JP4759735B2 - 駆動アクチュエータ - Google Patents
駆動アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4759735B2 JP4759735B2 JP2005314354A JP2005314354A JP4759735B2 JP 4759735 B2 JP4759735 B2 JP 4759735B2 JP 2005314354 A JP2005314354 A JP 2005314354A JP 2005314354 A JP2005314354 A JP 2005314354A JP 4759735 B2 JP4759735 B2 JP 4759735B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- drive actuator
- drive
- force
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Description
本発明は、駆動アクチュエータに関し、詳しくは、少なくとも一方向に駆動する駆動アクチュエータに関する。
従来、この種の駆動アクチュエータとしては、枠内の一方側に配置された電極と、枠に他方側にバネ接続された可動マスと、可動マスが電極に当接しないように設けられたストッパと、電極と可動マスに直流電圧を印加する直流電源と、を備えるものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この駆動アクチュエータでは、電極と振動部材とに直流電圧を印加することにより、電極と可動マスとの間に作用する静電引力により可動マスを引きつけてストッパに衝突させ、この衝突の際のエネルギにより一方側に駆動させる。
国際公開公報 WO01/68512 A1
しかしながら、上述の駆動アクチュエータでは、単に直流電圧を印加するだけでは可動マスの衝突の一回分の駆動しか行なうことができないため、連続的に駆動するには直流電圧の印加のオンオフを繰り返さなければならず、スイッチング制御が可能な駆動回路を備える必要があり、装置が複雑化する。また、可動マスをバネ接続するから、ストッパに衝突させるときにもバネにエネルギが蓄えられ、衝突により駆動に用いられるエネルギが小さく、エネルギ効率が低いものとなる。
本発明の駆動アクチュエータは、簡易な構成で少なくとも一方向に精密に駆動することを目的の一つとする。また、本発明の駆動アクチュエータは、直流電圧を印加するだけで少なくとも一方向に精密に駆動することを目的の一つとする。さらに、本発明の駆動アクチュエータは、高い分解能で駆動することを目的の一つとする。加えて、本発明の駆動アクチュエータは、よりエネルギ効率の高いものとすることを目的の一つとする。
本発明の駆動アクチュエータは、上述の目的の少なくとも一部を達成するために以下の手段を採った。
本発明の駆動アクチュエータは、
少なくとも一方向に駆動する駆動アクチュエータであって、
前記一方向上に所定の距離をもって配置された一対の電極と、
前記一対の電極に直流電圧を印加する電圧印加手段と、
前記一対の電極間で該一対の電極に衝突しながら振動するよう配置され、少なくとも前記一対の電極と接触する部分が導電性材料により連続して形成されてなる振動部材と、
前記振動部材の振動に伴って該振動部材が前記一対の電極のうちの前記一方向側に配置された一方の電極に衝突したときに該一方の電極を介して前記駆動アクチュエータに作用する前記一方向に駆動しようとする一方向駆動力と前記駆動アクチュエータが載置された床面から該駆動アクチュエータに作用する前記一方向への駆動を阻止しようとする一方向抗力との偏差である一方向駆動有効力が、前記振動部材の振動に伴って該振動部材が前記一対の電極のうちの前記一方向とは反対側に配置された他方の電極に衝突したときに該他方の電極を介して前記駆動アクチュエータに作用する前記一方向とは逆方向に駆動しようとする逆方向駆動力と前記駆動アクチュエータが載置された床面から該駆動アクチュエータに作用する前記一方向とは逆方向への駆動を阻止しようとする逆方向抗力との偏差である逆方向駆動有効力より大きくなるようにする駆動力作用手段と、
を備えることを要旨とする。
少なくとも一方向に駆動する駆動アクチュエータであって、
前記一方向上に所定の距離をもって配置された一対の電極と、
前記一対の電極に直流電圧を印加する電圧印加手段と、
前記一対の電極間で該一対の電極に衝突しながら振動するよう配置され、少なくとも前記一対の電極と接触する部分が導電性材料により連続して形成されてなる振動部材と、
前記振動部材の振動に伴って該振動部材が前記一対の電極のうちの前記一方向側に配置された一方の電極に衝突したときに該一方の電極を介して前記駆動アクチュエータに作用する前記一方向に駆動しようとする一方向駆動力と前記駆動アクチュエータが載置された床面から該駆動アクチュエータに作用する前記一方向への駆動を阻止しようとする一方向抗力との偏差である一方向駆動有効力が、前記振動部材の振動に伴って該振動部材が前記一対の電極のうちの前記一方向とは反対側に配置された他方の電極に衝突したときに該他方の電極を介して前記駆動アクチュエータに作用する前記一方向とは逆方向に駆動しようとする逆方向駆動力と前記駆動アクチュエータが載置された床面から該駆動アクチュエータに作用する前記一方向とは逆方向への駆動を阻止しようとする逆方向抗力との偏差である逆方向駆動有効力より大きくなるようにする駆動力作用手段と、
を備えることを要旨とする。
この本発明の駆動アクチュエータでは、電圧印加手段により一方向上に所定の距離をもって配置された一対の電極に直流電圧が印加されると、一対の電極間で一対の電極に接触しながら振動するよう配置された振動部材は、少なくとも一対の電極と接触する部分が導電性材料により連続して形成されていることからGordonにより18世紀に製作された電気ベルの原理により一対の電極間で接触しながら振動する。振動部材が一対の電極のうちの一方向側に配置された一方の電極に衝突すると、この一方の電極を介して駆動アクチュエータに一方向に駆動しようとする一方向駆動力が作用すると共に駆動アクチュエータには床面から一方向への駆動を阻止しようとする一方向抗力とが作用するから、一方向への有効な駆動力は一方向駆動力から一方向抗力を減じた一方向駆動有効力となる。一方、振動部材が一対の電極のうちの他方の電極に衝突すると、この他方の電極を介して駆動アクチュエータに一方向とは逆方向に駆動しようとする逆方向駆動力が作用すると共に駆動アクチュエータには床面から逆方向への駆動を阻止しようとする逆方向抗力とが作用するから、逆方向への有効な駆動力は逆方向駆動力から逆方向抗力を減じた逆方向駆動有効力となる。駆動力作用手段はこうした一方向駆動有効力が逆方向駆動有効力より大きくなるようにするから、駆動アクチュエータは、全体として一方向に駆動することになる。このように、簡易な構成であるから、小型化や軽量化が容易であり、印加する直流電圧や振動部材の質量,駆動アクチュエータ自体の質量を調整することにより、一方向に極めて高い分解能で精密に駆動することができる。しかも、直流電圧を印加するだけで一方向に駆動することができる。また、一方の電極に振動部材が衝突する際に他にエネルギを蓄えるものを取り付ける必要がないから、衝突により駆動に用いられるエネルギを大きくすることができ、エネルギ効率を向上させることができる。
こうした本発明の駆動アクチュエータにおいて、前記駆動力作用手段は、前記一方向駆動力が前記逆方向駆動力より大きくなるようにする手段であるものとすることもできる。この場合、前記駆動力作用手段は、前記振動部材の振動中心を前記一方の電極側に偏心させる手段であるものとすることもできる。また、前記駆動力作用手段は、前記振動部材が前記一方の電極に衝突したときの該一方の電極の撓み量を前記振動部材が前記他方の電極に衝突したときの該他方の電極の撓み量より小さくする手段であるものとすることもできる。この場合、前記駆動力作用手段は、前記一方の電極の剛性が前記他方の電極より大きくなるよう形成されてなる前記一対の電極であるものとすることもできるし、前記駆動力作用手段は、前記一方の電極の支持剛性が前記他方の電極より大きくなるよう前記一対の電極を支持する支持部材であるものとすることもできる。
また、駆動力作用手段が一方向駆動力を逆方向駆動力より大きくする手段である態様の本発明の駆動アクチュエータにおいて、前記駆動力作用手段は、前記一方の電極の床面に対する角度が前記他方の床面に対する角度より大きくなるよう配置されてなる前記一対の電極であるものとすることもできる。また、前記駆動力作用手段は、前記振動部材を鉛直方向成分をもって振動させる手段であるものとすることもできる。さらに、前記駆動力作用手段は、前記振動部材を前記一方の電極側に付勢力を作用させるバネ部材であるものとすることもできる。
本発明の駆動アクチュエータにおいて、前記駆動力作用手段は、前記一方向抗力が前記逆方向抗力より小さくなるようにする手段であるものとすることもできる。この場合、前記駆動力作用手段は、前記振動部材が前記一方の電極に衝突したときの前記駆動アクチュエータと床面との摩擦力が前記振動部材が前記他方の電極に衝突したときの前記駆動アクチュエータろ床面との摩擦力より小さくなるようにする手段であるものとすることもできる。更にこの場合、前記駆動力作用手段は、前記床面に前記一方の電極と同極の電圧を作用させる床電圧作用手段と、絶縁性材料により形成され前記床面に接触する接触面部と導電性材料により形成され該接触面部の前記床面と接触する側の反対側の面の表面に配置された導電性面部とからなる底部材と、前記振動部材と前記導電性面部とを電気的に接続する電気的接続部材と、を備える手段であるものとすることもできる。この場合、振動部材が一方の電極に衝突したときには床面の極性と振動部材の極性が同じになり、振動部材が他方の電極に衝突したときには床面の極性と振動部材の極性は異なるものとなる。このため、振動部材が他方の電極に衝突した瞬時に静電吸引力が駆動アクチュエータに作用することになり、逆方向抗力が急増し、逆方向抗力に比して一方向抗力が小さくなる。
本発明の駆動アクチュエータにおいて、前記逆方向駆動有効力が値0となるよう調整されてなるものとすることもできる。こうすれば、逆方向への駆動は生じないものとすることができ、一方向への駆動と逆方向への駆動との振動を伴って一方向に駆動するのを抑止することができる。
本発明の駆動アクチュエータにおいて、前記電圧印加手段は、床面から前記一対の電極に電圧を印加する手段であるものとすることもできる。こうすれば、駆動する駆動アクチュエータに容易に直流電圧を印加することができる。この場合、前記電圧印加手段は、前記一方向に沿って平行に配置されたレール状の給電用電極を備える手段であり、前記一対の電極は、前記給電用電極のうち対応する電極には接触するが対応しない電極には非接触となるよう形成されてなるものとすることもできる。
次に、本発明を実施するための最良の形態を実施例を用いて説明する。
図1は、本発明の一実施例としての駆動アクチュエータ20の構成の概略を示す構成図である。実施例の駆動アクチュエータ20は、床10に載置される下部材と上部材と側部材ろからなる枠体22と、この枠体22の側部材と対をなす側部材として配置された一方向用電極24と、一方向用電極24と対をなし枠体22の上部材から釣り下げられて下部材に対しては開放されるよう配置された逆方向用電極26と、一方向用電極24と逆方向用電極26との間に配置されて両電極24,26に接触可能に振動する振動部材30と、一方向用電極24および逆方向用電極26に直流電圧を印加する直流電源40と、を備える。
枠体22は、非導電性材料、例えばアクリルなどにより形成されており、一方向用電極24および逆方向用電極26は、導電性材料、例えば銅などにより形成されている。一方向用電極24は、その剛性が高くなるように(撓みにくくなるように)厚く形成されており、逆方向用電極26は、その剛性が低くなるように(撓みやすくなるように)薄く形成されている。また、逆方向用電極26は、枠体22の下部に取り付けられたストッパ28により振動部材30側に振れないようになっている。
振動部材30は、非導電性材料により形成されており、金属箔(例えば、アルミ箔など)により形成された釣り下げ部材32により両電極24,電極26の方向を振動方向とするよう枠体22の上部材から釣り下げられている。したがって、振動部材30が振動して一方向用電極24や逆方向用電極26に衝突するときには、一方向用電極24や逆方向用電極26には釣り下げ部材32が当接することになる。
なお、実施例の駆動アクチュエータ20では、その外形は、高さ50mm,幅10mm,奥行き13mmであり、振動部材30の重さが16.8gで総重量21.2gとなるよう形成し、直流電源40として500V〜1000Vの直流電圧のものを用いた。
次に、こうして構成された実施例の駆動アクチュエータ20の動作について説明する。図2は、実施例の駆動アクチュエータ20の駆動の様子を説明する説明図である。図2に示すように一方向用電極24が正極となるよう一方向用電極24と逆方向用電極26とに直流電圧を印加すると、一方向用電極24と逆方向用電極26と振動部材30はGordonにより18世紀に製作された電気ベルと同様に作用する。即ち、まず、振動部材30および釣り下げ部材32に対する静電気力により振動部材30は一方向用電極24か逆方向用電極26のいずれかの方向に引きつけられる。振動部材30が一方向用電極24か逆方向用電極26の一方の電極に接触すると、接触した電極と釣り下げ部材32との間で電荷の授受が行なわれ、釣り下げ部材32は接触した電極と同電圧に帯電する。これにより、振動部材30は接触した電極に対する静電気力による吸引力を失う。一方、この帯電により、振動部材30には反対側の電極に対して静電電気力による吸引力が生じるため、振動部材30は反対側の電極に向かう。これを繰り返すことにより、振動部材30は一方向用電極24と逆方向用電極26との間で衝突をもって振動する。
いま、振動部材30が一方向用電極24に衝突したとき(図2の左側の状態)を考える。振動部材30が一方向用電極24に衝突すると、一方向用電極24は剛性が高くなるよう厚く形成されているから、ほとんど撓むことなく振動部材30の運動エネルギを受け止める。このときに一方向用電極24を介して駆動アクチュエータ20に作用する図中左方向に駆動しようとする力(以下、一方向駆動力という)は、振動部材30の重さと振動部材30が一方向用電極24に衝突したときの速度によって定まり、振動部材30の重さが大きいほど大きく、振動部材30の一方向用電極24との衝突の際の速度が大きいほど大きくなる。このときに床10から駆動アクチュエータ20に作用する図中左側への駆動を阻止しようとする力(以下、一方向抗力という)は、駆動アクチュエータ20の質量と床10の摩擦係数とにより定まり、駆動アクチュエータ20の質量が大きいほど大きく、床10の摩擦係数が大きいほど大きくなる。従って、一方向駆動力が最大値となる一方向抗力(最大摩擦力)より大きくなると、駆動アクチュエータ20は図中左側に駆動することになる。
