JPH085707A - Semiconductor device testing device - Google Patents

Semiconductor device testing device

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Publication number
JPH085707A
JPH085707A JP6138681A JP13868194A JPH085707A JP H085707 A JPH085707 A JP H085707A JP 6138681 A JP6138681 A JP 6138681A JP 13868194 A JP13868194 A JP 13868194A JP H085707 A JPH085707 A JP H085707A
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JP
Japan
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measurement data
storage unit
value
storing
average value
Prior art date
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Pending
Application number
JP6138681A
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Japanese (ja)
Inventor
Michio Maekawa
道生 前川
Junichi Hirase
潤一 平瀬
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH085707A publication Critical patent/JPH085707A/en
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  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a semiconductor device testing device the testing time of which can be shortened. CONSTITUTION:Output voltage value measured data are stored in a measured data storing RAM 2 in the order of output terminal numbers and, when output data are accumulated by one hierarchy, the maximum value, minimum value, and mean value of the output data are calculated. Then the calculated maximum, minimum, and mean values are respectively stored in maximum, minimum, and mean value storing sections 4, 5, and 6 and respectively compared with reference values. Since the output voltage in another hierarchy can be measured and the measured data can be stored in the RAM 2 in parallel with the calculation of the maximum, minimum, and mean values, the testing time of a semiconductor testing device can be shortened.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶駆動用半導体装置
等の出力電圧値の測定・比較を高速に行う半導体テスト
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor test device for measuring and comparing output voltage values of liquid crystal driving semiconductor devices at high speed.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶ディスプレイはCRTに換わ
る映像表示装置として注目を浴びてきている。そして、
小型かつ軽量であるため、携帯用情報機器を中心に今後
大きな市場が見込まれている。
2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal displays have been attracting attention as image display devices replacing CRTs. And
Due to its small size and light weight, a large market is expected in the future, centering on portable information devices.

【0003】この液晶ディスプレイの分野においてはT
FT(薄膜トランジスタ)タイプを中心に、今後はフル
カラー化、低コスト化への急激な技術革新が進むと考え
られる。この鍵を握るのが液晶駆動用半導体装置であ
り、フルカラー化のための高精度化・8ビット対応、低
コスト化のための多端子化が進んでいる。
In the field of this liquid crystal display, T
Focusing on the FT (thin film transistor) type, it is considered that rapid technological innovation will be promoted toward full color and cost reduction in the future. The key to this is the liquid crystal driving semiconductor device, which is becoming more accurate and 8-bit compatible for full-color, and multi-terminal for the cost reduction.

【0004】これらの液晶駆動用半導体装置を生産する
にあたって、出荷前に必ず、出力電圧値が製品規格に満
たしているかどうかのテストが行われている。
Before manufacturing these liquid crystal driving semiconductor devices, it is always tested whether or not the output voltage value meets the product standard.

【0005】以下、従来の半導体テスト装置について図
2を参照しながら説明する。1はディジタイザで、液晶
駆動用半導体装置(図示せず)の出力電圧値を、ディジ
タル信号で読み取るものである。ディジタイザ1は、半
導体テスト装置に一つまたは複数個あり、通常16ビッ
トから18ビット分解能をもっている。2は、ディジタ
イザ1が読み取ったディジタル信号のデータを格納する
測定データ格納用RAMである。3はディジタルシグナ
ルプロセッサ(以下、DSPという)で、測定データ格
納用RAM2からデータを取り出し、最大値、最小値、
平均値の演算を行うものである。
A conventional semiconductor test apparatus will be described below with reference to FIG. A digitizer 1 reads the output voltage value of a liquid crystal driving semiconductor device (not shown) with a digital signal. One or a plurality of digitizers 1 are provided in the semiconductor test equipment and usually have a resolution of 16 to 18 bits. A measurement data storage RAM 2 stores the digital signal data read by the digitizer 1. Reference numeral 3 is a digital signal processor (hereinafter referred to as DSP), which takes out data from the measurement data storage RAM 2 and outputs the maximum value, the minimum value,
The average value is calculated.

【0006】以上のように構成された従来の半導体テス
ト装置の動作について、以下説明する。
The operation of the conventional semiconductor test device configured as described above will be described below.

【0007】まず、ディジタイザ1が、液晶駆動用半導
体装置(図示せず)の出力電圧値をディジタル信号で読
み取った測定結果を、測定データ格納用RAM2へ、測
定順に順次書き込む。
First, the digitizer 1 sequentially writes the measurement result obtained by reading the output voltage value of the liquid crystal driving semiconductor device (not shown) as a digital signal into the measurement data storage RAM 2 in the order of measurement.

【0008】そして、測定データ格納用RAM2へ書き
込みが全て完了すると、DSP3に測定データ格納用R
AM2の中から必要なデータを取り出し、最大値、最小
値、平均値の演算を行う。そして、DSP3により各階
調レベルごとに全出力端子の出力電圧値の最大値、最小
値を演算して、基準値との比較を行い、半導体装置の出
力電圧のばらつきが規格内におさまっているかの判定を
行う。また、DSP3により各階調レベルごとの全出力
端子の出力電圧値の平均値を演算し、理想直線との比較
を行い出力電圧階調レベルの直線性が規格内におさまっ
ているかの判定を行う。なお、DSPが算出した値が規
格を満たしていない場合は、不良品として取り除かれ
る。
When all the writing to the RAM 2 for storing the measurement data is completed, the R for storing the measurement data is stored in the DSP 3.
Necessary data is extracted from AM2, and the maximum value, minimum value, and average value are calculated. Then, the DSP 3 calculates the maximum value and the minimum value of the output voltage value of all the output terminals for each gradation level and compares them with the reference value to check whether the variation of the output voltage of the semiconductor device is within the standard. Make a decision. Further, the DSP 3 calculates the average value of the output voltage values of all the output terminals for each gradation level and compares it with the ideal straight line to determine whether the linearity of the output voltage gradation level is within the standard. If the value calculated by the DSP does not meet the standard, it is removed as a defective product.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】最近では、液晶駆動用
半導体装置がたとえば256階調、240出力端子とい
うように、高階調化・多端子化するにつれて、総テスト
時間に占める演算時間の比率が大きくなってきた。そこ
で、テスト時間の短縮が即、半導体装置のコスト低下に
つながるようになってきた。そこで、テスト時間を短縮
できる手法が求められるようになってきた。
Recently, as the liquid crystal driving semiconductor device has higher gradations and multiple terminals, such as 256 gradations and 240 output terminals, the ratio of the calculation time to the total test time becomes smaller. It's getting bigger. Therefore, the reduction of the test time immediately leads to the cost reduction of the semiconductor device. Therefore, there has been a demand for a method that can reduce the test time.

【0010】本発明は上記従来課題を解決するもので、
テスト時間を短縮できる半導体テスト装置を提供するこ
とを目的とする。
The present invention solves the above conventional problems.
It is an object of the present invention to provide a semiconductor test device that can reduce the test time.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、出力電圧値を測定した測定データを一定の
基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記測
定データ格納部に格納された測定データのうち一階調分
の測定データの最大値を格納する最大値格納部または、
前記一階調分の測定データの最小値を格納する最小値格
納部または、前記一階調分の測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有するものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a measurement data storage unit for storing measurement data of output voltage values in order according to a certain standard, and the measurement data storage unit. A maximum value storage unit that stores the maximum value of the measurement data for one gradation of the stored measurement data, or
A minimum value storage unit for storing the minimum value of the measurement data for one gradation or an average value storage unit for storing the average value of the measurement data for one gradation.

【0012】また、本発明は上記目的を達成するため
に、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従
った順に格納する測定データ格納部と、前記測定データ
格納部に格納された測定データのうち一階調分の測定デ
ータの平均値を格納する平均値格納部または、一階調分
の測定データの分散σ、2σ、3σを格納する分散格納
部を有するものである。
In order to achieve the above object, the present invention further comprises a measurement data storage unit for storing the measurement data of the output voltage value in order according to a certain standard, and the measurement data stored in the measurement data storage unit. It has an average value storage unit that stores the average value of the measurement data for one gradation of the data, or a dispersion storage unit that stores the variances σ, 2σ, and 3σ of the measurement data for one gradation.

