JP4797434B2 - Oxygen pump element and oxygen supply device using the same - Google Patents

Oxygen pump element and oxygen supply device using the same Download PDF

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Description

本発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質を用いた酸素ポンプ素子とそれを用いた酸素供給装置に関するものである。   The present invention relates to an oxygen pump element using an oxygen ion conductive solid electrolyte and an oxygen supply device using the same.

従来、この種の酸素ポンプは複数枚の酸素イオン伝導性基板を同時に使用する場合、同じ面側の電極膜をリード線等で電気的に接続し、電源電圧を並列に印加するものであった(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, when this type of oxygen pump uses a plurality of oxygen ion conductive substrates at the same time, the electrode film on the same surface side is electrically connected by a lead wire or the like, and a power supply voltage is applied in parallel. (For example, refer to Patent Document 1).

図6は特許文献1に記載された酸素ポンプの平面図であり、図7は酸素ポンプの断面図である。25枚の酸素イオン導電性基板1が図示され、支持部材2に固定されている。それぞれの電極膜3の周縁部からリード線4が引き出されて集結し、配線に同電位の状態で接続されている。配線からはリード線5が引き出され、電源の一方の極に接続されている。また裏面からは同様にして引き出されたリード6線が、電源のもう一方の極に接続されている。
国際公開第96/28589号パンフレット
FIG. 6 is a plan view of the oxygen pump described in Patent Document 1, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the oxygen pump. Twenty-five oxygen ion conductive substrates 1 are shown and fixed to the support member 2. Lead wires 4 are drawn out from the peripheral portions of the respective electrode films 3 and gathered, and are connected to the wirings at the same potential. A lead wire 5 is drawn from the wiring and is connected to one pole of the power source. A lead 6 wire similarly drawn from the back surface is connected to the other pole of the power source.
WO96 / 28589 pamphlet

しかしながら、前記従来の構成では、複数個の酸素イオン伝導性基板が並列に接続されているため、各リード線が集結したリード線には大きな電流が流れることになる。したがって、十分に太いリード線や電気抵抗の小さな特別なリード線を使う必要があるという課題を有していた。また、接続部やスイッチ部などの抵抗値が小さい部分でも発熱することがあった。さらに、例えば家庭での実使用を考慮した場合、数十ボルトの電圧よりも数十アンペアの電流の方が、電源回路の構成が複雑になり、高コストという課題もあった。   However, in the conventional configuration, since a plurality of oxygen ion conductive substrates are connected in parallel, a large current flows through the lead wire where the lead wires are gathered. Therefore, there is a problem that it is necessary to use a sufficiently thick lead wire or a special lead wire having a small electric resistance. Moreover, heat may be generated even in a portion having a small resistance value such as a connection portion or a switch portion. Further, for example, considering actual use at home, a current of several tens of amperes is more complicated than a voltage of several tens of volts, resulting in a problem that the configuration of the power supply circuit is complicated and the cost is high.

本発明は、前記従来の課題を解決するのもので、小電流型の酸素ポンプを提供するとともに、固体電解質を介して両側に存する空間部を十分にガスシールし、酸素ポンプ素子の急激な熱衝撃に対してもクラックあるいは剥離を生じることのない酸素ポンプ素子を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described conventional problems, and provides a small current type oxygen pump, and also sufficiently gas-seals the spaces existing on both sides via a solid electrolyte, so that the rapid heat of the oxygen pump element can be obtained. An object of the present invention is to provide an oxygen pump element that does not cause cracking or peeling even upon impact.

前記従来の課題を解決するために、本発明の酸素ポンプ素子は、1つの固体電解質には、正電極膜と負電極膜が複数に分割されて略コンデンサを構成するような対構造で配置され、前記正電極膜および前記負電極膜は前記固体電解質に貫通孔を配設し、前記正電極膜は、隣接する正電極膜の反対側に位置する前記負電極膜と貫通孔を介して導通させる導通構造とすることで電気的に直列回路となるように構成され、前記固体電解質の外周部は開口部を具備した金属箔部材にてガスシール構造となるように接合部を有して固定され、前記接合部は前記固体電解質表面上に配設された絶縁層を介して導電層によって前記金属箔部材に固定される構成としたものである。 In order to solve the above-described conventional problems, the oxygen pump element of the present invention is arranged in a pair structure in which a positive electrode film and a negative electrode film are divided into a plurality of parts to form a capacitor in one solid electrolyte. The positive electrode film and the negative electrode film are provided with through holes in the solid electrolyte, and the positive electrode film is electrically connected to the negative electrode film located on the opposite side of the adjacent positive electrode film through the through holes. It is configured to be electrically connected in series by adopting a conductive structure, and the outer periphery of the solid electrolyte is fixed with a joint so as to form a gas seal structure with a metal foil member having an opening. And the said junction part is set as the structure fixed to the said metal foil member by a conductive layer through the insulating layer arrange | positioned on the said solid electrolyte surface.

これによって、固体電解質の外周部は絶縁層を介して導電層によって金属箔部材と固定されているので、固体電解質の表面上に配設された複数の正電極膜および負電極膜と金属箔部材との間の抵抗値は、固体電解質の最外周部までとなり、固体電解質の寸法を最大限有効に活用することができる。固体電解質の電極膜に電圧が印加された時、直列回路に構成されているので固体電解質に印加される電圧は目論見通りに所定の電圧へと積み上がることとなる。その結果酸素ポンプ素子を高電圧小電流化して動作させることが可能となる。また固体電解質は絶縁層を介して導電層によって金属箔部材と接合されているので、熱衝撃、熱歪に対しても十分な柔軟な構造を有している。   Thereby, since the outer peripheral part of the solid electrolyte is fixed to the metal foil member by the conductive layer through the insulating layer, a plurality of positive electrode films and negative electrode films disposed on the surface of the solid electrolyte and the metal foil member The resistance value between and the solid electrolyte is up to the outermost periphery of the solid electrolyte, and the dimensions of the solid electrolyte can be utilized to the maximum extent. When a voltage is applied to the electrode film of the solid electrolyte, the voltage applied to the solid electrolyte is accumulated to a predetermined voltage as expected because it is configured in a series circuit. As a result, the oxygen pump element can be operated with a high voltage and a small current. Further, since the solid electrolyte is joined to the metal foil member by the conductive layer through the insulating layer, it has a flexible structure sufficient for thermal shock and thermal strain.

本発明の酸素ポンプ素子は、固体電解質の寸法を最大限有効に活用しながら、印加される電圧を所定の電圧まで積み上げることができ、高電圧小電流化して汎用的な電源で動作させることが可能となる。   The oxygen pump element of the present invention can accumulate the applied voltage up to a predetermined voltage while making the most effective use of the dimensions of the solid electrolyte, and can be operated with a general-purpose power source by reducing the voltage to a high voltage. It becomes possible.

第1の発明は、1つの固体電解質には、正電極膜と負電極膜が複数に分割されて略コンデンサを構成するような対構造で配置され、前記正電極膜および前記負電極膜は前記固体電解質に貫通孔を配設し、前記正電極膜は、隣接する正電極膜の反対側に位置する前記負電極膜と貫通孔を介して導通させる導通構造とすることで電気的に直列回路となるように構成され、前記固体電解質の外周部は開口部を具備した金属箔部材にてガスシール構造となるように接合部を有して固定され、前記接合部は前記固体電解質表面上に配設された絶縁層を介して導電層によって前記金属箔部材に固定される構成とすることにより、固体電解質の表面上に配設された複数の正電極膜および負電極膜と金属箔部材との間の抵抗値は、固体電解質の最外周部までとなり、固体電解質の寸法を最大限有効に活用することができる。複数の正電極膜および負電極膜が金属箔部材との間に固体電解質の十分な抵抗成分を有することで、固体電解質に印加される電圧を目論見通りに所定の電圧まで積み上げることができ、酸素ポンプ素子を高電圧小電流化して汎用的な電源で動作させることが可能となる。また固体電解質は絶縁層を介して導電層によって金属箔部材と接合されているので、熱衝撃、熱歪に対しても十分な柔軟な構造を有することとなる。 According to a first aspect of the present invention, in one solid electrolyte, a positive electrode film and a negative electrode film are arranged in a pair structure such that the positive electrode film and the negative electrode film are substantially divided into a plurality of capacitors. A through-hole is provided in the solid electrolyte, and the positive electrode film is electrically connected to the negative electrode film located on the opposite side of the adjacent positive electrode film through a through-hole to electrically connect the series circuit. The outer periphery of the solid electrolyte is fixed by a metal foil member having an opening so as to have a gas seal structure, and the joint is fixed on the surface of the solid electrolyte. A plurality of positive electrode films and negative electrode films disposed on the surface of the solid electrolyte, a metal foil member, and a structure that is fixed to the metal foil member by a conductive layer via a disposed insulating layer The resistance value between the Ri, the dimensions of the solid electrolyte can be efficiently as possible. By having a sufficient resistance component of the solid electrolyte between the positive electrode film and the negative electrode film and the metal foil member, the voltage applied to the solid electrolyte can be stacked up to a predetermined voltage as expected, and oxygen The pump element can be operated with a general-purpose power supply with a high voltage and a small current. Further, since the solid electrolyte is joined to the metal foil member by the conductive layer through the insulating layer, the solid electrolyte has a sufficiently flexible structure against thermal shock and thermal strain.

