JP4784310B2 - 物品の空孔の検査方法および検査装置 - Google Patents
物品の空孔の検査方法および検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4784310B2 JP4784310B2 JP2006003040A JP2006003040A JP4784310B2 JP 4784310 B2 JP4784310 B2 JP 4784310B2 JP 2006003040 A JP2006003040 A JP 2006003040A JP 2006003040 A JP2006003040 A JP 2006003040A JP 4784310 B2 JP4784310 B2 JP 4784310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- air
- article
- inspection system
- foreign matter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Description
まず、タービンハウジング内の空孔が外部に対して気密状態になるようにタービンハウジングの開口部を密閉する。次に、上記空孔内に圧縮空気を送り込む。
空孔内が所定の気圧になった後は、送り込んだ圧縮空気が空孔内から開口部を通して漏れ出さないようにする。圧力計で物品の空孔内の減圧状態をみる。減圧が無い場合は貫通無し、減圧がある場合は貫通有りと判定する。
このようにして、空孔と物品外部の貫通の有無を検査していた。
手法1:針金などを挿入して、バリや異物による閉塞・狭窄状況を調べる。
手法2:内視鏡と光ファイバ光源、又はボアスコープ等を挿入して目視で調べる。
手法3:1つの開口部から超音波を放射し、他の開口部での音量を検知することによりバリや異物による閉塞、狭窄状態を判定する(例えば、特許文献1参照)。
さらに、物品における空孔の形状が複雑である場合には、多大な手間を要し、精度もさらに低くなる恐れがある。
さらに、物品における空孔の形状が複雑である場合には、上記手法3によっても、超音波の伝達途中の損失およびノイズ混入の度合いが大きくなり、正確な判定が困難であるといった問題点もあった。
他の目的は、物品の空孔の異物等検査する場合は、空孔内部のバリ、異物等の有無を検査することができる検査方法および検査装置を提供しようとするものである。
他の目的は、上記物品の空孔の異物等検査において、物品の空孔の形状が複雑である場合であっても、短時間でかつ、精度良く検査することができる検査方法および検査装置を提供しようとするものである。
他の目的は、物品について空孔の貫通検査と異物等検査の両方の検査をする場合、貫通検査と異物等検査の検査の両方を速やかにすることができる検査方法および検査装置を提供しようとするものである。
他の目的及び利点は図面及びそれに関連した以下の説明により容易に明らかになるであろう。
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第1通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第1通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第1通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第2通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第2通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第2通気管に配設してある第2バルブと、
物品の空孔に連通している第2開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第2開口部に空気を通すための第3通気管と、その第3通気管に配設してある第3バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第2開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを用いて、
空孔を有する物品の空孔内における欠陥を検出する空孔検査方法であって、
上記空孔検査方法は、ワークステージの通気孔に物品の第1開口部が合う状態で物品を装着する工程と、
貫通検査の工程においては、上記パッキンで第2開口部を塞ぎ、上記異物等検査系統における第2通気管に配設してある第2バルブを閉じ、上記貫通検査系統における圧縮空気供給手段から空孔内部に向けて圧縮空気を送り込み、上記送り込んだ空気が空孔内から漏れ出さないように上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブを閉め、所定時間内における物品空孔内の減圧状態に基づいて貫通の有無を判定する貫通検査の工程と、
異物等検査の工程においては、上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブを閉め、上記第2開口部に通じる第3通気管の第3バルブを開き、
上記異物等検査系統における真空手段で空孔内の空気を引き出し、引き出されることによって第2開口部から空孔内に導入される風の状態を上記センサーで計測し、計測された風の状態に基づいて上記空孔の異物等の有無を判定する異物等検査の工程とを含み、
