JP4703273B2 - 自動外観検査装置及び自動外観検査方法 - Google Patents
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Description
請求項3の自動外観検査装置では、前記マスター画像MZ及び前記良品画像RZは、共に一つのパターンDDに形成された配線パターンA〜Jの位置関係が特定できる画像である。
51 2次元カメラ(撮像手段)
91 記憶部(マスター画像記憶部、良品画像記憶部)
92 処理部(画像繋合せ処理部、比較処理部)
DD 半導体チップ(パターン)
A〜D 配線パターン
K 半導体ウェーハ(対象ワーク)
KZ 検査画像
MZ マスター画像
OL 共通領域
Q 視野領域
RZ 良品画像
S31 マスター画像作成ステップ
S32 良品画像作成ステップ
S332 ステップ(分割撮像ステップ)
S333 ステップ(探索ステップ)
S334 ステップ(繋合せステップ)
S335 ステップ(繋合せステップ)
S336 ステップ(比較ステップ)
Claims (6)
- 対象ワークに形成された複数の同一のパターンを自動的に検査する自動外観検査装置において、パターン一つ分の画像であるマスター画像を記憶するマスター画像記憶部と、パターン一つ分の画像である良品画像を記憶する良品画像記憶部と、隣合う画像が共通領域をもつように各パターンを分割撮像する所定サイズの視野領域を有する撮像手段と、隣合う画像を繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するか否かを探索し、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するときは、隣合う画像をその繋ぎ合せ可能とする画像に基づいて繋ぎ合せ、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在しないときは、隣合う画像をマスター画像に基づいて繋ぎ合せて検査画像を作成する画像繋合せ処理部と、検査画像と良品画像とを比較する比較処理部とを備えることを特徴とする自動外観検査装置。
- 前記処理部は、前記撮像手段により分割撮像した画像について、隣合う画像を繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するか否かを探索し、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するときは、隣合う画像をその繋ぎ合せ可能とする画像に基づいて繋ぎ合せ、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在しないときは、隣合う画像をマスター画像に基づいて繋ぎ合せて良品画像を作成する請求項1に記載の自動外観検査装置。
- 前記マスター画像及び前記良品画像は、共に一つのパターンに形成された配線パターンの位置関係が特定できる画像である請求項1または請求項2に記載の自動外観検査装置。
- 対象ワークに形成された複数の同一のパターンを自動的に検査する自動外観検査方法において、パターン一つ分の画像であるマスター画像を作成するマスター画像作成ステップと、パターン一つ分の画像である良品画像を作成する良品画像作成ステップと、所定サイズの視野領域を有する撮像手段により、隣合う画像が共通領域をもつように各パターンを分割撮像する分割撮像ステップと、隣合う画像を繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するか否かを探索する探索ステップと、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するときは、隣合う画像をその繋ぎ合せ可能とする画像に基づいて繋ぎ合せ、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在しないときは、隣合う画像をマスター画像に基づいて繋ぎ合せることにより検査画像を作成する繋合せステップと、検査画像と良品画像とを比較する比較ステップとを備えることを特徴とする自動外観検査方法。
- 繋合せステップは、前記撮像手段により分割撮像した画像について、隣合う画像を繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するか否かを探索し、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在するときは、隣合う画像をその繋ぎ合せ可能とする画像に基づいて繋ぎ合せ、繋ぎ合せ可能とする画像が共通領域に存在しないときは、隣合う画像をマスター画像に基づいて繋ぎ合せて良品画像を作成する請求項4に記載の自動外観検査方法。
- 前記マスター画像及び前記良品画像は、共に一つのパターンに形成された配線パターンの位置関係が特定できる画像である請求項5または請求項6に記載の自動外観検査方法。
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