JP2002350510A - Semiconductor testing apparatus - Google Patents

Semiconductor testing apparatus

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JP2002350510A
JP2002350510A JP2001162173A JP2001162173A JP2002350510A JP 2002350510 A JP2002350510 A JP 2002350510A JP 2001162173 A JP2001162173 A JP 2001162173A JP 2001162173 A JP2001162173 A JP 2001162173A JP 2002350510 A JP2002350510 A JP 2002350510A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor testing apparatus which stores data in a predetermined address of a memory without preprocessing of calculating each test to shorten a calculating time. SOLUTION: The semiconductor testing apparatus for testing an LCD driver comprises a memory map for previously designating an address for storing the data at each output pin and step voltage of the LCD driver to store the data in the address corresponding to the memory map irrespective of the capturing order of the pins and the steps of the test data.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、LCDドライバを
高速に試験できる半導体試験装置に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a semiconductor test apparatus capable of testing an LCD driver at high speed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来技術の半導体試験装置の例につい
て、図3〜図7を参照して構成と動作について説明す
る。図3に示すように、従来の半導体試験装置の要部
は、マルチプレクサ21、22、・・・2nと、デジタ
イザ31、32、・・・3nと、シリアル・パラレル変
換器41、42、・・・4nと、フリップフロップ5
1、52、・・・5nと、メモリ61、62、・・・6
nと、コンピュータ10と、制御部70と、アドレスカ
ウンタ72とで構成している。そして、半導体試験装置
は、試験プログラムを実行して被試験デバイスであるD
UT90を試験する。但し、DUT90のドライバピン
以外の入力ピンに対する半導体試験装置の構成について
は、図と説明を簡明とするため省略している。
2. Description of the Related Art The configuration and operation of an example of a conventional semiconductor test apparatus will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 3, the main parts of the conventional semiconductor test apparatus include multiplexers 21, 22,... 2n, digitizers 31, 32,... 3n, and serial / parallel converters 41, 42,. 4n and flip-flop 5
, 5n and memories 61, 62,.
n, the computer 10, the control unit 70, and the address counter 72. Then, the semiconductor test apparatus executes the test program to execute the device under test D
Test UT90. However, the configuration of the semiconductor test apparatus for input pins other than the driver pins of the DUT 90 is omitted for simplicity of the drawings and description.

【0003】DUT90としてのLCDドライバは、例
えば、128ピンのドライバ出力があり、それぞれ25
6階調のステップ電圧出力がある。
The LCD driver as the DUT 90 has, for example, a driver output of 128 pins, and each of the drivers has 25 pins.
There are six gradation step voltage outputs.

【0004】マルチプレクサ21、22、・・・2n
は、多数の入力からピン選択信号PSELにより1つを
選択して出力する選択出力手段である。例えば、DUT
90のドライバ出力ピンが128ピンの場合、8チャン
ネルの選択入力のマルチプレクサを16個(n=16)
使用する。
[0004] Multiplexers 21, 22, ... 2n
Is a selection output means for selecting and outputting one of many inputs by a pin selection signal PSEL. For example, DUT
When 90 driver output pins are 128 pins, 16 select-input multiplexers of 8 channels (n = 16)
use.

【0005】デジタイザ31、32、・・・3nは、マ
ルチプレクサ21、22、・・・2nのアナログ電圧の
出力信号をそれぞれ受けて、pビットのデジタル信号に
変換出力するAD変換手段であり、同期信号のクロック
を出力する。例えば、デジタイザ31、32、・・・3
nは、それぞれ16ビットのAD変換器を使用する。
The digitizers 31, 32,... 3n are analog-to-digital conversion means for receiving the analog voltage output signals of the multiplexers 21, 22,. Outputs the clock of the signal. For example, digitizers 31, 32,.
n uses a 16-bit AD converter.

【0006】シリアル・パラレル変換器41、42、・
・・4nは、デジタイザ31、32、・・・3nからの
図示していないクロックに同期して、それぞれ1ビット
のシリアルの信号をpビットのパラレルの信号に変換す
る手段である。例えば、シリアル・パラレル変換器4
1、42、・・・4nは、1ビットのシリアルデータを
16ビットのパラレル信号として変換出力する。
The serial / parallel converters 41, 42,.
.. 4n are means for converting 1-bit serial signals into p-bit parallel signals in synchronization with clocks (not shown) from digitizers 31, 32,. For example, a serial / parallel converter 4
, 4n convert and output 1-bit serial data as 16-bit parallel signals.

【0007】フリップフロップ51、52、・・・5n
は、シリアル・パラレル変換器41、42、・・・4n
の複数ビットのパラレルのデータをシリアルデータの終
了信号ENDの同一タイミングでそれぞれラッチ出力す
る。例えば、シリアル・パラレル変換器41、42、・
・・4nの16ビットのパラレルのデータをラッチして
16ビットのデータとして出力する。
The flip-flops 51, 52,... 5n
Are serial-parallel converters 41, 42,... 4n
Are latched and output at the same timing of the serial data end signal END. For example, serial / parallel converters 41, 42,.
.. 4n 16-bit parallel data is latched and output as 16-bit data.

【0008】メモリ61、62、・・・6nは、フリッ
プフロップ51、52、・・・5nのpビットの出力デ
ータをアドレスカウンタ72からのアドレス信号による
アドレスの番地にそれぞれ格納する。
The memories 61, 62,..., 6n store the p-bit output data of the flip-flops 51, 52,.

【0009】コンピュータ10は、メモリ61、62、
・・・6nのデータをバス100を介して読み出して、
演算解析処理する演算手段である。
The computer 10 has memories 61, 62,
... Reading out 6n data via the bus 100,
This is an arithmetic means for performing arithmetic analysis processing.

【0010】制御部70は、初期化信号INITと、ピ
ン選択信号PSELと、シリアルデータの終了信号EN
Dを出力する。
The control unit 70 includes an initialization signal INIT, a pin selection signal PSEL, and a serial data end signal EN.
D is output.

【0011】アドレスカウンタ72は、制御部70から
の初期化信号INITでカウンタをクリヤして、シリア
ルデータの終了END信号でインクリメントしたアドレ
スを出力する。
The address counter 72 clears the counter by the initialization signal INIT from the control unit 70 and outputs an address incremented by the end END signal of the serial data.

【0012】次に、DUT90としてLCDドライバの
ドライバ出力ピンを試験する場合の試験項目である階調
偏差試験と、セットリング試験とについて説明する。図
4は、LCDドライバの出力ピンの8ピン分についての
階調偏差特性例であり、また図5はセットリング試験の
特性例である。
Next, a description will be given of a gradation deviation test and a settling test, which are test items when testing a driver output pin of an LCD driver as the DUT 90. FIG. 4 is an example of gradation deviation characteristics for eight output pins of the LCD driver, and FIG. 5 is an example of characteristics of a settling test.

【0013】階調偏差試験(ピン・インクリメント試
験)は、LCDドライバのすべての出力ピンの各階調の
平均電圧に対して、各出力ピンの偏差が所定の電圧範囲
かどうかを試験する。例えば、ある階調において、すべ
てのドライバ出力電圧を測定し、平均電圧を演算しても
とめ、その平均電圧を基準として±10mVの範囲に入
っていればパスとする。
The gradation deviation test (pin increment test) tests whether the deviation of each output pin is within a predetermined voltage range with respect to the average voltage of each gradation of all output pins of the LCD driver. For example, in a certain gradation, all driver output voltages are measured, an average voltage is calculated, and if the average voltage is within a range of ± 10 mV, a pass is determined.

【0014】セットリング試験(ステップ・インクリメ
ント試験)は、LCDドライバのあるピンに、ある階調
を設定し、規定時間内に、LCDドライバの出力電圧
が、設定値通りの値になっているかを試験する。例え
ば、下記試験手順でセットリング試験をする。 (1)階調を設定する。 (2)規定時間待つ。 (3)LCDドライバの出力電圧を測定する。 (4)設定値±許容値であるかないかで、判定する。
In the settling test (step increment test), a certain gradation is set to a certain pin of the LCD driver, and it is checked whether the output voltage of the LCD driver has reached a set value within a specified time. test. For example, a settling test is performed according to the following test procedure. (1) Set the gradation. (2) Wait for the specified time. (3) Measure the output voltage of the LCD driver. (4) It is determined whether or not the set value is within the allowable range.

【0015】次に、階調偏差試験と、セットリング試験
とによりメモリ61、62、・・・6nに格納する内容
について説明する。
Next, the contents stored in the memories 61, 62,... 6n by the gradation deviation test and the settling test will be described.

【0016】最初に、LCDドライバの階調偏差試験の
場合について説明する。階調電圧のステップ1におい
て、図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2n
は、それぞれ1番目()から8番目()を選択出力
した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図6
(a)のステップ1の列に示すように格納される。
First, the case of the gradation deviation test of the LCD driver will be described. In step 1 of the gradation voltage, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG.
, 6n, when the first () through the eighth () are selected and output, respectively, the memories 61, 62,.
It is stored as shown in the column of step 1 of (a).

【0017】そして、階調電圧のステップ2において、
図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、
それぞれ1番目()から8番目()を選択出力した
場合、メモリ61、62、・・・6nは、図6(a)の
ステップ2の列に示すように格納される。
Then, in step 2 of the gradation voltage,
2n shown in FIG.
When the first () to eighth () are selected and output, the memories 61, 62,..., 6n are stored as shown in the column of step 2 in FIG.

【0018】同様に、階調電圧のステップmにおいて、
図3に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、
それぞれ1番目()から8番目()を選択出力した
場合、メモリ61、62、・・・6nは、図6(a)の
ステップmの列に示すように格納される。
Similarly, in the step m of the gradation voltage,
2n shown in FIG.
.. 6n are stored as shown in the column of step m in FIG. 6 (a).

【0019】そして、図6に示すメモリ61、62、・
・・6nに格納されたデータは、図3に示すバス100
を介して、コンピュータ10により演算をおこなう前処
理として図6(b)に示すように、ピン1〜128ピン
のステップ1をアドレス順に並べ、同様にステップmま
でアドレス順に並べ変えてコンピュータ10のメモリに
格納して偏差試験の演算を行いやすくする。
The memories 61, 62,... Shown in FIG.
.. The data stored in 6n is stored in the bus 100 shown in FIG.
As shown in FIG. 6 (b), step 1 of pins 1 to 128 is arranged in order of address as shown in FIG. To facilitate the calculation of the deviation test.

【0020】次に、LCDドライバのセットリング試験
の場合について説明する。図3に示すマルチプレクサ2
1、22、・・・2nは、それぞれ1番目()を選択
出力し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメン
ト出力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図
7(a)のMPXの列に示すように格納される。
Next, the case of the settling test of the LCD driver will be described. Multiplexer 2 shown in FIG.
, 2n respectively select and output the first (), and when the gradation voltages are incremented from step 1 to step m, the memories 61, 62,. Is stored as shown in the column of MPX.

【0021】そして、図3に示すマルチプレクサ21、
22、・・・2nは、それぞれ2番目()を選択出力
し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出
力した場合、メモリ61、62、・・・6nは、図7
(a)のMPXの列に示すように格納される。
The multiplexer 21 shown in FIG.
, 2n respectively select and output the second (), and when the gradation voltages are incremented from step 1 to m, the memories 61, 62,.
It is stored as shown in the column of MPX in (a).

【0022】同様に、ステップmにおいて、図3に示す
マルチプレクサ21、22、・・・2nは、それぞれ8
番目()を選択出力し、階調電圧のステップ1からm
までインクリメント出力した場合、メモリ61、62、
・・・6nは、図7(a)のMPXの列に示すように
格納される。
Similarly, in step m, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG.
(M) is selected and output, and steps 1 to m
When the output is incremented up to, the memories 61, 62,
.. 6n are stored as shown in the column of MPX in FIG.

【0023】そして、図7に示すメモリ61、62、・
・・6nに格納されたデータは、図3に示すバス100
を介して、コンピュータ10により演算をおこなう前処
理として図7(b)に示すように、ピン1〜128ピン
のステップ1をアドレス順に並べ、同様にステップmま
でアドレス順に並べ変えてコンピュータ10のメモリに
格納してセットリング試験の演算を行いやすくする。
The memories 61, 62,... Shown in FIG.
.. The data stored in 6n is stored in the bus 100 shown in FIG.
As shown in FIG. 7B, step 1 of pins 1 to 128 is arranged in the order of addresses as shown in FIG. To facilitate the calculation of the settling test.

【0024】つまり、従来の半導体試験装置は、測定す
る順でメモリのアドレスの番地へ格納するので、ピン番
号とステップ数の格納アドレスの番地がその都度異な
る。そのため、各試験の演算の前処理として、ピンとス
テップに対応した所定のアドレスの番地に並べ換えて演
算処理しやすくしている。
In other words, the conventional semiconductor test apparatus stores the addresses of the memory in the order of measurement in the order of measurement, so that the pin number and the address of the storage address of the step number are different each time. For this reason, as pre-processing for the operation of each test, the data is rearranged into addresses of predetermined addresses corresponding to the pins and the steps, so that the arithmetic processing is facilitated.

【0025】[0025]

【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、従
来の半導体試験装置は、各試験の演算の前処理として所
定のアドレス順に並べ換えて演算処理をしやすくしてい
る。そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなされたも
ので、その目的は、各試験の演算の前処理無しに、メモ
リの所定のアドレスの番地へ格納させて演算時間を短縮
した半導体試験装置を提供することにある。
As described above, the conventional semiconductor test apparatus rearranges the order of predetermined addresses as a pre-processing for the operation of each test to facilitate the arithmetic processing. Accordingly, the present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a semiconductor test apparatus in which a calculation time is shortened by storing data in a predetermined address of a memory without preprocessing for calculation of each test. Is to do.

【0026】[0026]

【課題を解決するための手段】即ち、上記目的を達成す
るためになされた本発明の第1は、LCDドライバを試
験する半導体試験装置において、LCDドライバの出力
ピンとステップ電圧毎にデータを格納するアドレスの番
地をあらかじめ指定したメモリマップを設け、試験デー
タのピンとステップの取り込み順に関係無く、該メモリ
マップの対応するアドレスの番地に格納することを特徴
とした半導体試験装置を要旨としている。
That is, a first aspect of the present invention, which has been made to achieve the above object, is to store data for each output pin of an LCD driver and a step voltage in a semiconductor test apparatus for testing an LCD driver. A gist of the present invention is a semiconductor test apparatus characterized by providing a memory map in which addresses are specified in advance, and storing the addresses in the addresses of the corresponding addresses in the memory map irrespective of the order of taking in the pins and steps of the test data.

【0027】また、上記目的を達成するためになされた
本発明の第2は、LCDドライバの複数のドライバ出力
を受けてピン選択信号により1つを選択出力するマルチ
プレクサと、該マルチプレクサ出力を受けてデジタルデ
ータに変換するn個のデジタイザと、該デジタイザのシ
リアル出力を複数ビットのパラレル出力に変換するn個
のシリアル・パラレル変換器と、該シリアル・パラレル
変換器の複数ビットのパラレル出力を受けてシリアルデ
ータの終了信号でラッチ出力するn個のフリップフロッ
プと、を設けて、LCDドライバを試験する半導体試験
装置において、前記n個のフリップフロップの各複数ビ
ットの出力を受けて、チャンネル選択信号で1つのフリ
ップフロップの複数ビットを選択出力するマルチプレク
サと、該チャンネル選択信号を受けて、前記ピン選択信
号に同期してアドレスを発生するアドレス発生部と、該
アドレス信号を受けて前記マルチプレクサの複数ビット
の出力を格納するメモリと、を具備したことを特徴とし
た半導体試験装置を要旨としている。
A second aspect of the present invention to achieve the above object is a multiplexer that receives a plurality of driver outputs of an LCD driver and selects and outputs one according to a pin selection signal, and a multiplexer that receives the multiplexer output. N digitizers for converting to digital data, n serial-to-parallel converters for converting the serial output of the digitizer to a multi-bit parallel output, and receiving the multi-bit parallel output of the serial-to-parallel converter A semiconductor test apparatus for testing an LCD driver by providing an n number of flip-flops that latch and output a serial data end signal. A multiplexer for selecting and outputting a plurality of bits of one flip-flop; An address generation unit that receives a selection signal and generates an address in synchronization with the pin selection signal, and a memory that receives the address signal and stores a plurality of bits of output of the multiplexer. The gist is a semiconductor test device.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】本発明の半導体試験装置の例につ
いて、図1と、図2と、図4と、図5を参照して構成と
動作について説明する。図1に示すように、本発明の半
導体試験装置の要部は、コンピュータ10と、マルチプ
レクサ21、22、・・・2nと、デジタイザ31、3
2、・・・3nと、シリアル・パラレル変換器41、4
2、・・・4nと、フリップフロップ51、52、・・
・5nと、メモリ60と、制御部71と、マルチプレク
サ20と、アドレス発生部73とで構成している。そし
て、半導体試験装置は、試験プログラムを実行して被試
験デバイスであるDUT90を試験する。但し、DUT
90のドライバピン以外の入力ピンに対する半導体試験
装置の構成については、従来技術の説明と同様に図と説
明を簡明とするため省略している。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The configuration and operation of an example of a semiconductor test apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. 1, FIG. 2, FIG. 4, and FIG. As shown in FIG. 1, the essential parts of the semiconductor test apparatus of the present invention include a computer 10, multiplexers 21, 22,... 2n, digitizers 31,
2, 3n and serial / parallel converters 41, 4
2, 4n and flip-flops 51, 52,.
5n, a memory 60, a control unit 71, a multiplexer 20, and an address generation unit 73. Then, the semiconductor test apparatus executes the test program to test the DUT 90 as the device under test. However, DUT
The configuration of the semiconductor test apparatus for input pins other than the 90 driver pins is omitted for the sake of simplicity of the drawing and the description, similarly to the description of the prior art.

【0029】DUT90としてのLCDドライバは、例
えば、128チャンネル、8192階調のドライバの出
力ピンがある。
The LCD driver as the DUT 90 has, for example, an output pin of a driver of 128 channels and 8192 gradations.

【0030】マルチプレクサ21、22、・・・2n
と、デジタイザ31、32、・・・3nと、シリアル・
パラレル変換器41、42、・・・4nと、フリップフ
ロップ51、52、・・・5nとは従来技術の構成要素
と同様であるので説明を省略する。
Multiplexers 21, 22,... 2n
, Digitizers 31, 32,.
The parallel converters 41, 42,... 4n and the flip-flops 51, 52,.

【0031】マルチプレクサ20は、フリップフロップ
51、52、・・・5nのnチャンネルのpビットの出
力を受けて、チャンネル選択信号CHSEL(0、1、
2、・・・(n−1))により1つのチャンネルのpビ
ットを選択出力する。
The multiplexer 20 receives the n-channel p-bit outputs of the flip-flops 51, 52,... 5n, and receives the channel selection signals CHSEL (0, 1,.
, (N-1)), and selectively outputs p bits of one channel.

【0032】メモリ60は、マルチプレクサ20のpビ
ットの出力データをアドレス発生部73からのアドレス
信号によるアドレスの番地へそれぞれ格納する。
The memory 60 stores the p-bit output data of the multiplexer 20 at the address of the address according to the address signal from the address generator 73.

【0033】コンピュータ10は、メモリ60のデータ
をバス100を介して読み出して、演算解析処理する演
算手段である。
The computer 10 is an arithmetic means for reading data from the memory 60 via the bus 100 and performing arithmetic analysis processing.

【0034】制御部71は、初期化信号INITと、ピ
ン選択信号PSELと、シリアルデータの終了信号EN
Dと、チャンネル選択信号CHSELを出力する。
The control unit 71 includes an initialization signal INIT, a pin selection signal PSEL, and a serial data end signal EN.
D and a channel selection signal CHSEL.

【0035】アドレス発生部73は、制御部71からの
初期化信号INITと、ピン選択信号PSELと、シリ
アルデータの終了信号ENDと、チャンネル選択信号C
HSELとでピン選択信号とチャンネル選択信号と同期
したアドレスを発生する。
The address generator 73 includes an initialization signal INIT from the controller 71, a pin selection signal PSEL, a serial data end signal END, and a channel selection signal C.
The HSEL generates an address synchronized with the pin selection signal and the channel selection signal.

【0036】例えば、図2に示すように、DUT90の
ドライバ出力を128ピンとして階調電圧の最大ステッ
プをmとしたとき、階調電圧のステップ1の1ピンデー
タから128ピンデータ、次に階調電圧のステップ2の
1ピンデータから128ピンデータ、同様にして階調電
圧のステップmの1ピンデータから128ピンデータま
でをアドレス順に格納する。つまり、デバイスのピンと
階調電圧のステップに対応して格納するアドレスをあら
かじめメモリマップとして決めている。従って、試験出
力ピンと試験するステップのデータ取り込み順序が違っ
ても、同じピンと同じステップに対して、アドレス発生
部73から同一のアドレスを発生させる。
For example, as shown in FIG. 2, when the driver output of the DUT 90 is 128 pins and the maximum step of the gradation voltage is m, the 1st pin data of the gradation voltage step 1 is converted to the 128 pin data, The 1st pin data to the 128th pin data of step 2 of the adjustment voltage and the 1st pin data to the 128th pin data of the step m of the gradation voltage are stored in the order of addresses. That is, the addresses to be stored corresponding to the device pins and the steps of the gradation voltage are determined in advance as a memory map. Therefore, the same address is generated from the address generation unit 73 for the same pin and the same step, even if the test output pin and the data acquisition order of the test step are different.

【0037】次に、階調偏差試験と、セットリング試験
とによりメモリ60に格納する例で説明する。
Next, an example in which data is stored in the memory 60 by a gradation deviation test and a settling test will be described.

【0038】階調偏差試験(ピン・インクリメント試
験)と、セットリング試験(ステップ・インクリメント
試験)の定義については、従来技術において説明したの
で、説明を省略する。
The definitions of the gradation deviation test (pin increment test) and the settling test (step increment test) have already been described in the prior art, and therefore the description is omitted.

【0039】最初に、LCDドライバの階調偏差試験の
場合について説明する。階調電圧のステップ1におい
て、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2n
は、それぞれ1番目()を選択出力し、マルチプレク
サ20はフリップフロップ51からフリップフロップ5
nまでのpビットの出力を順次選択出力する場合、メモ
リ60は、図2に示すように、ピン1のステップ1(1
−1)、ピン9のステップ1、・・・ピン121ピンの
ステップ1(121−1)の各対応アドレスの番地に順
次格納される。
First, the case of the gradation deviation test of the LCD driver will be described. In step 1 of the gradation voltage, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG.
Respectively select and output the first (), and the multiplexer 20 outputs the flip-flop 51 to the flip-flop 5.
When sequentially selecting and outputting p-bit outputs up to n, the memory 60, as shown in FIG.
-1), step 1 of pin 9,..., Are sequentially stored at the addresses of the corresponding addresses in step 1 (121-1) of pin 121.

【0040】そして、階調電圧のステップ1において、
図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2nは、
それぞれ2番目()を選択出力し、マルチプレクサ2
0はフリップフロップ51からフリップフロップ5nま
でのpビットの出力を選択出力する場合、メモリ60
は、図2に示すように、ピン2のステップ1(2−
1)、ピン10のステップ1(10−1)、・・・ピン
122ピンのステップ1(122−1)の各対応アドレ
スの番地に格納される。
Then, in step 1 of the gradation voltage,
The multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG.
The second () is selected and output, and multiplexer 2 is output.
0 selects and outputs a p-bit output from the flip-flop 51 to the flip-flop 5n.
As shown in FIG. 2, step 1 (2-
1), step 1 (10-1) of pin 10,... Are stored in the addresses of the corresponding addresses of step 1 (122-1) of pin 122.

【0041】以下同様に、階調電圧のステップ1におい
て、図1に示すマルチプレクサ21、22、・・・2n
は、それぞれ8番目()を選択出力し、マルチプレク
サ20はフリップフロップ51からフリップフロップ5
nまでのpビットの出力を選択出力する場合、メモリ6
0は、図2に示すように、ピン8のステップ1(8−
1)、ピン16のステップ1(16−1)、・・・ピン
128ピンのステップ1(128−1)の各対応アドレ
スの番地に格納される。
Similarly, in step 1 of the gradation voltage, the multiplexers 21, 22,... 2n shown in FIG.
Respectively select and output the eighth (), and the multiplexer 20 outputs the flip-flop 51 to the flip-flop 5.
When selecting and outputting p-bit outputs up to n, the memory 6
0 indicates the step 1 (8-) of the pin 8 as shown in FIG.
1), step 1 (16-1) of pin 16,... Are stored at the addresses of the corresponding addresses of step 1 (128-1) of pin 128.

【0042】以上により、階調偏差試験のステップ1に
おけるピン1〜ピン128までのpビットのデータがア
ドレス順にメモリ60に格納される。同様に、ステップ
2からステップmまでの各データが、図2に示すよう
に、あらかじめメモリマップとして決められたアドレス
の番地に格納される。
As described above, the p-bit data of the pins 1 to 128 in the step 1 of the gradation deviation test is stored in the memory 60 in the order of the addresses. Similarly, as shown in FIG. 2, each data from step 2 to step m is stored at an address of a predetermined address as a memory map.

【0043】次に、LCDドライバのセットリング試験
の場合について説明する。図1に示すマルチプレクサ2
1、22、・・・2nは、それぞれ1番目()を選択
し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出
力させて、マルチプレクサ20はフリップフロップ51
を選択出力し、メモリ60は、図2に示すように、ピン
1のステップ1、ピン1のステップ2、・・・ピン1の
ステップmまでデータを格納する。
Next, the case of the settling test of the LCD driver will be described. Multiplexer 2 shown in FIG.
.., 2n select the first () and increment and output the gradation voltage from step 1 to m.
, And the memory 60 stores data up to the step 1 of the pin 1, the step 2 of the pin 1,..., The step m of the pin 1, as shown in FIG.

【0044】そして、図1に示すマルチプレクサ21、
22、・・・2nは、それぞれ1番目()を選択し、
階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出力さ
せて、マルチプレクサ20はフリップフロップ52を選
択出力し、メモリ60は、図2に示すように、ピン9の
ステップ1、ピン9のステップ2、・・・ピン9のステ
ップmまでデータを格納する。
The multiplexer 21 shown in FIG.
22,... 2n each select the first (),
The gradation voltage is incremented from step 1 to step m, the multiplexer 20 selects and outputs the flip-flop 52, and the memory 60 stores the step 1 of the pin 9 and the step 2 of the pin 9 as shown in FIG. -Store data up to step m of pin 9.

【0045】同様にして、図1に示すマルチプレクサ2
1、22、・・・2nは、それぞれ1番目()を選択
し、階調電圧のステップ1からmまでインクリメント出
力させて、マルチプレクサ20はフリップフロップ5n
を選択出力し、メモリ60は、図2に示すように、ピン
121のステップ1、ピン121のステップ2、・・・
ピン121のステップmまでデータを格納する。
Similarly, the multiplexer 2 shown in FIG.
, 2n select the first () and increment and output the gradation voltage from step 1 to m, and the multiplexer 20 outputs the flip-flop 5n.
, And the memory 60 stores the step 1 of the pin 121, the step 2 of the pin 121,... As shown in FIG.
Data is stored up to the step m of the pin 121.

【0046】以下同様に、図1に示すマルチプレクサ2
1、22、・・・2nは、それぞれ2番目()から8
番目()を選択した動作も上記と同様にしておこな
い、図2に示すように、メモリ60のメモリマップにお
いて、所定のピンとステップのアドレスの番地に格納さ
れる。
Similarly, the multiplexer 2 shown in FIG.
1, 22,... 2n are the second () to 8 respectively.
The operation of selecting the (th) is performed in the same manner as described above, and is stored in the memory map of the memory 60 at the address of a predetermined pin and step address as shown in FIG.

【0047】つまり、本発明の半導体試験装置は、あら
かじめ決められたメモリマップのアドレスの番地へ直接
格納するので、試験項目の取り込み順序に関わらずピン
番号とステップ数に対応したメモリの格納アドレスの番
地が同じとなり、擬似的にドライバ出力ピン毎に独立の
デジタイザを設けた(パーピンデジタイザ)のと同じ効
果となる。従って、各試験の演算処理をする場合に、所
定のアドレス順に並べ換える前処理が不要となり演算処
理時間が短縮できる。
In other words, the semiconductor test apparatus of the present invention stores data directly in the address of a predetermined memory map, so that the storage address of the memory corresponding to the pin number and the number of steps is irrespective of the order in which test items are fetched. The addresses are the same, which is the same effect as providing an independent digitizer for each driver output pin in a pseudo manner (per pin digitizer). Therefore, when performing the arithmetic processing of each test, the preprocessing for rearranging the addresses in a predetermined order is unnecessary, and the arithmetic processing time can be reduced.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
本発明の半導体試験装置は、メモリへあらかじめ決めら
れたメモリマップのアドレスへ直接格納するので、試験
項目の取り込み順序に関わらずピン番号とステップ数に
対応した格納アドレスが同じとなる。従って、各試験の
演算処理する場合に、所定のアドレス順に並べ換える前
処理が不要となり演算処理時間が短縮できる効果があ
る。
The present invention is embodied in the form described above and has the following effects. That is,
In the semiconductor test apparatus of the present invention, since the data is directly stored in the memory at a predetermined address of the memory map, the storage address corresponding to the pin number and the number of steps is the same regardless of the order in which the test items are fetched. Therefore, when performing the arithmetic processing of each test, there is no need to perform the pre-processing of rearranging the addresses in a predetermined order, and thus there is an effect that the arithmetic processing time can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の半導体試験装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor test apparatus according to the present invention.

【図2】本発明の半導体試験装置のメモリマップの図で
ある。
FIG. 2 is a diagram of a memory map of the semiconductor test device of the present invention.

【図3】従来の半導体試験装置のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a conventional semiconductor test apparatus.

【図4】LCDドライバの階調偏差試験のデータ図であ
る。
FIG. 4 is a data diagram of a gradation deviation test of an LCD driver.

【図5】LCDドライバのセットリング試験のデータ図
である。
FIG. 5 is a data diagram of a settling test of an LCD driver.

【図6】従来の半導体試験装置の偏差試験のメモリ格納
図である。
FIG. 6 is a memory storage diagram of a deviation test of a conventional semiconductor test apparatus.

【図7】従来の半導体試験装置のセットリング試験のメ
モリ格納図である。
FIG. 7 is a memory storage diagram of a settling test of a conventional semiconductor test apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 コンピュータ 20 マルチプレクサ 21、22、・・・2n マルチプレクサ 31、32、・・・3n デジタイザ 41、42、・・・4n シリアル・パラレル変換器 51、52、・・・5n フリップフロップ 60 メモリ 61、62、・・・6n メモリ 70、71 制御部 72 アドレスカウンタ 73 アドレス発生部 90 DUT 100 バス 10 Computer 20 Multiplexers 21, 22, ... 2n Multiplexers 31, 32, ... 3n Digitizers 41, 42, ... 4n Serial / parallel converters 51, 52, ... 5n Flip-flops 60 Memory 61, 62 6n memories 70, 71 control unit 72 address counter 73 address generation unit 90 DUT 100 bus

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 LCDドライバを試験する半導体試験装
置において、 試験データを格納する メモリのアドレスを、 LCDドライバの出力ピン番号とステップ電圧番号とに
より行う事を特徴とする試験データ格納アドレス指定方
法。
1. A test data storage address specifying method in a semiconductor test apparatus for testing an LCD driver, wherein an address of a memory for storing test data is determined by an output pin number and a step voltage number of the LCD driver.
【請求項2】 LCDドライバの複数のドライバ出力を
受けてピン選択信号により1つを選択出力するマルチプ
レクサと、 該マルチプレクサ出力を受けてデジタルデータに変換す
るn個のデジタイザと、 該デジタイザのシリアル出力を複数ビットのパラレル出
力に変換するn個のシリアル・パラレル変換器と、 該シリアル・パラレル変換器の複数ビットのパラレル出
力を受けてシリアルデータの終了信号でラッチ出力する
n個のフリップフロップと、 を設けて、LCDドライバを試験する半導体試験装置に
おいて、 前記n個のフリップフロップの各複数ビットの出力を受
けて、チャンネル選択信号で1つのフリップフロップの
複数ビットを選択出力するマルチプレクサと、 該チャンネル選択信号を受けて、前記ピン選択信号に同
期してアドレスを発生するアドレス発生部と、 該アドレス信号を受けて前記マルチプレクサの複数ビッ
トの出力を格納するメモリと、 を具備したことを特徴とした半導体試験装置。
2. A multiplexer that receives a plurality of driver outputs of an LCD driver and selects and outputs one according to a pin selection signal; n digitizers that receive the multiplexer output and convert the digital data into digital data; and a serial output of the digitizer. N serial-to-parallel converters for converting the data into a parallel output of a plurality of bits, n flip-flops for receiving the parallel output of the plurality of bits of the serial-parallel converter and latching and outputting the serial data end signal, A multiplexer for receiving an output of each of the plurality of bits of the n flip-flops and selecting and outputting a plurality of bits of one flip-flop by a channel selection signal; Receiving the selection signal, the address is synchronized with the pin selection signal. And a memory for receiving the address signal and storing a plurality of bits of the output of the multiplexer.
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