上記貫通検査の工程又は異物等検査の工程のいずれか一方の工程を行った後、物品をワークステージにセットした状態で、残る他方の工程を行うしたものである。
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第1通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第1通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第1通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第2通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第2通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第2通気管に配設してある第2バルブと、
物品の空孔に連通している第2開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第2開口部に空気を通すための第3通気管と、その第3通気管に配設してある第3バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第2開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを備え、
上記ワークステージの通気孔に連通させる貫通検査系統と異物等検査系統とを選択的に切り換えて、空孔を有する物品をワークステージにセットした状態で、その空孔内部における貫通と異物等の両欠陥の検査ができるようにしたものであればよい。
よって、従来の検査のような大変な手間を要することなく、空孔内部のバリ、異物等の有無を短時間で正しく検査することができる作業上の効果がある。
さらに、このことは、空孔の形状が複雑な物品について検査する場合であっても、短時間で検査することができる作業上の効果がある。
1は上記検査装置Aにおけるワークステージを示し、6は固設されている硬質材製の基台を示す。6aは基台6の表面に設けられたワークWを装着する為の設置域を示す。設置域6aは気密材で形成され、気密材としては、ワークWを装着した状態で設置域6aと第1開口部4bとが気密的になればよく、例えばゴム材で形成してあってもよい。7は設置域6a内において開口させた基台6を貫通する通気孔を示す。8は図2に示されるように、基台6の表面に対して、必要に応じて備えられる周知のクランプを示し、ワークWをワークステージ1に装着固定する為のものである。9は通気孔7に連通する共用管を示す。
15は共用管9、通気孔7に連通する第1通気管を示す。10は、図1、図4に示されるように通気管15、共用管9、通気孔7を介してワークWの空孔4a内へ圧縮空気を送り込む為の圧縮空気供給手段を示す。圧縮空気供給手段10としては、貫通検査するときに空孔4a内の気圧を所定の気圧、例えば空孔4a内を1.0〜10気圧にすることのできる機能を有するものであればよく、例えば周知のエアコンプレッサーを用いてもよい。11は通気管15に配設された第1バルブを示し、例えば周知の手動バルブでも良いが、周知の電磁バルブを用いてもよい。12は通気管15に配設された圧力計測手段を示し、ワークの空孔内4aの気圧の状態を測定できるものであればよく、周知の圧力計を用いてもよい。13は通気管15に配設される周知の圧力調整弁を示し、上記圧縮空気供給手段10から通気管15を介して送り出される圧縮空気の圧力を調節することができる、例えば空孔4a内を1.0〜10気圧に調整できるようにしてある。14は周知の逆止弁を示し、空気を通気孔7方向へ通し、その反対方向へは逆流させないようにしてある。
なお、上記共用管9にバルブを介設してもよい。その場合には、貫通検査において空孔4a内を一定圧に加圧した後、共用管9に介設したバルブを閉じて減圧検査をしてもよい。その場合はその共用管9に介設したバルブよりも空孔4a側に圧力計を配置するとよい。
さらに、図1における符号9aで示す三叉路位置に、共用管9に対して通気管15又は通気管24を選択的に切換連通させる為の任意の電磁切換弁を配設し、単独で、又はバルブ11(又はバルブ21、23)と連動させる等、必要に応じて制御部36により開閉制御すればよい。
まず、引込系統Bについて説明する。
24は共用管9、通気孔7に連通する通気管を示す。20は通気管24を介してワークWの空孔4a内の空気を引き出す為の真空手段を示す。真空手段20として、例えば周知のコンバム(エジェクター式真空発生装置)を用いてもよい。コンバム20は広く知られているように、圧縮空気を駆動源として真空を発生するようになっている。コンバム20に供給する圧縮空気は、上記した貫通検査系統2における圧縮空気供給装置10を利用して供給するとよい。
21は第2通気管24の圧縮空気供給手段10寄りに配設されたバルブを示し、23は第2通気管24の通気孔7寄りに配設された第2バルブを示し、例えば周知の手動又は電磁バルブを用いてもよい。22は通気管24に配設された周知の流量計/調整弁を示し、広く知られているように、通気管24を流れる空気の流量を計測・調節し、所定流量の空気が一定して通気管24を通過するようにしてある。
26は後述するエアタンク27を設置する為の設置部材を示し、図示のようにワークWの第2開口部4c側に固設してある。27は設置部材26上に対して矢印43a、43b方向への進退を自在に載置された周知のエアタンクを示し、その載置は設置部材において横方向(図2の奥行き方向)へ移動することのないようにされている。エアタンク27の容量は、ワークWの空孔4a内に導入する空気のバッファとして機能するように充分に大きな容量にしてある。28はエアタンク27に備える周知のフィルターを示し、外部からエアタンク27内に流入する外気に含まれる粉塵、オイルミストを除去する為のものである。42は、図2に表れる矢印43a、43b方向に進退自在に動作する周知のエアシリンダ(図示省略)のロッドを示す。このロッド42は、パッキン30をワークWにおける第2開口部4cに対して気密的にしたい場合に用いるもので、図示のように先部に備える二股状に突出した当接部42aをエアタンク27の後端部側に当接させ、矢印43a方向に押圧動作させるとよい。なお、フィルター28に対しては両側から空気が導入される。30はパッキンを示し、図1、図2に示されるようなワークWが装着された状態で、ワークの第2開口部4cに対して気密的な着脱を自在に装着するようにしたもので、周知の弾性材、例えばゴム材で形成してある。31は第3通気管を示し、図2によく表れるように一端をエアタンク27の開口部27aに対して連通させ、他端はパッキン30に接続させ、ワークWが装着された状態にあっては、空孔4aと連通するようになっている。29は第3通気管31に配設された第3バルブを示し、例えば周知の電磁バルブを用いるとよい。
34は空孔4aを通過する空気(風)の状態を測定する為のセンサーを示す。センサー34は、空孔4a内の空気が真空手段20によって引き出されることによって、ワークWの第2開口部4cから空孔4a内に導入される風の状態を測定するものである。センサー34は、図2によく表れるようにエアタンク27内の開口部27a付近に配置され、かつ、層流の測定が可能な位置に配置してある。センサー34は、ワークWの第2開口部4cの近く(空孔4a内を流れる風の風上側)で測定するものなので、風速を精度良く測定できる。
センサー34としては、例えば周知のMEMS(Micro Electro Mechanical System)式風速センサを用いるとよい。また、センサー34として周知のサーミスタ式風速計を用いてもよい。
さらに、センサー34としては、通気管31を通過する空気(風)の状態を測定できるものであればよく、例えば風量計を用いて上記風の状態を測定するものであってもよい。
また、センサー34の設置位置としては上記のように空孔4aを通過する空気の流れを測定できればよいので、第1開口部4b近く、例えば共用管9の通路に配置してもよい。
36は判定手段35における制御部を示し、上記した貫通検査系統2における圧縮空気供給手段10、バルブ11、圧力計測手段12、圧力調整弁13等の動作を制御するように構成されている。さらに、上記した異物等検査系統3における真空手段20、バルブ21、23、流量計/調整弁22、バルブ29、センサー34等の動作を制御するように構成されている。
次に、37は判定手段35における判定部を示し、センサー34の計測結果に基づいて欠陥の有無を判定する為のものである。判定部37は、センサー34で計測された値と、判定部37に予め記憶されている基準値とを比較して、空孔4aの内部における欠陥の有無を判断するよう構成されている。基準値は、検査対象となるワークWと同一形状で、空孔内部に欠陥のない良品を用いて実際に計測した値である。
なお、判定は、センサー34による計測値(風速又は風量)が基準値と比較して所定の閾値以上の差があるときに不良品(欠陥品)と判定するようにすれば良く、例えば閾値を5%として判定しても良い。なお、貫通検査系統2において圧力計測手段12の数値が予定値よりも降下した場合(欠陥品の場合)は、それも判定部37で判定させるようにしてもよい。
なお、異物等検査系統3における通気管24、31等の配設にあっては、曲部24aが鋭角にならないようなだらかな鈍角に構成するとよい。さらに、使用する通気管の内径の大きさはすべて同一になるように構成するとよい。このように通気管を構成すると、空気の流れが層流となり、センサー34で計測する値をばらつきなく精度良く測定することができる。
41は、図2によく表れる盲蓋40に連結されている周知のエアシリンダ(図示省略)のロッドを示し、矢印41a、41b方向に進退自在に動作する。
なお、盲蓋40に連結されているエアシリンダが盲蓋40を押圧することにより、ワークWの第1開口部4bとワークステージ1の設置域6aとが気密的に圧接され、しかもワークWが固着状態になる場合は、上記したクランプ8は備えなくてもよい。
さらに、図2に示される盲蓋40においては、ワークWにおける第1開口部4bの反対側の位置に第3開口部4dが存在することを前提に説明したが、第1開口部4b及び第2開口部4cの他に1又は複数の開口部が存在する場合は、それらの開口部は予め任意手段により盲蓋で塞いでおいてもよいし、ワークWを設置域6aに設置した後、任意手段によって盲蓋を装着するようにしてもよい。その場合、ロッド41の押圧方向はワークWの第1開口部4bとワークステージ1の設置域6aとを気密的に圧接するように設定しておけばよい。
まず、設置域6aの上にワークWの第1開口部4bを乗載する。
次に、ロッド41を下降させて、盲蓋40を第3開口部4dに図示のように対応合着させる。これにより、設置域6aと第1開口部4bの周囲との密着及び第3開口部4dに対する密閉が行われる。次に、ロッド42を矢印43a方向へ押圧することにより、パッキン30を第2開口部4cの周囲に密着させる。一方、制御部36により制御された(又は手動により操作された)バルブ11の開放、バルブ21、23、29の閉塞を確認する。
次に圧縮空気供給手段10を作動させ、図4(A)の矢印で示されるように圧縮空気を送り、ワークWにおける空孔4a内の気圧を高める(例えば1.1〜10気圧)。その後、バルブ11を閉ざし、所定時間経過後、圧力計測手段12の圧力計の指示を見る。その結果減圧している場合は欠陥有り、減圧していない場合は、欠陥なし(良品)として検査を完了する。
上記貫通検査において、不良品が生じた場合、ワークWをワークステージ1から取り除き、不良品として処理し、検査を終了する。
上記貫通検査において欠陥なし(良品)の場合は、ワークステージ1に対するワークWをそのままにして、引き続いて異物等検査を行う。
従って、直ちにバルブ21、23、29を開放し、バルブ11の閉塞を確認し、通気管24とエアタンク27とが連通するように切換え操作をする。
次に、周知のように圧縮空気供給手段10を動作させて真空手段(コンバム)20を動作させる。これにより、ワークWの空孔4a内の空気は引かれ、フィルター28からエアタンク27、空孔4a、通気管24を経由してコンバム20に至る空気路(風路)が形成される(図4(B)における太い矢印参照)。 なお、空孔4a内を流れる風の流量は、流量計/調整弁22により適量に設定する(例えば流量計/調整弁22において流量0.1〜2リットル/min位)。
このような状態においては、エアタンク27からワークWの空孔4a内に至る空気流の状態がセンサー34によって測定され、そのデータは判定部37に送られる。
次に、判定部37においては、前述したようにセンサー34で計測された風速値と、判定部37に予め記憶されている基準値とを比較する。その結果、その差が5%未満のときは、欠陥なし(良品)、5%以上のときは欠陥有り(不良品)と判定し、異物等検査を完了する。
さらに、必要に応じて引き続き次のワークWの検査をする場合、上記と同様の検査作業を繰り返してすればよい。
なお、上記ワークWの空孔4aにおける貫通と異物等の両欠陥を検査する作業の説明において、貫通検査をした後、異物等検査をする場合について説明したが、検査の順序はどちらを先にしても良く、異物等検査をした後、貫通検査をしても良い。
さらに、ワークWの空孔4a内の風の状態を測定するセンサー34は、図2によく表れているように、ワークWの第2開口部4cの近く(空孔4a内を流れる風の風上側)で測定するものなので、風速を精度良く測定できる。
なお、図5の説明に当たって、図5の空孔検査装置Aの構成については、多くのものが前述した図1、図4に対応する構成、機能の点において同一視し得ると考えられるので、それらの構成については図1、図4に用いた符号と同一の符号を付して図1、図4とは重複する説明を省略する。
また図5の空孔検査装置Aの構成を用いてのワークWの空孔4aにおける貫通と異物等の両欠陥を検査する作業については、真空手段として、単純にコンバム20が真空ポンプ20に変更されたのみで、前述した図4の構成を用いてのワークWの空孔4aにおける貫通と異物等の両欠陥を検査する作業と実質的には同様のため重複する説明は省略する。
なお図4においては、コンバム20の駆動源として圧縮空気供給手段10を用いたが、図5においては真空ポンプ20を用いる関係から圧縮空気供給手段10は不要となる。
従って圧縮空気供給手段10とコンバム20とを連通させる配管24も不要となり、さらには、真空ポンプ20の容量も、コンバム20の駆動源としての過剰な能力が不要となる経済性が生まれる。なお上記真空ポンプ20としてはオイルフリーのものを用いるのが好ましい。
一つの手段としては、常時センサー34に通電すると、センサー34の内部ヒータによりセンサー34は加温され、自体の結露は防止される。
他の手段としては、図6に示されるように、任意小型の除湿器46を付設して結露を防止する。例えば、図6に示される構成にする。図6において44はエアタンク27に装着するためにL字型に形成してある任意の硬質材で形成されている装着材、44aは装着材44における貫通孔を示す。49は、装着材44を金属製のエアタンク27に装着する為に装着材44の内側に備えさせた装着用磁石を示す。
45は後述する除湿器46を装着材44に対して固定するための除湿器固定材を示し、図示のように装着材44の表面に備えられている。46は周知の除湿器、例えばペルチェ方式熱交換型の除湿素子を示す。47は装着材44に備えられる周知の環状のパッキンを示し、図示の装着状態においてはエアタンクの開口部27aと装着材の貫通孔44aとが気密的に連通するように介設してある。48は装着材44の着脱により除湿器46の運転をオンオフする為の周知のマイクロスイッチを示す。50は、必要に応じてフィルター28に代えて装着した調湿用のファンを示し、エアタンク内に空気送り込み、又は吸い出しができる。
まず、図2に示されるエアタンク27を通気管31から外す。次にエアタンク27に対して装着材44を図6に示されるように装着用磁石49の磁力を利用して装着する。
装着と同時にマイクロスイッチ48がオン状態となり、除湿器46が自動的に運転を開始する。
除湿器46の作動により、センサー34の周辺部が除湿される。また必要に応じて調湿用のファンを作動させ、エアタンク内の風を流通させる。
以上のように、センサー34周辺部が除湿され、センサ内部の結露を防止することができる。
Claims (2)
- 表面に物品を装着する設置域を備え、かつ上記設置域内において、設置される物品の空孔に連通している第1開口部に通じさせる為の通気孔を備えるワークステージと、