【0013】さらに、本発明は上記目的を達成するため
に、出力電圧値を測定した測定データを一定の基準に従
った順に格納する測定データ格納用RAMと、前記測定
データ格納用RAMに格納された測定データのうち同一
の出力端子から出力された測定データの最大値を格納す
る最大値格納部と、前記同一の出力端子から出力された
測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記同
一の出力端子から出力された測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有するものである。
In order to achieve the above object, the present invention further stores a measurement data storage RAM for storing the measurement data of the output voltage value in order according to a certain standard, and the measurement data storage RAM. A maximum value storage unit that stores the maximum value of the measurement data output from the same output terminal among the measured data, and a minimum value storage unit that stores the minimum value of the measurement data output from the same output terminal, An average value storage unit for storing an average value of the measurement data output from the same output terminal.

【0014】[0014]

【作用】本発明は上記した構成により、出力電圧値を測
定した測定データを一定の基準に従った順に測定データ
格納部に格納し、一階調ごとまたは、一つの出力端子か
らの出力ごとに最大値、最小値、平均値等を算出し、最
大値格納部、最小値格納部、平均値格納部等に格納でき
る。したがって、測定データ格納部に一階調または、一
つの出力端子からの出力分の測定データが格納された時
点で、最大値、最小値、平均値等を算出、基準値との比
較をすることができる。そして、最大値、最小値、平均
値等を算出するのと並行して、別の階調または、別の出
力端子からの出力電圧を測定することができる。
According to the present invention, with the above-described configuration, the measured data of the output voltage value is stored in the measured data storage unit in the order according to a certain standard, and it is stored for each gradation or each output from one output terminal. Maximum value, minimum value, average value, etc. can be calculated and stored in the maximum value storage unit, minimum value storage unit, average value storage unit, etc. Therefore, the maximum value, minimum value, average value, etc. should be calculated and compared with the reference value at the time when one gradation or the measurement data for the output from one output terminal is stored in the measurement data storage section. You can Then, in parallel with calculating the maximum value, the minimum value, the average value, etc., it is possible to measure another gradation or an output voltage from another output terminal.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明の一実施例について、図1を参
照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

【0016】図1は、本発明の半導体テスト装置の構成
を示す図である。図1において、2は、ディジタイザ
(図示せず)等で読み取ったディジタル信号の出力電圧
値を格納する測定データ格納用RAMで、横方向を出力
端子順、縦方向を出力電圧階調レベル順に設定されてい
る。4はデータ格納用RAM2の横方向のデータにおけ
る最大値を取り込む最大値格納部、5はデータ格納用R
AM2の横方向のデータにおける最小値を取り込む最小
値格納部、6はデータ格納用RAM2の横方向のデータ
における平均値を取り込む平均値格納部である。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a semiconductor test apparatus of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 2 denotes a measurement data storage RAM for storing the output voltage value of a digital signal read by a digitizer (not shown) or the like, in which the horizontal direction is set to the output terminal order and the vertical direction is set to the output voltage gradation level order. Has been done. Reference numeral 4 is a maximum value storage unit for capturing the maximum value of the horizontal data in the data storage RAM 2, and 5 is a data storage R.
A minimum value storage unit that captures the minimum value of the horizontal data of AM2, and an average value storage unit 6 that captures the average value of the horizontal data of the data storage RAM2.

【0017】以上のように構成された本発明の一実施例
について、以下その動作を説明する。
The operation of one embodiment of the present invention constructed as above will be described below.

【0018】図1の測定データ格納用RAM2は、横方
向に出力端子1から出力端子240まで順番に、また縦
方向に階調レベル1から階調レベル256まで順番に格
納されるものとする。
The RAM 2 for storing measured data in FIG. 1 is assumed to be stored in the horizontal direction in order from the output terminal 1 to the output terminal 240 and in the vertical direction in order from the gradation level 1 to the gradation level 256.

【0019】まず、ディジタイザ(図示せず)で一階調
ごとに測定した測定データは測定データ格納用RAM2
の横方向に順に出力端子1から出力端子240まで格納
される。そして、一つの階調の測定データ格納用RAM
への格納が完了すると同時に、演算器(図示せず)で最
大値、最小値、平均値を計算し、最大値格納部4、最小
値格納部5、平均値格納部6にそれぞれの値を格納す
る。また、演算器(図示せず)で最大値、最小値、平均
値を計算している間や、最大値格納部4、最小値格納部
5、平均値格納部6にそれぞれの値を格納している間
に、次の階調の測定データが測定データ格納用RAM2
に書き込まれる。
First, the measurement data measured for each gradation by a digitizer (not shown) is stored in the measurement data storage RAM 2
The output terminals 1 to 240 are sequentially stored in the horizontal direction. A RAM for storing measurement data of one gradation
At the same time as the storage in the memory, the maximum value, the minimum value, and the average value are calculated by a computing unit (not shown), and the respective values are stored in the maximum value storage unit 4, the minimum value storage unit 5, and the average value storage unit 6. Store. The values are stored in the maximum value storage unit 4, the minimum value storage unit 5, and the average value storage unit 6 while the arithmetic unit (not shown) calculates the maximum value, the minimum value, and the average value. While measurement is in progress, the measurement data of the next gradation is stored in the measurement data storage RAM 2
Is written to.

【0020】この様な動作を繰り返し、階調レベル1か
ら階調レベル256まで全てについて、出力端子1から
出力端子240までの測定データが、測定データ格納用
RAM2に格納されると同時に、それぞれの階調レベル
の最大値、最小値、平均値がそれぞれ、最大値格納部
4、最小値格納部5、平均値格納部6に格納される。
By repeating such an operation, the measurement data from the output terminal 1 to the output terminal 240 for all the gradation levels 1 to 256 are stored in the measurement data storage RAM 2 and at the same time, respectively. The maximum value, the minimum value, and the average value of the gradation levels are stored in the maximum value storage unit 4, the minimum value storage unit 5, and the average value storage unit 6, respectively.

【0021】そして、最大値格納部4、最小値格納部
5、平均値格納部6に格納された最大値、最小値、平均
値と基準値との比較を行い、半導体装置の出力電圧のば
らつきが規格内におさまっているかの判定を行う。
Then, the maximum value, the minimum value, and the average value stored in the maximum value storage unit 4, the minimum value storage unit 5, and the average value storage unit 6 are compared with the reference value, and variations in the output voltage of the semiconductor device are performed. It is judged whether the value is within the standard.

【0022】このように本発明の第1の実施例によれ
ば、最大値、最小値、平均値などのそれぞれに専用の格
納部を設けることにより、一階調分の測定データが測定
データ格納用RAM2に格納された時点で、最大値、最
小値、平均値を算出し、比較判定を行っているので、算
出・比較判定を行うのと並行して、次の一階調分のデー
タの測定を行うことができる。したがって、半導体テス
ト装置のテスト時間を短縮することができる。
As described above, according to the first embodiment of the present invention, by providing a dedicated storage unit for each of the maximum value, the minimum value, the average value, etc., the measurement data for one gradation can be stored as the measurement data. The maximum value, the minimum value, and the average value are calculated at the time when the data is stored in the RAM 2 for comparison, and the comparison determination is performed. A measurement can be made. Therefore, the test time of the semiconductor test device can be shortened.

【0023】また、本発明は、半導体装置の良品/不良
品の判定に用いられるのが一般的であるので、一つ目の
階調を比較判定した時点で、不良品と判定された場合、
判定の終わっていない階調のデータ測定を新たに行う必
要がなくなり、半導体テスト装置のテスト時間に占める
時間を大幅に短縮することができる。
In addition, since the present invention is generally used to judge whether the semiconductor device is a good product or a defective product, when it is judged as a defective product when the first gradation is compared and judged,
It is not necessary to newly measure the data of the gradation for which the judgment has not been completed, and the time required for the test time of the semiconductor test device can be significantly reduced.

【0024】次に、別の用途に本発明を採用した第2の
実施例について説明する。本実施例では、上記して説明
した第1の実施例で、最大値、最小値、平均値を格納で
きる最大値格納部4、最小値格納部5、平均値格納部6
を備えているのに対し、出力端子方向の測定データの平
均値に対する最大隔たり値の演算結果を格納する最大隔
たり値格納部や、出力端子方向の測定データが正規分布
しているとして分散σ、2σ、3σの演算結果を格納す
る分散格納部を備えている。
Next, a second embodiment in which the present invention is adopted for another purpose will be described. In the present embodiment, the maximum value storage unit 4, the minimum value storage unit 5, and the average value storage unit 6 that can store the maximum value, the minimum value, and the average value in the first embodiment described above are stored.
On the other hand, the maximum deviation value storage unit that stores the calculation result of the maximum deviation value with respect to the average value of the measurement data in the output terminal direction, and the variance σ that the measurement data in the output terminal direction is normally distributed, A distributed storage unit for storing the calculation results of 2σ and 3σ is provided.

【0025】このように最大隔たり値および分散σ、2
σ、3σの演算結果を格納する最大隔たり値格納部、お
よび分散格納部を備えることで、別の用途に使用するこ
とも可能になる。
Thus, the maximum separation value and the variance σ, 2
By providing the maximum distance value storage unit that stores the calculation results of σ and 3σ, and the distributed storage unit, it is possible to use it for another purpose.

【0026】なお、本実施例では、一階調分をまとめ
て、測定データの測定データ格納用RAM2への書き込
み、および最大値等の演算を行っていたが、出力端子番
号ごとに最大値等を求めても、同様の効果が得られるの
は明らかである。
In the present embodiment, one gradation is collected and the measured data is written in the measured data storage RAM 2 and the maximum value and the like are calculated. However, the maximum value and the like are calculated for each output terminal number. It is clear that the same effect can be obtained even if

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明によれば、測定データ格納部に一
階調または、一つの出力端子からの出力分の測定データ
が格納された時点で、最大値、最小値、平均値等を算出
・比較判定することができ、かつ、最大値、最小値、平
均値等を算出・比較判定するのと並行して、別の階調ま
たは、別の出力端子からの出力電圧を測定することがで
きるので、半導体テスト装置によるテスト時間を短縮す
ることができる。
According to the present invention, the maximum value, the minimum value, the average value, etc. are calculated at the time when one gradation or the measurement data for the output from one output terminal is stored in the measurement data storage section.・ Comparison judgment is possible, and maximum value, minimum value, average value, etc. are calculated. ・ In parallel with comparison judgment, another gradation or output voltage from another output terminal can be measured. Therefore, the test time by the semiconductor test device can be shortened.

【0028】また、全ての出力電圧の測定が完了する前
に、ある一階調または、ある一つの出力端子からの出力
分の測定データの最大値、最小値、平均値等の値が規格
を満たしていないと判定された場合、全出力電圧を測定
する必要がなくなり、テスト時間をかなり短縮すること
ができる。
Before the measurement of all the output voltages is completed, the maximum value, the minimum value, the average value, etc. of the measurement data of one gradation or the output from one output terminal conforms to the standard. If it is determined that the conditions are not satisfied, it is not necessary to measure the total output voltage, and the test time can be shortened considerably.

【0029】また、このようなテスト時間の短縮により
テストコストを下げることにもつながる。
Further, the reduction of the test time leads to the reduction of the test cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の半導体テスト装置の構成図FIG. 1 is a configuration diagram of a semiconductor test apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来の半導体テスト装置の構成図FIG. 2 is a configuration diagram of a conventional semiconductor test device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディジタイザ 2 測定データ格納用RAM 3 DSP 4 最大値格納部 5 最小値格納部 6 平均値格納部 1 Digitizer 2 RAM for measurement data storage 3 DSP 4 Maximum value storage 5 Minimum value storage 6 Average value storage

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの最大値を算出する演算部と、前記
最大値を格納する最大値格納部とを有する半導体テスト
装置。
1. A measurement data storage unit for storing measurement data of output voltage values in order according to a certain standard, and one gradation of measurement data among the measurement data stored in the measurement data storage unit. A semiconductor test device having an arithmetic unit for calculating the maximum value of the above and a maximum value storage unit for storing the maximum value.
【請求項2】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの最小値を算出する演算部と、前記
最小値を格納する最小値格納部とを有する半導体テスト
装置。
2. A measurement data storage unit for storing the measurement data for measuring the output voltage value in order according to a certain standard, and one gradation of the measurement data stored in the measurement data storage unit. And a minimum value storage unit that stores the minimum value.
【請求項3】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの平均値を算出する演算部と、前記
平均値を格納する平均値格納部とを有する半導体テスト
装置。
3. A measurement data storage unit for storing the measurement data of the output voltage value in order according to a certain standard, and one gradation of the measurement data stored in the measurement data storage unit. 2. A semiconductor test device having an arithmetic unit for calculating the average value of 1. and an average value storage unit for storing the average value.
【請求項4】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの最大値を格納する最大値格納部
と、前記一階調分の測定データの最小値を格納する最小
値格納部と、前記一階調分の測定データの平均値を格納
する平均値格納部とを有する半導体テスト装置。
4. A measurement data storage unit for storing the measurement data for measuring the output voltage value in order according to a certain standard, and one gradation of the measurement data stored in the measurement data storage unit. A maximum value storage unit for storing the maximum value of, a minimum value storage unit for storing the minimum value of the measurement data for one gradation, and an average value storage unit for storing the average value of the measurement data for one gradation. And a semiconductor test device having.
【請求項5】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの平均値を算出する演算部と、前記
平均値を格納する平均値格納部と、前記平均値格納部に
格納されている平均値に対する最大隔たり値を算出する
演算部と、前記最大隔たり値を格納する最大隔たり値格
納部とを有する半導体テスト装置。
5. A measurement data storage unit that stores the measurement data obtained by measuring the output voltage value in order according to a certain standard, and one gradation of the measurement data stored in the measurement data storage unit. Of the average value, an average value storage unit for storing the average value, an arithmetic unit for calculating the maximum distance value with respect to the average value stored in the average value storage unit, the maximum distance value Semiconductor test equipment having a maximum distance value storage for storing.
【請求項6】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち一
階調分の測定データの分散σ、2σ、3σを算出する演
算部と、前記分散σ、2σ、3σを格納する分散格納部
を有する半導体テスト装置。
6. A measurement data storage unit for storing the measurement data of the output voltage value in order according to a certain standard, and one gradation of the measurement data stored in the measurement data storage unit. A semiconductor test device having an arithmetic unit for calculating the variances σ, 2σ, and 3σ and a variance storage unit for storing the variances σ, 2σ, and 3σ.
【請求項7】 出力電圧値を測定した測定データを一定
の基準に従った順に格納する測定データ格納部と、前記
測定データ格納部に格納された前記測定データのうち同
一の出力端子から出力された測定データの最大値を格納
する最大値格納部と、前記同一の出力端子から出力され
た測定データの最小値を格納する最小値格納部と、前記
同一の出力端子から出力された測定データの平均値を格
納する平均値格納部とを有する半導体テスト装置。
7. The measurement data storage unit for storing the measurement data of the output voltage value in order according to a certain standard, and the measurement data stored in the measurement data storage unit are output from the same output terminal. The maximum value storage section for storing the maximum value of the measured data, the minimum value storage section for storing the minimum value of the measured data output from the same output terminal, and the minimum value storage section for storing the measured data output from the same output terminal. A semiconductor test device having an average value storage unit for storing an average value.
JP6138681A 1994-06-21 1994-06-21 Semiconductor device testing device Pending JPH085707A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002350510A (en) * 2001-05-30 2002-12-04 Advantest Corp Semiconductor testing apparatus
JP2002350498A (en) * 2001-05-29 2002-12-04 Advantest Corp Parallel processing method for semiconductor testing device and semiconductor testing device
CN109883467A (en) * 2017-12-06 2019-06-14 技嘉科技股份有限公司 Multi input self-regulation detector and multi input self-regulation detection method

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