JP2000193529A - Sensor for measuring temperature within piping and the same with piping means - Google Patents

Sensor for measuring temperature within piping and the same with piping means

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JP2000193529A
JP2000193529A JP10373495A JP37349598A JP2000193529A JP 2000193529 A JP2000193529 A JP 2000193529A JP 10373495 A JP10373495 A JP 10373495A JP 37349598 A JP37349598 A JP 37349598A JP 2000193529 A JP2000193529 A JP 2000193529A
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probe
pipe
temperature
sensor
measuring
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Kenichi Tomimasu
健一 冨益
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FUYO SANGYO KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor for measuring temperature within piping that is suited for measuring the temperature of a fluid such as a chemical liquid on a piping connected to a tank for accommodating the fluid instead of the tank. SOLUTION: The sensor for measuring temperature consisting of a probe 11 for detecting temperature, a lead wire 13 being connected to the probe 11, and a probe case 12 for covering an area near the probe 11 is mounted onto a piping joint 2 for connecting piping H for measuring the temperature of fluid such as a chemical liquid L that flows in the piping H. Then, the probe case 12 is formed for example integrally and has a probe covering part 12a for covering the probe 11 and a gear-lock part 12b that is gear-locked at an engagement part 23a in a connection port 23 of the rear piping joint 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は例えば薬液等の流体
の温度を、流体を収容するタンクではなく、これに連結
された配管上で計測するのに適した配管内温度測定用セ
ンサ並びに配管手段を具えた配管内温度測定用センサに
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pipe temperature measuring sensor and a pipe means suitable for measuring the temperature of a fluid such as a chemical solution, not on a tank containing the fluid, but on a pipe connected to the fluid. The present invention relates to a sensor for measuring the temperature in a pipe, comprising:

【0002】[0002]

【発明の背景】従来から薬液をタンクに収容し、配管に
より供給する形態を採る種々の用途の薬剤装置がある。
このような薬剤装置においては薬液の温度を計測するこ
とが要求される場合があり、例えばPT100Ω(白金
測温抵抗体)や種々の熱電対などを用いた温度測定用セ
ンサが用いられる。この従来の温度測定用センサ1′の
計測態様を説明すると、図5に示されるように薬液タン
クTに取り付けることにより温度計測が行われている。
すなわちこのものは薬液タンクTの上蓋T1に貫通コネ
クタT2が取り付けられ、この貫通コネクタT2の貫通
孔に温度測定用センサ1′のセンサユニット10′を差
し込むようにしている。そして貫通コネクタT2の上部
にはパッキン28′を設けて、センサ取付用ナット2
6′を貫通コネクタT2に対して締め付け、温度測定用
センサ1′を取り付けている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Conventionally, there are drug devices for various uses which take a form in which a drug solution is contained in a tank and supplied by piping.
In such a drug device, it may be required to measure the temperature of the drug solution, and for example, a temperature measuring sensor using PT100Ω (platinum resistance thermometer) or various thermocouples is used. The measuring mode of the conventional temperature measuring sensor 1 'will be described. The temperature is measured by attaching the temperature measuring sensor 1' to a chemical tank T as shown in FIG.
That is, in this device, a through connector T2 is attached to the upper lid T1 of the chemical tank T, and the sensor unit 10 'of the temperature measuring sensor 1' is inserted into a through hole of the through connector T2. A packing 28 'is provided on the upper part of the through connector T2, and the sensor mounting nut 2 is provided.
6 'is fastened to the through connector T2, and the temperature measurement sensor 1' is attached.