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第1通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第1通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第1通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第2通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第2通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第2通気管に配設してある第2バルブと、
物品の空孔に連通している第2開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第2開口部に空気を通すための第3通気管と、その第3通気管に配設してある第3バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第2開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを用いて、
空孔を有する物品の空孔内における欠陥を検出する空孔検査方法であって、
上記空孔検査方法は、ワークステージの通気孔に物品の第1開口部が合う状態で物品を装着する工程と、
貫通検査の工程においては、上記パッキンで第2開口部を塞ぎ、上記異物等検査系統における第2通気管に配設してある第2バルブを閉じ、上記貫通検査系統における圧縮空気供給手段から空孔内部に向けて圧縮空気を送り込み、上記送り込んだ空気が空孔内から漏れ出さないように上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブを閉め、所定時間内における物品空孔内の減圧状態に基づいて貫通の有無を判定する貫通検査の工程と、
異物等検査の工程においては、上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブを閉め、上記第2開口部に通じる第3通気管の第3バルブを開き、
上記異物等検査系統における真空手段で空孔内の空気を引き出し、引き出されることによって第2開口部から空孔内に導入される風の状態を上記センサーで計測し、計測された風の状態に基づいて上記空孔の異物等の有無を判定する異物等検査の工程とを含み、
上記貫通検査の工程又は異物等検査の工程のいずれか一方の工程を行った後、物品をワークステージにセットした状態で、残る他方の工程を行うことを特徴とする物品の空孔の検査方法。
- 表面に物品を装着する設置域を備え、かつ上記設置域内において、設置される物品の空孔に連通している第1開口部に通じさせる為の通気孔を備えるワークステージと、
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第1通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第1通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第1通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第1通気管に配設してある第1バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第2通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第2通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第2通気管に配設してある第2バルブと、
物品の空孔に連通している第2開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第2開口部に空気を通すための第3通気管と、その第3通気管に配設してある第3バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第2開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを備え、
上記ワークステージの通気孔に連通させる貫通検査系統と異物等検査系統とを選択的に切り換えて、空孔を有する物品をワークステージにセットした状態で、その空孔内部における貫通と異物等の両欠陥の検査ができるようにしたことを特徴とする物品の空孔の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006003040A JP4784310B2 (ja) | 2006-01-10 | 2006-01-10 | 物品の空孔の検査方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006003040A JP4784310B2 (ja) | 2006-01-10 | 2006-01-10 | 物品の空孔の検査方法および検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007183226A JP2007183226A (ja) | 2007-07-19 |
JP4784310B2 true JP4784310B2 (ja) | 2011-10-05 |
Family
