JP4795717B2 - 精密定盤 - Google Patents
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Description
また前記定盤であっても、温度調整のため、電子クーラ、温度センサ等を必要とするため、構成が複雑であり、構成の簡略化は改善の余地が残されていた。
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、簡単な構成で、変温運転に十分に対応することのできる精密定盤を提供することにある。
しかしながら、従来は、このような相反する要求性能を、一の定盤で実現するのは困難であった。
すなわち、一般に、例えば図7に示されるようなハニカム定盤10は、ハニカム構造体12を含むので、構造的に軽量で比剛性が高い。また盤面寸法の選択性が広く、部品配置自由度の高い光学系構築が可能であるので、光学系の実験的構築から実用まで広範囲に使用される。
しかしながら、本発明者は、ハニカム定盤10の以下の点に着目した。
すなわち、ハニカム定盤10は構造的に内部の密閉された多数の小空間に空気を溜め込んでいるので、断熱性が高く、温度安定性に優れるという利点もある。
また定盤内において空間的な温度勾配が生じやすく、盤面平面度の維持が困難である。装置として、光学機器を用いると、結果的に光軸の位置偏差、角度偏差が発生するため、精密な用途には障害となる問題は深刻となる。
ここで、前記筐体は、基準平面をワークないし機械装置の載置面とする。
また前記ハニカム構造体は、前記筐体の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間の集合体である。
前記熱移動手段は、前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通し、該各小空間同士の熱移動を行うためにハニカム構造体に設けられたものとする。
なお、ここにいう実質的な密閉小空間とは、一般的なハニカム構造体では完全に密閉された小空間であるが、本発明のようにハニカム壁部に例えばハニカム通気穴を設けたものでは、ハニカム通気穴により完全には密閉された小空間でないが、定温運転時はハニカム構造体の小空間により十分な温度安定性が得られるものを含めていう。
ここで、前記強制換気手段は、前記筐体通気穴に連通して設けられ、前記筐体内外の空気を強制的に換気するためのものとする。
ここにいう空気を強制的に換気するとは、例えば空気を強制的に交換ないし循環することをいう。
また本発明においては、熱移動手段が通気穴ないし高熱伝導体を含むことにより、定盤温度の所望温度への変温を、より良好に行うことができる。
本発明においては、筐体通気穴を備えることにより、定盤温度の所望温度への変温を、より良好に行うことができる。
本発明においては、シャッタを備えることにより、所望温度への変温後の定盤の温度安定性を、より確実に確保することができるので、周囲環境の変温運転に、より確実に対応することができる。
本発明においては、強制換気手段を備えることにより、定盤温度の所望温度への変温を、より良好に行うことができる。
第一実施形態
(通気穴)
図1には本発明の一実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
同図(A)は全体のブロック図、同図(B)はハニカム構造体の一部拡大図である。前記図7〜図9に対応する部分には符号100を加えて示す。
同図に示すハニカム定盤(精密定盤)110は、中空状の筐体120と、ハニカム構造体112と、熱移動手段122と、を備える。
ここで、前記筐体120は、基準平面を機械装置124の載置面121とする。
また前記ハニカム構造体112は、筐体120の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間116の集合体であるハニカム構造体112を含む。
前記熱移動手段122は、ハニカム構造体112の各小空間116同士を連通し、該各小空間116同士の熱移動を行うためにハニカム構造体112に設けられたものとする。
また本実施形態において、機械装置124としては、例えば特開2003−194523号公報に記載の測長装置を用いている。
また、本実施形態において、装置用ドライバ126と、装置用制御手段128を含むコンピュータ130と、を含む。
そして、本実施形態においては、温度調整器134により周囲環境の変温運転を行い、作業室132内の周囲環境を所望温度に変温することにより、定盤110の温度を周囲空気の温度に基づく所望温度に変温する。また定盤110の所望温度への変温後は、温度調整器134により周囲環境の定温運転を行い、作業室132内の定温を確保する。
シャッタ142は、筐体通気穴を開閉自在とする。
シャッタ用ドライバ144は、シャッタ142を駆動する。
シャッタ用制御手段146は、シャッタ142の動作制御を、シャッタ用ドライバ144を介して行う。例えばシャッタ用制御手段146は、シャッタ用ドライバ144を介して、温度調整器134の変温運転時にシャッタ142を開の状態とし、また変温後の温度調整器134の定温運転時、シャッタ142を閉の状態とする。
すなわち、本実施形態は、ハニカム通気穴122を備えるため、ハニカム構造体112の各小空間116内の空気が、ハニカム通気穴122を介して、ハニカム構造体112の各小空間116内を移動する。
また本実施形態は、筐体通気穴140a,140bも備えるため、周囲環境の変温運転時、周囲空気が、筐体通気穴140a,140b、ハニカム通気穴122を介して、ハニカム構造体120の各小空間116内を移動するので、定盤110内の空気を周囲空気で迅速に置換することができる。定盤110は全体的に及び均一に、周囲空気の温度に基づく所望温度に迅速に変温される。
このようにして本実施形態は、ハニカム通気穴122、筐体通気穴140a,140b等を介して、ハニカム構造体112の小空間116同士の熱移動を積極的に行うことにより、ハニカム定盤110上の機械装置124の周囲温度への馴染み易さを、より向上させている。
一方、前述のようにして定盤110の温度を所望温度に変温後の、周囲環境の定温運転時も、定盤110は全体的に及び均一に、周囲空気の設定温度に維持される。
そこで、本発明は、軽量、高剛性、高温度安定性というハニカム定盤の持つ既存の長所は維持したまま、変温運転時におけるスループット低下、温度分布、精度低下の解消を、極力簡易な構成で実現することのできる定盤を提供することにある。
このために本実施形態では、ハニカム構造体と通気穴との組み合わせで、軽量、剛性、温度安定性と、周囲環境の変温運転に対する十分な適応との双方を実現している。
すなわち、周囲環境の変温運転と定温運転とを行うには、定温運転用の定盤と、変温運転用の定盤とをそれぞれ用いることが一般的である。すなわち、周囲環境の定温運転時ではハニカム構造体を用いた定盤を用いることも可能であるが、周囲環境の変温運転のため、ハニカム構造体に代えて、ムク材を用いた定盤にクーラ等を用いることが技術常識である。
これに対し、本発明は、ハニカム構造体と通気穴との組み合わせを採用することで、一の定盤で、変温運転時は定盤を全体的に及び均一に周囲空気に基づく所望温度に迅速に変温することができ、一方、周囲環境の定温運転時は定盤温度を所望温度に確実に維持することができることを本発明者は見出したのである。
このようなハニカム構造体の各小空間116同士の周囲空気の流れにより、定盤110を全体的に及び均一に、周囲空気の温度に基づく所望温度に迅速に変温する。周囲環境の変温運転時は定盤110の持つ温度安定性と変温のしやすさとの内、変温のしやすさを優位とする。
一方、前述のようにして定盤110の温度を所望温度に変温後の、周囲環境の定温運転時は、図2(B)に示されるようにシャッタ142で、筐体通気穴140a,140bを閉の状態とする。この結果、定盤110内部の密閉された多数の小空間116に所望温度の空気を溜め込むので、断熱性が高くなり、定盤110の所望温度での温度安定性をアップさせる。定温運転時は定盤110の持つ温度安定性と変温のしやすさとの内、温度安定性を優位とする。
また、本実施形態は、周囲環境の変温運転を行っても、定盤内温度分布を小さくできる。これにより、本実施形態は、盤面平面度低下を抑えることができる。
したがって、本実施形態は、一の定盤110で、周囲環境の変温運転と定温運転との両方に十分に対応することができる。
(高熱伝導体)
図3には本発明の第二実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
同図(A)は全体のブロック図、同図(B)は高熱伝導体の一部拡大図である。
図1と対応する部分には符号100を加えて示し説明を省略する。
すなわち、同図に示すハニカム定盤(精密定盤)210において、熱移動手段222は、高熱伝導体を含む(以下、高熱伝導体222という)。
高熱伝導体222は、ハニカム構造体212の各小空間216同士を連通するようにハニカム壁部214を貫通して設けられ、高熱伝導性を有するものとする。
また本実施形態においても、筐体通気穴240を備えるので、筐体220内外の空気が、筐体通気穴240を介して移動する。
さらに、本実施形態においても、筐体通気穴240を開閉自在とするシャッタ242を備え、変温時にシャッタ242を開の状態とし、また変温後にシャッタ242を閉の状態とする。
このため、変温運転時、ハニカム構造体212の各小空216間の熱が、高熱伝導体222を介して、ハニカム構造体212の各小空間216を移動する。
ここで、図4(A)に示されるような変温運転時、シャッタ242を開の状態としているので、筐体通気穴240と対向するところに設けられた小空間216の空気と周囲空気との交換がスムースに行われる。このため、高熱伝導体222、筐体通気穴240を介して、定盤210内外の空気をスムースに交換するので、定盤210を全体的に及び均一に、周囲空気の温度に迅速に馴染ませることができる。
一方、前述のようにして定盤210を所望の温度に変温後は、同図(B)に示されるようにシャッタ242を閉の状態とし、定温運転時の定盤210の温度安定性の向上を図る。
また本実施形態は、前記第一実施形態と同様、定盤210内温度分布を小さくできる。これにより、本実施形態は、前記第一実施形態と同様、盤面平面度低下を抑えることができる。
したがって、本実施形態は、一の定盤210に対し、高熱伝導体222等の簡易な構成を設けるだけで、周囲環境の変温運転と定温運転との両立に十分に対応することができる。
第三実施形態
(換気ファン)
図5には本発明の第三実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
前記第一実施形態と対応する部分には符号200を加えて示し説明を省略する。
また前記第二実施形態と対応する部分には符号100を加えて示し説明を省略する。
すなわち、同図に示す特殊定盤310は、熱交換を促進するための強制換気手段として、換気用配管350と、換気用ファン352と、換気用ドライバ354と、換気用制御手段356と、を備える。
換気用配管350は、定盤310の通気穴340bと連通する吸気穴358と、排気穴360と、を備える。
換気用ファン352は、換気用配管350内の排気穴360付近に設けられ、周囲気体を定盤310内で循環させるためものとする。
換気用ドライバ354は、換気用ファン352を駆動する。
換気用制御手段356は、換気用ファン352の動作制御を、換気用ドライバ354を介して行う。
なお、本実施形態において、定盤310は防振台370上に支持されている。
このようにして換気ファン352等の強制換気手段により、作業室332内の周囲空気を定盤310内で強制的に循環させることで、空気の自然の流れを用いたものに比較し、より迅速に定盤310内空気と定盤310外空気である周囲空気との換気を行うことができるので、定盤310内、及び定盤310内外の熱交換の促進を、より図ることができる。
(真空エジェクタ)
図6には本発明の第三実施形態にかかる精密定盤の概略構成が示されている。
なお、前記第一実施形態と対応する部分には符号300を加えて示し説明を省略する。
また前記第二実施形態と対応する部分には符号200を加えて示し説明を省略する。
また前記第三実施形態と対応する部分には符号100を加えて示し説明を省略する。
すなわち、同図に示す特殊定盤410は、熱交換を促進するための強制換気手段として、換気配管450と、真空エジェクタ(換気機構)452と、真空エジェクタドライバ454と、真空エジェクタ制御手段456と、を備える。
換気用配管450は、吸気穴458と、中間口472と、室外吸気穴474と、室外排気穴476と、を有する。
真空エジェクタ(換気機構)452は、換気用配管450内の中間口472と対向するところに設けられ、空気を吸引する。
真空エジェクタドライバ454は、真空エジェクタ452を駆動する。
真空エジェクタ制御手段456は、真空エジェクタ452の動作制御を、制御真空エジェクタドライバ454を介して行う。
このようにして真空エジェクタ452により周囲空気を定盤410内で強制的に換気することで、自然の空気の流れを用いたものに比較し、より迅速に定盤410内の換気を行うことができるので、定盤410内、及び定盤410内外の熱交換の促進を、より向上している。
<定盤上の載置物>
前記構成では、定盤上の載置物として、特開2003−194523号公報に記載の測長装置を用いた例について説明したが、定温運転と変温運転との両立を簡易な構成で行うため、その他の測定機、加工機等の機械装置に適用することも好ましい。ここで、定盤上を直接、機械装置(測定機、加工機)のベースとして用いることもできる。また定盤上にベースを載せ、該ベース上に機械装置本体を載置することもできる。
また定盤上の載置物として、ワークを用いることも好ましい。ここで、定盤上に直接、ワークを載置することもできる。さらに、定盤上にテーブルを載せ、該テーブル上にワークを載置することもできる。
さらに、本発明において特徴的な、ハニカム構造体と熱移動手段との組み合わせを、定盤を支持する防振台に適用することも好ましい。
前記構成では、ハニカム構造体として断面六角形のものを用いた例について説明したが、その他の形状を採用することもできる。
熱移動手段として、前記第一実施形態の通気穴と、前記第二実施形態の高熱伝導体とをそれぞれ単独で用いることも好ましいが、これらの熱移動手段を組み合わせて用いることも好ましい。
112,212 ハニカム構造体
114,214 ハニカム壁部
116,216 小空間
120,220 筐体
121 載置面
122,222 熱移動手段
Claims (6)
- 基準平面をワークないし機械装置の載置面とする中空状の筐体と、
前記筐体の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間の集合体であるハニカム構造体と、
前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通するように、ハニカム壁部に設けられたハニカム通気穴を含む熱移動手段と、
前記筐体内部のハニカム構造体の小空間と前記筐体外部とを連通するように、該筐体の壁部に設けられた筐体通気穴と、
前記筐体通気穴を開閉自在とするシャッタを備え、
前記ハニカム通気穴を介して空気が前記ハニカム構造体の各小空間同士を移動しており、
前記筐体内外の空気は、前記シャッタが開けられた時に前記筐体通気穴を介して移動することを特徴とする精密定盤。 - 請求項1記載の精密定盤において、
前記筐体通気穴に連通して設けられ、前記筐体内外の空気を強制的に換気するための強制換気手段を備えたことを特徴とする精密定盤。 - 基準平面をワークないし機械装置の載置面とする中空状の筐体と、
前記筐体の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間の集合体であるハニカム構造体と、
前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通するように、ハニカム壁部を貫通して設けられ、高熱伝導性を有する高熱伝導体を含む熱移動手段を備え、
前記高熱伝導体を介して熱が前記ハニカム構造体の各小空間同士を移動することを特徴とする精密定盤。 - 請求項3記載の精密定盤において、
前記筐体内部のハニカム構造体の小空間と前記筐体外部とを連通するように、該筐体の壁部に設けられた筐体通気穴を備え、
前記筐体内外の空気が、前記筐体通気穴を介して移動することを特徴とする精密定盤。 - 請求項4記載の精密定盤において、
前記筐体通気穴を開閉自在とするシャッタを備え、
周囲環境の変温運転時に前記シャッタを開の状態とし、また該定盤の所望温度への変温後の定温運転時に該シャッタを閉の状態とすることを特徴とする精密定盤。 - 請求項4又は5記載の精密定盤において、
前記筐体通気穴に連通して設けられ、前記筐体内外の空気を強制的に換気するための強制換気手段を備えたことを特徴とする精密定盤。
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US8286696B2 (en) | 2007-06-22 | 2012-10-16 | The Boeing Company | Mechanically actuated thermal switch |
CN104199166A (zh) * | 2014-09-15 | 2014-12-10 | 上海理工大学 | 主动式均匀导热光学实验平台及其制备方法 |
JP5704672B1 (ja) * | 2014-10-31 | 2015-04-22 | ヘルツ株式会社 | 定盤 |
US11227573B2 (en) | 2018-10-26 | 2022-01-18 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Acoustic panel with acoustic unit layer |
US11231234B2 (en) | 2018-10-26 | 2022-01-25 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Acoustic panel with vapor chambers |
US11662048B2 (en) | 2020-03-30 | 2023-05-30 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Compact duct sound absorber |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3523858A (en) * | 1964-05-21 | 1970-08-11 | Hexcel Products Inc | Ventilated honeycomb structure |
US3821999A (en) * | 1972-09-05 | 1974-07-02 | Mc Donnell Douglas Corp | Acoustic liner |
US3895152A (en) * | 1973-12-26 | 1975-07-15 | Continental Oil Co | A composite cellular construction |
US3910374A (en) * | 1974-03-18 | 1975-10-07 | Rohr Industries Inc | Low frequency structural acoustic attenuator |
US3948346A (en) * | 1974-04-02 | 1976-04-06 | Mcdonnell Douglas Corporation | Multi-layered acoustic liner |
JPS5912429B2 (ja) * | 1975-07-05 | 1984-03-23 | オガサワラ ヒロオミ | 定盤 |
US4001473A (en) * | 1976-02-19 | 1977-01-04 | Rohr Industries, Inc. | Sound attenuating structural honeycomb sandwich material |
JPS618597A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-16 | Sumitomo Chem Co Ltd | 蓄熱材パネル用中空板状体および蓄熱材パネルの製造方法 |
US4963217A (en) * | 1988-02-08 | 1990-10-16 | The Gerber Scientific Instrument Company | Method of making a planar work surface |
GB8817669D0 (en) * | 1988-07-25 | 1988-09-01 | Short Brothers Ltd | Means for attenuating sound energy |
JPH02311281A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Showa Aircraft Ind Co Ltd | ハニカム定盤 |
US5180619A (en) * | 1989-12-04 | 1993-01-19 | Supracor Systems, Inc. | Perforated honeycomb |
US5192623A (en) * | 1990-10-23 | 1993-03-09 | Lockhart Industries | Laminated structural panels and the method of producing them |
US5402734A (en) * | 1992-12-11 | 1995-04-04 | Melles Griot, Inc. | Optical table having debris retention structures |
JP3025391B2 (ja) * | 1993-05-25 | 2000-03-27 | 日石三菱株式会社 | 光学機器用定盤 |
JPH0728901A (ja) | 1993-07-09 | 1995-01-31 | Hitachi Ltd | 処方箋配信システム |
GB9424495D0 (en) * | 1994-12-05 | 1995-01-25 | Short Brothers Plc | Aerodynamic low drag structure |
DE29610952U1 (de) * | 1996-06-25 | 1996-09-05 | Otw Oberflaechentechnik Wild G | Tisch, insbesondere Preßtisch |
US5923003A (en) * | 1996-09-09 | 1999-07-13 | Northrop Grumman Corporation | Extended reaction acoustic liner for jet engines and the like |
CN2314423Y (zh) * | 1997-10-15 | 1999-04-14 | 南京理工大学 | 便携式光学实验室 |
JP3474098B2 (ja) * | 1998-03-18 | 2003-12-08 | エスペック株式会社 | ホットプレートの均熱体 |
US6182787B1 (en) * | 1999-01-12 | 2001-02-06 | General Electric Company | Rigid sandwich panel acoustic treatment |
JP2002130739A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-05-09 | Emoto Kogyo Kk | 蓄熱用パネル |
JP3893049B2 (ja) * | 2001-11-20 | 2007-03-14 | 日本碍子株式会社 | ハニカム構造体及びその製造方法 |
KR100371926B1 (ko) * | 2002-02-19 | 2003-02-12 | 디아이에스테크(주) | 실내 환기구의 그릴제어장치 |
US6767606B2 (en) * | 2002-08-29 | 2004-07-27 | The Boeing Company | Vented cell structure and fabrication method |
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