JP4701933B2 - プラズマcvd装置 - Google Patents
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Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のプラズマCVD装置において、ワークへの成膜処理の際に、ヒータ用温度センサの検出温度に基づいて、ヒータの温度がヒータ上限温度以下となるようにヒータの出力を制限するようにしたものである。
請求項3の発明は、プロセスチャンバ内に成膜対象ワークを加熱するヒータを備えたプラズマCVD装置に適用され、温度センサと、プロセスチャンバにワークが搬送されていない場合には、温度センサをヒータに接触する第1の位置へ移動し、プロセスチャンバにワークが搬送されると、温度センサを第1の位置からワークに接触する第2の位置へと移動するセンサ接触機構と、プロセスチャンバ内にワークが搬送されていない場合には、プロセスチャンバが予備加熱されるように温度センサの検出温度に基づいてヒータを制御し、ワークへの成膜処理の際には、温度センサの検出温度に基づいてワークの温度が所定ワーク温度となるようにヒータを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
プラズマCVD装置の一連の動作を概略的に説明すると以下のようになる。まず、大気圧状態とされたロードロックチャンバ1のゲートバルブGV1を開いて基板10をロードロックチャンバ1内に搬入し、その後、ゲートバルブGV1を閉じてチャンバ内を真空排気する。なお、ゲートバルブGV2〜GV4は閉じており、各チャンバ2,3は真空引きされている。
図2は、プロセスチャンバ2における基板10の温度制御動作を説明する図であり、(a)は基板10がプロセスチャンバ2に搬送される前の状態を示し、(b)は基板10に成膜処理を行っている最中を示す。なお、ゲートバルブGV2,GV3および搬送装置13の図示は省略した。
図2に示した実施の形態では、搬送前は温度センサ12で検出されたヒータ温度T1をフィードバックし、成膜中は温度センサ9で検出された基板温度T2をフィードバックするようにしたが、ヒータ温度T1と基板温度T2の両方を同時にフィードバックするようにしても良い。成膜中は基板温度T2に基づいてヒータ制御が行われるが、例えば、基板10の予備加熱が不十分であった場合、基板温度T2を所定設定温度に上昇させようとヒータプレート11のパワーを上げ過ぎてヒータ温度T1がヒータ上限温度を越える危険性がある。
図4は、変形例2を説明する図である。図1に示したプラズマCVD装置では、プロセスチャンバ2の左右にロードロックチャンバ1およびアンローダチャンバ3を備え、基板10を右側から左側へと一方向に搬送する構成となっている。一方、図4に示すプラズマCVD装置では、成膜が終了した基板10をロードロックチャンバ1に再び搬送するような構成とした。
図5は、変形例3を説明する図であり、プロセスチャンバ2内には温度センサ9のみが設けられている。ヒータプレート11には段差面11bが形成されており、図2(a)に示すようにシリンダ8を下げて温度センサ9を待避状態とすると、温度センサ9の底面が段差面11bに接触する。そのため、温度センサ9によりヒータ温度T1を検出することが可能となり、コントローラ4に入力されるヒータ温度T1をヒータ制御にフィードバックすることができる。
3:アンローダチャンバ 4:コントローラ
9,12:温度センサ 10:基板
11:ヒータプレート
Claims (3)
- プロセスチャンバ内に成膜対象ワークを加熱するヒータを備えたプラズマCVD装置において、
前記ヒータの温度を検出するヒータ用温度センサと、
前記プロセスチャンバ内に搬送された前記ワークの温度を検出するワーク用温度センサと、
前記プロセスチャンバ内に前記ワークが搬送されていない場合には、前記プロセスチャンバが予備加熱されるように前記ヒータ用温度センサの検出温度に基づいて前記ヒータを制御し、前記ワークへの成膜処理の際には、前記ワーク用温度センサの検出温度に基づいて前記ワークの温度が所定ワーク温度となるように前記ヒータを制御する制御手段とを備えたことを特徴とするプラズマCVD装置。 - 請求項1に記載のプラズマCVD装置において、
前記制御手段は、前記ワークへの成膜処理の際に、前記ヒータ用温度センサの検出温度に基づいて、前記ヒータの温度がヒータ上限温度以下となるように前記ヒータの出力を制限することを特徴とするプラズマCVD装置。 - プロセスチャンバ内に成膜対象ワークを加熱するヒータを備えたプラズマCVD装置において、
温度センサと、
前記プロセスチャンバに前記ワークが搬送されていない場合には、前記温度センサを前記ヒータに接触する第1の位置へ移動し、前記プロセスチャンバに前記ワークが搬送されると、前記温度センサを前記第1の位置から前記ワークに接触する第2の位置へと移動するセンサ接触機構と、
前記プロセスチャンバ内に前記ワークが搬送されていない場合には、前記プロセスチャンバが予備加熱されるように前記温度センサの検出温度に基づいて前記ヒータを制御し、前記ワークへの成膜処理の際には、前記温度センサの検出温度に基づいて前記ワークの温度が所定ワーク温度となるように前記ヒータを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするプラズマCVD装置。
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