ID=38339445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006003040A Expired - Fee Related JP4784310B2 (ja) | 2006-01-10 | 2006-01-10 | 物品の空孔の検査方法および検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4784310B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5386154B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2014-01-15 | トヨタ自動車株式会社 | 鋳造品の中空部閉塞検査装置及び検査方法 |
JP5279859B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2013-09-04 | ジヤトコ株式会社 | バリ評価装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05272950A (ja) * | 1992-03-27 | 1993-10-22 | Toyoda Mach Works Ltd | 成形品内流路の検査装置 |
JPH1123405A (ja) * | 1997-07-07 | 1999-01-29 | Mitsubishi Motors Corp | エンジンのリークテスト方法 |
JP3406872B2 (ja) * | 1999-10-15 | 2003-05-19 | 菱栄エンジニアリング株式会社 | 鋳造成形品の成形不良孔検査方法およびその装置 |
JP3579317B2 (ja) * | 2000-01-13 | 2004-10-20 | ダイハツ工業株式会社 | 流体通路付きワークの検査方法とその装置 |
-
2006
- 2006-01-10 JP JP2006003040A patent/JP4784310B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007183226A (ja) | 2007-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6031074B2 (ja) | 超音波探傷装置および超音波探傷方法 | |
JP2008532031A (ja) | 安全弁のテスト | |
MX2015001736A (es) | Aparato para la deteccion de filtraciones en dispositivos de control de fluidos. | |
JP4784310B2 (ja) | 物品の空孔の検査方法および検査装置 | |
CA2663260A1 (en) | Method and device for measuring liquid absorption | |
JP2019200201A (ja) | トレーサガスによる被検査物の密封性を検査する漏洩検知モジュールおよび方法 | |
KR100897410B1 (ko) | 오일펌프 스틸 링에 부착되는 시일 링 검사장치 | |
US6532800B1 (en) | Aircraft pressurization test apparatus and method of using same | |
US20220003627A1 (en) | Leak detector | |
JP2011504831A (ja) | 航空機キャビン構造を与圧し、かつ航空機キャビン構造の漏れ量を測定するための装置および方法 | |
JP5108852B2 (ja) | 真空ポンプの検査方法および真空圧測定装置 | |
JP3414155B2 (ja) | リークテスタおよびリークテスト方法 | |
US20180103830A1 (en) | Method for processing an endoscope | |
JP2002303560A (ja) | 気密性能試験方法 | |
JP2005037268A (ja) | 流量検査装置 | |
EP1888184B1 (en) | Device for the testing and the periodical inspection of pipes and fire-prevention equipments connected to water supplies | |
US10656038B2 (en) | Apparatus, system, and method for use in fluid filling apparatus inspection | |
JP2015148257A (ja) | 監視装置および監視方法 | |
CN110985896A (zh) | 一种多通道管路智能查漏系统 | |
JP2016057202A (ja) | ヘリウムリークディテクタ | |
JPS6218851B2 (ja) | ||
JP3472853B2 (ja) | 遮水シートの検査装置、及びその検査方法。 | |
JP4435636B2 (ja) | 圧力調整器異常検出装置および圧力調整器異常検出方法 | |
US20220250089A1 (en) | Sparger Status Sensor System | |
EP0359570A2 (en) | Leak detecting apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110519 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110614 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |