JP4779621B2 - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るカーボンナノチューブ製造装置の概略構成を示す概念図である。また、図2は、図1中の上流電極15および下流電極12の近傍部を拡大して示す概略図である。なお、図2の左から右へ向かう方向は、図1の上から下へ向かう方向に対応する。
本実施形態では、上流電極15は、下流電極15と同様に、原料ガスが透過可能な電極として機能するものであり、金属製のメッシュなどからなる。本例では、上流電極15も下流電極12と同様、ステンレス製のメッシュからなる。
図3は、本発明の第2実施形態に係るカーボンナノチューブ製造方法の要部を示す図であり、本実施形態における基材50の概略断面構成を示す図である。
なお、上記実施形態では、原料ガスとしてエチレンを用いたが、原料ガスは炭素を供給可能なものであればよく、つまり炭素を含む材料であればよい。
50…基材、51…多孔質部材、51a…多孔質部材の下面、
100…カーボンナノチューブ。
Claims (3)
- 炭素原子を含む原料ガスおよびキャリアガスが透過可能であって触媒が担持された基材(12、50)に対し、前記基材(12、50)の一面(13)から他面(14、51a)側へ透過するように前記原料ガスを前記キャリアガスとともに供給し、前記基材(12、50)における前記原料ガスの下流側となる前記他面(14、51a)側にて、カーボンナノチューブ(100)を気相合成により前記原料ガスの流れに沿った方向へ成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、
前記基材(12、50)を、前記原料ガスおよび前記キャリアガスが透過可能な第1の電極(12)を有するものとし、前記第1の電極(12)よりも前記原料ガスの流れ上流側に第2の電極(15)を設け、これら両電極間にプラズマを発生させて前記原料ガスを分解し、前記第1の電極(12)を有する前記基材(12、50)に、分解された前記原料ガスを前記キャリアガスとともに透過させることにより、
前記第1の電極(12)における前記原料ガスの流れ下流側から前記カーボンナノチューブ(100)を前記原料ガスの流れに沿った方向へ成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 前記基材(50)を、前記第1の電極(12)と前記第1の電極(12)における前記原料ガスの下流側に設けられ前記原料ガスが透過可能な多孔質部材(51)とにより構成し、この多孔質部材(51)に前記触媒を設けることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記第1の電極(12)として前記原料ガスが透過可能なメッシュ状のものを用いることを特徴とする請求項1または2に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
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