JP4792364B2 - Substrate transfer device - Google Patents

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本発明は、それぞれが基板の搬送を並列に行って所定位置で停止させる２台の搬送装置を備えた基板搬送装置に関する。   The present invention relates to a substrate transfer apparatus including two transfer apparatuses that each transfer a substrate in parallel and stop the substrate at a predetermined position.

１枚の基板を搬送するのに一対のシュートを用いて行うのが一般的であるが（特許文献１参照）、効率的に搬送するために、二対のシュートを用いて行うことが考えられる。この場合、各対のシュートともにシュート幅を変更できるのが望ましいし、大きな基板を搬送する場合には、一方の一対のシュートを用い、大きくない基板を搬送する場合には二対のシュートを用いることも考えられえる。
特開２００４−３１１４６９号公報 In general, a pair of chutes are used to transport a single substrate (see Patent Document 1), but it is conceivable to use two pairs of chutes for efficient transport. . In this case, it is desirable that the chute width can be changed for each pair of chutes. When a large substrate is transported, one pair of chutes is used, and when a non-large substrate is transported, two pairs of chutes are used. You can also think about that.
JP 2004-31469 A

しかし、このような構成の搬送装置では、シュート幅変更のためには軸が６本必要となり、複雑なものとなる。   However, in the transport apparatus having such a configuration, six shafts are required for changing the chute width, which is complicated.

そこで本発明は、大きな基板を搬送する場合には、一方の一対のシュートを用い、大きくない基板を搬送する場合には二対のシュートを用いる極力簡単な構成の基板搬送装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a substrate transport apparatus having a simple structure as much as possible using one pair of chutes when transporting a large substrate and using two pairs of chutes when transporting a non-large substrate. Objective.

このため第１の発明は、それぞれが基板の搬送を並列に行って所定位置で停止させる２台の搬送装置を備えた基板搬送装置であって、前記２台の搬送装置を固定シュートと基板幅に応じて移動可能な第１の可動シュートとの一方の搬送装置と、それぞれが移動可能な一対の第２の可動シュート及び第３の可動シュートとの他方の搬送装置とから構成し、一対のネジ軸と嵌合する各可動シュートに対応して設けられたナット体が同じく各可動シュートに対応して各可動シュートごとに設けられた駆動源により回動することにより前記第１乃至第３の可動シュートが移動可能であることを特徴とする。 For this reason, the first invention is a substrate transfer apparatus provided with two transfer apparatuses each carrying a substrate in parallel and stopping at a predetermined position, the two transfer apparatuses being fixed chute and substrate width. And a pair of second movable chutes and a third movable chute, each of which is movable, and a pair of second movable chutes, each of which is movable. The nut body provided corresponding to each movable chute fitted to the screw shaft is rotated by a driving source provided for each movable chute corresponding to each movable chute, whereby the first to third The movable chute is movable.

第２の発明は、それぞれが基板の搬送を並列に行って所定位置で停止させる２台の搬送装置を備えた基板搬送装置であって、前記２台の搬送装置を固定シュートと基板幅に応じて移動可能な第１の可動シュートとの一方の搬送装置と、それぞれが移動可能な一対の第２の可動シュート及び第３の可動シュートとの他方の搬送装置とから構成し、一対のネジ軸と嵌合する各可動シュートに対応して設けられた一対のナット体にそれぞれ固定されたプーリにベルトを張架して各可動シュートに対応して各可動シュートごとに設けられた駆動源により一方のプーリを回動することにより前記第１乃至第３の可動シュートが移動可能であることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus including two transfer apparatuses that perform transfer of a substrate in parallel and stop at a predetermined position, and the two transfer apparatuses are arranged according to a fixed chute and a substrate width. And a pair of screw shafts, each of which includes a pair of second movable chutes and a pair of second movable chutes, each of which is movable. A belt is stretched around pulleys fixed to a pair of nut bodies provided corresponding to the respective movable chutes to be fitted to each other by a drive source provided for each movable chute corresponding to each movable chute. The first to third movable chutes are movable by rotating the pulley.

本発明は、各可動シュートに対応して各可動シュートごとに設けられた駆動源により、第１乃至第３の可動シュートが移動可能であり、大きな基板を搬送する場合には、一方の一対のシュートを用い、大きくない基板を搬送する場合には二対のシュートを用いる極力簡単な構成の基板搬送装置を提供することができる。 In the present invention , the first to third movable chutes can be moved by a driving source provided for each movable chute corresponding to each movable chute . When a small substrate is transported using a chute, it is possible to provide a substrate transport device having a simple structure as much as possible using two pairs of chutes.

以下図に基づき説明するが、図１は基板搬送装置１の平面図、図２は図１における矢印Ａ方向からみた図、図３は図１における矢印Ｂ方向からみた図である。基板搬送装置１は手前の固定シュート２と、可動シュート３、４、５とから構成される。そして、基板搬送装置１において、基板幅の大きな基板の場合には手前の固定シュート２と可動シュート３とを使用して搬送でき、大きくない基板の場合には固定シュート２と可動シュート３と及び可動シュート４と５とを使用して搬送でき、基板幅の大きな基板の場合には１枚のみ、大きくない基板の場合には２枚の基板を搬送することとなる。   1 is a plan view of the substrate transfer apparatus 1, FIG. 2 is a view seen from the direction of arrow A in FIG. 1, and FIG. 3 is a view seen from the direction of arrow B in FIG. The substrate transfer device 1 is composed of a fixed chute 2 and movable chutes 3, 4, 5. In the substrate transfer apparatus 1, the substrate can be transferred using the fixed chute 2 and the movable chute 3 in the case of a substrate having a large substrate width, and the fixed chute 2 and the movable chute 3 in the case of a substrate not large. The movable chutes 4 and 5 can be used for conveyance, and only one substrate is conveyed when the substrate width is large, and two substrates are conveyed when the substrate is not large.

そして、奥側駆動モータ６の出力軸に固定されたプーリ７と右回転軸８の前端部に設けたプーリ９との間にベルト１０が張架され、この右回転軸８は固定シュート２及び可動シュート３を回転可能に貫通し、可動シュート４と５とに設けたプーリに固定されている。他方、手前側駆動モータ１２の出力軸に固定されたプーリ１３と左回転軸１４の前端部に設けたプーリ１５との間にベルト１６が張架され、この左回転軸１４は固定シュート２と可動シュート３とに設けたプーリに固定され、回転可能に貫通し、可動シュート４と５とを回転可能に貫通している。   A belt 10 is stretched between a pulley 7 fixed to the output shaft of the rear drive motor 6 and a pulley 9 provided at the front end portion of the right rotation shaft 8. The movable chute 3 is rotatably passed through and fixed to pulleys provided on the movable chutes 4 and 5. On the other hand, a belt 16 is stretched between a pulley 13 fixed to the output shaft of the front drive motor 12 and a pulley 15 provided at the front end of the left rotating shaft 14, and the left rotating shaft 14 is connected to the fixed chute 2. It is fixed to a pulley provided on the movable chute 3 and penetrates in a rotatable manner, and penetrates through the movable chutes 4 and 5 in a rotatable manner.