【0003】このような従来の温度測定用センサ1′そ
れ自体並びにその設置態様は、以下のような問題点を有
していた。まず薬液タンクTの例えば上方に温度測定用
センサ1′が取りついているため、その分の余計な設置
スペースを必要し、温度測定用センサ1′があるため薬
液タンクTを最適な位置に設置できない場合が生じてい
た。また薬液タンクTの設計について温度測定用センサ
1′の取り付け個所も考慮に入れなければならず、設計
の自由度が少なくなり、薬剤装置の多様化にそぐわなく
なってきている。また薬液Lは配管Hを介して供給され
るため、薬液タンクTで計測した温度と、実際の使用個
所における薬液Lの温度との間に差が生ずることは免れ
得ず、所望の温度で供給することが難しいなどの問題点
があった。また温度測定用センサ1′自体の問題とし
て、プローブ31′を覆うプローブケース12′のプロ
ーブ覆部12a′は、溶着や溶接等で形成されているた
め、透過性の強い薬液Lの場合、内部に薬液Lが浸透し
てしまうという問題点がある。
[0003] Such a conventional temperature measuring sensor 1 'itself and its installation mode have the following problems. First, since the temperature measuring sensor 1 'is attached, for example, above the chemical solution tank T, an extra installation space is required, and the temperature measuring sensor 1' prevents the chemical solution tank T from being installed at an optimum position. The case had arisen. In addition, the design of the chemical liquid tank T must also take into account the mounting location of the temperature measuring sensor 1 ', which reduces the degree of freedom in design and is not suitable for diversification of drug devices. In addition, since the chemical liquid L is supplied through the pipe H, a difference between the temperature measured in the chemical liquid tank T and the temperature of the chemical liquid L at the actual use location cannot be inevitably generated. There was a problem that it was difficult to do. Further, as a problem of the temperature measuring sensor 1 ′, the probe cover 12 a ′ of the probe case 12 ′ that covers the probe 31 ′ is formed by welding, welding, or the like. However, there is a problem that the chemical solution L permeates.

【0004】そこでこれらの問題点を解決するにあたっ
ては、温度測定用センサ1′の設置個所を薬液タンクT
から、使用個所により近い配管上で計測することが考え
られる。しかしながら、配管上で計測するのには、取り
付け手間や、部材点数が多くなるなどの装着コストのア
ップ、また液漏れ等のシール性の問題、また流動してい
るため、正確に計るための配管内の計測ポイント等を考
慮に入れなければならず、配管Hの途中に温度測定用セ
ンサ1′を取り付けるには、これらの新たに生ずる技術
的課題を解決する必要があった。
In order to solve these problems, the location of the temperature measuring sensor 1 'must be changed to a chemical tank T.
Therefore, it is conceivable to perform measurement on piping closer to the place of use. However, to measure on piping, it is necessary to increase installation cost such as installation time and the number of parts, increase sealing problems such as liquid leakage, and piping for accurate measurement due to flowing. In order to mount the temperature measuring sensor 1 'in the middle of the pipe H, it is necessary to solve these newly generated technical problems.

【0005】[0005]

【開発を試みた技術的課題】本発明はこのような背景か
らなされたものであって、薬剤装置の配管の途中で温度
計測用センサにより計測するにあたり、より簡単に温度
計測用センサを取り付けられ、装着コストも抑えられ、
またシール性にも優れ、そして市販されるほとんどの配
管継手及び配管に取り付け可能な新規な配管内温度測定
用センサ並びに配管手段を具えた配管内温度測定用セン
サの開発を試みたものである。
[Technical Problems Attempted to Be Developed] The present invention has been made in view of such a background, and when measuring with a temperature measuring sensor in the middle of a pipe of a drug device, the temperature measuring sensor can be attached more easily. , Mounting cost is also reduced,
The present invention also attempted to develop a novel sensor for measuring the temperature in a pipe, which has excellent sealing properties and can be attached to almost all commercially available pipe joints and pipes, and a sensor for measuring the temperature in a pipe provided with a piping means.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】すなわち請求項1記載の
配管内温度測定用センサは、温度を検出するプローブ
と、このプローブに接続されるリード線と、前記プロー
ブ付近を覆うプローブケースとから成る温度測定用セン
サにおいて、この温度測定用センサは、配管を連結する
配管継手に取り付けられ、前記配管内を流れる流体の温
度を測定するものであり、前記プローブケースは、プロ
ーブを覆うプローブ覆部と、この後方の前記配管継手の
接続口における嵌め込み部において係止される係止部と
を有して成ることを特徴として成るものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a pipe temperature measuring sensor comprising a probe for detecting a temperature, a lead wire connected to the probe, and a probe case for covering the vicinity of the probe. In the temperature measurement sensor, the temperature measurement sensor is attached to a pipe joint that connects the pipes, and measures the temperature of the fluid flowing in the pipes.The probe case includes a probe cover that covers the probe. And a locking portion locked at a fitting portion at a connection port of the pipe joint at the rear of the pipe joint.

【0007】また請求項2記載の配管内温度測定用セン
サは、前記要件に加え、少なくとも前記プローブケース
はフッ素樹脂により形成されていることを特徴として成
るものである。
According to a second aspect of the present invention, in addition to the above requirements, at least the probe case is formed of a fluorine resin.

