JP4705509B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、洗浄液を超音波とともにシャワー状に噴出させて被洗浄物を超音波洗浄したり、あるいは洗浄液中の浸漬された被洗浄物に対し伝達液を介して超音波を照射して洗浄する超音波洗浄装置に関するものである。

従来から、液晶パネルや半導体ウエハ等の洗浄には、洗浄液を超音波とともにシャワー状に噴出させ、これらの被洗浄物を超音波洗浄する超音波洗浄装置が知られている。その例として、特許文献１に示すような装置がある。
この装置は、先ず洗浄液供給口から供給される洗浄液で内部を満し、内部を満した洗浄液を洗浄液噴出口から噴出させるとともに残余をオーバーフロー排出口より排出するケースを備えている。
また、ケースの洗浄液噴出口に対向する面には洗浄液噴出口に向けてケース内に超音波を送出する超音波振動子を備えているとともに、洗浄液供給口に対向して、洗浄液供給口と超音波振動子間に整流板を配置したものである。

上記特許文献１に記載された超音波洗浄装置は、ケース内に洗浄液を貯留しておく必要があるため、装置全体が大きくなり、また洗浄液噴出口がノズル形式ではないので、被洗浄物によっては効果的に洗浄できないという点があった。

そこで、特許文献２に示すようなスポットシャワー形式の超音波洗浄装置が提案されている。この装置は、超音波振動子を内部へ臨ませこの振動子と正対する位置に吐出口を開口させたノズル装置とを備え、該ノズル装置へ導入される流水に超音波を照射し、この超音波流水を被洗浄物へ向けて放出するようにしたもので、該ノズル装置が超音波流水を吐出口へ向けて収束させるようテーパー状に壁面で囲まれたノズル室と、該ノズル室の外周を囲むように形成され前記ノズル室の超音波振動子側の端部において全周にわたり略均等にノズル室と連通する流水路とを設けたものである。

上記のような超音波洗浄装置は、特許文献３の「従来の技術」の項で掲げられ、そして「発明が解決するための課題」の項で示すように、超音波振動子から放射された超音波はノズルの前方所定位置で焦点を結ぶように収束するので、その位置に被洗浄物を配置すると効率よく洗浄を行うことができるが、その位置すなわちノズル先端からの距離を精密に調整する必要が有り、作業が煩雑になり、精密に調整しないと洗浄効果にばらつきを生じることとなる。

この課題を解決するため、特許文献３には、次ぎに示す構成の超音波シャワー洗浄装置が開示されている。
この装置１００は、図１９に示すように、筐体１０１の先端部に取り付けられたノズル１０２と、該ノズル１０２の後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子１０３と、筐体の側面に形成された洗浄液の供給口１０４とを有し、該供給口から供給された洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とをノズルの先端から噴射してノズルの前方に配置された被洗浄物１１０を洗浄する超音波シャワー洗浄装置であって、前記ノズル１０２の吐出孔１０２ａを直径が一定の直線状丸孔に形成するとともに、前記ノズルの後端部面１０２ｂをその外縁から前記吐出孔１０２ａに向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に構成したものである。

この超音波シャワー洗浄装置によれば、ノズルから放射される超音波が焦点を形成しないので、被洗浄物からノズル先端までの距離を厳密に調整する必要性が無く、作業効率を高めることができる。また、供給口から供給された洗浄液を整流して均一水流としてノズルから噴出させ、かつ超音波も超音波振動子面とノズルの後端部面とで反射を繰り返させ強度を高めて放射するようにしたので、抜群の洗浄効果を得ることができる。

特開平０６−０００４６１号公報（特許請求の範囲、図２参照） 特開平０８−２２９５２６号公報（特許請求の範囲、図２参照） 特許第３２５６１９８号公報

ところで、特許文献３に示す従来の超音波シャワー洗浄装置の場合、ノズルと被洗浄物との距離ｔを短く、かつ被洗浄物上の近傍にノズルの位置を設定する必要があり、作業性があまり良くないという問題があった。また、この洗浄装置を設置するスペースが限られるので、複数台の装置をまとめて設置することが困難であった。更に、この超音波シャワー洗浄装置はスポット式であるため、超音波照射域が一点となるので、被洗浄物の全面を洗浄するには、ノズルを揺動する装置が必要になり、装置が複雑になるという問題もあった。

本発明の課題は、超音波照射域が一点のみならず、線状（ライン状）にも可能であり、かつ複数の装置を並べて配置することができ、ノズルを揺動する必要のない超音波洗浄装置の提供にある。

上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、筐体と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔の直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズルと、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子と、前記筐体の側面に形成された洗浄液供給口とを備えた超音波洗浄装置において、
前記ノズルの吐出孔に連設して、該吐出孔から噴出された洗浄液及び超音波を伝達するための超音波伝達管を配置しており、
前記超音波伝達管から噴出される前記洗浄液には、前記超音波伝達管の内部で反射を繰り返しながら伝達された超音波が含まれていることを特徴とするものである。

この場合に、前記超音波伝達管の先端部は、洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため開放されているもの（請求項３）、あるいは前記超音波伝達管の先端部は閉塞され、側面には洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため噴出孔が設けられているものでもよい（請求項４）。

また、請求項１乃至請求項４記載の発明において、超音波伝達管は、フレキシブルの材質で構成するようにしてもよい（請求項５）。

更にまた、請求項１乃至請求項４記載の発明において、超音波伝達管は、高純度石英、高純度ＳｉＣ、高純度Ａｌ_２Ｏ_３やステンレス材にて形成するのが好ましい（請求項６）。なお、超音波伝達管を高純度石英管で構成する場合には、外側をステンレス材等の金属材料で覆うのが望ましい（請求項７）。

請求項１乃至４記載の発明によれば、超音波伝達管は任意の長さで製作可能であるので、超音波洗浄装置の筐体と被洗浄物との距離は超音波伝達管の長さ分だけ延長でき、作業スペースを大きく確保することができる。
また、超音波伝達管の先端部を閉塞し、側面に洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため噴出孔を設けた場合は、従来のスポットシャワー形式ではなく、線状（ライン状）に被洗浄物を洗浄できるので、被洗浄物の幅分だけ噴出孔を設けておけば超音波洗浄装置のノズル部分を揺動させる装置は不要となり、装置全体を簡素化することができる。

また、請求項５記載の発明にように、超音波伝達管をフレキシブルの材質で構成すると、任意の曲げ形状で製作可能となるので、設置レイアウトの自由度を高めることができる。
更に、超音波伝達管を請求項６記載のような材質にすると、耐久性を向上させることができる。なお、超音波伝達管として高純度石英を用いる場合は、外側をステンレス材等の金属材料にて覆うと、石英管の割れを防止することができる（請求項７）。

以下、図面を参照して、本発明に係る超音波洗浄装置の実施の形態につき説明する。
図１は、本発明に係る超音波洗浄装置の実施の形態の断面図である。
図に示すように、この実施の形態に係る超音波洗浄装置１０は、略円筒状のケース（筐体）１１を有しており、該ケース１１の先端部にはノズル１２が取り付けられている。また、ケース１１内には、前記ノズル１２の後端部１２ｂに対向して円板状の超音波振動子１３が配置されている。この超音波振動子１３は一体構成により円板状の振動板１３ａを有しており、該振動板１３ａの表面が超音波振動子１３の振動面としてノズル１２の後端部１２ｂに対向している。また、ケース１１の側面には洗浄液を供給するための供給口１４が形成されている。なお、符号１５は、ボルト孔であって、この超音波洗浄装置１０を使用する際に他の機材にボルト止めするためのものである。

また、前記ノズル１２の後端部１２ｂは超音波振動子１３の振動板１３ａと対向するように円形の面として形成されており、その中心部には直線状丸孔の吐出孔１２ａが設けられている。このノズル１２の後端部１２ｂ面は外縁から前記吐出孔１２ａに向かって所定の傾斜角θ（図示せず）で下降する円錐状に構成されており、該傾斜角θは０．５°〜１５°の任意の角度を選ぶことができる。実際には、傾斜角約２．５°が採用されている。

ノズル１２の側面の後部には、整流機構１２ｃが形成されており、該整流機構１２ｃは、所定の間隔で形成された２枚の円板状の鍔部１２ｃ１、１２ｃ２で構成されている。また、これら鍔部１２ｃ１、１２ｃ２のうち超音波振動子１３に近い鍔部１２ｃ１は、その一面がノズル１２の後端部１２ｂ面を形成し、かつ該鍔部１２ｃ１の厚さは、超音波振動子１３から放射された超音波を効率よく反射するための厚さ、この場合、鍔部１２ｃ１内を伝搬する超音波の波長λの１／４の厚さとしている。このため、使用する超音波の周波数によって異なる厚さとなる。

また、図に示すように、ノズル１２の吐出孔１２ａに連設して超音波伝達管２０が配置されている。この場合、該超音波伝達管２０の先端部２０ａは、洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため開放されている。

次に、実際の使用状態は、超音波洗浄装置１０を他の機材、例えばこの装置を支持する支持機材にボルトで固定し、ケース１１の側面に設けられた供給口１４に洗浄液を供給するための給液管１６を嵌め込み、かつ超音波振動子１３に超音波電力を供給する。

ケース１１の洗浄液供給口１４から供給された洗浄液はノズル１２の側面に形成された整流機構１２ｃによって整流され吐出孔１２ａの入口に均一水流となって流入し、吐出孔１２ａの出口から均一の水流柱となって噴出する。一方、超音波振動子１３から放射された超音波の一部は、そのまま直接ノズル１２の吐出孔１２ａを通ってノズル１２の先端から放射され、他の部分は超音波振動子１３の振動板１３ａとノズル１２の円錐状（下降角度２．５°）の後端部面（鍔部１２ｃ１の一面）との間で反射を繰り返しながら吐出孔１２ａ内に導かれて吐出孔１２ａ内部で反射を繰り返しながら先端出口から放射される。

ノズル１２の吐出孔１２ａから放射される超音波のうち、超音波振動子１３から直接吐出孔１２ａを通過するものは収束せず、また超音波振動子１３の振動板１３ａの表面とノズル１２の後端部面との間で反射を繰り返し、吐出孔１２ａ内に導かれ内部で更に反射を繰り返したものは吐出孔１２ａが直径が一定の直線状丸孔に形成されているので、先端から放射されたときに、ある一点に収束しにくい。

また、ノズル１２の先端出口には、超音波伝達管２０が連設配置されているので、ノズル１２の先端出口から噴出する洗浄液と照射する超音波は超音波伝達管２０の内部で一部は直接、他の部分は反射を繰り返しながら、超音波伝達管２０の先端部２０ａから被洗浄物Ｍに向かって放射される。

上記のように構成すると、超音波伝達管２０は任意の長さで製作可能であるので、超音波洗浄装置１０の筐体１１と被洗浄物Ｍとの距離は超音波伝達管２０の長さ分だけ延長でき、作業スペースを大きく確保することができる。その際に、洗浄液及び超音波は超音波伝達管２０の内部を通過するので、洗浄力の劣化が生じにくい。

また、図１に示す場合は、超音波伝達管２０が直線（直管）状に形成されているが、図２に示すように、中央部を角度θだけ曲げると、超音波洗浄装置１０を被洗浄物Ｍの真上から側方へシフトすることができるので、作業場のスペースを有効利用することができる。なお、角度θは１８０°≧θ≧０°の範囲で自由に設定することが可能であるが、場合によっては超音波伝達管２０を所定の半径を有する円を描かせることも可能である。なお、図中の符号１９は超音波振動子に電力を供給するために接続したコネクタである。

また、図３に示すように、被洗浄物Ｍに対する超音波及び洗浄液の照射（噴射）角を、鉛直方向からずらした斜め方向からとすることもできる。このようにすると、被洗浄物Ｍによっては洗浄効果を高めることができる場合もある。

また、図４に示すように、複数台の超音波洗浄装置１０の超音波伝達管２０を一箇所で結合することもでき、このようにすると洗浄力を増加させることができる。

また更に、超音波伝達管２０をフレキシブルの材質で構成すると、図５（ａ）に示すように、使用時に自在に変形させることができ、図５（ｂ）に示すように、被洗浄物Ｍが複雑な形状のものであっても、その内部まで超音波伝達管２０を侵入させ洗浄することができる。

また、超音波伝達管２０の先端部２０ａを閉塞して、側面には洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するためスリット状又は複数個の孔からなる噴出孔２０ｂを設けてもよい。このように構成すると、図６に示すように、線状（ライン状）に被洗浄物Ｍを洗浄できるので、被洗浄物の幅分だけ噴出孔２０ｂを設けておけば超音波洗浄装置１０のノズル部分を揺動させる装置は不要となり、装置全体を簡素化することができる。なお、図中の斜線で示した部分は、噴出している洗浄液を示している。

図７は超音波伝達管２０の種々の形状を示し、（ａ）に示すように、全体に渡って同一直径で、スリット状の噴出孔２０ｂを形成したものでも良く、（ｂ）に示すように複数個の噴出孔２０ｂを設けたものでも良い。また、（ｃ）に示すように、先端部に向かって細くなる楕円テーパー状でも良く、更に（ｄ）に示すように、数段階に渡って直径を変化させたものでも良い。

なお、図８に示すように、複数台の超音波洗浄装置１０の超音波伝達管２０を一箇所で結合することもでき、このようにすると洗浄力を増加させることができる。

また、図９に示すように、超音波伝達管２０の先端部近傍を二叉に分けて先端部を閉塞し、先端部近傍のそれぞれの対向面に洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するためスリット状又は複数個の孔からなる噴出孔２０ｂを設けてもよい。このようにすると、被洗浄物Ｍの表裏面を同時に洗浄することができる。

更に、図１０に示すように、超音波伝達管２０を閉ループ状に形成して、管内の伝達液を循環させると、超音波も超音波伝達管２０に沿って循環するため、碑洗浄物Ｍに対して照射する以外に消費されることがないので、効率よく超音波を被洗浄物Ｍへ供給することができる。

更にまた、図１１に示すように、２台の超音波洗浄装置１０を用い、一方の超音波洗浄装置１０のノズル１２の吐出孔１２ａと、他方の超音波洗浄装置１０のノズル１２の吐出孔１２ａとの間を、超音波伝達管２０で連通させ、被洗浄物Ｍに対向する位置の超音波伝達管２０に洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するためスリット状又は複数個の孔からなる噴出孔２０ｂを設けてもよい。このように構成すると、洗浄効果を倍増させることができるとともに、洗浄の安定性も確保することができる。
また、図１２に示すように、２台の超音波洗浄装置１０のノズル１２間を連通する超音波伝達管２０を直線状にして、広い範囲に噴出孔２０ｂを設ければ、大きな面積を有する被洗浄物Ｍの洗浄も行うことができる。

図１３は、被洗浄物Ｍに対向する超音波伝達管２０の断面図で、複数台の超音波洗浄装置１０を並設して、超音波伝達管２０を並べたもので、下側に洗浄液と超音波を噴出・照射する噴出孔２０ｂが並んでいる。なお、超音波洗浄装置１０を１台として、超音波伝達管２０を被洗浄物Ｍに対向する位置において複数に分岐させたり、或いはトグロを巻かせたり、往復させたりしても良い。
また、被洗浄物の下面（裏面）を洗浄する場合には、噴出孔２０ｂを上側に向ければ良いことになる。

次ぎに、上述した超音波洗浄装置と若干異なる形状の超音波洗浄装置について説明する。なお、同一又は相当する部分には同一符号を付す。
この超音波洗浄装置１０は、洗浄液Ｓ中を通過又は洗浄液中に浸漬された被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄装置である。
図１４（ａ）に示すように、筐体１１の側面に伝達液供給口１７及び排出口１８とが設けられている。また、ノズル１２の吐出孔１２ａに連設して、超音波伝達管２０が配置されている。この超音波伝達管２０は伝達液供給口１７から吐出孔１２ａを経由して供給された伝達液を保持するとともに超音波振動子１３からの超音波を伝達液を介して洗浄液Ｓ中に置かれた被洗浄物に対し伝達・照射するようにしている。

具体的には、図１４（ｂ）に示すように、超音波伝達管２０の側面は超音波が透過しない厚さｔ_１ で形成され、先端面は超音波を透過する厚さｔ_２ に形成されている。なお、図１４（ｃ）に示すように、先端部を丸くしても良い。

この装置１０の場合、超音波伝達管２０の外側のみが洗浄液と接触し、超音波洗浄装置のノズルや内部部品が洗浄液と接触しないので、超音波洗浄装置内部からの汚染を気にする必要がなく、超音波伝達管のみクリーン度を高くしておけば、容易にクリーンな洗浄効果を得ることができる。なお、この装置１０の場合に、伝達液供給口１７と排出口１８とが設けられているのは、超音波伝達管２０内の伝達液の冷却等をおこなう必要があるときに循環させることができるようにしたものである。

また、伝達液の循環方法として、図１５に示すように、超音波伝達管２０の途中に分岐管２１を設けて、伝達液を排出できるようにするとともに、分岐管２１と超音波洗浄装置１０の伝達液供給口１７との間をポンプ（図示せず）を介して配管し、伝達液を循環するようにしても良い。

上記の例のほか、図１６（ａ）、（ｂ）に示すように、超音波伝達管２０の先端面を超音波が透過しない厚さｔ_１ で形成し、側面の下面一部を超音波が透過する厚さｔ_２ に形成してもよい。このように構成すれば、超音波の照射面を広くすることができ、被洗浄物に合わせた超音波照射域形成することができる。なお、（ｂ）は（ａ）の一部の拡大図である。

また、図１７に示すように、２台の超音波洗浄装置１０を用い、一方の超音波洗浄装置１０（第１の超音波洗浄装置）のノズル１２の吐出孔１２ａと他方の超音波洗浄装置１０（第２の超音波洗浄装置）のノズル１２の吐出孔１２ａ間を超音波伝達管２０で連通させる。この超音波伝達管２０は、洗浄液中に浸漬する部分の下面一部を超音波が透過する厚さに形成して、他の部分は超音波不透過の厚さに形成している。
そして、両方の超音波洗浄装置１０から伝達液を介して伝達された超音波は超音波伝達管２０の超音波が透過できる部分から洗浄液中に超音波を照射して、洗浄液中に浸漬された被洗浄物を超音波洗浄する。両方から超音波を送るので、洗浄効果を倍増することができる。

なお、図１８（ａ）、（ｂ）は、被洗浄物Ｍに対向する超音波伝達管２０の断面図で、（ａ）は上側が超音波を透過しない厚さに、下側が超音波を透過する厚さに一体成型で構成したものである。この超音波伝達管２０に連通する超音波洗浄装置１０は１台でも良く、複数台でも良い。
また、（ｂ）は超音波伝達管２０を並べたもので、下側が超音波を透過する厚さに形成し、上側は超音波を透過しない厚さに形成したものである。なお、この場合も、超音波洗浄装置１０を１台として、超音波伝達管２０を被洗浄物Ｍに対向する位置において複数に分岐させたり、或いはトグロを巻かせたり、往復させたりしても良く、また複数台の超音波洗浄装置１０を並設したものでも良い。
また、（ａ）、（ｂ）何れの形式でも、被洗浄物の下面を洗浄する際には、超音波を透過する面を上側に向けることで対応することができる。

上述した超音波伝達管２０は、高純度石英、高純度ＳｉＣ、高純度Ａｌ_２Ｏ_３やステンレス材にて形成することが望ましい。また、超音波伝達管２０を高純度石英管で構成する場合には、外側をステンレス材等の金属材料で覆えば、衝撃によるひびや割れを防ぐことができる。

上記超音波洗浄装置２０は、液晶パネルや半導体ウエハ等の洗浄に対し効果的に利用することができる。

本発明に係る超音波洗浄装置の実施の形態の縦断面図である。 図１に示す超音波洗浄装置の超音波伝達管を曲げて使用する場合の説明図である。 超音波伝達管からの洗浄液の放射を被洗浄物に対し斜め方向からとしたときの図である。 複数の超音波洗浄装置を連結させた状態を示す図である。 超音波伝達管をフレキシブル材で構成した場合の説明図で、（ａ）は先端部の曲状態を説明する図、（ｂ）は複雑な形状の被洗浄物の洗浄に対応させた図である。 超音波伝達管の形状を変更した図で、側面から洗浄液が噴出するようにしたものである。 超音波伝達管の種々の形状を示す図である。 図６に示す超音波洗浄装置の応用で、複数台を結合した状態を示す図である。 超音波伝達管を二叉にして、被洗浄物の表裏面を同時に洗浄できるようにしたものの図である。 超音波伝達管を閉ループ状にした場合の図である。 ２台の超音波洗浄装置間を超音波伝達管で連通して、２台の超音波洗浄装置により協働して被洗浄物を洗浄するように構成した場合を示す図である。 同じく、２台の超音波洗浄装置間を超音波伝達管で連通して、広い範囲の一度に洗浄できるようにした場合を示す図である。 超音波伝達管の被洗浄物に対向する位置の断面図で、複数の超音波伝達管が並設されている図である。 本発明に係る超音波洗浄装置の他の実施の形態を示す図で、（ａ）は略全体図、（ｂ）は超音波伝達管の先端部が平面形状の例を示す図、（ｃ）は先端部が丸みを帯びた形状の例を示す図ある。 超音波伝達管内の伝達液を循環させる機構を備えた超音波洗浄装置の図である。 超音波伝達管の先端部近傍の下面が超音波を透過する厚さとした例を示す図で、（ａ）は全体図、（ｂ）は超音波伝達管の先端部近傍の拡大図である。 ２台の超音波洗浄装置を超音波伝達管で連通させて超音波洗浄装置として使用する場合の図である。 被洗浄物と対向する位置の超音波伝達管の断面図で、（ａ）は一体成型にて構成したもの、（ｂ）は複数本を並設したものである。 従来の超音波洗浄装置の断面図である。

符号の説明

１０ 超音波洗浄装置
１１ ケース（筐体）
１２ ノズル
１２ａ 吐出孔
１２ｂ ノズル後端部
１２ｃ 整流機構
１２ｃ１ 鍔部
１２ｃ２ 鍔部
１３ 超音波振動子
１３ａ 振動板
１４ 洗浄液供給口
１５ ボルト孔
１７ 伝達液供給口
１８ 伝達液排出口
２０ 超音波伝達管
２０ａ 先端部
２０ｂ 噴出孔
Ｍ 被洗浄物
Ｓ 洗浄液

Claims (7)

1. 筐体と、該筐体の先端部に取り付けられ吐出孔の直径が一定の直線状丸孔に形成され、かつ後端部面がその外縁から前記吐出孔に向かって所定の傾斜角で下降する円錐状に形成されたノズルと、該ノズルの後端部に対向して配置された円板状の超音波振動子と、前記筐体の側面に形成された洗浄液供給口とを備えた超音波洗浄装置において、
   前記ノズルの吐出孔に連設して、該吐出孔から噴出された洗浄液及び超音波を伝達するための超音波伝達管を配置しており、
   前記吐出孔から噴出された洗浄液には、前記超音波振動子と前記ノズルの後端部面との間で反射を繰り返しながら前記吐出孔内に導かれて該吐出孔の内部で反射を繰り返しながら伝達された超音波が含まれており、
   前記超音波伝達管から噴出される前記洗浄液には、前記超音波伝達管の内部で反射を繰り返しながら伝達された超音波が含まれていることを特徴とする超音波洗浄装置。
2. 前記超音波伝達管は曲げられていることを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄装置。
3. 前記超音波伝達管の先端部は、洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため開放されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の超音波洗浄装置。
4. 前記超音波伝達管の先端部は閉塞され、側面には洗浄液と超音波振動子から放射された超音波とを被洗浄物に対し噴出・照射するため噴出孔が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の超音波洗浄装置。
5. 前記超音波伝達管は、フレキシブルの材質で構成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項記載の超音波洗浄装置。
6. 前記超音波伝達管は、高純度石英、高純度ＳｉＣ、高純度Ａｌ_２Ｏ_３又はステンレス材にて形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項記載の超音波洗浄装置。
7. 前記超音波伝達管は、内側が高純度石英管で構成され、外側をステンレス材又は他の金属材で覆った構造であることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項記載の超音波洗浄装置。

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