JP4729195B2 - 熱交換装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばリニアモーターコイルの冷却に用いられる熱交換装置に関し、さらに詳しくいえば、対向的に組み合わされる一対の金属板の内面間にヒートパイプを配置してなる熱交換装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年において、リニアモータの技術は、種々の分野に取り入れられており、その1つに、工作機械のワーク送り用リニアステージがある。リニアステージは、従来の機械式ステージに比べ、高精度かつ複雑な動きを高速に行うことができ、作業の高効率化を図ることが可能である。
【0003】
通常、リニアステージを駆動させた場合、リニアコイルには熱が発生するため、冷却を要する。その冷却方法には、大別してリニアコイル間に冷却パイプをジグザグ状に配管して、コイルと冷却パイプを高熱伝導性樹脂でモールドする方法や、冷却手段を有する冷却板をリニアコイルに添設する方法などがあるが、とりわけ後者はコスト的な面からも有用な方法として好ましく採用されている。
【0004】
冷却手段としては、冷却板にポンプなどを使って冷却液を循環する冷却パイプを使用する方法や、密閉管内に封入された作動液の蒸発・凝縮による熱サイクルを利用したヒートパイプを使用する方法などがある。特にヒートパイプは、ポンプなどの外部動力を必要とせず、メンテナンスフリーであるため有用である。
【0005】
ヒートパイプを取り付けるにあたっては、1対の冷却板間の対向面にその外径よりも若干大きなパイプ収納溝を形成しておき、その中にヒートパイプを収納した後にその隙間にシリコングリースなどの高熱伝導性充填材を充填することにより、熱伝導率の低下を防ぐとともに、併せてパイプ収納溝内での移動を防止するようにしている。
【0006】
ところで、このリニアステージは非常に高速に移動可能である反面、その最大衝撃加速度が12G程度になることもある。したがって、これに取り付けられる冷却板にも同様の衝撃加速度が加わり、さらに冷却板内の冷却手段にも同様に負荷がかかる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような高い加速度を高頻度で動作させた場合には、いくら充填材を封入することで移動が防止されているとはいえ、ヒートパイプはパイプ収納溝内で移動してしまうおそれがある。
【0008】
ヒートパイプが冷却板内を移動すると、その外径が摩耗によってさらに小さくなるため、より移動しやすくなるばかりでなく、さらに摩耗することにより、最悪の場合、管破壊に至るおそれもある。
【0009】
そこで、本発明は上述した課題を解決するためになされたものであって、その目的は、一対の金属板間にヒートパイプが確実に固定されているとともに、高い熱伝導率を備えた、特にリニアステージを冷却する冷却板としての熱交換装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するため、本発明は、対向的に組み合わせられる一対の金属板の内面間に、丸棒状のヒートパイプを配置してなる熱交換装置において、上記一対の金属板の各内面側には、互いに組み合わされて上記ヒートパイプの外径よりも小径な内接円をもつ断面多角形状のパイプ収納溝が形成されており、上記ヒートパイプの周方向の一部が上記パイプ収納溝の多角形状の各辺により変形されて上記パイプ収納溝内に収納されていることを特徴としている。
【0011】
これによれば、ヒートパイプの一部がパイプ収納溝の多角形状の各辺によって均等に変形されることにより、パイプ収納溝内でヒートパイプが移動するのを効果的に防止でき、さらにその空隙間に充填材を均等に注入することができるため、熱伝導率の低下も防止できる。
【0012】
パイプ収納溝を金属板の内面側にそれぞれ2分して形成する場合には、上記パイプ収納溝は6角もしくは8角の多角形状であることが好ましい。これによれば、5角形などの複雑な形状よりも簡単に作成することができる。
【0013】
さらに多軸的な移動を規制するためには、上記パイプ収納溝の内周面には、中心方向に向けて突設された上記ヒートパイプの移動防止用の凸部がさらに設けられていることが好ましく、より好ましくは、上記凸部は上記内周面に沿って環状に設けられていることが好ましい。これによれば、ヒートパイプの軸方向に沿った移動が規制され、さらに確実に固定することができる。
【0014】
上記金属板の少なくとも一方には、上記パイプ収納溝内に充填材を充填するための充填孔が設けられており、これによれば、充填材をパイプ収納溝内部に均等に充填することができる。
【0015】
リニアステージに熱影響を与えないため、上記金属板のいずれか一方は、高い熱伝導率を有する材料からなり、いずれか他方の上記金属板は、上記一方の金属板よりも低い熱伝導率を有する材料から構成して、熱伝導率の低い面をリニアステージ側に添設すれば、熱影響を抑えることができる。
【0016】
いずれか一方の上記金属板の外周面には、上記外周面に対向的に組み合わせられる第3の金属板を備え、上記外周面と上記第3の金属板の内周面との間には、冷却液を循環する冷却パイプが収納される冷却パイプ収納溝がさらに形成されていてもよく、これによれば、ヒートパイプで吸収した熱を冷却板外へ効率的に運び出すことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。まず、図1〜図3を参照して本発明の第1実施形態について説明する。図1は平面図、図2は図1のA−A線断面図、図3は図1のB−B線断面図である。なお、以下の各実施形態において、熱交換装置はリニアステージに用いられる冷却板として用いられるものである。
【0018】
この冷却板1は、互いに対向的に組み合わせられる平板状をなす一対の金属板10,20を備えている。材質は、例えばアルミニウム合金やベリリウム合金などの熱伝導率が高い材料が好ましい。この実施形態において、金属板10,20はともに同厚であるが、一方が薄く他方が厚くてもよく、組み合わせたときの所望の厚さによって任意に選択される。
【0019】
金属板10,20の対向する各内面側には、ヒートパイプ30の形状、この実施形態では丸棒状に沿ってパイプ収納溝11,21が、1つの冷却板1に対して平行に2箇所設けられている。パイプ収納溝11,21は、互いに組み合わせたとき、ヒートパイプ30の軸線に対する直交断面が多角形状になるように形成されている(図3参照)。
【0020】
この実施形態において、パイプ収納溝11,21は、それぞれ正8角形を中央で2分割した形状をしている。パイプ収納溝11,21は多角形状であれば特に限定されないが、2n倍(nは整数)の多角形、すなわち6角形や8角形などがより好ましく、これによれば、各パイプ収納溝11,21をそれぞれ対称に形成すればよいため、作業性がよい。
【0021】
パイプ収納溝11,21は、互いに組み合わされた状態での内接円が後述するヒートパイプ30の外径よりも小径になるよう設計されている。これによれば、パイプ収納溝11,21の辺に沿ってヒートパイプ30が均等に微少変形することにより、パイプ収納溝11,21内にガタツキなく収納することができる。
【0022】
ヒートパイプ30は、銅管などの熱伝導性のよい金属パイプの両端を塞いで、その中に水や代替フロンなどの作動液を封入したものによって構成されている。本発明において、ヒートパイプ30の構成は一般的なものであってよく、あくまで任意的な構成要素である。この実施形態では、銅−水タイプの丸棒状ヒートパイプを用いている。
【0023】
冷却板1を製造するには、まず、金属板10,20をそれぞれプレス手段などに取り付け、一方のパイプ収納溝11,21に沿ってヒートパイプ30を配置する。次に、プレス手段を作動させ、金属板10,20同士を互いに向き合うように徐々に押し付けていき、完全に組み合った状態で金属板10,20をボルトなどで均等に締め付けて一体化する。
【0024】
このとき、ヒートパイプ30はパイプ収納溝11,21内に押し込まれるにつれて、パイプ収納溝11,21の各辺によって均等に微少変形する。この実施形態でにおいて、そのつぶし代は、φ8,φ6のヒートパイプ30を用いた場合、パイプ収納溝11,21の内接円を100%としたとき、変形後の割合が六角形の場合で93%、八角形の場合が95%程度となっている。
【0025】
ヒートパイプ30とパイプ収納溝11,21との間に形成される空隙には、シリコングリースなどの熱伝導性の高い充填材が充填されている。なお、充填材は、熱伝導性がよく、充填性がよいものであれば特に制限なく用いることができる。この第1実施形態では、予想空隙率を算出して、あらかじめパイプ収納溝11,21にグリースを塗り込んでおき、その状態でヒートパイプ30ごとプレス成形している。
【0026】
ここで、この冷却板1のもう1つの作用効果としては、パイプ収納溝11,21を多角形状に設計したことにより、ヒートパイプ30の変形が均等に行わるため、ヒートパイプ30と収納溝11,21との間に形成される空隙が規則的に形成される。これによれば、充填される充填材も空隙内で偏ることなくまんべんなく行き渡らせることができる。
【0027】
次に、図4の平面図および図5の断面図を用いて、上記第1実施形態の変形例について説明する。この変形例においても、一対の金属板10,20の各内面側に形成されたパイプ収納溝11,21内にヒートパイプ30を収納する構成となっているが、この場合、下側の金属板20の長手方向の両端側には、パイプ収納溝21内に連通する充填孔22,22が設けられている。
【0028】
すなわち、この充填孔22,22は、金属板10,20を組み合わせてヒートパイプ30と一体化した後に、パイプ収納溝11,21とヒートパイプ30との間の空隙に充填材を充填するための充填孔である。
【0029】
充填材を充填するに当たっては、一方から充填材を注入していき、他方を負圧などで吸い込むことにより、空隙内に充填材が効率よく注入される。注入後は、充填孔22,22にボールキャップ221,221を差し込むことにより、充填材の封入が完了する。
【0030】
この実施形態では、下側の金属板20に充填孔22を設けているが、図6に示すように、上側の金属板10に充填孔12,12を設けてもよく、さらには、その充填孔12,12を板厚方向に垂直に形成してもよい。このような態様も本発明には含まれる。
【0031】
この他にヒートパイプ30の移動を規制する方法としては、図7に示すように、パイプ収納溝11,21の両端側に例えばウレタンゴムなどの弾性材料からなる緩衝材40をヒートタイプ30との間に介装させて、さらにその空隙に充填材を充填してもよい。これによれば、ヒートパイプ30を傷つけずに簡単に移動を防止できる。
【0032】
また、図8に示すように、金属板10,20の両端に半円状のネジ孔13,23を設け、これらを組み合わせてネジ孔を形成し、このねじ孔13,23にネジ50,50を螺合してヒートパイプ30の両端を押し付けるように固定してもよい。
【0033】
なお、ネジ50を直接ヒートパイプ30に押し付けたのでは、ヒートパイプ30が傷つくおそれがあるため、上記図7のように間に弾性材からなる緩衝材40を介装してもよい。
【0034】
図9および図10には、本発明の第2実施形態に係る冷却板が示されている。この冷却板1aも上記実施形態と同じく上下一対の金属板10,20を備え、それらを対向的に配置したとき、対向する内面側にヒートパイプ30を収納するためのパイプ収納溝11,21がそれぞれ設けられている。この実施形態においても、パイプ収納溝11,21は、組み合わせたときに断面多角形状になるように設けられている。
【0035】
パイプ収納溝11,21には、その軸方向に沿って所定の間隔で凸部111,211が複数、この実施形態では等間隔で計4カ所設けられている。凸部111,211は、収納されるヒートパイプ30の軸方向に向けて突設し、さらにパイプ収納溝11,21の内周面に沿って環状に設けられている。
【0036】
この第2実施形態において、凸部111,211は内周面に沿って環状に設けられているが、例えばエンドミルにてパイプ収納溝11,21を削り出しながら、その先端を間欠的に上下動させることで凸部111,211を形成することも可能であり、特に全周にわたって凸部111,211を設ける必要はない。
【0037】
これによれば、パイプ収納溝11,21に嵌め込まれたヒートパイプ30は、図10に示すように凸部111,211に相対する位置において、その一部が凸部111,211に沿って押し出されることにより、さらに強固に固定することができる。なお、図面上ではその変形状態を説明しやすくするため、極端に表現しているが、実際は初期径の数%程度の変形量である。
【0038】
また、この第2実施形態においても、パイプ収納溝11,21とヒートパイプ30との間の空隙には、金属板10,20との密着性をよくするために充填材が充填されている。その充填方法は上述した方法であってもよく、さらに上記図6〜図8で説明した手段を組み合わせてもよい。
【0039】
図11および図12は、本発明の第3実施形態に係る正面図およびそのA−A線断面図である。なお、この第3実施形態においても、上下一対の金属板10,20にヒートパイプ30を組み込む基本的な構成は上記各実施形態と同じであるため、その詳細な説明は省略する。
【0040】
この実施形態において特徴的なことは、上記一対の金属板10,20に加えて、さらに第3の金属板60を備えていることである。すなわち、第3の金属板60は、上側の金属板10の外面側に対向的に組み合わされる平板状からなり、金属板10のいずれか一方の側面、この実施形態では左側面に沿って設けられている。
【0041】
金属板10と、第3の金属板60との対向面には、金属パイプ(冷却パイプ)70の配管経路に沿って冷却パイプ収納溝14,61が形成されている。冷却パイプ収納溝14,61はそれぞれ半球面の樋溝であって、この実施形態では、正面から見てU字状に形成されている。
【0042】
冷却パイプ収納溝14,61内に収納される、冷却パイプ70は銅などの高熱伝導性金属からなる金属パイプであって、そのパイプ内には一端から他端にかけて冷却液が図示しない循環手段によって循環している。
【0043】
この第3実施形態において、冷却パイプ収納溝14,61は冷却パイプ70の外径よりも若干大きめに形成されている。したがって、冷却パイプ70を冷却パイプ収納溝14,61に収納するには、冷却パイプ70を冷却パイプ収納溝14,61に収納し、金属板10,60を固定する。
【0044】
そして、冷却パイプ70の両端を図示しない加圧手段に接続し、冷却パイプ70内に所定の液圧をかけて、冷却パイプ70を拡径させて冷却パイプ収納溝14,61内に密着させる。これによれば、金属同士の密着により、熱伝導率はきわめてよくなる。
【0045】
この実施形態において、第3の金属板60は、金属板10とほぼ同厚さの板体に半球状の冷却パイプ収納溝61を形成しているが、例えば金属板10側をU字状に深く形成して、第1の金属板60で蓋をするようにしてもよい。これによれば、ヒートパイプ30を有する金属板10側に冷却パイプ70が配管されるため、熱がダイレクトに伝わり、より熱交換効率がよくなる。
【0046】
このような構成の冷却板1は、冷却板1上に載置された発熱体HBからの熱をヒートパイプ30の右側で吸収することで、ヒートパイプ30内の作動液が蒸発され、ヒートパイプ30内を移動し、左側で凝縮・発熱される。ヒートパイプ30から放出された熱は、冷却パイプ70によって熱交換され、冷却パイプ70内を循環する冷却液によって冷却板1外へと運び出される。
【0047】
なお、図13に示すように、この冷却板1bを実際にステージS上に載置してする場合には、冷却板1からステージSに熱が伝播しないように、金属板20とステージSとの間に金属板10よりも熱伝導率が低い断熱スペーサー80を介装させることが好ましい。断熱スペーサー80としてきわめて熱伝導率の低い樹脂板などが考えられる。
【0048】
これ以外に、下側の金属板20を上側の金属板10よりの熱伝導率の低い材料で構成しても同様の効果が得られる。このような態様も本発明に含まれる。なお、下側の金属板20を低い熱伝導率の材料で構成することは、上記第1および第2実施形態に適用してもよい。
【0049】
なお、上記各実施形態において、ヒートパイプ30は丸棒状のものを例示して説明しているが、これ以外に扁平な棒状を有するヒートパイプであってもよく。この場合、パイプ収納溝は、扁平な多角形状に形成すればよく、このような態様も本発明に含まれる。
【0050】
また、上述した各実施形態を説明するにあたり、本発明の熱交換装置はリニアステージに用いられる冷却板1〜1bについて例示するとしたように、これ以外の熱交換用途として使用可能なものであれば、その設置場所や用途は特に限定されない。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、一対の金属板の内面間に、ヒートパイプを配置してなる熱交換装置において、金属板の各内面側には、互いに組み合わされてヒートパイプの外径よりも小径な内接円をもつ断面多角形状のパイプ収納溝が形成されており、ヒートパイプはその周方向の一部が変形されて上記パイプ収納溝内に収納されていることにより、構造的に熱伝導率が低下しにくく、さらにリニアステージなどの大きな衝撃加速度が加わっても、ヒートパイプを金属板内に確実に固定しておくことができる。
【0052】
さらに、パイプ収納溝内に凸部を設け、ヒートパイプの組み付け時にヒートパイプの一部を凸部に沿って変形させることにより、さらに多軸的な移動を規制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る冷却板の正面図。
【図2】図1のA−A線断面図。
【図3】図1のB−B線断面図。
【図4】上記第1実施形態の変形例を示す正面図。
【図5】図4のC−C線断面図。
【図6】上記第1実施形態の変形例を示す断面図。
【図7】上記第1実施形態の変形例を示す断面図。
【図8】上記第1実施形態の変形例を示す断面図。
【図9】本発明の第2実施形態に係る冷却板の分解断面図。
【図10】上記第2実施形態の冷却板を組み合わせた状態の断面図。
【図11】本発明の第3実施形態に係る冷却板の正面図。
【図12】図11のD−D線断面図。
【図13】上記第3実施形態の冷却板をステージ上に載置した状態を示す断面図。
【符号の説明】
1、1a、1b 冷却板
10,20 金属板
11,21 パイプ収納溝
30 ヒートパイプ
40 緩衝材
50 ネジ
60 第3の金属板
61 冷却パイプ収納溝
70 冷却パイプ
80 断熱スペーサー
HB 発熱体
S ステージ

Claims (7)

  1. 対向的に組み合わせられる一対の金属板の内面間に、丸棒状のヒートパイプを配置してなる熱交換装置において、
    上記一対の金属板の各内面側には、互いに組み合わされて上記ヒートパイプの外径よりも小径な内接円をもつ断面多角形状のパイプ収納溝が形成されており、上記ヒートパイプの周方向の一部が上記パイプ収納溝の多角形状の各辺により変形されて上記パイプ収納溝内に収納されていることを特徴とする熱交換装置。
  2. 上記パイプ収納溝は、6角もしくは8角の多角形状である請求項1に記載の熱交換装置。
  3. 上記パイプ収納溝の内周面には、中心方向に向けて突設された上記ヒートパイプの移動防止用の凸部がさらに設けられている請求項1または2に記載の熱交換装置。
  4. 上記凸部は、上記内周面に沿って環状に設けられている請求項3に記載の熱交換装置。
  5. 上記金属板の少なくとも一方には、上記パイプ収納溝内に充填材を充填するための充填孔が設けられている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の熱交換装置。
  6. 上記金属板のいずれか一方は、高い熱伝導率を有する材料からなり、いずれか他方の上記金属板は、上記一方の金属板よりも低い熱伝導率を有する材料からなる請求項1ないし5のいずれか1項に記載の熱交換装置。
  7. いずれか一方の上記金属板の外周面には、上記外周面に対向的に組み合わせられる第3の金属板を備え、上記外周面と上記第3の金属板の内周面との間には、冷却液を循環する冷却パイプが収納される冷却パイプ収納溝がさらに形成されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の熱交換装置。
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