第2の発明は、特に、第1の発明の固体電解質に対して、貫通孔によって、正電極膜および負電極膜へ電圧を印加するリード部は同一面方向から取り出す構造とすることにより、結線回路を簡素化できるとともに、酸素イオン伝導に必要な電源回路を一方向にまとめて限定できるため装置のレイアウト構成が自由度を有することとなる。   In the second invention, in particular, the solid electrolyte of the first invention has a structure in which the lead portions for applying a voltage to the positive electrode film and the negative electrode film are taken out from the same plane direction through the through holes. Since the circuit can be simplified and the power supply circuit necessary for oxygen ion conduction can be collectively limited in one direction, the layout configuration of the apparatus has a degree of freedom.

第3の発明は、特に、第1または第2の発明の貫通孔に対して、正電極膜と、隣接する正電極膜の反対側に位置する負電極膜とを導通構造する貫通孔が複数個配設されことにより、電極膜上での生じる電力損失を少なくできるので省電力化が図れるとともに、比較的大きな電流が分散して流れるため、固体電解質のクラックに対しても改善される。 A third invention is, in particular, with respect to the first or the through hole of the second invention, the positive electrode film, a through hole to conduction structure and a negative electrode film located on the opposite side of the adjacent positive electrode film By disposing a plurality, the power loss generated on the electrode film can be reduced, so that power can be saved, and a relatively large current flows in a distributed manner, so that it is also improved against cracks in the solid electrolyte.

第4の発明は、特に、第1〜第3の発明の固体電解質に対して、金属箔部材と固定されていない面に配置される正電極膜あるいは負電極膜は金属箔部材と固定されている面に配置される負電極膜あるいは正電極膜よりも外周方向へ広い面積を有することにより、熱伝導性に優れた電極膜を利用して固体電解質の外周方向への温度ムラを抑制することができ、その結果酸素ポンプ素子の様々な制御動作時における耐クラックにも対応可能となる。   In the fourth invention, in particular, with respect to the solid electrolytes of the first to third inventions, the positive electrode film or the negative electrode film disposed on the surface not fixed to the metal foil member is fixed to the metal foil member. By having a larger area in the outer peripheral direction than the negative electrode film or positive electrode film disposed on the surface where the electrode is present, an electrode film with excellent thermal conductivity is used to suppress temperature unevenness in the outer peripheral direction of the solid electrolyte. As a result, it is possible to cope with crack resistance during various control operations of the oxygen pump element.

第5の発明は、特に、第1〜第4の発明の金属箔部材に対して、複数の開口部を備え、前記開口部に固体電解質が配置され、複数の前記固体電解質が電気的に直列回路となるように構成されていることにより、固体電解質の寸法と正電極膜および負電極膜の各面積を最適化することで、高流量の酸素ポンプ素子を高電圧小電流にして提供することができる。熱衝撃からの固体電解質クラック発生に対してもそれらを勘案することで対応可能となる。   In particular, the fifth invention includes a plurality of openings for the metal foil members of the first to fourth inventions, a solid electrolyte is disposed in the openings, and the plurality of solid electrolytes are electrically connected in series. By being configured to be a circuit, by optimizing the dimensions of the solid electrolyte and the areas of the positive electrode film and the negative electrode film, a high flow rate oxygen pump element can be provided at a high voltage and a small current. Can do. It is possible to deal with the occurrence of solid electrolyte cracks from thermal shock by taking them into consideration.

第6の発明は、特に、第1〜第5の発明の絶縁層に対して、ガラスセラミック層で構成することで、固体電解質との熱膨張係数を整合化させながら、固体電解質と導電層との間に十分な絶縁性を保持させることができる。   In particular, the sixth invention comprises a glass ceramic layer with respect to the insulating layers of the first to fifth inventions, thereby matching the thermal expansion coefficient with the solid electrolyte, and the solid electrolyte and the conductive layer. Sufficient insulation can be maintained during the interval.

第7の発明は、特に、第1〜第5の発明の絶縁層に対して、ガラスセラミック層中に安定化されたZrO2粒子あるいはAl2O3粒子がフィラーとして分散し、構成することで、絶縁層の厚みを厚くすることができるとともにさらに絶縁性を良好とすることができる。また固体電解質とも密着性は少し低下するので、熱膨張係数が固体電解質と多少整合化していなくても、熱衝撃、熱歪に対する固体電解質への負荷も軽減させることができる。   According to the seventh aspect of the invention, in particular, the stabilized ZrO2 particles or Al2O3 particles are dispersed as fillers in the glass ceramic layer with respect to the insulating layers of the first to fifth aspects. The thickness can be increased and the insulation can be further improved. In addition, since the adhesion with the solid electrolyte is slightly lowered, the load on the solid electrolyte against thermal shock and thermal strain can be reduced even if the thermal expansion coefficient is somewhat inconsistent with that of the solid electrolyte.

第8の発明は、特に第6または7発明のガラスセラミック膜に対して、主体がSiO2―ZnO―CaO−BaO系、SiO2―ZnO―CaO−BaO系あるいはSiO2―Al2O3―CaO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を15〜25wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を2wt%以下含有する結晶化ガラスとすることにより、高い耐熱性を有しながら、固体電解質基板と熱膨張係数を整合化させることができるので熱歪を生じることなく、固体電解質基板と金属箔部材との間に必要な絶縁性を保持させることができる。   The eighth invention is an alkali mainly composed of SiO2-ZnO-CaO-BaO, SiO2-ZnO-CaO-BaO, or SiO2-Al2O3-CaO-BaO, particularly for the glass ceramic film of the sixth or seventh invention. By using a crystallized glass containing 15-25 wt% of earth metal oxide and 2 wt% or less of alkali metal oxide, the thermal expansion coefficient matches that of the solid electrolyte substrate while having high heat resistance. Therefore, necessary insulation can be maintained between the solid electrolyte substrate and the metal foil member without causing thermal distortion.

第9の発明は、特に、第1〜第8のいずれか一つの発明の貫通孔に対して、Pt成分を主体として導通構造を構成することにより、電極膜よりも融点の高い材料で貫通孔を導通できるので、製造プロセスの手順をスムーズに構成できる。   In the ninth invention, in particular, the through-hole of any one of the first to eighth inventions is made of a material having a melting point higher than that of the electrode film by forming a conductive structure mainly composed of a Pt component. Therefore, the manufacturing process procedure can be smoothly configured.

第10の発明は、特に、第1〜第9のいずれか一つの発明の導電層は貴金属成分を主体として構成されることにより、酸素ポンプを動作させる高温時には固体電解質と金属箔部材とを緩やかな接合状態に保つことができるため、固体電解質で発生した熱衝撃および熱歪に対して良化させることができ、金属箔部材から固体電解質が剥離するのを抑制できる。   In the tenth aspect of the invention, in particular, the conductive layer of any one of the first to ninth aspects is composed mainly of a noble metal component, so that the solid electrolyte and the metal foil member are loosened at a high temperature at which the oxygen pump is operated. Therefore, it is possible to improve the thermal shock and thermal strain generated in the solid electrolyte, and to suppress the separation of the solid electrolyte from the metal foil member.

第11の発明は、特に、第1〜第10のいずれか一つの発明の正電極膜と負電極膜に対して、固体電解質に直接接合する第一電極膜と、前記第一電極膜上に形成された第二電極膜とで構成され、固体電解質上に複合金属酸化物成分を主体とする膜を第一電極膜とし、貴金属成分を主体とする膜を第二電極膜として前記第一電極膜上に配設した構成とすることにより、第二電極膜は導電性の高い材料で構成されるので、ある程度の面積を有する電極部に対して等しい電位を印加することができた。また第一電極膜は固体電解質と第二電極膜の中間層として酸素を解離吸着する電極反応を高めることができるので酸素分子から酸素イオンへと変化するための良好な触媒作用を得ることができる。   In an eleventh aspect of the invention, in particular, on the positive electrode film and negative electrode film of any one of the first to tenth aspects of the invention, a first electrode film that is directly bonded to a solid electrolyte, and the first electrode film A first electrode film comprising a composite metal oxide component as a main electrode on a solid electrolyte, and a second electrode film as a film mainly comprising a noble metal component. Since the second electrode film is made of a highly conductive material, the same potential can be applied to the electrode portion having a certain area. Also, the first electrode film can enhance the electrode reaction for dissociating and adsorbing oxygen as an intermediate layer between the solid electrolyte and the second electrode film, so that a good catalytic action for changing from oxygen molecules to oxygen ions can be obtained. .

第12の発明は、特に、第1〜第11の固体電解質に対して、ランタンガレートを使用することにより、ランタンガレートはランタンとガリウムを主成分としたペロブスカイト型複合金属酸化物であり、400℃以上で酸素イオン伝導性を有す。したがって酸素ポンプ素子の動作温度を600℃程度の比較的低温に保持することで十分な能力を得ることができるため、長期的にも酸素ポンプ素子の劣化を抑制できる。   In the twelfth aspect of the invention, in particular, by using lanthanum gallate for the first to eleventh solid electrolytes, lanthanum gallate is a perovskite type composite metal oxide mainly composed of lanthanum and gallium, and has a temperature of 400 ° C. As described above, it has oxygen ion conductivity. Therefore, since sufficient capability can be obtained by maintaining the operating temperature of the oxygen pump element at a relatively low temperature of about 600 ° C., deterioration of the oxygen pump element can be suppressed even in the long term.

第13の発明は、特に、第11または第12のいずれか一つの発明の第一電極膜の複合金属酸化物として、ペロブスカイト型構造を使用することにより、固体電解質と第二電極膜の中間層として酸素を解離吸着する電極反応を高めることができるので酸素ポンプ素子としての酸素イオン伝導性を向上させることができる。   In the thirteenth invention, in particular, by using a perovskite structure as the composite metal oxide of the first electrode film of any one of the eleventh and twelfth inventions, an intermediate layer between the solid electrolyte and the second electrode film Since the electrode reaction for dissociating and adsorbing oxygen can be enhanced, the oxygen ion conductivity as an oxygen pump element can be improved.

第14の発明は、特に、第1〜第13のいずれか一つの発明の金属箔部材として、アルミニウムを含有したフェライト系ステンレスを使用することにより、高温酸化に対して優れた特性を有するようになり、800℃付近で長期使用に対して安定した特性を維持できる。   In the fourteenth aspect of the invention, in particular, by using a ferritic stainless steel containing aluminum as the metal foil member of any one of the first to thirteenth aspects of the invention, it has excellent characteristics against high-temperature oxidation. Thus, stable characteristics can be maintained for long-term use at around 800 ° C.

第15の発明は、特に、第1〜第14のいずれか一つの発明の酸素ポンプ素子と、前記酸素ポンプ素子に電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段を制御する電圧制御手段と、前記酸素ポンプ素子を加熱する加熱手段と、前記酸素ポンプ素子の固体電解質温度を検知して前記加熱手段を制御する温度制御手段と、前記加熱手段および前記酸素ポンプ素子の熱拡散を防止する通気性の断熱手段と、前記酸素ポンプ素子を介して発生した酸素を空気と混合して所定酸素濃度の混合ガスにする混合手段とを備えた構成とすることにより、固体電解質の表面上に配設された複数の正電極膜および負電極膜と金属箔部材との間の抵抗値は、固体電解質の最外周部までとなり、固体電解質の寸法を最大限有効に活用することができる。複数の正電極膜および負電極膜が金属箔部材との間に十分な抵抗値を有することで、固体電解質に印加される電圧を所定の電圧まで積み上げることができ、酸素ポンプ素子を高電圧小電流化して汎用的な電源で動作させることが可能となる。また固体電解質は絶縁層を介して導電層によって金属箔部材と接合されているので、熱衝撃、熱歪に対しても十分な柔軟性を有している。また酸素ポンプ素子、区画手段、加熱手段が断熱材に覆われた簡素な構造とすることができるので酸素ポンプの小型化が可能となり、機器への実装を容易にすることができる。   The fifteenth aspect of the invention is, in particular, the oxygen pump element of any one of the first to fourteenth aspects of the invention, voltage application means for applying a voltage to the oxygen pump element, and voltage control means for controlling the voltage application means. Heating means for heating the oxygen pump element; temperature control means for detecting the solid electrolyte temperature of the oxygen pump element to control the heating means; and ventilation for preventing thermal diffusion of the heating means and the oxygen pump element. Provided on the surface of the solid electrolyte by comprising a heat insulating means and a mixing means that mixes oxygen generated through the oxygen pump element with air to form a mixed gas having a predetermined oxygen concentration. The resistance values between the plurality of positive electrode films and negative electrode films and the metal foil member are up to the outermost peripheral part of the solid electrolyte, and the dimensions of the solid electrolyte can be utilized to the maximum extent possible. Since the plurality of positive electrode films and negative electrode films have sufficient resistance values with the metal foil member, the voltage applied to the solid electrolyte can be accumulated up to a predetermined voltage, and the oxygen pump element can be reduced to a high voltage. It becomes possible to operate with a general-purpose power source by converting it into a current. Further, since the solid electrolyte is joined to the metal foil member by the conductive layer via the insulating layer, it has sufficient flexibility against thermal shock and thermal strain. Further, since the oxygen pump element, the partitioning means, and the heating means can be made a simple structure covered with a heat insulating material, the oxygen pump can be miniaturized and can be easily mounted on a device.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

(実施の形態1)
図1は、本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子となる固体電解質の負電極膜方向からの構成図を示し、図2は、本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子となる固体電解質の正電極膜方向からの構成図を示し、図3は、本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子となる固体電解質のA−A部分における断面構成図を示すものである。
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a configuration diagram from the negative electrode film direction of a solid electrolyte serving as an oxygen pump element in the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows an oxygen pump element in the first embodiment of the present invention. FIG. 3 shows a cross-sectional configuration diagram of the solid electrolyte serving as an oxygen pump element according to the first embodiment of the present invention, taken along the line AA. is there.

固体電解質7は置換型のランタンガレート(La0.8Sr0.2Ga0.8Mg0.2)の焼結体を任意の厚さの平板状に成型したものであり、固体電解質7は4個の貫通孔8を有し、貫通孔8は製造プロセス後に十分な導通性を保持させるため、電極膜を形成する前に導電材で貫通孔8を塞いでいる。具体的にはPtペーストを使用した。貫通孔の大きさはφ0.3mmとした。 The solid electrolyte 7 is a sintered body of substitutional type lanthanum gallate (La 0.8 Sr 0.2 Ga 0.8 Mg 0.2 O 3 ) formed into a flat plate having an arbitrary thickness. The solid electrolyte 7 has four through-holes 8. In order to maintain sufficient electrical conductivity after the manufacturing process, the through hole 8 is closed with a conductive material before the electrode film is formed. Specifically, Pt paste was used. The size of the through hole was φ0.3 mm.

次に、固体電解質7の表面上に第一電極膜として、各4個の正電極膜9と負電極膜10が酸素イオン伝導性を発現するように形成されている。ここでは固体電解質7として寸法30×30mm、厚み130μmを想定して説明する。正電極膜9と負電極膜10には、導電性を有するペロブスカイト型複合酸化物を用いた。具体的には、Sm0.5Sr0.5CoO3を有機溶剤であるセルロース系ビヒクルと混合したペーストを、スクリーン印刷により印刷膜を形成し、乾燥後、1100℃にて3時間焼成することにより膜厚約15μmの多孔性を有した電極膜を形成した。 Next, four positive electrode films 9 and four negative electrode films 10 are formed on the surface of the solid electrolyte 7 as first electrode films so as to exhibit oxygen ion conductivity. Here, the solid electrolyte 7 will be described assuming a size of 30 × 30 mm and a thickness of 130 μm. For the positive electrode film 9 and the negative electrode film 10, a perovskite complex oxide having conductivity was used. Specifically, a paste obtained by mixing Sm 0.5 Sr 0.5 CoO 3 with a cellulosic vehicle that is an organic solvent is used to form a printed film by screen printing, and after drying, it is fired at 1100 ° C. for 3 hours to obtain a film thickness of about An electrode film having a porosity of 15 μm was formed.

次に固体電解質7の正極側の外周部に幅2.5mmで絶縁膜となるガラスセラミック膜11を形成した。具体的にはガラスセラミック膜11にはSiO2―ZnO―CaO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を20wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を約1.0wt%含有する結晶化ガラスを使用した。結晶化ガラスは先ず1300℃にて溶解後、ロール冷却機にてカレット状態に加工され、その後さらにボールミル等にて所定の粒度に粉砕される。粉砕されたガラス粒子を印刷ペーストに加工して供した。結晶化ガラスの結晶化開始温度は約850℃であるため、スクリーン印刷を2回行った後、900℃で焼成するとある程度結晶化が進み、耐熱衝撃性に強いガラスセラミック膜が約20μm形成された。固体電解質であるランタンガレートの線熱膨張係数は11.5×10-6/℃であり、ガラスセラミック膜の線熱膨張係数も11.2×10-6/℃とほぼ等しい関係とした。 Next, a glass ceramic film 11 having a width of 2.5 mm and serving as an insulating film was formed on the outer periphery of the solid electrolyte 7 on the positive electrode side. Specifically, the glass ceramic film 11 is made of SiO 2 —ZnO—CaO—BaO based crystallized glass containing 20 wt% of an alkaline earth metal oxide and about 1.0 wt% of an alkali metal oxide. did. The crystallized glass is first melted at 1300 ° C., then processed into a cullet state by a roll cooler, and further pulverized to a predetermined particle size by a ball mill or the like. The crushed glass particles were processed into a printing paste. Since the crystallization start temperature of the crystallized glass is about 850 ° C., after performing screen printing twice and then baking at 900 ° C., crystallization progressed to some extent, and a glass ceramic film having a high thermal shock resistance was formed to about 20 μm. . The linear thermal expansion coefficient of lanthanum gallate, which is a solid electrolyte, was 11.5 × 10 −6 / ° C., and the linear thermal expansion coefficient of the glass ceramic film was also approximately equal to 11.2 × 10 −6 / ° C.

更に、正電極膜9と負電極膜10の表面上には、第二電極膜としてAu多孔性の正第二電極膜12、負第二電極膜13を積層した。この場合、Auペーストを使い、スクリーン印刷により印刷膜を形成し、乾燥後、800℃にて10分間焼成することにより膜厚約3μmの第二電極膜を形成した。1.5mm間隔で分散した正第二電極膜12、負第二電極膜13は貫通孔8を介して導通構造が保てるようにレイアウトされており、4番目と1番目とは抵抗値を大きくするため間隔2.0mmとした。また4番目の負電極膜は貫通孔を介してリード部を正電極側へと配置できるようにリード取り出し部14が構成されている。正第二電極膜12、負第二電極膜13は、正電極膜9と負電極膜10間に電圧を印加した時の電位に対して固体電解質の面分布ムラを改善できる。負第二電極膜13と正第二電極膜12を比較した場合、負第二電極膜13は正第二電極膜12よりも固体電解質の外周方向へ大きな面積を有することで、固体電解質で生じた熱をより外周部へと伝達して均熱化できる構成となっている。   Further, an Au porous positive second electrode film 12 and a negative second electrode film 13 were laminated as second electrode films on the surfaces of the positive electrode film 9 and the negative electrode film 10. In this case, a printed film was formed by screen printing using Au paste, dried, and then baked at 800 ° C. for 10 minutes to form a second electrode film having a thickness of about 3 μm. The positive second electrode film 12 and the negative second electrode film 13 dispersed at intervals of 1.5 mm are laid out so that a conductive structure can be maintained through the through-hole 8, and the fourth and first increase the resistance value. Therefore, the interval was set to 2.0 mm. In addition, the lead extraction portion 14 is configured so that the lead portion of the fourth negative electrode film can be arranged on the positive electrode side through the through hole. The positive second electrode film 12 and the negative second electrode film 13 can improve the surface distribution unevenness of the solid electrolyte with respect to the potential when a voltage is applied between the positive electrode film 9 and the negative electrode film 10. When the negative second electrode film 13 and the positive second electrode film 12 are compared, the negative second electrode film 13 has a larger area in the outer peripheral direction of the solid electrolyte than the positive second electrode film 12, and thus occurs in the solid electrolyte. The heat can be transferred to the outer peripheral portion to equalize the heat.

図4は酸素ポンプ素子の概略構成図を示すものであり、図5は酸素ポンプ素子のB-B部分における断面構成図を示すものである。ここでは固体電解質7が8枚使用された酸素ポンプ素子について説明する。   FIG. 4 shows a schematic configuration diagram of the oxygen pump element, and FIG. 5 shows a cross-sectional configuration diagram of the oxygen pump element at the BB portion. Here, an oxygen pump element using eight solid electrolytes 7 will be described.

個々の固体電解質は開口部を有した金属箔部材14と接合固定されて酸素ポンプ素子は構成される。金属箔部材15としてはFe−20Cr−5Al、12μmを使用した。金属箔部材15には、固体電解質の正第二電極膜12面が露出するように27×27mmの開口部が設けられている。固体電解質のガラスセラミック膜11は導電層16によって金属箔部材15と接合幅1.5mmで接合されている。正電極膜あるいは負電極膜と外周囲方向の金属箔部材15との抵抗成分は固体電解質7の外周部が幅2.5mmでガラスセラミック膜によって絶縁されているので、固体電解質7の最外周部となる。したがって接合幅1.5mmも含めて固体電解質7に電圧を印加した時に抵抗成分とでき、電圧の積み上げ時での漏れ電流を低減できる。個々の正負電極膜間の抵抗値は、電極膜と金属箔部材までの抵抗値と比較すると十分に小さく、おおよそ1000分の1程度となる。したがって電極膜からの金属箔部材への漏れ電流はほとんど無視することが可能である。   Each solid electrolyte is bonded and fixed to a metal foil member 14 having an opening to constitute an oxygen pump element. As the metal foil member 15, Fe-20Cr-5Al, 12 μm was used. The metal foil member 15 is provided with an opening of 27 × 27 mm so that the surface of the positive second electrode film 12 of the solid electrolyte is exposed. The glass ceramic film 11 of solid electrolyte is bonded to the metal foil member 15 with a bonding width of 1.5 mm by a conductive layer 16. The resistance component between the positive electrode film or the negative electrode film and the metal foil member 15 in the outer peripheral direction has an outer peripheral portion of the solid electrolyte 7 having a width of 2.5 mm and is insulated by a glass ceramic film. It becomes. Therefore, when a voltage is applied to the solid electrolyte 7 including a junction width of 1.5 mm, a resistance component can be formed, and a leakage current when the voltage is accumulated can be reduced. The resistance value between the individual positive and negative electrode films is sufficiently smaller than the resistance value between the electrode film and the metal foil member, and is about 1/1000. Therefore, the leakage current from the electrode film to the metal foil member can be almost ignored.

固体電解質の正第二電極膜から貫通孔8を介して負極側に配設されたリード取出し部14と隣に位置する固体電解質の負第二電極膜13とが結線されることで電気的に直列回路となっている。結線はφ0.1mmの金線17によって行った。図4において、個々の固体電解質の負第二電極膜には直列回路に電極膜を結線した場合の序列を番号付けしている。8枚の固体電解質を利用して合計32個の電極膜が直列回路にレイアウトされている。最終的には1番目となる固体電解質の正第二電極膜と結線されたリード部18と、36番目となる固体電解質のリード取り出し部14と結線されたリード部19から酸素ポンプ素子全体に電圧を印加する構成となる。   The lead extraction part 14 disposed on the negative electrode side through the through hole 8 and the adjacent negative second electrode film 13 of the solid electrolyte are electrically connected from the positive second electrode film of the solid electrolyte through the through hole 8. It is a series circuit. The connection was made with a gold wire 17 of φ0.1 mm. In FIG. 4, the order in the case where the electrode films are connected in series to the negative second electrode film of each solid electrolyte is numbered. A total of 32 electrode films are laid out in a series circuit using eight solid electrolytes. Finally, a voltage is applied to the entire oxygen pump element from the lead portion 18 connected to the first positive electrode film of the solid electrolyte to be the first and the lead portion 19 connected to the lead extraction portion 14 of the solid electrolyte to be the 36th. Is applied.

図6は上記酸素ポンプ素子を使用した酸素供給装置の概略断面構成図を示すものである。   FIG. 6 is a schematic cross-sectional configuration diagram of an oxygen supply apparatus using the oxygen pump element.

8枚の固体電解質に対して空間区画手段となる一枚の金属箔部材14の周囲には、電気絶縁性のガス封止剤20で支持体21に固定されている。また、リード部18およびリード部19には、導線を介して電圧印加手段22が接続されており、電圧印加手段22には、電圧制御手段23が接続されている。加熱手段24を構成するヒータ25は、負電極側の表面に対向して配置され、固体電解質の温度を検知する手段261を有する温度制御手段26が、加熱手段24に信号を送っている。ここではヒータ25としてFe-20Cr-5Alからなるリボンヒータを使用した。   Around a single metal foil member 14 serving as a space partitioning means for eight solid electrolytes, an electric insulating gas sealant 20 is fixed to a support 21. In addition, a voltage application means 22 is connected to the lead portion 18 and the lead portion 19 via a conducting wire, and a voltage control means 23 is connected to the voltage application means 22. The heater 25 constituting the heating unit 24 is arranged to face the surface on the negative electrode side, and a temperature control unit 26 having a unit 261 for detecting the temperature of the solid electrolyte sends a signal to the heating unit 24. Here, a ribbon heater made of Fe-20Cr-5Al was used as the heater 25.

固体電解質の温度を検知する手段261は、温度センサーあるいは他の方法であってもよい。センサーの場合、固体電解質の近傍に配置されるかあるいは、任意の個所に配置してよい。温度制御手段26が検知する固体電解質の温度によって、温度制御手段26が、加熱手段24を構成するヒータ25の入力制御を行う。   The means 261 for detecting the temperature of the solid electrolyte may be a temperature sensor or another method. In the case of a sensor, the sensor may be disposed in the vicinity of the solid electrolyte or may be disposed at an arbitrary position. Depending on the temperature of the solid electrolyte detected by the temperature control means 26, the temperature control means 26 performs input control of the heater 25 that constitutes the heating means 24.

ヒータ25が発生する熱の損失を抑制するための断熱部材が断熱手段27および断熱手段28である。ここでは、シリカとアルミナを主成分とする平板状に成型された断熱部材を用いた。断熱手段27には給気のために通気孔271が配設されている。通気孔271断熱部材の広い面積に空間部を設け、通気に伴う拡散抵抗によって均一に固体電解質10の負極側へ供給されるように設計した。   The heat insulating members 27 and 28 are heat insulating members for suppressing the loss of heat generated by the heater 25. Here, a heat insulating member molded into a flat plate mainly composed of silica and alumina was used. The heat insulating means 27 is provided with a vent hole 271 for supplying air. A space portion was provided in a wide area of the ventilation hole 271 heat insulating member, and it was designed to be uniformly supplied to the negative electrode side of the solid electrolyte 10 by diffusion resistance accompanying ventilation.

送風ポンプ29から外気は熱交換器301を具備した送風回路30の給気通路302を経て、通気孔271へと導かれ、最後に断熱手段27によって給気が受熱して固体電解質7の負極側へ至る。したがって冷たい外気が固体電解質7の負極側へ来ることはない。その後排気通路303を経て外部へと排出される。この時熱交換器301によって給気通路302を通過する空気は排気通路303を通過する空気から熱を得る。   The outside air from the blower pump 29 is guided to the vent hole 271 through the supply passage 302 of the blower circuit 30 provided with the heat exchanger 301, and finally, the supply air receives heat by the heat insulating means 27 and the negative electrode side of the solid electrolyte 7. To. Therefore, cold outside air does not come to the negative electrode side of the solid electrolyte 7. Thereafter, it is discharged to the outside through the exhaust passage 303. At this time, the air passing through the supply passage 302 by the heat exchanger 301 obtains heat from the air passing through the exhaust passage 303.

酸素ポンプ素子が収納されている容器31の正極側には、通気口311を介して、ガスの混合手段33が連結されている。混合手段33は、ガス誘導管34と、被混合ガス導入管35と、ガス混合器36と、ガスポンプ37によって構成されている。   A gas mixing means 33 is connected to the positive electrode side of the container 31 in which the oxygen pump element is accommodated via a vent 311. The mixing unit 33 includes a gas induction pipe 34, a mixed gas introduction pipe 35, a gas mixer 36, and a gas pump 37.

以上のように構成された酸素供給装置について、以下その動作、作用を説明する。図7には酸素供給装置を起動させて定常時に至る操作手順を示す。   About the oxygen supply apparatus comprised as mentioned above, the operation | movement and an effect | action are demonstrated below. FIG. 7 shows an operation procedure for starting the oxygen supply device and reaching a steady state.

温度制御手段26によってヒータ25に通電すると、断熱手段27および断熱手段28内の固体電解質の温度が上昇する。温度制御手段26は、固体電解質が動作するに必要な温度、約600℃となるよう、ヒータ25を制御しながら通電していく。但し、この温度が限定を受けるものではなく、固体電解質の特性に合わせて、任意の温度の動作も可能である。ここではヒータ25に200Wを入力して酸素ポンプ素子の起動を行った。その結果、約60secで600℃とすることができた。その後は酸素供給装置全体への熱拡散も考慮しながら、温度制御手段26で制御する。   When the heater 25 is energized by the temperature control means 26, the temperature of the solid electrolyte in the heat insulation means 27 and the heat insulation means 28 rises. The temperature control means 26 energizes while controlling the heater 25 so that the temperature required for the operation of the solid electrolyte is about 600 ° C. However, this temperature is not limited, and operation at an arbitrary temperature is possible according to the characteristics of the solid electrolyte. Here, 200 W was input to the heater 25 to start the oxygen pump element. As a result, the temperature could be raised to 600 ° C. in about 60 seconds. Thereafter, the temperature is controlled by the temperature control means 26 in consideration of thermal diffusion to the entire oxygen supply device.

固体電解質のイオン伝導可能な温度に達した時点で、正第二電極膜と負第二電極膜を介して個々の固体電解質に電圧を印加すると、負電極膜側の表面近傍の酸素が、電気化学反応によって負電極膜から固体電解質の内部を酸素イオンとして、正電極膜へと移動し、正電極膜側の表面から酸素分子として放出される。8枚の固体電解質からなる酸素ポンプ素子に19Vを印加することによって3.0Aの電流が流れる。その結果、酸素イオン伝導によって酸素ポンプ素子の正極側から酸素ガス約360ml/minを得ることが可能となる。   When a voltage is applied to each solid electrolyte via the positive second electrode film and the negative second electrode film when the temperature at which the solid electrolyte can conduct ions is reached, oxygen near the surface on the negative electrode film side By the chemical reaction, the inside of the solid electrolyte is moved from the negative electrode film to the positive electrode film as oxygen ions and released from the surface on the positive electrode film side as oxygen molecules. A current of 3.0 A flows by applying 19 V to an oxygen pump element made of eight solid electrolytes. As a result, it is possible to obtain about 360 ml / min of oxygen gas from the positive electrode side of the oxygen pump element by oxygen ion conduction.

この時送風ポンプ29も起動させることで、所定量の外気が給気通路302を経て、通気孔271へと導かれ、最後に断熱手段27によって受熱しながら、固体電解質7の負極側へと給気される。ここでは2200ml/minの空気を供給した。酸素ポンプ素子が動作していると固体電解質7の負極側から正極側へと酸素が引き抜かれ、負極側が窒素リッチ状態に陥る。これを抑制するために窒素リッチ状態の空気は排気通路303を経て外部へと排出し、新たな空気を連続的に給気通路302から供給している。この時熱交換器301によって給気通路302を通過する空気は排気通路303を通過する空気から熱を得ることになる。熱交換器301による熱回収率はほぼ50%で設計した。ここでは熱交換用部材としてアルミニウムのフィンを使用した。   At this time, the blower pump 29 is also started, whereby a predetermined amount of outside air is guided to the vent hole 271 through the air supply passage 302 and finally supplied to the negative electrode side of the solid electrolyte 7 while receiving heat by the heat insulating means 27. I care. Here, 2200 ml / min of air was supplied. When the oxygen pump element is operating, oxygen is extracted from the negative electrode side of the solid electrolyte 7 to the positive electrode side, and the negative electrode side falls into a nitrogen-rich state. In order to suppress this, the air in the nitrogen-rich state is discharged to the outside through the exhaust passage 303, and new air is continuously supplied from the air supply passage 302. At this time, the air passing through the supply passage 302 by the heat exchanger 301 obtains heat from the air passing through the exhaust passage 303. The heat recovery rate by the heat exchanger 301 was designed to be approximately 50%. Here, aluminum fins were used as heat exchange members.

その後ヒータ25への入力を徐々に低減させていくとともに、酸素ポンプ素子の電流値3.0Aを維持させるように、印加する電圧を徐々に上昇させた。最終的には酸素ポンプ素子への印加電圧を30Vとして、加熱手段によるヒータ25への入力をゼロにすることができた。すなわち酸素イオン伝導によって生じた30V、3.0Aの90Wによって断熱部材内部は給排気に伴う熱ロスも含めて熱平衡となり、固体電解質を定常的に動作可能とさせることができた。   Thereafter, the input to the heater 25 was gradually reduced, and the applied voltage was gradually increased so as to maintain the current value 3.0 A of the oxygen pump element. Finally, the voltage applied to the oxygen pump element was 30 V, and the input to the heater 25 by the heating means could be made zero. That is, 30V, 3.0A 90W generated by oxygen ion conduction brought the thermal insulation inside the heat insulating member including heat loss accompanying supply / exhaust, and the solid electrolyte could be steadily operated.

この時金属箔部材も600℃の雰囲気温度に加えて高温状態に曝されることになる。金属箔部材はアルミニウムを含有するフェライト系ステンレスを使用することで優れた耐酸化性を得ることができる。   At this time, the metal foil member is also exposed to a high temperature state in addition to the atmospheric temperature of 600 ° C. The metal foil member can obtain excellent oxidation resistance by using ferritic stainless steel containing aluminum.

正電極膜側の表面近傍は、発生した酸素ガスによって純酸素に近い状態となり、正電極側の表面から離れ、通気性を有する断熱手段28を通過することになる。したがって、空間を区画する手段となる金属箔部材15とガス封止剤20が、負電極膜側からのガスリークを防ぐ手段として有効に作用する。また固体電解質7と金属箔部材15とをガスシールする導電層16も負電極膜側からのガスリークを防ぐ手段として有効に作用する。   The vicinity of the surface on the positive electrode film side becomes a state close to pure oxygen by the generated oxygen gas, and is separated from the surface on the positive electrode side and passes through the heat insulating means 28 having air permeability. Therefore, the metal foil member 15 and the gas sealant 20 which are means for partitioning the space effectively act as means for preventing gas leakage from the negative electrode film side. Further, the conductive layer 16 that gas seals the solid electrolyte 7 and the metal foil member 15 also effectively acts as a means for preventing gas leakage from the negative electrode film side.

正電極側から放出される酸素ガスは、通気口311を通り、ガス混合手段33を構成するガス誘導管34と、被混合ガス導入管35と、ガス混合器36とによって被混合ガスと混合される。本実施例では、被混合ガスは大気である。生成される混合ガスは酸素富化ガスであり、その流量は、ガスポンプ37の吸引と排出速度によって決められる。   The oxygen gas released from the positive electrode side passes through the vent 311 and is mixed with the mixed gas by the gas induction pipe 34, the mixed gas introduction pipe 35, and the gas mixer 36 constituting the gas mixing means 33. The In this embodiment, the mixed gas is the atmosphere. The produced mixed gas is an oxygen-enriched gas, and its flow rate is determined by the suction and discharge speed of the gas pump 37.

また、混合ガス中の酸素濃度は、混合ガス流量と、固体電解質を流れる酸素イオン量すなわちイオン電流の大きさによって決められる。   The oxygen concentration in the mixed gas is determined by the mixed gas flow rate and the amount of oxygen ions flowing through the solid electrolyte, that is, the magnitude of the ionic current.

(実施の形態2)
図7は、本発明の第2の実施の形態における酸素ポンプ素子の負極側概略構成図を示し、図8は、本発明の第2の実施の形態における酸素ポンプ素子の正極側概略構成図を示すものである。概略の構成は実施の形態1と重複しているので異なる部分について説明を加える。固体電解質38の表面上に形成する第一電極膜および第二電極膜の構成は同じである。
(Embodiment 2)
FIG. 7 shows a schematic configuration diagram of the negative electrode side of the oxygen pump element in the second embodiment of the present invention, and FIG. 8 shows a schematic configuration diagram of the positive electrode side of the oxygen pump element in the second embodiment of the present invention. It is shown. Since the schematic configuration is the same as that of the first embodiment, different parts will be described. The configuration of the first electrode film and the second electrode film formed on the surface of the solid electrolyte 38 is the same.

ここでは各4個の正電極膜と負電極膜とを分散し、固体電解質38の各電極膜には3個の貫通孔39が設けられ、4分割された正第二電極膜40と負第二電極膜41とは電気的に直列回路となるように構成されている。固体電解質38を直列回路に結線した電位序列を番号付けしている。また4番目の負電極膜は貫通孔を介してリード部を正電極側へと配置できるようにリード取り出し部42が設けられている。   Here, each of the four positive electrode films and the negative electrode film is dispersed, and each electrode film of the solid electrolyte 38 is provided with three through-holes 39, and the positive second electrode film 40 and the negative second electrode film divided into four are provided. The two-electrode film 41 is configured to be an electric series circuit. Numbering is made of potential sequences in which the solid electrolytes 38 are connected in a series circuit. The fourth negative electrode film is provided with a lead extraction part 42 so that the lead part can be arranged on the positive electrode side through the through hole.

ここでは固体電解質38の正極側の外周部に幅2.5mmで絶縁膜となるガラスセラミック膜43として、実施例1で使用したガラスセラミック用の印刷ペーストに3wt%イットリア安定化ZrO2を5wt%添加したものを使用した。ガラスセラミックの結晶化開始温度は約850℃であるため、900℃で焼成するとある程度結晶化が進むがイットリア安定化ZrO2は変化しないので、ガラスセラミック膜中にZrO2粒子がフィラーとして分散した状態となる。固体電解質であるランタンガレートの線熱膨張係数は11.5×10-6/℃であり、ZrO2を分散したガラスセラミック膜の線熱膨張係数も11.3×10-6/℃とほぼ等しい関係とした。 Here, 5 wt% of 3 wt% yttria-stabilized ZrO 2 is added to the glass ceramic printing paste used in Example 1 as a glass ceramic film 43 having a width of 2.5 mm and serving as an insulating film on the outer peripheral portion of the solid electrolyte 38 on the positive electrode side. We used what we did. Since the crystallization start temperature of the glass ceramic is about 850 ° C., the crystallization proceeds to some extent when firing at 900 ° C., but the yttria-stabilized ZrO 2 does not change, so that the ZrO 2 particles are dispersed as a filler in the glass ceramic film. . The linear thermal expansion coefficient of lanthanum gallate, which is a solid electrolyte, is 11.5 × 10 −6 / ° C., and the linear thermal expansion coefficient of a glass ceramic film in which ZrO 2 is dispersed is almost equal to 11.3 × 10 −6 / ° C. It was.

本実施の形態での固体電解質を使用して金属箔部材と接合させることで酸素ポンプ素子を構成、その後酸素供給装置とした。その結果電流値として5Aまで流して動作させても固体電解質にクラックを生じることはなかった。したがって負第二電極膜41から正第二電極膜40への電流通路を分散して多く配設することで、固体電解質での温度ムラを軽減することができたと考える。   The oxygen pump element was constituted by joining the metal foil member using the solid electrolyte in the present embodiment, and then the oxygen supply device was obtained. As a result, the solid electrolyte did not crack even when operated at a current value up to 5 A. Therefore, it is considered that the temperature unevenness in the solid electrolyte could be reduced by dispersing and arranging many current paths from the negative second electrode film 41 to the positive second electrode film 40.

本実施の形態では各電極膜に3個の貫通孔を設けたが、最適な貫通孔の数は電極膜の寸法を勘案して、固体電解質の機械的強度に影響がない程度にすることが重要である。したがって130μmの固体電解質では貫通孔の間隔を3mm以上にすることが望ましいと考える。   In this embodiment, three through holes are provided in each electrode film. However, the optimum number of through holes should be set so as not to affect the mechanical strength of the solid electrolyte in consideration of the dimensions of the electrode film. is important. Therefore, in the case of a 130 μm solid electrolyte, it is desirable that the interval between the through holes is 3 mm or more.

(実施の形態3)
図9は、本発明の第3の実施の形態における酸素ポンプ素子の正極側概略構成図を示し、図10は、本発明の第3の実施の形態における酸素ポンプ素子の負極側概略構成図を示すものである。概略の構成は実施の形態1と重複しているので異なる部分について説明を加える。固体電解質44の表面上に形成する第一電極膜および第二電極膜の構成は同じである。
(Embodiment 3)
FIG. 9 shows a schematic diagram of the positive electrode side of the oxygen pump element in the third embodiment of the present invention, and FIG. 10 shows a schematic diagram of the negative electrode side of the oxygen pump element in the third embodiment of the present invention. It is shown. Since the schematic configuration is the same as that of the first embodiment, different parts will be described. The configuration of the first electrode film and the second electrode film formed on the surface of the solid electrolyte 44 is the same.

ここでは各4個の正電極膜と負電極膜とを分散し、固体電解質44の各電極膜には4個の貫通孔45が設けられ、4分割された正第二電極膜46と負第二電極膜47とは電気的に直列回路となるように構成されている。隣り合う正電極膜あるいは負電極膜の間隔は1mmとした。固体電解質44を直列回路に結線した電位序列を番号付けしている。また4番目の負電極膜は貫通孔を介してリード部を正電極側へと配置できるようにリード取り出し部48が設けられている。   Here, each of the four positive electrode films and the negative electrode film is dispersed, and each electrode film of the solid electrolyte 44 is provided with four through-holes 45, and the divided positive second electrode film 46 and negative second electrode film 46 are provided. The two-electrode film 47 is configured to electrically form a series circuit. The interval between adjacent positive electrode films or negative electrode films was 1 mm. Numbering is made of potential sequences in which the solid electrolytes 44 are connected in series circuits. The fourth negative electrode film is provided with a lead extraction portion 48 so that the lead portion can be arranged on the positive electrode side through the through hole.

ここでは固体電解質44の正極側の外周部に幅2.5mmで絶縁膜となるガラスセラミック膜49として、SiO2―Al2O3―CaO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を18wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を0.7wt%含有する結晶化ガラスを使用した。さらにガラスセラミック用の印刷ペーストに平均粒径 0.8μmのAl2O3を5wt%添加したものを使用した。ガラスセラミックの結晶化開始温度は約830℃であるため、880℃で焼成するとある程度結晶化が進むがAl2O3は変化しないので、ガラスセラミック膜中にAl2O3粒子が分散した状態となる。固体電解質であるランタンガレートの線熱膨張係数は11.5×10-6/℃であり、Al2O3を分散したガラスセラミック膜の線熱膨張係数も11.4×10-6/℃とほぼ等しい関係とした。 Here, as the glass ceramic film 49 that becomes an insulating film having a width of 2.5 mm on the outer peripheral portion on the positive electrode side of the solid electrolyte 44, an SiO 2 —Al 2 O 3 —CaO—BaO-based oxide of an alkaline earth metal is contained at 18 wt%, Crystallized glass containing 0.7 wt% of metal oxide was used. Further, a printing paste for glass ceramic added with 5 wt% of Al 2 O 3 having an average particle diameter of 0.8 μm was used. Since the crystallization start temperature of the glass ceramic is about 830 ° C., the crystallization proceeds to some extent when baked at 880 ° C., but Al 2 O 3 does not change, so that the Al 2 O 3 particles are dispersed in the glass ceramic film. The linear thermal expansion coefficient of lanthanum gallate, which is a solid electrolyte, is 11.5 × 10 −6 / ° C., and the linear thermal expansion coefficient of a glass ceramic film in which Al 2 O 3 is dispersed is also approximately equal to 11.4 × 10 −6 / ° C. It was.

正第二電極膜46と負第二電極膜47とを比較した場合、正第二電極膜46は負第二電極膜47よりも固体電解質の外周方向へ大きな面積を有することで、固体電解質で生じた熱をより外周部へと伝達して均熱化できる構成となっている。   When the positive second electrode film 46 and the negative second electrode film 47 are compared, the positive second electrode film 46 has a larger area in the outer peripheral direction of the solid electrolyte than the negative second electrode film 47, so that the solid electrolyte The generated heat can be transmitted to the outer peripheral portion to equalize the temperature.

本実施の形態では、固体電解質44に対して絶縁膜となるガラスセラミック膜48が負電極側に配置しているので正第二電極膜46を固体電解質の外周方向へ大きな面積を有する構成とした。実施の形態1では固体電解質7に対して絶縁膜となるガラスセラミック膜11が正電極側に配置しているので負第二電極膜13を固体電解質の外周方向へ大きな面積を有する構成としている。すなわち金属箔部材と固定されない面に配置させる電極膜を反対側の電極膜よりも外周方向へ広い面積を有する構成することで、固体電解質で生じた熱に対する有効な均熱化が図れた。   In the present embodiment, since the glass ceramic film 48 serving as an insulating film is disposed on the negative electrode side with respect to the solid electrolyte 44, the positive second electrode film 46 has a large area in the outer peripheral direction of the solid electrolyte. . In Embodiment 1, since the glass ceramic film 11 serving as an insulating film is disposed on the positive electrode side with respect to the solid electrolyte 7, the negative second electrode film 13 is configured to have a large area in the outer peripheral direction of the solid electrolyte. That is, the electrode film disposed on the surface not fixed to the metal foil member is configured to have a larger area in the outer peripheral direction than the electrode film on the opposite side, so that it is possible to effectively equalize the heat generated in the solid electrolyte.

本実施の形態のように電極膜が長方形の場合には貫通孔を一箇所にすると電極膜表面で生じる電力損失がかなり大きくなるとともに、高電流を流した場合には固体電解質のクラックを抑制することが困難であった。したがって負電極膜から正電極膜へと固体電解質の一箇所を電流が通過するよりも数箇所の貫通孔を分散して通過するほうが、固体電解質のクラックに対して圧倒的に有利であることがわかった。   When the electrode film is rectangular as in the present embodiment, if the through hole is provided at one location, the power loss generated on the electrode film surface is considerably increased, and cracking of the solid electrolyte is suppressed when a high current is passed. It was difficult. Therefore, it is overwhelmingly more advantageous for cracking of the solid electrolyte to pass through several through-holes than to pass the current through one point of the solid electrolyte from the negative electrode film to the positive electrode film. all right.

実施の形態では、固体電解質の貫通孔をPtペーストで塞ぎ、第一電極膜および第二電極膜を形成したが、これに限定されるものではない。ダミーとなる材料を充填しておき、最終プロセスでAuなどの導電材料を使用して電極膜の導通状態を形成することもできる。しかしスクリーン印刷の都合上貫通孔は印刷時に塞いでおくことが必要となるので、第一電極膜の熱処理温度よりも高い耐熱性を有する導電材料で印刷前に処理しておくほうが、製造プロセスとしてはスムーズに進めることができた。   In the embodiment, the through hole of the solid electrolyte is closed with Pt paste to form the first electrode film and the second electrode film. However, the present invention is not limited to this. It is also possible to fill a dummy material and form a conductive state of the electrode film using a conductive material such as Au in the final process. However, because of the need for screen printing, it is necessary to close the through-holes at the time of printing. Therefore, it is better to process with a conductive material having a heat resistance higher than the heat treatment temperature of the first electrode film before printing. Was able to proceed smoothly.

実施の形態では、ガラスセラミック膜として、SiO2―ZnO―CaO−BaO系、SiO2―Al2O3―CaO−BaO系を使用したがこれらに限定されるものではない。他にSiO2―B2O3―MgO−BaO系を使用することもできる。しかし固体電解質と熱膨張係数を整合化させるためには、アルカリ土類金属の酸化物を15〜25wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を2wt%以下含有する結晶化ガラスであることが必要であった。アルカリ金属の酸化物含有率を抑えることでガラスの特性は高温化し、アルカリ土類金属の酸化物を15〜25wt%とすることで結晶化開始温度は750〜850℃とすることができた。またガラスセラミック膜中に熱膨張係数の大きなZrO2あるいはAl2O3のサブミクロン微粒子を分散させることでガラスセラミック膜の絶縁耐圧はさらに高まるとともに固体電解質との密着性は低下するので、固体電解質とガラスセラミック膜との熱膨張係数に1×10-6/℃程度の差であれば問題なかった。 In the embodiment, the SiO 2 —ZnO—CaO—BaO system and the SiO 2 —Al 2 O 3 —CaO—BaO system are used as the glass ceramic film, but the glass ceramic film is not limited to these. In addition, the SiO 2 —B 2 O 3 —MgO—BaO system can also be used. However, in order to make the thermal expansion coefficient consistent with that of the solid electrolyte, it is necessary to be a crystallized glass containing 15 to 25 wt% of an alkaline earth metal oxide and 2 wt% or less of an alkali metal oxide. there were. By suppressing the alkali metal oxide content, the characteristics of the glass were raised to a high temperature, and the crystallization start temperature could be 750 to 850 ° C. by adjusting the alkaline earth metal oxide to 15 to 25 wt%. Also, by dispersing ZrO2 or Al2O3 submicron particles having a large thermal expansion coefficient in the glass ceramic film, the dielectric strength of the glass ceramic film is further increased and the adhesion to the solid electrolyte is decreased. Therefore, the solid electrolyte and the glass ceramic film are reduced. There was no problem if the coefficient of thermal expansion was about 1 × 10 −6 / ° C.

実施の形態では、固体電解質としてランタンガレートを使用したがこれに限定させるものではなく、イットリウムドープ型のジルコニア(YSZ)、サマリウムト゛ープ型のセリア(SDC)などであっても良い。YSZはランタンガレートに近い線熱膨張係数を有しているが、SDCの場合にはSDCに近い線熱膨張係数のガラスセラミック膜を選択する必要がある。但し現状ではランタンガレート系の材料が酸素イオン伝導体として動作温度が低いので材料の耐久性を鑑みた場合、もっとも好ましい材料といえる。   In the embodiment, lanthanum gallate is used as the solid electrolyte. However, the lanthanum gallate is not limited thereto, and may be yttrium-doped zirconia (YSZ), samarium-doped ceria (SDC), or the like. YSZ has a linear thermal expansion coefficient close to that of lanthanum gallate, but in the case of SDC, it is necessary to select a glass ceramic film having a linear thermal expansion coefficient close to that of SDC. However, at present, the lanthanum gallate material is the most preferable material in view of the durability of the material because the operating temperature is low as an oxygen ion conductor.

また実施の形態では、第一電極膜の複合金属酸化物としてSm0.5Sr0.5CoO3を使用したがこれに限定されるものではない。しかしペロブスカイト型構造を有する複合金属酸化物は酸素分子との電極反応性が高く、かつそれ自体が導電性を有するので優れた酸素イオン伝導性を実現することができる。特に、ペロブスカイト型複合酸化物の中でもAサイトにランタン、サマリウムの少なくとも1種と、Bサイトにコバルト、鉄、マンガンの少なくとも1種で構成されるもの、また、Aサイトの一部をストロンチウムで置換したものが優れた導電性と高い酸素分子の電極反応性を有していた。 In the embodiment, Sm 0.5 Sr 0.5 CoO 3 is used as the composite metal oxide of the first electrode film, but the present invention is not limited to this. However, since the composite metal oxide having a perovskite structure has high electrode reactivity with oxygen molecules and itself has conductivity, excellent oxygen ion conductivity can be realized. In particular, among the perovskite complex oxides, those composed of at least one of lanthanum and samarium at the A site and at least one of cobalt, iron, and manganese at the B site, and part of the A site replaced with strontium It had excellent conductivity and high oxygen molecule electrode reactivity.

また実施の形態では、金属箔部材としてFe−20Cr−5Alの材料を使用したがこれに限定させるものではなく、高温酸化に対して耐久性を有する材料であれば他の金属箔材料を使用することができる。しかし現状ではアルミニウムを含有したフェライト系ステンレスが高温酸化に対して優れた特性を有していた。さらに耐高温酸化性を向上させる目的で希土類金属を添加することも可能である。また厚み12μmを使用したが金属箔部材としては5〜20μmが好ましいと考えられる。すなわち固体電解質で発生した熱を外周部方向へと伝熱拡散させないためには厚みが薄いほど好ましい。しかし5μm以下になると製造時でのハンドリングが悪くなるためである。さらに金属箔部材に対して、絶縁保護膜となるTiO膜を液相析出法で形成したものを使用してもよい。その他にZrO膜、Al膜が使用できる。これらは金属箔を処理する水溶液中に浸漬することによって薄い酸化被膜を短時間で形成させることができ、酸素ポンプ素子を動作させる高温雰囲気下でも十分な絶縁性を保持させることができた。絶縁保護膜は非常に薄い膜なので、金属箔部材の柔軟性を損なうことなく、固体電解質が金属箔部材から剥離するのを抑制できた。 In the embodiment, the Fe-20Cr-5Al material is used as the metal foil member. However, the present invention is not limited to this, and other metal foil materials are used as long as the material has durability against high-temperature oxidation. be able to. However, at present, ferritic stainless steel containing aluminum has excellent characteristics against high-temperature oxidation. Furthermore, it is possible to add a rare earth metal for the purpose of improving the high temperature oxidation resistance. Moreover, although 12 micrometers in thickness was used, it is thought that 5-20 micrometers is preferable as a metal foil member. That is, in order to prevent the heat generated in the solid electrolyte from being transferred to the outer peripheral portion, the thinner the thickness, the better. However, if the thickness is 5 μm or less, the handling at the time of manufacture becomes worse. Against further metal foil member may be used a material obtained by forming the TiO 2 film serving as the insulating protective film in the liquid-phase deposition method. In addition, a ZrO 2 film or an Al 2 O 3 film can be used. By immersing them in an aqueous solution for treating the metal foil, a thin oxide film can be formed in a short time, and sufficient insulation can be maintained even in a high temperature atmosphere in which the oxygen pump element is operated. Since the insulating protective film is a very thin film, it was possible to suppress the separation of the solid electrolyte from the metal foil member without impairing the flexibility of the metal foil member.

また実施の形態では、導電層としてAu系を使用したがこれに限定させるものではない。抵抗値の小さな耐熱性を有する材料であればよく、他にもAg系、AgPd系のものが使用できる。貴金属成分を主体として構成することによって金属箔部材に対して固体電解質を柔軟にガスシール構造で固定させることができた。   In the embodiment, Au is used as the conductive layer, but the present invention is not limited to this. Any material having a small resistance value and heat resistance may be used, and other Ag-based and AgPd-based materials can be used. By using the precious metal component as a main component, the solid electrolyte could be flexibly fixed to the metal foil member with a gas seal structure.

また実施の形態では、第二電極膜、導電膜としてAu系を使用したがこれに限定させるものではなく、抵抗値の小さな耐熱性を有する材料であれば他にもAg系、AgPd系のものが使用できる。   In the embodiment, the Au electrode is used as the second electrode film and the conductive film. However, the present invention is not limited to this, and any other Ag type or AgPd type material can be used as long as it has a low resistance and heat resistance. Can be used.

また本実施の形態では、固体電解質表面上の正電極膜と負電極膜にさらに第二電極膜を配置した場合について説明したが、第二電極膜を配置しない構造についても適用できる。たとえば固体電解質表面上に形成される電極膜の寸法が5×5mmであれば、流す電流値も0.5A程度となり、電極膜上で生ずる電位ムラもそれ程大きくないので第二電極膜は必要とならない。   In the present embodiment, the case where the second electrode film is further disposed on the positive electrode film and the negative electrode film on the surface of the solid electrolyte has been described. However, the present invention can also be applied to a structure in which the second electrode film is not disposed. For example, if the size of the electrode film formed on the surface of the solid electrolyte is 5 × 5 mm, the flowing current value is about 0.5 A, and the potential unevenness generated on the electrode film is not so large, so the second electrode film is necessary. Don't be.

