JP2005315608A - Oxygen pump element and oxygen feeder having element - Google Patents

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JP2005315608A
JP2005315608A JP2004130951A JP2004130951A JP2005315608A JP 2005315608 A JP2005315608 A JP 2005315608A JP 2004130951 A JP2004130951 A JP 2004130951A JP 2004130951 A JP2004130951 A JP 2004130951A JP 2005315608 A JP2005315608 A JP 2005315608A
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oxygen
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Hironao Numamoto
浩直 沼本
Akihiro Umeda
章広 梅田
Takeshi Nagai
彪 長井
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To elongate a lifetime of an oxygen pump element by enabling a stable and excellent electric current characteristic for a long period. <P>SOLUTION: This oxygen pump element is equipped with an oxygen-ion conductive solid electrolyte 16, electrode films 17, 18 constituting positive-negative both electrodes formed on both surfaces of the oxygen-ion conductive solid electrolyte 16, a metal foil member 21 bonded to electrode film peripheral parts of the positive-negative both electrodes 17, 18, and lead members 29, 30 connected to the metal foil member 21. The metal foil member 21 having a connection structure to the electrode films 17, 18 is constituted so that a conductive film layer 22 is formed on a bonding part, and that a conductive film linked to the conductive film layer 22 is formed with a prescribed width on both-side surface parts of the metal foil member 21. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質を用いた酸素ポンプ素子とその素子を搭載した酸素供給装置に関するものである。   The present invention relates to an oxygen pump element using an oxygen ion conductive solid electrolyte and an oxygen supply device equipped with the element.

従来この種の酸素ポンプ素子として、図5に示す酸素ポンプ素子が開示されている(例えば特許文献1参照。)。酸素ポンプ素子は、酸素イオン導電性基板1の両側に電極膜2、3を形成して構成される。それぞれの電極膜からはリード部材4、5がそれぞれ特定の一部分より取り出されて電源(図示せず)と接続されている。酸素イオン導電性基板1は支持材6で保持されている。   Conventionally, an oxygen pump element shown in FIG. 5 has been disclosed as this type of oxygen pump element (see, for example, Patent Document 1). The oxygen pump element is configured by forming electrode films 2 and 3 on both sides of the oxygen ion conductive substrate 1. Lead members 4 and 5 are respectively taken out from specific portions from the respective electrode films and connected to a power source (not shown). The oxygen ion conductive substrate 1 is held by a support material 6.

また、この種の酸素ポンプ素子装置としては、図6に示すようなものがある(例えば特許文献2参照。)。図6において、酸素ポンプ素子7は、アルミナなどの多孔質基板8に形成された第1電極9と酸素イオン伝導体の薄膜10と第2電極11とから構成され、第1電極膜9は白金の微粒子を多孔質基板8に、第2電極11は白金の微粒子を酸素イオン伝導体の薄膜10に結合して得られる薄膜を形成した構成としている。加熱手段12は、アルミナ基板などの絶縁性基板13上に導電性ペーストをスクリーン印刷でパターン形成してなるヒータ印刷膜14から構成され、加熱手段12は筐体15に内包されておらず大気に解放された状態で配置されている。   Moreover, as this type of oxygen pump element device, there is one as shown in FIG. 6 (see, for example, Patent Document 2). In FIG. 6, the oxygen pump element 7 includes a first electrode 9 formed on a porous substrate 8 such as alumina, a thin film 10 of oxygen ion conductor, and a second electrode 11, and the first electrode film 9 is made of platinum. These fine particles are formed on the porous substrate 8, and the second electrode 11 has a structure in which a thin film obtained by combining platinum fine particles with the thin film 10 of the oxygen ion conductor is formed. The heating means 12 is composed of a heater print film 14 formed by patterning a conductive paste on an insulating substrate 13 such as an alumina substrate by screen printing. The heating means 12 is not enclosed in the housing 15 and is in the atmosphere. Arranged in a released state.

この構成において、加熱手段12によって酸素ポンプ素子7を酸素ポンプとして動作する温度に加熱し、第1電極9をカソード、第2電極11をアノードとして両電極間に直流電圧を印加すると、図中矢印で示すように第1電極9に解離吸着された空気中の酸素は酸素イオンとして酸素イオン伝導体の薄膜10中を移動し第2電極11に運ばれ、酸素分子となって大気中に放出される。これによって、筐体15に取り付けられた容器内の酸素濃度を減少させることができるというものである。
特開2000−86204号公報 特開平11−23525号公報
In this configuration, when the oxygen pump element 7 is heated to a temperature at which the oxygen pump element 7 operates as an oxygen pump by the heating means 12 and a DC voltage is applied between the first electrode 9 and the second electrode 11 as an anode, As shown in FIG. 5, oxygen in the air dissociated and adsorbed by the first electrode 9 moves as oxygen ions in the thin film 10 of the oxygen ion conductor and is carried to the second electrode 11 to be released into the atmosphere as oxygen molecules. The As a result, the oxygen concentration in the container attached to the housing 15 can be reduced.
JP 2000-86204 A Japanese Patent Laid-Open No. 11-23525

しかしながら、特許文献1の酸素ポンプ素子では、酸素ポンプ素子動作時の熱量がリード部材4、5に集中し、酸素イオン導電性基板2に局部的な温度斑部分が生じるため、熱応力によって固体電解質に割れが発生するという課題があった。このため酸素ポンプ素子の動作時に発生する大きな熱をいかに斑なく分散させ、かつその部分の長期的な保証を持たせるかが課題となっていた。   However, in the oxygen pump element of Patent Document 1, the amount of heat during operation of the oxygen pump element concentrates on the lead members 4 and 5 and local temperature spots are generated on the oxygen ion conductive substrate 2. There was a problem that cracking occurred. For this reason, there has been a problem of how to disperse the large heat generated during the operation of the oxygen pump element without any unevenness and to provide a long-term guarantee for that portion.

また、特許文献2の酸素ポンプ装置の構成では、酸素ポンプ素子7と加熱手段12が大気に解放された状態にあるので、加熱手段12からの熱エネルギーは酸素ポンプ素子7だけでなく大気中の空気の加熱にも使われ、その結果、熱効率が悪くなり、酸素ポンプ素子7を作動させる温度に昇温させるのに必要な加熱手段12の消費電力が高くなるとともに、酸素ポンプ素子の酸素イオンの輸送効率が悪いという課題を有していた。また、実施例では加熱手段12は酸素ポンプ素子7の上部に配置されているので酸素ポンプ素子7の加熱は輻射熱がほとんどとなり、加熱された空気の対流熱を利用できないという欠点を有していた。   Further, in the configuration of the oxygen pump device of Patent Document 2, since the oxygen pump element 7 and the heating means 12 are released to the atmosphere, the thermal energy from the heating means 12 is not only in the oxygen pump element 7 but also in the atmosphere. It is also used for air heating. As a result, the thermal efficiency is deteriorated, the power consumption of the heating means 12 required to raise the temperature to the temperature at which the oxygen pump element 7 is operated increases, and the oxygen ions of the oxygen pump element It had the problem of poor transport efficiency. Further, in the embodiment, since the heating means 12 is disposed on the upper part of the oxygen pump element 7, the oxygen pump element 7 has a drawback that most of the radiant heat is used and the convection heat of the heated air cannot be used. .

