JP4776094B2 - Semiconductor test equipment - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、LCDドライバを高速に試験できる半導体試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来技術の半導体試験装置の例について、図3〜図7を参照して構成と動作について説明する。
図3に示すように、従来の半導体試験装置の要部は、マルチプレクサ21、22、・・・2nと、デジタイザ31、32、・・・3nと、シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4nと、フリップフロップ51、52、・・・5nと、メモリ61、62、・・・6nと、コンピュータ10と、制御部70と、アドレスカウンタ72とで構成している。
そして、半導体試験装置は、試験プログラムを実行して被試験デバイスであるDUT90を試験する。
但し、DUT90のドライバピン以外の入力ピンに対する半導体試験装置の構成については、図と説明を簡明とするため省略している。
【0003】
DUT90としてのLCDドライバは、例えば、128ピンのドライバ出力があり、それぞれ256階調のステップ電圧出力がある。
【0004】
マルチプレクサ21、22、・・・2nは、多数の入力からピン選択信号PSELにより1つを選択して出力する選択出力手段である。
例えば、DUT90のドライバ出力ピンが128ピンの場合、8チャンネルの選択入力のマルチプレクサを16個(n=16)使用する。
【0005】
デジタイザ31、32、・・・3nは、マルチプレクサ21、22、・・・2nのアナログ電圧の出力信号をそれぞれ受けて、pビットのデジタル信号に変換出力するAD変換手段であり、同期信号のクロックを出力する。
例えば、デジタイザ31、32、・・・3nは、それぞれ16ビットのAD変換器を使用する。
【0006】
シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4nは、デジタイザ31、32、・・・3nからの図示していないクロックに同期して、それぞれ1ビットのシリアルの信号をpビットのパラレルの信号に変換する手段である。
例えば、シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4nは、1ビットのシリアルデータを16ビットのパラレル信号として変換出力する。
【0007】
フリップフロップ51、52、・・・5nは、シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4nの複数ビットのパラレルのデータをシリアルデータの終了信号ENDの同一タイミングでそれぞれラッチ出力する。
例えば、シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4nの16ビットのパラレルのデータをラッチして16ビットのデータとして出力する。
【0008】
メモリ61、62、・・・6nは、フリップフロップ51、52、・・・5nのpビットの出力データをアドレスカウンタ72からのアドレス信号によるアドレスの番地にそれぞれ格納する。
【0009】
コンピュータ10は、メモリ61、62、・・・6nのデータをバス100を介して読み出して、演算解析処理する演算手段である。
【0010】
制御部70は、初期化信号INITと、ピン選択信号PSELと、シリアルデータの終了信号ENDを出力する。
【0011】
アドレスカウンタ72は、制御部70からの初期化信号INITでカウンタをクリヤして、シリアルデータの終了END信号でインクリメントしたアドレスを出力する。
【0012】
次に、DUT90としてLCDドライバのドライバ出力ピンを試験する場合の試験項目である階調偏差試験と、セットリング試験とについて説明する。
図4は、LCDドライバの出力ピンの8ピン分についての階調偏差特性例であり、また図5はセットリング試験の特性例である。
【0013】
階調偏差試験(ピン・インクリメント試験)は、LCDドライバのすべての出力ピンの各階調の平均電圧に対して、各出力ピンの偏差が所定の電圧範囲かどうかを試験する。
例えば、ある階調において、すべてのドライバ出力電圧を測定し、平均電圧を演算してもとめ、その平均電圧を基準として±10mVの範囲に入っていればパスとする。
【0014】
セットリング試験(ステップ・インクリメント試験)は、LCDドライバのあるピンに、ある階調を設定し、規定時間内に、LCDドライバの出力電圧が、設定値通りの値になっているかを試験する。
例えば、下記試験手順でセットリング試験をする。
(1)階調を設定する。
(2)規定時間待つ。
(3)LCDドライバの出力電圧を測定する。
(4)設定値±許容値であるかないかで、判定する。
【0015】
次に、階調偏差試験と、セットリング試験とによりメモリ61、62、・・・6nに格納する内容について説明する。
【0016】
最初に、LCDドライバの階調偏差試験の場合について説明する。
階調電圧のステップ1において、図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)から8番目(▲8▼)を選択出力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図6(a)のステップ1の列に示すように格納される。
【0017】
そして、階調電圧のステップ2において、図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)から8番目(▲8▼)を選択出力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図6(a)のステップ2の列に示すように格納される。
【0018】
同様に、階調電圧のステップmにおいて、図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)から8番目(▲8▼)を選択出力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図6(a)のステップmの列に示すように格納される。
【0019】
そして、図6に示すメモリ61、62、・・・6nに格納されたデータは、図3に示すバス100を介して、コンピュータ10により演算をおこなう前処理として図6(b)に示すように、ピン1〜128ピンのステップ1をアドレス順に並べ、同様にステップmまでアドレス順に並べ変えてコンピュータ10のメモリに格納して偏差試験の演算を行いやすくする。
【0020】
次に、LCDドライバのセットリング試験の場合について説明する。
図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)を選択出力し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図7(a)のMPX▲1▼の列に示すように格納される。
【0021】
そして、図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ2番目(▲2▼)を選択出力し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図7(a)のMPX▲2▼の列に示すように格納される。
【0022】
同様に、ステップmにおいて、図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ8番目(▲8▼)を選択出力し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図7(a)のMPX▲8▼の列に示すように格納される。
【0023】
そして、図7に示すメモリ61、62、・・・6nに格納されたデータは、図3に示すバス100を介して、コンピュータ10により演算をおこなう前処理として図7(b)に示すように、ピン1〜128ピンのステップ1をアドレス順に並べ、同様にステップmまでアドレス順に並べ変えてコンピュータ10のメモリに格納してセットリング試験の演算を行いやすくする。
【0024】
つまり、従来の半導体試験装置は、測定する順でメモリのアドレスの番地へ格納するので、ピン番号とステップ数の格納アドレスの番地がその都度異なる。
そのため、各試験の演算の前処理として、ピンとステップに対応した所定のアドレスの番地に並べ換えて演算処理しやすくしている。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】
上記説明のように、従来の半導体試験装置は、各試験の演算の前処理として所定のアドレス順に並べ換えて演算処理をしやすくしている。
そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなされたもので、その目的は、各試験の演算の前処理無しに、メモリの所定のアドレスの番地へ格納させて演算時間を短縮した半導体試験装置を提供することにある。
【0026】
【課題を解決するための手段】
即ち、上記目的を達成するためになされた本発明の第1は、
LCDドライバを試験する半導体試験装置において、
LCDドライバの出力ピンとステップ電圧毎にデータを格納するアドレスの番地をあらかじめ指定したメモリマップを設け、試験データのピンとステップの取り込み順に関係無く、該メモリマップの対応するアドレスの番地に格納することを特徴とした半導体試験装置を要旨としている。
【0027】
また、上記目的を達成するためになされた本発明の第2は、
LCDドライバの複数のドライバ出力を受けてピン選択信号により1つを選択出力するマルチプレクサと、
該マルチプレクサ出力を受けてデジタルデータに変換するn個のデジタイザと、
該デジタイザのシリアル出力を複数ビットのパラレル出力に変換するn個のシリアル・パラレル変換器と、
該シリアル・パラレル変換器の複数ビットのパラレル出力を受けてシリアルデータの終了信号でラッチ出力するn個のフリップフロップと、
を設けて、LCDドライバを試験する半導体試験装置において、
前記n個のフリップフロップの各複数ビットの出力を受けて、チャンネル選択信号で1つのフリップフロップの複数ビットを選択出力するマルチプレクサと、
該チャンネル選択信号を受けて、前記ピン選択信号に同期してアドレスを発生するアドレス発生部と、
該アドレス信号を受けて前記マルチプレクサの複数ビットの出力を格納するメモリと、
を具備したことを特徴とした半導体試験装置を要旨としている。
【0028】
【発明の実施の形態】
本発明の半導体試験装置の例について、図1と、図2と、図4と、図5を参照して構成と動作について説明する。
図1に示すように、本発明の半導体試験装置の要部は、コンピュータ10と、マルチプレクサ21、22、・・・2nと、デジタイザ31、32、・・・3nと、シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4nと、フリップフロップ51、52、・・・5nと、メモリ60と、制御部71と、マルチプレクサ20と、アドレス発生部73とで構成している。
そして、半導体試験装置は、試験プログラムを実行して被試験デバイスであるDUT90を試験する。
但し、DUT90のドライバピン以外の入力ピンに対する半導体試験装置の構成については、従来技術の説明と同様に図と説明を簡明とするため省略している。
【0029】
DUT90としてのLCDドライバは、例えば、128チャンネル、8192階調のドライバの出力ピンがある。
