JP4695570B2 - Mounting structure of microreactor temperature sensor to microreactor channel formation body - Google Patents

Mounting structure of microreactor temperature sensor to microreactor channel formation body Download PDF

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Description

本発明は、マイクロリアクタ流路形成体(以下、「流路形成体」と記載する。)へのマイクロリアクタ用温度センサ(以下、「温度センサ」と記載する。)の取付構造に関する。 The present invention relates to a structure for attaching a microreactor temperature sensor (hereinafter referred to as “temperature sensor” ) to a microreactor flow path forming body (hereinafter referred to as “flow path forming body” ) .

マイクロ化学プラントは、マイクロスケールの空間内での混合、化学反応、分離などを利用した生産設備であり、大型タンク等を用いた従来のバッチ方式のプラントと比較して多くの有利点を備える。例えば、複数の流体の混合や化学反応を短時間且つ微量の試料で行えること、装置が小型であるため実験室レベルで生成物の製造技術を確立できればナンバリングアップを行うことで容易に量産用の設備化ができること、爆発などの危険を伴う反応にも適用可能であること、多品種少量生産を必要とする化合物の生成などにも素早く適応できること、需要量に合わせた生産量の調整が容易にできることなどである。このため、化学工業や医薬品工業の分野では、流体の混合または反応を行い材料や製品を製造するための好適な装置として注目され、近年、その研究開発が盛んに行われている。   A microchemical plant is a production facility that uses mixing, chemical reaction, separation, etc. in a microscale space, and has many advantages over conventional batch-type plants using large tanks and the like. For example, mixing of multiple fluids and chemical reactions can be performed with a small amount of sample in a short time, and if the production technology of products can be established at the laboratory level due to the small size of the device, it can be easily used for mass production by numbering up. It can be installed in equipment, can be applied to reactions involving dangers such as explosions, can be quickly adapted to the production of compounds that require high-mix low-volume production, and production volume can be easily adjusted to meet demand It can be done. For this reason, in the fields of chemical industry and pharmaceutical industry, it has been attracting attention as a suitable apparatus for producing materials and products by mixing or reacting fluids, and research and development has been actively conducted in recent years.

マイクロ化学プラントにおいては、流体の反応温度を制御することによって反応速度や生成物質の質を向上させることができる。反応温度を制御するには、反応路であるマイクロ流路を流れる流体の正確な温度測定が必要となる。マイクロ流路を流れる液体の温度を測定する技術として、例えば特許文献1には、マイクロ流路を形成するマイクロ反応本体部に温度センサ挿入口を設け、この中に挿入した温度センサにより、液相の温度を測定するように構成されたマイクロリアクタが開示されている。また、特許文献2には、マイクロ流路の内部に温度センサを設けたマイクロ流路デバイスが開示されている。
特開2004−321063 特開2006−130599
In microchemical plants, the reaction rate and the quality of the product can be improved by controlling the reaction temperature of the fluid. In order to control the reaction temperature, it is necessary to accurately measure the temperature of the fluid flowing through the micro flow path that is the reaction path. As a technique for measuring the temperature of a liquid flowing through a microchannel, for example, in Patent Document 1, a temperature sensor insertion port is provided in a microreaction main body part that forms a microchannel, and a liquid phase is obtained by the temperature sensor inserted therein. A microreactor configured to measure the temperature of is disclosed. Patent Document 2 discloses a microchannel device in which a temperature sensor is provided inside the microchannel.
JP 2004-321063 A JP 2006-130599 A

特許文献1に記載のマイクロリアクタでは、温度センサは、マイクロ反応本体部を介して伝わった反応液の熱を測定するため、測定温度の正確性に劣るという問題があった。特許文献2に記載のマイクロ流路デバイスでは、マイクロ流路内に温度センサを設けるため、温度測定の正確性は良くなるが、液流れが温度センサにより妨げられ、流れが乱されるという問題があった。特に、マイクロ化学プラントで用いる流路は、断面積が数mm以下である。そして温度測定センサとして熱電対センサが用いられ、その直径は一般には0.5mm(断面積にして0.785mm)以上ある。層流状態を保持した状態での流れを維持するためであるが、特許文献2の技術を用いると、温度センサが障害となって乱流が生じる可能性がある。 In the microreactor described in Patent Document 1, since the temperature sensor measures the heat of the reaction solution transmitted through the microreaction main body, there is a problem that the measurement temperature is inaccurate. In the microchannel device described in Patent Document 2, since the temperature sensor is provided in the microchannel, the accuracy of temperature measurement is improved, but the problem is that the liquid flow is disturbed by the temperature sensor and the flow is disturbed. there were. In particular, the flow path used in the microchemical plant has a cross-sectional area of several mm 2 or less. A thermocouple sensor is used as the temperature measuring sensor, and its diameter is generally 0.5 mm (0.785 mm 2 in cross-sectional area) or more. But in order to maintain the flow of while maintaining a laminar flow state, the use of the technique of Patent Document 2, there is a possibility that the turbulence temperature Dose capacitors becomes an obstacle.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、流路を流れる流体の温度を正確に測定することができると共に、流れに乱れを生じさせないようにできる、流路形成体への温度センサの取付構造を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and can accurately measure the temperature of the fluid flowing in the flow path, and can prevent the flow from being disturbed. An object is to provide a temperature sensor mounting structure.