更に、可動シュート４と５とに設けたプーリと左回転軸１４が貫通して回転可能な案内ローラとの間には奥側基板搬送ベルト１１Ａが張架され、奥側駆動モータ６が駆動するとプーリ７、９及びベルト１０を介して右回転軸８が回転し、前記奥側基板搬送ベルト１１Ａが回転して可動シュート４及び５上の基板ＰＡを搬送することができる。また、固定シュート２と可動シュート３とに設けたプーリと右回転軸８が貫通して回転可能な案内ローラとの間には手前側基板搬送ベルトが張架され、手前側駆動モータ１２が駆動するとプーリ１３、１５及びベルト１６を介して左回転軸１４が回転し、前記手前側基板搬送ベルト１１Ｂが回転して固定シュート２及び可動シュート３上の基板ＰＢを搬送することができる。

２３は前記可動シュート３用の移動モータで、その出力軸に固定されたプーリ２４と左ネジ軸３０が回転可能に貫通する第1左プーリ２５との間にベルト２６が張架され、左ネジ軸３０が嵌合する左ナット２７が前記第１左プーリ２５に固定され、この左ナット２７は可動シュート３に固定されたベアリング２８内を回転可能である。そして、前記可動シュート３の右端部において、右ネジ軸３１が嵌合する右ナットが右プーリに固定され、この右ナットは可動シュート３に固定されたベアリング内を回転可能である。そして、左ナット２７が固定された第２左プーリ２９と右プーリとの間には伝達ベルト２２が張架されている。 Further, when the back side substrate transport belt 11A is stretched between a pulley provided on the movable chutes 4 and 5 and a guide roller through which the left rotation shaft 14 can rotate, the back side drive motor 6 is driven. The right rotation shaft 8 rotates through the pulleys 7 and 9 and the belt 10, and the back substrate transport belt 11 </ b> A rotates to transport the substrate PA on the movable chutes 4 and 5. Further, a front substrate transport belt is stretched between a pulley provided on the fixed chute 2 and the movable chute 3 and a guide roller through which the right rotation shaft 8 can rotate and the front drive motor 12 is driven. Then, the left rotating shaft 14 is rotated via the pulleys 13 and 15 and the belt 16, and the front substrate transport belt 11B is rotated so that the substrate PB on the fixed chute 2 and the movable chute 3 can be transported.

23 is a moving motor for the movable chute 3, and a belt 26 is stretched between a pulley 24 fixed to an output shaft of the movable chute 3 and a first left pulley 25 through which a left screw shaft 30 is rotatably passed. A left nut 27 with which the shaft 30 is fitted is fixed to the first left pulley 25, and the left nut 27 can rotate in a bearing 28 fixed to the movable chute 3. A right nut to which the right screw shaft 31 is fitted is fixed to the right pulley at the right end portion of the movable chute 3, and the right nut can rotate in a bearing fixed to the movable chute 3. The transmission belt 22 is stretched between the second left pulley 29 and the right pulley to which the left nut 27 is fixed.

従って、移動モータ２３が駆動すると、プーリ２４、第１左プーリ２５及びベルト２６を介して前記第１左プーリ２５に固定された左ナット２７が左ネジ軸３０の回り及びベアリング２８内を回転しながらリニアガイド３２により可動シュート３の左部が案内されると共に、第２左プーリ２９、伝達ベルトを介して前記右プーリに固定された右ナットが右ネジ軸３１の回り及びベアリング内を回転しながらリニアガイド３３により可動シュート３の右部が案内され、結果として基板ＰＢの基板幅に合わせるべく左右バランス良く、滑らかに片寄ること無く、可動シュート３は移動することとなる。

３４は前記可動シュート４用の移動モータで、その出力軸に固定されたプーリ３５と右ネジ軸３１が回転可能に貫通する第1右プーリ３６との間にベルト３７が張架され、右ネジ軸３１が嵌合する右ナット３８が前記第１右プーリ３６に固定され、この右ナット３８は可動シュート４に固定されたベアリング３９内を回転可能である。そして、前記可動シュート４の左端部において、左ネジ軸３０が嵌合する左ナットが左プーリ４０に固定され、この左ナットは可動シュート４に固定されたベアリング内を回転可能である。そして、右ナット３８が固定された第２右プーリ４１と左プーリ４０との間には伝達ベルト４２が張架されている。 Accordingly, when the moving motor 23 is driven, the left nut 27 fixed to the first left pulley 25 via the pulley 24, the first left pulley 25, and the belt 26 rotates around the left screw shaft 30 and in the bearing 28. While the left portion of the movable chute 3 is guided by the linear guide 32, the second left pulley 29 and the right nut fixed to the right pulley via the transmission belt rotate around the right screw shaft 31 and in the bearing. However, the right portion of the movable chute 3 is guided by the linear guide 33, and as a result, the movable chute 3 moves without being displaced smoothly with good left-right balance to match the substrate width of the substrate PB.

