CN1862244A

CN1862244A - 精密平台

Info

Publication number: CN1862244A
Application number: CN200610079850.0A
Authority: CN
Inventors: 栗山丰
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2005-05-11
Filing date: 2006-05-11
Publication date: 2006-11-15
Anticipated expiration: 2026-05-11
Also published as: US20060257621A1; EP1721700B1; JP2006315114A; ATE435089T1; DE602006007517D1; JP4795717B2; US7882891B2; EP1721700A1; CN1862244B

Abstract

一种精密平台，其特征在于，具备：中空状的壳体，将基准平面设为工件及/或机械装置的载置面；蜂窝结构体，是设在上述壳体的内部的大致同一形状的密闭小空间的集合体；热移动器，为了将上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通，进行该各小空间彼此间的热移动而设在蜂窝结构体中；经由上述热移动器主动地进行上述蜂窝结构体的各小空间彼此间的热移动。

Description

精密平台

本申请要求以2005年5月11日申请的日本专利申请2005-138892号为优先权，在此处引入作为参考。

技术领域

本发明涉及精密平台，特别涉及其变温运转的对策。

背景技术

以往，作为用来进行工件的加工及作业的载置面，采用具有表面被精确地平滑精加工的基准平面的平台。在进行工件的加工时，将工件、工作台、加工机主体载置在平台的载置面上。此外，在进行工件的测量时，将工件、工作台、测量机主体载置在平台的载置面上。

对于这样的平台，通常要求轻量、相对刚性高、温度稳定性好。为了应对这样的要求，开发了各种平台，以往有以下的平台。以往，有利用使树脂渗透到碳树脂中而成形的碳纤维加强复合材料的光学设备用平台(特开平6-331870号公报)。此外，在该光学设备用平台中，为了提高碳纤维加强复合材料的刚性，将蜂窝材料粘接在2片碳纤维加强复合材料之间。

此外，对于最近的平台，也有变温运转的要求，为了应对该要求，在以往的平台中，考虑在通过温度调节器的变温运转使整个作业室变温后测量工件的温度特性。此外，在以往的平台中，为了求得标准量规的线膨胀系数等温度特性，也考虑在将作业室分别变温为不同的温度后测量各温度下的工件的尺寸。此外，在以往的平台中，也考虑如果作业室的温度偏离了基准温度，则在通过温度调节器的变温运转将整个作业室的温度调节为基准温度后，进行工件的加工及测量。

在这样变温运转时，迅速地变温为期望的温度是很重要的。为了应对这种要求，以往不是进行整个作业室的变温，而是进行平台自身的变温，有以下的平台。以往的平台为了在短时间内使工件成为定温，具备设在由热传导性好的实体的金属板构成的平台的下部的电子冷却器、设在金属板的内部中的温度传感器、根据来自温度传感器的温度信息控制电子冷却器的动作以使金属板成为设定温度的温度调节器(实开平7-38901号公报)。

但是，在上述以往的平台中，在变温运转时有时不能得到工件的加工精度及测量精度良好的作业结果。

此外，在上述以往的平台中，由于为了温度调整而需要电子冷却器及温度传感器，其结构复杂，所以在结构的简洁化方面留有改善的余地。

因而，在最近的平台中，当然要求轻量、相对刚性高、温度稳定性好，进而，通过简单的结构而与变温运转的可靠地对应这一点也是着重要求的性能。

发明内容

本发明是鉴于上述现有技术中的问题而做出的，其目的是提供一种能够以简单的结构充分地应对变温运转的精密平台。

本发明者对于上述课题反复进行了潜心研究，结果发现，为了以简单的结构充分地应对变温运转，用一个平台来对应变温运转和定温运转是很重要的。

这里，在作业室内的变温运转时，将精密平台的温度迅速地变温为期望的温度是很重要的，另一方面，在向期望温度变温后，精密平台的温度稳定性是很重要的。

但是，在以往的技术中，很难用一个平台实现这样相反的要求性能。

对此，本发明者对于用一个平台实现这样相反的要求性能反复进行了潜心研究，结果发现，作为其解决手段，蜂窝结构体和蜂窝小空间彼此的热移动器的组合是最适合的，从而完成了本发明。

这里，考虑蜂窝结构体本身在以往的平台中也是为了得到高刚性而使用的。

图7所示那样的蜂窝平台10由于具有蜂窝结构体12，所以在结构上轻量且相对刚性较高。此外，由于蜂窝平台10台面尺寸的选择性较宽、能够构筑部件配置自由度高的光学系统，所以在从光学系统的实验性构筑到实际应用的广泛范围内使用。

但是，本发明者着眼于蜂窝平台10以下的方面。

即，由于蜂窝平台10使空气存入到在结构上来说内部密闭的多个小空间中，所以也有隔热性高、温度稳定性好的优点。

但是，相反，蜂窝平台10阻碍了图8所示那样的小空间彼此间的空气的移动。即，由于蜂窝平台10内部的蜂窝壁部14妨碍了小空间16彼此间的空气18的移动，小空间16彼此间的热交换以越过蜂窝壁部14的热传导为主，所以在整个平台10的温度适应为周围温度之前需要花费时间(热时间常数较大)。

因而，在需要有意变温的装置中，会发生温度变化的延迟，所以作为机械装置的通过量降低。例如在图9(A)所示那样的周围环境温度下降的情况下，会发生图9(B)所示那样的温度变化的延迟、即发生平台上的机械装置的温度变化相对于室温变化的延迟。

此外，在蜂窝平台10中，在平台内容易发生空间的温度梯度，难以维持台面平面度。此外，在蜂窝平台10中，如果使用光学设备作为装置，则结果会发生光轴的位置偏差、角度偏差，所以对于在精密的用途上会成为障碍的问题变得严重。

所以，本发明者对于解决这样的问题反复进行了潜心研究，结果发现，使蜂窝的小空间彼此间产生热的移动是很重要的。本发明者发现，为了使蜂窝的小空间彼此间产生热的移动，通过蜂窝及通气孔、高热传导体等热移动器的简单结构的组合，能够进行平台的迅速的变温，与采用冷却器的以往的平台相比能够使整个平台均匀地变温，从而完成了本发明。

即，为了达到上述目的，有关本发明的精密平台的特征在于，具备中空状的壳体、蜂窝结构体、热移动器，经由上述热移动器主动地进行上述蜂窝结构体的各小空间彼此间的热移动。

这里，上述壳体将基准平面设为工件及/或机械装置的载置面。

此外，上述蜂窝结构体是设在上述壳体的内部中的大致同一形状的密闭小空间的集合体。

上述热移动器设在蜂窝结构体中，以使上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通、进行该各小空间彼此间的热移动。

另外，这里所谓的密闭小空间，是指在一般的蜂窝结构体中完全密闭的小空间，但在如本发明那样在蜂窝壁部上作为热移动器而设置蜂窝通气孔的结构中，也包括因在蜂窝壁部上设置蜂窝通气孔而不是严密地完全密闭的小空间、但在定温运转时通过蜂窝结构体的小空间能够得到充分的温度稳定性的情况。

另外，在本发明中，上述热移动器具有设在上述蜂窝壁部上的蜂窝通气孔。在本发明中，优选为空气经由上述蜂窝通气孔而在上述蜂窝结构体的各小空间彼此间移动。

此外，在本发明中，上述热移动器包括具有高热传导性的高热传导体，所述高热传导体贯通上述蜂窝壁部地设置，以便将上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通。在本发明中，优选为热经由上述高热传导体在上述蜂窝结构体的各小空间彼此间移动。

此外，在本发明中，具备设在该壳体壁部上的壳体通气孔，以便将上述壳体内部的蜂窝结构体的小空间与上述壳体外部连通。在本发明中，优选为上述壳体内外的空气经由上述壳体通气孔而移动。

在本发明中，优选为，具备开闭器；在周围环境变温时使上述开闭器成为开状态，此外，在变温后使该开闭器成为闭状态。

这里，上述开闭器是使上述壳体通气孔开闭自如的机构。

在本发明中，优选为具备强制换气器。

这里，上述强制换气器与上述壳体通气孔连通地设置，用来将上述壳体内外的空气强制地换气。

这里所谓的将空气强制地换气，是指例如将空气强制地更换及/或循环。

根据有关本发明的精密平台，由于组合了上述蜂窝结构体和上述热移动体，所以能够以简单的结构充分地应对周围环境的变温运转。

此外，在本发明中，作为上述热移动器，由于具有上述通气孔及/或上述高热传导体，由此能够更良好地进行平台温度向期望温度的变温。

在本发明中，由于还具备上述壳体通气孔，所以能够更良好地进行平台温度向期望温度的变温。

在本发明中，由于还具备上述开闭器，所以能够更可靠地确保向期望温度变温后的平台的温度稳定性，因此能够更可靠地应对周围环境的变温运转。

在本发明中，由于还具备上述强制换气器，所以能够更良好地进行平台温度向期望温度的变温。

附图说明

图1是有关本发明的第一实施方式的蜂窝平台的概略结构的说明图。

图2是有关本发明的第一实施方式的蜂窝平台的作用的说明图。

图3是有关本发明的第二实施方式的蜂窝平台的概略结构的说明图。

图4是有关本发明的第二实施方式的蜂窝平台的作用的说明图。

图5是有关本发明的第三实施方式的蜂窝平台的概略结构的说明图。

图6是有关本发明的第四实施方式的蜂窝平台的作用的说明图。

图7是一般的蜂窝平台的说明图。

图8是一般的蜂窝平台所具有的问题点的、有关小空间彼此的空气的滞留的说明图。

图9是一般的蜂窝平台所具有的问题点的、有关温度变化的延迟的说明图。

具体实施方式

下面根据附图说明本发明的优选的一实施方式。

第一实施方式

(通气孔)

图1中表示有关本发明的一实施方式的精密平台的概略结构。

图1A表示整体的框图，图1B表示蜂窝结构体的部分放大图。对于与上述图7～图9对应的部分加上标号100来表示。

该图所示的蜂窝平台(精密平台)110具备中空状的壳体120、蜂窝结构体112、热移动器122。

这里，上述壳体120将基准平面设为机械装置124的载置面121。

此外，上述蜂窝结构体112是设在壳体120的内部中的大致相同形状的、实质上为密闭小空间116的集合体。

上述热移动器122将蜂窝结构体112的各小空间116连通，是为了进行该各小空间116彼此的热移动而设在蜂窝结构体112中的。

在本实施方式中，作为上述热移动器122而具有设在蜂窝壁部114上的蜂窝通气孔(以下称作蜂窝通气孔122)。空气经由蜂窝通气孔122在蜂窝结构体112的各小空间116彼此间移动。

通过这样构成有关本发明的第一实施方式的蜂窝平台110，能够充分地应对变温运转与定温运转的并存。

另外，在本实施方式中，蜂窝平台110及机械装置124进入到作业室132内。

此外，作为上述机械装置124，使用例如特开2003-194523号公报中记载的测长装置。

此外，在本实施方式中，还包括装置用驱动器126和具有装置用控制器128的计算机130。

此外，作业室132包括温度调整器134、调温用驱动器136、具备调温用控制器138的计算机130。

并且，在本实施方式中，通过由温度调整器134进行周围环境的变温运转，使作业室132内的周围环境变温为期望的温度，使平台110的温度变温为基于周围空气温度的期望温度。此外，在平台110向期望温度变温后，通过温度调整器134进行周围环境的定温运转，确保作业室132内的定温。

此外，在本实施方式中，具备使得壳体120内部的蜂窝结构体112的小空间116和壳体120外部相连通而设在壳体120壁部上的壳体通气孔140a、140b。壳体120内外的空气经由壳体通气孔140a、140b移动。

在本实施方式中，还包括开闭器142、开闭器用驱动器144、具备开闭器用控制器146的计算机130。

开闭器142使壳体通气孔开闭自如。

开闭器用驱动器144驱动开闭器142。

开闭器用控制器146经由开闭器用驱动器144进行开闭器142的动作控制。在温度调整器134的变温运转时，开闭器用控制器146经由开闭器用驱动器144使开闭器142成为开状态。此外，在变温后的温度调整器134的定温运转时，开闭器用控制器146经由开闭器用驱动器144使开闭器142成为闭状态。

通过这样构成有关本实施方式的蜂窝平台110，能够通过简单的结构，在维持蜂窝平台110的现有的优点的同时，大幅地减轻变温运转时的机械装置124的通过量降低、精度降低的情况。

即，由于平台110具备蜂窝通气孔122，所以蜂窝结构体112的各小空间116内的空气经由蜂窝通气孔122在蜂窝结构体112的各小空间116内移动。

此外，由于平台110还具备壳体通气孔140a、140b，所以在周围环境的变温运转时，周围空气经由壳体通气孔140a、140b、蜂窝通气孔122在蜂窝结构体112的各小空间116内移动，所以能够迅速地用周围空气将平台110内的空气置换。在平台110中，整体及均匀地变温为基于周围空气的温度的期望温度。

这样，在平台110中，通过经由蜂窝通气孔122、壳体通气孔140a、140b主动地进行蜂窝结构体112的小空间116彼此间的热移动，进一步提高了蜂窝平台110上的机械装置124对周围温度的易适应度。

另一方面，如上述那样，在将平台110的温度变温为期望温度后的周围环境的定温运转时，平台110也被整体及均匀地维持为周围空气的设定温度。

这里，轻量、刚性、温度稳定性这些对平台的要求性能在一般的蜂窝平台中也能够得到，但另一方面，由于蜂窝平台温度稳定性好，所以有在周围环境的变温运转时平台的温度不易适应为周围温度的课题。

所以，本发明提供一种在维持轻量、刚性、高温度稳定性这些蜂窝平台所具有的现有优点的同时、能够通过很简单的结构实现消除变温运转时的通过量降低、温度分布、精度降低的平台。

为此，在本实施方式中，通过蜂窝结构体与通气孔的组合，能够实现轻量、刚性、温度稳定性，以及对周围环境的变温运转的充分适应这两方面。

即，一般为了进行周围环境的变温运转和定温运转而分别使用定温运转用的平台和变温运转用的平台。即，在周围环境的定温运转时也能够使用采用蜂窝结构体的平台，但在周围环境的变温运转时，在采用实体材料的平台上使用冷却器来代替蜂窝结构体是技术常识。

对此，在本发明中，本发明者发现：通过采用蜂窝结构体与通气孔的组合，能够用一个平台在变温运转时将平台整体及均匀地迅速变温为基于周围空气的期望温度，另一方面，在周围环境的定温运转时能够将平台温度可靠地维持为期望温度。

即，在图2A所示那样的周围环境的变温运转时，通过开闭器142使壳体通气孔140a、140b成为开状态。因此，作业室内的周围空气经由壳体通气孔140a进入到平台110内、即壳体内的蜂窝结构体的各小空间116中，通过各小空间116，经由壳体通气孔140b出到平台110之外。

在本实施方式中，通过这样的蜂窝结构体的各小空间116彼此的周围空气的流动，能够使平台110整体及均匀地迅速变温为基于周围空气温度的期望温度。在本实施方式中，在周围环境的变温运转时，在平台110所具有的温度稳定性和变温的容易度之中，以变温的容易度为优先。