以上のように、本発明にかかる酸素ポンプ素子および酸素供給装置は、長期間に渡って安定した良好な電気電流特性が得られるため、酸素を利用する空気清浄機や空調機器あるいは健康促進機器、健康増進機器など広範な用途に適用できる。   As described above, since the oxygen pump element and the oxygen supply device according to the present invention can obtain stable and good electric current characteristics over a long period of time, an air purifier, an air conditioner, or a health promoting device that uses oxygen, Applicable to a wide range of uses such as health promotion equipment.

本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子となる固体電解質の負電極膜方向からの構成図The block diagram from the negative electrode film direction of the solid electrolyte used as the oxygen pump element in the 1st Embodiment of this invention 本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子となる固体電解質の正電極膜方向からの構成図The block diagram from the positive electrode film | membrane direction of the solid electrolyte used as the oxygen pump element in the 1st Embodiment of this invention 図1のA−A部分における断面構成図FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram taken along the line AA in FIG. 本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子の概略構成図1 is a schematic configuration diagram of an oxygen pump element according to a first embodiment of the present invention. 図4のB−B部分における断面構成図FIG. 4 is a cross-sectional configuration diagram taken along the line BB in FIG. 本発明の第1の実施の形態における酸素供給装置の概略断面構成図1 is a schematic cross-sectional configuration diagram of an oxygen supply device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施の形態における酸素ポンプ素子の正極側の概略構成図Schematic block diagram of the positive electrode side of the oxygen pump element in the second embodiment of the present invention 本発明の第2の実施の形態における酸素ポンプ素子の負極側の概略構成図Schematic configuration diagram on the negative electrode side of the oxygen pump element in the second embodiment of the present invention 本発明の第3の実施の形態における酸素ポンプ素子の正極側の概略構成図Schematic block diagram of the positive electrode side of the oxygen pump element in the third embodiment of the present invention 本発明の第3の実施の形態における酸素ポンプ素子の負極側の概略構成図Schematic block diagram of the negative electrode side of the oxygen pump element in the third embodiment of the present invention 従来の特許文献1参照による酸素ポンプの平面図Plan view of an oxygen pump according to a conventional patent document 1 従来の特許文献1参照による酸素ポンプの断面図Sectional view of an oxygen pump according to the conventional patent document 1

符号の説明Explanation of symbols

7、34、43 固体電解質
8 貫通孔
9 正電極膜
10 負電極膜
11 ガラスセラミック膜
12、36、45 正第二電極膜
13、36、45 負第二電極膜
14 リード取り出し部
15、35、44 金属箔部材
16、39、48 導電層
17、40、49 金線
18、19、41、42、50、51 リード部
22 電圧印加手段
23 電圧制御手段
24 加熱手段
26 温度制御手段
27、28 断熱手段
33 混合手段
7, 34, 43 Solid electrolyte 8 Through hole 9 Positive electrode film 10 Negative electrode film 11 Glass ceramic film 12, 36, 45 Positive second electrode film 13, 36, 45 Negative second electrode film 14 Lead extraction part 15, 35, 44 Metal foil member 16, 39, 48 Conductive layer 17, 40, 49 Gold wire 18, 19, 41, 42, 50, 51 Lead portion 22 Voltage application means 23 Voltage control means 24 Heating means 26 Temperature control means 27, 28 Thermal insulation Means 33 Mixing means

Claims (15)

1つの固体電解質には、正電極膜と負電極膜が複数に分割されて略コンデンサを構成するような対構造で配置され、前記正電極膜および前記負電極膜は前記固体電解質に貫通孔を配設し、前記正電極膜は、隣接する正電極膜の反対側に位置する前記負電極膜と貫通孔を介して導通させる導通構造とすることで電気的に直列回路となるように構成され、前記固体電解質の外周部は開口部を具備した金属箔部材にて、ガスシール構造となるように接合部を有して固定され、前記接合部は前記固体電解質表面上に配設された絶縁膜を介して導電層によって前記金属箔部材に固定される構成であることを特徴とする酸素ポンプ素子。 In one solid electrolyte, a positive electrode film and a negative electrode film are arranged in a pair structure that is divided into a plurality of parts to form a capacitor, and the positive electrode film and the negative electrode film have through holes in the solid electrolyte. The positive electrode film is configured to be electrically connected to the negative electrode film located on the opposite side of the adjacent positive electrode film through a through hole so as to be electrically connected in a series circuit. The outer periphery of the solid electrolyte is fixed by a metal foil member having an opening so as to have a gas seal structure, and the joint is insulated on the surface of the solid electrolyte. An oxygen pump element characterized by being configured to be fixed to the metal foil member by a conductive layer through a film. 固体電解質に配設された貫通孔によって、正電極膜および負電極膜へと電圧を印加するリード部は前記固体電解質の同一面方向から取り出す構造を有していることを特徴とする請求項1に記載の酸素ポンプ素子。 2. The lead portion for applying a voltage to the positive electrode film and the negative electrode film by a through-hole disposed in the solid electrolyte has a structure of taking out from the same surface direction of the solid electrolyte. The oxygen pump element described in 1. 正電極膜と、隣接する正電極膜の反対側に位置する負電極膜とを導通構造する貫通孔が複数個配設されていることを特徴とする請求項1また2に記載の酸素ポンプ素子。 3. The oxygen pump according to claim 1, wherein a plurality of through-holes are provided to make a conductive structure between the positive electrode film and the negative electrode film located on the opposite side of the adjacent positive electrode film. element. 固体電解質に対して、金属箔部材と固定されていない面に配置される正電極膜あるいは負電極膜は金属箔部材と固定されている面に配置される負電極膜あるいは正電極膜よりも外周方向へ広い面積を有していることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 For the solid electrolyte, the positive electrode film or negative electrode film disposed on the surface not fixed to the metal foil member is more peripheral than the negative electrode film or positive electrode film disposed on the surface fixed to the metal foil member. The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 3, wherein the oxygen pump element has a wide area in a direction. 金属箔部材は複数の開口部を備え、前記開口部に固体電解質が配置され、複数の前記固体電解質が電気的に直列回路となるように構成されていることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 The metal foil member includes a plurality of openings, a solid electrolyte is disposed in the openings, and the plurality of solid electrolytes are configured to electrically form a series circuit. The oxygen pump element according to any one of claims. 絶縁膜はガラスセラミック膜で構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to claim 1, wherein the insulating film is made of a glass ceramic film. 絶縁膜はガラスセラミック膜中に安定化されたZrO2粒子あるいはAl2O3粒子がフィラーとして分散し、構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記
載の酸素ポンプ素子。
The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 5, wherein the insulating film is constituted by dispersing stabilized ZrO2 particles or Al2O3 particles as a filler in a glass ceramic film.
ガラスセラミック膜の主体がSiO2―ZnO―CaO−BaO系、SiO2−B2O3−MgO−BaO系またはSiO2―Al2O3―CaO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を15〜25wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を2wt%以下含有する結晶化ガラスであることを特徴とする請求項6または7に記載の酸素ポンプ素子。 The main component of the glass ceramic film is SiO 2 —ZnO—CaO—BaO, SiO 2 —B 2 O 3 —MgO—BaO, or SiO 2 —Al 2 O 3 —CaO—BaO, and contains 15 to 25 wt% of an alkaline earth metal oxide. The oxygen pump element according to claim 6 or 7, wherein the oxygen pump element is a crystallized glass containing 2 wt% or less of the oxide. 貫通孔はPt成分を主体として導通構造を構成することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 8, wherein the through hole constitutes a conductive structure mainly composed of a Pt component. 導電層は貴金属成分を主体として構成されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to claim 1, wherein the conductive layer is mainly composed of a noble metal component. 正電極膜と負電極膜は固体電解質に直接接合する第一電極膜と、前記第一電極膜上に形成された第二電極膜とで構成され、前記固体電解質上に複合金属酸化物成分を主体とする膜を前記第一電極膜とし、貴金属成分を主体とする膜を前記第二電極膜として前記第一電極膜上に配設したことを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 The positive electrode film and the negative electrode film are composed of a first electrode film directly bonded to a solid electrolyte and a second electrode film formed on the first electrode film, and a composite metal oxide component is formed on the solid electrolyte. 11. The film according to claim 1, wherein a film mainly comprising the first electrode film and a film mainly comprising a noble metal component as the second electrode film are disposed on the first electrode film. The oxygen pump element according to item. 固体電解質がランタンガレートであることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 11, wherein the solid electrolyte is lanthanum gallate. 第一電極膜の複合金属酸化物がペロブスカイト型構造であることを特徴とする請求項11または12に記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to claim 11 or 12, wherein the composite metal oxide of the first electrode film has a perovskite structure. 金属箔部材がアルミニウムを含有したフェライト系ステンレスであることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 13, wherein the metal foil member is ferritic stainless steel containing aluminum. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子と、前記酸素ポンプ素子に電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段を制御する電圧制御手段と、前記酸素ポンプ素子を加熱する加熱手段と、前記酸素ポンプ素子の温度を検知して前記加熱手段を制御する温度制御手段と、前記加熱手段および前記酸素ポンプ素子の熱拡散を防止する断熱手段と、前記酸素ポンプ素子を介して発生した酸素を空気と混合して所定酸素濃度の混合ガスにする混合手段とを備えたことを特徴とする酸素供給装置。 The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 14, a voltage applying means for applying a voltage to the oxygen pump element, a voltage control means for controlling the voltage applying means, and heating the oxygen pump element. Heating means, temperature control means for detecting the temperature of the oxygen pump element and controlling the heating means, heat insulating means for preventing thermal diffusion of the heating means and the oxygen pump element, and the oxygen pump element An oxygen supply device comprising: mixing means for mixing oxygen generated in this manner with air to form a mixed gas having a predetermined oxygen concentration.
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