上記目的を達成するため、本発明は、マイクロリアクタ流路形成体(1,2,210)へのマイクロリアクタ用温度センサ(3)の取付構造であって、微細流路(断面積が1mm以上且つ8mm以下)の流路(7,70)を形成したマイクロリアクタ流路形成体(1,2,210)と、前記流路(7,70)を流れる流体の温度を測定するためのマイクロリアクタ用温度センサ(3)とを備え、
前記流れる流体が層流で化学反応をおこなうマイクロリアクタ流路(7,70)を形成する壁の一部に、前記層流を保持した状態での流体の流れを維持するため、流体の流れる方向に略平行な凹部(52,521)を有し、この凹部(52,521)に温度センサ(3)を設け、安定した層流状態を保ったまま流れることができる様に、シース(31)の折り曲げた部分からなる測温部(31a)の一部が流路(7)内の空間に曝されているかまたは極薄の封止材(6a)で被覆し、シース(31)が液に直接にまたは極薄の封止材(6a)を介して接触するように構成したことを特徴とする。
To achieve the above object, the present invention provides a mounting structure of the microreactor temperature sensor to the microreactor flow channel formation member (1,2,210) (3), fine channels (cross-sectional area of 1 mm 2 or more and microreactor for temperature to measure 8 mm 2 or less) of the channel (7,70) microreactor flow channel formation member forming a with (1,2,210), the temperature of the fluid flowing through the flow channel (7,70) A sensor (3),
In order to maintain the flow of the fluid in a state where the laminar flow is held on a part of the wall forming the microreactor flow path (7, 70) in which the flowing fluid undergoes a chemical reaction in a laminar flow , A substantially parallel recess (52, 521) is provided, and a temperature sensor (3) is provided in the recess (52, 521) so that the sheath (31) can flow while maintaining a stable laminar flow state. A part of the temperature measuring part (31a) composed of the bent part is exposed to the space in the flow path (7) or covered with an extremely thin sealing material (6a), and the sheath (31) is directly applied to the liquid. Or an extremely thin sealing material (6a) .

本発明によると、凹部(52,521)に温度センサ(3)の測温部(31a)を設けた構造であるため、流路(7)を流れる流体の流れが温度センサ(3)の測温部(31a)により妨げられず、流れが乱されることがない。また、温度センサ(3)の測温部(31a)は、流路(7,70)を流れる流体に直接に接触できるので、流路7を流れる流体の温度を正確に測定することができる。 According to the present invention, since the temperature measuring part (31a) of the temperature sensor (3) is provided in the recess (52, 521), the flow of the fluid flowing through the flow path (7) is measured by the temperature sensor (3). hindered et is not the sensing portion (31a), it is never disturbed flow. Moreover, since the temperature measuring part (31a) of the temperature sensor (3) can directly contact the fluid flowing through the flow path (7, 70), the temperature of the fluid flowing through the flow path 7 can be accurately measured.

また、凹部(52)と温度センサ(3)の測温部(31a)とを封止材(6a)により接合することで、測温部(31a)を確実に固定することができる。凹部(52)と温度センサ(3)の測温部(31a)との隙間を封止材(6a)により封止することで、前記隙間における流体の滞留を防止することができる。封止材(6a)の表面と流路(7)の内周面とを略面一とすることで、流路(7)を流れる流体は攪乱されることなく安定した流れを保つことができる。温度センサ(3)の測温部(31a)における少なくとも一部が、流れる流体が攪乱されることなく安定した流れを保つことができるように、流路(7,70)内の空間に曝すことで、より一層正確に流体の温度を測定することができる。温度センサ(3)は、内部に熱電対要素(32)を設けたシース(31)を測温部として構成された熱電対型温度センサとすることで、マイクロデバイスへの適用に好適となる。流路形成体(1,2,210)をポリテトラフルオロエチレン樹脂または接着性フッ素樹脂等の合成樹脂で構成することによりその蓄熱性を小さくでき、流路(7,70)を流れる流体の温度を更に一層正確に測定できるようになる。流路形成体(1,2,210)の周りに断熱手段(4)を設けることで、流路(7)内を流れる流体は、外部への放熱または外部からの受熱の影響が非常に少なくなる。 Moreover, a temperature measuring part (31a) can be reliably fixed by joining a recessed part (52) and the temperature measuring part (31a) of a temperature sensor (3) with a sealing material (6a). By sealing the gap between the recess (52) and the temperature measuring part (31a) of the temperature sensor (3) with the sealing material (6a), it is possible to prevent the fluid from staying in the gap. By making the surface of the sealing material (6a) and the inner peripheral surface of the flow path (7) substantially flush, the fluid flowing through the flow path (7) can be kept stable without being disturbed. . At least a part of the temperature measuring section (31a) of the temperature sensor (3) is exposed to a space in the flow path (7, 70) so that the flowing fluid can be kept stable without being disturbed. Thus, the temperature of the fluid can be measured more accurately. The temperature sensor (3) is suitable for application to a microdevice by using a sheath (31) provided with a thermocouple element (32) therein as a thermocouple temperature sensor configured as a temperature measuring unit. By configuring the flow path forming body (1, 2, 210) with a synthetic resin such as polytetrafluoroethylene resin or adhesive fluororesin, the heat storage property can be reduced, and the temperature of the fluid flowing through the flow path (7, 70). Can be measured even more accurately. By providing the heat insulating means (4) around the flow path forming body (1, 2, 210), the fluid flowing in the flow path (7) has very little influence of heat radiation to the outside or heat reception from the outside. Become.

なお、特許請求の範囲及び課題を解決するための手段の欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the column of the means for solving a claim and a problem shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の流路形成体への温度センサの取付構造によると、流路を流れる流体の温度を正確に測定することができると共に、流れに乱れを生じさせないようにできる。   According to the structure for attaching the temperature sensor to the flow path forming body of the present invention, the temperature of the fluid flowing through the flow path can be accurately measured, and the flow can be prevented from being disturbed.