【0030】
マルチプレクサ21、22、・・・2nと、デジタイザ31、32、・・・3nと、シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4nと、フリップフロップ51、52、・・・5nとは従来技術の構成要素と同様であるので説明を省略する。
【0031】
マルチプレクサ20は、フリップフロップ51、52、・・・5nのnチャンネルのpビットの出力を受けて、チャンネル選択信号CHSEL(0、1、2、・・・(n−1))により1つのチャンネルのpビットを選択出力する。
【0032】
メモリ60は、マルチプレクサ20のpビットの出力データをアドレス発生部73からのアドレス信号によるアドレスの番地へそれぞれ格納する。
【0033】
コンピュータ10は、メモリ60のデータをバス100を介して読み出して、演算解析処理する演算手段である。
【0034】
制御部71は、初期化信号INITと、ピン選択信号PSELと、シリアルデータの終了信号ENDと、チャンネル選択信号CHSELを出力する。
【0035】
アドレス発生部73は、制御部71からの初期化信号INITと、ピン選択信号PSELと、シリアルデータの終了信号ENDと、チャンネル選択信号CHSELとでピン選択信号とチャンネル選択信号と同期したアドレスを発生する。
【0036】
例えば、図2に示すように、DUT90のドライバ出力を128ピンとして階調電圧の最大ステップをmとしたとき、階調電圧のステップ1の1ピンデータから128ピンデータ、次に階調電圧のステップ2の1ピンデータから128ピンデータ、同様にして階調電圧のステップmの1ピンデータから128ピンデータまでをアドレス順に格納する。
つまり、デバイスのピンと階調電圧のステップに対応して格納するアドレスをあらかじめメモリマップとして決めている。
従って、試験出力ピンと試験するステップのデータ取り込み順序が違っても、同じピンと同じステップに対して、アドレス発生部73から同一のアドレスを発生させる。
【0037】
次に、階調偏差試験と、セットリング試験とによりメモリ60に格納する例で説明する。
【0038】
階調偏差試験(ピン・インクリメント試験)と、セットリング試験(ステップ・インクリメント試験)の定義については、従来技術において説明したので、説明を省略する。
【0039】
最初に、LCDドライバの階調偏差試験の場合について説明する。
階調電圧のステップ1において、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)を選択出力し、マルチプレクサ20はフリップフロップ51からフリップフロップ5nまでのpビットの出力を順次選択出力する場合、メモリ60は、図2に示すように、ピン1のステップ1(1−1)、ピン9のステップ1、・・・ピン121ピンのステップ1(121−1)の各対応アドレスの番地に順次格納される。
【0040】
そして、階調電圧のステップ1において、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ2番目(▲2▼)を選択出力し、マルチプレクサ20はフリップフロップ51からフリップフロップ5nまでのpビットの出力を選択出力する場合、メモリ60は、図2に示すように、ピン2のステップ1(2−1)、ピン10のステップ1(10−1)、・・・ピン122ピンのステップ1(122−1)の各対応アドレスの番地に格納される。
【0041】
以下同様に、階調電圧のステップ1において、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ8番目(▲8▼)を選択出力し、マルチプレクサ20はフリップフロップ51からフリップフロップ5nまでのpビットの出力を選択出力する場合、メモリ60は、図2に示すように、ピン8のステップ1(8−1)、ピン16のステップ1(16−1)、・・・ピン128ピンのステップ1(128−1)の各対応アドレスの番地に格納される。
【0042】
以上により、階調偏差試験のステップ1におけるピン1〜ピン128までのpビットのデータがアドレス順にメモリ60に格納される。
同様に、ステップ2からステップmまでの各データが、図2に示すように、あらかじめメモリマップとして決められたアドレスの番地に格納される。
【0043】
次に、LCDドライバのセットリング試験の場合について説明する。
図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)を選択し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出力させて、マルチプレクサ20はフリップフロップ51を選択出力し、メモリ60は、図2に示すように、ピン1のステップ1、ピン1のステップ2、・・・ピン1のステップmまでデータを格納する。
【0044】
そして、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)を選択し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出力させて、マルチプレクサ20はフリップフロップ52を選択出力し、メモリ60は、図2に示すように、ピン9のステップ1、ピン9のステップ2、・・・ピン9のステップmまでデータを格納する。
【0045】
同様にして、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ1番目(▲1▼)を選択し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出力させて、マルチプレクサ20はフリップフロップ5nを選択出力し、メモリ60は、図2に示すように、ピン121のステップ1、ピン121のステップ2、・・・ピン121のステップmまでデータを格納する。
【0046】
以下同様に、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ2番目(▲2▼)から8番目(▲8▼)を選択した動作も上記と同様にしておこない、図2に示すように、メモリ60のメモリマップにおいて、所定のピンとステップのアドレスの番地に格納される。
【0047】
つまり、本発明の半導体試験装置は、あらかじめ決められたメモリマップのアドレスの番地へ直接格納するので、試験項目の取り込み順序に関わらずピン番号とステップ数に対応したメモリの格納アドレスの番地が同じとなり、擬似的にドライバ出力ピン毎に独立のデジタイザを設けた(パーピンデジタイザ)のと同じ効果となる。
従って、各試験の演算処理をする場合に、所定のアドレス順に並べ換える前処理が不要となり演算処理時間が短縮できる。
【0048】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
即ち、本発明の半導体試験装置は、メモリへあらかじめ決められたメモリマップのアドレスへ直接格納するので、試験項目の取り込み順序に関わらずピン番号とステップ数に対応した格納アドレスが同じとなる。
従って、各試験の演算処理する場合に、所定のアドレス順に並べ換える前処理が不要となり演算処理時間が短縮できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体試験装置のブロック図である。
【図2】本発明の半導体試験装置のメモリマップの図である。
【図3】従来の半導体試験装置のブロック図である。
【図4】LCDドライバの階調偏差試験のデータ図である。
【図5】LCDドライバのセットリング試験のデータ図である。
【図6】従来の半導体試験装置の偏差試験のメモリ格納図である。
【図7】従来の半導体試験装置のセットリング試験のメモリ格納図である。
【符号の説明】
10 コンピュータ
20 マルチプレクサ
21、22、・・・2n マルチプレクサ
31、32、・・・3n デジタイザ
41、42、・・・4n シリアル・パラレル変換器
51、52、・・・5n フリップフロップ
60 メモリ
61、62、・・・6n メモリ
70、71 制御部
72 アドレスカウンタ
73 アドレス発生部
90 DUT
100 バス
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor test apparatus that can test an LCD driver at high speed.
[0002]
[Prior art]
The configuration and operation of an example of a conventional semiconductor test apparatus will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 3, the main parts of the conventional semiconductor test apparatus are multiplexers 21, 22, ... 2n, digitizers 31, 32, ... 3n, serial / parallel converters 41, 42, ... .., 5n, memories 61, 62,... 6n, computer 10, control unit 70, and address counter 72.
Then, the semiconductor test apparatus executes a test program to test the DUT 90 that is a device under test.
However, the configuration of the semiconductor test apparatus for input pins other than the driver pins of the DUT 90 is omitted for the sake of simplicity of the drawings and description.
[0003]
The LCD driver as the DUT 90 has, for example, a 128-pin driver output, and each has 256 step voltage outputs.
[0004]
The multiplexers 21, 22,... 2n are selection output means for selecting and outputting one from a large number of inputs by a pin selection signal PSEL.
For example, when the driver output pin of the DUT 90 is 128 pins, 16 multiplexers (n = 16) of 8 channel selection inputs are used.
[0005]
The digitizers 31, 32,... 3n are analog-to-digital converters that receive the analog voltage output signals from the multiplexers 21, 22,. Is output.
For example, each of the digitizers 31, 32,..., 3n uses a 16-bit AD converter.
[0006]
The serial / parallel converters 41, 42,..., 4n are synchronized with a clock (not shown) from the digitizers 31, 32,. It is a means to convert into.
For example, the serial / parallel converters 41, 42,... 4n convert and output 1-bit serial data as 16-bit parallel signals.
[0007]
The flip-flops 51, 52,... 5n latch and output the multi-bit parallel data of the serial / parallel converters 41, 42,.
For example, 16-bit parallel data of the serial / parallel converters 41, 42,..., 4n are latched and output as 16-bit data.
[0008]
.., 6n store the p-bit output data of the flip-flops 51, 52,..., 5n at the address of the address signal from the address counter 72, respectively.
[0009]
The computer 10 is a calculation means that reads data in the memories 61, 62,... 6n via the bus 100 and performs calculation analysis processing.
[0010]
The control unit 70 outputs an initialization signal INIT, a pin selection signal PSEL, and a serial data end signal END.
[0011]
The address counter 72 clears the counter with the initialization signal INIT from the control unit 70, and outputs the address incremented with the end END signal of the serial data.
[0012]
Next, a gradation deviation test and a settling test, which are test items when testing the driver output pin of the LCD driver as the DUT 90, will be described.
FIG. 4 is an example of gradation deviation characteristics for eight output pins of the LCD driver, and FIG. 5 is an example of characteristics of the settling test.
[0013]
The gradation deviation test (pin increment test) tests whether the deviation of each output pin is within a predetermined voltage range with respect to the average voltage of each gradation of all output pins of the LCD driver.
For example, in a certain gradation, all driver output voltages are measured and the average voltage is calculated. If the average voltage is within a range of ± 10 mV, a pass is determined.
[0014]
In the settling test (step / increment test), a certain gradation is set in a certain pin of the LCD driver, and it is tested whether the output voltage of the LCD driver becomes a value as set within a specified time.
For example, a settling test is performed according to the following test procedure.
(1) Set the gradation.
(2) Wait for a specified time.
(3) Measure the output voltage of the LCD driver.
(4) Judgment is made based on whether or not the set value ± allowable value.
[0015]
Next, contents stored in the memories 61, 62,... 6n by the gradation deviation test and the settling test will be described.
[0016]
First, the case of the gradation deviation test of the LCD driver will be described.
In the gradation voltage step 1, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 3 select and output the first (1) to the eighth (8), respectively. ... 6n are stored as shown in the column of step 1 in FIG.
[0017]
In the gradation voltage step 2, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 3 select and output the first ((1)) to the eighth ((8)), respectively. 62,... 6n are stored as shown in the column of step 2 in FIG.
[0018]
Similarly, in the gradation voltage step m, when the multiplexers 21, 22,..., 2n shown in FIG. 3 select and output the first (1) to the eighth (8), respectively, the memory 61 , 62,... 6n are stored as shown in the column of step m in FIG.
[0019]
6n is stored in the memories 61, 62,... 6n shown in FIG. 6 as pre-processing performed by the computer 10 via the bus 100 shown in FIG. Steps 1 to 1 to 128 are arranged in the order of addresses, and are similarly rearranged in the order of addresses up to step m and stored in the memory of the computer 10 to facilitate calculation of the deviation test.
[0020]
Next, the case of the LCD driver settling test will be described.
When the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 3 select and output the first ((1)), respectively, and increment output from step 1 to m of the gradation voltage, the memories 61, 62,. 6n is stored as shown in the column of MPX (1) in FIG.
[0021]
.., 2n shown in FIG. 3 selectively outputs the second ((2)), and increments the gradation voltage from step 1 to m. .. 6n is stored as shown in the column of MPX (2) in FIG.
[0022]
Similarly, in step m, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 3 select and output the eighth ((8)), respectively, and increment the gradation voltages from step 1 to m. 61n are stored as shown in the column of MPX {circle over (8)} in FIG.
[0023]
7n is stored in the memories 61, 62,... 6n shown in FIG. 7 as pre-processing performed by the computer 10 via the bus 100 shown in FIG. Step 1 of pins 1 to 128 is arranged in the order of addresses, and similarly arranged in order of addresses up to step m and stored in the memory of the computer 10 to facilitate the calculation of the settling test.
[0024]
That is, since the conventional semiconductor test apparatus stores the addresses in the memory addresses in the order of measurement, the address of the pin number and the storage address of the number of steps differ each time.
Therefore, as a pre-processing for the calculation of each test, the calculation processing is facilitated by rearranging the addresses at predetermined addresses corresponding to the pins and steps.
[0025]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the conventional semiconductor test apparatus rearranges in order of predetermined addresses as pre-processing for the calculation of each test to facilitate the calculation process.
Accordingly, the present invention has been made in view of these problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor test apparatus in which the calculation time is shortened by storing the data at a predetermined address in the memory without preprocessing of the calculation of each test. There is to do.
[0026]
[Means for Solving the Problems]
That is, the first of the present invention made to achieve the above object is
In semiconductor test equipment for testing LCD drivers,
A memory map is provided in which the address of the LCD driver output pin and the address for storing the data for each step voltage is provided in advance, and stored in the address of the corresponding address in the memory map regardless of the test data pin and step loading order. The gist of the featured semiconductor test equipment.
[0027]
The second aspect of the present invention made to achieve the above object is as follows.
A multiplexer that receives a plurality of driver outputs of the LCD driver and selectively outputs one by a pin selection signal;
N digitizers that receive the multiplexer output and convert it to digital data;
N serial-to-parallel converters for converting the digitizer serial output into a multi-bit parallel output;
N flip-flops which receive a multi-bit parallel output of the serial-parallel converter and latch-output with a serial data end signal;
In a semiconductor test apparatus for testing an LCD driver,
A multiplexer that receives an output of each of the plurality of n flip-flops and selectively outputs a plurality of bits of one flip-flop using a channel selection signal;
An address generator for receiving the channel selection signal and generating an address in synchronization with the pin selection signal;
A memory for receiving the address signal and storing a plurality of bits of the multiplexer;
The gist of the semiconductor test apparatus is characterized by comprising:
[0028]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The configuration and operation of an example of the semiconductor test apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. 1, FIG. 2, FIG. 4, and FIG.
As shown in FIG. 1, the semiconductor test apparatus according to the present invention includes a computer 10, multiplexers 21, 22,... 2n, digitizers 31, 32,... 3n, and a serial / parallel converter 41. , 42,... 4n, flip-flops 51, 52,... 5n, a memory 60, a control unit 71, a multiplexer 20, and an address generation unit 73.
Then, the semiconductor test apparatus executes a test program to test the DUT 90 that is a device under test.
However, the configuration of the semiconductor test apparatus for the input pins other than the driver pins of the DUT 90 is omitted for the sake of simplicity of the drawings and description as in the description of the prior art.
[0029]
The LCD driver as the DUT 90 has, for example, an output pin of a driver of 128 channels and 8192 gradations.
[0030]
The multiplexers 21, 22, ... 2n, the digitizers 31, 32, ... 3n, the serial / parallel converters 41, 42, ... 4n, and the flip-flops 51, 52, ... 5n are conventional. Since it is the same as the technical component, description is abbreviate | omitted.
[0031]
The multiplexer 20 receives the n-channel p-bit output of the flip-flops 51, 52,... 5n, and receives one channel in response to the channel selection signal CHSEL (0, 1, 2,... (N−1)). The p bits of are selectively output.
[0032]
The memory 60 stores the p-bit output data of the multiplexer 20 at the address of the address by the address signal from the address generator 73, respectively.
[0033]
The computer 10 is an arithmetic unit that reads out data in the memory 60 via the bus 100 and performs arithmetic analysis processing.
[0034]
The control unit 71 outputs an initialization signal INIT, a pin selection signal PSEL, a serial data end signal END, and a channel selection signal CHSEL.
[0035]
The address generation unit 73 generates an address synchronized with the pin selection signal and the channel selection signal by the initialization signal INIT from the control unit 71, the pin selection signal PSEL, the serial data end signal END, and the channel selection signal CHSEL. To do.
[0036]
For example, as shown in FIG. 2, when the driver output of the DUT 90 is 128 pins and the maximum step of the gradation voltage is m, the gradation voltage step 1 from the 1-pin data to the 128-pin data, then the gradation voltage From the 1st pin data of step 2 to the 128th pin data, similarly, from the 1st pin data of the gradation voltage step m to the 128th pin data are stored in the order of addresses.
That is, addresses to be stored corresponding to device pins and gradation voltage steps are determined in advance as a memory map.
Therefore, the same address is generated from the address generation unit 73 for the same step as the same pin even if the data output order of the test output pin and the test step is different.
[0037]
Next, an example of storing in the memory 60 by the gradation deviation test and the settling test will be described.
[0038]
Since the definition of the gradation deviation test (pin increment test) and the settling test (step increment test) has been described in the related art, description thereof will be omitted.
[0039]
First, the case of the gradation deviation test of the LCD driver will be described.
In the gradation voltage step 1, the multiplexers 21, 22,..., 2n shown in FIG. As shown in FIG. 2, the memory 60 selects Step 1 (1-1) of Pin 1, Step 1 of Pin 9,... Step 1 (121-1 of Pin 121), as shown in FIG. ) Are sequentially stored at the addresses of the corresponding addresses.
[0040]
Then, in step 1 of the gradation voltage, each of the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 1 selects and outputs the second ((2)), and the multiplexer 20 outputs from the flip-flop 51 to the flip-flop 5n. When the p-bit output is selected and output, the memory 60, as shown in FIG. 2, the step 1 (2-1) of the pin 2, the step 1 (10-1) of the pin 10,. It is stored in the address of each corresponding address in step 1 (122-1).
[0041]
Similarly, in step 1 of the gradation voltage, each of the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 1 selects and outputs the eighth ((8)), and the multiplexer 20 switches from the flip-flop 51 to the flip-flop 5n. In the case of selectively outputting the p-bit output up to the above, the memory 60, as shown in FIG. 2, the step 1 (8-1) of the pin 8, the step 1 (16-1) of the pin 16,. It is stored in the address of each corresponding address in step 1 (128-1) of the pin.
[0042]
As described above, the p-bit data from pin 1 to pin 128 in step 1 of the gradation deviation test is stored in the memory 60 in the order of addresses.
Similarly, each data from step 2 to step m is stored at an address of a predetermined address as a memory map as shown in FIG.
[0043]
Next, the case of the LCD driver settling test will be described.
1, each of the multiplexers 21, 22,... 2n selects the first (1) and increments the gradation voltage from step 1 to m, and the multiplexer 20 selects and outputs the flip-flop 51. As shown in FIG. 2, the memory 60 stores data up to step 1 of pin 1, step 2 of pin 1,.
[0044]
Then, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 1 respectively select the first (1) and increment the gradation voltage from step 1 to m, and the multiplexer 20 causes the flip-flop 52 to be output. As shown in FIG. 2, the memory 60 stores the data up to step 1 of pin 9, step 2 of pin 9,.
[0045]
Similarly, each of the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 1 selects the first (1) and increments the gradation voltage from step 1 to m, so that the multiplexer 20 is a flip-flop. As shown in FIG. 2, the memory 60 stores data up to step 1 of the pin 121, step 2 of the pin 121,..., Step m of the pin 121.
[0046]
Similarly, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG. 1 perform the operation of selecting the second ((2)) to the eighth ((8)) in the same manner as described above. As shown, in the memory map of the memory 60, it is stored at the address of a predetermined pin and step address.
[0047]
In other words, since the semiconductor test apparatus of the present invention stores directly at the address of the predetermined memory map, the address of the storage address of the memory corresponding to the pin number and the number of steps is the same regardless of the test item fetching order. Thus, the same effect as that of a pseudo-independent digitizer (per-pin digitizer) is provided for each driver output pin.
Therefore, when performing arithmetic processing for each test, pre-processing for rearranging in order of predetermined addresses becomes unnecessary, and the arithmetic processing time can be shortened.
[0048]
【The invention's effect】
The present invention is implemented in the form as described above, and has the following effects.
That is, since the semiconductor test apparatus of the present invention directly stores in the memory at the address of the predetermined memory map, the storage address corresponding to the pin number and the number of steps is the same regardless of the test item loading order.
Therefore, when performing arithmetic processing for each test, preprocessing for rearranging in the order of a predetermined address is unnecessary, and there is an effect that the arithmetic processing time can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor test apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a memory map of the semiconductor test apparatus of the present invention.
FIG. 3 is a block diagram of a conventional semiconductor test apparatus.
FIG. 4 is a data diagram of a gradation deviation test of the LCD driver.
FIG. 5 is a data diagram of an LCD driver settling test.
FIG. 6 is a memory storage diagram of a deviation test of a conventional semiconductor test apparatus.
FIG. 7 is a memory storage diagram of a settling test of a conventional semiconductor test apparatus.
[Explanation of symbols]
10 Computer 20 Multiplexer 21, 22, ... 2n Multiplexer 31, 32, ... 3n Digitizer 41, 42, ... 4n Serial / parallel converter 51, 52, ... 5n Flip-flop 60 Memory 61, 62 , ... 6n Memory 70, 71 Controller 72 Address counter 73 Address generator 90 DUT
100 buses

Claims (2)

LCDドライバの複数のドライバ出力を受けてピン選択信号により1つを選択出力するマルチプレクサと、
該マルチプレクサの出力を受けてデジタルデータに変換するn個のデジタイザと、
該デジタイザのシリアル出力を複数ビットのパラレル出力に変換するn個のシリアル・パラレル変換器と、
該シリアル・パラレル変換器の複数ビットのパラレル出力を受けてシリアルデータの終了信号でラッチ出力するn個のフリップフロップと、
初期化信号、前記ピン選択信号、シリアルデータの終了信号、およびチャンネル選択信号を出力する制御部と、
を設けて、LCDドライバを試験する半導体試験装置において、
前記n個のフリップフロップの各複数ビットの出力を受けて、前記チャンネル選択信号で1つのフリップフロップの複数ビットを選択出力するマルチプレクサと、
前記初期化信号、前記ピン選択信号、前記シリアルデータの終了信号、および前記チャンネル選択信号を受けて、前記ピン選択信号および前記チャンネル選択信号に同期してアドレスを発生するアドレス発生部と、
該アドレス信号を受けて前記マルチプレクサの複数ビットの出力を格納するメモリと、を具備し、
前記アドレス発生部は、試験出力ピンと試験する階調電圧のステップのデータ取り込み順に関係なく、同一の試験出力ピンと同一のステップに対して、同一のアドレスを発生させる半導体試験装置。
A multiplexer that receives a plurality of driver outputs of the LCD driver and selectively outputs one by a pin selection signal;
N digitizers which receive the output of the multiplexer and convert it into digital data;
N serial-to-parallel converters for converting the digitizer serial output into a multi-bit parallel output;
N flip-flops which receive a multi-bit parallel output of the serial-parallel converter and latch-output with a serial data end signal;
A controller for outputting an initialization signal, the pin selection signal, a serial data end signal, and a channel selection signal;
In a semiconductor test apparatus for testing an LCD driver,
A multiplexer for the n receiving the output of each multiple-bit flip-flop, selectively outputs a plurality of bits of one flip-flop in the channel selection signal,
An address generator that receives the initialization signal, the pin selection signal, the end signal of the serial data, and the channel selection signal, and generates an address in synchronization with the pin selection signal and the channel selection signal ;
A memory for receiving the address signal and storing a plurality of bits of the multiplexer;
The address generation unit is a semiconductor test apparatus that generates the same address for the same step of the same test output pin regardless of the data acquisition order of the step of the gradation voltage to be tested with the test output pin.
階調電圧のステップ毎に前記LCDドライバの全ての試験出力ピンのドライバ出力を測定する階調偏差試験と、試験出力ピン毎に階調電圧のステップをインクリメントしながらドライバ出力を測定するセットリング試験とのそれぞれにおいて、前記アドレス発生部は、試験出力ピンと試験する階調電圧のステップのデータ取り込み順に関係なく、同一の試験出力ピンと同一のステップに対して、同一のアドレスを発生させる請求項1の半導体試験装置。  A gradation deviation test that measures the driver output of all the test output pins of the LCD driver for each gradation voltage step, and a settling test that measures the driver output while incrementing the gradation voltage step for each test output pin The address generator generates the same address for the same step of the same test output pin regardless of the data acquisition order of the test output pin and the step of the gradation voltage to be tested. Semiconductor test equipment.
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