JP4796901B2 - Tape-like member supply device and supply method - Google Patents

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Description

この発明は供給リールから繰り出されるテープ状部材を巻き取りリールで巻き取るテープ状部材の供給装置及び供給方法に関する。   The present invention relates to a tape-shaped member supply device and a supply method for winding a tape-shaped member fed from a supply reel with a take-up reel.

たとえば、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに代表されるフラットパネルディスプレイなどの製造工程においては、ガラス製の基板の側部上面に設けられた端子部にTCP(Tape Carrier Package)を、μm単位の直径の金属粒子を含有する熱硬化性の樹脂によって形成された粘着性を有する異方性導電テープを介して貼着する工程がある。   For example, in the manufacturing process of flat panel displays such as liquid crystal display panels and plasma display panels, TCP (Tape Carrier Package) is provided on the terminal portion provided on the side surface of a glass substrate, and the diameter in μm units. There exists the process of sticking through the anisotropic conductive tape which has the adhesiveness formed of the thermosetting resin containing these metal particles.

上記異方性導電テープは、上記TCPを上記基板の側部上面の端子部に貼着する前に、基板の側部上面に所定の長さに切断されて貼着される。異方性導電テープの一側面には、この異方性導電テープとでテープ状部材を形成する剥離テープが貼着されていて、異方性導電テープはこの剥離テープとともに供給リールに巻装されている。   The anisotropic conductive tape is cut to a predetermined length and attached to the upper surface of the side portion of the substrate before the TCP is attached to the terminal portion on the upper surface of the side portion of the substrate. A release tape that forms a tape-like member with the anisotropic conductive tape is attached to one side of the anisotropic conductive tape, and the anisotropic conductive tape is wound around a supply reel together with the release tape. ing.

基板の側部上面にTCPを異方性導電テープによって貼着する場合、まず、剥離テープとともに供給リールから繰り出された異方性導電テープを所定長さに切断する。このときの異方性導電テープの切断長さは、上記基板の側部上面に設けられた端子部に対応する長さに設定される。   When the TCP is attached to the upper surface of the side portion of the substrate with the anisotropic conductive tape, first, the anisotropic conductive tape fed out from the supply reel together with the release tape is cut into a predetermined length. The cutting length of the anisotropic conductive tape at this time is set to a length corresponding to the terminal portion provided on the upper surface of the side portion of the substrate.

ついで、所定長さに切断された異方性導電テープは、その切断された部分が基板の端子部が設けられた一側部の上面に対向するよう上記供給リールから上記剥離テープとともに引き出されて位置決めされる。上記基板は水平方向に駆動されるステージ上に載置されていて、端子部が設けられた一側部がバックアップツール上に対向位置するよう位置決めされる。   Next, the anisotropic conductive tape cut to a predetermined length is pulled out together with the peeling tape from the supply reel so that the cut portion faces the upper surface of one side portion where the terminal portion of the substrate is provided. Positioned. The substrate is placed on a stage that is driven in the horizontal direction, and is positioned so that one side portion provided with a terminal portion is opposed to the backup tool.

基板が位置決めされると、上記バックアップツールの上方に上下駆動可能に配置されたヒータを有する加圧ツールを下降させ、異方性導電テープの所定の長さに切断された部分を、上記基板に加圧加熱して貼着する。つまり、異方性導電テープは基板の一側部上面に仮圧着される。仮圧着された異方性導電テープには上記TCPが仮圧着されてから本圧着される。   When the substrate is positioned, the pressurizing tool having a heater disposed so as to be vertically movable is lowered above the backup tool, and a portion of the anisotropic conductive tape cut to a predetermined length is placed on the substrate. Apply by heating under pressure. That is, the anisotropic conductive tape is temporarily pressure-bonded to the upper surface of one side of the substrate. The above-mentioned TCP is temporarily pressure-bonded to the temporarily pressure-bonded anisotropic conductive tape and then finally pressure-bonded.

特許文献1には供給リールから繰り出された異方性導電テープを巻き取りリールによって巻き取るとともに、その途中で所定の長さに切断して基板に貼着する装置が示されている。
特開2003−51517号公報
Patent Document 1 discloses an apparatus for winding an anisotropic conductive tape fed from a supply reel by a take-up reel, and cutting it to a predetermined length and sticking it to a substrate.
JP 2003-51517 A

異方性導電テープは粘着性を有する。そのため、異方性導電テープは、フッ素樹脂などによって形成されて異方性導電テープが貼着し難い上記剥離テープを介して供給リールに巻装されている。それによって、異方性導電テープを上記供給リールから確実に繰り出すことができるようにしている。   An anisotropic conductive tape has adhesiveness. Therefore, the anisotropic conductive tape is wound around the supply reel through the release tape which is formed of a fluororesin or the like and is difficult to stick the anisotropic conductive tape. Thereby, the anisotropic conductive tape can be reliably fed out from the supply reel.

しかしながら、異方性導電テープは経時劣化によって粘着性が増大するということがあり、そのような場合には上記剥離テープが異方性導電テープに強く付着してしまうため、供給リールから円滑に繰り出すことができなくなる。   However, the anisotropic conductive tape may increase in adhesiveness due to deterioration over time, and in such a case, the release tape is strongly attached to the anisotropic conductive tape, so that the anisotropic conductive tape is smoothly fed out from the supply reel. I can't do that.

さらに、異方性導電テープには、供給リールに残留する量が所定の長さになったとき、そのことを知らせるための残量検知テープが上記異方性導電テープに貼着されて設けられている。残量検知テープは上記異方性導電テープや剥離テープと異なる色に着色され、その色によって光学的に判別できるようになっている。   Further, the anisotropic conductive tape is provided with a remaining amount detection tape attached to the anisotropic conductive tape to notify when the amount remaining on the supply reel reaches a predetermined length. ing. The remaining amount detection tape is colored in a different color from the anisotropic conductive tape and the release tape, and can be optically discriminated by the color.

異方性導電テープの上記残量検知テープが設けられた部分は、他の部分に比べて厚くなるから、供給リールの巻き芯に対して強く巻かれた状態となる。つまり、巻き締まり状態になっている。   Since the portion of the anisotropic conductive tape provided with the remaining amount detection tape is thicker than the other portions, it is strongly wound around the core of the supply reel. That is, it is in a tightened state.

巻き締まり状態にあると、残量検知テープが異方性導電テープに付着してしまうことがあり、その場合にも異方性導電テープを供給リールから円滑に繰り出すことができなくなるということがある。   If the winding is tight, the remaining amount detection tape may adhere to the anisotropic conductive tape, and even in that case, the anisotropic conductive tape may not be smoothly fed out from the supply reel. .

このような理由によって、異方性導電テープが供給リールから円滑に繰り出されなくなった状態で、供給リールが回転駆動されると、異方性導電テープの供給リールからすでに繰り出された部分が繰り出し方向に回転する供給リールに巻き取られてしまうことになる。つまり、供給リールから繰り出された異方性導電テープが供給リールに再び巻き取られる逆巻き現象が生じる。   For this reason, when the supply reel is driven to rotate in a state in which the anisotropic conductive tape is not smoothly fed out from the supply reel, the portion of the anisotropic conductive tape that has already been fed out from the supply reel It will be wound up on the supply reel that rotates in a short time. That is, a reverse winding phenomenon occurs in which the anisotropic conductive tape fed from the supply reel is wound around the supply reel again.

異方性導電テープの逆巻き現象が生じると、供給リールから異方性導電テープを繰り出すことができなくなるから、装置を停止させて点検、修理しなければならないから、生産性の大幅な低下を招くことになる。   When the anisotropic conductive tape is reversely wound, the anisotropic conductive tape cannot be fed out from the supply reel, and the apparatus must be stopped and inspected and repaired, resulting in a significant reduction in productivity. It will be.

この発明は、供給リールに巻装されたテープ状部材がその粘着性の増大などによって円滑に繰り出されなくなったとき、逆巻き現象が生じる前にそのことを検出してテープ状部材を確実に繰り出すことができるにしたテープ状部材の供給装置及び供給方法を提供することにある。   When the tape-like member wound on the supply reel is not smoothly fed out due to its increased adhesiveness, the present invention detects that before the reverse winding phenomenon occurs and reliably feeds out the tape-like member. An object of the present invention is to provide a supply device and a supply method for a tape-shaped member which can be performed.

この発明は、離型テープに異方性導電テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給装置であって、
上記テープ状部材が巻装された供給リールと、
この供給リールから繰り出される上記テープ状部材を巻き取る巻き取りリールと、
上記供給リールから上記テープ状部材を繰り出す際にテープ状部材が繰り出されずにすでに繰り出された部分が上記供給リールに巻き取られようとしたときにそのことを検出する検出手段と、
この検出手段の検出に基いて上記テープ状部材が上記供給リールに巻き取られるのを阻止する張力を与える加圧手段と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の供給装置にある。
This invention is a supply device for supplying a tape-like member having an anisotropic conductive tape adhered to a release tape ,
A supply reel wound with the tape-shaped member;
A take-up reel that winds up the tape-shaped member fed out from the supply reel;
Detecting means for detecting when the tape-shaped member is unwound when the tape-shaped member is unwound from the supply reel and the already-rolled portion is about to be wound around the supply reel;
There is provided a tape-like member supply device comprising pressure means for applying a tension for preventing the tape-like member from being wound around the supply reel on the basis of detection by the detection means.

上記検出手段は、上記供給リールから繰り出される上記テープ状部材によって所定方向に回転される回転盤と、この回転盤に対向して配置され上記テープ状部材が上記供給リールから繰り出されずに巻き取られようとしたときにそのことを上記回転盤の回転状態から検出するセンサとによって構成されていることが好ましい。   The detection means includes a rotating disk that is rotated in a predetermined direction by the tape-shaped member that is fed from the supply reel, and the tape-shaped member that is disposed to face the rotating disk is wound without being fed from the supply reel. It is preferable that this is constituted by a sensor that detects this from the rotation state of the rotating disk.

この発明は、離型テープに異方性導電テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給方法であって、
供給リールから繰り出される上記テープ状部材を巻き取りリールによって巻き取る工程と、
上記供給リールから上記テープ状部材を繰り出す際にテープ状部材が繰り出されずにすでに繰り出された部分が上記供給リールに巻き取られることを検出する工程と、
上記検出に基いて上記テープ状部材が上記供給リールに巻き取られるのを阻止する張力を与える工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の供給方法にある。
This invention is a supply method of supplying a tape-like member having an anisotropic conductive tape attached to a release tape ,
A step of winding the tape-shaped member fed from the supply reel by a take-up reel;
A step of previously fed-out portion not fed the tape-like member when unwinding the tape-like member from said supply reel to detect and Turkey wound on the supply reel,
And a step of applying a tension for preventing the tape-like member from being wound around the supply reel based on the detection.