34 is a moving motor for the movable chute 4, and a belt 37 is stretched between a pulley 35 fixed to the output shaft and a first right pulley 36 through which the right screw shaft 31 is rotatably passed, and a right screw. A right nut 38 to which the shaft 31 is fitted is fixed to the first right pulley 36, and the right nut 38 can rotate in a bearing 39 fixed to the movable chute 4. At the left end of the movable chute 4, a left nut to which the left screw shaft 30 is fitted is fixed to the left pulley 40, and the left nut can rotate in a bearing fixed to the movable chute 4. A transmission belt 42 is stretched between the second right pulley 41 and the left pulley 40 to which the right nut 38 is fixed.

従って、移動モータ３４が駆動すると、プーリ３５、第１右プーリ３６及びベルト３７を介して前記第１右プーリ３６に固定された右ナット３８が右ネジ軸３１の回り及びベアリング３９内を回転しながらリニアガイド３３により可動シュート４の右部が案内されると共に、第２右プーリ４１、伝達ベルト４２を介して前記左プーリ４０に固定された左ナットが左ネジ軸３０の回り及びベアリング内を回転しながらリニアガイド３２により可動シュート４の左部が案内され、結果として基板ＰＡの基板幅に合わせるべく左右バランス良く、滑らかに片寄ること無く、可動シュート４は移動することとなる。

４５は前記可動シュート５用の移動モータで、その出力軸に固定されたプーリ４６と左ネジ軸３０が回転可能に貫通する第1左プーリ４７との間にベルト４８が張架され、左ネジ軸３０が嵌合する左ナット４９が前記第１左プーリ４７に固定され、この左ナット４９は可動シュート５に固定されたベアリング５０内を回転可能である。そして、前記可動シュート５の右端部において、右ネジ軸３１が嵌合する右ナットが右プーリに固定され、この右ナットは可動シュート５に固定されたベアリング内を回転可能である。そして、左ナット４９が固定された第２左プーリ５１と右プーリとの間には伝達ベルト（図示せず）が張架されている。 Therefore, when the moving motor 34 is driven, the right nut 38 fixed to the first right pulley 36 via the pulley 35, the first right pulley 36 and the belt 37 rotates around the right screw shaft 31 and in the bearing 39. While the right portion of the movable chute 4 is guided by the linear guide 33, the left nut fixed to the left pulley 40 via the second right pulley 41 and the transmission belt 42 is rotated around the left screw shaft 30 and in the bearing. The left portion of the movable chute 4 is guided by the linear guide 32 while rotating, and as a result, the movable chute 4 moves without being shifted smoothly and with a good left-right balance to match the substrate width of the substrate PA.

45 is a moving motor for the movable chute 5, and a belt 48 is stretched between a pulley 46 fixed to the output shaft and a first left pulley 47 through which the left screw shaft 30 is rotatably passed. A left nut 49 with which the shaft 30 is fitted is fixed to the first left pulley 47, and the left nut 49 can rotate in a bearing 50 fixed to the movable chute 5. A right nut to which the right screw shaft 31 is fitted is fixed to the right pulley at the right end portion of the movable chute 5, and the right nut can rotate in a bearing fixed to the movable chute 5. A transmission belt (not shown) is stretched between the second left pulley 51 and the right pulley to which the left nut 49 is fixed.

