JP4767647B2

JP4767647B2 - Ｘ線管

Info

Publication number: JP4767647B2
Application number: JP2005295732A
Authority: JP
Inventors: 務稲鶴
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2005-10-07
Filing date: 2005-10-07
Publication date: 2011-09-07
Anticipated expiration: 2025-10-07
Also published as: JP2007103320A

Description

本発明は、電子銃から出射させた電子をターゲットに入射することより発生したＸ線を外部に照射するタイプのＸ線管に関するものである。

従来、このような分野の技術として、下記特許文献１に記載のＸ線管が知られている。この文献に記載されたＸ線管はターゲットを収納する筒状のヘッド部を備えており、このヘッド部には内部空間と連通された排気管が取り付けられている（特許文献１のＦｉｇ．４等参照）。Ｘ線管の製造時において、ヘッド部の内部空間はこの排気管を通じて真空引きされる。そして、真空引きの後、この排気管が閉じられて、ターゲットが収納された内部空間が真空状態となる。
米国特許第６２２９８７６号明細書

しかしながら、この種のＸ線管においては、排気管が取り付けられたヘッド部の内壁面には真空引きのための排気口が形成されており、排気口の縁部には内壁面との境界として端部が現れることになる。そして、駆動時に陽極とヘッド部との間に高電位差が発生した際に、この端部の影響によって、陽極とヘッド部との間の電界が乱されることになるので、ヘッド部と陽極の先端部との間に放電が起こる可能性が高まることになる。ところが、上記Ｘ線管においては、このような放電の抑制のためのなんらの対策もなされておらず、放電によるＸ線出力の不安定化の問題が発生するおそれがある。

そこで、本発明は、陽極の先端部における放電を抑制することができるＸ線管を提供することを目的とする。

本発明に係るＸ線管は、電子銃から出射させた電子を陽極のターゲットに入射することにより発生したＸ線を外部に照射するＸ線管において、陽極の先端部を包囲する導電性の第１の陽極収容部と、第１の陽極収容部に接合され、陽極を収容するための内部空間を、第１の陽極収容部と一緒に画成する第２の陽極収容部と、第１の陽極収容部に設けられ、ターゲットで発生するＸ線を外部に取り出すための照射窓と、第１の陽極収容部の内壁面に設けられ、内部空間を真空引きするための排気口と、第１の陽極収容部の内壁面と陽極の先端部との間に配置され、内壁面との間で内部空間と連通する間隙をもって配置され、陽極の先端部から排気口を隠すように陽極の先端部を包囲して設けられた内筒部と、を備え、内筒部は、金属製であり、第１の陽極収容部の内壁面に固定されていることを特徴とする。

このＸ線管においては、第１の陽極収容部の内壁面に排気口が設けられている。そして、この排気口は、陽極の先端部と第１の陽極収容部の内壁面との間に位置する内筒部によって、陽極の先端部から隠されている。従って、このＸ線管では、排気口の縁部と第１の陽極収容部の内壁面との境界として端部が現れる場合であっても、内筒部によって、駆動時における陽極と排気口の縁部との間の電界の乱れが緩和される。よって、陽極の先端部における放電を抑制することができ、その結果、Ｘ線出力の不安定化を抑制することができる。また、このＸ線管の製造時においては、内筒部と第１の陽極収容部の内壁面との間の間隙を空気の通り道として、内部空間の真空引きを行うことができる。

また、内筒部の端部と第１の陽極収容部の照射窓側の内壁面との間には、間隙が形成されていることが好ましい。このような構成によれば、Ｘ線管の製造時において、内筒部と第１の陽極収容部の照射窓側の内壁面との間の間隙を空気の通り道として、内部空間の真空引きを行うことができる。

また、内筒部には、複数の連通孔が設けられていることが好ましい。このような構成を採用することで、製造時における内部空間の真空引きの際に、連通孔が内部空間からの空気の通り道となるので、効率の良い真空引きを行うことができる。

また、本発明に係るＸ線管では、第１の陽極収容部は、導電性のヘッド部を有し、第２の陽極収容部は、電気絶縁性のバルブと、バルブの端部に接合されると共に第１の陽極収容部のヘッド部に接合される導電性の連結部と、を有し、内筒部は、バルブと連結部との接合部分を陽極から隠すように、内部空間内において第２の陽極収容部側に延びていることが好ましい。このＸ線管においては、電気絶縁性のバルブと導電性の連結部との接合部分では、陽極との間で放電が比較的発生し易い。ここで、このＸ線管では、内筒部に上記のような構成を採用し、接合部分が陽極から隠されているので、接合部分と陽極との間の電界の乱れが緩和される。よって、接合部分と陽極との間の放電を抑制することができ、その結果、Ｘ線出力の不安定化を抑制することができる。

