the physical development nuclei.

次に、銀錯塩拡散転写現像のために必要な可溶性銀錯塩形成剤、還元剤、及びアルカリ液について説明する。可溶性銀錯塩形成剤は、ハロゲン化銀を溶解し可溶性の銀錯塩を形成させる化合物であり、還元剤はこの可溶性銀錯塩を還元して物理現像核上に金属銀を析出させるための化合物であり、これらの作用はアルカリ液中で行われる。   Next, a soluble silver complex salt forming agent, a reducing agent, and an alkali solution necessary for silver complex diffusion transfer development will be described. The soluble silver complex salt forming agent is a compound that dissolves silver halide to form a soluble silver complex salt, and the reducing agent is a compound that reduces this soluble silver complex salt to precipitate metallic silver on physical development nuclei. These actions are performed in an alkaline solution.

本発明に用いられる可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウム、チオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、アルカノールアミン、亜硫酸ナトリウム、亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、T.H.ジェームス編のザ・セオリー・オブ・ザ・フォトグラフィック・プロセス4版の474〜475項(1977年)に記載されている化合物等が挙げられる。   Examples of the soluble silver complex forming agent used in the present invention include sodium thiosulfate, thiosulfate such as ammonium thiosulfate, thiocyanate such as sodium thiocyanate and ammonium thiocyanate, alkanolamine, sodium sulfite, and potassium bisulfite. Sulfites such as T. H. Examples include compounds described in 474 to 475 (1977) of James The Theory of the Photographic Process 4th edition.

前記還元剤としては、写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドン等の3−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。   As the reducing agent, a developing agent known in the field of photographic development can be used. For example, polyhydroxybenzenes such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, methylhydroquinone, chlorohydroquinone, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4-methyl- Examples include 3-pyrazolidones such as 4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone, paramethylaminophenol, paraaminophenol, parahydroxyphenylglycine, paraphenylenediamine, and the like.

上記した可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤は、物理現像核層と一緒に透明基材に塗布してもよいし、ハロゲン化銀乳剤層中に添加してもよいし、またはアルカリ液中に含有させてもよく、更に複数の位置に含有してもよいが、少なくともアルカリ液中に含有させるのが好ましい。   The above-mentioned soluble silver complex salt forming agent and reducing agent may be applied to the transparent substrate together with the physical development nucleus layer, added to the silver halide emulsion layer, or contained in the alkaline solution. It may be allowed to be contained, and may be further contained in a plurality of positions, but is preferably contained at least in the alkaline liquid.

アルカリ液中への可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、現像液1リットル当たり、0.1〜5モルの範囲で用いるのが適当であり、還元剤は現像液1リットル当たり0.05〜1モルの範囲で用いるのが適当である。   The content of the soluble silver complex salt forming agent in the alkaline solution is suitably used in the range of 0.1 to 5 mol per liter of the developer, and the reducing agent is 0.05 to 1 per liter of the developer. It is suitable to use in the molar range.

アルカリ液のpHは10以上が好ましく、更に11〜14の範囲が好ましい。銀錯塩拡散転写現像を行うためのアルカリ液の適用は、浸漬方式であっても塗布方式であってもよい。浸漬方式は、例えば、タンクに大量に貯流されたアルカリ液中に、物理現像核層及びハロゲン化銀乳剤層が設けられた透明基材を浸漬しながら搬送するものであり、塗布方式は、例えばハロゲン化銀乳剤層上にアルカリ液を1平方メートル当たり40〜120ml程度塗布するものである。   The pH of the alkaline solution is preferably 10 or more, and more preferably in the range of 11-14. Application of the alkaline solution for silver complex diffusion transfer development may be an immersion method or a coating method. The immersion method is, for example, transporting while immersing a transparent substrate provided with a physical development nucleus layer and a silver halide emulsion layer in an alkaline solution stored in a large amount in a tank. For example, about 40 to 120 ml of an alkaline solution per square meter is applied on the silver halide emulsion layer.

前述したように、細線パターンとしては、たとえば線幅10〜100μm程度の細線を縦横に格子状に設けられたものがあるが、細線幅を小さくして格子の間隔を大きくすると透光性は上がるが導電性は低下し、逆に細線幅を大きくして格子の間隔を小さくすると透光性は低下して導電性は高くなる。本発明にかかる透明基材上に形成された任意の細線パターンの物理現像による銀画像は、全光線透過率50%以上の透光性と表面抵抗率10オーム/□以下の導電性とを同時に満足させることは困難である。具体的にはこの物理現像による銀画像は、表面抵抗率50オーム/□以下、好ましくは20オーム/□以下の導電性を有しているが、細線幅50μm以下、たとえば細線幅20μmのパターンで、全光線透過率50%以上とした場合には、表面抵抗率は数百オーム/□〜千オーム/□以上にもなってしまう。しかしながら、この物理現像による銀画像自身は、現像処理後に得られた銀画像を形成する金属銀粒子が極めて小さく、且つ銀画像中に存在する親水性バインダー量が極めて少ないことにより、銀画像を形成する金属銀粒子が最密充填状態に近い状態で銀画像が形成されて通電性を有しているため、銅やニッケルなどの金属による鍍金(メッキ)、特に無電解メッキを施すことにより、細線パターンが0.5〜15μmの厚み及び10〜50μmの線幅であるとき、全光線透過率50%以上、好ましくは60%以上の透光性の細線パターンであっても、表面抵抗率10オーム/□以下、好ましくは7オーム/□以下の導電性を保持することができる。
金属メッシュの全光線透過率を向上させるためには、細線が設けられた領域の面積に対して、細線間の光透過部の面積を十分に広くする必要がある。このため、細線の間隔は、100〜900μmであることが好ましく、より好ましくは150〜700μmである。
As described above, there are fine line patterns in which, for example, fine lines having a line width of about 10 to 100 μm are provided in a grid pattern in the vertical and horizontal directions. If the narrow line width is reduced and the interval between the gratings is increased, the translucency increases. However, the conductivity decreases, and conversely, if the fine line width is increased to reduce the lattice spacing, the translucency is decreased and the conductivity is increased. The silver image formed by physical development of an arbitrary fine line pattern formed on the transparent substrate according to the present invention has a translucency with a total light transmittance of 50% or more and a conductivity with a surface resistivity of 10 ohms / □ or less simultaneously. It is difficult to satisfy. Specifically, the silver image by this physical development has a conductivity of a surface resistivity of 50 ohms / square or less, preferably 20 ohms / square or less, but a pattern with a fine line width of 50 μm or less, for example, a fine line width of 20 μm. When the total light transmittance is 50% or more, the surface resistivity becomes several hundred ohms / square to 1000 ohms / square or more. However, the silver image by the physical development itself forms a silver image because the metallic silver particles forming the silver image obtained after the development processing are extremely small and the amount of the hydrophilic binder present in the silver image is extremely small. Since silver silver particles are formed in a state close to the close-packed state and a silver image is formed, it has electrical conductivity. Therefore, by applying plating (plating) with metals such as copper and nickel, When the pattern has a thickness of 0.5 to 15 μm and a line width of 10 to 50 μm, even if it is a translucent thin line pattern with a total light transmittance of 50% or more, preferably 60% or more, the surface resistivity is 10 ohms. / □ or less, preferably 7 ohm / □ or less can be maintained.
In order to improve the total light transmittance of the metal mesh, it is necessary to sufficiently increase the area of the light transmission portion between the fine lines with respect to the area of the region where the fine lines are provided. For this reason, it is preferable that the space | interval of a thin wire | line is 100-900 micrometers, More preferably, it is 150-700 micrometers.

金属メッキした細線パターンの厚みは所望とする特性により任意に変えることができるが、0.5〜15μm、好ましくは2〜12μmの範囲である。また上述の方法によって作製された電磁波シールド材は、30MHz〜1,000MHzのような広い周波数帯に亘って30dB以上のシールド効果を得ることができる。   The thickness of the metal-plated fine line pattern can be arbitrarily changed according to desired characteristics, but is in the range of 0.5 to 15 μm, preferably 2 to 12 μm. Moreover, the electromagnetic shielding material produced by the above-mentioned method can obtain a shielding effect of 30 dB or more over a wide frequency band such as 30 MHz to 1,000 MHz.

細線パターンの物理現像銀のメッキは、無電解メッキ法、電解メッキ法あるいは両者を組み合わせたメッキ法のいずれでも可能であるが、透明基材21上に電磁波シールド層22を作製するにあたり、ロール状の長尺ウェブの上に生成された現像銀からなる細線パターンに対して、給電することなくメッキが可能であって、メッキ膜厚を均一に施すことができる観点からも、無電解メッキによる方法が好ましい。   The thin line pattern of physically developed silver can be plated by any of an electroless plating method, an electrolytic plating method, or a plating method that combines both methods. However, when the electromagnetic wave shielding layer 22 is formed on the transparent substrate 21, a roll shape is used. From the standpoint that a thin line pattern made of developed silver produced on a long web of silver can be plated without supplying power and the plating film thickness can be uniformly applied, a method by electroless plating Is preferred.

本発明において、無電解メッキ法は公知の方法で行うことができるが、無電解メッキは、例えば銅、ニッケル、銀、金、スズ、はんだ、あるいは銅/ニッケルの多層あるいは複合系などの従来公知の方法を使用でき、これらについては、「無電解めっき 基礎と応用;日刊工業新聞社、1994年5月30日初版」等の文献を参照することができる。   In the present invention, the electroless plating method can be performed by a known method, but the electroless plating is conventionally known, for example, copper, nickel, silver, gold, tin, solder, or a multilayer or composite system of copper / nickel. These methods can be used, and for these, reference can be made to documents such as “Basics and Applications of Electroless Plating; Nikkan Kogyo Shimbun, May 30, 1994, First Edition”.

メッキが容易で、かつ導電性に優れ、さらに厚膜にメッキでき、低コスト等の理由により、銅および/またはニッケルを用いることが好ましい。無電解銅メッキ浴の一例を挙げると、硫酸銅:30g/dm、酒石酸ナトリウムカリウム(ロシェル塩):100g/dm、ホルムアルデヒド:30cm/dm、炭酸ナトリウム:30g/dm、水酸化ナトリウム:50g/dm、浴温度24℃で無電解銅メッキすることができる。
また、無電解ニッケルメッキ浴の一例を挙げると、硫酸ニッケル:21g/dm、ホスフィン酸ナトリウム:25g/dm、酢酸ナトリウム:10g/dm、pH:4〜6、浴温度90℃で無電解ニッケルメッキすることができる。
使用する無電解メッキ槽8の型式は、竪型、横型のいずれであっても構わないが、所定のメッキ滞留時間を確保できるようにロールシート3の移送速度に応じて無電解メッキ槽8の長さを決定することが望ましい。
It is preferable to use copper and / or nickel for reasons such as easy plating, excellent electrical conductivity, plating on a thick film, and low cost. An example of an electroless copper plating bath is copper sulfate: 30 g / dm 3 , sodium potassium tartrate (Rochelle salt): 100 g / dm 3 , formaldehyde: 30 cm 3 / dm 3 , sodium carbonate: 30 g / dm 3 , hydroxylation Sodium: 50 g / dm 3 Electroless copper plating can be performed at a bath temperature of 24 ° C.
Further, as an example of an electroless nickel plating bath, nickel sulfate: 21 g / dm 3 , sodium phosphinate: 25 g / dm 3 , sodium acetate: 10 g / dm 3 , pH: 4-6, no bath temperature of 90 ° C. Electrolytic nickel plating can be performed.
The type of the electroless plating tank 8 to be used may be either a vertical type or a horizontal type, but the electroless plating tank 8 can be used in accordance with the transfer speed of the roll sheet 3 so as to ensure a predetermined plating residence time. It is desirable to determine the length.

