JP4775699B2 - レーザによる両面溝加工装置及び両面溝加工方法 - Google Patents
レーザによる両面溝加工装置及び両面溝加工方法 Download PDFInfo
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Description
従って、本発明は、レーザを用いた両面溝加工装置および両面溝加工方法において、設備費用を特に増大させることなく、両面の溝性状の変動が少ない両面溝を形成することができる加工装置および加工方法を提供することを目的としている。
また、本発明における前記第一ノズルと第二ノズルは、その軸心がレーザ光軸を含んだ移動方向に平行な平面内にあって、被加工物の表裏面を挟んで対称に配設されていれば好ましい。
さらに、本発明においては、前記レーザヘッドの先端部にアシストガスを噴出して前記レーザヘッド内部を保護する保護ノズルが取り付けられていれば好ましい。
また、本発明においては、前記第一ノズルはその軸心が前記レーザ光の光軸と同軸になるように前記レーザヘッドの先端部に取り付けられ、前記第二ノズルはその軸心が前記第一ノズルと同軸になるように配設されることが好ましい。
さらに、本発明における前記第一ノズルは、前記レーザヘッドに対し独立に位置調整可能なことが好ましい。
図1〜3をもとに、実施の形態1におけるレーザ加工装置100の概略構成と、その溝加工方法を説明する。
レーザ加工装置100は固定設置され、被加工物としての長尺状の薄板材10が連続的に送られる(X方向)。薄板材10の表面側の上方にはレーザ光2を照射するレーザヘッド16が配置され、ファイバーケーブル15を介してレーザ発振機14と接続されている。レーザ光2は連続波或いはパルス波などを用いることができる。レーザヘッド16は、レーザ光2が薄板材10の表面に垂直(Z方向)に照射されるような姿勢で、レーザの焦点位置及び溝形成位置の調整用にXYZの3軸方向にねじ送り等で移動できる第一の位置制御手段(図示せず)に取り付けられている。レーザヘッド16の先端部には、薄板材10の表面に第一のアシストガス3を噴射するための第一のノズル1が、その軸心31がレーザ光軸21と一致するように取り付けられている。第一ノズル1の側面にはアシストガス用配管17aが接続されており、第一のアシストガス源19aから供給される第一のアシストガス3が先端開口部から噴出される。アシストガス用配管17aの途中には、圧力調整弁18a、電磁開閉弁22aが設けられ、第一アシストガス3の圧力と噴射タイミングが制御可能となっている。
まず、前記第一の位置制御手段と第二の位置制御手段により、レーザヘッド16と第二ノズル4の位置を調整しておく。レーザ光2は、薄板材10の表面に垂直に照射され厚さ方向中央付近に焦点が合わせられる。この時、第一ノズルの軸芯31は薄板材10表面にほぼ直交するようになるが、第二ノズル4の軸心41を第一ノズル1の軸芯31と同芯になるように調整することが重要である。各ノズルの先端と薄板材10面までの距離も重要であり、所定隙間となるように調整する。なお、レーザ光2を薄板材10の厚さ方向中央部に焦点合わせした時、厚さによっては第一ノズル先端は所定位置とならないこともあるので、第一ノズル1はレーザヘッド16に対し独立してZ方向に位置調整可能になるように取り付けられることが望ましい。
前記実施の形態1で、レーザヘッド16の先端部に第一ノズル1を取り付けた構成を説明したが、図4に示すようにレーザヘッド16と第一ノズル1を分離した構成とすることもできる。この場合も、レーザヘッド16は、レーザ光2が薄板材10の表面に垂直に照射されるよう配設される。レーザヘッド16は、実施の形態1におけると同様、内部の機器が飛散物等から保護されることが望ましく、先端部に第一ノズル1と同様の保護ノズル1aを取り付け、内部機器保護用のアシストガスを噴出すようにすることが望ましい。第一ノズル1は、軸心31がレーザ光軸を含んで薄板材10の進行方向(X方向)に平行な平面(XZ)内にあって進行方向に対して傾斜し、第一アシストガス3が溶融部11の表面に斜めから噴射されるように配設される。第二ノズルは、薄板材10を挟んだ裏面側に第一ノズル1と対称となるように配設される。これにより、レーザ光による溶融部11の表面側と裏面側は、進行方向に沿って同じ方向にスパッタとなって吹き飛ばされるので、両面に同等性状の溝が形成される。なお、溶融部の表面側には第一アシストガス3だけでなく保護用アシストガスも作用するので、保護用アシストガスの配管17cにも圧力調整弁18c、電磁開閉弁22cを設けることが望ましい。
Claims (6)
- 相対的に移動する板状の被加工物にレーザ光を照射して被加工物の表裏面に溝を形成する両面溝加工装置であって、
発振機で励起された一条のレーザ光を被加工物の片面にのみ垂直に照射して、レーザが照射されない他方の面まで達する溶融部を形成するよう配設されたレーザヘッドと、前記被加工物のレーザ照射面側から第一のアシストガスを噴射して、前記溶融部の一部を吹き飛ばしてレーザ照射面側に溝を形成する第一ノズルと、前記被加工物のレーザ照射されない面側から第二のアシストガスを噴射して、前記熔融部の一部を吹き飛ばしてレーザ照射されない面側に溝を形成する第二ノズルと、第一のアシストガスの圧力を調整する第一圧力制御手段と、第二のアシストガスの圧力を調整する第二圧力制御手段と、第一ノズルの位置を調整する第一位置制御手段と、第二ノズルの位置を調整する第二位置制御手段とを有することを特徴とするレーザによる両面溝加工装置。 - 前記第一ノズルと第二ノズルは、その軸心がレーザ光軸を含んだ移動方向に平行な平面内にあって、被加工物の表裏面を挟んで対称に配設されていることを特徴とする請求項1
記載のレーザによる両面溝加工装置。 - 前記レーザヘッドの先端部にアシストガスを噴出して前記レーザヘッド内部を保護する保護ノズルが取り付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザによる両面溝加工装置。
- 前記第一ノズルはその軸心が前記レーザ光の光軸と同軸になるように前記レーザヘッドの先端部に取り付けられ、前記第二ノズルはその軸心が前記第一ノズルと同軸になるように配設されていることを特徴とする請求項1 記載のレーザによる両面溝加工装置。
- 前記第一ノズルは、前記レーザヘッドに対し独立に位置調整可能なことを特徴とする請求項4記載のレーザによる両面溝加工装置。
- 相対的に移動する板状の被加工物にレーザ光を照射して被加工物の表裏面に溝を形成する両面溝加工方法において、
被加工物の片面にのみ一条のレーザ光を垂直に照射して、レーザが照射されない他方の面まで達する溶融部を形成するとともに、前記被加工物のレーザ照射面およびレーザ照射されない面の両面に対して、移動方向に平行で対称な方向からアシストガスを吹き付けて、前記熔融部の一部を吹き飛ばして溝を形成することを特徴とするレーザによる両面溝加工方法。
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