〔第1実施形態〕
以下、添付図面を参照して、本発明の第1実施形態について説明する。図1は第1実施形態の温度センサ付マイクロデバイスの正面一部断面図、図2は図1のA−A線矢視図、図3は第1ブロックの3面一部断面図、図4は第2ブロックの正面一部断面図、図5は第2ブロックの側面一部断面図、図6は温度センサの構造を示す断面図、図7は本発明の要部を示す図である。なお図3において、図3(A)は正面一部断面図、図3(B)は側面一部断面図、図3(C)は底面図を示す。
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is a partial front cross-sectional view of the temperature sensor microdevice of the first embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1, FIG. 3 is a partial cross-sectional view of the first block, and FIG. Is a partial front sectional view of the second block, FIG. 5 is a partial sectional side view of the second block, FIG. 6 is a sectional view showing the structure of the temperature sensor, and FIG. 7 is a diagram showing the main part of the present invention. 3A is a partial front sectional view, FIG. 3B is a partial side sectional view, and FIG. 3C is a bottom view.

図1,2に示すように、本発明に係る第1実施形態の温度センサ付マイクロデバイス10は、第1ブロック1、第2ブロック2、熱電対型温度センサ3及び断熱部材4から構成される。これらの各構成要素について説明する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the microsensor with temperature sensor 10 according to the first embodiment of the present invention includes a first block 1, a second block 2, a thermocouple temperature sensor 3, and a heat insulating member 4. . Each of these components will be described.

第1ブロック1は、図3に示すように、ステンレス鋼等の金属を材質とした略円柱形状体からなり、その内部には、中心軸J1に沿って貫通した内径0.7mm程度の細孔11を備える。第1ブロック1の一端面の中央部には、細孔11に連通するように中空とされた凸状部12を備える。第1ブロック1の他端面には、その直径部分に沿うように形成された長溝13を備える。長溝13は、断面半径が0.9mm程度の半円弧状を呈する第1溝51と、第1溝51の上に重なるように形成され断面半径が0.5mm程度の略半円弧状を呈する第2溝52とからなる。長溝13は、その長手方向の中心部分で細孔11に連通している。   As shown in FIG. 3, the first block 1 is made of a substantially cylindrical body made of a metal such as stainless steel, and has a pore having an inner diameter of about 0.7 mm penetrating along the central axis J1. 11 is provided. A convex portion 12 that is hollow so as to communicate with the pores 11 is provided at the center of one end surface of the first block 1. The other end surface of the first block 1 is provided with a long groove 13 formed along the diameter portion thereof. The long groove 13 has a first groove 51 having a semicircular arc shape with a cross-sectional radius of approximately 0.9 mm, and a first groove 51 having a substantially semicircular arc shape having a cross-sectional radius of approximately 0.5 mm. 2 grooves 52. The long groove 13 communicates with the pore 11 at the central portion in the longitudinal direction.

第2ブロック2は、図4に示すように、第1ブロック1と同様にステンレス鋼等の金属を材質とした略直方体形状体からなり、その内部には、第2ブロック2の長手方向の中心軸J2に沿って貫通した直径1.8mm程度の細孔21と、第2ブロック2の長手方向に平行な一面から細孔21の上半位置まで開けられた円筒穴22とを備える。細孔21と円筒穴22とは連通するため、連通部分では、図5に示すように、細孔21の内周断面は半円弧状となる。細孔21の両端は、それぞれ配管取付用の雌ねじが形成された入口ポート23及び出口ポート24とされる。円筒穴22は、第1ブロック1を嵌挿可能なサイズとされる。第2ブロック2の長手方向に平行な上記一面は、円筒穴22と連通する環状凸部25とされている。   As shown in FIG. 4, the second block 2 is formed of a substantially rectangular parallelepiped body made of a metal such as stainless steel like the first block 1, and the inside of the second block 2 is the center in the longitudinal direction of the second block 2. A fine hole 21 having a diameter of about 1.8 mm penetrating along the axis J2 and a cylindrical hole 22 opened from one surface parallel to the longitudinal direction of the second block 2 to the upper half position of the fine hole 21 are provided. Since the pore 21 and the cylindrical hole 22 communicate with each other, the inner circumferential cross section of the pore 21 has a semicircular arc shape at the communicating portion, as shown in FIG. Both ends of the pore 21 are an inlet port 23 and an outlet port 24 in which female threads for pipe attachment are formed. The cylindrical hole 22 has a size that allows the first block 1 to be inserted. The one surface parallel to the longitudinal direction of the second block 2 is an annular convex portion 25 communicating with the cylindrical hole 22.

熱電対型温度センサ3は、図1,6に示すように、シース31、熱電対要素32、充填部材33、アダプタ34及びリード線35などを備える。シース31は、ステンレス鋼やセラミックスなどを材質とした細長のパイプ体からなる。その直径は0.5mm程度であり、一端が閉端として構成され、他端が開端として構成される。熱電対要素32は、互いに異なる種類の金属からなる2本の素線61,62、例えばクロメル素線及びアラメル素線のそれぞれの一端同士を接合点63で接合してなり、シース31の中に配置される。充填材33は、アルミナのようなセラミックスなどからなり、シース31の閉端と熱電対要素32の接合点63との間の熱的接触を十分に達成させ、且つシース31内での熱電対要素32の機械的保持を確実にするため、シース31の内部空間に熱電対要素32を埋め込むように充填される。両素線61,62は、接合点63からシース31の中で延長して、開端を通ってアダプタ34に入りリード線35に接続される。リード線35は図示しない制御回路と接続されて、温度に応じて発生する接合点63での異種金属接合による電圧に基づいて温度測定が行われる。   As shown in FIGS. 1 and 6, the thermocouple temperature sensor 3 includes a sheath 31, a thermocouple element 32, a filling member 33, an adapter 34, a lead wire 35, and the like. The sheath 31 is made of an elongated pipe body made of stainless steel or ceramics. The diameter is about 0.5 mm, one end is configured as a closed end, and the other end is configured as an open end. The thermocouple element 32 is formed by joining one end of each of two strands 61 and 62 made of different kinds of metals, for example, a chromel strand and an aramel strand, at a junction point 63. Be placed. The filler 33 is made of ceramics such as alumina, etc., sufficiently achieves thermal contact between the closed end of the sheath 31 and the junction 63 of the thermocouple element 32, and the thermocouple element in the sheath 31. In order to ensure the mechanical retention of 32, the inner space of the sheath 31 is filled with a thermocouple element 32 embedded therein. Both strands 61 and 62 extend from the junction 63 in the sheath 31, pass through the open end, enter the adapter 34, and are connected to the lead wire 35. The lead wire 35 is connected to a control circuit (not shown), and temperature measurement is performed based on a voltage due to a dissimilar metal junction at a junction 63 generated according to the temperature.

断熱部材4は、石綿、多孔質セラミックスなどからなり、第1ブロック1及び第2ブロック2を被覆するように設けられる。なお、真空断熱装置を用いてもよい。   The heat insulating member 4 is made of asbestos, porous ceramics, and the like, and is provided so as to cover the first block 1 and the second block 2. A vacuum heat insulating device may be used.

次に、以上のような各構成要素を備える温度センサ付マイクロデバイス10の組み立て方法について説明する。   Next, a method of assembling the temperature sensor-equipped microdevice 10 including the above-described components will be described.

まず第1ブロック1における細孔11の一方側11aからシース31を挿入し、第1ブロック1を貫通させる。次いで細孔11の他方側11bから出てきたシース31のうち、先端から一定長さの部分31aをL字型に折り曲げる。次いでシース31を引き上げ、折り曲げた部分31aを第2溝52の長手方向に沿うようにして第2溝52内に埋設する。次いで、第1ブロック1の姿勢を長溝13が上側となる状態にして第2溝52及び細孔11に封止材6aを流し込み、所定時間乾かす。 First, the sheath 31 is inserted from the one side 11 a of the pore 11 in the first block 1 to penetrate the first block 1. Next, a portion 31a of a certain length from the tip of the sheath 31 coming out from the other side 11b of the pore 11 is bent into an L shape. Next, the sheath 31 is pulled up, and the bent portion 31 a is embedded in the second groove 52 along the longitudinal direction of the second groove 52. Next, the first block 1 is placed in a state where the long groove 13 is on the upper side, the sealing material 6a is poured into the second groove 52 and the pores 11, and is dried for a predetermined time.

封止材6aは、シース31の折り曲げた部分31aを第2溝52に固着させると共に、第2溝52及びシース31の折り曲げた部分31aと第2溝52との隙間を封止する。また、細孔11内にあるシース31を細孔11に固着させる。第2溝52内は、最終的には次のような状態とされる。すなわち、図7に示すように、封止材6aの表面と流路7の内周面とが略面一である。また、シース31の折り曲げた部分31aの一部が流路7内の空間に曝されているかまたは極薄の封止材6aで被覆されている。 The sealing material 6 a fixes the bent portion 31 a of the sheath 31 to the second groove 52 and seals the gap between the second groove 52 and the bent portion 31 a of the sheath 31 and the second groove 52. Further, the sheath 31 in the pore 11 is fixed to the pore 11. The inside of the second groove 52 is finally in the following state. That is, as shown in FIG. 7, the surface of the sealing material 6a and the inner peripheral surface of the flow path 7 are substantially flush. Further, a part of the bent portion 31a of the sheath 31 is exposed to the space in the flow path 7 or is covered with an extremely thin sealing material 6a.

封止材6aが固化したら、第1ブロック1を第2ブロック2の円筒穴22に嵌設する。この時点で、第1溝51と細孔21の半円弧部分とにより流路7が形成される。流路7は、本発明における断面積が1mm以上且つ8mm以下の流路に対応する。その後、第1ブロック1と第2ブロック2との境界部分を封止材6bにより溶接する。最後に、第1ブロック1及び第2ブロック2の周りを断熱部材4で覆う。以上の作業により、図1,2に示す温度センサ付マイクロデバイス10が完成する。 When the sealing material 6 a is solidified, the first block 1 is fitted into the cylindrical hole 22 of the second block 2. At this point, the flow path 7 is formed by the first groove 51 and the semicircular arc portion of the pore 21. The channel 7, the cross-sectional area in the present invention is 1 mm 2 or more and corresponds to 8 mm 2 or less of the flow path. Then, the boundary part of the 1st block 1 and the 2nd block 2 is welded with the sealing material 6b. Finally, the first block 1 and the second block 2 are covered with a heat insulating member 4. Through the above operation, the microsensor with temperature sensor 10 shown in FIGS.

次に、図8を参照しながら温度センサ付マイクロデバイス10の使用例について説明する。図8は温度センサ付マイクロデバイスを用いた反応システムの概略図である。図8に示すように、反応システム20は、第1液供給部71、第2液供給部72、第1温度調整部73、第2温度調整部74、温度センサ付マイクロデバイス10、マイクロリアクタ81、コントローラ9及び配管75,83,84からなる。   Next, a usage example of the microdevice with temperature sensor 10 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a schematic view of a reaction system using a microdevice with a temperature sensor. As shown in FIG. 8, the reaction system 20 includes a first liquid supply unit 71, a second liquid supply unit 72, a first temperature adjustment unit 73, a second temperature adjustment unit 74, a microdevice with temperature sensor 10, a microreactor 81, It consists of a controller 9 and pipes 75, 83 and 84.

第1液供給部71は、被反応液である第1液を所定の圧力で圧送可能に構成される。第2液供給部72は、被反応液である第2液を所定の圧力で圧送可能に構成される。第1温度調整部73は、第1液供給部71から供給される第1液を、コントローラ9からの制御信号S2に基づいて加熱または冷却する手段を備える。第2温度調整部74は、第2液供給部72から供給される第2液を、コントローラ9からの制御信号S2に基づいて加熱または冷却する手段を備える。マイクロリアクタ81は、第1液と第2液とが層流を保った状態で反応を進行するように形成されたマイクロ流路82を備える。コントローラ9は、温度センサ付マイクロデバイス10によって得た温度信号S1に基づいて、第1温度調整部73及び第2温度調整部74に制御信号S2を送るように構成される。   The 1st liquid supply part 71 is comprised so that the 1st liquid which is a to-be-reacted liquid can be pumped by a predetermined pressure. The 2nd liquid supply part 72 is comprised so that the 2nd liquid which is a to-be-reacted liquid can be pumped by predetermined pressure. The first temperature adjustment unit 73 includes means for heating or cooling the first liquid supplied from the first liquid supply unit 71 based on a control signal S <b> 2 from the controller 9. The second temperature adjustment unit 74 includes means for heating or cooling the second liquid supplied from the second liquid supply unit 72 based on the control signal S <b> 2 from the controller 9. The microreactor 81 includes a microchannel 82 formed so that the reaction proceeds in a state where the first liquid and the second liquid maintain a laminar flow. The controller 9 is configured to send a control signal S2 to the first temperature adjustment unit 73 and the second temperature adjustment unit 74 based on the temperature signal S1 obtained by the microdevice with temperature sensor 10.

反応システム20の動作及び温度センサ付マイクロデバイス10の作用効果について説明する。第1液供給部71及び第2液供給部72は、配管75を通じてそれぞれ第1液及び第2液を同時に温度センサ付マイクロデバイス10に供給する。このときの各液の圧力は、第1液及び第2液が層流状態を保つことができる大きさとされる。   The operation of the reaction system 20 and the operation and effect of the temperature sensor microdevice 10 will be described. The first liquid supply section 71 and the second liquid supply section 72 simultaneously supply the first liquid and the second liquid to the temperature sensor microdevice 10 through the pipe 75, respectively. The pressure of each liquid at this time is set to such a magnitude that the first liquid and the second liquid can maintain a laminar flow state.

温度センサ付マイクロデバイス10の流路21を流れる第1液と第2液との2層液の温度は、熱電対型温度センサ3により測定される。温度センサ付マイクロデバイス10において、封止材6aの表面と流路7の内周面とが略面一であるため、凹凸等による流れの抵抗や攪乱が少なく、第1液と第2液とは、安定した層流状態を保ったまま流れることができる。また、シース31の折り曲げた部分31aの一部が流路7内の空間に曝されているかまたは極薄の封止材6aで被覆されているため、シース31は液に直接にまたは極薄の封止材6aを介して接触するので、正確な温度測定が可能である。 The temperature of the two-layer liquid of the first liquid and the second liquid flowing through the flow path 21 of the temperature sensor microdevice 10 is measured by the thermocouple temperature sensor 3. In the temperature sensor microdevice 10, since the surface of the sealing material 6a and the inner peripheral surface of the flow path 7 are substantially flush, there is little flow resistance or disturbance due to unevenness or the like, and the first liquid and the second liquid Can flow while maintaining a stable laminar flow state. Further, since a part of the bent portion 31a of the sheath 31 is exposed to the space in the flow path 7 or is covered with the ultrathin sealing material 6a, the sheath 31 is directly exposed to the liquid or is extremely thin. Since it contacts via the sealing material 6a, exact temperature measurement is possible.

測定した温度が目標とする温度よりも高いときは、コントローラ9は、第1液供給部73及び第2液供給部74から供給される第1液及び第2液の温度を下げるように、第1温度調整部73及び第2温度調整部74を制御する。反対に、測定した温度が目標とする温度よりも低いときは、コントローラ9は、第1液供給部73及び第2液供給部74から供給される第1液及び第2液の温度を上げるように、第1温度調整部73及び第2温度調整部74を制御する。なお、この制御は、第1ブロック1及び第2ブロック2の熱導電率に基づいて補正するようにしてもよい。   When the measured temperature is higher than the target temperature, the controller 9 reduces the temperature of the first liquid and the second liquid supplied from the first liquid supply unit 73 and the second liquid supply unit 74. The first temperature adjusting unit 73 and the second temperature adjusting unit 74 are controlled. On the contrary, when the measured temperature is lower than the target temperature, the controller 9 increases the temperatures of the first liquid and the second liquid supplied from the first liquid supply unit 73 and the second liquid supply unit 74. In addition, the first temperature adjusting unit 73 and the second temperature adjusting unit 74 are controlled. This control may be corrected based on the thermal conductivity of the first block 1 and the second block 2.