【0008】更に請求項3記載の配管内温度測定用セン
サは、前記要件に加え、前記プローブケースにおける少
なくともプローブ覆部は、一体的に形成されたもので、
流体の透過孔を有していないことを特徴として成るもの
である。
According to a third aspect of the present invention, in addition to the above requirements, at least the probe cover of the probe case is integrally formed.
It does not have a fluid permeation hole.

【0009】更に請求項4記載の配管内温度測定用セン
サは、前記要件に加え、前記プローブの先端は、前記プ
ローブケースにおける係止部により係止された際に、前
記流体の状況に応じた配管継手の流体通路における適切
な位置にセットされることを特徴として成るものであ
る。
According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the above requirements, the probe for measuring the temperature in the pipe according to the condition of the fluid when the tip of the probe is locked by a locking portion of the probe case. It is characterized by being set at an appropriate position in a fluid passage of a pipe joint.

【0010】更にまた請求項5記載の配管内温度測定用
センサは、前記要件に加え、前記プローブケースにおけ
る係止部は円筒形であり、後端面が後方に向かって先窄
まりのテーパ面に形成されており、この後方にパッキン
が設けられることを特徴として成るものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in addition to the above requirements, in addition to the above requirements, the engaging portion of the probe case has a cylindrical shape, and the rear end face has a tapered surface tapered rearward. And a packing is provided behind it.

【0011】更にまた請求項6記載の配管内温度測定用
センサは、前記要件に加え、前記プローブケースにおけ
る係止部の後部には、前記リード線を覆う円管状の導管
部が形成されており、この導管部をセンサ取付用ナット
の孔に通し、前記パッキンをセンサ取付用ナットにより
押し込んだ状態でセンサ取付用ナットを前記配管継手の
接続口に締結することを特徴として成るものである。
According to a sixth aspect of the present invention, in addition to the above requirements, a tubular conduit portion for covering the lead wire is formed at a rear portion of the engaging portion of the probe case. The conduit part is passed through a hole of the sensor mounting nut, and the sensor mounting nut is fastened to the connection port of the pipe joint in a state where the packing is pushed in by the sensor mounting nut.

【0012】更にまた請求項7記載の配管内温度測定用
センサは、前記要件に加え、前記流体は薬液であること
を特徴として成るものである。
Further, in the pipe temperature measuring sensor according to claim 7, in addition to the above requirements, the fluid is a chemical liquid.

【0013】更にまた請求項8記載の配管手段を具えた
配管内温度測定用センサは、配管を接続するための配管
継手と、この配管継手の流体通路に温度を検出するプロ
ーブが臨まされて取り付けられる配管内温度測定用セン
サとから成り、前記配管内温度測定用センサにおけるプ
ローブはプローブケースで覆われるものであり、このプ
ローブケースはプローブを配管継手の流体通路の最適位
置に位置されるように係止するための係止部を具えてい
ることを特徴として成るものである。
Further, the pipe temperature measuring sensor provided with the pipe means according to claim 8 is provided with a pipe joint for connecting a pipe and a probe for detecting a temperature in a fluid passage of the pipe joint. A probe for measuring the temperature in the pipe, wherein the probe in the sensor for measuring the temperature in the pipe is covered with a probe case, and the probe case is configured such that the probe is located at an optimum position of the fluid passage of the pipe joint. It is characterized by having a locking portion for locking.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】<実施の形態1>以下本発明を図
示の実施の形態に基づき説明する。図1に示すものは、
本発明に係る配管内温度測定用センサ1を用いて、薬液
タンクTから供給される薬液Lの温度を、配管Hにおけ
る適宜の位置で、配管継手2を用いて取り付け、測定す
る実施の形態を示すものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS <First Embodiment> The present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments. The one shown in FIG.
An embodiment in which the temperature of the chemical solution L supplied from the chemical solution tank T is attached to the pipe H at an appropriate position using the pipe joint 2 and measured using the pipe temperature measuring sensor 1 according to the present invention. It is shown.

【0015】次に配管内温度測定用センサ1の詳細な説
明を行う前に、配管Hと配管継手2について説明する。
配管Hは円形パイプであり、一例としてフッ素樹脂製で
ある。なお一般に流通している薬液用の配管は、フッ素
樹脂製が最も多く使用されており、管径も規格化された
複数の寸法で共通している。
Next, before giving a detailed description of the sensor 1 for measuring the temperature in a pipe, the pipe H and the pipe joint 2 will be described.
The pipe H is a circular pipe, for example, made of fluororesin. In general, the most commonly used piping for chemical liquids is made of fluororesin, and the diameter of the pipe is common to a plurality of standardized dimensions.

【0016】次に配管内温度測定用センサ1を取り付け
る際に使用する配管継手2について説明する。なお本明
細書において、配管継手2は配管Hに取り付けられた際
には、実質的に配管Hの一部を構成するものであり、配
管内温度測定用センサ1は、具体的には前記配管継手2
内に設けられるものの、実質的に配管H内を流れる流体
の温度を計測している。配管継手2は、例えばフッソ樹
脂等により構成するものであり、図1で示した構成のも
のは、一例として本体20はチーズ状に構成されてお
り、対向する二つの接続口21、22及びT字形に分岐
した接続口23の三つの同一形状の接続口を具えてい
る。そして前記接続口21から接続口22に至る間が、
流体通路24を構成するとともに、前記接続口23に本
発明の配管内温度測定用センサ1が取り付けられる。
Next, a description will be given of the pipe joint 2 used when the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe is mounted. In the present specification, when the pipe joint 2 is attached to the pipe H, the pipe joint 2 substantially constitutes a part of the pipe H. Fitting 2
Although it is provided in the inside, the temperature of the fluid flowing substantially in the pipe H is measured. The pipe joint 2 is made of, for example, a fluorine resin or the like. In the case of the structure shown in FIG. 1, for example, the main body 20 is formed in a cheese shape, and two facing connection ports 21, 22 and T It has three identically shaped connection ports of the connection port 23 branched in a letter shape. And between the connection port 21 and the connection port 22,
A fluid passage 24 is formed, and the pipe temperature measuring sensor 1 of the present invention is attached to the connection port 23.

【0017】また前記流体通路24の両端部に位置する
接続口21及び接続口22に対しては、配管Hを接続す
るための配管接続用ナット25を具えるとともに、配管
内温度測定用センサ1が取り付けられる接続口23には
それを取り付けるためのセンサ取付用ナット26が設け
られる。なお配管接続用ナット25と、センサ取付用ナ
ット26とは説明の便宜上このように区別して呼称する
が、実際には一般的に流通されている同一形状のナット
を用いるものである。またもちろん前記接続口21、2
2に対しては配管Hとの密閉状態を得るためのパッキン
が適宜設けられるものである。
The connection port 21 and the connection port 22 located at both ends of the fluid passage 24 are provided with a pipe connection nut 25 for connecting a pipe H, and a sensor 1 for measuring the temperature in the pipe. The connection port 23 to which is mounted is provided with a sensor mounting nut 26 for mounting the same. Note that the pipe connection nut 25 and the sensor mounting nut 26 are distinguished and referred to in this way for convenience of description, but actually, nuts of the same shape that are generally distributed are used. Also, of course, the connection ports 21, 2
A packing for obtaining a hermetically sealed state with the pipe H is appropriately provided for 2.

【0018】なお前記接続口23における大きな口径の
配管受入部を、本発明では配管内温度測定用センサ1の
嵌め込み部23aと呼称し、その奥の流体通路24に連
通する小さな口径の流体出入口の部位を計測部23bと
呼称する。また更に嵌め込み部23aから計測部23b
に移る段差部位を係止段差23cと呼称する。なお嵌め
込み部23aの前記係止段差23cの形状は、図2に示
すような平面のもののほか、図3(a)や図3(b)に
示すように爪状に形成されたタイプのものでもよい。
The large-diameter pipe receiving portion at the connection port 23 is referred to as a fitting portion 23a of the in-pipe temperature measuring sensor 1 in the present invention, and is a small-diameter fluid inlet / outlet communicating with the fluid passage 24 at the back. The site is referred to as a measuring unit 23b. Further, from the fitting portion 23a to the measuring portion 23b
Is called a locking step 23c. The shape of the engaging step 23c of the fitting portion 23a may be a flat shape as shown in FIG. 2 or a claw-shaped type as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). Good.

【0019】なお前記配管H及び配管継手2の構造は、
一般的に流通される物と特に変わるものではない。そし
て薬液用の配管H及び配管継手2は、国外及び国内にお
いて、ほぼ一定の規格があるものであり、本発明に係る
配管内温度測定用センサ1は、この一般的に流通される
配管継手2のほとんどに対し、一切加工を加えることな
く、そのまま取り付けられることも特徴の一つとしてい
る。
The structures of the pipe H and the pipe joint 2 are as follows.
It is not particularly different from those generally distributed. The pipes H and the pipe joints 2 for chemical liquids have almost constant standards in foreign and domestic countries, and the sensor 1 for measuring the temperature in a pipe according to the present invention is a pipe joint 2 that is generally distributed. One of its features is that it can be attached to almost all without any processing.

【0020】次に配管内温度測定用センサ1について説
明する。配管内温度測定用センサ1は、実際に温度を検
出するプローブ11とこれを覆うプローブケース12と
から成るセンサユニット10と、前記プローブ11に接
続されるリード線13とを具えて成り、更に前記センサ
ユニット10を前記配管継手2の接続口23に接続する
際には、その密閉性を得るために一例として第一パッキ
ン27と、第二パッキン28とを用いるものである。こ
のプローブ11は、一例としてPT100Ω(白金測温
抵抗体)を適用するものである。もちろんこのプローブ
11については、白金測温抵抗体以外に、従来公知のま
た今後開発され得る種々の温度を計測することのできる
種々の熱電対やその他種々の測温センサを適宜用いるこ
とができる。
Next, the pipe temperature measuring sensor 1 will be described. The sensor 1 for measuring the temperature in a pipe comprises a sensor unit 10 comprising a probe 11 for actually detecting a temperature and a probe case 12 for covering the probe, and a lead wire 13 connected to the probe 11, and When the sensor unit 10 is connected to the connection port 23 of the pipe joint 2, the first packing 27 and the second packing 28 are used as an example to obtain the hermeticity. The probe 11 uses PT100Ω (platinum resistance thermometer) as an example. Of course, other than the platinum resistance temperature detector, various types of thermocouples that can measure various temperatures that can be conventionally known and that can be developed in the future and various other temperature measurement sensors can be appropriately used for the probe 11.

【0021】更に前記プローブ11にはリード線13が
接続され、このリード線13はマイクロコンピュータに
接続され、例えば測定温度がディスプレイに表示された
りする。なおリード線13にはフッ素樹脂製のリード線
チューブ14に被覆されている。またこのリード線チュ
ーブ14と、前記プローブケース12との境い目には熱
収縮性のシーリングチューブ29で被覆される。
Further, a lead wire 13 is connected to the probe 11, and the lead wire 13 is connected to a microcomputer, and for example, a measured temperature is displayed on a display. The lead wire 13 is covered with a lead tube 14 made of fluororesin. The boundary between the lead wire tube 14 and the probe case 12 is covered with a heat-shrinkable sealing tube 29.

【0022】次にプローブケース12について説明す
る。プローブケース12は、例えば耐薬品性及び耐熱性
に優れるフッ素樹脂を使用して一体的に形成されるもの
であり、前記プローブ11とこれに接続された付近の一
部のリード線13を覆うものである。具体的には前記プ
ローブ11を被覆するプローブ覆部12aと、その後方
のフランジ状の係止部12bと、更にその後方の導管部
12cとから成る。
Next, the probe case 12 will be described. The probe case 12 is integrally formed using, for example, a fluorine resin having excellent chemical resistance and heat resistance, and covers the probe 11 and a part of the lead wire 13 near the probe 11. It is. Specifically, it comprises a probe cover portion 12a for covering the probe 11, a flange-shaped locking portion 12b behind the probe cover portion 12a, and a conduit portion 12c further behind the probe cover portion 12a.