另一方面，在本实施方式中，在上述那样将平台110的温度变温为期望温度后的周围环境的定温运转时，如图2B所示那样通过开闭器142使壳体通气孔140a、140b成为闭状态。其结果，在本实施方式中，由于在平台110内部的密闭的多个小空间116中存入了期望温度的空气，所以隔热性变高，提高了平台110在期望温度下的温度稳定性。在本实施方式中，在定温运转时，在平台110所具有的温度稳定性和变温的容易度之中，以温度稳定性为优先。

这样，本实施方式即使进行周围温度的变温运转，也能够在短时间内使平台的温度与周围温度相等。

此外，在本实施方式中，即使进行周围温度的变温运转，也能够使平台内温度分布较小，所以能够抑制台面平面度的降低。

因而，在本实施方式中，能够用一个平台110充分地对应周围环境的变温运转和定温运转的两方面。

第二实施方式

(高热传导体)

图3中表示有关本发明的第二实施方式的精密平台的概略结构。

另外，图3A表示整体的框图，图3B表示高热传导体的部分放大图。对于与图1对应的部分加上标号100来表示而省略说明。

在本实施方式中，通过采用高热传导体作为上述热移动器，来进一步提高平台上装置对周围温度的易适应度。

即，在该图所示的蜂窝平台(精密平台)210中，具有高热传导体作为热移动器222(以下称作高热传导体222)。

该高热传导体222贯通蜂窝壁部214而设置，以使其将蜂窝结构体212的各小空间216连通，具有高热传导性。

通过这样构成有关本发明的第二实施方式的蜂窝平台210，在周围环境的变温运转时能够使平台210的温度迅速地变温为基于周围空气温度的期望温度，并且在变温后的定温运转时进一步提高了蜂窝平台210的温度稳定性。

即，在平台210中，蜂窝结构体212的各小空间216的热经由高热传导体222在该蜂窝结构体212的各小空间216彼此间移动。

此外，由于在平台210中也具备壳体通气孔240，所以壳体220内外的空气经由壳体通气孔240移动。

进而，平台210具备使壳体通气孔240开闭自如的开闭器242，在变温时使开闭器242成为开状态，并且在变温后使开闭器242成为闭状态。

因此，在平台210中，在变温运转时，蜂窝结构体212的各小空间216的热经由高热传导体222在蜂窝结构体212的各小空间216中移动。

这里，在平台210中，在图4A所示那样的变温运转时，使开闭器242成为开状态，所以能够顺利地进行设置在与壳体通气孔240相对处的小空间216的空气与周围空气的交换。因此，在平台210中，高热传导体222经由壳体通气孔240顺利地交换平台210内外的空气，所以能够使平台210整体及均匀地迅速地变为周围空气的温度。

另一方面，在平台210中，在如上述那样使平台210变温为期望的温度后，如该图4B所示那样使开闭器242成为闭状态，来实现定温运转时的平台210的温度稳定性的提高。

这样，在本实施方式中，即使进行周围温度的变温运转，也能够与上述第一实施方式相同，在短时间内使平台210的温度与周围温度相等。

此外，在本实施方式中，由于与上述第一实施方式同样，能够使平台210内的温度分布变小，所以也能够与上述第一实施方式相同，抑制台面平面度降低。

因而，在本实施方式中，通过对一个平台210设置高热传导体222这一简单的结构，能够充分地对应周围环境的变温运转和定温运转的并存。

在上述第一实施方式、第二实施方式中，为了在变温运转时进行平台的良好的变温，还设置以下的空气移动器也是很重要的。

第三实施方式

(换气扇)

图5中表示有关本发明的第三实施方式的精密平台的概略结构。

另外，对于与上述第一实施方式对应的部分加上标号200而表示并省略说明。此外，对于与上述第二实施方式对应的部分加上标号100而表示并省略说明。

在本实施方式中，通过在上述图1、上述图2所示的蜂窝平台中还设置强制换气器，进一步提高了对热交换的促进。

即，在图5所示的特殊平台310中，作为用来促进热交换的强制换气器，具备换气用配管350、换气用扇352、换气用驱动器354、换气用控制器356。

换气用配管350具备与平台310的通气孔340b连通的吸气孔358、和排气孔360。

换气用扇352设在换气用配管350内的排气孔360附近，用来使周围气体在平台310内循环。

换气用驱动器354驱动换气用扇352。

换气用控制器356经由换气用驱动器354进行换气用扇352的动作控制。

另外，平台310支撑在防振台370上。

通过这样构成平台310，即通过特殊平台310和换气用扇352的强制换气器的组合，进一步提高了对热交换的促进。

即，在平台310中，通过换气用扇352，将作业室332内的周围空气从平台310的通气孔340a强制地吸气到平台310内，通过平台310内部从通气孔340b强制地排气。在平台310中，通过换气用扇352，将来自通气孔340b的空气再次从通气孔340a强制地吸气到平台310内，通过平台310内部从通气孔340b强制地排气。

这样，在平台310中，通过换气用扇352等的强制换气器，使作业室332内的周围空气在平台310内强制地循环，由此，与采用空气的自然流动的平台相比，能够更迅速地进行平台310内的空气与平台310外的空气即周围空气的换气。因此，在平台310中，能够进一步实现平台310内、以及平台310内外的热交换的促进。

因而，由于本实施方式相对于第一实施方式、第二实施方式还具备称作换气扇的热移动器，在变温运转时，与第一实施方式、第二实施方式相比较，能够在更短时间内进行将平台310向期望温度的变温。

另外，在前述实施方式中，也优选地进行下述的换气。

即、优选地，在平台310中，通过换气用扇352将平台310内的空气从通气孔340b强制地排气到外部。由此，平台310内变为低压。于是，由于平台310内外的气压差，平台310外部的空气(作业室332的周围空气)从平台310的通气孔340a自然吸气到平台310内，由此进行换气。

第四实施方式

(真空喷射器)

在图6中表示有关本发明的第四实施方式的精密平台的概略结构。

另外，对于与上述第一实施方式对应的部分加上标号300而表示并省略说明。此外，对于与上述第二实施方式对应的部分加上标号200而表示并省略说明。此外，对于与上述第三实施方式对应的部分加上标号100而表示并省略说明。

在本实施方式中，通过在上述图1、上述图2所示的蜂窝平台中还设置强制换气器，进一步提高了对平台内及平台外的热交换的促进。

即，在图6所示的特殊平台410中，作为用来促进热交换的强制换气器，具备换气用配管450、真空喷射器(换气机构)452、真空喷射器驱动器454、真空喷射器控制器456。

换气用配管450具备吸气孔458、中间口472、室外吸气孔474、室外排气孔476。

真空喷射器(换气机构)452设在与换气用配管450内的中间口472相对处，吸引空气。

真空喷射器驱动器454驱动真空喷射器452。

真空喷射器控制器456经由真空喷射器驱动器454进行真空喷射器452的动作控制。

通过这样构成蜂窝平台410，即通过特殊平台(蜂窝平台)410和真空喷射器452等的强制换气器的组合，进一步提高了对热交换的促进。

即，在平台410中，通过真空喷射器452将作业室432内的周围空气从平台410的通气孔440a强制地吸气到平台410内，通过平台410内从通气孔440b强制地排气。在平台410中，将来自壳体通气孔440b的空气从中间口472强制地吸气到换气用配管450内，与来自室外吸气孔474的外界气体一起通过换气用配管450从室外排气孔476强制地向室外排气。

这样，在平台410中，通过真空喷射器452将周围空气在平台410内强制换气，与采用自然的空气流动的平台相比较，能够更迅速地进行平台410内的换气。这样，在平台410中，进一步提高了对平台410内、以及平台410内外的热交换的促进。

因而，由于本实施方式相对于第一实施方式、第二实施方式还具备称作真空喷射器的强制换气器，在变温运转时，与第一实施方式、第二实施方式相比较，能够在更短时间内进行将平台410向期望温度的变温。

另外，在结构中，对于在真空喷射器中采用驱动器及控制设备的例子进行了说明，但本发明并不限于此，可以优选地使用通过从外部供给的高压气体而不利用其他动力及控制设备、来产生低压真空的真空喷射器。

变形例

(平台上的载置物)

在上述结构中，对采用特开2003-194523号公报中记载的测长装置作为平台上的载置物的例子进行了说明，但在本发明中，由于以简单的结构进行定温运转和变温运转的并存，所以也可以优选地应用到其他测量机、加工机等机械装置中。这里，在本发明中，也可以将平台上直接作为机械装置(测量机、加工机)的基座使用。此外，在本发明中，也可以在平台上载置基座、在该基座上载置机械装置主体。

此外，在本发明中，也可以优选地采用工件作为平台上的载置物。这里，在本发明中，也可以将工件直接载置在平台上。进而，在本发明中，也可以将工作台载置在平台上，在该工作台上载置工件。

<向防振台的应用>

进而，也可以优选地将在本发明中特征性的蜂窝结构体和热移动器的组合应用到支撑平台的防振台中。

<蜂窝结构体的形状>

在上述结构中，对采用截面六边形的结构作为蜂窝结构体的例子进行了说明，但在本发明中也可以采用其他形状。

<通气孔与高热传导体的组合>

作为本发明的热移动器，优选地分别单独地使用在上述第一实施方式中记载的通气孔和在上述第二实施方式中记载的高热传导体，但将这些热移动器组合使用也是优选的。

Claims

1、一种精密平台，其特征在于，具备：

中空状的壳体，将基准平面设为工件及/或机械装置的载置面；

蜂窝结构体，是设在上述壳体的内部的大致同一形状的密闭小空间的集合体；

热移动器，设在蜂窝结构体中，以使上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通、进行该各小空间彼此间的热移动；

经由上述热移动器主动地进行上述蜂窝结构体的各小空间彼此间的热移动。

2、如权利要求1所述的精密平台，其特征在于，

上述热移动器具有设在上述蜂窝壁部上的蜂窝通气孔，以便将上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通；

空气经由上述蜂窝通气孔而在上述蜂窝结构体的各小空间彼此间移动。

3、如权利要求1所述的精密平台，其特征在于，

上述热移动器包括具有高热传导性的高热传导体，所述高热传导体贯通上述蜂窝壁部地设置，以便将上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通；

热经由上述高热传导体在上述蜂窝结构体的各小空间彼此间移动。

4、如权利要求1所述的精密平台，其特征在于，

具备设在该壳体壁部上的壳体通气孔，以便将上述壳体内部的蜂窝结构体的小空间与上述壳体外部连通；

上述壳体内外的空气经由上述壳体通气孔而移动。

5、如权利要求2所述的精密平台，其特征在于，

上述壳体内外的空气经由上述壳体通气孔而移动。

6、如权利要求3所述的精密平台，其特征在于，

上述壳体内外的空气经由上述壳体通气孔而移动。

7、如权利要求4所述的精密平台，其特征在于，

具备使上述壳体通气孔开闭自如的开闭器；

在周围环境的变温运转时使上述开闭器成为开状态，此外，在该平台变温到期望温度后的定温运转时使该开闭器成为闭状态。

8、如权利要求5所述的精密平台，其特征在于，

具备使上述壳体通气孔开闭自如的开闭器；

9、如权利要求6所述的精密平台，其特征在于，

具备使上述壳体通气孔开闭自如的开闭器；

10、如权利要求4所述的精密平台，其特征在于，

具备强制换气器，所述强制换气器与上述壳体通气孔连通地设置，用来将上述壳体内外的空气强制地换气。

11、如权利要求5所述的精密平台，其特征在于，

12、如权利要求6所述的精密平台，其特征在于，

13、如权利要求7所述的精密平台，其特征在于，

14、如权利要求8所述的精密平台，其特征在于，

15、如权利要求9所述的精密平台，其特征在于，