JP4699184B2 - 流量制御方法及び流量制御装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 121
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000012886 linear function Methods 0.000 claims description 3
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000013361 beverage Nutrition 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
11 密閉タンク
12 吐出ノズル
13 液体補給口
12V 13V 開閉弁
14 気体流通口
15 超音波変位センサ(液面高さ検知センサ)
20 可変圧力レギュレータ
21 加圧気体源
22 圧力センサ
23 制御手段(保持手段)
Claims (6)
- 液体吐出ノズルを有する密閉タンク内の液面高さを用いて、該液体吐出ノズルから吐出される液体流量が一定となる密閉タンク内の圧力を算出するための液面高さ−タンク内圧力の関係式を、液体の種類、密閉タンク内の圧力レベル、液体吐出ノズルのバルブ開度の少なくとも1つをパラメータとして複数求めるステップ;
前記密閉タンク内に液体を封入するステップ;
前記密閉タンク内に封入した液体の液面高さを検知するステップ;
前記複数の液面高さ−タンク内圧力の関係式のいずれか1つに基づいて、検知した液体の液面高さを用いて、前記液体吐出ノズルから吐出される液体流量が一定となる前記密閉タンク内の圧力を算出するステップ;及び
算出した密閉タンク内の圧力を、前記密閉タンク内に加える気体圧力として設定するステップ;
を有することを特徴とする流量制御方法。 - 請求項1記載の流量制御方法において、前記複数の液面高さ−タンク内圧力の関係式は、1次関数または2次関数である流量制御方法。
- 請求項1または2記載の流量制御方法において、該制御方法は、液体吐出ノズルを有する密閉タンク;前記液体吐出ノズルを有する密閉タンク内の液面高さを用いて、該液体吐出ノズルから吐出される液体流量が一定となる密閉タンク内の圧力を算出するための液面高さ−タンク内圧力の関係式を、液体の種類、密閉タンク内の圧力レベル、液体吐出ノズルのバルブ開度の少なくとも1つをパラメータとして複数保持する保持手段;前記密閉タンク内に加える気体圧力を変化させる可変圧力レギュレータ;前記密閉タンク内に封入された液体の液面高さを検知するセンサ;及び前記保持手段が保持する前記複数の液面高さ−タンク内圧力の関係式のいずれか1つに基づいて、前記センサが検知した液体の液面高さを用いて、前記液体吐出ノズルから吐出される液体流量が一定となる密閉タンク内の圧力を算出し、算出した密閉タンク内の圧力を、前記可変圧力レギュレータによる前記密閉タンク内に加える気体圧力として設定する制御手段;を有する流量制御装置によって実行される流量制御方法。
- 請求項3記載の流量制御方法において、前記液面高さ検知センサは、超音波変位センサである流量制御方法。
- 液体吐出ノズルを有する密閉タンク;
前記液体吐出ノズルを有する密閉タンク内の液面高さを用いて、該液体吐出ノズルから吐出される液体流量が一定となる密閉タンク内の圧力を算出するための液面高さ−タンク内圧力の関係式を、液体の種類、密閉タンク内の圧力レベル、液体吐出ノズルのバルブ開度の少なくとも1つをパラメータとして複数保持する保持手段;
前記密閉タンク内に加える気体圧力を変化させる可変圧力レギュレータ;
前記密閉タンク内に封入された液体の液面高さを検知するセンサ;及び
前記保持手段が保持する前記複数の液面高さ−タンク内圧力の関係式のいずれか1つに基づいて、前記センサが検知した液体の液面高さを用いて、前記液体吐出ノズルから吐出される液体流量が一定となる密閉タンク内の圧力を算出し、算出した密閉タンク内の圧力を、前記可変圧力レギュレータによる前記密閉タンク内に加える気体圧力として設定する制御手段;
を有することを特徴とする流量制御装置。 - 請求項5記載の流量制御装置において、前記液面高さ検知センサは、超音波変位センサである流量制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005338542A JP4699184B2 (ja) | 2005-11-24 | 2005-11-24 | 流量制御方法及び流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005338542A JP4699184B2 (ja) | 2005-11-24 | 2005-11-24 | 流量制御方法及び流量制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007148512A JP2007148512A (ja) | 2007-06-14 |
JP4699184B2 true JP4699184B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=38209897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005338542A Active JP4699184B2 (ja) | 2005-11-24 | 2005-11-24 | 流量制御方法及び流量制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4699184B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5602360B2 (ja) * | 2008-01-25 | 2014-10-08 | キヤノン株式会社 | 薬剤吐出装置及び該装置の吐出性能の把握方法 |
CN114810573B (zh) * | 2022-04-29 | 2023-07-21 | 扬州大学 | 一种用于水泵吸气率测定装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6156900U (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | ||
JPH0926055A (ja) * | 1995-05-10 | 1997-01-28 | Taisei Ramick Kk | 流量制御弁およびそれを用いた液体供給装置 |
JPH09174526A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-08 | Nippon Electric Glass Co Ltd | グリーンシート製造装置 |
JP2004301622A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Hakuto Co Ltd | 薬液注入方法およびその装置 |
-
2005
- 2005-11-24 JP JP2005338542A patent/JP4699184B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6156900U (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | ||
JPH0926055A (ja) * | 1995-05-10 | 1997-01-28 | Taisei Ramick Kk | 流量制御弁およびそれを用いた液体供給装置 |
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JP2004301622A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Hakuto Co Ltd | 薬液注入方法およびその装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007148512A (ja) | 2007-06-14 |
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Date | Code | Title | Description |
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S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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