次に、振動部材30が逆方向用電極26に衝突したとき(図2の右側の状態)を考える。振動部材30が逆方向用電極26に衝突すると、逆方向用電極26は剛性が低くなるよう薄く形成されていると共にその下端は枠体22の下部材から開放されているから、振動部材30に押されて図中右側に撓む。このときに逆方向用電極26を介して駆動アクチュエータ20に作用する図中右方向に駆動しようとする力(以下、逆方向駆動力という)は、上述した一方向駆動力と同様に振動部材30の重さと振動部材30が一方向用電極24に衝突したときの速度によって定まり、振動部材30の重さが大きいほど大きく、振動部材30の一方向用電極24との衝突の際の速度が大きいほど大きくなるが、逆方向用電極26の曲げ(撓み)にエネルギが用いられることから、一方向用電極24に衝突したときより小さくなる。このときに床10から駆動アクチュエータ20に作用する図中右側への駆動を阻止しようとする力(以下、逆方向抗力という)は、一方向用電極24に衝突したときと同様に、駆動アクチュエータ20の質量と床10の摩擦係数とにより定まり、駆動アクチュエータ20の質量が大きいほど大きく、床10の摩擦係数が大きいほど大きくなる。従って、逆方向駆動力が最大値となる逆方向抗力(最大摩擦力)以下となれば、駆動アクチュエータ20は図中右側には駆動しないことになる。
実施例の駆動アクチュエータ20では、振動部材30が一方向用電極24に衝突したときには駆動アクチュエータ20が図中左側に駆動し、振動部材30が逆方向用電極26に衝突したときには駆動アクチュエータ20は図中右側には駆動しないように、振動部材30の重さと総重量と直流電源40からの印加電圧とが調整されている。上述の条件における駆動アクチュエータ20の実験では、振動部材30の一回当たりの駆動アクチュエータ20の移動距離や駆動アクチュエータ20の移動速度は、印加電圧のほぼ2乗に比例していることから、印加電圧を調整することにより駆動アクチュエータ20の移動距離や移動速度を所望のものとすることができる。また実験では、分解能として10μm程度であった。このことから振動部材30の重さや総重量,直流電源40の電圧を調整すれば、計算上ではナノメートルオーダーの分解能とすることが可能である。
以上説明した実施例の駆動アクチュエータ20によれば、一方向用電極24と逆方向用電極26との間に釣り下げ部材32に釣り下げられた振動部材30を配置して一方向用電極24と逆方向用電極26とに直流電圧を印加するだけで、駆動アクチュエータ20を一方向用電極24の方向に駆動させることができる。しかも、直流電源40から一方向用電極24と逆方向用電極26とに印加する電圧を調整することにより、駆動アクチュエータ20の駆動速度や1回当たりの振動部材30の衝突による駆動距離を所望のものにすることができる。しかも、マイクロメートルオーダーの分解能に限られず、ナノメートルオーダーの高い分解能を得ることができる。この結果、簡易な構成で高い分解能をもって精密に駆動アクチュエータ20を一方向に駆動させることができる。また、電気ベルの原理を用いて振動部材30を振動させるから、振動部材30にバネなどの復元力により振動させるものを取り付ける必要がないから、一方向用電極24に振動部材30が衝突する際のエネルギを大きくすることができ、エネルギ効率を向上させることができる。
実施例の駆動アクチュエータ20では、逆方向駆動力が最大値となる逆方向抗力(最大摩擦力)以下となるように調整したが、逆方向駆動力が最大値となる逆方向抗力(最大摩擦力)より大きくなるものとしてもかまわない。この場合、振動部材30が逆方向用電極26に衝突したときに駆動アクチュエータ20は逆方向用電極26側(逆方向)にも駆動するが、逆方向駆動力は一方向駆動力より小さくなるから、逆方向駆動力と逆方向抗力との偏差としての逆方向駆動有効力は一方向駆動力と一方向抗力との偏差としての一方向駆動有効力より小さくなり、逆方向への駆動は一方向への駆動に比して小さくなる。このため、駆動アクチュエータ20は、一方向への駆動と逆方向への駆動とを伴いながら、全体としては一方向に駆動することになる。
実施例の駆動アクチュエータ20では、逆方向用電極26を剛性が低くなるよう薄く形成すると共にその下端を枠体22の下部材から開放するようにしたが、逆方向用電極26の剛性が一方向用電極24に比して低いものであれば、その下端を枠体22の下部材から開放しないものとしてもよい。この場合、逆方向用電極26は振動部材30が衝突したときには弓状に撓むことになる。また、逆方向用電極26の下端を枠体22の下部材から開放するものであれば、逆方向用電極26の剛性を一方向用電極24と同一のものとしても構わない。
実施例の駆動アクチュエータ20で説明したように、電気ベルの原理を用い、振動部材30が一方向用電極24に衝突する際の一方向駆動力が振動部材30が逆方向用電極26に衝突する際の逆方向駆動力より大きくなるようにすればよいから、種々の態様を考えることができる。例えば、以下のものを挙げることができる。
図3の変形例の駆動アクチュエータ20Bに示すように、振動部材30の釣り下げ部材32による釣り下げ位置を一方向用電極24側に偏心させるものとしてもよい。この場合、振動部材30が逆方向用電極26Bに衝突したときのエネルギは振り幅が大きくなることによる位置エネルギとして蓄えられるため、一方向駆動力の方が逆方向駆動力より大きくなり、駆動アクチュエータ20Bは一方向に駆動する。なお、この変形例の駆動アクチュエータ20Bでは、逆方向用電極26Bの剛性を一方向用電極24と同一とし、逆方向用電極26Bを枠体の側部材となるよう配置している。
また、図4の変形例の駆動アクチュエータ20Cに示すように、逆方向用電極26Cを枠体22Cの側部材からのバネ27Cにより保持するものとしてもよい。この場合、振動部材30が逆方向用電極26Cに衝突したときにはそのエネルギの一部はバネ27Cに蓄えられるため、一方向駆動力の方が逆方向駆動力より大きくなり、駆動アクチュエータ20Cは一方向に駆動する。
さらに、図5の変形例の駆動アクチュエータ20Dに示すように、垂直に配置した一方向用電極24に比して逆方向用電極26Dを垂直から所定の角度(例えば10度や15度)なすように配置するするものとしてもよい。この場合、振動部材30が逆方向用電極26Dに衝突したときのエネルギは逆方向用電極26Dが傾いている分だけ下部の振り幅による位置エネルギとして蓄えられるため、一方向駆動力の方が逆方向駆動力より大きくなり、駆動アクチュエータ20Dは一方向に駆動する。
あるいは、図6の変形例の駆動アクチュエータ20Eに示すように、枠体を一方向用電極24Hが下方側となるよう傾けるものとしてもよい。この場合、振動部材30は、鉛直成分によるエネルギの放出を伴って一方向用電極24Hに衝突し、鉛直成分によるエネルギの蓄えを伴って逆方向用電極26Eに衝突する。このため、一方向駆動力の方が逆方向駆動力より大きくなり、駆動アクチュエータ20Eは一方向に駆動する。
また、図7の変形例の駆動アクチュエータ20Fに示すように、振動部材30Fを金属箔により形成された被覆部材32Fによって被覆し、振動部材30Fを一方向用電極24F側に配置された支持部材25Fから自然長のときに振動部材30Fが一方向用電極24Fと逆方向用電極26Fとの中央より一方向用電極24F側となるようにバネ34Fにより支持するものとしてもよい。この場合、振動部材30Fが一方向用電極24Fに衝突するときにバネ34Fに蓄えられるエネルギに比して振動部材30Fが逆方向用電極26Fに衝突するときにバネ34Fに蓄えられるエネルギの方が大きくなるため、一方向駆動力の方が逆方向駆動力より大きくなり、駆動アクチュエータ20Fは一方向に駆動する。
図8の変形例の駆動アクチュエータ20Gは、振動部材30Gを金属箔により形成された被覆部材32Gによって被覆し、振動部材30Gが一方向用電極24と逆方向用電極26Gとの中央になるように、小さなバネ定数の板バネ34Gにより振動部材30Gの一方向用電極24側を釣り下げ、大きなバネ定数の板バネ36Gにより振動部材30Gの逆方向用電極26G側を釣り下げる。この場合、振動部材30Gが一方向用電極24に衝突するときに板バネ34Gに蓄えられるエネルギに比して振動部材30Gが逆方向用電極26Gに衝突する際に板バネ36Gに蓄えられるエネルギの方が大きくなるため、一方向駆動力の方が逆方向駆動力より大きくなり、駆動アクチュエータ20Gは一方向に駆動する。
また、一方向駆動力と逆方向駆動力とが同じであっても一方向抗力が逆方向抗力より小さくなれば、一方向駆動有効力が逆方向駆動有効力より大きくなるから、駆動アクチュエータ20は一方向に駆動する。一方向抗力を逆方向抗力より小さくする手法としては、例えば、図9の変形例の駆動アクチュエータ20Hに示すように、床10Hを導電ライン42Hにより一方向用電極24と接続して床10Hを一方向用電極24と同極性とし、枠体の下部材22Hの振動部材30側の面に導電性材料により形成した導電性板材23Hを組み付け、この導電性板材23Hと振動部材30とを導電ライン34Hにより接続するものとしてもよい。この場合、振動部材30が一方向用電極24に衝突すると、振動部材30は一方向用電極24と同極性となるから、導電性板材23Hも床10Hと同極性となるから、導電性板材23Hと床10Hとの間には静電気力による吸引力は生じないが、振動部材30が逆方向用電極26Hと衝突すると、振動部材30は逆方向用電極26Hと同極性となるから、導電性板材23Hは床10Hと異極性となり、導電性板材23Hと床10Hとの間には静電気力による吸引力は生じ、これが抗力として作用するため、一方向抗力の方が逆方向抗力より小さくなり、駆動アクチュエータ20Hは一方向に駆動する。
実施例の駆動アクチュエータ20や変形例の駆動アクチュエータ20B〜20Hでは、一方向用電極24,24B〜24Hや逆方向用電極26,26B〜26Hに導電ラインを用いて直流電源40から直流電圧を印加するものとしたが、図10の変形例の駆動アクチュエータ20Jに示すように、導電性材料(例えば銅など)により形成されて床10に埋め込まれた平行な2本のレール44J,46Jに直流電源40Jから直流電圧を印加し、一方向用電極24Jについては正極側のレール44Jには接触するが負極側のレール46Jには接触しないように形成し、逆方向用電極26Jについては正極側のレール44Jには接触しないが負極側のレール46Jには接触するように形成するものとしてもよい。こうすれば、床から直流電圧を印加することができる。
実施例の駆動アクチュエータ20や変形例の駆動アクチュエータ20B〜20Hでは、変形例の駆動アクチュエータ20F,20Gを除いて、振動部材30を釣り下げ部材32により枠体22の上部材から釣り下げるものとしたが、振動部材30が一方向用電極24、と逆方向用電極26との間で衝突を伴って振動すればよいから、下部から低摩擦部材で支持したり、下部または上部から磁力を用いて保持するものなど、種々の手法を用いることができる。
実施例の駆動アクチュエータ20や変形例の駆動アクチュエータ20B〜20Hでは、金属箔により形成された釣り下げ部材32や被覆部材32F,32Gにより振動部材30の一方向用電極24や逆方向用電極26の衝突方向を被覆したが、振動部材30を導電性材料により形成すれば、釣り下げ部材32については如何なる材料により形成するものとしてもよくなり、被覆部材32F,32Gについては不要となる。
実施例の駆動アクチュエータ20や変形例の駆動アクチュエータ20B〜20Hでは、単一の振動部材30の振動により駆動アクチュエータ20を一方向に駆動させるものとしたが、図11の変形例の駆動アクチュエータ20Kに示すように、複数の駆動アクチュエータ20を同じ向きになるように連結するものとしてもよい。この場合、振動部材30の振動を同期させる必要から、連結させた複数の振動部材30を連結部材38を用いて連結するのが好ましい。この場合、連結される側の一方向用電極24Kや逆方向用電極26K,枠体22Kには、連結部材38による連結部に貫通孔を設ける必要もある。
実施例の駆動アクチュエータ20や変形例の駆動アクチュエータ20B〜20Hでは、駆動アクチュエータ20を一方向に駆動するものとして説明したが、図12の変形例の駆動アクチュエータ20Lに示すように、二つの駆動アクチュエータ20を一方向用電極24を共通で用いるよう異なる向きに連結すると共に二つの逆方向用電極26への通電を切り替える切替スイッチ48Lを備えるものとすれば、切替スイッチ48Lによる切替により、駆動アクチュエータ20Lの駆動方向を一方向から逆方向に或いは逆方向から一方向に切り替えることができる。これにより、一方向と逆方向のうち所望の方向に駆動アクチュエータ20Lを駆動させることができる。
以上、本発明を実施するための最良の形態について実施例を用いて説明したが、本発明はこうした実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施し得ることは勿論である。
本発明は、駆動アクチュエータの製造産業などに利用可能である。
10 床、20,20B〜20L 駆動アクチュエータ、22,22C,22K 枠体、22H 下部材、23H 導電性板材23H、24,24E,24F,24J,24K 一方向用電極、25F 支持部材、26,26B〜26J 逆方向用電極、27C バネ、28 ストッパ、30,30F,30G,30J 振動部材、32 釣り下げ部材、32F,32G 被覆部材、34F バネ、34H 導電ライン、40 40J 直流電源、44J,46J 板バネ。
Claims (15)
- 少なくとも一方向に駆動する駆動アクチュエータであって、
前記一方向上に所定の距離をもって配置された一対の電極と、
前記一対の電極に直流電圧を印加する電圧印加手段と、
前記一対の電極間で該一対の電極に衝突しながら振動するよう配置され、少なくとも前記一対の電極と接触する部分が導電性材料により連続して形成されてなる振動部材と、
前記振動部材の振動に伴って該振動部材が前記一対の電極のうちの前記一方向側に配置された一方の電極に衝突したときに該一方の電極を介して前記駆動アクチュエータに作用する前記一方向に駆動しようとする一方向駆動力と前記駆動アクチュエータが載置された床面から該駆動アクチュエータに作用する前記一方向への駆動を阻止しようとする一方向抗力との偏差である一方向駆動有効力が、前記振動部材の振動に伴って該振動部材が前記一対の電極のうちの前記一方向とは反対側に配置された他方の電極に衝突したときに該他方の電極を介して前記駆動アクチュエータに作用する前記一方向とは逆方向に駆動しようとする逆方向駆動力と前記駆動アクチュエータが載置された床面から該駆動アクチュエータに作用する前記一方向とは逆方向への駆動を阻止しようとする逆方向抗力との偏差である逆方向駆動有効力より大きくなるようにする駆動力作用手段と、
を備える駆動アクチュエータ。 - 前記駆動力作用手段は、前記一方向駆動力が前記逆方向駆動力より大きくなるようにする手段である請求項1記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記振動部材の振動中心を前記一方の電極側に偏心させる手段である請求項2記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記振動部材が前記一方の電極に衝突したときの該一方の電極の撓み量を前記振動部材が前記他方の電極に衝突したときの該他方の電極の撓み量より小さくする手段である請求項2記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記一方の電極の剛性が前記他方の電極より大きくなるよう形成されてなる前記一対の電極である請求項4記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記一方の電極の支持剛性が前記他方の電極より大きくなるよう前記一対の電極を支持する支持部材である請求項4記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記一方の電極の床面に対する角度が前記他方の床面に対する角度より大きくなるよう配置されてなる前記一対の電極である請求項2記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記振動部材を鉛直方向成分をもって振動させる手段である請求項2記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記振動部材を前記一方の電極側に付勢力を作用させるバネ部材である請求項2記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記一方向抗力が前記逆方向抗力より小さくなるようにする手段である請求項1ないし9いずれか記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記振動部材が前記一方の電極に衝突したときの前記駆動アクチュエータと床面との摩擦力が前記振動部材が前記他方の電極に衝突したときの前記駆動アクチュエータと床面との摩擦力より小さくなるようにする手段である請求項10記載の駆動アクチュエータ。
- 前記駆動力作用手段は、前記床面に前記一方の電極と同極の電圧を作用させる床電圧作用手段と、絶縁性材料により形成され前記床面に接触する接触面部と導電性材料により形成され該接触面部の前記床面と接触する側の反対側の面の表面に配置された導電性面部とからなる底部材と、前記振動部材と前記導電性面部とを電気的に接続する電気的接続部材と、を備える手段である請求項11記載の駆動アクチュエータ。
- 前記逆方向駆動有効力が値0となるよう調整されてなる請求項1ないし12いずれか記載の駆動アクチュエータ。
- 前記電圧印加手段は、床面から前記一対の電極に電圧を印加する手段である請求項1ないし13いずれか記載の駆動アクチュエータ。
- 請求項14記載の駆動アクチュエータであって、
前記電圧印加手段は、前記一方向に沿って平行に配置されたレール状の給電用電極を備える手段であり、
前記一対の電極は、前記給電用電極のうち対応する電極には接触するが対応しない電極には非接触となるよう形成されてなる、
駆動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005314354A JP4759735B2 (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 駆動アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005314354A JP4759735B2 (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 駆動アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007124817A JP2007124817A (ja) | 2007-05-17 |
JP4759735B2 true JP4759735B2 (ja) | 2011-08-31 |
Family
ID=38148036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005314354A Active JP4759735B2 (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 駆動アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4759735B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5074103B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2012-11-14 | 俊郎 樋口 | 揺動式ディスプレイ装置、及び揺動式アクチュエータ |
US20120268386A1 (en) * | 2011-04-19 | 2012-10-25 | Karamath James Robert | Touch-screen device including tactile feedback actuator |
GB2572348B (en) * | 2018-03-27 | 2020-08-19 | Perpetuum Ltd | An electromechanical generator for converting mechanical vibrational energy into electrical energy |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6139990Y2 (ja) * | 1980-08-07 | 1986-11-15 | ||
JPS6060582A (ja) * | 1983-09-13 | 1985-04-08 | 新技術事業団 | 衝撃力を用いた微小移動方法及び装置 |
JPH0583958A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-04-02 | Toshiro Higuchi | 圧電素子を利用した微小移動装置およびその装置を用いた位置決め方法 |
JPH06296376A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Yaskawa Electric Corp | 静電モータ |
JP2001242936A (ja) * | 2000-02-25 | 2001-09-07 | Toshiro Higuchi | 位置決め装置および位置決め方法 |
US6774533B2 (en) * | 2000-03-17 | 2004-08-10 | Japan Science And Technology Agency | Electrostatic impact driving microactuator |
-
2005
- 2005-10-28 JP JP2005314354A patent/JP4759735B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007124817A (ja) | 2007-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7498719B2 (en) | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor | |
CN102244191B (zh) | 振动波致动器 | |
EP1845608A2 (en) | Inertial drive actuator | |
JP4759735B2 (ja) | 駆動アクチュエータ | |
JPH06166934A (ja) | ジャカード制御装置を有する経編機 | |
JP2012213271A5 (ja) | ||
CN108462354A (zh) | 振动马达 | |
CN108809144A (zh) | 一种基于微梁振动静电驱动微马达装置 | |
JP7033385B2 (ja) | 並進機構に作用する加速ユニットを含む磁気装置 | |
CN108336882B (zh) | 一种基于电磁自激振动原理的梁式微驱动器 | |
US8120231B2 (en) | Inertial drive actuator | |
JPH0752072A (ja) | 静電駆動式マイクログリッパ | |
US7671512B2 (en) | Impact drive actuator | |
US9350222B2 (en) | Inertial drive actuator | |
US9385579B2 (en) | Inertial drive actuator | |
JP7277576B2 (ja) | 振動発電素子 | |
JP2013123337A (ja) | 発電装置 | |
CN202601525U (zh) | 直流接触器 | |
CN211880313U (zh) | 压电陶瓷驱动器夹持结构、线性驱动装置及电子设备 | |
JP2009284240A (ja) | 振動型静電発電機ユニット | |
JP2010060695A (ja) | ステージ機構 | |
JP2006271167A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
CN218998183U (zh) | 微型防抖装置 | |
CN110729917B (zh) | 一种摩擦双稳态纳米发电装置 | |
KR20120010536A (ko) | 부품 공급 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081007 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110413 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110510 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |