JP4783599B2 - Indentation tester and displacement measurement method - Google Patents

Indentation tester and displacement measurement method Download PDF

Info

Publication number
JP4783599B2
JP4783599B2 JP2005233132A JP2005233132A JP4783599B2 JP 4783599 B2 JP4783599 B2 JP 4783599B2 JP 2005233132 A JP2005233132 A JP 2005233132A JP 2005233132 A JP2005233132 A JP 2005233132A JP 4783599 B2 JP4783599 B2 JP 4783599B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacement
indenter
load
shaft
indenter shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005233132A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007047068A (en
Inventor
健司 澤
英二 古田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2005233132A priority Critical patent/JP4783599B2/en
Publication of JP2007047068A publication Critical patent/JP2007047068A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4783599B2 publication Critical patent/JP4783599B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Description

本発明は、押込み試験を行う押込み試験機、及び押込み試験機を用いて押込み試験を行う際の圧子の変位量を測定する変位測定方法に関する。 The present invention, the indentation tester for performing indentation test, about displacement measuring method for measuring the displacement amount of the indenter when performing indentation test using 及 beauty indentation tester.

従来から、試料の表面に圧子により荷重を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみに基づいて試料の硬さ等の所定の材料特性を評価する押込み試験機が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。   2. Description of the Related Art Conventionally, an indentation testing machine is known that applies a load to a surface of a sample by an indenter to form a dent and evaluates a predetermined material property such as hardness of the sample based on the dent (for example, Patent Documents). 1 and Patent Document 2).

ところで、押込み試験にあっては、加重の負荷、除荷過程における圧子の進入量（変位量）を計測する際に、押込み試験機の機体をはじめ試料載置台や圧子軸等の装置系全体としての剛性の影響が試験結果に反映されることとなる。特に、試験機の剛性は、押込み試験に関する規格（ＩＳＯ１４５７７）に規定されているナノレンジの試験においてはほとんど影響がないが、マクロレンジの試験においては試験結果に大きく影響してしまうといった問題がある。
そこで、例えば、図６に示すように、試料載置台２に載置された試料Ｓに荷重負荷機構部４により押込まれる圧子１の変位量を計測するために、圧子１が取り付けられた圧子軸３０３の上方に設けられて圧子１の変位を測定するための第一の変位計５１と、試料載置台２に載置され、圧子１の変位の基準となる変位基準部材６との距離を測定するための第二の変位計５２とを備え、試料Ｓの表面からの相対変位を計測することにより機体や試料載置台２の変形の影響を受け難くい構成とした押込み試験機３００が開発されている。
特開２００３−１６１６８４号公報 特開２０００−２９２３３２号公報 By the way, in the indentation test, when measuring the indentation amount (displacement amount) of the indenter during the loading and unloading processes, the entire system of equipment such as the indentation tester body, sample mounting table, indenter shaft, etc. The effect of stiffness will be reflected in the test results. In particular, the rigidity of the testing machine has almost no effect in the nano-range test defined in the standard for indentation test (ISO14577), but the macro-range test has a problem of greatly affecting the test result.
Therefore, for example, as shown in FIG. 6, an indenter to which the indenter 1 is attached in order to measure the displacement amount of the indenter 1 pushed into the sample S placed on the sample placing table 2 by the load load mechanism unit 4. A distance between a first displacement meter 51 provided above the shaft 303 for measuring the displacement of the indenter 1 and a displacement reference member 6 mounted on the sample mounting table 2 and serving as a reference for the displacement of the indenter 1 is determined. Developed indentation tester 300 having a second displacement meter 52 for measurement and configured to be less affected by deformation of the body and sample mounting table 2 by measuring relative displacement from the surface of sample S Has been.
JP 2003-161684 A JP 2000-292332 A

しかしながら、上記構成の押込み試験機３００であっても、圧子軸３０３の変形の影響を受け難くすることは困難である。つまり、図６における圧子１の先端から圧子軸３０３の上端面となる変位量測定基準部３３２までのＬ１部分の変形は避けられず、当該押込み試験の試験結果に影響してしまうこととなる。また、高温にて試験する場合には、圧子軸３０３の熱膨張が試験結果に影響を与えてしまうこととなる。そこで、押込み試験機３００の電源投入後に予め高温で所定時間待機するようになっているが、圧子１が高温の試料に接触していない待機状態と測定時に接触した状態とでは、圧子軸３０３の膨張の程度が異なることから、待機時間を長くしても安定した試験結果を得ることが困難となる。   However, even the indentation tester 300 having the above-described configuration is difficult to be hardly affected by the deformation of the indenter shaft 303. That is, the deformation of the L1 portion from the tip of the indenter 1 in FIG. 6 to the displacement amount measurement reference portion 332 that becomes the upper end surface of the indenter shaft 303 is unavoidable, and the test result of the indentation test is affected. In addition, when testing at a high temperature, the thermal expansion of the indenter shaft 303 affects the test result. Thus, although the indentation tester 300 waits for a predetermined time at a high temperature in advance after the power is turned on, the indenter shaft 303 is in a standby state where the indenter 1 is not in contact with the high-temperature sample and in a state where it is in contact with the measurement. Since the degree of expansion is different, it is difficult to obtain a stable test result even if the standby time is extended.

そこで、できる限り圧子１の先端に近い部分からの変位を測定することが好ましいが、ダイヤモンド圧子１の加工は、金属ホルダーにダイヤモンド片を埋め込んだ（取り付けた）後に研磨するようになっていることから、圧子軸３０３の短小化に限界がある。また、圧子軸３０３の長さや太さを著しく変更すると、圧子軸３０３の交換等における当該圧子軸３０３の負荷除荷機構部４による着脱性等の取扱性が低下してしまうといった問題もある。
なお、上記特許文献２等のように、圧子に貫通孔を設け、この貫通孔に挿通させて圧子の変位量を計測するための接触子を設ける構成とした場合には、加工コストが上昇してしまうといった問題もある。 Therefore, it is preferable to measure the displacement from the portion close to the tip of the indenter 1 as much as possible. However, the diamond indenter 1 is processed after the diamond piece is embedded (attached) in the metal holder and then polished. Therefore, there is a limit to shortening the indenter shaft 303. Moreover, if the length and thickness of the indenter shaft 303 are remarkably changed, there is a problem that handleability such as detachability by the load unloading mechanism portion 4 of the indenter shaft 303 in replacement of the indenter shaft 303 is lowered.
If the indenter is provided with a through hole and a contact is provided for measuring the displacement amount of the indenter by passing through the through hole as in the above-mentioned Patent Document 2, the machining cost increases. There is also a problem such as.

そこで、本発明の課題は、圧子軸の取扱性を低下させることなく、押込み試験における
圧子軸の変形量を低減することができる押込み試験機、及び変位測定方法を提供することである。 An object of the present invention, without reducing the handling of the indenter shaft, indentation tester capable of reducing the amount of deformation of the indenter shaft in indentation test is to provide 及 beauty displacement measuring method.

請求項１に記載の発明は、
試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位量測定手段と、を備える押込み試験機であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部と反対側の他端部から所定の深さ窪んで形成された凹部が設けられ、前記凹部の底面には、前記変位量測定手段による前記変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられていることを特徴としている。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の押込み試験機において、
前記変位量測定手段は、
前記変位量測定基準部の上面との距離に応じた変位信号を出力する第一の変位計と、
前記圧子軸の変位の基準となる変位基準部材の上面との距離に応じた変位信号を出力する第二の変位計と、
前記第一の変位計及び第二の変位計の各々から出力される変位信号に基づいて、前記第一の変位計の下端と前記変位量測定基準部の上面との距離から前記第二の変位計の下端と前記変位基準部材の上面との距離を減算して前記圧子の変位量を算出する計測制御部と、
を備えることを特徴としている。 The invention described in claim 1
An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a dent, is attached to one end, a load holding mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft, and the load A displacement amount measuring means for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by a load mechanism unit; ,
The indenter shaft is provided with a recess formed by recessing a predetermined depth from the other end opposite to the one end to which the indenter is attached, and the bottom surface of the recess is provided with the displacement amount measuring means. A displacement amount measurement reference portion serving as a reference for measuring the displacement amount is provided.
The invention according to claim 2 is the indentation tester according to claim 1,
The displacement measuring means is
A first displacement meter that outputs a displacement signal according to a distance from the upper surface of the displacement measurement reference unit;
A second displacement meter that outputs a displacement signal according to the distance from the upper surface of a displacement reference member that serves as a reference for displacement of the indenter shaft;
Based on the displacement signal output from each of the first displacement meter and the second displacement meter, the second displacement is determined from the distance between the lower end of the first displacement meter and the upper surface of the displacement measurement reference unit. A measurement control unit that calculates a displacement amount of the indenter by subtracting a distance between a lower end of a meter and an upper surface of the displacement reference member;
It is characterized by having.

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の押込み試験機において、
前記変位量測定基準部は、前記凹部の前記底面から所定の深さ窪んで形成されてなることを特徴としている。 The invention according to claim 3 is the indentation testing machine according to claim 1 or 2 ,
The displacement amount measurement reference portion is formed to be recessed from the bottom surface of the recess by a predetermined depth.

請求項４に記載の発明は、
試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位量測定手段と、を備える押込み試験機であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部から反対側の他端部に亘って貫通された貫通孔部が設けられ、
前記圧子には、前記貫通孔部を介して前記他端部側に露出されるように、前記変位量測定手段による前記変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられていることを特徴としている。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の押込み試験機において、
前記変位量測定手段は、
前記変位量測定基準部の上面との距離に応じた変位信号を出力する第一の変位計と、
前記圧子軸の変位の基準となる変位基準部材の上面との距離に応じた変位信号を出力する第二の変位計と、
前記第一の変位計及び第二の変位計の各々から出力される変位信号に基づいて、前記第一の変位計の下端と前記変位量測定基準部の上面との距離から前記第二の変位計の下端と前記変位基準部材の上面との距離を減算して前記圧子の変位量を算出する計測制御部と、
を備えることを特徴としている。 The invention according to claim 4
An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a dent, is attached to one end, a load holding mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft, and the load A displacement amount measuring means for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by a load mechanism unit; ,
The indenter shaft is provided with a through-hole portion penetrating from the one end portion to which the indenter is attached to the other end portion on the opposite side,
The indenter is provided with a displacement amount measurement reference portion serving as a reference for measuring the displacement amount by the displacement amount measuring means so as to be exposed to the other end portion side through the through hole portion. It is characterized by.
The invention according to claim 5 is the indentation tester according to claim 4,
The displacement measuring means is
A first displacement meter that outputs a displacement signal according to a distance from the upper surface of the displacement measurement reference unit;
A second displacement meter that outputs a displacement signal according to the distance from the upper surface of a displacement reference member that serves as a reference for displacement of the indenter shaft;
Based on the displacement signal output from each of the first displacement meter and the second displacement meter, the second displacement is determined from the distance between the lower end of the first displacement meter and the upper surface of the displacement measurement reference unit. A measurement control unit that calculates a displacement amount of the indenter by subtracting a distance between a lower end of a meter and an upper surface of the displacement reference member;
It is characterized by having.

請求項６に記載の発明は、請求項２又は５に記載の押込み試験機において、
前記第一の変位計は、前記変位量測定基準部に対し離間して設けられていることを特徴としている。 The invention according to claim 6 is the indentation tester according to claim 2 or 5 ,
The first displacement meter is provided so as to be separated from the displacement amount measurement reference portion.

請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載の押込み試験機において、
前記試料を加熱する加熱手段を備えることを特徴としている。 The invention according to claim 7 is the indentation testing machine according to any one of claims 1 to 6 ,
A heating means for heating the sample is provided.

請求項８に記載の発明は、
試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、を備える押込み試験機を用いて、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位測定方法であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部と反対側の他端部から所定の深さ窪んで形成された凹部が設けられ、
前記凹部の底面に設けられた変位量測定基準部を基準として、前記変位量の測定を行うことを特徴としている。 The invention according to claim 8 provides:
An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a depression and has an indenter shaft attached to one end, and a load-loading mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft. A displacement measurement method for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by the load load mechanism using an indentation tester. And
The indenter shaft is provided with a recess formed by recessing a predetermined depth from the other end opposite to the one end to which the indenter is attached,
The displacement amount is measured based on a displacement amount measurement reference portion provided on the bottom surface of the recess.

請求項９に記載の発明は、
試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、を備える押込み試験機を用いて、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位測定方法であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部から反対側の他端部に亘って貫通された貫通孔部が設けられ、
前記貫通孔部を介して前記他端部側に露出されるように前記圧子に設けられた変位量測定基準部を基準として、前記変位量の測定を行うことを特徴としている。 The invention according to claim 9 is:
An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a depression and has an indenter shaft attached to one end, and a load-loading mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft. A displacement measurement method for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by the load load mechanism using an indentation tester. And
The indenter shaft is provided with a through-hole portion penetrating from the one end portion to which the indenter is attached to the other end portion on the opposite side,
The displacement amount is measured with reference to a displacement amount measurement reference portion provided on the indenter so as to be exposed to the other end portion side through the through-hole portion.

請求項１に記載の発明によれば、押込み試験機に備わり、荷重負荷機構部により荷重が負荷されることで試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸には、圧子が取り付けられた一端部と反対側の他端部から所定の深さ窪んで形成された凹部が設けられ、この凹部の底面には、押込み試験機に備わる変位量測定手段による変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられているので、圧子軸の圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べて短くすることができることとなって、マクロレンジの押込み試験であっても圧子軸の変形量を低減することができる。
また、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を圧子軸に凹部を形成することにより短くしているので、圧子軸の寸法を変更することなく、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を短くすることができることとなり、押込み試験機に着脱自在に保持される圧子軸の取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。 According to the first aspect of the present invention, an indenter shaft is provided in the indentation tester, and an indenter that is pushed into the surface of the sample to form a depression when a load is applied by the load loading mechanism is attached to one end. Is provided with a recess formed by recessing a predetermined depth from the other end opposite to the one end to which the indenter is attached, and the bottom surface of the recess is displaced by the displacement measuring means provided in the indentation tester. Since the displacement measurement reference portion is provided as a reference for measuring the amount, the distance from the tip of the indenter of the indenter shaft to the displacement measurement reference portion can be made shorter than that of the conventional indenter shaft. Thus, even in a macro range indentation test, the amount of deformation of the indenter shaft can be reduced.
In addition, since the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion is shortened by forming a recess in the indenter shaft, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion can be changed without changing the dimensions of the indenter shaft. Therefore, the handling performance of the indenter shaft that is detachably held in the indentation tester is not lowered as compared with the conventional one.

請求項３に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、変位量測定基準部は、凹部の底面から所定の深さ窪んで形成されているので、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べてより短くすることができることとなって、押込み試験における圧子軸の変形量の低減をより適正に図ることができる。 According to the invention described in claim 3 , it is of course possible to obtain the same effect as that of the invention described in claim 1. In particular, the displacement measurement reference part is recessed from the bottom surface of the recess by a predetermined depth. Because it is formed, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference part can be made shorter than that of the conventional indenter shaft, and the amount of deformation of the indenter shaft in the indentation test can be reduced more appropriately. Can be aimed at.

請求項４に記載の発明によれば、押込み試験機に備わり、荷重負荷機構部により荷重が負荷されることで試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸には、圧子が取り付けられた一端部から反対側の他端部に亘って貫通された貫通孔部が設けられ、圧子には、貫通孔部を介して他端部側に露出されるように、押込み試験機に備わる変位量測定手段による変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられているので、圧子軸の圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べて短くすることができることとなって、マクロレンジの押込み試験であっても圧子軸の変形量を低減することができる。
また、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を圧子軸に貫通孔部を形成し、当該圧子に変位量測定基準部を設けることにより短くしているので、圧子軸の寸法を変更することなく、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を短くすることができることとなり、押込み試験機に着脱自在に保持される圧子軸の取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。 According to the invention described in claim 4 , the indenter shaft is provided with an indenter which is provided in the indentation tester, and which is indented into the indentation by being pushed into the surface of the sample when a load is applied by the load loading mechanism. Is provided with a through hole extending from one end where the indenter is attached to the other end on the opposite side, and the indenter is exposed to the other end via the through hole. Since the displacement amount measurement reference section is provided as a reference for measuring the displacement amount by the displacement amount measuring means provided in the indentation tester, the distance from the tip of the indenter on the indenter shaft to the displacement amount measurement reference portion is determined by the conventional indenter. Since it can be made shorter than that of the shaft, the amount of deformation of the indenter shaft can be reduced even in a macro range indentation test.
Also, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion is shortened by forming a through-hole portion in the indenter shaft and providing the displacement measurement reference portion in the indenter, so the dimensions of the indenter shaft are changed. Therefore, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion can be shortened, and the handling of the indenter shaft that is detachably held in the indentation tester is not reduced compared to the conventional one. .

請求項６に記載の発明によれば、請求項２又は５に記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、変位量測定手段には、変位量測定基準部に対し離間して圧子の変位量を測定するための変位計が備えられているので、押込み試験にて、変位量測定基準部に接触する構成の変位計に比べて圧子軸の変形の影響を受け難くなって、押込み試験をより適正に行うことができる。 According to the invention described in claim 6, it is of course possible to obtain the same effect as that of the invention described in claim 2 or 5. In particular, the displacement measuring means is separated from the displacement measuring reference part. Since the displacement gauge for measuring the displacement of the indenter is provided, the indentation test is less susceptible to the deformation of the indenter shaft than the displacement gauge configured to contact the displacement measurement reference section. Thus, the indentation test can be performed more appropriately.

請求項７に記載の発明によれば、請求項１〜６に記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、試料を加熱する加熱手段を備えているので、加熱手段により試料を加熱して押込み試験を行った場合に、圧子軸の熱膨張の影響を小さくすることができることとなって、押込み試験をより適正に行うことができる。 According to the seventh aspect of the present invention, it is natural that the same effect as the first to sixth aspects of the invention can be obtained. In particular, since the heating means for heating the sample is provided, the heating means When the indentation test is performed by heating the sample, the influence of the thermal expansion of the indenter shaft can be reduced, and the indentation test can be performed more appropriately.

また、押込み試験機に備わり、荷重負荷機構部により荷重が負荷されることで試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられ、また、圧子が取り付けられた一端部と反対側の他端部から所定の深さ窪んで形成された凹部が設けられ、この凹部の底面には、押込み試験機による変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられているので、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べて短くすることができることとなって、マクロレンジの押込み試験であっても変形量を低減することができる。
また、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を凹部を形成することにより短くしているので、当該圧子軸の寸法を変更することなく、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を短くすることができることとなり、押込み試験機に着脱自在に設けられる当該圧子軸の取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。 The indenter is equipped with an indenter that is pushed into the surface of the sample to form a recess when a load is applied by the load loading mechanism, and is opposite to the one end where the indenter is attached. Since a recess formed by a predetermined depth from the other end on the side is provided, and a displacement amount measurement reference portion serving as a reference for measuring the displacement amount by the indentation tester is provided on the bottom surface of the recess. Thus, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion can be made shorter than that of the conventional indenter shaft, and the amount of deformation can be reduced even in a macro range indentation test.
In addition, since the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion is shortened by forming a recess, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion without changing the dimensions of the indenter shaft Therefore, the handleability of the indenter shaft detachably provided in the indentation tester is not lowered as compared with the conventional one.

また、特に、変位量測定基準部は、凹部の底面から所定の深さ窪んで形成されているので、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べてより短くすることができることとなって、押込み試験における圧子軸の変形量の低減をより適正に図ることができる。 In particular, since the displacement measurement reference part is formed with a predetermined depth from the bottom surface of the recess, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference part is shorter than that of the conventional indenter shaft. Therefore, the amount of deformation of the indenter shaft in the indentation test can be reduced more appropriately.

また、押込み試験機に備わり、荷重負荷機構部により荷重が負荷されることで試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられ、また、圧子が取り付けられた一端部から反対側の他端部に亘って貫通された貫通孔部が設けられ、圧子には、貫通孔部を介して他端部側に露出されるように、押込み試験機による変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられているので、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べて短くすることができることとなって、マクロレンジの押込み試験であっても変形量を低減することができる。
また、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を貫通孔部を形成し、当該圧子に変位量測定基準部を設けることにより短くしているので、当該圧子軸の寸法を変更することなく、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を短くすることができることとなり、押込み試験機に着脱自在に設けられる当該圧子軸の取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。 The indenter is equipped with an indenter that is pushed into the surface of the sample to form a depression when a load is applied by the load-loading mechanism, and is opposite from the end where the indenter is attached. The indenter is provided with a through-hole portion penetrating over the other end portion on the side, and the indenter is exposed to the other end portion side through the through-hole portion. Therefore, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference part can be made shorter than that of the conventional indenter shaft, which is a macro range indentation test. However, the amount of deformation can be reduced.
In addition, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion is shortened by forming a through-hole portion and providing the displacement measurement reference portion on the indenter, so that the dimensions of the indenter shaft are not changed. Therefore, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion can be shortened, and the handling performance of the indenter shaft detachably provided in the indentation tester is not lowered as compared with the conventional one.

請求項８に記載の発明によれば、押込み試験機を用いて、荷重負荷機構部により圧子軸に荷重が負荷されることで圧子により試料にくぼみが形成される際の圧子の変位量を測定する方法であり、圧子軸には、圧子が取り付けられた一端部と反対側の他端部から所定の深さ窪んで形成された凹部が設けられ、凹部の底面に設けられた変位量測定基準部を基準として、変位量の測定を行うので、圧子軸の圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べて短くすることができることとなって、マクロレンジの押込み試験であっても圧子軸の変形量を低減することができる。
また、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を圧子軸に凹部を形成することにより短くしているので、圧子軸の寸法を変更することなく、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を短くすることができることとなり、押込み試験機に着脱自在に保持される圧子軸の取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。 According to the invention described in claim 8 , the displacement of the indenter when the indentation is formed in the sample by the indenter when the load is applied to the indenter shaft by the load loading mechanism using the indentation tester is measured. The indenter shaft is provided with a recess formed by recessing a predetermined depth from the other end opposite to the one end where the indenter is attached, and a displacement amount measurement standard provided on the bottom surface of the recess Since the displacement is measured with reference to the section, the distance from the tip of the indenter on the indenter shaft to the displacement measurement reference section can be made shorter than that of the conventional indenter shaft, so Even in the test, the amount of deformation of the indenter shaft can be reduced.
In addition, since the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion is shortened by forming a recess in the indenter shaft, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion can be changed without changing the dimensions of the indenter shaft. Therefore, the handling performance of the indenter shaft that is detachably held in the indentation tester is not lowered as compared with the conventional one.

請求項９に記載の発明によれば、押込み試験機を用いて、荷重負荷機構部により圧子軸に荷重が負荷されることで圧子により試料にくぼみが形成される際の圧子の変位量を測定する方法であり、圧子軸には、圧子が取り付けられた一端部から反対側の他端部に亘って貫通された貫通孔部が設けられ、貫通孔部を介して他端部側に露出されるように圧子に設けられた変位量測定基準部を基準として、変位量の測定を行うので、圧子軸の圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を従来の圧子軸のそれに比べて短くすることができることとなって、マクロレンジの押込み試験であっても圧子軸の変形量を低減することができる。
また、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を圧子軸に貫通孔部を形成し、当該圧子に変位量測定基準部を設けることにより短くしているので、圧子軸の寸法を変更することなく、圧子の先端から変位量測定基準部までの距離を短くすることができることとなり、押込み試験機に着脱自在に保持される圧子軸の取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。 According to the ninth aspect of the present invention, the amount of displacement of the indenter when the indentation is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by the load load mechanism using the indentation tester is measured. The indenter shaft is provided with a through-hole portion penetrating from one end portion where the indenter is attached to the other end portion on the opposite side, and is exposed to the other end portion side through the through-hole portion. Thus, the displacement is measured with reference to the displacement measurement reference part provided on the indenter, so the distance from the tip of the indenter on the indenter shaft to the displacement measurement reference part is shorter than that of the conventional indenter shaft. As a result, the deformation amount of the indenter shaft can be reduced even in the indentation test of the macro range.
Also, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion is shortened by forming a through-hole portion in the indenter shaft and providing the displacement measurement reference portion in the indenter, so the dimensions of the indenter shaft are changed. Therefore, the distance from the tip of the indenter to the displacement measurement reference portion can be shortened, and the handling of the indenter shaft that is detachably held in the indentation tester is not reduced compared to the conventional one. .

以下に、本発明について、図面を用いて具体的な態様を説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。
ここで、図１は、本発明を適用した一実施形態として例示する押込み試験機１００を模式的に示した図であり、図２は、押込み試験機１００の要部構成を示すブロック図である。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the scope of the invention is not limited to the illustrated examples.
Here, FIG. 1 is a diagram schematically showing an indentation tester 100 exemplified as an embodiment to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a block diagram showing a main configuration of the indentation tester 100. .

本実施形態の押込み試験機１００は、試料Ｓの表面に圧子１により荷重を負荷してくぼみを形成し、当該くぼみに基づいて試料Ｓの所定の材料特性を評価するものである。具体的には、押込み試験機１００は、図１及び図２に示すように、試料Ｓを載置する試料載置台２と、試料Ｓにくぼみを形成する圧子１が先端部に取り付けられた圧子軸３と、圧子軸３にその軸方向に所定の試験力を負荷する荷重負荷機構部４と、圧子１のくぼみ形成時における押込深さを測定する第一の変位計５１及び第二の変位計５２と、試料載置台２上に載置され、圧子軸３の変位の基準となる変位基準部材６と、試料載置台２を加熱するためのヒータ（加熱手段）７と、試料載置台２の温度制御を行う温度制御部８と、試料Ｓの近傍の温度を検出する温度センサ９と、各部を制御して、試料Ｓの硬さを算出する計測制御部１０と、各種設定を行うとともに各種データを表示するための操作表示部１１等を備えている。   The indentation tester 100 of this embodiment forms a dent by applying a load to the surface of the sample S with the indenter 1 and evaluates a predetermined material property of the sample S based on the dent. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the indentation testing machine 100 includes a sample mounting table 2 on which the sample S is mounted and an indenter in which an indenter 1 that forms a recess in the sample S is attached to the tip. The shaft 3, the load loading mechanism 4 for applying a predetermined test force to the indenter shaft 3 in the axial direction, the first displacement meter 51 for measuring the indentation depth when the indenter 1 is formed, and the second displacement A total reference 52, a displacement reference member 6 mounted on the sample mounting table 2 and serving as a reference for displacement of the indenter shaft 3, a heater (heating means) 7 for heating the sample mounting table 2, and the sample mounting table 2 A temperature control unit 8 that controls the temperature of the sample S, a temperature sensor 9 that detects a temperature in the vicinity of the sample S, a measurement control unit 10 that controls each unit to calculate the hardness of the sample S, and performs various settings. An operation display unit 11 for displaying various data is provided.

試料載置台２は、その載置面２ａに試料Ｓ及び変位基準部材６が載置され（図１参照）、また、ヒータ７及び温度センサ９等が備えられている（図示略）。
なお、試料載置台２は、例えば、熱膨張率の小さい窒化ホウ素からなるセラミックスにより構成されていても良い。 The sample mounting table 2 has a sample S and a displacement reference member 6 mounted on the mounting surface 2a (see FIG. 1), and is provided with a heater 7, a temperature sensor 9, and the like (not shown).
The sample mounting table 2 may be made of ceramics made of boron nitride having a low coefficient of thermal expansion, for example.

荷重負荷機構部４は、例えば、圧子軸３を着脱自在に把持する把持部４１、磁界内に配置される駆動コイル（図示略）、この駆動コイルに駆動電流を供給する電源（図示略）等を備え、ユーザによる操作表示部１１の操作部（図示略）の所定操作に基づいて所定の試験力が設定されると、計測制御部１０のＣＰＵ１３から出力されＤ／Ａ変換部１６及び増幅部１７を介して電源に入力された駆動指示信号に基づいて、電源から駆動コイルに駆動電流が供給されることで所定の試験力が発生するようになっている。そして、荷重負荷機構部４は、発生した試験力（荷重）を把持部４１により把持された圧子軸３に負荷するようになっている。   The load load mechanism 4 includes, for example, a gripper 41 that detachably grips the indenter shaft 3, a drive coil (not shown) disposed in the magnetic field, a power source (not shown) that supplies a drive current to the drive coil, and the like. When a predetermined test force is set based on a predetermined operation of the operation unit (not shown) of the operation display unit 11 by the user, the D / A conversion unit 16 and the amplification unit output from the CPU 13 of the measurement control unit 10 A predetermined test force is generated by supplying a drive current from the power supply to the drive coil based on a drive instruction signal input to the power supply via the power supply 17. The load load mechanism 4 loads the generated test force (load) onto the indenter shaft 3 gripped by the grip 41.

次に、圧子軸３について図３を参照して詳細に説明する。ここで、図３は、圧子軸３及び第一の変位計５１を模式的に示した断面図である。
圧子軸３は、例えば、図３に示すように、上下方向に長尺な軸本体部３１の下端部にダイヤモンド製の圧子１がロウ付けにより取り付けられている。即ち、圧子軸３の外形は、例えば、図６に示す従来の押込み試験機３００に備わる圧子軸３０３の外形と略等しくなっている。
軸本体部３１は、例えば、その上端部（圧子１が取り付けられた一端部と反対側の他端部）から刳りぬかれるようにして所定の深さ窪んで形成された凹部３１１が設けられている。凹部３１１の底面は、例えば、略平面状に形成されており、第一の変位計５１（変位量測定手段）による圧子１の変位量の測定の基準となる変位量測定基準部３２を構成している。
なお、圧子１の変位量の測定方法については後述する。 Next, the indenter shaft 3 will be described in detail with reference to FIG. Here, FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the indenter shaft 3 and the first displacement meter 51.
For example, as shown in FIG. 3, the indenter shaft 3 has a diamond indenter 1 attached to a lower end portion of a shaft body portion 31 that is long in the vertical direction by brazing. That is, the outer shape of the indenter shaft 3 is substantially equal to the outer shape of the indenter shaft 303 provided in the conventional indentation tester 300 shown in FIG.
The shaft body 31 is provided with, for example, a recess 311 that is recessed by a predetermined depth so as to be removed from the upper end (the other end opposite to the one end to which the indenter 1 is attached). Yes. The bottom surface of the recess 311 is formed, for example, in a substantially flat shape, and constitutes a displacement measurement reference unit 32 that serves as a reference for measuring the displacement of the indenter 1 by the first displacement meter 51 (displacement measurement means). ing.
A method for measuring the displacement amount of the indenter 1 will be described later.

このように、圧子軸３は、その外形が従来のものと略等しくなっている一方で、内部には、所定の深さの凹部３１１が形成されており、当該圧子軸３の圧子１の先端から変位量測定基準部３２となる凹部３１１の底面までの距離Ｌ０が従来の圧子軸３の圧子１の先端から圧子軸３の上端面までの距離Ｌ１に対して短くなっている。   As described above, the indenter shaft 3 has an outer shape substantially equal to that of the conventional one, while a recess 311 having a predetermined depth is formed inside, and the tip of the indenter 1 of the indenter shaft 3 is formed. The distance L0 from the tip of the indenter 1 of the conventional indenter shaft 3 to the upper end surface of the indenter shaft 3 is shorter than the distance L0 from the bottom to the bottom surface of the recess 311 serving as the displacement measurement reference portion 32.

第一の変位計５１及び第二の変位計５２は、例えば、押込み試験にて荷重負荷機構部４により所定の試験力が圧子軸３に負荷されたことに基づいて、圧子１により試料Ｓにくぼみが形成された際の、圧子１の試料Ｓに対する押込深さを測定するためのものである。
具体的には、第一の変位計５１及び第二の変位計５２の各々は、例えば、変位量測定基準部３２及び変位基準部材６の上面に対し離間して設けられた非接触方式のものであり、光反射型や静電容量型の変位計を適用することができる。そして、第一の変位計５１は、例えば、荷重負荷機構部４により圧子軸３に試験力が負荷されることに基づいて、当該第一の変位計５１の下端と変位量測定基準部３２の上面との距離Δｈ１に応じた変位信号を計測制御部１０に出力し、また、第二の変位計５２は、荷重負荷機構部４により圧子軸３に試験力が負荷される際に、当該第二の変位計５２の下端と変位基準部材６の上面との距離Δｈ２に応じた変位信号を計測制御部１０に出力するようになっている。
なお、押込試験における圧子１の試料Ｓに対する押込深さΔｈは、後述する計測制御部１０のＣＰＵ１３の制御下にて、第一の変位計５１の下端と変位量測定基準部３２の上面との距離Δｈ１と第二の変位計５２の下端と変位基準部材６の上面との距離Δｈ２との差に基づいて算出されるようになっている。 The first displacement meter 51 and the second displacement meter 52 are, for example, applied to the sample S by the indenter 1 based on the fact that a predetermined test force is loaded on the indenter shaft 3 by the load loading mechanism 4 in the indentation test. This is for measuring the indentation depth of the indenter 1 with respect to the sample S when the depression is formed.
Specifically, each of the first displacement meter 51 and the second displacement meter 52 is, for example, a non-contact type provided apart from the upper surfaces of the displacement amount measurement reference unit 32 and the displacement reference member 6. Therefore, a light reflection type or capacitance type displacement meter can be applied. And the 1st displacement meter 51 is based on the lower end of the said 1st displacement meter 51 and the displacement amount measurement reference | standard part 32 based on the test force being loaded to the indenter axis | shaft 3 by the load load mechanism part 4, for example. A displacement signal corresponding to the distance Δh1 from the upper surface is output to the measurement control unit 10, and the second displacement meter 52 is connected to the indenter shaft 3 when the test force is applied by the load loading mechanism unit 4. A displacement signal corresponding to the distance Δh 2 between the lower end of the second displacement meter 52 and the upper surface of the displacement reference member 6 is output to the measurement control unit 10.
The indentation depth Δh of the indenter 1 with respect to the sample S in the indentation test is controlled between the lower end of the first displacement meter 51 and the upper surface of the displacement amount measurement reference unit 32 under the control of the CPU 13 of the measurement control unit 10 described later. It is calculated based on the difference between the distance Δh1 and the distance Δh2 between the lower end of the second displacement meter 52 and the upper surface of the displacement reference member 6.

また、第一の変位計５１及び第二の変位計５２は、所定の接続部材５３により接続されており、押込み試験に際して機体や試料載置台２の変形の影響を受け難くなっている。   Further, the first displacement meter 51 and the second displacement meter 52 are connected by a predetermined connecting member 53 and are not easily affected by deformation of the machine body and the sample mounting table 2 in the indentation test.

計測制御部１０は、例えば、図２に示すように、荷重負荷機構部４並びに第一の変位計５１及び第二の変位計５２と接続されている。
また、計測制御部１０は、例えば、第一の変位計５１及び第二の変位計５２の各々から出力される変位信号を増幅する各増幅部１１ａ、１１ｂと、増幅された変位信号をＡ／Ｄ変換する各Ａ／Ｄ変換部１２ａ、１２ｂと、各種演算処理を行うＣＰＵ１３と、各種処理の作業領域と記憶領域とを備えるＲＡＭ１４と、形成されるくぼみの寸法算出や試料Ｓの硬さ算出等に係る各種プログラムやデータ等を格納するＲＯＭ１５と、ＣＰＵ１３から出力された荷重負荷機構部４の電源の駆動指示信号をＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換部１６と、Ｄ／Ａ変換された駆動指示信号を増幅する増幅部１７等から構成されている。 For example, as shown in FIG. 2, the measurement control unit 10 is connected to the load load mechanism unit 4, the first displacement meter 51, and the second displacement meter 52.
The measurement control unit 10 also includes, for example, the amplification units 11a and 11b that amplify the displacement signals output from the first displacement meter 51 and the second displacement meter 52, and the amplified displacement signals as A / A / D conversion units 12a and 12b that perform D conversion, a CPU 13 that performs various arithmetic processes, a RAM 14 that includes a work area and a storage area for various processes, a calculation of the size of a depression formed, and a hardness calculation of a sample S A ROM 15 for storing various programs and data related to the above, a D / A conversion unit 16 for D / A converting the drive instruction signal of the power source of the load load mechanism unit 4 output from the CPU 13, and D / A converted The amplifier 17 is configured to amplify the drive instruction signal.

計測制御部１０のＣＰＵ１３は、ＲＯＭ１５に格納されている各種プログラムの中から指定されたプログラムをＲＡＭ１４の作業領域に展開して、この指定プログラムに従った各種処理を実行するものである。
具体的には、ＣＰＵ１３は、変位量測定手段として、第一の変位計５１及び第二の変位計５２の各々から出力される変位信号に基づいて、第一の変位計５１の下端と変位量測定基準部３２の上面との距離Δｈ１から第二の変位計５２の下端と変位基準部材６の上面との距離Δｈ２を減算して圧子１の試料Ｓに対する押込深さΔｈ（くぼみの寸法）を算出するようになっている。
ここで、ＣＰＵ１３は、押込み試験においての圧子軸３の圧子１の先端から変位量測定基準部３２までの部分（距離Ｌ０に相当する部分）の変形を考慮して、予め当該変形に係る補正関数を算出しておき、当該補正関数を用いて押込深さΔｈの補正を行うようにしても良く、これにより、より信頼性の高い圧子１の変位測定を行うことができることとなる。
なお、補正関数の算出にあたっては、変位量測定基準部３２である凹部３１１の底面が略平面状に形成されているために、より信頼性の高い補正関数の想定を容易に行うことができるといった利点がある。 The CPU 13 of the measurement control unit 10 expands a program designated from various programs stored in the ROM 15 in the work area of the RAM 14 and executes various processes according to the designated program.
Specifically, the CPU 13 serves as the displacement amount measuring means based on the displacement signals output from the first displacement meter 51 and the second displacement meter 52, and the lower end of the first displacement meter 51 and the displacement amount. By subtracting the distance Δh2 between the lower end of the second displacement gauge 52 and the upper surface of the displacement reference member 6 from the distance Δh1 with the upper surface of the measurement reference portion 32, the indentation depth Δh (indentation dimension) of the indenter 1 with respect to the sample S is obtained. It comes to calculate.
Here, the CPU 13 takes into account the deformation of the portion (the portion corresponding to the distance L0) from the tip of the indenter 1 of the indenter shaft 3 to the displacement amount measurement reference portion 32 in the indentation test, and a correction function related to the deformation in advance. May be calculated, and the indentation depth Δh may be corrected using the correction function, whereby the displacement measurement of the indenter 1 with higher reliability can be performed.
In calculating the correction function, since the bottom surface of the recess 311 which is the displacement measurement reference portion 32 is formed in a substantially flat shape, it is possible to easily assume a more reliable correction function. There are advantages.

温度制御部８は、例えば、温度センサ９から出力される当該温度センサ９により検出された検出温度に対応する温度信号を増幅する増幅部８１と、増幅された温度信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換部８２と、各種演算処理を行うＣＰＵ８３と、各種処理の作業領域と記憶領域とを備えるＲＡＭ８４と、温度制御に係る各種プログラムやデータ等を格納するＲＯＭ８５と、ＣＰＵ８３から出力されたヒータ電源供給部７１（後述）の駆動指示信号をＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換部８６と、Ｄ／Ａ変換された駆動指示信号を増幅する増幅部８７等を備えて構成されている。
また、温度制御部８には、例えば、ヒータ電源供給部７１、温度センサ９等が電気的に接続されている。 The temperature control unit 8 includes, for example, an amplification unit 81 that amplifies a temperature signal that is output from the temperature sensor 9 and that is detected by the temperature sensor 9, and an A that performs A / D conversion on the amplified temperature signal. / D conversion unit 82, CPU 83 for performing various arithmetic processes, RAM 84 having work areas and storage areas for various processes, ROM 85 for storing various programs and data relating to temperature control, and heaters output from CPU 83 A D / A converter 86 that D / A converts a drive instruction signal of a power supply unit 71 (described later), an amplifier 87 that amplifies the D / A converted drive instruction signal, and the like are configured.
The temperature control unit 8 is electrically connected to, for example, a heater power supply unit 71, a temperature sensor 9, and the like.

温度制御部８のＣＰＵ８３は、ＲＯＭ８５に格納されている各種プログラムの中から指定されたプログラムをＲＡＭ８４の作業領域に展開して、この指定プログラムに従った各種処理を実行する。具体的には、ＣＰＵ８３は、例えば、温度センサ９により検出された温度に基づいて、ヒータ電源供給部７１を制御してヒータ７により試料載置台２の温度を調節するようになっている。   The CPU 83 of the temperature control unit 8 develops a designated program from various programs stored in the ROM 85 in the work area of the RAM 84, and executes various processes according to the designated program. Specifically, for example, the CPU 83 controls the heater power supply unit 71 based on the temperature detected by the temperature sensor 9 and adjusts the temperature of the sample mounting table 2 by the heater 7.

操作表示部１１は、例えば、キーボードやマウス等を備え、荷重負荷機構部４が出力する試験力やヒータ７の設定温度の設定、数値データや材料特性評価に関するコマンドの入力や選択等を行う操作部（図示略）と、計測された各種データを表示する表示部（図示略）を備えて構成されている。   The operation display unit 11 includes, for example, a keyboard, a mouse, and the like, and performs operations such as setting of test force output by the load load mechanism unit 4 and setting of the set temperature of the heater 7, input and selection of commands related to numerical data and material property evaluation, and the like. A unit (not shown) and a display unit (not shown) for displaying various measured data are provided.

次に、押込み試験機１００による材料特性評価としての硬さ試験方法について説明する。
硬さ試験方法は、先ず、押込み試験機１００の試料載置台２に所定の試料Ｓ及び変位基準部材６を載置した後、ユーザによる操作表示部１１の操作部の所定操作に基づいて試験温度の設定、試験実行の指示等が行われる。
すると、温度制御部８のＣＰＵ８３は、温度センサ９の検出温度に基づいて、ヒータ７を制御して、試料載置台２の温度を制御する。 Next, a hardness test method as material property evaluation by the indentation tester 100 will be described.
In the hardness test method, first, after placing the predetermined sample S and the displacement reference member 6 on the sample mounting table 2 of the indentation tester 100, the test temperature is determined based on the predetermined operation of the operation unit of the operation display unit 11 by the user. Are set, and instructions are given for test execution.
Then, the CPU 83 of the temperature controller 8 controls the heater 7 based on the temperature detected by the temperature sensor 9 to control the temperature of the sample mounting table 2.

そして、設定温度に温度制御された状態で、ユーザによる操作表示部１１の操作部の所定操作に基づいて試験実行の操作信号が入力されると、荷重負荷機構部４は、駆動コイルに所定の駆動電流を供給して駆動力を発生させ、当該駆動力により圧子軸３をその軸方向に押圧し、移動させることにより、試料Ｓの表面にくぼみを形成させる。
ここで、くぼみ形成の際の圧子１の変位量（押込深さΔｈ）は、圧子軸３の凹部３１１の底面の変位量測定基準部３２を基準として第一の変位計５１により計測される当該第一の変位計５１の下端と変位量測定基準部３２の上面との距離Δｈ１と、第二の変位計５２により計測される当該第二の変位計５２の下端と変位基準部材６の上面との距離Δｈ２に基づいて、計測制御部１０のＣＰＵ１３により算出される。
また、計測制御部１０のＣＰＵ１３は、算出された押込深さΔｈに基づいて試料Ｓの硬さを算出する。 When a test execution operation signal is input based on a predetermined operation of the operation unit of the operation display unit 11 by the user in a state where the temperature is controlled to the set temperature, the load load mechanism unit 4 applies a predetermined value to the drive coil. A dent is formed on the surface of the sample S by supplying a driving current to generate a driving force, pressing the indenter shaft 3 in the axial direction by the driving force, and moving the indenter shaft 3.
Here, the displacement amount (indentation depth Δh) of the indenter 1 at the time of forming the recess is measured by the first displacement meter 51 based on the displacement amount measurement reference portion 32 of the bottom surface of the recess 311 of the indenter shaft 3. The distance Δh1 between the lower end of the first displacement meter 51 and the upper surface of the displacement amount measurement reference unit 32, the lower end of the second displacement meter 52 measured by the second displacement meter 52, and the upper surface of the displacement reference member 6 Is calculated by the CPU 13 of the measurement control unit 10 based on the distance Δh2.
Further, the CPU 13 of the measurement control unit 10 calculates the hardness of the sample S based on the calculated indentation depth Δh.

以上のように、本実施形態の押込み試験機１００によれば、試料Ｓの表面に押込まれてくぼみを形成する圧子１が下端部に取り付けられた圧子軸３には、上端面から所定の深さ窪んで形成された凹部３１１が設けられ、この凹部３１１の底面には、第一の変位計５１による圧子１の変位量の測定の基準となる変位量測定基準部３２が設けられているので、圧子軸３の圧子１の先端から変位量測定基準部３２までの距離Ｌ０を従来の圧子軸のそれに比べて短くすることができることとなって、マクロレンジの押込み試験であっても圧子軸３の変形量を低減することができる。特に、ヒータ７により試料Ｓが高温に加熱された押込み試験において、圧子軸３の熱膨張の影響を小さくすることができることとなって、押込み試験をより適正に行うことができる。
また、圧子１の先端から変位量測定基準部３２までの距離Ｌ０を圧子軸３に凹部３１１を形成することにより短くしているので、圧子軸３の寸法を変更することなく、即ち、圧子軸３の外形を従来のものと略等しくした上で、圧子１の先端から変位量測定基準部３２までの距離を短くすることができることとなり、押込み試験機１００に着脱自在に保持される圧子軸３の交換等における取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。
このように、押込み試験機１００によれば、圧子軸３の交換等に際してその取扱性を低下させることなく、押込み試験の試験結果に影響する圧子軸３の変形量を低減することができる。 As described above, according to the indentation tester 100 of the present embodiment, the indenter shaft 3 attached to the lower end portion of the indenter 1 that is pushed into the surface of the sample S is attached to the predetermined depth from the upper end surface. A concave portion 311 formed in a concave shape is provided, and a displacement amount measurement reference portion 32 serving as a reference for measuring the displacement amount of the indenter 1 by the first displacement meter 51 is provided on the bottom surface of the concave portion 311. The distance L0 from the tip of the indenter 1 of the indenter shaft 3 to the displacement measurement reference portion 32 can be made shorter than that of the conventional indenter shaft, so that the indenter shaft 3 can be used even in a macro range indentation test. The amount of deformation can be reduced. In particular, in the indentation test in which the sample S is heated to a high temperature by the heater 7, the influence of thermal expansion of the indenter shaft 3 can be reduced, and the indentation test can be performed more appropriately.
Further, since the distance L0 from the tip of the indenter 1 to the displacement measurement reference portion 32 is shortened by forming the recess 311 in the indenter shaft 3, the size of the indenter shaft 3 is not changed. 3, the distance from the tip of the indenter 1 to the displacement measurement reference portion 32 can be shortened, and the indenter shaft 3 that is detachably held by the indentation tester 100. The handling in the replacement of the battery is not lowered compared to the conventional one.
As described above, according to the indentation tester 100, the amount of deformation of the indenter shaft 3 that affects the test result of the indentation test can be reduced without lowering the handleability when the indenter shaft 3 is replaced.

さらに、第一の変位計５１は、変位量測定基準部３２に対し離間して設けられているので、押込み試験にて、変位量測定基準部３２に接触する構成の変位計に比べて圧子軸３の変形の影響を受け難くなって、押込み試験をより適正に行うことができる。   Further, since the first displacement meter 51 is provided apart from the displacement amount measurement reference portion 32, the indenter shaft is compared with a displacement meter configured to contact the displacement amount measurement reference portion 32 in the indentation test. Therefore, the indentation test can be performed more appropriately.

＜圧子軸の変形例＞
上記実施形態では、圧子軸３として、凹部３１１の底面が変位量測定基準部３２とされたものを例示したが、圧子軸３の構成はこれに限られるものではない。
即ち、図４に示すように、変形例１の圧子軸１０３は、その凹部３１１の底面の略中央部分が所定の深さ座ぐられるように窪んで形成されており、当該くぼみ部分に変位量測定基準部１３２が設けられている。これによって、圧子１の先端から変位量測定基準部１３２までの距離Ｌ０を、上記実施形態のそれに比べてより短くすることができる。
このように、圧子１の先端から変位量測定基準部１３２までの距離Ｌ０を従来の圧子軸１０３のそれに比べてより短くすることができることとなって、押込み試験における圧子軸１０３の変形量の低減をより適正に図ることができる。 <Modification of indenter shaft>
In the above-described embodiment, the indenter shaft 3 has been exemplified in which the bottom surface of the recess 311 is the displacement measurement reference portion 32, but the configuration of the indenter shaft 3 is not limited to this.
That is, as shown in FIG. 4, the indenter shaft 103 of the first modification is formed to be depressed so that the substantially central portion of the bottom surface of the recess 311 is recessed to a predetermined depth. A measurement reference unit 132 is provided. As a result, the distance L0 from the tip of the indenter 1 to the displacement measurement reference portion 132 can be made shorter than that in the above embodiment.
Thus, the distance L0 from the tip of the indenter 1 to the displacement amount measurement reference portion 132 can be made shorter than that of the conventional indenter shaft 103, and the amount of deformation of the indenter shaft 103 in the indentation test is reduced. Can be achieved more appropriately.

また、図５に示すように、変形例２の圧子軸２０３の軸本体部２３１には、圧子１が取り付けられた下端から反対側となる上端に亘って貫通された貫通孔部３１２が設けられている。具体的には、貫通孔部３１２は、凹部３１１の底面の略中央部分を貫通するように形成されている。
また、貫通孔部３１２を介して上端側に露出される圧子１の上面は、略平面状に形成されており、この上面により変位量測定基準部１ａが構成されている。これによって、圧子１の先端から変位量測定基準部１ａまでの距離Ｌ０を、上記実施形態及び変形例１のそれに比べてより短くすることができる。
このように、圧子軸２０３の圧子１の先端から変位量測定基準部１ａまでの距離Ｌ０を従来の圧子軸のそれに比べてより短くすることができることとなって、押込み試験における圧子軸２０３の変形量を低減することができる。
また、圧子１の先端から変位量測定基準部１ａまでの距離Ｌ０を圧子軸２０３に貫通孔部３１２を形成し、当該圧子１に変位量測定基準部１ａを設けることにより短くしているので、圧子軸２０３の寸法を変更することなく、即ち、圧子軸２０３の外形を従来のものと略等しくした上で、圧子１の先端から変位量測定基準部１ａまでの距離Ｌ０を短くすることができることとなり、押込み試験機１００に着脱自在に保持される圧子軸２０３の交換等における取扱性を従来のものに比べて低下させることがなくなる。 As shown in FIG. 5, the shaft main body portion 231 of the indenter shaft 203 of Modification 2 is provided with a through-hole portion 312 penetrating from the lower end to which the indenter 1 is attached to the opposite upper end. ing. Specifically, the through hole portion 312 is formed so as to penetrate the substantially central portion of the bottom surface of the recess 311.
Further, the upper surface of the indenter 1 exposed to the upper end side through the through-hole portion 312 is formed in a substantially flat shape, and the displacement amount measurement reference portion 1a is configured by this upper surface. As a result, the distance L0 from the tip of the indenter 1 to the displacement measurement reference portion 1a can be made shorter than that in the above embodiment and the first modification.
In this way, the distance L0 from the tip of the indenter 1 of the indenter shaft 203 to the displacement measurement reference portion 1a can be made shorter than that of the conventional indenter shaft, so that the deformation of the indenter shaft 203 in the indentation test is achieved. The amount can be reduced.
Further, the distance L0 from the tip of the indenter 1 to the displacement measurement reference part 1a is shortened by forming the through hole part 312 in the indenter shaft 203 and providing the displacement measurement reference part 1a in the indenter 1. The distance L0 from the tip of the indenter 1 to the displacement measuring reference portion 1a can be shortened without changing the size of the indenter shaft 203, that is, while making the outer shape of the indenter shaft 203 substantially the same as the conventional one. Thus, the handleability in exchanging the indenter shaft 203 that is detachably held in the indentation tester 100 is not lowered compared to the conventional one.

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
例えば、上記実施形態の押込み試験にあっては、試料Ｓを加熱するようにしたが、試料Ｓを加熱するか否かは試験に応じて適宜変更しても良い。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various improvements and design changes may be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the indentation test of the above-described embodiment, the sample S is heated. However, whether or not the sample S is heated may be appropriately changed according to the test.

また、上記実施形態では、第一の変位計５１及び第二の変位計５２として、非接触方式の変位計を例示したが、これに限られるものではなく、例えば、圧子軸３、１０３の軸本体部３１や圧子１の変位量測定基準部３２、１３２、１ａに接触して、圧子１の変位量を計測する構成の変位計であっても良い。
さらに、上記実施形態では、押込み試験機１００に圧子１の変位量の測定に係る変位基準部材６を設けるようにしたが、当該変位基準部材６を必ずしも設ける必要はない。 Moreover, in the said embodiment, although the non-contact-type displacement meter was illustrated as the 1st displacement meter 51 and the 2nd displacement meter 52, it is not restricted to this, For example, the axis | shaft of the indenter shafts 3 and 103 The displacement meter may be configured to measure the displacement amount of the indenter 1 by contacting the main body portion 31 or the displacement amount measurement reference portions 32, 132, 1a of the indenter 1.
Further, in the above-described embodiment, the displacement reference member 6 related to the measurement of the displacement amount of the indenter 1 is provided in the indentation tester 100. However, the displacement reference member 6 is not necessarily provided.

本発明を適用した一実施形態として例示する押込み試験機を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the indentation tester illustrated as one Embodiment to which this invention is applied. 図１の押込み試験機の要部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the principal part structure of the indentation testing machine of FIG. 図１の押込み試験機に備わる圧子軸及び第一の変位計を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the indenter axis | shaft and 1st displacement meter with which the indentation test machine of FIG. 1 is equipped. 変形例１の圧子軸を模式的に示した断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing an indenter shaft according to Modification 1. 変形例２の圧子軸を模式的に示した断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing an indenter shaft of a second modification. 従来の押込み試験機を模式的に示した図である。It is the figure which showed the conventional indentation tester typically.

符号の説明Explanation of symbols

１００ 押込み試験機
１ 圧子
１ａ 変位量測定基準部
３、１０３、２０３ 圧子軸
３１１ 凹部
３１２ 貫通孔部
３２、１３２ 変位量測定基準部
４ 荷重負荷機構部
５１ 第一の変位計（変位量測定手段）
５２ 第二の変位計（変位量測定手段）
１０ 計測制御部
１３ ＣＰＵ（変位量測定手段）
Ｓ 試料 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Indentation tester 1 Indenter 1a Displacement amount measurement reference | standard part 3, 103, 203 Indenter shaft 311 Recess 312 Through-hole part 32, 132 Displacement amount measurement reference | standard part 4 Load load mechanism part 51 1st displacement meter (displacement amount measurement means)
52 Second displacement meter (displacement measuring means)
10 Measurement Control Unit 13 CPU (Displacement Measurement Unit)
S sample

Claims (9)

試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位量測定手段と、を備える押込み試験機であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部と反対側の他端部から所定の深さ窪んで形成された凹部が設けられ、前記凹部の底面には、前記変位量測定手段による前記変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられていることを特徴とする押込み試験機。 An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a dent, is attached to one end, a load holding mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft, and the load A displacement amount measuring means for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by a load mechanism unit; ,
The indenter shaft is provided with a recess formed by recessing a predetermined depth from the other end opposite to the one end to which the indenter is attached, and the bottom surface of the recess is provided with the displacement amount measuring means. An indentation tester characterized in that a displacement amount measurement reference portion serving as a reference for measuring the displacement amount is provided. 前記変位量測定手段は、
前記変位量測定基準部の上面との距離に応じた変位信号を出力する第一の変位計と、
前記圧子軸の変位の基準となる変位基準部材の上面との距離に応じた変位信号を出力する第二の変位計と、
前記第一の変位計及び第二の変位計の各々から出力される変位信号に基づいて、前記第一の変位計の下端と前記変位量測定基準部の上面との距離から前記第二の変位計の下端と前記変位基準部材の上面との距離を減算して前記圧子の変位量を算出する計測制御部と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の押込み試験機。 The displacement measuring means is
A first displacement meter that outputs a displacement signal according to a distance from the upper surface of the displacement measurement reference unit;
A second displacement meter that outputs a displacement signal according to the distance from the upper surface of a displacement reference member that serves as a reference for displacement of the indenter shaft;
Based on the displacement signal output from each of the first displacement meter and the second displacement meter, the second displacement is determined from the distance between the lower end of the first displacement meter and the upper surface of the displacement measurement reference unit. A measurement control unit that calculates a displacement amount of the indenter by subtracting a distance between a lower end of a meter and an upper surface of the displacement reference member;
The indentation testing machine according to claim 1, comprising: 前記変位量測定基準部は、前記凹部の前記底面から所定の深さ窪んで形成されてなることを特徴とする請求項１又は２に記載の押込み試験機。   The indentation tester according to claim 1 or 2, wherein the displacement measurement reference part is formed to be depressed at a predetermined depth from the bottom surface of the recess. 試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位量測定手段と、を備える押込み試験機であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部から反対側の他端部に亘って貫通された貫通孔部が設けられ、
前記圧子には、前記貫通孔部を介して前記他端部側に露出されるように、前記変位量測定手段による前記変位量の測定の基準となる変位量測定基準部が設けられていることを特
徴とする押込み試験機。 An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a dent, is attached to one end, a load holding mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft, and the load A displacement amount measuring means for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by a load mechanism unit; ,
The indenter shaft is provided with a through-hole portion penetrating from the one end portion to which the indenter is attached to the other end portion on the opposite side,
The indenter is provided with a displacement amount measurement reference portion serving as a reference for measuring the displacement amount by the displacement amount measuring means so as to be exposed to the other end portion side through the through hole portion. Indentation testing machine characterized by 前記変位量測定手段は、
前記変位量測定基準部の上面との距離に応じた変位信号を出力する第一の変位計と、
前記圧子軸の変位の基準となる変位基準部材の上面との距離に応じた変位信号を出力する第二の変位計と、
前記第一の変位計及び第二の変位計の各々から出力される変位信号に基づいて、前記第一の変位計の下端と前記変位量測定基準部の上面との距離から前記第二の変位計の下端と前記変位基準部材の上面との距離を減算して前記圧子の変位量を算出する計測制御部と、
を備えることを特徴とする請求項４に記載の押込み試験機。 The displacement measuring means is
A first displacement meter that outputs a displacement signal according to a distance from the upper surface of the displacement measurement reference unit;
A second displacement meter that outputs a displacement signal according to the distance from the upper surface of a displacement reference member that serves as a reference for displacement of the indenter shaft;
Based on the displacement signal output from each of the first displacement meter and the second displacement meter, the second displacement is determined from the distance between the lower end of the first displacement meter and the upper surface of the displacement measurement reference unit. A measurement control unit that calculates a displacement amount of the indenter by subtracting a distance between a lower end of a meter and an upper surface of the displacement reference member;
The indentation testing machine according to claim 4, comprising: 前記第一の変位計は、前記変位量測定基準部に対し離間して設けられていることを特徴とする請求項２又は５に記載の押込み試験機。 The indentation tester according to claim 2 or 5 , wherein the first displacement meter is provided apart from the displacement measurement reference portion. 前記試料を加熱する加熱手段を備えることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の押込み試験機。   The indentation tester according to claim 1, further comprising a heating unit that heats the sample. 試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、を備える押込み試験機を用いて、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位測定方法であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部と反対側の他端部から所定の深さ窪んで形成された凹部が設けられ、
前記凹部の底面に設けられた変位量測定基準部を基準として、前記変位量の測定を行うことを特徴とする変位測定方法。 An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a depression and has an indenter shaft attached to one end, and a load-loading mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft. A displacement measurement method for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by the load load mechanism using an indentation tester. And
The indenter shaft is provided with a recess formed by recessing a predetermined depth from the other end opposite to the one end to which the indenter is attached,
A displacement measuring method, wherein the displacement is measured with reference to a displacement measuring reference part provided on the bottom surface of the recess. 試料の表面に押込まれてくぼみを形成する圧子が一端部に取り付けられた圧子軸と、前記圧子軸を着脱自在に保持して、当該圧子軸に荷重を負荷する荷重負荷機構部と、を備える押込み試験機を用いて、前記荷重負荷機構部により前記圧子軸に荷重が負荷されることで前記圧子により前記試料にくぼみが形成される際の前記圧子の変位量を測定する変位測定方法であって、
前記圧子軸には、前記圧子が取り付けられた前記一端部から反対側の他端部に亘って貫通された貫通孔部が設けられ、
前記貫通孔部を介して前記他端部側に露出されるように前記圧子に設けられた変位量測定基準部を基準として、前記変位量の測定を行うことを特徴とする変位測定方法。 An indenter that is pushed into the surface of the sample to form a depression and has an indenter shaft attached to one end, and a load-loading mechanism that detachably holds the indenter shaft and applies a load to the indenter shaft. A displacement measurement method for measuring a displacement amount of the indenter when a depression is formed in the sample by the indenter when a load is applied to the indenter shaft by the load load mechanism using an indentation tester. And
The indenter shaft is provided with a through-hole portion penetrating from the one end portion to which the indenter is attached to the other end portion on the opposite side,
A displacement measuring method, wherein the displacement is measured with reference to a displacement measuring reference provided on the indenter so as to be exposed to the other end through the through hole.
JP2005233132A 2005-08-11 2005-08-11 Indentation tester and displacement measurement method Expired - Fee Related JP4783599B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005233132A JP4783599B2 (en) 2005-08-11 2005-08-11 Indentation tester and displacement measurement method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005233132A JP4783599B2 (en) 2005-08-11 2005-08-11 Indentation tester and displacement measurement method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007047068A JP2007047068A (en) 2007-02-22
JP4783599B2 true JP4783599B2 (en) 2011-09-28

Family

ID=37850002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005233132A Expired - Fee Related JP4783599B2 (en) 2005-08-11 2005-08-11 Indentation tester and displacement measurement method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4783599B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2478134B (en) * 2010-02-25 2012-01-11 Micro Materials Ltd Heating in material testing apparatus
KR101670760B1 (en) * 2015-04-01 2016-11-01 (주)프론틱스 Apparatus for Indentation Test

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6088349A (en) * 1983-10-19 1985-05-18 Shimadzu Corp Hardness tester
JPS6088350A (en) * 1983-10-19 1985-05-18 Shimadzu Corp Hardness tester
JP2767678B2 (en) * 1993-11-08 1998-06-18 株式会社アカシ Spring type hardness measuring device
JP2000292332A (en) * 1999-04-07 2000-10-20 Keiai Suzuki Hardness measuring head and hardness measuring device
JP2003161684A (en) * 2001-11-27 2003-06-06 Elionix Kk Indenting test apparatus
JP2005156413A (en) * 2003-11-27 2005-06-16 Akashi Corp Apparatus for evaluating characteristics of material

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007047068A (en) 2007-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4942579B2 (en) Test management method and indentation tester in indentation tester
EP2075566B1 (en) Indentation testing instrument and indentation testing method
JP5816475B2 (en) Industrial machinery
CN107643141B (en) A kind of method for testing welding heat affected zone residual stress
JP6010733B2 (en) Plate-shaped specimen evaluation test unit and fixing jig used therefor
JP4783599B2 (en) Indentation tester and displacement measurement method
KR101710054B1 (en) Apparatus and method for deformation by the contact-measurement at high temperature
JP2014117784A (en) Burnishing device and burnishing method using the same
EP1898177A1 (en) Caliper Gauge
US7869962B2 (en) Process and device for controlling the deformation of a metal part, in particular for redressing a metal part
JP4895302B2 (en) Elastic modulus measuring method, elastic modulus measuring apparatus, and program
JP2011112544A (en) High-temperature compression testing apparatus
JP2015155103A (en) Resistance welding device and resistance welding method
JP2006266964A (en) Strain control type super-high cycle fatigue testing method and fatigue testing apparatus
JP2013130315A (en) Sintering device and method of manufacturing sintered body
JP2000321187A (en) Compression creep-testing machine
JP2005156413A (en) Apparatus for evaluating characteristics of material
JP2007178266A (en) Estimation mechanism of expansion quantity of indentor shaft and material testing machine
Suganuma et al. Simple method and critical comparison of frame compliance and indenter area function for nanoindentation
CN101034015A (en) Wolfram rhenium heat electric couple having correcting and monitoring holes
JPH08128936A (en) Thermal fatigue tester
TW201932234A (en) Machining tool and workpiece measurement method
JP4910135B2 (en) Strain measuring method and strain measuring apparatus
JP4328659B2 (en) Material property evaluation system
JP2005156412A (en) Evaluation apparatus for characteristics of material

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080709

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100915

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101005

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101206

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110222

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110311

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110705

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110711

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4783599

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees