JP4775763B2 - ガスバリアフィルム - Google Patents
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したがって本発明によれば、水蒸気バリア性に優れかつ高透明性を合わせ持つ、ガスバリアフィルムを提供することができる。
図1は本発明のガスバリアフィルムを説明する断面図である。図1における基材(1)は透明プラスチック材料からなるプラスチック基材であり、基材上にプラズマCVD法による酸化珪素膜(2)を成膜したものである。これより、プラスチック基材および、酸化珪素膜について順に説明する。
本発明に用いられる透明プラスチック基材はバリア層の透明性を生かすために透明なフィルムが好ましい。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム(PC)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリアリレートフィルム、ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィンフィルムや、環状シクロオレフィンを含むシクロオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリイミドフィルム等が用いられ、延伸、未延伸のどちらでも良く、また機械的強度や寸法安定性を有するものが良い。これらをフィルム状に加工して用いられる。二軸方向に任意に延伸されていても問題ない。またこの基材の表面に、周知の種々の添加剤や安定剤、例えば帯電防止剤、紫外線防止剤、可塑剤、滑剤などが使用されていても良く、薄膜との密着性を良くするために、プライマー層を設けたり、前処理としてコロナ処理、低温プラズマ処理、イオンボンバード処理を施したりしておいても良く、さらに薬品処理、溶剤処理などを施しても良い。
本発明のガスバリア膜として成膜されるのはシラン化合物を出発原料に用いたプラズマCVD法により形成された酸化珪素膜(SiOx)であり、上記基材の片面または両面に成膜することができる。またプラスチック基材の特徴を活かした巻き取り式による連続蒸着を行うことできる、巻き取り式の真空成膜装置を用いることが好ましい。
図2はその概略図である。本透明ガスバリアフィルムを作成する真空成膜装置(3)には、ウエブ状のプラスチック基材の巻出し・巻き取り室(4)に、トルクモータ等の一定の張力にて巻き取り可能な巻き取り手段をもつ巻取り軸(7)、かつパウダークラッチ等のトルク制御手段により一定のバックテンションをかけつつウエブ状のプラスチックフィルム基材(8)の巻出しを可能にする巻出し軸(6)、プラスチック基材の走行を規制する複数のアイドルローラ(11、12)、適宣にフィードバックを行うための張力検出器を具備したテンションロール(13、14)、フィルム表面の温度を監視するための温度センサー(15、16)を有しており、また成膜室(5)には、成膜時のフィルム表面の温度をコントロールし、表面に膜を形成するための温調入り成膜ドラム(17)、プロセスガスまたは原料ガスを導入するシャワーヘッドをもつプラズマCVD用の電極(18)からなる成膜部を配置することによりなる真空成膜装置である。符号9はウエブ状のプラスチックフィルム原反であり、符号10はウエブ状の成膜済みフィルムである。今回例として示したのは巻き取り式の真空成膜装置の例であるが、その他のバッチ式の成膜装置でも全く問題はない。プラズマ発生法としては直流(DC)プラズマ、低周波プラズマ、高周波(RF)プラズマ、パルス波プラズマ、3極構造プラズマ、マイクロ波プラズマ等の低温プラズマ発生装置が用いられる。
酸化珪素膜(SiOx)のxの値を、1.9-2.1と規定したのは化学量論であるSiO2に近い組成が、バリア膜には必要であることが判明したためであり、1.9-2.1を外れると、化学量論を外れ、余剰なボンドが発生し、バリア性の発現が難しくなる。また1.9を下回ると珪素過剰な膜となり、膜の着色の恐れがあるため好ましくない。また、得られた水素濃度を30%以下とすることにより欠陥の少ないSiOx膜が得られると考えられる。SiOxのxの値のみで規定した場合、珪素と酸素の比は2に近づいたとしても、その構造の特定は難しい。それは、膜中にSi-H結合や、SiO-H結合など、水素を含む構造が考えられ、構造的に欠陥と考えられる。そこで水素存在量を規定することにより、これらの欠陥を少なくすることが可能であり高いバリア性の発現が期待できる。
厚さ100μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを基材として、図2に示す巻き取り式プラズマCVD成膜装置の巻出し部にセットし、真空ポンプで排気し、巻き取り式プラズマCVD成膜装置内部を、5×10-5torrにまで減圧をした。つぎにヘキサメチルジシロキサン(HMDSO):酸素=10:100となるように混合した原料ガスを、成膜室の各電極表面のシャワーヘッドより導入し、成膜室内部を2×10-2torrとした。続いて、各電極に13.56MHzの高周波を0.5kW印可し、プラズマを発生させた。続いてPETフィルムを0.3m/minで走行させて成膜を行った。そのとき得られた酸化珪素膜の膜厚は100nmであった。このようにして本発明の目的であるガスバリアフィルム1を得た。なお、実施例1は参考例である。
実施例1において、各電極に印加した高周波電力を1.0kWとし、HMDSO:酸素比=15:100とし、また酸化珪素膜の膜厚が100nmとなるようにラインスピードを調節して、本発明の目的であるガスバリアフィルム2を得た。
実施例1において、 HMDSO:酸素比=15:100とし、また酸化珪素膜の膜厚が100nmとなるようにラインスピードを調節して、酸化珪素を成膜したフィルムを得た。
実施例2において、 HMDSO:酸素比=20:100とし、また酸化珪素膜の膜厚が100nmとなるようにラインスピードを調節して、酸化珪素を成膜したフィルムを得た。
Claims (1)
- プラスチック基材の片面または両面にヘキサメチルジシロキサンを出発原料に用いたプラズマCVD法により形成された酸化珪素(SiOx)膜を有するガスバリアフィルムであって、前記酸化珪素膜は、xの値が2.01であり、屈折率が1.468であり、さらに膜中の水素原子の割合が15%であることを特徴とするガスバリアフィルム。
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