従って、移動モータ４５が駆動すると、プーリ４６、第１左プーリ４７及びベルト４８を介して前記第１左プーリ４７に固定された左ナット４９が左ネジ軸３０の回り及びベアリング５０内を回転しながらリニアガイド３２により可動シュート５の左部が案内されると共に、第２左プーリ５１、伝達ベルトを介して前記右プーリに固定された右ナットが右ネジ軸３１の回り及びベアリング内を回転しながらリニアガイド３３により可動シュート５の右部が案内され、結果として基板ＰＡの基板幅に合わせるべく左右バランス良く、滑らかに片寄ること無く、可動シュート５は移動することとなる。

以上の構成により、図１に示す状態、即ち固定シュート２と可動シュート４との間隔が例えば、２５１ミリメートルであって、固定シュート２と可動シュート３とで基板幅の狭い基板ＰＢを搬送し、可動シュート４と５とで基板ＰＡを搬送する状態から、図４に示すように、可動シュート３を固定シュート２から遠ざけて基板ＰＢに代えて基板ＰＡと同じ基板幅の基板ＰＣを搬送できるようにする動作について説明する。

先ず、作業者は、例えばモニタに表示させた複数の基板種の中から、タッチパネルスイッチを押圧操作してこれから搬送する基板ＰＣを選択して、更に基板搬送装置１の基板幅の段取り替え動作を実行させる。

すると、制御装置（図示せず）は基板ＰＣが搬送できるように、記憶装置に格納された基板ＰＣの基板幅データに基づいて、可動シュート３を固定シュート２から遠ざけて移動させるように、駆動モータ２３の駆動を制御する。即ち、制御装置により移動モータ２３が駆動すると、プーリ２４、第１左プーリ２５及びベルト２６を介して第１左プーリ２５に固定された左ナット２７が左ネジ軸３０の回り及びベアリング２８内を回転しながらリニアガイド３２により可動シュート３の左部が案内されると共に、第２左プーリ２９、伝達ベルトを介して右プーリに固定された右ナットが右ネジ軸３１の回り及びベアリング内を回転しながらリニアガイド３３により可動シュート３の右部が案内され、結果として基板ＰＣの基板幅に合わせるべく左右バランス良く、滑らかに片寄ること無く、可動シュート３は基板ＰＣの基板幅となるように、固定シュート２から遠ざかるように移動することとなる（図４参照）。

次に、基板幅の大きな基板ＰＤを固定シュート２と可動シュート３とで搬送できるようにする動作について説明する。先ず、作業者は、前述と同様にモニタに表示させた複数の基板種の中から、タッチパネルスイッチを押圧操作してこれから搬送する基板ＰＤを選択して、更に基板搬送装置１の基板幅の段取り替え動作を実行させる。 Therefore, when the moving motor 45 is driven, the left nut 49 fixed to the first left pulley 47 via the pulley 46, the first left pulley 47 and the belt 48 rotates around the left screw shaft 30 and in the bearing 50. While the left portion of the movable chute 5 is guided by the linear guide 32, the second left pulley 51 and the right nut fixed to the right pulley via the transmission belt rotate around the right screw shaft 31 and in the bearing. However, the right portion of the movable chute 5 is guided by the linear guide 33, and as a result, the movable chute 5 moves without being shifted smoothly and with a good left-right balance to match the substrate width of the substrate PA.

With the above configuration, the state shown in FIG. 1, that is, the distance between the fixed chute 2 and the movable chute 4 is, for example, 251 mm, and the fixed chute 2 and the movable chute 3 convey the substrate PB having a narrow substrate width, As shown in FIG. 4, the movable chute 3 can be moved away from the fixed chute 2 from the state in which the substrate PA is transported by the movable chutes 4 and 5, and the substrate PC having the same substrate width as the substrate PA can be transported instead of the substrate PB. The operation to make will be described.

First, for example, an operator selects a substrate PC to be transported by pressing a touch panel switch from among a plurality of substrate types displayed on a monitor, and further performs a substrate width changeover operation of the substrate transport apparatus 1. Let it run.

Then, the control device (not shown) is driven to move the movable chute 3 away from the fixed chute 2 based on the substrate width data of the substrate PC stored in the storage device so that the substrate PC can be transported. The drive of the motor 23 is controlled. That is, when the moving motor 23 is driven by the control device, the left nut 27 fixed to the first left pulley 25 via the pulley 24, the first left pulley 25, and the belt 26 moves around the left screw shaft 30 and in the bearing 28. The left part of the movable chute 3 is guided by the linear guide 32 while rotating, and the second left pulley 29 and the right nut fixed to the right pulley via the transmission belt rotate around the right screw shaft 31 and in the bearing. However, the right portion of the movable chute 3 is guided by the linear guide 33, and as a result, the movable chute 3 becomes the substrate width of the substrate PC with good left-right balance so as to match the substrate width of the substrate PC, without smoothly shifting. It will move away from the fixed chute 2 (see FIG. 4).

Next, an operation for allowing the substrate PD having a large substrate width to be conveyed by the fixed chute 2 and the movable chute 3 will be described. First, the operator selects a substrate PD to be transported by pressing the touch panel switch from among a plurality of substrate types displayed on the monitor in the same manner as described above. Perform replacement operation.

すると、図５に示すように、前記制御装置は、可動シュート５及び４については固定シュート２から最大距離離れた位置まで移動させるべく駆動モータ４５及び３４の駆動を制御すると共に、基板幅の大きな基板ＰＤが搬送できるように、前記記憶装置に格納された基板ＰＤの基板幅データに基づいて、可動シュート３を移動させるように、駆動モータ２３の駆動を制御する。

即ち、前記制御装置により、移動モータ４５が駆動すると、プーリ４６、第１左プーリ４７及びベルト４８を介して前記第１左プーリ４７に固定された左ナット４９が左ネジ軸３０の回り及びベアリング５０内を回転しながらリニアガイド３２により可動シュート５の左部が案内されると共に、第２左プーリ５１、伝達ベルトを介して前記右プーリに固定された右ナットが右ネジ軸３１の回り及びベアリング内を回転しながらリニアガイド３３により可動シュート５の右部が案内され、可動シュート５は固定シュート２から最大距離離れた位置まで移動することとなる。 Then, as shown in FIG. 5, the control device controls the drive of the drive motors 45 and 34 so that the movable chutes 5 and 4 are moved to the position away from the fixed chute 2 to the maximum distance, and the substrate width is large. Based on the substrate width data of the substrate PD stored in the storage device, the drive of the drive motor 23 is controlled so that the movable chute 3 is moved so that the substrate PD can be transported.

That is, when the moving motor 45 is driven by the control device, the left nut 49 fixed to the first left pulley 47 via the pulley 46, the first left pulley 47 and the belt 48 is rotated around the left screw shaft 30 and the bearing. The left portion of the movable chute 5 is guided by the linear guide 32 while rotating in the shaft 50, and the right nut fixed to the right pulley via the second left pulley 51 and the transmission belt is rotated around the right screw shaft 31 and The right portion of the movable chute 5 is guided by the linear guide 33 while rotating in the bearing, and the movable chute 5 moves to a position away from the fixed chute 2 by the maximum distance.

また、前記制御装置により移動モータ３４が駆動すると、プーリ３５、第１右プーリ３６及びベルト３７を介して前記第１右プーリ３６に固定された右ナット３８が右ネジ軸３１の回り及びベアリング３９内を回転しながらリニアガイド３３により可動シュート４の右部が案内されると共に、第２右プーリ４１、伝達ベルト４２を介して前記左プーリ４０に固定された左ナットが左ネジ軸３０の回り及びベアリング内を回転しながらリニアガイド３２により可動シュート４の左部が案内され、可動シュート４は固定シュート２から最大距離離れた位置まで移動することとなる。   Further, when the moving motor 34 is driven by the control device, the right nut 38 fixed to the first right pulley 36 via the pulley 35, the first right pulley 36 and the belt 37 is rotated around the right screw shaft 31 and the bearing 39. The right portion of the movable chute 4 is guided by the linear guide 33 while rotating inside, and the left nut fixed to the left pulley 40 via the second right pulley 41 and the transmission belt 42 is rotated around the left screw shaft 30. The left part of the movable chute 4 is guided by the linear guide 32 while rotating in the bearing, and the movable chute 4 moves to a position away from the fixed chute 2 by the maximum distance.

更に、前記制御装置は基板幅の大きい基板ＰＤが搬送できるように、記憶装置に格納された基板ＰＤの基板幅データに基づいて、可動シュート３を移動させるように、駆動モータ２３の駆動を制御する。即ち、制御装置により移動モータ２３が駆動すると、プーリ２４、第１左プーリ２５及びベルト２６を介して第１左プーリ２５に固定された左ナット２７が左ネジ軸３０の回り及びベアリング２８内を回転しながらリニアガイド３２により可動シュート３の左部が案内されると共に、第２左プーリ２９、伝達ベルトを介して右プーリに固定された右ナットが右ネジ軸３１の回り及びベアリング内を回転しながらリニアガイド３３により可動シュート３の右部が案内され、可動シュート３は基板ＰＤの基板幅となるように、移動することとなる。   Furthermore, the control device controls the drive of the drive motor 23 so as to move the movable chute 3 based on the substrate width data of the substrate PD stored in the storage device so that the substrate PD having a large substrate width can be conveyed. To do. That is, when the moving motor 23 is driven by the control device, the left nut 27 fixed to the first left pulley 25 via the pulley 24, the first left pulley 25, and the belt 26 moves around the left screw shaft 30 and in the bearing 28. The left part of the movable chute 3 is guided by the linear guide 32 while rotating, and the second left pulley 29 and the right nut fixed to the right pulley via the transmission belt rotate around the right screw shaft 31 and in the bearing. However, the right portion of the movable chute 3 is guided by the linear guide 33, and the movable chute 3 moves so as to have the substrate width of the substrate PD.

そして、以上のような段取り替えを行った後、基板搬送装置１が扱う基板、例えばプリント基板を搬送するが、位置決め位置まで搬送したら、電子部品装着装置にあっては、位置決め装置で位置決めした状態のプリント基板を上昇するバックアップベース５０上の複数のバックアップピン５１により下面から支持し、このプリント基板を水平に支持した状態でこの基板上に電子部品を装着する。   And after carrying out the above-described setup change, the board handled by the board transfer device 1, for example, a printed board is transferred, but when it is transferred to the positioning position, the electronic component mounting apparatus is positioned by the positioning apparatus. The printed circuit board is supported from the lower surface by a plurality of backup pins 51 on the ascending backup base 50, and an electronic component is mounted on the printed circuit board while the printed circuit board is supported horizontally.

なお、可動シュート４と５とで基板を位置決めする場合の基板位置決め位置を可動シュート４を基準として基板幅を合わせてもよく、また可動シュート５を固定シュート２から最大距離離れた位置まで移動させた状態で、可動シュート５を基準として基板幅を合わせてもよい。後者の場合には、電子部品装着装置にあっては部品吸着位置から装着位置までが近くなり、生産性の向上が図れる。   The substrate positioning position when the substrate is positioned by the movable chutes 4 and 5 may be adjusted to match the substrate width with the movable chute 4 as a reference, and the movable chute 5 is moved to a position away from the fixed chute 2 to the maximum distance. In this state, the substrate width may be adjusted based on the movable chute 5. In the latter case, in the electronic component mounting apparatus, from the component suction position to the mounting position is close, and productivity can be improved.

以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。   Although the embodiments of the present invention have been described above, various alternatives, modifications, and variations can be made by those skilled in the art based on the above description, and the present invention is not limited to the various embodiments described above without departing from the spirit of the present invention. It encompasses alternatives, modifications or variations.

基板ＰＡとＰＢとを搬送する場合の基板搬送装置の平面図である。It is a top view of the board | substrate conveyance apparatus in the case of conveying board | substrate PA and PB. 図１における矢印Ａ方向からみた図である。It is the figure seen from the arrow A direction in FIG. 図１における矢印Ｂ方向からみた図である。It is the figure seen from the arrow B direction in FIG. 基板ＰＡとＰＣとを搬送する場合の基板搬送装置の平面図である。It is a top view of the board | substrate conveyance apparatus in the case of conveying board | substrate PA and PC. 基板ＰＤを搬送する場合の基板搬送装置の平面図である。It is a top view of the board | substrate conveyance apparatus in the case of conveying board | substrate PD.

符号の説明Explanation of symbols


１ 基板搬送装置
２ 固定シュート
３、４、５ 可動シュート
２３、３４、４５ 駆動モータ
２７ 左ナット
３０ 左ネジ軸
３１ 右ネジ軸
３２、３３ リニアガイド

３８ 右ナット
４９ 左ナット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate conveyance apparatus 2 Fixed chute 3, 4, 5 Movable chute 23, 34, 45 Drive motor 27 Left nut 30 Left screw shaft 31 Right screw shaft 32, 33 Linear guide

38 Right nut 49 Left nut

Claims (2)

それぞれが基板の搬送を並列に行って所定位置で停止させる２台の搬送装置を備えた基板搬送装置であって、前記２台の搬送装置を固定シュートと基板幅に応じて移動可能な第１の可動シュートとの一方の搬送装置と、それぞれが移動可能な一対の第２の可動シュート及び第３の可動シュートとの他方の搬送装置とから構成し、一対のネジ軸と嵌合する各可動シュートに対応して設けられたナット体が同じく各可動シュートに対応して各可動シュートごとに設けられた駆動源により回動することにより前記第１乃至第３の可動シュートが移動可能であることを特徴とする基板搬送装置。 Each of the substrate transfer devices includes two transfer devices that transfer the substrates in parallel and stop at a predetermined position. The first transfer device can move the two transfer devices according to a fixed chute and a substrate width. Each of the movable chutes and the pair of second movable chutes and the other movable device of the third movable chutes, each of which is movable and fitted to a pair of screw shafts. The first to third movable chutes are movable by a nut body provided corresponding to each chute being rotated by a driving source provided for each movable chute corresponding to each movable chute. A substrate transfer device. それぞれが基板の搬送を並列に行って所定位置で停止させる２台の搬送装置を備えた基板搬送装置であって、前記２台の搬送装置を固定シュートと基板幅に応じて移動可能な第１の可動シュートとの一方の搬送装置と、それぞれが移動可能な一対の第２の可動シュート及び第３の可動シュートとの他方の搬送装置とから構成し、一対のネジ軸と嵌合する各可動シュートに対応して設けられた一対のナット体にそれぞれ固定されたプーリにベルトを張架して各可動シュートに対応して各可動シュートごとに設けられた駆動源により一方のプーリを回動することにより前記第１乃至第３の可動シュートが移動可能であることを特徴とする基板搬送装置。 Each of the substrate transfer devices includes two transfer devices that transfer the substrates in parallel and stop at a predetermined position. The first transfer device can move the two transfer devices according to a fixed chute and a substrate width. Each of the movable chutes and the pair of second movable chutes and the other movable device of the third movable chutes, each of which is movable and fitted to a pair of screw shafts. A belt is stretched around pulleys fixed to a pair of nut bodies provided corresponding to the chutes, and one pulley is rotated by a driving source provided for each movable chute corresponding to each movable chute. Thus, the first to third movable chutes are movable.
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