温度センサ付マイクロデバイス10から出た第1液と第2液とは、配管83を介してマイクロリアクタ81に入る。その後、第1液と第2液とは、マイクロ流路82内で層流を保ったまま反応を進行させていく。そして、マイクロリアクタ81の出口ポートからは、反応が完了した反応済み液が配管84を通じて次の工程へと導出される。第1ブロック1と第2ブロック2とは、断熱部材4で被覆されているため、流路7内を流れる液は、外部への放熱または外部からの受熱の影響が非常に少ない。
〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図9は第2実施形態の温度センサ付マイクロデバイスの正面一部断面図、図10は図9のB−B線矢視図、図11は第2実施形態の温度センサ付マイクロデバイスの要部を示す図である。これら各図において、第1実施形態の温度センサ付マイクロデバイス10の構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付してありその説明を省略する。
The first liquid and the second liquid that have come out of the temperature sensor microdevice 10 enter the microreactor 81 via the pipe 83. Thereafter, the first liquid and the second liquid cause the reaction to proceed while maintaining a laminar flow in the microchannel 82. Then, from the outlet port of the microreactor 81, the reacted liquid whose reaction has been completed is led out to the next step through the pipe 84. Since the 1st block 1 and the 2nd block 2 are coat | covered with the heat insulation member 4, the liquid which flows through the flow path 7 has very little influence of the thermal radiation to the outside or the heat receiving from the outside.
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. 9 is a partial front cross-sectional view of the microdevice with temperature sensor of the second embodiment, FIG. 10 is a view taken along the line BB in FIG. 9, and FIG. 11 is a main part of the microdevice with temperature sensor of the second embodiment. FIG. In these drawings, the same components as those of the temperature sensor-equipped microdevice 10 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図9,10に示すように、第2実施形態の温度センサ付マイクロデバイス20は、流路形成体ブロック210、熱電対型温度センサ3及び断熱部材4から構成される。流路形成体ブロック210は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂または接着性フッ素樹脂を一体的に成型加工した略直方体形状体である。その内部には流路形成体ブロック210の長手方向の中心軸J3に沿って貫通した直径1.8mm程度の細孔211を備える。細孔211の両端は、それぞれ配管取付用の入口ポート231及び出口ポート241とされる。細孔211により流路70が形成される。流路70は、本発明における断面積が1mm以上且つ8mm以下の流路に対応する。 As shown in FIGS. 9 and 10, the microdevice with temperature sensor 20 of the second embodiment includes a flow path forming body block 210, a thermocouple type temperature sensor 3, and a heat insulating member 4. The flow path forming body block 210 is a substantially rectangular parallelepiped shaped body integrally molded from polytetrafluoroethylene resin or adhesive fluororesin. Inside thereof, there are provided pores 211 having a diameter of about 1.8 mm that penetrate along the central axis J3 in the longitudinal direction of the flow path forming block 210. Both ends of the pore 211 are an inlet port 231 and an outlet port 241 for pipe attachment, respectively. A flow path 70 is formed by the pores 211. Passage 70, the cross-sectional area in the present invention is 1 mm 2 or more and corresponds to 8 mm 2 or less of the flow path.

細孔211における長手方向中央部には、細孔211の上に重なるように形成された溝521を備える。溝521は、断面半径が0.5mm程度の略半円弧状を呈する。この溝521の中にシース31の折り曲げた部分31aが埋め込まれる形となっている。そして、折り曲げた部分31aの表面の一部は、流路70内の空間に曝されている。   A groove 521 formed so as to overlap the pore 211 is provided at the center in the longitudinal direction of the pore 211. The groove 521 has a substantially semicircular arc shape with a cross-sectional radius of about 0.5 mm. The bent portion 31 a of the sheath 31 is embedded in the groove 521. A part of the surface of the bent portion 31 a is exposed to the space in the flow path 70.

次に、図12,13を参照して、温度センサ付マイクロデバイス20の製作方法について説明する。図12は第2実施形態の温度センサ付マイクロデバイスを製作するための金型器具を示す図、図13は第2実施形態の温度センサ付マイクロデバイスの製作手順を示す図である。   Next, with reference to FIGS. 12 and 13, a manufacturing method of the microdevice with temperature sensor 20 will be described. FIG. 12 is a view showing a mold apparatus for manufacturing the microdevice with temperature sensor of the second embodiment, and FIG. 13 is a view showing a manufacturing procedure of the microdevice with temperature sensor of the second embodiment.

図12に示すように、金型器具40は、第1成型部41と第2成型部42と2本の略丸棒部材43,43とからなる。第1成型部41及び第2成型部42は、それぞれ温度センサ付マイクロデバイス20の上半部及び下半部を成型するためのキャビティーを備える。第1成型部41の上面には、シース31を挿通可能なサイズの細孔41hと、樹脂供給部44における樹脂射出ノズル441が接続される樹脂導入孔41nとが形成される。2本の略丸棒部材43,43は、どちらも同一形状に加工され、それぞれ径大部43a及び径小部43bを備える。第1成型部41及び第2成型部42は、それぞれ略丸棒部材43の径大部43a,43aの外径と略同一の径を備える半円溝41m,42mを備える。第1成型部41と第2成型部42とは、略丸棒部材43,43を間に挟んだ状態でロック(密封)可能とされる。   As shown in FIG. 12, the mold tool 40 includes a first molding part 41, a second molding part 42, and two substantially round bar members 43, 43. The 1st molding part 41 and the 2nd molding part 42 are provided with the cavity for shape | molding the upper half part and lower half part of the microdevice 20 with a temperature sensor, respectively. On the upper surface of the first molding portion 41, a pore 41h having a size that allows the sheath 31 to be inserted, and a resin introduction hole 41n to which the resin injection nozzle 441 in the resin supply portion 44 is connected are formed. The two substantially round bar members 43 and 43 are both processed into the same shape, and each include a large-diameter portion 43a and a small-diameter portion 43b. The 1st molding part 41 and the 2nd molding part 42 are provided with semicircular grooves 41m and 42m provided with a diameter substantially the same as the outer diameter of large diameter parts 43a and 43a of substantially round bar member 43, respectively. The first molding portion 41 and the second molding portion 42 can be locked (sealed) with substantially round bar members 43 and 43 sandwiched therebetween.

温度センサ付マイクロデバイス20の製作は次のようにして行う。まず、図13(A)に示すように、先端をL字形に折り曲げたシース31を第1成型部41の細孔41hに挿入する。次いで、図13(B)に示すように、第2成型部42の半円溝42m,42mにそれぞれ略丸棒部材43の径大部43a,43aを載せる。このとき、両略丸棒部材43の径小部43bの端面同士が互いに接触する状態にする。次いで、図13(C)に示すように、第2成型部42の上に第1成型部41を重ね合わせて両成型部をロックする。このときシース31の折り曲げた部分31aが略丸棒部材43の長手方向に平行に且つ径小部43bの上に載るようにする。   The microdevice 20 with temperature sensor is manufactured as follows. First, as shown in FIG. 13A, the sheath 31 whose tip is bent in an L shape is inserted into the pore 41 h of the first molding portion 41. Next, as shown in FIG. 13B, the large-diameter portions 43a and 43a of the substantially round bar member 43 are placed in the semicircular grooves 42m and 42m of the second molding portion 42, respectively. At this time, the end surfaces of the small-diameter portions 43b of both substantially round bar members 43 are brought into contact with each other. Next, as shown in FIG. 13C, the first molding part 41 is overlaid on the second molding part 42 to lock both molding parts. At this time, the bent portion 31 a of the sheath 31 is placed parallel to the longitudinal direction of the substantially round bar member 43 and on the small-diameter portion 43 b.

次いで、樹脂供給部44から樹脂射出ノズル441を通じて、溶融したポリテトラフルオロエチレンまたは接着性フッ素樹脂を樹脂導入孔41からキャビティー内に圧送する。図13(D)に示すように、金型内がポリテトラフルオロエチレンまたは接着性フッ素樹脂で充填され、所定時間冷却した時点で2本の略丸棒部材43,43をそれぞれ引き抜く。更に所定時間冷却した時点で第1成型部を第2成型部から外す。以上の作業により、温度センサ3が取り付けられた流路形成ブロック210が完成する。最後に、流路形成ブロック210の周りを断熱部材4で覆うことで、図1,2に示す温度センサ付マイクロデバイス20が完成する。   Next, the melted polytetrafluoroethylene or adhesive fluororesin is pumped from the resin introduction hole 41 into the cavity through the resin injection nozzle 441 from the resin supply unit 44. As shown in FIG. 13D, when the inside of the mold is filled with polytetrafluoroethylene or adhesive fluororesin and cooled for a predetermined time, the two substantially round bar members 43 and 43 are pulled out. Furthermore, the first molding part is removed from the second molding part when it is cooled for a predetermined time. Through the above operation, the flow path forming block 210 to which the temperature sensor 3 is attached is completed. Finally, by covering the periphery of the flow path forming block 210 with the heat insulating member 4, the microdevice 20 with temperature sensor shown in FIGS.

温度センサ付マイクロデバイス20の使用例は第1実施形態の場合とほぼ同様であり、図8における温度センサ付マイクロデバイス10を温度センサ付マイクロデバイス20に置き換えることで、第1実施形態の例と同様な作用効果を得ることができる。なお、第2実施形態の場合は、流路形成ブロック210がポリテトラフルオロエチレンまたは接着性フッ素樹脂等の合成樹脂で構成され特に蓄熱性が小さいため、流路7を流れる液体の温度を更に一層正確に測定できるようになる。   The usage example of the microdevice with temperature sensor 20 is almost the same as that in the first embodiment. By replacing the microdevice with temperature sensor 10 in FIG. Similar effects can be obtained. In the case of the second embodiment, since the flow path forming block 210 is made of synthetic resin such as polytetrafluoroethylene or adhesive fluororesin and has particularly low heat storage, the temperature of the liquid flowing through the flow path 7 is further increased. It becomes possible to measure accurately.

以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上に開示した実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこの実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、更に特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。例えば、流路7,70の断面形状は、ここに示した円形のものに限らず、例えば四角形でもよい。また、第1実施形態において、流路形成体となる第1ブロック1及び第2ブロック2を金属でなく、第2実施形態のようにポリテトラフルオロエチレンまたは接着性フッ素樹脂等の合成樹脂で構成し、銀鑞に代えて適当な市販の接着剤を接合材として用いるようにしてもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, embodiment disclosed above is an illustration to the last, Comprising: The scope of the present invention is not limited to this embodiment. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims. For example, the cross-sectional shape of the flow paths 7 and 70 is not limited to the circular shape shown here, and may be a square, for example. Further, in the first embodiment, the first block 1 and the second block 2 serving as the flow path forming body are not made of metal, but are made of synthetic resin such as polytetrafluoroethylene or adhesive fluororesin as in the second embodiment. However, a suitable commercially available adhesive may be used as the bonding material instead of the silver candy.

マイクロリアクタ用温度センサ付マイクロデバイスの正面一部断面図である。It is a front fragmentary sectional view of the microdevice with a temperature sensor for microreactors . 図1のA−A線矢視図である。It is an AA arrow line view of FIG. 第1ブロックの3面一部断面図である。It is 3 surface partial sectional drawing of a 1st block. 第2ブロックの正面一部断面図である。It is a front fragmentary sectional view of the 2nd block. 第2ブロックの側面一部断面図である。It is side surface partial sectional drawing of a 2nd block. マイクロリアクタ用温度センサの構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the temperature sensor for microreactors . 本発明の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of this invention. マイクロリアクタ用温度センサ付マイクロデバイスを用いた反応システムの概略図である。It is the schematic of the reaction system using the microdevice with a temperature sensor for microreactors . 第2実施形態のマイクロリアクタ用温度センサ付マイクロデバイスの正面一部断面図である。It is a front fragmentary sectional view of the microdevice with a temperature sensor for microreactors of a 2nd embodiment. 図9のB−B線矢視図である。It is a BB line arrow directional view of FIG. 第2実施形態のマイクロリアクタ用温度センサ付マイクロデバイスの要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the microdevice with a temperature sensor for microreactors of 2nd Embodiment. 第2実施形態のマイクロリアクタ用温度センサ付マイクロデバイスを製作するための金型器具を示す図である。It is a figure which shows the metal mold | die instrument for manufacturing the microdevice with a temperature sensor for microreactors of 2nd Embodiment. 第2実施形態のマイクロリアクタ用温度センサ付マイクロデバイスの製作手順を示す図である。It is a figure which shows the manufacture procedure of the microdevice with a temperature sensor for microreactors of 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 第1ブロック(マイクロリアクタ流路形成体)
2 第2ブロック(マイクロリアクタ流路形成体)
3 熱電対型温度センサ(マイクロリアクタ用温度センサ)
4 断熱部材(断熱手段)
6a,6b 封止材
7 流路
31 シース
31a シースの折り曲げた部分(測温部)
32 熱電対要素
52 凹部
70 流路
210 マイクロリアクタ流路形成体
521 凹部
1 First block ( microreactor flow path forming body)
2 Second block ( microreactor channel forming body)
3 Thermocouple type temperature sensor (temperature sensor for microreactor )
4 Insulation member (insulation means)
6a, 6b Sealing material 7 Channel 31 Sheath 31a Bent part of sheath (temperature measuring part)
32 Thermocouple element 52 Concavity 70 Channel 210 Microreactor channel formation body 521 Concavity

Claims (4)

マイクロリアクタ流路形成体(1,2,210)へのマイクロリアクタ用温度センサ(3)の取付構造であって、微細流路(断面積が1mm以上且つ8mm以下)の流路(7,70)を形成したマイクロリアクタ流路形成体(1,2,210)と、前記流路(7,70)を流れる流体の温度を測定するためのマイクロリアクタ用温度センサ(3)とを備え、
前記流れる流体が層流で化学反応をおこなうマイクロリアクタ流路(7,70)を形成する壁の一部に、前記層流を保持した状態での流体の流れを維持するため、流体の流れる方向に略平行な凹部(52,521)を有し、この凹部(52,521)に温度センサ(3)を設け、安定した層流状態を保ったまま流れることができる様に、シース(31)の折り曲げた部分からなる測温部(31a)の一部が流路(7)内の空間に曝されているかまたは極薄の封止材(6a)で被覆し、シース(31)が液に直接にまたは極薄の封止材(6a)を介して接触するように構成したことを特徴とするマイクロリアクタ流路形成体へのマイクロリアクタ用温度センサの取付構造。
The microreactor temperature sensor (3) is attached to the microreactor channel forming body (1, 2, 210), and has a fine channel (cross-sectional area of 1 mm 2 or more and 8 mm 2 or less) (7, 70). And a microreactor channel forming body (1, 2, 210) formed with a microreactor temperature sensor (3) for measuring the temperature of the fluid flowing through the channel (7, 70),
In order to maintain the flow of the fluid in a state where the laminar flow is held on a part of the wall forming the microreactor flow path (7, 70) in which the flowing fluid undergoes a chemical reaction in a laminar flow, A substantially parallel recess (52, 521) is provided, and a temperature sensor (3) is provided in the recess (52, 521) so that the sheath (31) can flow while maintaining a stable laminar flow state. A part of the temperature measuring part (31a) composed of the bent part is exposed to the space in the flow path (7) or covered with an extremely thin sealing material (6a), and the sheath (31) is directly applied to the liquid. A structure for attaching a microreactor temperature sensor to a microreactor flow path forming body, wherein the microreactor flow path forming body is configured to be in contact with each other via an ultrathin sealing material (6a).
凹部(52)と温度センサ(3)の測温部(31a)とが封止材(6a)により接合された請求項1に記載のマイクロリアクタ流路形成体へのマイクロリアクタ用温度センサの取付構造。   The structure for attaching a temperature sensor for a microreactor to a microreactor channel forming body according to claim 1, wherein the recess (52) and the temperature measuring part (31a) of the temperature sensor (3) are joined together by a sealing material (6a). 凹部(52)と温度センサ(3)の測温部(31a)との隙間が封止材(6a)により封止された請求項1または請求項2に記載のマイクロリアクタ流路形成体へのマイクロリアクタ用温度センサの取付構造。   The microreactor to the microreactor channel forming body according to claim 1 or 2, wherein a gap between the recess (52) and the temperature measuring part (31a) of the temperature sensor (3) is sealed with a sealing material (6a). Temperature sensor mounting structure. 封止材(6a)の表面と流路(7)の内周面とが、流れる流体が攪乱されることなく安定した流れを保つことができるように、略面一とされた請求項3に記載のマイクロリアクタ流路形成体へのマイクロリアクタ用温度センサの取付構造。   The surface of the sealing material (6a) and the inner peripheral surface of the flow path (7) are substantially flush with each other so that the flowing fluid can be kept stable without being disturbed. A structure for attaching a temperature sensor for a microreactor to the microreactor channel forming body described.
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