また、本発明に係るＸ線管では、第２の陽極収容部は、電気絶縁性のバルブを有し、第１の陽極収容部は、導電性のヘッド部と、ヘッド部の端部に設けられると共に第２の陽極収容部のバルブに接合される導電性の連結部と、を有し、内筒部は、バルブと連結部との接合部分を陽極から隠すように、内部空間内において第２の陽極収容部側に延びていることが好ましい。このＸ線管においては、電気絶縁性のバルブと導電性の連結部との接合部分では、陽極との間で放電が比較的発生し易い。ここで、このＸ線管では、内筒部に上記のような構成を採用し、接合部分が陽極から隠されているので、接合部分と陽極との間の電界の乱れが緩和される。よって、接合部分と陽極との間の放電を抑制することができ、その結果、Ｘ線出力の不安定化を抑制することができる。

また、この場合、内筒部は、第２の陽極収容部側の端部が曲面をもつように丸められ折り返されてなる折返し部を有し、折返し部の遊端は第１の陽極収容部に接合されており、折返し部には、貫通孔が形成されていることが好ましい。

このような構成を採用すれば、内筒部の第２の陽極収容部側の端部が曲面をもつように丸められた形状とされて角部が現れないので、この端部と陽極との間の電界の乱れが抑えられる。その結果、この端部と陽極との間の放電を抑制することができ、Ｘ線出力の不安定化を抑制することができる。また、この場合、折り返された内筒部と第１の陽極収容部とで囲まれた領域に空間が形成されるが、このＸ線管の製造時における内部空間の真空引きの際には、折返し部に形成された貫通孔が空気の通り道となるので、この空間に空気が残留してしまうことが防止される。

本発明のＸ線管によれば、陽極の先端部における放電を抑制することができる。

以下、図面を参照しつつ、本発明に係るＸ線管の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下に説明する第２，第３実施形態において、第１実施形態と同一又は同等の要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。

（第１実施形態）
図１〜図４に示すように、Ｘ線管１Ａは、電子銃３から出射させた電子を真空中の陽極５の先端部５ａに設けられた電子入射部位（Ｘ線発生部位）であるターゲット５ｄに入射させ、この入射により発生したＸ線を外部に照射するタイプのＸ線管である。Ｘ線管１Ａは、棒状の陽極５を絶縁状態に保持する胴部（第２の陽極収容部）９と、陽極先端部５ａを包囲する金属製のヘッド部（第１の陽極収容部）１３とを備えている。胴部９は、電気絶縁性材料（ここではガラス）からなるバルブ９ａと、バルブ９ａとヘッド部１３とを連結する連結部９ｂとを有している。バルブ９ａの一端側は開口され他端側は陽極５を保持している。このバルブ９ａの開口側には、金属製の円筒状の連結部９ｂの一端が、融着によって接合されている。そして、この連結部９ｂの他端には外方に延びるフランジが設けられており、このフランジにおいて、連結部９ｂは上記ヘッド部１３に溶接されている。すなわち、バルブ９ａとヘッド部１３とは、連結部９ｂを介して連結されている。このように連結されたバルブ９ａとヘッド部１３と連結部９ｂとによって、密封された内部空間Ｒが画成される。陽極５は、この内部空間Ｒ内に、ヘッド部１３及び連結部９ｂとは絶縁された状態でほぼ全体が収容されている。そして、陽極先端部５ａには傾斜面５ｃが設けられており、この傾斜面５ｃ上には、電子の入射によって所望のエネルギーのＸ線を発生するターゲット５ｄが配置されている。

なお、他の例として、図示しないが、バルブ９ａと融着するための筒状の連結部９ｂをヘッド部１３の端部に一体に設けて、第１の陽極収容部を構成するようにしてもよい。この場合は、バルブ９ａが第２の陽極収容部を構成する。