上記方法によって得られる電磁波シールド層(金属メッシュパターン)22は、メッシュパターンが0.5〜15μmの厚み及び10〜50μmの線幅であるとき、全光線透過率50%以上、かつ表面抵抗率が10オーム/□以下という優れた透光性能と導電性能を持ち、30MHz〜1,000MHzのような広い周波数帯に亘って30dB以上のシールド効果を発揮することができる。   The electromagnetic wave shielding layer (metal mesh pattern) 22 obtained by the above method has a total light transmittance of 50% or more and a surface resistivity when the mesh pattern has a thickness of 0.5 to 15 μm and a line width of 10 to 50 μm. It has excellent translucency and conductive performance of 10 ohms / square or less, and can exhibit a shielding effect of 30 dB or more over a wide frequency band such as 30 MHz to 1,000 MHz.

本発明によれば、従来の製造方法では対応できない、耐候性があって大型建築物の窓ガラスなどの屋外側に貼り付けて使用するための連続ロールシート状態で供給される電磁波シールド材を製造することができるので、品質向上やコスト削減などに益するところが大である。   According to the present invention, an electromagnetic shielding material supplied in a continuous roll sheet state for use by being attached to an outdoor side such as a window glass of a large building, which has weather resistance, which cannot be handled by a conventional manufacturing method, is manufactured. This can greatly improve quality and reduce costs.

本発明において、ロールtoロールで露光・現像に引き続いて無電解メッキを連続して行う装置の一例を示す概略図である。In this invention, it is the schematic which shows an example of the apparatus which performs electroless plating continuously following exposure and development with a roll to roll. 本発明において、ロールtoロールで無電解メッキを行う装置の一例を示す概略図である。In this invention, it is the schematic which shows an example of the apparatus which performs electroless plating with a roll to roll. (a)は本発明の電磁波シールド材ロール体におけるメッシュパターンの配置の一例を示す部分平面図、(b)は、電磁波シールド材の層構成の一例を示す断面図、(c)は、電磁波シールド材の層構成の別の一例を示す断面図である。(A) is a partial top view which shows an example of arrangement | positioning of the mesh pattern in the electromagnetic wave shielding material roll body of this invention, (b) is sectional drawing which shows an example of the layer structure of an electromagnetic wave shielding material, (c) is an electromagnetic wave shield. It is sectional drawing which shows another example of the layer structure of a material. 本発明で用いられる連続露光装置の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the continuous exposure apparatus used by this invention. 本発明で用いられる連続露光装置の別の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows another example of the continuous exposure apparatus used by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、1A…電磁波シールド材製造装置、2、2A…原反ロール、3…ロールシート、4…移送ロール、5…連続露光装置、6…現像装置、7…水洗浄槽、8…無電解メッキ槽、9…無電解メッキ液、10…受け槽、11…循環ポンプ、12…フィルター、13…水洗浄槽、14…乾燥器、15…電磁波シールド材ロール体、20…電磁波シールド材、21…透明基材、22…金属メッシュパターン、23…現像銀メッシュパターン、24、24a、24b…金属メッキ層、25…透明樹脂層、26…ハードコート層、27…防汚層、28…粘着剤層、60…連続露光装置、61…円筒ドラム、62…露光マスク部分、63…露光用光源、64…透明基材、65…光源カバー、70…連続露光装置、71…円筒ドラム、72…露光マスクフィルム、73…露光用光源、74…透明基材、75…光源カバー。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A ... Electromagnetic-shielding material manufacturing apparatus 2, 2A ... Original fabric roll, 3 ... Roll sheet, 4 ... Transfer roll, 5 ... Continuous exposure apparatus, 6 ... Developing apparatus, 7 ... Water washing tank, 8 ... Electroless plating Tank, 9 ... Electroless plating solution, 10 ... Receiving tank, 11 ... Circulation pump, 12 ... Filter, 13 ... Water washing tank, 14 ... Dryer, 15 ... Electromagnetic shielding material roll body, 20 ... Electromagnetic shielding material, 21 ... Transparent substrate, 22 ... metal mesh pattern, 23 ... development silver mesh pattern, 24, 24a, 24b ... metal plating layer, 25 ... transparent resin layer, 26 ... hard coat layer, 27 ... antifouling layer, 28 ... adhesive layer , 60 ... Continuous exposure apparatus, 61 ... Cylindrical drum, 62 ... Exposure mask portion, 63 ... Light source for exposure, 64 ... Transparent substrate, 65 ... Light source cover, 70 ... Continuous exposure apparatus, 71 ... Cylindrical drum, 72 ... Exposure mask fill , 73 ... light source for exposure, 74 ... transparent substrate, 75 ... light source cover.

Claims (11)

長尺の透明基材の少なくとも一方の面に、前記透明基材の長手方向に線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンが設けられ、ロールの状態で供給される電磁波シールド材ロール体であって、
前記金属メッシュパターンは、現像銀が発現する写真製法により生成されてなる、前記透明基材の送りが連続送りであり、前記透明基材への光の照射が断続することなく連続して露光することができ、かつ、線が切れ目なく連続したメッシュパターンを形成できる連続露光装置を用いて露光マスクをとおして露光し、次いで現像することにより形成された現像銀メッシュパターンと、その上に、ロールtoロールで無電解メッキを連続して行う装置を用いて形成された、無電解銅メッキ層及び/又は無電解ニッケルメッキ層からなる金属メッキ層とを有し、かつ前記金属メッシュパターンは、前記透明基材の長手方向にメッシュパターンを構成する線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンであって、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層が埋め込まれていることを特徴とする電磁波シールド材ロール体。
At least one surface of the long transparent base material is provided with a continuous metal mesh pattern in the longitudinal direction of the transparent base material, and is an electromagnetic shielding material roll body supplied in a roll state,
The metal mesh pattern is generated by a photographic process in which developed silver is developed. The transparent substrate is continuously fed, and the transparent substrate is continuously exposed to light irradiation without interruption. A developed silver mesh pattern formed by exposing through an exposure mask using a continuous exposure apparatus capable of forming a continuous mesh pattern in which lines can be formed without breaks, and then developing, and a roll thereon a metal plating layer made of an electroless copper plating layer and / or an electroless nickel plating layer, formed using an apparatus that continuously performs electroless plating with a to roll, and the metal mesh pattern includes: A metal mesh pattern in which the lines constituting the mesh pattern in the longitudinal direction of the transparent base material are continuous, and the uneven portion of the metal mesh pattern. Electromagnetic shielding material roll body, wherein the transparent resin layer is embedded.
前記透明樹脂層の上に防汚層が積層されていることを特徴とする請求項1に記載の電磁波シールド材ロール体。   2. The electromagnetic wave shielding material roll according to claim 1, wherein an antifouling layer is laminated on the transparent resin layer. 前記透明樹脂層と防汚層との間にハードコート層が積層されていることを特徴とする請求項2に記載の電磁波シールド材ロール体。   The electromagnetic wave shielding material roll according to claim 2, wherein a hard coat layer is laminated between the transparent resin layer and the antifouling layer. 前記透明樹脂層の中に紫外線吸収剤が含まれていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の電磁波シールド材ロール体。   The electromagnetic wave shielding material roll according to any one of claims 1 to 3, wherein the transparent resin layer contains an ultraviolet absorber. 前記金属メッシュパターンが透明基材の一方の面に設けられ、かつ該透明基材の他方の面に粘着剤層が設けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の電磁波シールド材ロール体。   The metal mesh pattern is provided on one side of a transparent base material, and an adhesive layer is provided on the other side of the transparent base material. Electromagnetic shielding material roll body. 前記現像銀メッシュパターンは、露光した部分に現像銀が発現するネガ型の現像方法により生成されたものであることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の電磁波シールド材ロール体。   The electromagnetic wave shielding material roll according to any one of claims 1 to 5, wherein the developed silver mesh pattern is generated by a negative development method in which developed silver is developed in an exposed portion. 前記現像銀メッシュパターンは、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型の現像方法により生成されたものであることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の電磁波シールド材ロール体。   The electromagnetic wave shielding material roll according to any one of claims 1 to 5, wherein the developed silver mesh pattern is generated by a positive developing method in which developed silver appears in a portion not exposed to light. 長尺の透明基材の少なくとも一方の面に、前記透明基材の長手方向に線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンが設けられ、ロールの状態で供給される電磁波シールド材ロール体の製造方法であって、
露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた透明基材を、前記透明基材の送りが連続送りであり、前記透明基材への光の照射が断続することなく連続して露光することができ、かつ、線が切れ目なく連続したメッシュパターンを形成できる連続露光装置を用いて露光マスクをとおして露光し、次いで現像することにより、前記透明基材の長手方向に、メッシュパターンを構成する線が切れ目なく連続した現像銀メッシュパターンが生成された原反ロールを製造する工程と、
当該現像銀メッシュパターンが設けられた透明基材を前記原反ロールから連続的に繰り出したのち、前記現像銀メッシュパターンの上に、ロールtoロールで無電解メッキを連続して行う装置を用いて、銅及び/又はニッケルを無電解メッキすることにより金属メッキ層を形成し、再び巻き取ってロール体とする工程と、
前記金属メッシュパターンが形成された透明基材を連続的に繰り出し、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層を埋め込む透明樹脂埋め込み工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする電磁波シールド材ロール体の製造方法。
In at least one surface of a long transparent substrate, a metal mesh pattern in which lines are continuous in the longitudinal direction of the transparent substrate is provided, and a method for producing an electromagnetic shielding material roll body that is supplied in a roll state There,
A transparent substrate provided with a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development, the feeding of the transparent substrate is continuous feeding, and the irradiation of light to the transparent substrate continues without interruption. By exposing through an exposure mask using a continuous exposure apparatus capable of forming a continuous mesh pattern in which lines can be continuously formed, and then developing the mesh in the longitudinal direction of the transparent substrate. A step of producing an original roll in which a developed silver mesh pattern in which lines constituting the pattern are continuous is generated; and
After continuously feeding the transparent base material provided with the developed silver mesh pattern from the raw fabric roll, on the developed silver mesh pattern, using an apparatus for continuously performing electroless plating with a roll-to-roll Forming a metal plating layer by electroless plating of copper and / or nickel, and rewinding to form a roll body;
A transparent resin embedding step of continuously feeding out the transparent base material on which the metal mesh pattern is formed, and embedding a transparent resin layer in the concavo-convex portion of the metal mesh pattern;
A method for producing an electromagnetic wave shielding material roll comprising at least
長尺の透明基材の少なくとも一方の面に、前記透明基材の長手方向に線が切れ目なく連続した金属メッシュパターンが設けられ、ロールの状態で供給される電磁波シールド材ロール体の製造方法であって、
露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた透明基材を連続的に繰り出し、該透明基材に、前記透明基材の送りが連続送りであり、前記透明基材への光の照射が断続することなく連続して露光することができ、かつ、線が切れ目なく連続したメッシュパターンを形成できる連続露光装置を用いて露光マスクをとおして露光し、次いで現像することにより、前記透明基材の長手方向に、メッシュパターンを構成する線が切れ目なく連続した現像銀メッシュパターンを生成し、引き続いて、前記現像銀メッシュパターンの上に、ロールtoロールで無電解メッキを連続して行う装置を用いて、銅及び/又はニッケルを無電解メッキすることにより金属メッキ層を形成したのち、再び巻き取ってロール体とする工程と、
前記金属メッシュパターンが形成された透明基材を連続的に繰り出し、前記金属メッシュパターンの凹凸部に透明樹脂層を埋め込む透明樹脂埋め込み工程と、
を少なくとも含むことを特徴とする電磁波シールド材ロール体の製造方法。
In at least one surface of a long transparent substrate, a metal mesh pattern in which lines are continuous in the longitudinal direction of the transparent substrate is provided, and a method for producing an electromagnetic shielding material roll body that is supplied in a roll state There,
A transparent base material provided with a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development is continuously fed out, and the transparent base material is continuously fed to the transparent base material. By exposing through an exposure mask using a continuous exposure apparatus that can form a continuous mesh pattern in which lines can be continuously exposed without being interrupted by light irradiation, and then developing, In the longitudinal direction of the transparent substrate, a developed silver mesh pattern in which the lines constituting the mesh pattern are continuously formed is generated. Subsequently, electroless plating is continuously performed on the developed silver mesh pattern by roll-to-roll. And forming a metal plating layer by electroless plating of copper and / or nickel using an apparatus performed in the above,
A transparent resin embedding step of continuously feeding out the transparent base material on which the metal mesh pattern is formed, and embedding a transparent resin layer in the concavo-convex portion of the metal mesh pattern;
A method for producing an electromagnetic wave shielding material roll comprising at least
前記現像銀メッシュパターンの生成は、露光した部分に現像銀が発現するネガ型の現像方法により行うことを特徴とする請求項8または9に記載の電磁波シールド材ロール体の製造方法。   The method for producing an electromagnetic shielding material roll according to claim 8 or 9, wherein the development silver mesh pattern is generated by a negative development method in which developed silver is developed in an exposed portion. 前記現像銀メッシュパターンの生成は、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型の現像方法により行うことを特徴とする請求項8または9に記載の電磁波シールド材ロール体の製造方法。   The method for producing an electromagnetic wave shielding material roll according to claim 8 or 9, wherein the development silver mesh pattern is generated by a positive development method in which developed silver appears in a portion not exposed to light.
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WO2007102393A1 (en) * 2006-03-06 2007-09-13 Konica Minolta Holdings, Inc. Method for manufacturing electromagnetic wave shielding film and electromagnetic wave shielding film
JP5240545B2 (en) * 2007-09-27 2013-07-17 大日本印刷株式会社 Electromagnetic wave shielding sheet and composite sheet material
JP2010098073A (en) * 2008-10-15 2010-04-30 Gunze Ltd Electromagnetic shield member and plasma display panel equipped with the same
CN109652774B (en) * 2018-12-06 2020-07-28 天津津航技术物理研究所 Method for preparing electromagnetic shielding optical window of embedded metal mesh

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3870485B2 (en) * 1997-06-06 2007-01-17 日立化成工業株式会社 Method for producing electromagnetic shielding film having transparency and invisibility
JP3710721B2 (en) * 2001-04-25 2005-10-26 三井化学株式会社 Display filter manufacturing method
KR101095713B1 (en) * 2002-08-08 2011-12-21 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 Electromagnetic wave shielding sheet
JP2004207001A (en) * 2002-12-25 2004-07-22 Mitsubishi Paper Mills Ltd Manufacturing method of transparent conductive film
JP4641719B2 (en) * 2002-12-27 2011-03-02 富士フイルム株式会社 Method for manufacturing translucent electromagnetic wave shielding film and translucent electromagnetic wave shielding film
JP4334920B2 (en) * 2003-06-19 2009-09-30 大日本印刷株式会社 Electromagnetic wave shielding sheet, front plate, and display device
TWI403761B (en) * 2005-02-15 2013-08-01 Fujifilm Corp Process of producing light transmittancy electroconductibility film

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