本発明は、前記従来の課題を解決するのもので、酸素ポンプ素子に発生する局部的な温度斑を抑えるとともに、加熱手段からの熱を効率よく酸素ポンプ素子に伝達し、加熱に必要な電力を低減する酸素ポンプ装置を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, suppresses local temperature spots generated in the oxygen pump element, efficiently transmits heat from the heating means to the oxygen pump element, and requires electric power required for heating. An object of the present invention is to provide an oxygen pump device that reduces the amount of oxygen.

前記従来の課題を解決するために、本発明の酸素ポンプ素子は、酸素イオン伝導性の固体電解質と、前記酸素イオン伝導性の固体電解質の両面に形成された正負両極を構成する電極膜と、前記正負両極の電極膜外周部と接合された金属箔部材と、前記金属箔部材に接続されたリード部材とを具備し、前記電極膜と連結構造となる前記金属箔部材は接合部分に導電層が形成されるとともに前記金属箔部材の両側表面部分に前記導電層と連通する導電膜が形成されている構成としたものである。   In order to solve the conventional problems, an oxygen pump element of the present invention includes an oxygen ion conductive solid electrolyte, and electrode films constituting positive and negative electrodes formed on both surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte, The metal foil member joined to the outer peripheral part of the positive and negative electrode film and a lead member connected to the metal foil member, and the metal foil member connected to the electrode film has a conductive layer at the joint portion And a conductive film communicating with the conductive layer is formed on both side surface portions of the metal foil member.

これによって、金属箔部材が酸素ポンプ素子の製造過程で受ける引っ張り等の熱歪を緩和できるため、たとえば金属箔が10μmと薄い場合にも部材を反りのない状態に仕上げることができる。また酸素ポンプ素子として使用された場合、電極膜から導電膜へと大電流が流れるが、この時に発生する大きな熱量に対しても所定の幅を有した導電膜によって金属箔の酸化腐食を防御することができる。   As a result, thermal strain such as tension that the metal foil member receives in the process of manufacturing the oxygen pump element can be alleviated. Therefore, even when the metal foil is as thin as 10 μm, for example, the member can be finished without warping. Also, when used as an oxygen pump element, a large current flows from the electrode film to the conductive film, but the conductive film having a predetermined width protects against oxidative corrosion of the metal foil against the large amount of heat generated at this time. be able to.

また、本発明の酸素ポンプ素子は、酸素イオン伝導性の固体電解質と、前記酸素イオン伝導性の固体電解質の両面に形成された正負両極を構成する電極膜と、前記正負両極の電極膜外周部と接合された金属箔部材と、前記金属箔部材に接続されたリード部材とを具備し、前記電極膜と連結構造となる前記金属箔部材は接合部分に導電層が形成されるとともに片側表面部分に前記導電層と連通する導電膜が所定幅形成され、もう一方の表面部分にガラスセラミック膜が形成される構成としたものである。   Further, the oxygen pump element of the present invention includes an oxygen ion conductive solid electrolyte, an electrode film constituting both positive and negative electrodes formed on both surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte, and an electrode film outer peripheral portion of the positive and negative electrodes A metal foil member joined to the metal foil member, and a lead member connected to the metal foil member. The metal foil member that is connected to the electrode film has a conductive layer formed at the joint portion and a one-side surface portion. A conductive film communicating with the conductive layer is formed to have a predetermined width, and a glass ceramic film is formed on the other surface portion.

これによって、金属箔部材が酸素ポンプ素子の製造過程で受ける引っ張り等の熱歪を緩和できるため、たとえば金属箔が10μmと薄い場合にも部材を反りのない状態に仕上げることができる。また酸素ポンプ素子として使用された場合、電極膜から導電膜へと大電流が流れるが、この時に発生する大きな熱量に対しても所定の幅を有した導電膜によって金属箔の酸化腐食を防御することができる。また導電膜材料に比較すると安価で十分な機械的強度を有するので印刷パターンを工夫して曲げ強度をより向上させるような設計自由度を保持させることもできる。   As a result, thermal strain such as tension that the metal foil member receives in the process of manufacturing the oxygen pump element can be alleviated. Therefore, even when the metal foil is as thin as 10 μm, for example, the member can be finished without warping. Also, when used as an oxygen pump element, a large current flows from the electrode film to the conductive film, but the conductive film having a predetermined width protects against oxidative corrosion of the metal foil against the large amount of heat generated at this time. be able to. Moreover, since it is inexpensive and has sufficient mechanical strength as compared with the conductive film material, it is possible to maintain a degree of design freedom by improving the bending strength by devising the printing pattern.

本発明の酸素ポンプ素子は、長期間に渡って安定した良好な電気電流特性が可能となるので、素子の長寿命化が可能となる。   Since the oxygen pump element of the present invention can have stable and good electric current characteristics over a long period of time, the life of the element can be extended.

第1の発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質と、前記酸素イオン伝導性の固体電解質の両面に形成された正負両極を構成する電極膜と、前記正負両極の電極膜外周部と接合された金属箔部材と、前記金属箔部材に接続されたリード部材とを具備し、前記電極膜と連結構造となる前記金属箔部材は接合部分に導電層が形成されるとともに前記金属箔部材の両側表面部分に前記導電層と連通する導電膜が所定幅形成される構成とすることにより、金属箔部材が酸素ポンプ素子の製造過程で受ける引っ張り等の熱歪を緩和できるため、たとえば金属箔が10μmと薄い場合にも部材を反りのない状態に仕上げることができる。また酸素ポンプ素子として使用された場合、電極膜から導電膜へと大電流が流れるが、この時に発生する大きな熱量に対しても所定の幅を有した導電膜によって金属箔の酸化腐食を防御することができる。   The first invention is joined to an oxygen ion conductive solid electrolyte, an electrode film forming both positive and negative electrodes formed on both surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte, and an outer peripheral part of the positive and negative electrode film. The metal foil member includes a metal foil member and a lead member connected to the metal foil member, and the metal foil member which is connected to the electrode film has a conductive layer formed at a joint portion and both surfaces of the metal foil member Since the conductive film communicating with the conductive layer has a predetermined width formed in the portion, the metal foil member can relieve thermal strain such as tension received in the process of manufacturing the oxygen pump element. Even when it is thin, it is possible to finish the member without warping. Also, when used as an oxygen pump element, a large current flows from the electrode film to the conductive film, but the conductive film having a predetermined width protects against oxidative corrosion of the metal foil against the large amount of heat generated at this time. be able to.

第2の発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質と、前記酸素イオン伝導性の固体電解質の両面に形成された正負両極を構成する電極膜と、前記正負両極の電極膜外周部と接合された金属箔部材と、前記金属箔部材に接続されたリード部材とを具備し、前記電極膜と連結構造となる前記金属箔部材は接合部分に導電層が形成されるとともに片側表面部分に前記導電層と連通する導電膜が所定幅形成され、もう一方の表面部分にガラスセラミック膜が所定幅形成される構成とすることにより、金属箔部材が酸素ポンプ素子の製造過程で受ける引っ張り等の熱歪を緩和できるため、たとえば金属箔が10μmと薄い場合にも部材を反りのない状態に仕上げることができる。また酸素ポンプ素子として使用された場合、電極膜から導電膜へと大電流が流れるが、この時に発生する大きな熱量に対しても所定の幅を有した導電膜によって金属箔の酸化腐食を防御することができる。また導電膜に比較すると安価で十分な機械的強度を有するので印刷パターンを工夫して曲げ強度をより向上させるような設計自由度を保持させることもできる。   The second invention is joined to an oxygen ion conductive solid electrolyte, an electrode film constituting both positive and negative electrodes formed on both surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte, and an outer periphery of the positive and negative electrode film The metal foil member includes a metal foil member and a lead member connected to the metal foil member, and the metal foil member having a connection structure with the electrode film has a conductive layer formed at a joint portion and the conductive layer on one surface portion The conductive film that communicates with the metal foil member is formed with a predetermined width, and the glass ceramic film is formed with a predetermined width on the other surface portion, so that the metal foil member is subjected to thermal strain such as tension that is received in the manufacturing process of the oxygen pump element. For example, even when the metal foil is as thin as 10 μm, the member can be finished without warping. Also, when used as an oxygen pump element, a large current flows from the electrode film to the conductive film, but the conductive film having a predetermined width protects against oxidative corrosion of the metal foil against the large amount of heat generated at this time. be able to. Moreover, since it is cheaper and has sufficient mechanical strength as compared with the conductive film, it is possible to maintain a degree of design freedom by improving the bending strength by devising the printing pattern.

第3の発明は、特に、第1または第2の発明の金属箔部材に対して、正電極膜外周部あるいは負電極膜外周部と接合された金属箔部材を一方よりも大きくし、リード部材は金属箔部材の大小関係に基づいて一方向側から取り出す構成とすることにより、酸素イオン伝導に必要な電源回路を一方向にまとめて限定できるため装置のレイアウト構成が簡素化できる。また大きい金属箔部材を固体電解質が接する空間部を区画する区画手段として利用することも可能となる。   In the third invention, in particular, with respect to the metal foil member of the first or second invention, the metal foil member joined to the outer periphery of the positive electrode film or the outer periphery of the negative electrode film is made larger than one, and the lead member By adopting a configuration in which the metal foil member is taken out from one direction based on the magnitude relationship of the metal foil members, the power supply circuit necessary for oxygen ion conduction can be collectively limited in one direction, so that the layout configuration of the apparatus can be simplified. It is also possible to use a large metal foil member as a partitioning means for partitioning a space where the solid electrolyte contacts.

第4の発明は、特に、第1〜第3の発明の金属箔部材に対して、正電極膜あるいは負電極膜外周部と連結構造となる大きい方について固体電解質が接する空間部を区画する区画手段として構成することにより、必要な部品点数を増やすことなく、空間部を十分に区画できるとともに材質が金属箔なので比熱も小さくすることができ、昇温および降温も短時間で行うことができる。   The fourth invention is a section for partitioning a space where the solid electrolyte is in contact with the metal foil member of the first to third inventions, in particular, the larger one that is connected to the outer periphery of the positive electrode film or the negative electrode film. By configuring as a means, the space can be sufficiently partitioned without increasing the number of necessary parts, and since the material is a metal foil, the specific heat can be reduced, and the temperature can be raised and lowered in a short time.

第5の発明は、特に、第1〜第4の発明の金属箔部材に対して、アルミニウムを含有したフェライト系ステンレスとすることにより、高温酸化に対して優れた特性を有するようになり、800℃付近での長期使用に対して安定した特性を維持できる。   In particular, the fifth invention has excellent properties against high-temperature oxidation by using ferritic stainless steel containing aluminum for the metal foil members of the first to fourth inventions. Stable characteristics can be maintained for long-term use around ℃.

第6の発明は、特に、第1〜第5のいずれか一つの発明の固体電解質をランタンガレートとすることによって、ランタンガレートはランタンとガリウムを主成分としたペロブスカイト型複合金属酸化物であり、400℃以上で酸素イオン伝導性を有す。したがって酸素ポンプ素子の動作温度を600℃程度の比較的低温に保持することで十分な能力を得ることができるため、長期的にも酸素ポンプ素子の劣化を抑制できる。   The sixth invention is a perovskite-type composite metal oxide mainly comprising lanthanum and gallium, by using the solid electrolyte of any one of the first to fifth inventions as lanthanum gallate, It has oxygen ion conductivity at 400 ° C or higher. Therefore, since sufficient capability can be obtained by maintaining the operating temperature of the oxygen pump element at a relatively low temperature of about 600 ° C., deterioration of the oxygen pump element can be suppressed even in the long term.

第7の発明は、特に、第2〜第6のいずれか一つの発明のガラスセラミック膜をSiO2−B2O3−MgO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を15〜25wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を2wt%以下含有する結晶化ガラスすることにより、約800℃で焼成することにより、ある程度結晶したガラスセラミック膜状態となり、金属箔との十分な密着性を保持させることができた。それによって金属箔が大電流によって高温になった場合にも酸化腐食を防御することができ、酸素ポンプ素子の長期安定性を向上させることができた。   According to a seventh invention, in particular, the glass ceramic film according to any one of the second to sixth inventions is SiO2-B2O3-MgO-BaO-based and contains an alkaline earth metal oxide in an amount of 15 to 25 wt%. By crystallizing glass containing 2 wt% or less of this oxide, firing at about 800 ° C. resulted in a glass ceramic film crystallized to some extent, and sufficient adhesion to the metal foil could be maintained. As a result, even when the metal foil is heated to a high temperature by a large current, oxidative corrosion can be prevented and the long-term stability of the oxygen pump element can be improved.

第8の発明は、特に、第1〜第7のいずれか一つの発明の導電膜の幅あるいはガラスセラミック膜の幅を3〜7mmとすることによって、金属箔部材に形成された導電膜に大電流が流れることによって電極膜との接合部付近が局部的に高温になった場合にも酸化腐食を防御することができ、酸素ポンプ素子の長期安定性を向上させることができた。   The eighth invention is particularly large in the conductive film formed on the metal foil member by setting the width of the conductive film of any one of the first to seventh inventions or the width of the glass ceramic film to 3 to 7 mm. It was possible to prevent oxidative corrosion even when the vicinity of the junction with the electrode film was locally heated due to current flow, and the long-term stability of the oxygen pump element could be improved.

第9の発明は、特に、第1〜第8のいずれか一つの発明の酸素ポンプ素子と、前記酸素ポンプ素子に電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段を制御する電圧制御手段と、前記酸素ポンプ素子を加熱する加熱手段と、前記酸素ポンプ素子の温度を検知して前記加熱手段を制御する温度制御手段と、前記加熱手段および前記酸素ポンプ素子の熱拡散を防止する通気性の断熱手段と、前記酸素ポンプ素子を介して発生した酸素を空気と混合して所定酸素濃度の混合ガスにする混合手段とを備えた構成とすることにより、酸素ポンプ素子と加熱手段が大気に直接触れることがないので加熱手段による酸素ポンプ素子への熱効率が向上し、酸素ポンプ素子の加熱に必要な電力を小さくすることができ、省エネルギー化を図ることができる。また、酸素ポンプ素子全体を均一に加熱することができるので、酸素ポンプ素子の破損防止効果を向上させることができる。また、酸素ポンプ素子、区画手段、加熱手段が通気機能を有する断熱材に覆われた簡素な構造とすることができるので酸素ポンプの小型化が可能となり、機器への実装を容易にすることができる。   In particular, the ninth invention relates to the oxygen pump element according to any one of the first to eighth inventions, voltage application means for applying a voltage to the oxygen pump element, and voltage control means for controlling the voltage application means. Heating means for heating the oxygen pump element; temperature control means for detecting the temperature of the oxygen pump element to control the heating means; and air permeability for preventing thermal diffusion of the heating means and the oxygen pump element. By comprising a heat insulating means and a mixing means for mixing oxygen generated through the oxygen pump element with air to form a mixed gas having a predetermined oxygen concentration, the oxygen pump element and the heating means are directly connected to the atmosphere. Since it is not touched, the heat efficiency of the oxygen pump element by the heating means is improved, the electric power necessary for heating the oxygen pump element can be reduced, and energy saving can be achieved. Moreover, since the whole oxygen pump element can be heated uniformly, the damage prevention effect of the oxygen pump element can be improved. Further, since the oxygen pump element, the partitioning means, and the heating means can be a simple structure covered with a heat insulating material having a ventilation function, the oxygen pump can be miniaturized and can be easily mounted on a device. it can.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

(実施の形態1)
図1は、本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子の断面構成図を示すものであり、図2は酸素ポンプ素子の分解斜視図を示すものである。
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a cross-sectional configuration diagram of an oxygen pump element according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows an exploded perspective view of the oxygen pump element.

図1において、固体電解質16は置換型のランタンガレート(La0.8Sr0.2Ga0.8Mg0.2)の焼結体を任意の厚さの平板状に成型したものであり、表面に正電極膜17と負電極膜18が酸素イオン伝導性を発現するように結合されている。 In FIG. 1, a solid electrolyte 16 is formed by molding a sintered body of substitutional type lanthanum gallate (La 0.8 Sr 0.2 Ga 0.8 Mg 0.2 O 3 ) into a flat plate having an arbitrary thickness. The positive electrode film 17 and the negative electrode film 18 are coupled to the surface so as to express oxygen ion conductivity.

正電極膜17と負電極膜18には、導電性を有するペロブスカイト型複合酸化物を用いた。具体的には、Sm0.5Sr0.5CoOを有機溶剤であるセルロース系ビヒクルと混合したペーストを、スクリーン印刷により印刷膜を形成し、乾燥後、1100℃にて焼成することにより膜厚約10μmの多孔性を有した正負電極膜を形成した。 For the positive electrode film 17 and the negative electrode film 18, a perovskite complex oxide having conductivity was used. Specifically, a paste obtained by mixing Sm 0.5 Sr 0.5 CoO 3 with a cellulose-based vehicle as an organic solvent is formed by screen printing to form a printed film, dried, and fired at 1100 ° C. A positive and negative electrode film having a thickness of about 10 μm was formed.

更に、正電極膜17と負電極膜18の表面上には、Auの多孔性導電膜19、20を積層した。この場合、Auペーストを使い、スクリーン印刷により印刷膜を形成し、乾燥後、800℃にて焼成することにより膜厚約3μmの導電膜を形成した。導電膜19、20は、正負電極膜17,18間に電圧を印加した時の電位に対して固体電解質の面分布ムラを改善できる。   Further, Au porous conductive films 19 and 20 were laminated on the surfaces of the positive electrode film 17 and the negative electrode film 18. In this case, a printed film was formed by screen printing using Au paste, dried, and baked at 800 ° C. to form a conductive film having a thickness of about 3 μm. The conductive films 19 and 20 can improve the surface distribution unevenness of the solid electrolyte with respect to the potential when a voltage is applied between the positive and negative electrode films 17 and 18.

負電極膜18側には導電性を有する金属箔部材21と連結されている。金属箔部材21としてはFe−20Cr−5Al、12μmを使用し、負電極膜18側が露出するように開口部が設けられている。金属箔部材21が固体電解質18と連結される内周部の両側表面には導電膜22、23が形成されている。導電膜22、23はAgPdペーストを使用してスクリーン印刷により印刷膜を形成し、乾燥後、800℃にて焼成することにより膜厚約3μmの導電膜を幅5mmで形成した。また正電極膜17側も導電性を有する金属箔部材24と連結されている。ここでも負電極膜18側と同様な材料を使用し、正電極膜17側が露出するように開口部が設けられている。金属箔部材24が固体電解質16と連結される内周部の両側表面には導電膜25、26が形成されている。負電極膜18側に配置される金属箔部材21は正電極膜17側に配置される金属箔部材24よりも大きく、固体電解質16で選択的に酸素を輸送する時の空間区画手段としても使用されるようになっている。金属箔部材21、24は正電極膜17側の導電膜19、負電極膜18側の導電膜20と導電層27、28を介して接合されている。導電層27はAuペーストを使い、乾燥後、800℃にて焼成することにより、膜厚約4μmの導電層が金属箔部材24の導電膜25、26と導通するように形成し、導電層28もAuペーストを使い、乾燥後、800℃にて焼成することにより、膜厚約4μmの導電層が金属箔部材21の導電膜22、23と導通するように形成した。また金属箔部材21に形成された導電膜22側よりリード部材29と結線され、金属箔部材24に形成された導電膜26側よりリード部材30と結線されている。また絶縁部材31によって金属箔部材24が金属箔部材21と短絡するのを防止している。絶縁部材31としては厚み0.3mmのマイカシートを使用した。リード部材29および30は固体電解質16の面に対して同一方向に配置されるため、酸素供給装置を製造する上で、構造的なレイアウト構成を簡素化することができる。   A conductive metal foil member 21 is connected to the negative electrode film 18 side. As the metal foil member 21, Fe-20Cr-5Al, 12 [mu] m is used, and an opening is provided so that the negative electrode film 18 side is exposed. Conductive films 22 and 23 are formed on both side surfaces of the inner periphery where the metal foil member 21 is connected to the solid electrolyte 18. For the conductive films 22 and 23, a printed film was formed by screen printing using AgPd paste, and after drying, the conductive film having a thickness of about 3 μm was formed with a width of 5 mm by baking at 800 ° C. The positive electrode film 17 side is also connected to a conductive metal foil member 24. Here, the same material as that on the negative electrode film 18 side is used, and an opening is provided so that the positive electrode film 17 side is exposed. Conductive films 25 and 26 are formed on both side surfaces of the inner periphery where the metal foil member 24 is connected to the solid electrolyte 16. The metal foil member 21 disposed on the negative electrode film 18 side is larger than the metal foil member 24 disposed on the positive electrode film 17 side, and is also used as a space partition means when oxygen is selectively transported by the solid electrolyte 16. It has come to be. The metal foil members 21 and 24 are bonded to the conductive film 19 on the positive electrode film 17 side and the conductive film 20 on the negative electrode film 18 side through conductive layers 27 and 28. The conductive layer 27 is made of Au paste, dried and baked at 800 ° C., so that the conductive layer having a film thickness of about 4 μm is formed to be electrically connected to the conductive films 25 and 26 of the metal foil member 24. Also, the conductive layer having a thickness of about 4 μm was formed so as to be electrically connected to the conductive films 22 and 23 of the metal foil member 21 by using Au paste and drying and baking at 800 ° C. Further, the lead member 29 is connected from the conductive film 22 side formed on the metal foil member 21, and the lead member 30 is connected from the conductive film 26 side formed on the metal foil member 24. The insulating member 31 prevents the metal foil member 24 from being short-circuited with the metal foil member 21. As the insulating member 31, a mica sheet having a thickness of 0.3 mm was used. Since the lead members 29 and 30 are arranged in the same direction with respect to the surface of the solid electrolyte 16, the structural layout configuration can be simplified in manufacturing the oxygen supply device.

図3は上記酸素ポンプ素子を使用した酸素供給装置の概略断面構成図を示すものである。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional configuration diagram of an oxygen supply apparatus using the oxygen pump element.

固体電解質に対して空間区画手段となる金属箔部材21の周囲には、電気絶縁性のガス封止剤32で支持体33に固定されている。   Around the metal foil member 21 serving as a space partitioning means for the solid electrolyte, it is fixed to a support 33 with an electrically insulating gas sealant 32.

また、正電極膜17側および負電極膜18側には、導線を介して電圧印加手段34が接続されており、電圧印加手段34には、電圧制御手段35が接続されている。   In addition, a voltage application unit 34 is connected to the positive electrode film 17 side and the negative electrode film 18 side via a conducting wire, and a voltage control unit 35 is connected to the voltage application unit 34.

加熱手段36を構成するヒータ37は、負電極18側の表面に対向して配置され、固体電解質16の温度を検知する手段38aを有する温度制御手段38が、加熱手段36に信号を送っている。   A heater 37 constituting the heating means 36 is disposed opposite to the surface on the negative electrode 18 side, and a temperature control means 38 having means 38 a for detecting the temperature of the solid electrolyte 16 sends a signal to the heating means 36. .

固体電解質16の温度を検知する手段38aは、温度センサーあるいは他の方法であってもよい。センサーの場合、固体電解質16の近傍に配置されるかあるいは、任意の個所に配置してよい。温度制御手段38が検知する固体電解質16の温度によって、温度制御手段38が、加熱手段36を構成するヒータ37の入力制御を行う。   The means 38a for detecting the temperature of the solid electrolyte 16 may be a temperature sensor or another method. In the case of a sensor, the sensor may be disposed in the vicinity of the solid electrolyte 16 or may be disposed at an arbitrary position. Depending on the temperature of the solid electrolyte 16 detected by the temperature control means 38, the temperature control means 38 performs input control of the heater 37 constituting the heating means 36.

ヒータ37が発生する熱の損失を抑制するための通気性の断熱部材が断熱手段39および40である。ここでは、シリカとアルミナを主成分とする平板状に成型された断熱材を用いた。酸素供給装置を構成する各要素と全体の形状保持のための容器41は、負電極膜18側に、通気用の開口部42を設けている。   The heat insulating means 39 and 40 are breathable heat insulating members for suppressing the loss of heat generated by the heater 37. Here, the heat insulating material shape | molded in the flat form which has a silica and an alumina as a main component was used. Each element constituting the oxygen supply apparatus and the container 41 for maintaining the overall shape are provided with an opening 42 for ventilation on the negative electrode film 18 side.

また、容器41の正電極膜17側には、通気口43を介して、ガスの混合手段44が連結されている。混合手段44は、ガス誘導管45と、被混合ガス導入管46と、ガス混合器47と、ガスポンプ48によって構成されている。   A gas mixing means 44 is connected to the container 41 on the positive electrode film 17 side through a vent 43. The mixing unit 44 includes a gas induction pipe 45, a mixed gas introduction pipe 46, a gas mixer 47, and a gas pump 48.

以上のように構成された酸素供給装置について、以下その動作、作用を説明する。   About the oxygen supply apparatus comprised as mentioned above, the operation | movement and an effect | action are demonstrated below.

まず、酸素供給装置は、室内空気等の大気中に置かれる。この時、窒素や酸素などの大気成分(以下、単に窒素、酸素とする)は、酸素ポンプ装置を構成する通気性の断熱材である断熱手段39および40の内部を通過して正電極膜17側および負電極膜18側の表面まで拡散した状態で安定している。   First, the oxygen supply device is placed in the atmosphere such as room air. At this time, atmospheric components such as nitrogen and oxygen (hereinafter simply referred to as nitrogen and oxygen) pass through the inside of the heat insulating means 39 and 40 which are breathable heat insulating materials constituting the oxygen pump device, and the positive electrode film 17. It is stable in a state of diffusing up to the surface on the side and the negative electrode film 18 side.

この状態において温度制御手段38によってヒータ37に通電すると、断熱手段39および40内の固体電解質16の温度が上昇する。温度制御手段38は、固体電解質16が動作するに必要な温度、約600℃となるよう、ヒータ37を制御しながら通電していく。但し、この温度が限定を受けるものではなく、固体電解質16の特性に合わせて、任意の温度の動作も可能である。   In this state, when the heater 37 is energized by the temperature control means 38, the temperature of the solid electrolyte 16 in the heat insulation means 39 and 40 rises. The temperature control means 38 is energized while controlling the heater 37 so that the temperature required for the operation of the solid electrolyte 16 is about 600 ° C. However, this temperature is not limited, and an operation at an arbitrary temperature is possible according to the characteristics of the solid electrolyte 16.

固体電解質16のイオン伝導可能な温度に達した時点で、正電極膜17と負電極膜18を介して固体電解質16に電圧を印加すると、負電極膜18側の表面近傍の酸素が、電気化学反応によって負電極膜18から固体電解質16の内部を酸素イオンとして、正電極膜17へと移動し、正電極膜17側の表面から酸素分子として放出される。   When a voltage is applied to the solid electrolyte 16 through the positive electrode film 17 and the negative electrode film 18 when the temperature at which the solid electrolyte 16 can conduct ions is reached, oxygen near the surface on the negative electrode film 18 side becomes electrochemical. Due to the reaction, the inside of the solid electrolyte 16 moves from the negative electrode film 18 to the positive electrode film 17 as oxygen ions, and is released as oxygen molecules from the surface on the positive electrode film 17 side.

この時固体電解質16には低電圧大電流が流れるとともに、加わった電圧で固体電解質内部を大電流が流れることによって自己発熱する。したがって使用される金属箔部材も600℃の雰囲気温度に加えて高温状態に曝されることになる。金属箔部材の表面上に形成された導電膜は大電流に対する集電性を向上させるとともに、金属箔の表面酸化に対しても効果的に防御させることができた。金属箔部材の表面上に導電膜を形成して高温酸化を防止するためには少なくとも正負電極膜との接合部から外周方向に3mm幅以上が必要であった。またあまり幅が広すぎても高価な材料の無駄を生じさせることになるので実用的には金属箔部材の表面上に形成させる導電膜の幅は3〜7mmが好ましいと考えられる。   At this time, a low voltage and large current flows through the solid electrolyte 16 and self-heat is generated when a large current flows through the solid electrolyte with the applied voltage. Therefore, the metal foil member used is also exposed to a high temperature state in addition to the atmospheric temperature of 600 ° C. The conductive film formed on the surface of the metal foil member improved the current collecting ability against a large current and could effectively protect against the surface oxidation of the metal foil. In order to prevent the high-temperature oxidation by forming a conductive film on the surface of the metal foil member, it is necessary to have a width of 3 mm or more in the outer peripheral direction from at least the joint with the positive and negative electrode films. Moreover, since an expensive material is wasted even if the width is too large, it is considered that the width of the conductive film formed on the surface of the metal foil member is practically preferably 3 to 7 mm.

正電極膜17の表面近傍は、純酸素に近い状態となるが、ガスリークの完全な防止ができない限り、正電極膜17の表面から離れるとともに、排出された酸素はリークしたガスと自然に混合される。したがって、空間を区画する手段となる金属箔部材21とガス封止剤32が、負電極膜18側からのガスリークを防ぐ手段として有効に作用する。   The vicinity of the surface of the positive electrode film 17 is in a state close to pure oxygen. However, as long as gas leakage cannot be completely prevented, the oxygen is separated from the surface of the positive electrode film 17 and the discharged oxygen is naturally mixed with the leaked gas. The Therefore, the metal foil member 21 and the gas sealant 32 which are means for partitioning the space effectively act as means for preventing gas leakage from the negative electrode film 18 side.

一方、窒素は負電極膜18の側に残される。残された窒素は、断熱手段40の通気性により、大気中に拡散していくと共に、負電極膜18側には新たな酸素が外部より供給される。   On the other hand, nitrogen is left on the negative electrode film 18 side. The remaining nitrogen diffuses into the atmosphere due to the air permeability of the heat insulating means 40, and new oxygen is supplied from the outside to the negative electrode film 18 side.

正電極膜17から放出される酸素ガスは、通気口43を通り、ガス混合手段44を構成することによってガス誘導管45と、被混合ガス導入管46と、ガス混合器47とによって被混合ガスと混合される。本実施例では、被混合ガスは大気である。生成される混合ガスは酸素富化ガスであり、その流量は、ガスポンプ48の吸引と排出速度によって決められる。   The oxygen gas released from the positive electrode film 17 passes through the vent 43 and constitutes the gas mixing means 44, thereby forming a gas to be mixed by the gas induction pipe 45, the mixed gas introduction pipe 46, and the gas mixer 47. Mixed with. In this embodiment, the mixed gas is the atmosphere. The generated mixed gas is an oxygen-enriched gas, and its flow rate is determined by the suction and discharge speeds of the gas pump 48.

また、混合ガス中の酸素濃度は、混合ガス流量と、固体電解質16を流れる酸素イオン量すなわちイオン電流の大きさによって決められる。イオン電流は、固体電解質16に印加される電圧の大きさによって制御できる。   The oxygen concentration in the mixed gas is determined by the mixed gas flow rate and the amount of oxygen ions flowing through the solid electrolyte 16, that is, the magnitude of the ionic current. The ion current can be controlled by the magnitude of the voltage applied to the solid electrolyte 16.

最終的に、本発明の酸素供給装置によって得られる混合ガス中の酸素濃度は、電圧制御手段35による電圧制御とガスポンプ48による混合ガス流量の制御によって実行されることになる。   Finally, the oxygen concentration in the mixed gas obtained by the oxygen supply device of the present invention is executed by voltage control by the voltage control means 35 and control of the mixed gas flow rate by the gas pump 48.

以上のように、本実施の形態では、固体電解質16と正電極膜17側と負電極膜18側とを酸素イオン伝導性を発現するように結合させ、固体電解質16を介して空間部を区画手段によってガスリークを抑制し、加熱昇温と電圧印加を行うことにより、酸素分子を正電極膜17から放出させ、酸素富化された混合ガスを生成することとなり、電圧制御手段35による電圧制御とガスポンプ48による混合ガス流量の制御によって、任意の酸素濃度ガスを安定的に得ることができる。   As described above, in the present embodiment, the solid electrolyte 16, the positive electrode film 17 side, and the negative electrode film 18 side are coupled so as to exhibit oxygen ion conductivity, and the space portion is partitioned via the solid electrolyte 16. The gas leakage is suppressed by the means, the heating temperature is raised and the voltage is applied, whereby oxygen molecules are released from the positive electrode film 17 to generate a mixed gas enriched with oxygen. By controlling the mixed gas flow rate by the gas pump 48, an arbitrary oxygen concentration gas can be stably obtained.

(実施の形態2)
図4は、本発明の第2の実施の形態における酸素ポンプ素子の断面構成図を示すものである。概略の構成は実施の形態1と重複しているので異なる部分についてだけ説明を加える。固体電解質の表面上に形成する電極膜および導電膜の構成は同じである。ここでは正電極膜側と連結される金属箔部材49に対して導電膜50とガラスセラミック膜51を設けた構成を使用し、リード部材52を導電膜50から取り出している。また負電極膜側と連結される金属箔部材53に対しても導電膜54とガラスセラミック膜55を設けた構成を使用し、リード部材56を導電膜54から取り出している。
(Embodiment 2)
FIG. 4 shows a cross-sectional configuration diagram of an oxygen pump element according to the second embodiment of the present invention. Since the schematic configuration is the same as that of the first embodiment, only different parts will be described. The configurations of the electrode film and the conductive film formed on the surface of the solid electrolyte are the same. Here, a configuration in which the conductive film 50 and the glass ceramic film 51 are provided on the metal foil member 49 connected to the positive electrode film side is used, and the lead member 52 is taken out from the conductive film 50. In addition, the metal foil member 53 connected to the negative electrode film side is also provided with a conductive film 54 and a glass ceramic film 55, and the lead member 56 is taken out from the conductive film 54.

ガラスセラミック材料としてはSiO2−B2O3−MgO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を20wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を約1.0wt%含有する結晶化ガラスを使用した。ガラスセラミック材料は先ず1300℃にて溶解後、ロール冷却機にてカレット状態に加工され、その後さらにボールミル等にて所定の粒度に粉砕される。粉砕されたガラス粒子を印刷ペーストに加工して供した。結晶化ガラスの結晶化開始温度は約770℃であるため、印刷後、800℃で焼成するとある程度結晶化が進み、耐熱衝撃性に強いガラスセラミック膜が形成される。   As a glass ceramic material, a crystallized glass containing 20 wt% of an alkaline earth metal oxide and about 1.0 wt% of an alkali metal oxide was used as a SiO 2 —B 2 O 3 —MgO—BaO system. The glass ceramic material is first melted at 1300 ° C., then processed into a cullet state by a roll cooler, and then further pulverized to a predetermined particle size by a ball mill or the like. The crushed glass particles were processed into a printing paste. Since the crystallization start temperature of the crystallized glass is about 770 ° C., after printing, when baked at 800 ° C., crystallization proceeds to some extent, and a glass ceramic film having high thermal shock resistance is formed.

得られたガラスセラミック膜によって固体電解質に低電圧大電流が流れ、金属箔部材側へと伝熱してきた場合にも金属箔部材を高温酸化状態から十分に防御することができた。このような用途に使用できるガラスセラミック材料としてはガラスセラミック膜がSiO2−B2O3−MgO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を16〜25wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を2wt%以下含有するものが好ましかった。アルカリ金属の酸化物含有率を抑えることでガラスの特性を高温化でき、アルカリ土類金属酸化物の含有率を16〜25wt%とすることで結晶化開始温度を750〜800℃とすることができた。   Even when a low voltage and large current flows through the solid electrolyte by the obtained glass ceramic membrane and heat is transferred to the metal foil member side, the metal foil member can be sufficiently protected from the high temperature oxidation state. As a glass-ceramic material that can be used for such applications, the glass-ceramic film is SiO2-B2O3-MgO-BaO-based, containing 16 to 25 wt% of an alkaline earth metal oxide, and containing 2 wt% or less of an alkali metal oxide. I liked what to do. By suppressing the oxide content of the alkali metal, it is possible to increase the temperature of the glass, and by setting the content of the alkaline earth metal oxide to 16 to 25 wt%, the crystallization start temperature may be set to 750 to 800 ° C. did it.

また、本実施の形態では、固体電解質としてランタンガレートを使用したがこれに限定させるものではなく、イットリウムドープ型のジルコニア(YSZ)、サマリウムドープ型のセリア(SDC)などであっても良い。但し現状ではランタンガレート系の材料が酸素イオン伝導体として動作温度が低いので材料の耐久性を鑑みた場合、もっとも好ましい材料といえる。   In this embodiment, lanthanum gallate is used as the solid electrolyte. However, the present invention is not limited to this, and yttrium-doped zirconia (YSZ), samarium-doped ceria (SDC), or the like may be used. However, at present, the lanthanum gallate material is the most preferable material in view of the durability of the material because the operating temperature is low as an oxygen ion conductor.

また、本実施の形態では、金属箔部材としてFe−20Cr−5Alの材料を使用したがこれに限定させるものではなく、高温酸化に対して耐久性を有する材料であれば他の金属箔材料を使用することができる。しかし現状ではアルミニウムを含有したフェライト系ステンレスが高温酸化に対して優れた特性を有していた。さらに耐高温酸化性を向上させる目的で希土類金属を添加することも可能である。また厚み12μmを使用したが金属箔部材としては5〜30μmが好ましいと考えられる。   In the present embodiment, the Fe-20Cr-5Al material is used as the metal foil member. However, the present invention is not limited to this, and other metal foil materials may be used as long as the material has durability against high-temperature oxidation. Can be used. However, at present, ferritic stainless steel containing aluminum has excellent characteristics against high-temperature oxidation. Furthermore, it is possible to add a rare earth metal for the purpose of improving the high temperature oxidation resistance. Moreover, although 12 micrometers in thickness was used, it is thought that 5-30 micrometers is preferable as a metal foil member.

また、本実施の形態では、金属箔部材の構成として負電極膜側に接合させるほうを大きくして固体電解質が空間部を区画する区画手段として使用した場合についてだけ説明したが、逆に正電極膜側に接合させるほうを大きくしてもよい。   Further, in the present embodiment, as a configuration of the metal foil member, only the case where the solid electrolyte is used as a partitioning means for partitioning the space portion by enlarging the side to be bonded to the negative electrode film side has been described. You may enlarge the direction joined to the film | membrane side.

また、本実施の形態では、導電膜としてAu系、AgPd系を使用したがこれに限定させるものではなく、抵抗値の小さな耐熱性を有する材料であれば他のものも使用できる。   In this embodiment, Au-based or AgPd-based is used as the conductive film. However, the present invention is not limited to this, and other materials can be used as long as they have a low resistance and heat resistance.

また、本実施の形態では、固体電解質表面上の正負電極膜にさらに導電膜を配置した場合について説明したが、導電膜を配置しない構造についても適用できる。   Moreover, although this Embodiment demonstrated the case where a electrically conductive film was further arrange | positioned to the positive / negative electrode film on the solid electrolyte surface, it can apply also to the structure which does not arrange | position a electrically conductive film.

以上のように、本発明にかかる酸素ポンプ素子および酸素供給装置は、長期間に渡って安定した良好な電気電流特性が得られるため、酸素を利用する空気清浄機や空調機器あるいは健康促進機器、健康増進機器など広範な用途に適用できる。   As described above, since the oxygen pump element and the oxygen supply device according to the present invention can obtain stable and good electric current characteristics over a long period of time, an air purifier, an air conditioner, or a health promoting device that uses oxygen, Applicable to a wide range of uses such as health promotion equipment.

本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子の断面構成図Sectional block diagram of the oxygen pump element according to the first embodiment of the present invention 本発明の第1の実施の形態における酸素ポンプ素子の分解斜視図The disassembled perspective view of the oxygen pump element in the 1st Embodiment of this invention 本発明の第1の実施の形態における酸素供給装置の概略断面構成図1 is a schematic cross-sectional configuration diagram of an oxygen supply device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施の形態における酸素ポンプ素子の断面構成図Sectional block diagram of the oxygen pump element in the 2nd Embodiment of this invention 従来の特許文献1参照による酸素ポンプ素子を示す図The figure which shows the oxygen pump element by the conventional patent document 1 reference 従来の特許文献2参照による酸素ポンプ素子装置を示す図The figure which shows the oxygen pump element apparatus by the conventional patent document 2 reference

符号の説明Explanation of symbols

16 固体電解質
17 正電極膜
18 負電極膜
21、24 金属箔部材
22、23、27、28 導電膜層
25、26 導電膜
29、30 リード部材
34 電圧印加手段
35 電圧制御手段
36 加熱手段
38 温度制御手段
39、40 断熱手段
44 混合手段
16 Solid Electrolyte 17 Positive Electrode Film 18 Negative Electrode Film 21, 24 Metal Foil Member 22, 23, 27, 28 Conductive Film Layer 25, 26 Conductive Film 29, 30 Lead Member 34 Voltage Application Means 35 Voltage Control Means 36 Heating Means 38 Temperature Control means 39, 40 Heat insulation means 44 Mixing means

Claims (9)

酸素イオン伝導性の固体電解質と、前記酸素イオン伝導性の固体電解質の両面に形成された正負両極を構成する電極膜と、前記正負両極の電極膜外周部と接合された金属箔部材と、前記金属箔部材に接続されたリード部材とを具備し、前記電極膜と連結構造となる前記金属箔部材は接合部分に導電層が形成されるとともに前記金属箔部材の両側表面部分に前記導電層と連通する導電膜が形成されていることを特徴とする酸素ポンプ素子。 An oxygen ion conductive solid electrolyte, an electrode film constituting both positive and negative electrodes formed on both surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte, a metal foil member joined to an outer periphery of the positive and negative electrode films, and A lead member connected to the metal foil member, and the metal foil member that is connected to the electrode film has a conductive layer formed at a joint portion and the conductive layer on both side surface portions of the metal foil member. An oxygen pumping element comprising a conductive film that communicates. 酸素イオン伝導性の固体電解質と、前記酸素イオン伝導性の固体電解質の両面に形成された正負両極を構成する電極膜と、前記正負両極の電極膜外周部と接合された金属箔部材と、前記金属箔部材に接続されたリード部材とを具備し、前記電極膜と連結構造となる前記金属箔部材は接合部分に導電層が形成されるとともに片側表面部分に前記導電層と連通する導電膜が所定幅形成され、もう一方の表面部分にガラスセラミック膜が形成されていることを特徴とする酸素ポンプ素子。 An oxygen ion conductive solid electrolyte, an electrode film constituting both positive and negative electrodes formed on both surfaces of the oxygen ion conductive solid electrolyte, a metal foil member joined to an outer periphery of the positive and negative electrode films, and A lead member connected to the metal foil member, and the metal foil member having a connection structure with the electrode film has a conductive layer formed at a joint portion and a conductive film communicating with the conductive layer on one side surface portion. An oxygen pump element having a predetermined width and a glass ceramic film formed on the other surface portion. 正電極膜外周部と接合された金属箔部材よりも負電極膜外周部と接合された金属箔部材のほうが大きく、あるいは負電極膜外周部と接合された金属箔部材よりも正電極膜外周部と接合された金属箔部材のほうが大きく、リード部材は前記金属箔部材の大小関係に基づいて一方向側から取り出されていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の酸素ポンプ素子。 The metal foil member joined to the negative electrode film outer peripheral part is larger than the metal foil member joined to the positive electrode film outer peripheral part, or the positive electrode film outer peripheral part than the metal foil member joined to the negative electrode film outer peripheral part 3. The oxygen pump according to claim 1, wherein the metal foil member joined with the metal foil member is larger, and the lead member is taken out from one direction side based on the magnitude relation of the metal foil member. element. 正負電極膜外周部と接合された金属箔部材の大きいほうは、固体電解質が接する空間部を区画する区画手段として構成されることを特徴とする請求項3に記載の酸素ポンプ素子。 4. The oxygen pump element according to claim 3, wherein the larger metal foil member joined to the outer peripheral part of the positive and negative electrode films is configured as a partitioning means for partitioning a space part in contact with the solid electrolyte. 金属箔部材がアルミニウムを含有したフェライト系ステンレスであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 4, wherein the metal foil member is ferritic stainless steel containing aluminum. 固体電解質がランタンガレートであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の酸素ポンプ素子。 6. The oxygen pump element according to claim 1, wherein the solid electrolyte is lanthanum gallate. ガラスセラミック膜がSiO2−B2O3−MgO−BaO系でアルカリ土類金属の酸化物を15〜25wt%含有し、アルカリ金属の酸化物を2wt%以下含有する結晶化ガラスであることを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の酸素ポンプ素子。 The glass ceramic film is a crystallized glass containing SiO2B2O3-MgO-BaO and containing 15 to 25 wt% of an alkaline earth metal oxide and 2 wt% or less of an alkali metal oxide. Item 7. The oxygen pump element according to any one of Items 2 to 6. 導電膜の幅あるいはガラスセラミック膜の幅が3〜7mmあることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の酸素ポンプ素子。 The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 7, wherein the width of the conductive film or the width of the glass ceramic film is 3 to 7 mm. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の酸素ポンプ素子と、前記酸素ポンプ素子に電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段を制御する電圧制御手段と、前記酸素ポンプ素子を加熱する加熱手段と、前記酸素ポンプ素子の温度を検知して前記加熱手段を制御する温度制御手段と、前記加熱手段および前記酸素ポンプ素子の熱拡散を防止する通気性の断熱手段と、前記酸素ポンプ素子を介して発生した酸素を空気と混合して所定酸素濃度の混合ガスにする混合手段とを備えたことを特徴とする酸素供給装置。 The oxygen pump element according to any one of claims 1 to 8, a voltage application means for applying a voltage to the oxygen pump element, a voltage control means for controlling the voltage application means, and heating the oxygen pump element. Heating means, temperature control means for detecting the temperature of the oxygen pump element to control the heating means, breathable heat insulating means for preventing thermal diffusion of the heating means and the oxygen pump element, and the oxygen pump An oxygen supply apparatus comprising: mixing means for mixing oxygen generated through the element with air to form a mixed gas having a predetermined oxygen concentration.
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