JP4767528B2 - Relay connection member, inspection device, and method of manufacturing relay connection member - Google Patents

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Description

本発明は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材、中継接続部材を用いた検査装置および中継接続部材の製造方法に関するものである。   The present invention relates to an inspection circuit for outputting an inspection signal used for the inspection, and the other end of a plurality of probes whose one ends are in contact with a plurality of terminals formed on the inspection object when inspecting a predetermined inspection object. The present invention relates to a relay connection member for electrically connecting the relay connection member, an inspection apparatus using the relay connection member, and a method for manufacturing the relay connection member.

従来、液晶パネル等の電子部品に対して電気特性検査を行うための検査装置が知られている。このような検査装置としては、例えば、図5に示すように、電子部品たる検査対象101に備わる端子101aに対応して多数設けられた複数のプローブ102と、複数のプローブを保持するプローブホルダ103と、所定の検査信号の出力等を行う検査回路105と、プローブと検査回路との間を電気的に接続するための中継接続部材104とによって形成される。かかる構成を採用することによって、検査の際には、検査回路105より出力された検査信号は、中継接続部材104に備わるシート部材107上に形成された配線構造106およびプローブ102を経由して検査対象101たる電子部品に入力し、電子部品内の回路の処理を経て応答信号がプローブ102および配線構造106を経由して検査回路105に入力される(例えば、特許文献1参照。)。   2. Description of the Related Art Conventionally, an inspection apparatus for performing an electrical characteristic inspection on an electronic component such as a liquid crystal panel is known. As such an inspection apparatus, for example, as shown in FIG. 5, a plurality of probes 102 provided in correspondence with terminals 101 a provided on an inspection object 101 as an electronic component, and a probe holder 103 holding a plurality of probes. And an inspection circuit 105 that outputs a predetermined inspection signal, and a relay connection member 104 that electrically connects the probe and the inspection circuit. By adopting such a configuration, in the inspection, the inspection signal output from the inspection circuit 105 is inspected via the wiring structure 106 and the probe 102 formed on the sheet member 107 provided in the relay connection member 104. A response signal is input to the inspection circuit 105 via the probe 102 and the wiring structure 106 after being input to the electronic component that is the object 101 and processing the circuit in the electronic component (see, for example, Patent Document 1).

検査回路105としては、専用の電子回路を用いることとしても良いが、例えば電子部品の動作試験を行う等の場合には、電子部品を製品に実装した際に実際に使用される電子回路を用いることが好ましい。例えば、液晶パネルの検査を行う検査装置においては、検査回路105として実装時に用いられるドライバICを備えたTAB(Tape Automated Bonding)を使用するのが一般的である。検査回路105として製品レベルで使用される電子回路を用いる理由は、実際の使用状況に近い条件下で検査を行うことが好ましいことと、別途検査専用の電子回路を作製することによる検査コストの上昇を回避するためである。   As the inspection circuit 105, a dedicated electronic circuit may be used. For example, when an electronic component operation test is performed, an electronic circuit actually used when the electronic component is mounted on a product is used. It is preferable. For example, in an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal panel, a TAB (Tape Automated Bonding) provided with a driver IC used at the time of mounting is generally used as the inspection circuit 105. The reason why the electronic circuit used at the product level is used as the inspection circuit 105 is that the inspection is preferably performed under conditions close to actual usage conditions, and the inspection cost is increased by separately producing an electronic circuit dedicated to the inspection. This is to avoid the problem.

特開平8−222299号公報JP-A-8-222299

しかしながら、従来の検査装置では、中継接続部材104とプローブ103の電気的接続および中継接続部材104と検査回路105の電気的接続に不具合が生じる可能性が否定できないという課題を有する。以下、かかる課題について説明する。   However, the conventional inspection apparatus has a problem that it cannot be denied that the electrical connection between the relay connection member 104 and the probe 103 and the electrical connection between the relay connection member 104 and the inspection circuit 105 may be defective. Hereinafter, this problem will be described.

液晶パネル等の電子部品は近年小型化の傾向が顕著であり、かかる傾向に鑑みて検査の際に検査信号の入出力が行われる複数の端子についても、小型化および隣接する端子間の間隔が狭小化するという傾向が見られる。かかる傾向に対応して、検査装置においてもプローブ102の配置間隔の狭小化および中継接続部材104中に形成する複数の配線構造106の間隔を狭小化する必要性が生じる。このため、従来の検査装置では、特に、プローブ102と中継接続部材104中に形成した配線構造106との間で電気的接続を行うためには、プローブ102と中継接続部材104との間できわめて正確な位置あわせを行う必要があり、検査装置の作製を困難なものとしていた。   In recent years, electronic components such as liquid crystal panels have been remarkably reduced in size, and in view of such a tendency, even for a plurality of terminals where inspection signals are input and output at the time of inspection, downsizing and the spacing between adjacent terminals are also small. There is a tendency to narrow. Corresponding to such a tendency, in the inspection apparatus, it becomes necessary to narrow the arrangement interval of the probes 102 and the intervals of the plurality of wiring structures 106 formed in the relay connection member 104. Therefore, in the conventional inspection apparatus, in particular, in order to make an electrical connection between the probe 102 and the wiring structure 106 formed in the relay connection member 104, the probe 102 and the relay connection member 104 are extremely It is necessary to perform accurate alignment, making it difficult to manufacture an inspection apparatus.

また、従来の検査装置では、プローブ102と中継接続部材104中の配線構造106との接続は、ハンダ等で固定することによって実現するのではなく、配線構造106と別体に形成されたプローブ102が、配線構造106に対して所定の荷重を印加しつつ物理的に接触することによって実現する。このため、位置ずれした状態でプローブ102が配線構造106に接触した場合または配線構造106に接触した後にプローブ102が位置ずれした場合には、プローブ102との間に生じる摩擦力に起因して配線構造106の形状が変化し、隣接する配線構造間で電気的に短絡を生じる等の新たな問題が発生する。   Further, in the conventional inspection apparatus, the connection between the probe 102 and the wiring structure 106 in the relay connecting member 104 is not realized by fixing with solder or the like, but the probe 102 formed separately from the wiring structure 106. This is realized by physically contacting the wiring structure 106 while applying a predetermined load. For this reason, when the probe 102 comes into contact with the wiring structure 106 in a misaligned state or when the probe 102 is displaced after coming into contact with the wiring structure 106, the wiring is caused by the frictional force generated between the probe 102 and the probe 102. The shape of the structure 106 changes, and a new problem such as an electrical short circuit between adjacent wiring structures occurs.

さらに、従来の検査装置は、中継接続部材104と検査回路105との間の電気的接続に関しても問題を有する。図5に示すように、検査対象101に備わる端子101aと配線構造106とは向かい合った状態でプローブ102を介した電気的接続を実現しており、この結果、図5における紙面垂直方向に関する複数の端子101aの配列パターンは、鏡に映したのと同様の理由で配線構造106において反転することとなる。このため、検査回路105は、配列パターンが反転した中継接続部材104に対して電気的に接続する必要が生じることとなり、図5に示すように、中継接続部材104と検査回路105とは、いわゆる「く」の字状に接続する必要性が生じることとなる。かかる接続態様は物理的に無理が生じた構造であることから、例えば物理的な強度が低い部分において配線構造106等に断線が生じるなどの問題が新たに生じることとなる。   Furthermore, the conventional inspection apparatus has a problem regarding the electrical connection between the relay connection member 104 and the inspection circuit 105. As shown in FIG. 5, the electrical connection through the probe 102 is realized in a state where the terminal 101a and the wiring structure 106 provided in the inspection object 101 face each other. As a result, a plurality of the vertical direction in FIG. The arrangement pattern of the terminals 101a is inverted in the wiring structure 106 for the same reason as that reflected in the mirror. Therefore, the inspection circuit 105 needs to be electrically connected to the relay connection member 104 whose arrangement pattern is reversed. As shown in FIG. 5, the relay connection member 104 and the inspection circuit 105 are so-called. It will be necessary to connect in the shape of "<". Since such a connection mode is a structure in which physical unreasonableness occurs, for example, a problem such as disconnection in the wiring structure 106 or the like newly occurs in a portion where the physical strength is low.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査対象に備わる端子の狭小化に対応しつつ、検査対象との電気的接続および内部における電気的接続を充分確保可能な検査装置、検査装置を構成する中継接続部材および中継接続部材の製造方法を実現することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an inspection apparatus and inspection capable of sufficiently ensuring electrical connection with and internal connection with an inspection object while corresponding to the narrowing of terminals provided in the inspection object It is an object of the present invention to realize a relay connection member constituting the apparatus and a method for manufacturing the relay connection member.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる中継接続部材は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触する複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材であって、それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第1配線構造が形成された第1接続部材と、一端において所定長だけ表面に露出した前記第1配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第2配線構造が同一層上に形成された第2接続部材とを備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the relay connecting member according to the present invention includes a plurality of terminals that are in contact with a plurality of terminals formed on the inspection target when the predetermined inspection target is inspected. A relay connection member that electrically connects the other end of the probe and an inspection circuit that outputs an inspection signal used for the inspection, and is electrically connected to the other ends of the plurality of probes at each one end. A first connecting member formed by connecting a plurality of first wiring structures in which adjacent ones are located on different layers and the other end is exposed to the surface over a predetermined length; A plurality of second wiring structures that are in contact with the other end of the first wiring structure exposed to the surface and are electrically connected to the inspection circuit at the other end; It is characterized by.

発明によれば、隣接する第1配線構造を異なる層上に形成することによって同一層上における第1配線構造の間隔を広げ、プローブと第1配線構造との間の電気的導通を充分に確保可能な第1接続部材と、第1接続部材と検査回路とを電気的に接続する第2配線構造を同一面上に形成することによって検査回路に対する電気的接続を充分に確保可能な第2接続部材とを備えたことによって、プローブと検査回路との間の電気的導通を充分に確保することが可能である。 According to the present invention, by forming adjacent first wiring structures on different layers, the interval between the first wiring structures on the same layer is widened, and electrical continuity between the probe and the first wiring structure is sufficiently obtained. A first connection member that can be secured, and a second wiring structure that electrically connects the first connection member and the test circuit are formed on the same surface, so that a second electrical connection to the test circuit can be sufficiently secured. By providing the connecting member, it is possible to sufficiently ensure electrical continuity between the probe and the inspection circuit.

また、本発明にかかる中継接続部材は、上記の発明において、前記第1接続部材は、絶縁部材によって形成され、上面に1以上の前記第1配線構造が形成されたシート部材を複数積層した構造を有し、隣り合う前記第1配線構造は、互いに異なるシート部材上に形成されたことを特徴とする。 The relay connection member according to the present invention is the above-described invention, wherein the first connection member is formed of an insulating member, and a plurality of sheet members each having one or more first wiring structures formed on an upper surface thereof are stacked. The first wiring structures adjacent to each other are formed on different sheet members.

また、本発明にかかる検査装置は、所定の検査対象に対して該検査対象に備わる複数の端子を介して電気信号を入出力することによって検査を行う検査装置であって、前記検査対象上に形成された複数の前記端子のそれぞれと一端が接触する複数のプローブと、複数の前記プローブを前記端子に対応した位置に収容するプローブホルダと、それぞれの一端において複数の前記プローブの他端と電気的に接続し、隣接するもの同士が異なる層上に位置し、他端が所定長以上に渡って表面に露出した複数の第1配線構造が形成された第1接続部材と、一端において所定長だけ表面に露出した前記第1配線構造の他端と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第2配線構造が同一層上に形成された第2接続部材と、前記第2接続部材と電気的に接続され、前記第2接続部材に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路とを備えたことを特徴とする。 An inspection apparatus according to the present invention is an inspection apparatus that performs an inspection by inputting and outputting electrical signals to a predetermined inspection object through a plurality of terminals provided in the inspection object. A plurality of probes each having one end in contact with each of the plurality of terminals formed, a probe holder for housing the plurality of probes at positions corresponding to the terminals, and the other ends of the plurality of probes at each end A first connection member having a plurality of first wiring structures that are connected to each other, located adjacent to each other on different layers, and have the other end exposed on the surface over a predetermined length, and a predetermined length at one end A plurality of second wiring structures formed on the same layer that are in contact with the other end of the first wiring structure exposed on the surface and electrically connected to the inspection circuit at the other end; Second connection Member and are electrically connected, characterized in that a test circuit which outputs at least the inspection signal to the second connecting member.

また、本発明にかかる中継接続部材の製造方法は、所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と接触する複数のプローブと、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材の製造方法であって、単一のシート部材の表面上に、一方の端部から中央付近まで延伸した複数の第1配線と、他方の端部から中央付近まで延伸し、かつ中央付近にて隣接する前記第1配線間に位置するよう形成された第2配線とを形成する配線形成工程と、前記シート部材を、前記第1配線および前記第2配線が延伸する方向に関して、前記第1配線のみが形成された第1領域と、前記第2配線のみが形成された第2領域と、前記第1配線および前記第2配線の双方が形成された第3領域とに分割することによって第1シート部材、第2シート部材および第3シート部材を形成するシート分割工程と、前記第1シート部材および前記第2シート部材を、前記第1配線と前記第2配線との配列パターンが、前記第3シート部材における配列パターンとほぼ同一になるよう積層する積層工程と、前記第1シート部材および前記第2シート部材の積層構造における前記第1配線および前記第2配線の端部を、前記第3シート部材における前記第1配線および前記第2配線の端部と電気的に接続した状態で前記第1、第2および第3シートの相互間の位置関係を固定する固定工程とを含むことを特徴とする。 The method for manufacturing a relay connecting member according to the present invention includes a plurality of probes that come into contact with a plurality of terminals formed on the inspection object when an inspection is performed on a predetermined inspection object, and an inspection signal used for the inspection. And a plurality of first wirings extending from one end to the vicinity of the center on the surface of a single sheet member, A wiring forming step of forming a second wiring extending from the other end portion to the vicinity of the center and being positioned between the first wirings adjacent to each other in the vicinity of the center; and the sheet member, With respect to the direction in which one wiring and the second wiring extend, a first region in which only the first wiring is formed, a second region in which only the second wiring is formed, the first wiring and the second wiring A third region in which both are formed and The sheet dividing step of forming the first sheet member, the second sheet member, and the third sheet member by dividing, the first sheet member and the second sheet member, the first wiring and the second wiring A stacking step of stacking so that the array pattern is substantially the same as the array pattern in the third sheet member; and the ends of the first wiring and the second wiring in the stacked structure of the first sheet member and the second sheet member A fixing step of fixing a positional relationship between the first, second, and third sheets in a state in which the portion is electrically connected to ends of the first wiring and the second wiring in the third sheet member It is characterized by including.

発明によれば、単一のシート部材上に所定の第1配線および第2配線を第1〜第3領域に渡って連続的に形成することとしたため、第1、第2および第3シート部材のそれぞれに対して別個独立に配線パターンを形成する必要がなく、かつ分離した後に配線間で位置ずれが生じるおそれが抑制されることとなり、電気的導通に優れた中継接続部材を製造することができる。 According to the present invention, the predetermined first wiring and second wiring are continuously formed over the first to third regions on the single sheet member, so that the first, second and third sheets There is no need to form wiring patterns separately for each of the members, and the possibility of positional deviation between the wirings after being separated is suppressed, and a relay connection member having excellent electrical continuity is manufactured. Can do.

また、本発明にかかる中継接続部材の製造方法は、上記の発明において、前記積層工程前では、前記第1シート部材および前記第2シート部材の少なくともいずれか一方に対して、他方との位置あわせに利用する位置あわせ標識を形成する標識形成工程をさらに含み、前記積層工程において、前記位置あわせ標識を用いて前記第1シート部材と前記第2シート部材との間の位置あわせを行いつつ積層することを特徴とする。 Further, the method for manufacturing a relay connecting member according to the present invention is the above invention, wherein, prior to the laminating step, at least one of the first sheet member and the second sheet member is aligned with the other. A label forming step for forming an alignment mark used in the stacking, and in the stacking step, the first sheet member and the second sheet member are stacked while being aligned using the alignment mark. It is characterized by that.

本発明にかかる中継接続部材および検査装置は、隣接する第1配線構造を異なる層上に形成することによって同一層上における第1配線構造の間隔を広げ、プローブと第1配線構造との間の電気的導通を充分に確保可能な第1接続部材と、第1接続部材と検査回路とを電気的に接続する第2配線構造を同一面上に形成することによって検査回路に対する電気的接続を充分に確保可能な第2接続部材とを備えたことによって、プローブと検査回路との間の電気的導通を充分に確保できるという効果を奏する。   The relay connection member and the inspection apparatus according to the present invention increase the interval between the first wiring structures on the same layer by forming the adjacent first wiring structures on different layers, so that the gap between the probe and the first wiring structure is increased. The first connection member capable of sufficiently ensuring electrical continuity and the second wiring structure for electrically connecting the first connection member and the inspection circuit are formed on the same surface, thereby sufficiently connecting the inspection circuit with the electrical connection. By providing the second connecting member that can be ensured, there is an effect that electrical continuity between the probe and the inspection circuit can be sufficiently ensured.

また、本発明にかかる中継接続部材の製造方法は、単一のシート部材上に所定の第1配線および第2配線を第1〜第3領域に渡って連続的に形成することとしたため、第1、第2および第3シート部材のそれぞれに対して別個独立に配線パターンを形成する必要がなく、かつ分離した後に配線間で位置ずれが生じるおそれが抑制されることとなり、電気的導通に優れた中継接続部材を製造することができるという効果を奏する。   Moreover, since the manufacturing method of the relay connection member concerning this invention decided to form continuously predetermined 1st wiring and 2nd wiring over the 1st-3rd area | region on the single sheet | seat member, It is not necessary to form a wiring pattern separately for each of the first, second and third sheet members, and the possibility of positional deviation between the wirings after being separated is suppressed, resulting in excellent electrical conduction. The relay connecting member can be manufactured.

以下に、本発明にかかる検査装置および検査装置を構成する中継接続部材を実施するための最良の形態(以下、「実施の形態」と称する)を、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。   The best mode for carrying out the inspection device according to the present invention and the relay connecting member constituting the inspection device (hereinafter referred to as “embodiment”) will be described in detail below with reference to the drawings. Note that the drawings are schematic, and it should be noted that the relationship between the thickness and width of each part, the ratio of the thickness of each part, and the like are different from the actual ones. Of course, the part from which the relationship and ratio of a mutual dimension differ is contained.

図1は、実施の形態にかかる検査装置の全体構成を示す模式図である。図1に示すように、本実施の形態にかかる検査装置は、検査対象1に備わる端子2と一端が接触するプローブ3と、プローブ3を所定の位置に保持するプローブホルダ4と、プローブ3を介して検査対象1に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路5と、プローブ3と検査回路5とを電気的に接続するための中継接続部材6とを備える。   FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an overall configuration of an inspection apparatus according to an embodiment. As shown in FIG. 1, the inspection apparatus according to the present embodiment includes a probe 3 whose one end is in contact with a terminal 2 provided in an inspection object 1, a probe holder 4 that holds the probe 3 in a predetermined position, and a probe 3. An inspection circuit 5 that outputs at least an inspection signal to the inspection object 1 and a relay connection member 6 for electrically connecting the probe 3 and the inspection circuit 5 are provided.

プローブ3は、検査の際に一端において検査対象1に備わる端子2と接触し、他端において第1配線構造11,12(後述)と接触することにより、検査回路5と検査対象1との間を電気的に接続するためのものである。具体的には、プローブ3は、バネ等の弾性部材を一部に備えた伸縮自在の導電性部材によって形成され、端子2等の接触対象に対して所定の凹圧力を印可しつつ接触することによって、接触対象と電気的に導通する機能を有する。なお、本実施の形態において検査対象1上に形成される端子2は複数設けられることとし、本実施の形態にかかる検査装置は、複数の端子2に対応して、複数のプローブ3を備える。   The probe 3 is in contact with the terminal 2 provided on the inspection object 1 at one end during inspection, and is in contact with the first wiring structures 11 and 12 (described later) at the other end, thereby connecting the inspection circuit 5 and the inspection object 1. Are electrically connected. Specifically, the probe 3 is formed of a stretchable conductive member partially including an elastic member such as a spring, and contacts the contact target such as the terminal 2 while applying a predetermined concave pressure. Thus, it has a function of electrically conducting with the contact object. In this embodiment, a plurality of terminals 2 formed on the inspection object 1 are provided, and the inspection apparatus according to this embodiment includes a plurality of probes 3 corresponding to the plurality of terminals 2.

プローブホルダ4は、複数のプローブ3を所定の位置に保持するためのものである。すなわち、プローブ3は、検査対象1上に形成された複数の端子2とそれぞれ接触することによって電気的に導通するためのものであり、プローブホルダ4は、導通状態が良好となるようあらかじめ定めた場所に位置するよう、複数のプローブ3を保持する機能を有する。具体的な保持態様としては、プローブホルダ4は例えば板状体によって形成され、かかる板状体に形成された貫通口内に、両端が板状体の表面から若干突出するようプローブ3を保持することとする。   The probe holder 4 is for holding a plurality of probes 3 at predetermined positions. That is, the probe 3 is for electrical conduction by making contact with each of the plurality of terminals 2 formed on the inspection object 1, and the probe holder 4 is determined in advance so that the conduction state is good. It has a function of holding a plurality of probes 3 so as to be located in place. As a specific holding mode, the probe holder 4 is formed of, for example, a plate-like body, and the probe 3 is held in a through-hole formed in the plate-like body so that both ends slightly protrude from the surface of the plate-like body. And

検査回路5は、検査対象1の電気的特性の検査を行う際に、検査に必要な検査信号を検査対象1に対して出力するためのものである。具体的には、検査回路5は、TAB等によって構成され、例えば検査信号を生成する電子回路を含むICチップ5aを搭載すると共に、ICチップ5aと中継接続部材6とを電気的に接続するための配線構造7を備えた構造を有する。なお、検査回路5として、検査専用の電子回路を備えたものを別途作製することとしても良いが、本実施の形態では、検査対象1が製品の一部として実装された際に、検査対象1に対して動作信号等の入出力を行う回路をそのまま流用することとする。すなわち、例えば検査対象1が液晶パネルの場合には、液晶パネルを用いてディスプレイを作製した場合に液晶パネルに対して画素信号等を入力するドライバ回路を検査回路5として使用する。このように既存の電子回路を流用することによって、現実の動作に即した検査が可能であると共に、検査装置の製造コストを低減することが可能である。   The inspection circuit 5 is for outputting an inspection signal necessary for the inspection to the inspection object 1 when inspecting the electrical characteristics of the inspection object 1. Specifically, the inspection circuit 5 is configured by TAB or the like, for example, for mounting an IC chip 5a including an electronic circuit that generates an inspection signal, and for electrically connecting the IC chip 5a and the relay connection member 6. The wiring structure 7 is provided. In addition, although it is good also as producing separately what provided the electronic circuit only for a test | inspection as the test | inspection circuit 5, in this Embodiment, when the test | inspection object 1 is mounted as a part of product, the test | inspection object 1 For this reason, a circuit for inputting / outputting an operation signal or the like is used as it is. That is, for example, when the inspection object 1 is a liquid crystal panel, a driver circuit that inputs a pixel signal or the like to the liquid crystal panel when a display is manufactured using the liquid crystal panel is used as the inspection circuit 5. By diverting the existing electronic circuit in this way, it is possible to perform inspection in accordance with actual operation and reduce the manufacturing cost of the inspection apparatus.

次に、中継接続部材6について説明する。図1にも示すように、中継接続部材6は、プローブ3と電気的に接続するための第1接続部材8と、第1接続部材8と検査回路5との間を電気的に接続するための第2接続部材9と、第1接続部材8の反り等を防止するための補強部材10とによって構成される。   Next, the relay connection member 6 will be described. As shown also in FIG. 1, the relay connection member 6 is used to electrically connect the first connection member 8 for electrical connection with the probe 3 and the first connection member 8 and the inspection circuit 5. The second connecting member 9 and the reinforcing member 10 for preventing warping of the first connecting member 8 and the like.

第1接続部材8は、他端においてそれぞれ対応するプローブ3と電気的に接続すると共に、互いに異なる層上に形成された第1配線構造11、12を備える。具体的には、図1にも示すように、第1接続部材8は、シート部材13、14を順次積層した構成を有し、シート部材13、14のそれぞれの表面上に第1配線構造11、12をあらかじめ形成しておくことにより、第1配線構造11、12が異なる層上に形成された構造を実現する。   The first connection member 8 includes first wiring structures 11 and 12 that are electrically connected to the corresponding probes 3 at the other ends and are formed on different layers. Specifically, as shown in FIG. 1, the first connection member 8 has a configuration in which sheet members 13 and 14 are sequentially stacked, and the first wiring structure 11 is formed on the surface of each of the sheet members 13 and 14. , 12 in advance, a structure in which the first wiring structures 11, 12 are formed on different layers is realized.

シート部材13、14は、膜厚が薄く柔軟性に富んだシート状の絶縁部材によって形成される。具体的には、シート部材13、14は、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)の基材として用いられるポリイミド等を材料として形成される。なお、図1にも示すように、積層構造の下層に位置するシート部材13は、形成される第1配線構造11がプローブ3等と電気的に接続することを可能とするために、第1配線構造11、12の延伸方向に関してシート部材14よりも延伸した構成を有し、シート部材14よりも延伸した部分まで第1配線構造11を延伸させた構造を有する。   The sheet members 13 and 14 are formed of a sheet-like insulating member having a small film thickness and high flexibility. Specifically, the sheet members 13 and 14 are formed using, for example, polyimide or the like used as a base material of an FPC (Flexible Printed Circuit). As shown in FIG. 1, the sheet member 13 located in the lower layer of the laminated structure is provided with the first wiring structure 11 so that the formed first wiring structure 11 can be electrically connected to the probe 3 and the like. The wiring structures 11 and 12 have a structure that extends more than the sheet member 14 in the extending direction, and the first wiring structure 11 extends to a portion that extends beyond the sheet member 14.

第1配線構造11、12は、プローブ3と第2接続部材9上に形成される第2配線構造16(後述)との間の導通経路としての機能を果たすものである。具体的には、第1配線構造11、12は、プローブ3に対応して複数形成されており、かつ、隣接する対は一方が第1配線構造11となり、他方が第1配線構造12となるよう、すなわち、隣接する第1配線構造は異なる層上に位置するよう形成されている。なお、第1配線構造11は、第1配線構造12に対して下層に位置するが、基材たるシート部材13がシート部材14よりも延伸した部分を有することに対応して、かかる部分まで延伸して形成されることによって端部近傍が表面上に露出した構造を有する。   The first wiring structures 11 and 12 serve as a conduction path between the probe 3 and a second wiring structure 16 (described later) formed on the second connection member 9. Specifically, a plurality of first wiring structures 11 and 12 are formed corresponding to the probe 3, and one of the adjacent pairs is the first wiring structure 11 and the other is the first wiring structure 12. That is, the adjacent first wiring structures are formed on different layers. The first wiring structure 11 is positioned below the first wiring structure 12, but the sheet member 13 serving as a base material has a portion that extends more than the sheet member 14, and extends to such a portion. As a result, the vicinity of the end portion is exposed on the surface.

第2接続部材9は、第1接続部材8を構成する第1配線構造11、12と検査回路5とを電気的に接続するためのものである。具体的には、第2接続部材9は、シート部材15上に複数の第2配線構造16が形成された構造を有し、第2配線構造16によって第1配線構造11、12と検査回路5とを電気的に接続する機能を有する。また、複数の第2配線構造16は、それぞれが同一のシート部材15上、すなわち同一層上に形成された構造を有する。   The second connection member 9 is for electrically connecting the first wiring structures 11 and 12 constituting the first connection member 8 and the inspection circuit 5. Specifically, the second connection member 9 has a structure in which a plurality of second wiring structures 16 are formed on the sheet member 15, and the first wiring structures 11 and 12 and the inspection circuit 5 are formed by the second wiring structure 16. And have a function of electrically connecting the two. The plurality of second wiring structures 16 each have a structure formed on the same sheet member 15, that is, on the same layer.

補強部材10は、第1接続部材8を補強するためのものである。上述したように第1接続部材8の一方の端部は、第1配線構造11、12がプローブ3と接触することによってプローブ3に対して電気的に導通する構成を有することから、プローブ3と第1接続部材8との間には所定の押圧力が作用することとなる。一方で、第1接続部材8の基材として機能するシート部材13、14は柔軟性に富んだシート状の部材によって形成されることから、プローブ3から供給される押圧力に対してシート部材13、14が反ることによってプローブ3と第1配線構造11、12とが密着せず、両者の間の導通状態が悪化するおそれがある。このため、本実施の形態では、補強部材10を新たに備えることによって第1接続部材8を補強し、第1配線構造11、12の端部とプローブ3との間における良好な電気的導通を実現する。   The reinforcing member 10 is for reinforcing the first connecting member 8. As described above, one end portion of the first connection member 8 has a configuration in which the first wiring structures 11 and 12 are electrically connected to the probe 3 by contacting the probe 3. A predetermined pressing force acts between the first connecting member 8 and the first connecting member 8. On the other hand, since the sheet members 13 and 14 that function as the base material of the first connection member 8 are formed by a sheet-like member rich in flexibility, the sheet member 13 with respect to the pressing force supplied from the probe 3. , 14 are warped, the probe 3 and the first wiring structures 11 and 12 are not in close contact with each other, and there is a possibility that the conduction state between the two is deteriorated. For this reason, in this Embodiment, the 1st connection member 8 is reinforced by newly providing the reinforcement member 10, and favorable electrical conduction between the edge part of the 1st wiring structures 11 and 12 and the probe 3 is carried out. Realize.

次に、第1接続部材8を構成する第1配線構造11、12のうち、プローブ3と接触する側の端部の構造について詳細に説明する。図2は、第1接続部材8のうちプローブ3と接触する側の端部の一部について示す平面図である。なお、図2は、第1接続部材8をプローブ3側から見た平面構造を模式的に示したものであり、直接目視できない部分は破線にて示している。なお、図2等では、複数存在する第1配線構造11、12等について、互いを区別するために必要に応じてa、b等の添え字を付すこととする。また、第1配線構造11、12の個数については、図2等の例に限定して解釈する必要がないことはもちろんである。   Next, of the first wiring structures 11 and 12 constituting the first connection member 8, the structure of the end portion on the side in contact with the probe 3 will be described in detail. FIG. 2 is a plan view showing a part of the end portion of the first connecting member 8 on the side in contact with the probe 3. FIG. 2 schematically shows a planar structure of the first connecting member 8 as viewed from the probe 3 side, and portions that cannot be directly seen are indicated by broken lines. In FIG. 2 and the like, subscripts such as a and b are attached to the plurality of first wiring structures 11 and 12 and the like as necessary to distinguish them from each other. Further, it is needless to say that the number of the first wiring structures 11 and 12 is not limited to the example of FIG.

図2に示すように、シート部材13上に形成される第1配線構造11a〜11dと、シート部材14上に形成される第1配線構造12a〜12dとは、平面構造としては互いに交互に配置された構造を有する。具体的には、第1接続部材8をプローブ3側から眺めた際には、第1配線構造11a、12a、11b、12b、・・・のように配列されることとなり、プローブ3側から見て隣接する第1配線構造は、互いに異なる層(シート部材13またはシート部材14)上に位置するよう形成されたこととなる。かかる構造を採用することにより、図2にも示すように、単一層上に第1配線構造を形成した場合と比較して、同一層上に形成される第1配線構造の間隔はほぼ2倍の値となる。   As shown in FIG. 2, the first wiring structures 11a to 11d formed on the sheet member 13 and the first wiring structures 12a to 12d formed on the sheet member 14 are alternately arranged as a planar structure. Has a structured. Specifically, when the first connecting member 8 is viewed from the probe 3 side, the first wiring structures 11a, 12a, 11b, 12b,... The first wiring structures adjacent to each other are formed so as to be located on different layers (sheet member 13 or sheet member 14). By adopting such a structure, as shown in FIG. 2, the interval between the first wiring structures formed on the same layer is almost double as compared with the case where the first wiring structure is formed on a single layer. It becomes the value of.

また、第1配線構造11a〜11dおよび第1配線構造12a〜12dの端部には、延伸方向と垂直な方向に第1配線構造よりも広い幅を有する接続パッド18a〜18dおよび接続パッド19a〜19dのそれぞれが形成されている。これらの接続パッド18a〜18dおよび接続パッド19a〜19dは、それぞれがいわゆる千鳥配置の状態で形成されており、具体的には、例えば接続パッド18a〜18dの場合には、第1配線構造の延伸方向上に関して、接続パッド18a、18cは同一の位置に形成される一方で、接続パッド18b、18dは、接続パッド18a等と異なる位置に形成されている。すなわち、接続パッド18a〜18および接続パッド19a〜19dは、第1配線構造の延伸方向に関する位置が、それぞれ隣接する接続パッド間で異なるよう形成されている。   Further, at the end portions of the first wiring structures 11a to 11d and the first wiring structures 12a to 12d, connection pads 18a to 18d and connection pads 19a to 19a having a width wider than that of the first wiring structure in a direction perpendicular to the extending direction. Each of 19d is formed. Each of the connection pads 18a to 18d and the connection pads 19a to 19d is formed in a so-called staggered state. Specifically, for example, in the case of the connection pads 18a to 18d, the first wiring structure is extended. Regarding the direction, the connection pads 18a and 18c are formed at the same position, while the connection pads 18b and 18d are formed at positions different from the connection pad 18a and the like. That is, the connection pads 18a to 18 and the connection pads 19a to 19d are formed so that positions in the extending direction of the first wiring structure are different between adjacent connection pads.

次に、第1接続部材8、第2接続部材9および検査回路5の相互間における電気的な接続関係について説明する。図3は、第1接続部材8、第2接続部材9および検査回路5の相互間の接続態様を説明するための模式図である。以下、図3を参照しつつ接続態様に関して説明する。   Next, an electrical connection relationship among the first connection member 8, the second connection member 9, and the inspection circuit 5 will be described. FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a connection mode among the first connection member 8, the second connection member 9, and the inspection circuit 5. The connection mode will be described below with reference to FIG.

まず、第1接続部材8と第2接続部材9との間の接続態様について説明する。第1接続部材8と第2接続部材9との間の電気的接続は、具体的には第1接続部材8に備わる第1配線構造11、12の端部と第2接続部材9に備わる第2配線構造16の端部とが接触した状態で第1接続部材8と第2接続部材9の間の位置関係が固定されることによって実現される。なお、第1配線構造11、12と第2配線構造16との間の電気的な接触抵抗を実用上問題ない程度にまで抑制する観点から、本実施の形態では第1配線構造11、12と第2配線構造16とが互いに接触する部分を、所定の配線長d1だけ確保する必要があるものとする。 First, the connection aspect between the 1st connection member 8 and the 2nd connection member 9 is demonstrated. Specifically, the electrical connection between the first connecting member 8 and the second connecting member 9 is specifically the end of the first wiring structures 11, 12 provided in the first connecting member 8 and the second connecting member 9. This is realized by fixing the positional relationship between the first connection member 8 and the second connection member 9 in a state where the end portions of the two-wiring structure 16 are in contact with each other. From the viewpoint of suppressing the electrical contact resistance between the first wiring structures 11 and 12 and the second wiring structure 16 to such a level that there is no practical problem, in the present embodiment, the first wiring structures 11 and 12 and Assume that it is necessary to secure a portion where the second wiring structure 16 contacts each other by a predetermined wiring length d 1 .

第1配線構造11においてかかる配線長d1を確保するために、本実施の形態では第1接続部材8に関して、第2接続部材9と接続する側においてシート部材13がシート部材14よりも延伸した構造を有する。上述したように、第1配線構造11は、シート部材13を基材として形成され、シート部材14の下層に形成されることとなる。このため、第2配線構造16と接続するためには配線長d1の範囲が第1接続部材8の表面上に露出した構造とする必要があり、かかる配線長d1を確保するために基材たるシート部材14をシート部材13よりも延伸させた構造を採用する。なお、本実施の形態では第1配線構造12は全体が第1接続部材8の表面上に露出した構造を有するが、仮に保護層等によって被覆する構造を採用した場合であっても、第1配線構造11の場合と同様に第2接続部材9と接続する側の端部において配線長d1だけ露出した構造とすることが好ましい。 In the present embodiment, in order to ensure the wiring length d 1 in the first wiring structure 11, the sheet member 13 extends more than the sheet member 14 on the side connected to the second connection member 9 with respect to the first connection member 8. It has a structure. As described above, the first wiring structure 11 is formed using the sheet member 13 as a base material and is formed below the sheet member 14. Therefore, in order to connect the second wiring structure 16 it must be in the range of the wiring length d 1 is exposed on the surface of the first connecting member 8 structure, a group in order to ensure such a wiring length d 1 A structure in which the material sheet member 14 is extended more than the sheet member 13 is adopted. In the present embodiment, the entire first wiring structure 12 has a structure exposed on the surface of the first connection member 8. However, even if a structure that is covered with a protective layer or the like is employed, As in the case of the wiring structure 11, it is preferable to have a structure in which only the wiring length d 1 is exposed at the end on the side connected to the second connecting member 9.

このような構造の第1接続部材8に対して、第2接続部材9に備わる第2配線構造16は、第1配線構造11、12と接触する領域として、配線長d1のほぼ2倍にあたる配線長d2の範囲が必要となる。上述したように、第1接続部材8は、下層側に位置する第1配線構造11を表面に露出させるためにシート部材13をシート部材14よりも延伸させた構造を有する。ここで、シート部材14は、第1配線構造12の基材として機能することから、図3に示すように、シート部材13上に形成された第1配線構造11は、シート部材14上に形成された第1配線構造12よりも第2接続部材9側に配線長d1にほぼ等しい長さだけ延伸した構造を有することとなる。そして、複数の第2配線構造16は、それぞれが第1配線構造11、12のいずれか一方と接触する必要があり、いずれに対しても接触可能な構造とするためには、接触に要する配線長d2としてd1のほぼ2倍の値が必要となる。 In contrast to the first connecting member 8 having such a structure, the second wiring structure 16 provided in the second connecting member 9 is approximately twice the wiring length d 1 as a region in contact with the first wiring structures 11 and 12. A range of the wiring length d 2 is required. As described above, the first connection member 8 has a structure in which the sheet member 13 is extended more than the sheet member 14 in order to expose the first wiring structure 11 located on the lower layer side to the surface. Here, since the sheet member 14 functions as a base material of the first wiring structure 12, the first wiring structure 11 formed on the sheet member 13 is formed on the sheet member 14 as shown in FIG. The second wiring member 9 side of the first wiring structure 12 thus formed has a structure extending by a length substantially equal to the wiring length d 1 . Each of the plurality of second wiring structures 16 needs to be in contact with one of the first wiring structures 11 and 12, and in order to make a structure that can contact both of them, the wiring required for contact is required. As the length d 2 , a value almost twice as long as d 1 is required.

このように、接続用の領域が所定の配線長だけ確保された第1配線構造11、12および第2配線構造16を用いることによって、第1接続部材8と第2接続部材9とが電気的に接続されることとなる。すなわち、第1配線構造11、12と第2配線構造16とが向かい合う状態(図3の例では第2接続部材9が第1接続部材8に対して紙面垂直上方に位置することとなる)で第1接続部材8の端部と第2接続部材9の端部とが重ね合わされ、例えばACF(Anisotropic Conductive Film:異方性導電性接着剤)を用いることによって両者の位置関係が固定される。なお、第1接続部材8と第2接続部材9とが互いに固定された状態では、図3に示す一点鎖線領域同士が接触し、電気的導通が行われることとなる。すなわち、例えば、第1配線構造11aの一点鎖線領域は、第2配線構造16aの一点鎖線領域と接触した状態で固定され、第1配線構造12aの一点鎖線領域は、第2配線構造16bの一点鎖線領域と接触した状態で固定され、かかる接触状態により第1配線構造12aと第2配線構造16aとの間および第1配線構造11aと第2配線構造12bとの間がそれぞれ配線長d1の範囲で接触し、電気的な接触抵抗を充分に低減した、良好な電気的導通を実現している。このことは第1配線構造11bと第2配線構造16cとの間および第1配線構造12bと第2配線構造16dとの間においても同様であって、第1接続部材8に形成されたすべての第1配線構造と、第2接続部材9に形成されたすべての第2配線構造とは、それぞれ対応するものの間で電気的に接続することとなる。 In this way, the first connection member 8 and the second connection member 9 are electrically connected by using the first wiring structures 11 and 12 and the second wiring structure 16 in which the connection region is secured by a predetermined wiring length. Will be connected. That is, in a state where the first wiring structures 11 and 12 and the second wiring structure 16 face each other (in the example of FIG. 3, the second connection member 9 is positioned vertically above the first connection member 8 in the drawing). The end portion of the first connection member 8 and the end portion of the second connection member 9 are overlapped, and the positional relationship between them is fixed by using, for example, ACF (Anisotropic Conductive Film). In addition, in the state where the 1st connection member 8 and the 2nd connection member 9 were mutually fixed, the dashed-dotted line area | regions shown in FIG. 3 will contact, and electrical continuity will be performed. That is, for example, the one-dot chain line region of the first wiring structure 11a is fixed in contact with the one-dot chain line region of the second wiring structure 16a, and the one-dot chain line region of the first wiring structure 12a is one point of the second wiring structure 16b. The wire length d 1 is fixed between the first wiring structure 12a and the second wiring structure 16a and between the first wiring structure 11a and the second wiring structure 12b. Good electrical continuity is achieved with contact in a range and with sufficiently reduced electrical contact resistance. This is the same between the first wiring structure 11b and the second wiring structure 16c and between the first wiring structure 12b and the second wiring structure 16d. The first wiring structure and all the second wiring structures formed on the second connecting member 9 are electrically connected to each other.

次に、第2接続部材9と検査回路5との間の接続態様について説明する。第2接続部材9と検査回路5との間の電気的接続は、具体的には第2接続部材9に備わる第2配線構造16の端部と、検査回路5に備わる配線構造7の端部とが接触することによって実現される。   Next, a connection mode between the second connection member 9 and the inspection circuit 5 will be described. Specifically, the electrical connection between the second connection member 9 and the inspection circuit 5 is performed by connecting the end of the second wiring structure 16 provided in the second connection member 9 and the end of the wiring structure 7 provided in the inspection circuit 5. This is realized by contact with.

第2配線構造16の端部と配線構造7の端部とを接触させる場合にも、電気的な接触抵抗を低減するために配線長d1の領域に渡って接触させることとする。このため、第2配線構造16は、検査回路5と接触する側の端部にて接触領域として配線長d1の領域が確保され、配線構造7においても同様に配線長d1の領域が確保されている。そして、かかる確保された領域同士が接触するよう第2接続部材9と検査回路5との間の位置関係がACF等によって固定され、電気的な導通が実現される。 Even when the end portion of the second wiring structure 16 and the end portion of the wiring structure 7 are brought into contact with each other, the contact is made over the region of the wiring length d 1 in order to reduce electrical contact resistance. For this reason, the second wiring structure 16 has a wiring length d1 area as a contact area at the end on the side in contact with the inspection circuit 5, and the wiring structure 7 similarly has a wiring length d1 area. Yes. And the positional relationship between the 2nd connection member 9 and the test | inspection circuit 5 is fixed by ACF etc. so that this area | region ensured may contact, and electrical conduction is implement | achieved.

次に、本実施の形態にかかる検査装置の製造方法の一例について説明する。以下では、検査装置を構成する部材のうち、第1接続部材8および第2接続部材9によって構成される中継接続部材6の製造方法について説明することとする。   Next, an example of a method for manufacturing the inspection apparatus according to the present embodiment will be described. Below, among the members which comprise an inspection apparatus, suppose that the manufacturing method of the relay connection member 6 comprised by the 1st connection member 8 and the 2nd connection member 9 is demonstrated.

図4は、中継接続部材を構成する第1接続部材8および第2接続部材9の製造方法を説明するための模式図である。図4に示すように、まず単一のシート部材21上に、所定の配線パターンを形成する。シート部材21は、中央に位置する中央領域21a(特許請求の範囲における第3領域に対応)と、両端部に位置する端部領域21b(特許請求の範囲における第1領域に対応)、端部領域21c(特許請求の範囲における第2領域に対応)とによって構成されており、中央領域21aおよび端部領域21b、21cのそれぞれにおいて異なるパターンとなるよう配線が形成される。   FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a method of manufacturing the first connection member 8 and the second connection member 9 constituting the relay connection member. As shown in FIG. 4, a predetermined wiring pattern is first formed on a single sheet member 21. The sheet member 21 includes a central region 21a (corresponding to the third region in the claims) located at the center, an end region 21b (corresponding to the first region in the claims), end portions located at both ends. The region 21c (corresponding to the second region in the claims) is formed, and the wiring is formed so that the central region 21a and the end regions 21b and 21c have different patterns.

具体的には、シート部材21上には、中央領域21aから端部領域21bに渡って第1配線22a〜22hが形成され、中央領域21aから端部領域21cに渡って第2配線23a〜23iが形成される。第1配線22a〜22hおよび第2配線23a〜23iは、それぞれがほぼ平行に延伸した構成を有する一方で、中央領域21aにて第1配線と第2配線とが交互に配列するよう形成される。具体的には、図4に示すように第2配線23a、第1配線22a、第2配線23b、第1配線22b、・・・・、第1配線22h、第2配線23iの順に配列するよう配線パターンが形成される。また、シート部材21の端部近傍には、第1配線22a〜22hおよび第2配線23a〜23iのそれぞれに対応して、パッド24a〜24hおよびパッド25a〜25iが形成される。また、後述する位置あわせの際の便宜のため、図4の例では端部領域21c上に位置あわせ用のアライメント26(特許請求の範囲における位置あわせ標識の一例として機能する)が形成される。   Specifically, on the sheet member 21, first wirings 22a to 22h are formed from the central region 21a to the end region 21b, and second wirings 23a to 23i are formed from the central region 21a to the end region 21c. Is formed. The first wirings 22a to 22h and the second wirings 23a to 23i have a configuration in which each extends substantially in parallel, and the first wirings and the second wirings are alternately arranged in the central region 21a. . Specifically, as shown in FIG. 4, the second wiring 23a, the first wiring 22a, the second wiring 23b, the first wiring 22b,..., The first wiring 22h, and the second wiring 23i are arranged in this order. A wiring pattern is formed. Also, near the end of the sheet member 21, pads 24a to 24h and pads 25a to 25i are formed corresponding to the first wirings 22a to 22h and the second wirings 23a to 23i, respectively. For convenience in alignment described later, in the example of FIG. 4, an alignment 26 for alignment (functioning as an example of an alignment mark in the claims) is formed on the end region 21c.

その後、シート部材21を、図4に示す破線に沿って中央領域21a、端部領域21b、21cの三片に分割する。分割した三片は、それぞれ特許請求の範囲における第3シート部材、第1シート部材および第2シート部材の一例として機能するものである。所定の配線パターンが形成された中央領域21a、端部領域21b、21cは、それぞれ中継接続部材6に備わるシート部材15、シート部材13およびシート部材14を構成することとなり、各領域上に形成された配線パターンは、図4を図3と対比すれば明らかなように、それぞれ第2配線構造16、第1配線構造12、第1配線構造11を構成することとなる。すなわち、形成された第1配線22a〜22hおよび第2配線23a〜23iのうち、中央領域21a上に残存する部分は、それぞれ第2配線構造16を構成し、端部領域21bに残存する部分は、それぞれ第1配線構造12を構成し、端部領域21cに残存する部分は、それぞれ第1配線構造11を構成することとなる。また、パッド24およびパッド25はそれぞれ接続パッド19および接続パッド18を構成することとなる。   Thereafter, the sheet member 21 is divided into three pieces, that is, a central region 21a and end regions 21b and 21c along a broken line shown in FIG. The divided three pieces function as examples of the third sheet member, the first sheet member, and the second sheet member in the claims. The central region 21a, the end regions 21b, and 21c on which the predetermined wiring pattern is formed constitute the sheet member 15, the sheet member 13, and the sheet member 14 included in the relay connection member 6, and are formed on each region. As is clear from comparison of FIG. 4 with FIG. 3, the wiring patterns constitute the second wiring structure 16, the first wiring structure 12, and the first wiring structure 11, respectively. That is, of the formed first wirings 22a to 22h and second wirings 23a to 23i, the portions remaining on the central region 21a constitute the second wiring structure 16, respectively, and the portions remaining on the end region 21b are The first wiring structure 12 is constituted, and the portions remaining in the end region 21c constitute the first wiring structure 11, respectively. Further, the pad 24 and the pad 25 constitute the connection pad 19 and the connection pad 18, respectively.

そして、第1接続部材8を形成すべくシート部材14およびシート部材13に対応した端部領域21b、21cを順次積層し、固定する。なお、かかる工程において、上述したアライメント26によって端部領域21b、21cの位置あわせを正確に行うことが好ましい。例えば、図4に示す例では、アライメント26は、端部領域21bの中央領域21a側の端部(図4において、破線部にて示した側の端部)の位置を示しており、アライメント26の位置に端部領域21bの端部が一致するように積層・固定することによって、端部領域21b、21c間の位置関係を正確にあわせることが可能である。   Then, the end regions 21 b and 21 c corresponding to the sheet member 14 and the sheet member 13 are sequentially stacked and fixed to form the first connection member 8. In this process, it is preferable to accurately align the end regions 21b and 21c by the alignment 26 described above. For example, in the example illustrated in FIG. 4, the alignment 26 indicates the position of the end of the end region 21 b on the central region 21 a side (the end on the side indicated by the broken line in FIG. 4). It is possible to accurately match the positional relationship between the end regions 21b and 21c by stacking and fixing the end regions 21b so that the end portions of the end regions 21b coincide with each other.

その一方で、中央領域21aは、表面上に形成された第1配線22a〜22hと第2配線23a〜23iと共に第2接続部材9を形成する。そのため、中央領域21aを端部領域21b、21cを積層した構造に対して、配線構造同士が電気的に接続するよう、すなわち図3に示した接続関係を満たすよう固着することによって中継接続部材6が完成する。   On the other hand, the central region 21a forms the second connecting member 9 together with the first wirings 22a to 22h and the second wirings 23a to 23i formed on the surface. Therefore, the relay connection member 6 is fixed to the structure in which the center region 21a is laminated with the end regions 21b and 21c so that the wiring structures are electrically connected, that is, to satisfy the connection relationship shown in FIG. Is completed.

次に、本実施の形態にかかる検査装置の利点について説明する。まず、本実施の形態にかかる検査装置は、第1接続部材8において、互いに隣接する第1配線構造11、12が異なる層上に形成されたことによる利点を有する。図2にも示したように、互いに隣接する第1配線構造11、12が異なる層(すなわち、シート部材13、14)上に形成されたことにより、同一層上に形成された複数の第1配線構造11および複数の第1配線構造12配置間隔をプローブ3の配置間隔の2倍に広げることが可能である。このため、図2に示すようにプローブ3との端部と接触するための接続パッド18、19の面積を広くすることが可能であり、プローブ3と接続パッド18、19との間の位置あわせを容易に行うことが可能となると共に、プローブ3との間の摩擦力に起因した配線構造(接続パッド)の変形を抑制することが可能であるという利点を有する。   Next, advantages of the inspection apparatus according to this embodiment will be described. First, the inspection apparatus according to the present embodiment has an advantage that the first wiring structures 11 and 12 adjacent to each other are formed on different layers in the first connection member 8. As shown in FIG. 2, the first wiring structures 11 and 12 adjacent to each other are formed on different layers (that is, the sheet members 13 and 14), so that a plurality of first wiring structures formed on the same layer are formed. The arrangement interval of the wiring structure 11 and the plurality of first wiring structures 12 can be increased to twice the arrangement interval of the probes 3. For this reason, as shown in FIG. 2, the area of the connection pads 18 and 19 for contacting the end of the probe 3 can be increased, and the alignment between the probe 3 and the connection pads 18 and 19 can be made. Can be easily performed, and deformation of the wiring structure (connection pad) due to the frictional force with the probe 3 can be suppressed.

また、本実施の形態では、それぞれシート部材13上に形成された複数の接続パッド18と、それぞれシート部材14上に形成された複数の接続パッド19に関して、隣接するもの同士が、第1配線構造の延伸方向に関して異なる位置に配置された構造を有する。かかる構造を採用することによって、接続パッド18、19のそれぞれに関してさらに面積を大きくすることが可能である。すなわち、例えば図2において、接続パッド18bは、第1配線構造の延伸方向(図2における縦方向)に関して、接続パッド18a、18cと異なる位置に形成されることから、延伸方向と垂直な方向(図2における横方向)に関して延伸しても接続パッド18a、18cと短絡することはない。このため、接続パッド18bに関しては近傍に位置する第1配線構造11a、11cと短絡しない限りにおいて延伸方向と垂直な方向に延伸させることが可能となる。このことは他の接続パッド18a、19a等でも同様であって、同一層上にて隣接するもの同士が異なる位置に配置されることで、さらに広い面積の接続パッドを実現することが可能である。   Further, in the present embodiment, adjacent ones of the plurality of connection pads 18 formed on the sheet member 13 and the plurality of connection pads 19 respectively formed on the sheet member 14 are the first wiring structure. It has the structure arrange | positioned in a different position regarding the extending | stretching direction. By adopting such a structure, the area of each of the connection pads 18 and 19 can be further increased. That is, for example, in FIG. 2, the connection pad 18b is formed at a position different from the connection pads 18a and 18c with respect to the extending direction (vertical direction in FIG. 2) of the first wiring structure. Even if it extends in the lateral direction in FIG. 2, it does not short-circuit with the connection pads 18a and 18c. For this reason, the connection pad 18b can be extended in a direction perpendicular to the extending direction as long as it is not short-circuited with the first wiring structures 11a and 11c located in the vicinity. This also applies to the other connection pads 18a, 19a, etc., and adjacent pads on the same layer are arranged at different positions, so that connection pads with a larger area can be realized. .

さらに、本実施の形態では、中継接続部材9にて第2接続部材9を新たに設けた構造を採用することにより、検査回路5と中継接続部材9との間で良好な電気的導通を実現することが可能であるという利点を有する。以下、かかる利点について詳細に説明する。   Further, in the present embodiment, by adopting a structure in which the second connection member 9 is newly provided in the relay connection member 9, good electrical conduction is realized between the inspection circuit 5 and the relay connection member 9. Has the advantage of being able to. Hereinafter, such advantages will be described in detail.

上述したように、本実施の形態では第1接続部材8にて第1配線構造11、12が異なる層上に形成された構造を有し、より具体的には、第1配線構造11、12間には、シート部材14が介在することとなる。従って、下層に位置する第1配線構造11を他と電気的に導通するためには、端部近傍にて第1配線構造11を露出した構造を採用する必要があり、第1配線構造11における電気的接続部分(図3における一点鎖線領域)と、上層に形成された第1配線構造12における電気的接続部分(図3における一点鎖線領域)とは配線構造の延伸方向に関して位置がずれることとなる。このため、第1接続部材8と電気的に接続する部材は、第1配線構造11、12の双方と電気的に接続するために、通常必要とされる配線長d1のほぼ2倍の長さたる配線長d2を電気的接続部分として確保する必要がある。 As described above, the present embodiment has a structure in which the first wiring structures 11 and 12 are formed on different layers in the first connection member 8, and more specifically, the first wiring structures 11 and 12. The sheet member 14 is interposed therebetween. Therefore, in order to electrically connect the first wiring structure 11 located in the lower layer to the other, it is necessary to adopt a structure in which the first wiring structure 11 is exposed in the vicinity of the end portion. The electrical connection portion (dashed line area in FIG. 3) and the electrical connection portion (dashed line area in FIG. 3) in the first wiring structure 12 formed in the upper layer are displaced with respect to the extending direction of the wiring structure. Become. For this reason, the member that is electrically connected to the first connection member 8 is approximately twice as long as the wiring length d 1 that is normally required to electrically connect to both the first wiring structures 11 and 12. It is necessary to secure the wiring length d 2 as an electrical connection portion.

これに対して、中継接続部材8の接続対象たる検査回路5は、電気的接続部分(配線構造7)の長さとして配線長d1程度しか備えないのが通常である。上述したように、検査回路5は検査対象1を実装する際にドライバ回路等として用いられるものを流用したものであることから、検査回路5に備わる電気的接続部分は、検査対象1の表面上(すなわち、同一層上)に形成された端子2と電気的に接続するために必要な長さ(例えば、配線長d1)のみを有することとなる。従って、第1接続部材8と検査回路5とを直接的に接続した場合には、第1接続部材8と検査回路5との間で充分な導通状態を得ることが困難であるという問題が新たに生じることとなる。検査回路5として、電気的接続部分が配線長d2となる検査専用の回路を用いることとしても良いが、かかる構成を採用した場合には、実装時の動作に即した検査を行うことが困難になることおよび検査装置の製造コストが上昇するという別の問題が新たに生じることとなり、根本的な問題の解決とはならない。 On the other hand, the inspection circuit 5 to be connected to the relay connection member 8 usually has only the wiring length d 1 as the length of the electrical connection portion (wiring structure 7). As described above, since the inspection circuit 5 uses a circuit used as a driver circuit or the like when the inspection object 1 is mounted, the electrical connection portion provided in the inspection circuit 5 is on the surface of the inspection object 1. That is, it has only a length (for example, wiring length d 1 ) necessary for electrical connection with the terminal 2 formed on (that is, on the same layer). Therefore, when the first connection member 8 and the inspection circuit 5 are directly connected, there is a new problem that it is difficult to obtain a sufficient conduction state between the first connection member 8 and the inspection circuit 5. Will occur. As the inspection circuit 5, it is possible to use a circuit dedicated to inspection in which the electrical connection portion has the wiring length d 2. However, when such a configuration is adopted, it is difficult to perform inspection in accordance with the operation at the time of mounting. And a new problem arises that the manufacturing cost of the inspection apparatus rises, and does not solve the fundamental problem.

そこで、本実施の形態では、第1接続部材8と検査回路5との間に第2接続部材9を介在させた構成を採用することにより、中継接続部材6と検査回路5との間で良好な導通状態を実現している。すなわち、第2接続部材9においては、配線長に制限が無く、第1接続部材8と接続する側にて第2配線構造16にて配線長d2を確保することは容易であるため、異なる層上に形成された第1配線構造11、12のいずれに対しても良好な導通状態を実現することが可能である。また、上述したように複数の第2配線構造16は、すべてが単一のシート部材15上に形成されていることから、検査回路5に備わる配線構造7との間の電気的な接続には配線長d1で足りることとなり、既存の検査回路5を流用しても充分な導通を確保することが可能であることとなる。このように、第1接続部材8のみならず第2接続部材9も備えることによって、中継接続部材6は、第1接続部材8の作用によってプローブ3に対して充分な導通を確保することが可能であり、第2接続部材9の作用によって検査回路5に対して充分な導通を確保することができるという利点を有することとなる。 Therefore, in the present embodiment, by adopting a configuration in which the second connection member 9 is interposed between the first connection member 8 and the inspection circuit 5, the relay connection member 6 and the inspection circuit 5 are good. Realizes a good conduction state. That is, in the second connection member 9, there is no limitation on the wiring length, and it is easy to secure the wiring length d 2 in the second wiring structure 16 on the side connected to the first connection member 8. It is possible to realize a good conduction state for both the first wiring structures 11 and 12 formed on the layer. Further, as described above, since the plurality of second wiring structures 16 are all formed on the single sheet member 15, the electrical connection with the wiring structure 7 provided in the inspection circuit 5 is not possible. The wiring length d 1 is sufficient, and sufficient conduction can be secured even if the existing inspection circuit 5 is used. Thus, by providing not only the first connection member 8 but also the second connection member 9, the relay connection member 6 can ensure sufficient conduction to the probe 3 by the action of the first connection member 8. Thus, the second connecting member 9 has an advantage that sufficient electrical continuity can be secured to the inspection circuit 5.

また、本実施の形態において中継接続部材6が第2接続部材9を新たに備えたことによって、物理的に無理のない構造の検査装置を実現できるという利点を有する。図5に示したように、従来の検査装置では、中継接続部材104が単一の接続部材によって形成された構造を有する。このため、従来の検査装置では、検査回路105上に形成された複数の配線構造105aと検査対象101上に形成された複数の端子101aとの間の対応関係を維持するためには、図5に示すように中継接続部材104と検査回路105とを「く」の字状に接続する必要があり、物理的に無理が生じた構造となり、強度の弱い部分において断線が生じる等の問題があった。   In addition, since the relay connection member 6 is newly provided with the second connection member 9 in the present embodiment, there is an advantage that an inspection apparatus having a structure that is physically reasonable can be realized. As shown in FIG. 5, the conventional inspection apparatus has a structure in which the relay connection member 104 is formed by a single connection member. Therefore, in the conventional inspection apparatus, in order to maintain the correspondence between the plurality of wiring structures 105a formed on the inspection circuit 105 and the plurality of terminals 101a formed on the inspection object 101, FIG. It is necessary to connect the relay connection member 104 and the inspection circuit 105 in a “<” shape as shown in FIG. 3, resulting in a structure that is physically unreasonable, and there are problems such as disconnection in a weak portion. It was.

これに対して、本実施の形態では、中継接続部材6は、複数の接続部材(第1接続部材8、第2接続部材9)を備えた構造を有することによりかかる問題を解決している。すなわち、図1における紙面垂直方向に関する端子2の配列パターンは、端子2に対して第1配線構造11、12が対向した状態で配置された第1接続部材8を経由することによって反転する。その後、第1配線構造11、12に対して第2配線構造16が対向した状態で配置された第2接続部材9を経由することによって再び反転し、元の配列パターンと一致することとなる。この結果、検査回路5は、検査対象1に備わる複数の端子2と接触させた場合と同様に配線構造7を第2配線構造16と接触させることが可能となり、「く」の字状ではなく通常の接続態様によって第2接続部材9と検査回路5とを接続することが可能となる。この結果、本実施の形態にかかる検査装置は、物理的に無理のない構造を実現することができ、断線等の不具合の発生確率を低減できるという利点を有することとなる。   On the other hand, in this Embodiment, the relay connection member 6 has solved the problem by having a structure provided with the some connection member (the 1st connection member 8, the 2nd connection member 9). That is, the arrangement pattern of the terminals 2 in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1 is reversed by passing through the first connection members 8 arranged with the first wiring structures 11 and 12 facing the terminals 2. After that, the second wiring member 16 is reversed by passing through the second connecting member 9 disposed in a state where the second wiring structure 16 is opposed to the first wiring structures 11 and 12, and coincides with the original arrangement pattern. As a result, the inspection circuit 5 can bring the wiring structure 7 into contact with the second wiring structure 16 in the same manner as in the case where the inspection circuit 5 is in contact with the plurality of terminals 2 provided in the inspection object 1, and is not in the shape of “<”. The second connection member 9 and the inspection circuit 5 can be connected by a normal connection mode. As a result, the inspection apparatus according to the present embodiment has an advantage that a structure that is physically reasonable can be realized and the probability of occurrence of defects such as disconnection can be reduced.

さらに、本実施の形態にかかる検査装置は、図4に示したように中継接続部材6を単一のシート部材21を用いて製造することが可能である。また、上述したように中継接続部材6を構成するシート部材15上に形成される第2配線構造16は、シート部材13、14上に形成される第1配線構造11、12と交互に接続する構成を有する。従って、シート部材21上において、中央領域21a(分離後にシート部材15を構成)上に第1配線22と第2配線23を交互に配列するよう形成し、端部領域21c(分離後にシート部材13を構成)にはそのうちの第2配線23を延伸させ、端部領域21b(分離後にシート部材14を構成)には第1配線22を延伸させた配線構造を形成することによって、第1配線構造11、12および第2配線構造16を容易に実現することが可能である。このため、シート部材21上に配線パターンを形成するためのマスクは、領域毎に3通りのものを用意する必要はなく、単純なパターンのマスクを用いて配線パターンを形成することが可能である。   Furthermore, the inspection apparatus according to the present embodiment can manufacture the relay connection member 6 using the single sheet member 21 as shown in FIG. Further, as described above, the second wiring structure 16 formed on the sheet member 15 constituting the relay connection member 6 is alternately connected to the first wiring structures 11 and 12 formed on the sheet members 13 and 14. It has a configuration. Therefore, on the sheet member 21, the first wiring 22 and the second wiring 23 are alternately arranged on the central region 21 a (the sheet member 15 is configured after the separation), and the end region 21 c (the sheet member 13 after the separation is formed). The first wiring structure is formed by extending the second wiring 23 of the first wiring 22 and forming the wiring structure by extending the first wiring 22 in the end region 21b (the sheet member 14 is configured after separation). 11 and 12 and the second wiring structure 16 can be easily realized. Therefore, it is not necessary to prepare three types of masks for forming a wiring pattern on the sheet member 21 for each region, and it is possible to form a wiring pattern using a simple pattern mask. .

また、図4からも明らかなように第1配線22は中央領域21aと端部領域21bとで連続性を保持し、第2配線23は中央領域21aと端部領域21cとで連続性を保持する。従って、シート部材21を分離することによって形成されるシート部材13、14、15は、それぞれ表面上に形成された第1配線構造11、12と第2配線構造16との間で隣接配線間の間隔がずれる等の弊害が生じることはなく、第1接続部材8と第2接続部材9とを接続した際に、いずれの配線構造に関しても良好な導通状態を確保することが可能であるという利点を有する。   As is clear from FIG. 4, the first wiring 22 maintains continuity in the central region 21a and the end region 21b, and the second wiring 23 maintains continuity in the central region 21a and the end region 21c. To do. Therefore, the sheet members 13, 14, 15 formed by separating the sheet member 21 are adjacent to each other between the first wiring structures 11, 12 formed on the surface and the second wiring structure 16. There is no adverse effect such as a gap in the distance, and it is possible to ensure a good conduction state for any wiring structure when the first connection member 8 and the second connection member 9 are connected. Have

以上、実施の形態を用いて本発明を説明したが、実施の形態はあくまで一具体例であって、本発明を実施の形態に限定して解釈するべきではなく、当業者であれば様々な実施例、変形例に想到することが可能である。例えば、本実施の形態では第1接続部材8の構成として、それぞれ所定の配線パターンが表面上に形成されたシート部材13、14を積層した構造を有するが、第1接続部材8としてはTAB、FPC等を積層した構造に限定する必要はなく、隣接した第1配線構造が互いに異なる層上に形成された構造であれば第1接続部材として使用することが可能である。また、第1配線構造が形成される層の数についても、2層に限定する必要はなく、複数であれば任意の数の層上に第1配線構造を形成することが可能である。   Although the present invention has been described above using the embodiment, the embodiment is merely a specific example, and the present invention should not be construed as being limited to the embodiment. Examples and modifications can be conceived. For example, in the present embodiment, the configuration of the first connection member 8 has a structure in which sheet members 13 and 14 each having a predetermined wiring pattern formed on the surface thereof are laminated. As the first connection member 8, TAB, It is not necessary to limit to a structure in which FPCs or the like are stacked, and any structure in which adjacent first wiring structures are formed on different layers can be used as the first connection member. Also, the number of layers on which the first wiring structure is formed is not limited to two, and the first wiring structure can be formed on any number of layers as long as there are a plurality of layers.

実施の形態にかかる検査装置の全体構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the whole structure of the test | inspection apparatus concerning embodiment. 検査装置を構成する第1接続部材のプローブ近傍部分の構造を詳細に示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the probe vicinity part of the 1st connection member which comprises an inspection apparatus in detail. 検査装置を構成する第1接続部材、第2接続部材および検査回路の相互間における接続態様を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the connection aspect between the 1st connection member which comprises a test | inspection apparatus, a 2nd connection member, and a test circuit. 検査装置を構成する中継接続部材の製造方法を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the manufacturing method of the relay connection member which comprises an inspection apparatus. 従来の検査装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the conventional inspection apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 検査対象
2 端子
3 プローブ
4 プローブホルダ
5 検査回路
5a ICチップ
6 中継接続部材
7 配線構造
8 第1接続部材
9 第2接続部材
10 補強部材
11、11a〜11d 第1配線構造
12、12a〜12d 第1配線構造
13〜15 シート部材
16、16a〜16d 第2配線構造
18a〜18d 接続パッド
19a〜19d 接続パッド
21 シート部材
21a 中央領域
21b、21c 端部領域
22a〜22h 第1配線
23a〜23i 第2配線
24a〜24h パッド
25a〜25i パッド
26 アライメント
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection object 2 Terminal 3 Probe 4 Probe holder 5 Inspection circuit 5a IC chip 6 Relay connection member 7 Wiring structure 8 1st connection member 9 2nd connection member 10 Reinforcing member 11, 11a-11d 1st wiring structure 12, 12a-12d First wiring structure 13-15 Sheet member 16, 16a-16d Second wiring structure 18a-18d Connection pad 19a-19d Connection pad 21 Sheet member 21a Central region 21b, 21c End region 22a-22h First wiring 23a-23i First 2 wirings 24a-24h pad 25a-25i pad 26 alignment

Claims (5)

所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と一端が接触するように配列された複数のプローブの他端と、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材であって、
それぞれの一端において前記複数のプローブの他端とそれぞれ電気的に接続する複数の接続パッドを有し、隣接する接続パッド同士が異なる層上に位置し、他端が少なくとも所定の配線長だけ表面に露出するとともに積層方向に沿ってみたときに互いに重ならない配線パターンを有する複数の第1配線構造が形成された第1接続部材と、
一端において前記第1配線構造の露出した他端と対向した状態で配列されて前記第1配線構造と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第2配線構造が同一層上に形成された第2接続部材と、
を備えたことを特徴とする中継接続部材。
An inspection for outputting an inspection signal used for the inspection, and the other end of the plurality of probes arranged so that the one end contacts the plurality of terminals formed on the inspection object when inspecting a predetermined inspection object A relay connection member for electrically connecting a circuit,
In one end of each of a plurality of connection pads for connecting said plurality of other ends and respective electrical probe, located on the connection pads with adjacent different layers, the other end by at least a predetermined wiring length front surface A first connection member formed with a plurality of first wiring structures having wiring patterns that are exposed to each other and do not overlap each other when viewed in the stacking direction;
A plurality of second wiring structures arranged at one end to face the other exposed end of the first wiring structure and in contact with the first wiring structure and electrically connected to the inspection circuit at the other end are in the same layer. A second connecting member formed thereon;
A relay connection member comprising:
前記第1接続部材は、上面に1以上の前記第1配線構造が設けられ、絶縁部材によって形成されたシート部材を複数積層した構造を有し、
隣り合う前記第1配線構造は、互いに異なるシート部材上に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の中継接続部材。
The first connection member has a structure in which one or more first wiring structures are provided on an upper surface, and a plurality of sheet members formed by an insulating member are stacked,
The relay connection member according to claim 1, wherein the adjacent first wiring structures are formed on different sheet members.
所定の検査対象に対して該検査対象に備わる複数の端子を介して電気信号を入出力することによって検査を行う検査装置であって、
前記検査対象上に形成された複数の前記端子のそれぞれと一端が接触するように配列された複数のプローブと、
複数の前記プローブを前記端子に対応した位置に収容するプローブホルダと、
それぞれの一端において前記複数のプローブの他端とそれぞれ電気的に接続する複数の接続パッドを有し、隣接する接続パッド同士が異なる層上に位置し、他端が少なくとも所定の配線長だけ表面に露出するとともに積層方向に沿ってみたときに互いに重ならない配線パターンを有する複数の第1配線構造が形成された第1接続部材と、
一端において前記第1配線構造の露出した他端と対向した状態で配列されて前記第1配線構造と接触し、他端において前記検査回路と電気的に接続する複数の第2配線構造が同一層上に形成された第2接続部材と、
前記第2接続部材と電気的に接続され、前記第2接続部材に対して少なくとも検査信号を出力する検査回路と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
An inspection apparatus that inspects a predetermined inspection object by inputting and outputting electrical signals through a plurality of terminals provided in the inspection object,
A plurality of probes arranged so that one end of each of the plurality of terminals formed on the inspection object contacts;
A probe holder that houses a plurality of the probes at positions corresponding to the terminals;
In one end of each of a plurality of connection pads for connecting said plurality of other ends and respective electrical probe, located on the connection pads with adjacent different layers, the other end by at least a predetermined wiring length front surface A first connection member formed with a plurality of first wiring structures having wiring patterns that are exposed to each other and do not overlap each other when viewed in the stacking direction;
A plurality of second wiring structures arranged at one end to face the other exposed end of the first wiring structure and in contact with the first wiring structure and electrically connected to the inspection circuit at the other end are in the same layer. A second connecting member formed thereon;
An inspection circuit that is electrically connected to the second connection member and outputs at least an inspection signal to the second connection member;
An inspection apparatus comprising:
所定の検査対象に対する検査の際に前記検査対象上に形成された複数の端子と接触する複数のプローブと、前記検査に使用される検査信号を出力する検査回路との間を電気的に接続する中継接続部材の製造方法であって、
単一のシート部材の表面上に、一方の端部から中央付近まで延伸した複数の第1配線と、他方の端部から中央付近まで延伸し、かつ中央付近にて隣接する前記第1配線間に位置するよう形成された第2配線とを形成する配線形成工程と、
前記シート部材を、前記第1配線および前記第2配線が延伸する方向に関して、前記第1配線のみが形成された第1領域と、前記第2配線のみが形成された第2領域と、前記第1配線および前記第2配線の双方が形成された第3領域とに分割することによって第1シート部材、第2シート部材および第3シート部材を形成するシート分割工程と、
前記第1シート部材および前記第2シート部材を、前記第1配線と前記第2配線との配列パターンが、前記第3シート部材における配列パターンとほぼ同一になるよう積層する積層工程と、
前記第1シート部材および前記第2シート部材の積層構造における前記第1配線および前記第2配線の端部を、前記第3シート部材における前記第1配線および前記第2配線の端部と電気的に接続した状態で前記第1、第2および第3シート部材の相互間の位置関係を固定する固定工程と、
を含むことを特徴とする中継接続部材の製造方法。
An electrical connection is made between a plurality of probes that come into contact with a plurality of terminals formed on the inspection object and an inspection circuit that outputs an inspection signal used for the inspection when inspecting a predetermined inspection object A method of manufacturing a relay connection member,
On the surface of a single sheet member, a plurality of first wirings extending from one end to the vicinity of the center, and between the first wirings extending from the other end to the vicinity of the center and adjacent in the vicinity of the center A wiring formation step of forming a second wiring formed to be located at
With respect to the direction in which the first wiring and the second wiring extend, the sheet member includes a first region in which only the first wiring is formed, a second region in which only the second wiring is formed, A sheet dividing step of forming the first sheet member, the second sheet member, and the third sheet member by dividing the wiring into a third region in which both the one wiring and the second wiring are formed;
A laminating step of laminating the first sheet member and the second sheet member so that an arrangement pattern of the first wiring and the second wiring is substantially the same as an arrangement pattern of the third sheet member;
The ends of the first wiring and the second wiring in the laminated structure of the first sheet member and the second sheet member are electrically connected to the ends of the first wiring and the second wiring in the third sheet member. A fixing step of fixing the positional relationship between the first, second and third sheet members in a state where they are connected to each other;
The manufacturing method of the relay connection member characterized by including.
前記積層工程前において、前記第1シート部材および前記第2シート部材の少なくともいずれか一方に対して、他方との位置あわせに利用する位置あわせ標識を形成する標識形成工程をさらに含み、
前記積層工程において、前記位置あわせ標識を用いて前記第1シート部材と前記第2シート部材との間の位置あわせを行いつつ積層することを特徴とする請求項4に記載の中継接続部材の製造方法。
Prior to the laminating step, the method further includes a label forming step of forming an alignment mark used for alignment with the other of at least one of the first sheet member and the second sheet member,
5. The relay connection member according to claim 4, wherein in the stacking step, stacking is performed while performing alignment between the first sheet member and the second sheet member using the alignment mark. Method.
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