ヘッド部１３は、陽極５と同軸の円柱面をなす内壁面１９及び２０を有しており、陽極先端部５ａは、この内壁面１９及び２０に包囲されている。ヘッド部１３の側壁に貫通して設けられた取付け孔１３ａには、電子銃３の軸線と陽極５の軸線が略直交する状態で電子銃３が取り付けられている。そして、電子銃３から出射された電子が、電子銃３と対面するように形成された傾斜面５ｃ上のターゲット５ｄに入射するように、電子銃３の先端が陽極先端部５ａの方に向けられている。更に、ターゲット５ｄで発生するＸ線を透過させ、且つ外部にＸ線を照射させるために、ヘッド部１３の陽極先端部５ａ側の端部には、Ｘ線透過率が高い材料からなる円形の照射窓１５が設けられている。

上記内部空間Ｒを真空状態とするために、内部空間Ｒ内の空気を排気するための排気口１７が、ヘッド部１３の内壁面１９に形成されている。更に、ヘッド部１３の外壁面には、排気口１７を介して内部空間Ｒと連通する排気管２１が取り付けられている。Ｘ線管の製造時においては、排気口１７及び排気管２１を通じて内部空間Ｒが真空引きされた後、この排気管２１を潰す等によって管口を閉じることにより、内部空間Ｒが真空状態で封止される。そして、排気口１７は、Ｘ線管の組立て完成後も内部空間Ｒに開口したまま残される。なお、ここでは、排気口１７は、取付け孔１３ａから見て斜め前方の内壁面１９上の位置に形成されているが、排気口１７は、内壁面１９及び２０上の何れの位置に形成されてもよい。

このようなＸ線管１Ａにおいて、バルブ９ａから露出した陽極５の基端部５ｂは、図示しない高圧供給回路に接続されて用いられる。駆動時には、この高圧供給回路から基端部５ｂを介してターゲット５ｄを含む陽極５に約１００ｋＶ前後の高電圧が印加される。その状態で、電子銃３から出射された電子がターゲット５ｄに入射すると、この入射によってターゲット５ｄからＸ線が発生する。そして、発生したＸ線が、照射窓１５を透過して外部に照射される。なお、以下において、「上」、「下」等の語は、照射窓部１５側を上、陽極５の基端部５ｂ側を下として説明に用いる。

このように、駆動時においては、陽極５に高電圧が印加されるので、陽極５とヘッド部１３との間には高い電位差が発生することになる。特に、陽極先端部５ａはヘッド部１３に包囲されるように収容されているため、陽極先端部５ａとヘッド部１３の内壁面１９との間に放電が発生する虞がある。ここで、図５に示すように、内壁面１９に形成された排気口１７の縁部にあっては、排気管２１の内壁面２１ａと排気管２１の端面２１ｂとの境界に切り立ったような角部１７ｅや、排気口１７と内壁面１９との境界に切り立ったような角部１７ｆが現れている。このような角部１７ｅ，１７ｆの影響によって、陽極５とヘッド部１３との間の電界が乱されることになるので、排気口１７の縁部と陽極先端部５ａとの間では、特に放電の虞が高い。放電が発生した場合、Ｘ線管１ＡにおけるＸ線出力が不安定化する等の問題が発生するので、このような放電を抑制することが必要である。

そこで、Ｘ線管１Ａにおいては、排気口１７の縁部と陽極先端部５ａとの間の放電を抑制するため、ヘッド部１３の内壁面１９と陽極先端部５ａとの間に位置する内筒部３１を備えている。この内筒部３１は、ヘッド部３１よりも肉厚が薄い金属性の部材であり、陽極先端部５ａを包囲する円筒形を呈している。このような内筒部３１が設けられていることにより、陽極先端部５ａから排気口１７が隠され、陽極先端部５ａから見て、排気口１７の縁部が見通せないようになっている。

ヘッド部１３の内壁面１９の下方には、内壁面１９と同軸で内壁面１９よりもわずかに小径の円柱面をなす内壁面２０が形成されている。これに対し、内筒部３１の外径は、内壁面２０におけるヘッド部１３の内径とほぼ同じに設けられている。そして、円筒部３１の外壁面３１ａがこの内壁面２０に全周に亘って当接することで、円筒部３１は、陽極５及びヘッド部１３の内壁面１９と同軸になるように配置されている。このような位置関係により、この内筒部３１の外壁面３１ａとヘッド部１３の内壁面１９との間には、わずかの間隙Ｓ１が形成される。更に、この内筒部３１の上端３１ｂと照射窓１５が設けられた内壁面２９との間にも、わずかの間隙Ｓ２が形成されるように、内筒部３１は内壁面２９の直近まで延びている。以上のような構造によって、内部空間Ｒは、間隙Ｓ１，Ｓ２を通じて排気管２１内部と連通しており、内部空間Ｒの真空引きの際には、間隙Ｓ１，Ｓ２が空気の通り道として機能する。

この内筒部３１の下端３１ｃ側は、ヘッド部１３の下端から突出し、バルブ９ａと連結部９ｂとの融着部分（接合部分）９ｃよりも下方まで延びている。このような構造により、融着部分９ｃとターゲット５との間には内筒部３１が存在することになり、融着部分９ｃは内筒部３１によって陽極５から見通せないように隠されている。そして、内筒部３１の下端３１ｃは曲面を持ったＲ形状に折り返され、バルブ９ａ側に面する折返し部３１ｄの遊端３１ｅは、ろう付けによってヘッド部１３の下端面１３ｃに接合されている。

このように、内筒部３１の下端３１ｃがＲ形状に折り返されることで、内筒部３１の下端に角部が現れないので、内筒部下端３１ｃと陽極５との間の電界の乱れが抑えられ、内筒部の下端３１ｃと陽極５との間の放電を抑制することができる。また、このように内筒部の下端３１ｃが折り返されることにより、折り返された内筒部３１とヘッド部１３の下端面１３ｃとに囲まれた小空間Ｑが形成されてしまう。そこで、この小空間Ｑを内部空間Ｒに連通させるための貫通孔３１ｆが、折返し部３１ｄに形成されている。このため、内部空間Ｒの真空引きの際には、この貫通孔３１ｆが空気の通り道となって、小空間Ｑに空気が残留することが防止される。

なお、この内筒部３１には、電子銃３に対応する位置に挿通孔３１ｈが形成されており、電子銃３を収容する収容容器の先端３ａは、この挿通孔３１ｈに挿通されて陽極先端部５ａ側に露出している。また、内筒部３１には、電子銃３の軸線と平行な一対の平面部３１ｐが形成されている。この平面部３１ｐは、挿通孔３１ｈを間に挟むように対称に位置し、内壁面３１ｊから陽極先端部５ａ側に盛り上がった状態で形成されている。この平面部３１ｐは、電子銃３から出射された電子がターゲット５ｄに到るまでの電界を所望の状態にするための電極として機能している。

Ｘ線管１Ａでは、上述のような内筒部３１が設けられていることにより、陽極先端部５ａと排気口１７の縁部との間の電界の乱れが緩和されるので、陽極先端部５ａと排気口１７の縁部との間の放電を抑制することができる。その結果、Ｘ線管１Ａでは、放電に起因するＸ線出力の不安定化を抑制することができ、安定したＸ線照射を行うことができる。また、間隙Ｓ１，Ｓ２によって、排気管２１内部と内部空間Ｒとが連通され、この間隙Ｓ１，Ｓ２が空気の通り道として機能するので、Ｘ線管１Ａの製造時においても、排気口１７を介した内部空間Ｒの真空引きを問題なく行うことが可能である。

また、上記の平面部３１ｐの裏側は、外壁面３１ａから落ち込んだ状態になっているため、外壁面３１ａから落ち込んだ分、ヘッド部１３の内壁面１９と平面部３１ｐの裏側との間に比較的広い空間が形成される。そして、排気口１７は、平面部３１ｐの裏側の一方と対面するように位置し、内壁面１９と平面部３１ｐの裏側との間の比較的広い上記の空間に開口しているので、この空間が空気の通りを良好にし、Ｘ線管１Ａの製造時における排気口１７を介した内部空間Ｒの真空引きが容易になる。

また、内筒部３１をヘッド部１３に組み付ける際には、折返し部の遊端３１ｅがヘッド部１３の下端面１３ｃに当接することで、陽極５の延在方向における位置合わせがなされる。そして、陽極５の延在方向に直交する面内における位置合わせは、内筒部３１の外壁面３１ａがヘッド部１３の内壁面２０と当接することでなされる。このような、ヘッド部１３の内壁面２０及び下端面１３ｃの２面を当接させる内筒部３１の位置合わせによって、内部空間Ｒと排気管２１内部とを連通させる間隙Ｓ１，Ｓ２を精度良く形成することができる。

また、内筒部３１はヘッド部１３とは別体であり、内筒部３１を独立して作製することができるので、精度の良い滑らかな内壁面３１ｊを得ることができる。つまり、陽極先端部５ａから排気口１７を隠すための加工を、ヘッド部１３に直接施す場合よりも、陽極先端部５ａと対面する内壁面３１ｊを滑らかにし易いので、陽極先端部５ａと内筒部３１との間の放電を抑制することができる。

また、このＸ線管１Ａのバルブ９ａにおいて、融着部分９ｃには、絶縁性の部材と導電性の部材との境界が形成されるので、陽極５との間の放電が比較的起こりやすい。ところが、上記の内筒部３１は、バルブ９ａ側に延び、バルブ９ａと連結部９ｂとの融着部分９ｃがこの内筒部３１によって陽極５から隠されているので、融着部分９ｃと陽極５との間の電界の乱れが抑えられ、融着部分９ｃと陽極５との間の放電を抑制することができる。

以上のように、陽極５における放電を抑制することができるので、Ｘ線管１Ａでは、放電に起因するＸ線出力の不安定化を抑制することができ、安定したＸ線照射を行うことができる。

（第２実施形態）
図６に示すように、第２の実施形態に係るＸ線管１Ｂは、Ｘ線管１Ａの内筒部３１の代わりに、内筒部３３を備えている。この内筒部３３は、ヘッド部１３の下端面１３ｃよりも下に突出した部分が、バルブ９ａと連結部９ｂとの融着部分９ｃよりも下方まで延びると共に、他の部分よりも肉厚に形成されている。このような肉厚部３３ｄによって、融着部分９ｃが陽極５から見通せないように隠されている。更に、この肉厚部３３ｄの下端３３ｃは、陽極５との間の放電を抑制するために、Ｒ形状に丸められている。

そして、内筒部３３をヘッド部１３に組み付ける際には、肉厚部３３ｄの段差３３ｅがヘッド部１３の下端面１３ｃに当たることで、陽極５の延在方向における位置合わせがなされる。従って、このような内筒部３３においても、ヘッド部１３の内壁面２０及び下端面１３ｃの２面を当接させる内筒部３１の位置合わせによって、内部空間Ｒと排気管２１内部とを連通させる間隙Ｓ１，Ｓ２を精度良く形成することができる。なお、このＸ線管１Ｂでは、排気管２１が電子銃３と対向するような位置に設けられている。

以上のようなＸ線管１Ｂによっても、Ｘ線管１Ａと同様の作用効果を奏することができる。

なお、図７に示すように、第２実施形態の変形例に係るＸ線管１Ｃにおいて、内筒部３１には、排気口１７の前方の位置に、排気口１７よりも小径の多数の連通孔３１ｋを形成してもよい。又は、排気口１７の前方の位置において、多数の連通孔を有するメッシュ状の部材を内筒部３１に嵌め込んでもよい。このようにすれば、内部空間Ｒの真空引きの際、間隙Ｓ１，Ｓ２ばかりでなくこの連通孔３１ｋも空気の通り道になるので、効率の良い真空引きが可能になる。

（第３実施形態）
図８に示すように、第３の実施形態に係るＸ線管１Ｄは、Ｘ線管１Ａの内筒部３１の代わりに、内筒部３５を備えている。この内筒部３５は、内壁面１９におけるヘッド部１４の内径よりもわずかに小径の円筒形を呈し、陽極先端部５ａを包囲するようにヘッド部１４の内壁面１９と陽極先端部５ａとの間に位置している。この内筒部３５は、ヘッド部１４の内壁面１９の下方に形成された段差部１４ａで位置決めされている。このような内筒部３５が設けられていることにより、陽極先端部５ａから排気口１７が隠され、陽極先端部５ａから見て、排気口１７の縁部が見通せないようになっている。

この内筒部３５の内壁面３５ｊは、ヘッド部１４の内壁面１４ｂと面一に設けられている。このため、内筒部３５の内壁面３５ｊとヘッド部１４の内壁面１４ｂとの境界に角部が現れず、内壁面３５ｊ及び内壁面１４ｂと陽極５との間の放電が抑制される。

また、ヘッド部１４は、内部空間Ｒ内においてバルブ９ａと連結部９ｂとの融着部分９ｃよりも下方まで延びる環状の壁部１４ｄを有している。この環状の壁部１４ｄによって、融着部分９ｃが陽極５から見通せないように隠されている。更に、この環状の壁部１４の下端１４ｃは、陽極５との間の放電を抑制するために、Ｒ形状に丸められている。

以上のようなＸ線管１Ｄによっても、Ｘ線管１Ａと同様の作用効果を奏することができる。

なお、本発明は、上記した実施形態に限らず、様々な変更を行うことも可能である。例えば、上記の各実施形態においては、内筒部３１には平面部３１ｐが設けられているが、この平面部３１ｐは省略してもよい。また、各実施形態においては、バルブ９ａとヘッド部１３とが連結部９ｂを介して接合されているが、バルブ９ａとヘッド部１３とは直接接合されてもよい。また、各実施形態においては、陽極５の傾斜面５ｃ上に別体としてターゲット５ｄが設けられているが、陽極５とターゲット５ｄを一体とし、傾斜面５ｃにおける一部分がターゲットを構成してもよい。また、各実施形態においては、陽極５は円柱の先端に傾斜面５ｃが設けられた形状をなすが、陽極５の先端には各種の削り込みを行って他の形状としてもよい。この場合、陽極の先端部に角状の部位が存在しても、内筒部３１によって陽極先端部と排気口との間の放電を抑制することができる。

本発明に係るＸ線管の第１実施形態を示す斜視図である。図１のＸ線管の分解斜視図である。図１のＸ線管の断面図である。図１のＸ線管において、排気管を通る断面図である。図１のＸ線管における排気管の取付け部分付近の断面図である。本発明に係るＸ線管の第２実施形態を示す断面図である。図６のＸ線管の変形例に係る要部の断面図である。本発明に係るＸ線管の第３実施形態を示す断面図である。

符号の説明

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…Ｘ線管、３…電子銃、５…陽極、５ａ…陽極先端部、９…胴部（第２の陽極収容部）、９ａ…バルブ、９ｂ…連結部、９ｃ…融着部分（接合部分）、１３，１４…ヘッド部（第１の陽極収容部）、１５…照射窓、１７…排気口、１９…内壁面、２９…照射窓側の内壁面、３１，３３，３５…内筒部、３１ｄ…折返し部、３１ｅ…折返し部の遊端、３１ｆ…貫通孔、３１ｋ…連通孔、Ｒ…内部空間、Ｓ１，Ｓ２…間隙。

Claims

電子銃から出射させた電子を陽極のターゲットに入射することにより発生したＸ線を外部に照射するＸ線管において、
前記陽極の先端部を包囲する導電性の第１の陽極収容部と、
前記第１の陽極収容部に接合され、前記陽極を収容するための内部空間を、前記第１の陽極収容部と一緒に画成する第２の陽極収容部と、
前記第１の陽極収容部に設けられ、前記ターゲットで発生するＸ線を外部に取り出すための照射窓と、
前記第１の陽極収容部の内壁面に設けられ、前記内部空間を真空引きするための排気口と、
前記第１の陽極収容部の前記内壁面と前記陽極の先端部との間に配置され、前記内壁面との間で前記内部空間と連通する間隙をもって配置され、前記陽極の先端部から前記排気口を隠すように前記陽極の先端部を包囲して設けられた内筒部と、を備え、
前記内筒部は、
金属製であり、前記第１の陽極収容部の内壁面に固定されていることを特徴とするＸ線管。
前記内筒部の端部と前記第１の陽極収容部の前記照射窓側の内壁面との間には、間隙が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線管。
前記内筒部には、複数の連通孔が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線管。
前記第１の陽極収容部は、導電性のヘッド部を有し、
前記第２の陽極収容部は、電気絶縁性のバルブと、前記バルブの端部に接合されると共に前記第１の陽極収容部の前記ヘッド部に接合される導電性の連結部と、を有し、
前記内筒部は、前記バルブと前記連結部との接合部分を前記陽極から隠すように、前記内部空間内において前記第２の陽極収容部側に延びていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のＸ線管。
前記第２の陽極収容部は、電気絶縁性のバルブを有し、
前記第１の陽極収容部は、導電性のヘッド部と、前記ヘッド部の端部に設けられると共に前記第２の陽極収容部の前記バルブに接合される導電性の連結部と、を有し、
前記内筒部は、前記バルブと前記連結部との接合部分を前記陽極から隠すように、前記内部空間内において前記第２の陽極収容部側に延びていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のＸ線管。
前記内筒部は、前記第２の陽極収容部側の端部が曲面をもつように丸められ折り返されてなる折返し部を有し、
前記折返し部の遊端は前記第１の陽極収容部に接合されており、前記折返し部には、貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載のＸ線管。