この発明によれば、テープ状部材が供給リールから繰り出されずに供給リールに巻き取られる逆巻き現象が生じる前に、そのことを検出して逆巻き現象が生じるのを防止することで、逆巻き現象によって装置が停止することがないようにしたテープ状部材の供給装置及び供給方法を提供するこができる。   According to the present invention, before the reverse winding phenomenon occurs in which the tape-shaped member is wound around the supply reel without being fed out from the supply reel, this is detected and the reverse winding phenomenon is prevented from occurring. It is possible to provide a supply device and a supply method for a tape-shaped member that prevent the stoppage of the tape.

以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1はこの発明の一実施の形態に係るテープ状部材の供給装置としての貼着装置を示し、この貼着装置は基板ステージ5を備えている。この基板ステージ5はベース6を有し、このベース6の上面にX駆動源6a、Y駆動源6b及びθ駆動源6cによってX、Y及びθ方向に駆動されるテーブル7が設けられている。   FIG. 1 shows a sticking device as a tape-like member supply device according to an embodiment of the present invention, and this sticking device includes a substrate stage 5. The substrate stage 5 has a base 6, and a table 7 that is driven in the X, Y, and θ directions by an X drive source 6 a, a Y drive source 6 b, and a θ drive source 6 c is provided on the upper surface of the base 6.

上記テーブル7上には、液晶ディスプレイパネルからなる基板Wが供給されて真空吸着される。基板Wの上面の一側部には図3(b)に示すように複数の端子1aが所定間隔で形成された複数、この実施の形態では3つの端子部1が設けられている。   On the table 7, a substrate W made of a liquid crystal display panel is supplied and vacuum-sucked. On one side portion of the upper surface of the substrate W, as shown in FIG. 3B, a plurality of terminals 1a are formed at a predetermined interval, and in this embodiment, three terminal portions 1 are provided.

上記基板Wの端子部1が設けられた側部上面には、後述するように3つの端子部1にわたる長さに切断された、両面粘着性の異方性導電テープ2が図3(a)に示すように貼着されるようになっている。上記異方性導電テープ2は金属粒子が混入された熱硬化性樹脂からなる。そして、各端子部1には、TCPなどの電子部品3が異方性導電テープ2を介して貼着される。   On the upper surface of the side portion of the substrate W where the terminal portion 1 is provided, a double-sided adhesive anisotropic conductive tape 2 cut to a length over the three terminal portions 1 as will be described later is shown in FIG. Is attached as shown in The anisotropic conductive tape 2 is made of a thermosetting resin mixed with metal particles. An electronic component 3 such as TCP is attached to each terminal portion 1 via an anisotropic conductive tape 2.

図1に示すように、上記異方性導電テープ2は、この異方性導電テープ2とでテープ状部材4を構成する剥離テープ8に貼着されていて、供給リール9に巻装されている。テープ状部材4は異方性導電テープ2を下方に向けて上記供給リール9から繰り出され、一対のガイドローラ11にガイドされて巻き取りリール12に巻き取られる。それによって、テープ状部材4は一対のガイドローラ11にガイドされた部分が上記テーブル7に載置された上記基板Wの端子部1の上方に平行に対向して走行するようになっている。   As shown in FIG. 1, the anisotropic conductive tape 2 is attached to a release tape 8 that forms a tape-like member 4 with the anisotropic conductive tape 2, and is wound around a supply reel 9. Yes. The tape-like member 4 is fed out from the supply reel 9 with the anisotropic conductive tape 2 facing downward, guided by a pair of guide rollers 11, and taken up on a take-up reel 12. As a result, the tape-like member 4 travels so that the portions guided by the pair of guide rollers 11 face in parallel above the terminal portion 1 of the substrate W placed on the table 7.

上記テーブル7の上方にはヒータ13aを有する加圧部としての加圧ツール13が上下駆動機構14によって上下動可能に設けられている。上記テープ状部材4の異方性導電テープ2は、後述する切断ユニット23によって所定長さに切断され、その所定長さの切断部分2aが上記加圧ツール13の下方に後述するように位置決めされる。   Above the table 7, a pressurizing tool 13 as a pressurizing unit having a heater 13 a is provided so as to be vertically movable by a vertical drive mechanism 14. The anisotropic conductive tape 2 of the tape-like member 4 is cut into a predetermined length by a cutting unit 23 which will be described later, and a cut portion 2a having the predetermined length is positioned below the pressure tool 13 as described later. The

異方性導電テープ2の切断部分2aが位置決めされると、上記加圧ツール13が下降して異方性導電テープ2の切断部分2aが上記基板Wの側辺部の端子部1が設けられた部分に仮圧着される。その後、上記剥離テープ8が図示しない離型ローラによって異方性導電テープ2から剥離され、その剥離テープ8だけが上記巻き取りリール12に巻き取られるようになっている。   When the cut portion 2a of the anisotropic conductive tape 2 is positioned, the pressure tool 13 is lowered, and the cut portion 2a of the anisotropic conductive tape 2 is provided with the terminal portion 1 on the side of the substrate W. Temporarily press-bonded to the part. Thereafter, the peeling tape 8 is peeled off from the anisotropic conductive tape 2 by a release roller (not shown), and only the peeling tape 8 is wound on the take-up reel 12.

上記テープ状部材4の搬送は送り装置20によって行なわれる。この送り装置20は剥離テープ8を挟持可能に形成されたチャック21を有する。このチャック21は図示しないガイド体によって回転不能にガイドされ、サーボモータなどの送り駆動源22bによって回転駆動される駆動ねじ22aによって直線駆動されるようになっている。   The tape-like member 4 is conveyed by a feeding device 20. The feeding device 20 has a chuck 21 formed so as to be able to sandwich the peeling tape 8. The chuck 21 is non-rotatably guided by a guide body (not shown), and is linearly driven by a drive screw 22a that is rotationally driven by a feed drive source 22b such as a servo motor.

したがって、上記チャック21が剥離テープ8を挟持した状態で上記駆動ねじ22aを回転駆動し、このチャック21を図1に矢印Xで示す方向へ駆動すれば、上記剥離テープ8とともに異方性導電テープ2をX方向へ繰り出し、その切断部分2aを加圧ツール13の下方に位置決めできるようになっている。   Therefore, if the drive screw 22a is rotationally driven with the chuck 21 sandwiching the release tape 8, and the chuck 21 is driven in the direction indicated by the arrow X in FIG. 2 is extended in the X direction, and the cut portion 2 a can be positioned below the pressurizing tool 13.

上記供給リール9は繰り出し駆動源15(図4に示す)によって回転駆動されてテープ状部材4を繰り出すようになっており、上記巻き取りリール12は巻き取り駆動源16によって回転駆動されて剥離テープ8を巻き取るようになっている。上記繰り出し駆動源15、巻き取り駆動源16及び送り駆動源22bは制御装置18によって後述するように駆動が制御される。   The supply reel 9 is rotationally driven by a feeding drive source 15 (shown in FIG. 4) to feed out the tape-like member 4, and the take-up reel 12 is rotationally driven by a take-up drive source 16 to release a peeling tape. 8 is wound up. The feeding drive source 15, the take-up drive source 16, and the feed drive source 22b are controlled by the control device 18 as will be described later.

上記異方性導電テープ2は基板Wよりも搬送方向上流側において、上記切断ユニット23によって所定の長さに切断される。この切断ユニット23は、カッタ24と剥離機構25から構成されている。   The anisotropic conductive tape 2 is cut to a predetermined length by the cutting unit 23 on the upstream side of the substrate W in the transport direction. The cutting unit 23 includes a cutter 24 and a peeling mechanism 25.

上記カッタ24は、テープ状部材4が供給リール9から繰り出されて水平に走行する部分の下方に先端を対向させて配置されていて、図示しない駆動機構によって上下方向に駆動可能となっている。上記剥離機構25は、上記カッタ24よりもテープ状部材4の走行方向下流側にテープ状部材4の下方に対向して配置されている。   The cutter 24 is disposed with its tip facing the lower side of the portion where the tape-like member 4 is fed from the supply reel 9 and travels horizontally, and can be driven in the vertical direction by a drive mechanism (not shown). The peeling mechanism 25 is disposed on the downstream side of the cutter member 24 in the running direction of the tape-like member 4 so as to face the lower side of the tape-like member 4.

搬送されるテープ状部材4の上面側には、上記カッタ24と剥離機構25とに対向して保持ブロック26が配設されている。この保持ブロック26には、剥離テープ8を介して上記異方性導電テープ2の上面を押圧する押し出し部材27がスライド可能に設けられている。この押し出し部材27は図示せぬシリンダなどによって所定のタイミングで押圧される。   On the upper surface side of the tape-like member 4 to be conveyed, a holding block 26 is disposed so as to face the cutter 24 and the peeling mechanism 25. The holding block 26 is slidably provided with an extruding member 27 that presses the upper surface of the anisotropic conductive tape 2 through the peeling tape 8. The pushing member 27 is pressed at a predetermined timing by a cylinder (not shown).

上記押し出し部材27の下方には、テープ状部材4を介して剥離ヘッド28が対向して配置されている。この剥離ヘッド28はベース板29に取り付けられている。このベース板29には粘着テープ31が巻回された供給リール32が設けられ、この粘着テープ31は上記剥離ヘッド28の上面に沿って走行して巻取りリール33に巻き取られるようになっている。   A peeling head 28 is disposed below the push-out member 27 so as to face the tape-like member 4. The peeling head 28 is attached to the base plate 29. The base plate 29 is provided with a supply reel 32 around which an adhesive tape 31 is wound. The adhesive tape 31 travels along the upper surface of the peeling head 28 and is wound around a take-up reel 33. Yes.

上記ベース板29は図示しないシリンダによって上下駆動される。ベース板29が上昇方向に駆動されると、押し出し部材27によって異方性導電テープ2の一対の切断線2bによって切断された箇所が押し下げられる。上記切断線2bは、上記カッタ24が上昇方向に駆動され、異方性導電テープ2の上記保持ブロック26の下面に対向する部分に突き当たることで形成される。なお、そのとき剥離テープ8は切断されない。   The base plate 29 is driven up and down by a cylinder (not shown). When the base plate 29 is driven in the upward direction, the portion cut by the pair of cutting lines 2b of the anisotropic conductive tape 2 is pushed down by the pushing member 27. The cutting line 2b is formed when the cutter 24 is driven in the upward direction and abuts against a portion of the anisotropic conductive tape 2 facing the lower surface of the holding block 26. At that time, the release tape 8 is not cut.

それによって、異方性導電テープ2の上記カッタ24によって切断された部分2cが剥離ヘッド28の粘着テープ31に押し付けられるから、その部分2cが剥離テープ8から剥離される。つまり、異方性導電テープ2は、基板Wに貼着される所定長さの両端部分が上記カッタ24によって切断され、その切断部分2cが上記剥離機構25によって除去されてから、上記所定の長さに切断分離された部分2aが上記加圧ツール13によって基板Wの端子部1に貼着されることになる。   As a result, the portion 2 c of the anisotropic conductive tape 2 cut by the cutter 24 is pressed against the adhesive tape 31 of the peeling head 28, and the portion 2 c is peeled from the peeling tape 8. That is, the anisotropic conductive tape 2 has the predetermined length after the both ends of the predetermined length attached to the substrate W are cut by the cutter 24 and the cut portion 2c is removed by the peeling mechanism 25. The portion 2 a that has been cut and separated is stuck to the terminal portion 1 of the substrate W by the pressure tool 13.

上記供給リール9と切断ユニット23との間には、上記供給リール9から繰り出されたテープ状部材4に空気圧によって張力を付与するエアダンサ35が設けられている。このエアダンサ35はダンサケース36を有する。このダンサケース36は一側面が開口した扁平な箱型状に形成されていて、その開口部36aを横に向けるとともに長手方向と交差する方向を上下方向に沿わせて配置されている。つまり、ダンサケース36は横向きに配置されている。   An air dancer 35 is provided between the supply reel 9 and the cutting unit 23 to apply tension to the tape-like member 4 fed from the supply reel 9 by air pressure. The air dancer 35 has a dancer case 36. The dancer case 36 is formed in a flat box shape with one side open, and the opening 36a is directed sideways and the direction intersecting the longitudinal direction is arranged along the vertical direction. That is, the dancer case 36 is disposed sideways.

上記ダンサケース36の開口部36aと反対側の側面には吸引手段としての吸引ブロア37が設けられている。吸引ブロア37はダンサケース36内の気体を吸引して内部を負圧にする。   A suction blower 37 as a suction means is provided on the side surface of the dancer case 36 opposite to the opening 36a. The suction blower 37 sucks the gas in the dancer case 36 to make the inside negative.

上記供給リール9から繰り出されたテープ状部材4は一対のガイドローラ38aにガイドされて上記ダンサケース36の開口部36aに対向して走行するようになっている。その状態で、上記吸引ブロア37を作動させてダンサケース36内を負圧すれば、上記テープ状部材4は上記吸引ブロア37の吸引力によってダンサケース36内に引き込まれて湾曲する。すなわち、テープ状部材4に吸引ブロア37の吸引力が作用することで、このテープ状部材4には上記吸引力に対応する張力が付与されることになる。   The tape-like member 4 fed out from the supply reel 9 is guided by a pair of guide rollers 38a so as to run against the opening 36a of the dancer case 36. In this state, if the suction blower 37 is operated to apply a negative pressure in the dancer case 36, the tape-like member 4 is drawn into the dancer case 36 by the suction force of the suction blower 37 and is bent. That is, when the suction force of the suction blower 37 acts on the tape-like member 4, a tension corresponding to the suction force is applied to the tape-like member 4.

上記ダンサケース36の開口部36aには,このダンサケース36内に引き込まれるテープ状部材4をガイドして円滑に湾曲させる一対のガイドローラ38bが設けられている。さらに、開口部36aと対向する部位には、吸引ブロア37の吸引力によってテープ状部材4をダンサケース36内へ引き込むときに、テープ状部材4をダンサケース36内へ付勢する加圧気体を噴射する加圧手段としての加圧ノズル39が配置されている。   The opening 36a of the dancer case 36 is provided with a pair of guide rollers 38b for guiding and smoothly bending the tape-like member 4 drawn into the dancer case 36. Further, a pressurized gas that urges the tape-like member 4 into the dancer case 36 when the tape-like member 4 is drawn into the dancer case 36 by the suction force of the suction blower 37 is applied to a portion facing the opening 36a. A pressurizing nozzle 39 is disposed as pressurizing means for spraying.

加圧ノズル39には開閉制御弁40を有する空気配管40aが接続されている。上記吸引ブロア37の発停と、上記開閉制御弁40の開閉は上記制御装置18によって制御される。   An air pipe 40 a having an open / close control valve 40 is connected to the pressure nozzle 39. The control device 18 controls the start / stop of the suction blower 37 and the opening / closing of the opening / closing control valve 40.

なお、上記ダンサケース36には、この内部に吸引されて引き込まれたテープ状部材4の引き込み量を検出する複数、たとえば第1乃至第5の検出センサ51〜55(図4に示す)ダンサケース36の開口部36a側から閉塞端側に向かって所定の間隔で順次設けられている。   The dancer case 36 includes a plurality of, for example, first to fifth detection sensors 51 to 55 (shown in FIG. 4) that detect the amount of the tape-like member 4 that has been sucked and drawn into the dancer case 36. 36 are sequentially provided from the opening 36a side toward the closed end side at a predetermined interval.

第1乃至第5の検出センサ51〜55の検出信号はそれぞれ上記制御装置18に出力され、その検出信号に基づいて上記繰り出し駆動源15による供給リール9の回転速度が制御され、上記供給リール9からテープ状部材4が単位時間当たりに繰り出される長さが制御される。   The detection signals of the first to fifth detection sensors 51 to 55 are respectively output to the control device 18, and the rotation speed of the supply reel 9 by the feeding drive source 15 is controlled based on the detection signal, and the supply reel 9 is controlled. The length by which the tape-like member 4 is fed out per unit time is controlled.

それによって、ダンサケース36内に引き込まれるテープ状部材4の湾曲長さは、巻き取りリール12による巻き取り量の変化に係らず、ほぼ一定に維持されるようになっている。   Thereby, the curved length of the tape-like member 4 drawn into the dancer case 36 is maintained substantially constant regardless of the change in the amount of winding by the winding reel 12.

図2(a),(b)に示すように、上記テープ状部材4をガイドする一対のガイドローラ38aの一方には、このガイドローラ38aを回転可能に支持したローラ軸41に、検出手段を構成する回転盤42が一体的に設けられている。この回転盤42には周方向に等間隔で複数の透孔43が形成されている。回転盤42の一側面には投光器44が設けられ、他側面には投光器44と対向して受光器45が設けられている。   As shown in FIGS. 2A and 2B, one of a pair of guide rollers 38a for guiding the tape-like member 4 is provided with a detecting means on a roller shaft 41 that rotatably supports the guide roller 38a. The rotating disk 42 which comprises is provided integrally. A plurality of through holes 43 are formed in the turntable 42 at equal intervals in the circumferential direction. A light projector 44 is provided on one side surface of the turntable 42, and a light receiver 45 is provided on the other side surface to face the light projector 44.

上記投光器44から出力された光Lは回転盤42に形成された透孔43を介して上記受光器44によって検出され、その検出信号は上記制御装置18に入力される。上記送り装置20によってテープ状部材4を繰り出しているときに、上記回転盤42が一定の速度で回転していれば、上記受光器44が上記投光器44から出力された光Lを検出することで、上記制御装置18に出力される検出信号の周期は一定となる。つまり、テープ状部材4が円滑に繰り出されていれば、制御装置18には受光器45から一定の周期で検出信号が入力される。 The light L output from the light projector 44 is detected by the light receiver 44 through a through hole 43 formed in the rotating disk 42, and the detection signal is input to the control device 18. When the rotating disk 42 is rotating at a constant speed when the tape-like member 4 is being fed by the feeding device 20, the light receiver 44 detects the light L output from the light projector 44. The period of the detection signal output to the control device 18 is constant. That is, if the tape-like member 4 is smoothly drawn out, a detection signal is input to the control device 18 from the light receiver 45 at a constant cycle.

しかしながら、テープ状部材4が後述するように供給リール9から円滑に繰り出されなくなると、上記回転盤42の回転速度が変化するから、受光器44が検出する検出信号の周期が変化する。それによって、制御装置18は上記ガイドローラ38aの回転が変化したこと、つまりテープ状部材4の送り速度に変化が生じたことを検出し、その検出信号を制御装置18に出力するようになっている。
なお、この実施の形態では、上記投光器44と受光器45は、上記回転盤42の回転状態からテープ状部材4の逆巻き現象を検出するセンサを構成している。
However, when the tape-like member 4 is not smoothly fed out from the supply reel 9 as will be described later, the rotation speed of the rotating disk 42 changes, and the period of the detection signal detected by the light receiver 44 changes. As a result, the control device 18 detects that the rotation of the guide roller 38a has changed, that is, changes in the feed speed of the tape-like member 4, and outputs a detection signal to the control device 18. Yes.
In this embodiment, the light projector 44 and the light receiver 45 constitute a sensor that detects the reverse winding phenomenon of the tape-like member 4 from the rotation state of the rotating disk 42.

上記一対のガイドローラ38aの間には、テープ状部材4に上記供給リール9から繰り出される方向の張力を付与する加圧手段としてのたとえばソレノイド46が設けられている。このソレノイド46の可動軸47の先端には加圧ローラ48が回転可能に設けられている。   Between the pair of guide rollers 38 a, for example, a solenoid 46 is provided as a pressurizing unit that applies tension in the direction of being fed from the supply reel 9 to the tape-like member 4. A pressure roller 48 is rotatably provided at the tip of the movable shaft 47 of the solenoid 46.

上記回転盤42の回転速度が変化してそのことを受光器45が検出し、その検出信号が制御装置18に出力されると、この制御装置18から上記ソレノイド46に駆動信号が出力され、その駆動信号によって上記可動軸47が突出方向に駆動される。それによって、テープ状部材4は、可動軸47の先端に設けられた加圧ローラ48によって加圧されるようになっている。   When the rotational speed of the rotating plate 42 is changed and the light receiver 45 detects the change and the detection signal is output to the control device 18, a drive signal is output from the control device 18 to the solenoid 46, The movable shaft 47 is driven in the protruding direction by a drive signal. As a result, the tape-like member 4 is pressed by a pressure roller 48 provided at the tip of the movable shaft 47.

このような構成の貼着装置においては、繰り出し駆動源15、巻き取り駆動源16及び送り装置20が制御装置18によって同期して駆動されることで、供給リール9に巻装されたテープ状部材4が所定長さづつ繰り出され、その異方性導電テープ2が切断されて基板ステージ5に保持された基板Wの端部に貼着される。   In the sticking device having such a configuration, the feeding drive source 15, the take-up drive source 16, and the feeding device 20 are driven synchronously by the control device 18, so that the tape-like member wound around the supply reel 9. 4 is fed out by a predetermined length, and the anisotropic conductive tape 2 is cut and attached to the end of the substrate W held on the substrate stage 5.

供給リール9に巻装されたテープ状部材4は、経時劣化して異方性導電テープの粘着性が増大したり、残量検知テープによって巻き締まり状態にあるなどして、その部分の粘着度合が増加する。 The tape-like member 4 wound around the supply reel 9 is deteriorated with time to increase the adhesiveness of the anisotropic conductive tape 2 or is tightly wound by the remaining amount detection tape. The degree increases.

テープ状部材4の粘着度合が増加すると、図5(a)にZで示す付着部分が生じ、供給リール9が同図に矢印で示す繰り出し方向に回転駆動されても、上記付着部分Zでテープ状部材4が剥がれず、その付着部分Zが図5(b)に示すように供給リール9の回転方向に移動する。それに伴って、テープ状部材4の繰り出し方向も同図に鎖線で示す方向から実線で示す方向に変化する。つまり、テープ状部材4が供給リール9から繰り出されなくなる。   When the degree of adhesion of the tape-like member 4 increases, an attached portion indicated by Z in FIG. 5A is generated, and even if the supply reel 9 is rotationally driven in the feeding direction indicated by an arrow in FIG. The shaped member 4 is not peeled off, and the attached portion Z moves in the rotation direction of the supply reel 9 as shown in FIG. Accordingly, the feeding direction of the tape-like member 4 also changes from the direction indicated by the chain line to the direction indicated by the solid line in FIG. That is, the tape-like member 4 is not fed out from the supply reel 9.

このように、テープ状部材4が供給リール9から繰り出されなくなると、この供給リール9の回転によってテープ状部材4の既に繰り出されてダンサケース36内に吸引されている部分が引き出されて上記供給リール9に再度巻き取られる、逆巻き現象が生じる虞がある。   As described above, when the tape-like member 4 is not drawn out from the supply reel 9, a portion of the tape-like member 4 that has already been drawn out and sucked into the dancer case 36 is drawn out by the rotation of the supply reel 9. There is a possibility that a reverse winding phenomenon occurs in which the reel 9 is wound again.

しかしながら、付着部分Zが剥がれない状態で、供給リール9が回転駆動されているにも係らず、テープ状部材4が繰り出されなくなると、テープ状部材4をガイドしたガイドローラ38aと一体的に設けられた回転盤42の回転速度が変化する。つまり、回転盤42はその回転が瞬間的に停止した後、すでに繰り出されたテープ状部材4が巻き取られる方向に走行し始めることで、回転方向が逆方向になる。   However, if the tape-like member 4 is not fed out even though the supply reel 9 is driven to rotate in a state where the adhered portion Z is not peeled off, the tape-like member 4 is provided integrally with the guide roller 38a that guides the tape-like member 4. The rotation speed of the rotary plate 42 changes. In other words, after the rotation of the rotating disk 42 stops instantaneously, the rotation direction is reversed by starting to travel in the direction in which the tape-like member 4 that has already been drawn is wound.

このように、回転盤42の回転速度(回転方向)が変化すると、受光器45が上記回転盤42に形成された透孔43を介して検出する光Lの周期も変化するから、そのことが受光器45から制御装置18に出力される。それによって、制御装置18はソレノイド46に駆動信号を出力する。   As described above, when the rotation speed (rotation direction) of the turntable 42 changes, the period of the light L detected by the light receiver 45 through the through hole 43 formed in the turntable 42 also changes. The light is output from the light receiver 45 to the control device 18. Thereby, the control device 18 outputs a drive signal to the solenoid 46.

上記ソレノイド46は、制御装置18からの駆動信号によって図2(a)に実線で示す状態から鎖線で示すように可動軸47が突出する方向に駆動され、その先端に設けられた加圧ローラ48によってテープ状部材4の上記供給リール9から繰り出された部分を加圧する。   The solenoid 46 is driven in the direction in which the movable shaft 47 protrudes from the state shown by the solid line in FIG. 2A by the drive signal from the control device 18, and the pressure roller 48 provided at the tip thereof. Thus, the portion of the tape-like member 4 that has been fed out from the supply reel 9 is pressurized.

それによって、テープ状部材4は同図に実線で示す状態から鎖線で示すように変位させられるから、その変位量に応じた張力が発生し、その張力によって図5(a)から図5(b)に示す位置に変位した付着部分Zが剥がされる。   As a result, the tape-like member 4 is displaced from the state shown by the solid line in the figure as shown by the chain line, so that a tension corresponding to the amount of displacement is generated, and the tension shown in FIGS. The attached portion Z displaced to the position shown in FIG.

付着部分Zが剥がされれば、テープ状部材4は供給リール9から円滑に繰り出されることになるから、テープ状部材4の供給リール9から既に繰り出された部分が再び上記供給リール9に巻き取られるという、逆巻き現象が生じるのが防止される。つまり、テープ状部材4の繰り出し不良が発生するのが防止されるから、その繰り出し不良によって貼着装置を停止させて点検修理するという事態を招くことがない。   If the adhered portion Z is peeled off, the tape-like member 4 is smoothly fed out from the supply reel 9, so that the portion already drawn out from the supply reel 9 of the tape-like member 4 is again wound around the supply reel 9. This prevents the reverse winding phenomenon from occurring. That is, since the feeding failure of the tape-like member 4 is prevented, the sticking device is not stopped due to the feeding failure so that the inspection and repair are not caused.

上記一実施の形態では逆巻き防止手段としてソレノイドを用いたが、ソレノイドに代わり、たとえばシリンダを用いるようにしてもよく、要はテープ状部材4の繰り出し不良が生じてそのことが検出されたならば、直ちに上記テープ状部材に張力を付与することができるものであればよい。   In the above embodiment, a solenoid is used as the reverse winding preventing means. However, instead of the solenoid, for example, a cylinder may be used. In short, if a failure occurs in feeding out the tape-like member 4, it is detected. Any material that can immediately apply tension to the tape-shaped member may be used.

また、供給リールから繰り出されるテープ状部材に逆巻き現象が生じたか否かを、透孔が穿設された回転盤を挟んで配置された投光器と受光器からなるセンサによって検出するようにしたが、センサとしては投光器と受光器が一体化された投受光器を用いる一方、回転盤の一側面には光を反射する縞模様を回転盤の周方向に沿って所定間隔で設ける。そして、投受光器がその縞模様を検出する周期によってテープ状部材に逆巻き現象が生じたか否かを検出するようにしてもよい。   In addition, whether or not the reverse winding phenomenon has occurred in the tape-like member fed out from the supply reel is detected by a sensor composed of a light projector and a light receiver that are arranged with a through-hole provided with a through hole. As a sensor, a light projecting / receiving device in which a light projecting device and a light receiving device are integrated is used. On one side surface of the rotating disk, a stripe pattern that reflects light is provided at predetermined intervals along the circumferential direction of the rotating disk. And you may make it detect whether the reverse winding phenomenon arose in the tape-shaped member with the period which a light projector / receiver detects the striped pattern.

この発明の一実施の形態を示すテープ状部材の貼着装置の概略的構成図。The schematic block diagram of the sticking apparatus of the tape-shaped member which shows one embodiment of this invention. (a)は貼着装置のテープ状部材に張力を付与するソレノイドの部分の拡大図、(b)は回転盤を挟んで配置された投光器と受光器を示す側面図。(A) is an enlarged view of the part of the solenoid which gives tension | tensile_strength to the tape-shaped member of a sticking apparatus, (b) is a side view which shows the light projector and light receiver which are arrange | positioned on both sides of a rotary disk. (a)はTCPが貼着された基板の説明図、(b)はTCPが貼着される前の基板の説明図。(A) is explanatory drawing of the board | substrate with which TCP was stuck, (b) is explanatory drawing of the board | substrate before TCP is stuck. 貼着装置の制御系統を示すブロック図。The block diagram which shows the control system of the sticking apparatus. 供給リールに生じたテープ状部材の貼着部分の説明図。Explanatory drawing of the sticking part of the tape-shaped member which arose on the supply reel.

符号の説明Explanation of symbols

4…テープ状部材、9…供給リール、12…巻き取りリール、18…制御装置、44…投光器(検出手段)、45…受光器(検出手段)、46…ソレノイド(加圧手段)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 4 ... Tape-shaped member, 9 ... Supply reel, 12 ... Take-up reel, 18 ... Control apparatus, 44 ... Light projector (detection means), 45 ... Light receiver (detection means), 46 ... Solenoid (pressurization means).

Claims (3)

離型テープに異方性導電テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給装置であって、
上記テープ状部材が巻装された供給リールと、
この供給リールから繰り出される上記テープ状部材を巻き取る巻き取りリールと、
上記供給リールから上記テープ状部材を繰り出す際にテープ状部材が繰り出されずにすでに繰り出された部分が上記供給リールに巻き取られようとしたときにそのことを検出する検出手段と、
この検出手段の検出に基いて上記テープ状部材が上記供給リールに巻き取られるのを阻止する張力を与える加圧手段と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の供給装置。
A supply device for supplying a tape-like member having an anisotropic conductive tape adhered to a release tape ,
A supply reel wound with the tape-shaped member;
A take-up reel that winds up the tape-shaped member fed out from the supply reel;
Detecting means for detecting when the tape-shaped member is unwound when the tape-shaped member is unwound from the supply reel and the already-rolled portion is about to be wound around the supply reel;
A tape-shaped member supply device comprising: a pressure means for applying a tension for preventing the tape-shaped member from being wound around the supply reel based on detection by the detection means.
上記検出手段は、上記供給リールから繰り出される上記テープ状部材によって所定方向に回転される回転盤と、この回転盤に対向して配置され上記テープ状部材が上記供給リールから繰り出されずに巻き取られようとしたときにそのことを上記回転盤の回転状態から検出するセンサとによって構成されていることを特徴とする請求項1記載のテープ状部材の供給装置。   The detection means includes a rotating disk that is rotated in a predetermined direction by the tape-shaped member that is fed from the supply reel, and the tape-shaped member that is disposed to face the rotating disk is wound without being fed from the supply reel. 2. A tape-shaped member supply device according to claim 1, wherein said tape-shaped member supply device comprises a sensor for detecting this from the rotation state of said rotating disk. 離型テープに異方性導電テープが貼着されたテープ状部材を供給する供給方法であって、
供給リールから繰り出される上記テープ状部材を巻き取りリールによって巻き取る工程と、
上記供給リールから上記テープ状部材を繰り出す際にテープ状部材が繰り出されずにすでに繰り出された部分が上記供給リールに巻き取られることを検出する工程と、
上記検出に基いて上記テープ状部材が上記供給リールに巻き取られるのを阻止する張力を与える工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の供給方法。
A supply method for supplying a tape-like member having an anisotropic conductive tape attached to a release tape ,
A step of winding the tape-shaped member fed from the supply reel by a take-up reel;
A step of previously fed-out portion not fed the tape-like member when unwinding the tape-like member from said supply reel to detect and Turkey wound on the supply reel,
Applying a tension for preventing the tape-shaped member from being wound around the supply reel based on the detection. A method for supplying a tape-shaped member.
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