【0023】これら部位について詳細に説明すると、先
端のプローブ覆部12aは小径の円筒管状をしており、
配管継手2の計測部23b内に挿入される。このプロー
ブ覆部12aの長さは、内部に挿入されたプローブ11
が流体通路24における最適位置となるような長さに設
定されることが望ましい。因みに本実施の形態ではプロ
ーブ11の位置は流体通路24のほぼ中心としている
が、特許請求の範囲でもいう「適切な位置」とは、流体
の状況に応じた適切位置であり、すなわち流体の流量、
流速、脈動及び粘性等に応じて、計測温度の正確性や流
体の流れを妨害しない点などについて、適切に温度計測
できる位置を指す。またプローブ覆部12aの形状は、
流体の粘性及び流速等に応じて例えば水滴断面とするな
ど種々の形態で実施することが可能である。またその後
方のフランジ状の係止部12bは、前面を前記接続口2
3における係止段差23cに当接する係止面12dと
し、後面を後方に向かって先窄まりのテーパ状とし、第
一パッキン27を載置するパッキン台座面12eとして
いる。またその後方の導管部12cも比較的小径の円筒
形であり、センサ取付用ナット26の外面孔26aにち
ょうど嵌まる径を有している。
To explain these parts in detail, the probe cover 12a at the tip is a small-diameter cylindrical tube.
It is inserted into the measuring part 23b of the pipe joint 2. The length of the probe cover 12a is the same as the length of the probe 11 inserted therein.
Is desirably set to such a length as to be an optimum position in the fluid passage 24. Incidentally, in the present embodiment, the position of the probe 11 is substantially at the center of the fluid passage 24. However, the "appropriate position" referred to in the claims is an appropriate position according to the condition of the fluid, that is, the flow rate of the fluid. ,
It refers to a position where the temperature can be measured appropriately in terms of the accuracy of the measured temperature, the point at which the flow of the fluid is not hindered, and the like in accordance with the flow velocity, pulsation, viscosity, and the like. The shape of the probe cover 12a is
The present invention can be implemented in various forms, for example, a cross section of a water droplet depending on the viscosity and the flow velocity of the fluid. The rear flange-shaped engaging portion 12b is connected to the front surface of the connection port 2
3 is a locking surface 12d that abuts on the locking step 23c, the rear surface is tapered toward the rear, and a packing seat surface 12e on which the first packing 27 is placed. The rear conduit portion 12c is also of a relatively small diameter cylindrical shape, and has a diameter that fits just into the outer surface hole 26a of the sensor mounting nut 26.

【0024】そして前記導管部12cに対し、一例とし
て比較的硬質のゴムのほぼ円筒形の第一パッキン27と
第二パッキン28が嵌め込まれられる。第一パッキン2
7の先端面27a(プローブ11側)は、前記プローブ
ケース12の係止部12bのテーパとほぼ同じテーパ面
を有しており、後端面27bにも後方に向かって先窄ま
りのテーパ面としている。一方、第二パッキン28の先
端面28aは、この第一パッキン27の後端面27bの
テーパとほぼ同角度のテーパ面を有している。そして上
部はフランジを有し、後端面28bは平面に形成されて
いる。
As an example, a first packing 27 and a second packing 28 of relatively hard rubber, which are substantially cylindrical, are fitted into the conduit portion 12c. First packing 2
7 has a taper surface substantially the same as the taper of the locking portion 12b of the probe case 12, and the rear end surface 27b also has a tapered surface tapered rearward. I have. On the other hand, the front end surface 28a of the second packing 28 has a taper surface having substantially the same angle as the taper of the rear end surface 27b of the first packing 27. The upper part has a flange, and the rear end face 28b is formed flat.

【0025】そして前記センサ取付用ナット26による
センサユニット10の固定は、外面孔26aに前記プロ
ーブケース12の導管部12cを通した状態で、前記第
二パッキン28の後端面28bをセンサ取付用ナット2
6内の上面において押さえ付けながら、配管継手2の接
続口23にねじ止めされることによってなされる。
When the sensor unit 10 is fixed by the sensor mounting nut 26, the rear end surface 28b of the second packing 28 is connected to the sensor mounting nut 26 with the conduit portion 12c of the probe case 12 passed through the outer surface hole 26a. 2
6 by being screwed to the connection port 23 of the pipe joint 2 while holding down the upper surface.

【0026】なお以上説明した本発明に係る配管内温度
測定用センサ1の具体的な寸法は、市販される薬液のフ
ッ素樹脂製の配管継手2のほぼ統一された各サイズに適
合する複数種類のサイズを有する。
The specific dimensions of the in-pipe temperature measuring sensor 1 according to the present invention described above are a plurality of types of fittings that are substantially uniform with each size of the commercially available pipe joint 2 made of a chemical liquid fluorocarbon resin. Have a size.

【0027】本発明に係る配管内温度測定用センサ1
は、以上のような具体的な形態を有するものであり、以
下この作動態様を説明する。本発明の配管内温度測定用
センサ1を配管継手2に取り付けるにあたっては、図1
に示されるように、配管継手2のセンサ取付用ナット2
6を外して配管内温度測定用センサ1のリード線13の
終端側からセンサ取付用ナット26の外面孔26aに通
して、第二パッキン28の後端に位置させる。次にプロ
ーブケース12の係止部12bの係止面12dを、配管
継手2の嵌め込み部23aの係止段差23cに押しつけ
てセンサ取付用ナット26を接続口23に締め付ける。
A sensor 1 for measuring the temperature in a pipe according to the present invention.
Has a specific form as described above, and this operation mode will be described below. When the sensor 1 for measuring the temperature in a pipe of the present invention is attached to the pipe joint 2, FIG.
, The sensor mounting nut 2 of the pipe joint 2
6 is removed from the end of the lead wire 13 of the in-pipe temperature measuring sensor 1 and passed through the outer surface hole 26a of the sensor mounting nut 26 to be positioned at the rear end of the second packing 28. Next, the locking surface 12 d of the locking portion 12 b of the probe case 12 is pressed against the locking step 23 c of the fitting portion 23 a of the pipe joint 2, and the sensor mounting nut 26 is tightened to the connection port 23.

【0028】このとき第一パッキン27及び第二パッキ
ン28は、センサ取付用ナット26によって前方に押し
つけられるため、図2の拡大図に示すように、第一パッ
キン27はプローブケース12の係止部12bのパッキ
ン台座面12eのテーパにより、また第二パッキン28
は第一パッキン27のテーパにより、それぞれ下方外周
方向に押し出され、そのシール性がより増進する。なお
もちろんセンサ取付用ナット26を締めることにより第
一パッキン27及び第二パッキン28の内周端面もプロ
ーブケース12に対し押し出されてより密着し、シール
性が増す。そして上述したように配管内温度測定用セン
サ1がセットされた状態では、プローブ11は、流体通
路24の計測最適個所に位置するものであり、本実施の
形態では一例として配管継手2の流体通路24の横断面
におけるほぼ中心に位置する。
At this time, since the first packing 27 and the second packing 28 are pressed forward by the sensor mounting nut 26, as shown in the enlarged view of FIG. Due to the taper of the packing base surface 12e of the packing base 12b, the second packing 28
Are pushed out in the lower outer peripheral direction by the taper of the first packing 27, and the sealing performance is further improved. Of course, by tightening the sensor mounting nut 26, the inner peripheral end surfaces of the first packing 27 and the second packing 28 are also pushed out to the probe case 12 and are brought into close contact with each other, so that the sealing property is improved. When the in-pipe temperature measurement sensor 1 is set as described above, the probe 11 is located at a measurement optimum position of the fluid passage 24. In the present embodiment, as an example, the fluid passage of the pipe joint 2 is used. 24 is located approximately at the center of the cross section.

【0029】以上のように配管内温度測定用センサ1が
取り付けられた配管継手2の両端に配管Hを接続する。
配管Hにおける配管内温度測定用センサ1が邪魔となら
ない個所に配管内温度測定用センサ1はセットされるた
め、薬液タンクT上面等はすっきりとし、余分な設置ス
ペースを必要としない。
As described above, the pipe H is connected to both ends of the pipe joint 2 to which the pipe temperature measuring sensor 1 is attached.
Since the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe is set at a position where the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe does not interfere with the pipe H, the upper surface of the chemical liquid tank T and the like are neat, and no extra installation space is required.

【0030】また使用態様について説明すると、薬液L
の使用直前の温度が計測できるため、例えばこの計測値
に基づき加熱器等をフィードバック制御することにより
使用目的に応じたより精度のよい温度で薬液Lを供給す
ることができるようになる。
The mode of use will be described.
Since the temperature immediately before use can be measured, for example, by performing feedback control of a heater or the like based on the measured value, the chemical liquid L can be supplied at a more accurate temperature according to the purpose of use.

【0031】<実施の形態2>図4に示すものは、本発
明に係る配管手段を具えた配管内温度測定用センサAを
用いて配管Hを連結するとともに、この個所で温度測定
を行う実施の形態を示すものである。すなわち前記実施
の形態1では、配管内温度測定用センサ1を一般に市販
されている配管継手2に接続する実施の形態を示した
が、実施の形態2は配管内温度測定用センサ1に予め配
管継手2を具えた完成品として提供するものである。な
お配管内温度測定用センサ1の配管継手2への組み付け
構造は、図4の拡大図に示されるように前述した実施の
形態1で示されるような連結構造を採るが、その他種々
の連結構造に改変することも可能である。なおプローブ
11は、配管継手2の流体通路24のほぼ中心に位置し
ており、配管継手2の両端はチューブ状に形成され、配
管接続用ナット25を介して他の配管Hに接続される。
<Embodiment 2> FIG. 4 shows an embodiment in which a pipe H is connected using a pipe temperature measuring sensor A provided with a pipe means according to the present invention, and the temperature is measured at this point. It shows the form of. That is, in the first embodiment, the embodiment in which the pipe temperature measuring sensor 1 is connected to a commercially available pipe joint 2 has been described. In the second embodiment, the pipe temperature measuring sensor 1 is connected to the pipe temperature measuring sensor 1 in advance. It is provided as a finished product having the joint 2. In addition, as shown in the enlarged view of FIG. 4, the assembling structure of the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe to the pipe joint 2 adopts the connecting structure as shown in the above-described first embodiment, but other various connecting structures It is also possible to modify it. The probe 11 is located substantially at the center of the fluid passage 24 of the pipe joint 2. Both ends of the pipe joint 2 are formed in a tube shape, and are connected to another pipe H via a pipe connection nut 25.

【0032】[0032]

【発明の効果】請求項1記載の配管内温度測定用センサ
によれば、プローブ11付近を覆うプローブケース12
は、プローブ11を覆うプローブ覆部12aと、この後
方の前記配管継手の接続口23における嵌め込み部23
aにおいて係止される係止部12bとを有して成り、薬
液タンクTではなく配管上に配管内温度測定用センサ1
が取り付けられるため、薬液タンクTの上部や側部に突
起物がなくなり、設置する際に温度測定用センサが邪魔
となり設置できないということが無くなる。そして配管
内温度測定用センサ1が邪魔とならない最適な個所で配
管内温度測定用センサ1を取り付けることができる。ま
た温度測定用センサを取り付けることを考慮しなくても
よいため、設計に自由度が増し、装置の多様化にもより
柔軟に対応できる。また使用個所直前の温度を測定する
ことができ、より精度のよい温度測定が可能となる。ま
た配管内温度測定用センサ1はプローブケース12の係
止部12bにおいて係止されるため、プローブ11の位
置を所定位置に簡単に設定することが可能となり、また
装着コストを抑えることも可能となる。
According to the sensor for measuring the temperature in a pipe according to the first aspect, the probe case covers the vicinity of the probe.
A probe cover 12a for covering the probe 11 and a fitting portion 23 at the connection port 23 of the pipe joint at the rear thereof.
a, and a sensor 1 for measuring the temperature in the pipe is provided not on the chemical liquid tank T but on the pipe.
Is attached, there is no protrusion on the upper part or side part of the chemical liquid tank T, so that the temperature measurement sensor does not hinder the installation and it cannot be installed. Then, the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe can be mounted at an optimum place where the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe does not interfere. Further, since it is not necessary to consider attaching a temperature measurement sensor, the degree of freedom in design is increased, and it is possible to flexibly cope with diversification of devices. Further, the temperature immediately before the point of use can be measured, and more accurate temperature measurement can be performed. Further, since the temperature measuring sensor 1 in the pipe is locked at the locking portion 12b of the probe case 12, the position of the probe 11 can be easily set at a predetermined position, and the mounting cost can be reduced. Become.

【0033】請求項2記載の配管内温度測定用センサに
よれば、少なくとも前記プローブケース12はフッ素樹
脂により形成されているため、耐薬品性及び耐熱性に優
れる。
According to the sensor for measuring the temperature in a pipe according to the second aspect, since at least the probe case 12 is formed of a fluororesin, it is excellent in chemical resistance and heat resistance.

【0034】請求項3記載の配管内温度測定用センサに
よれば、前記プローブケース12における少なくともプ
ローブ覆部12aは、一体的に形成されたもので、流体
の透過孔を有していないため、透過性の強い流体が、プ
ローブケース12を透過して内部のプローブ11に浸透
するようなことがない。
According to the third embodiment of the present invention, at least the probe cover portion 12a of the probe case 12 is formed integrally and has no fluid permeation hole. A highly permeable fluid does not permeate through the probe case 12 through the probe case 12.

【0035】請求項4記載の配管内温度測定用センサに
よれば、前記プローブケース12における係止部12b
は円筒形であり、パッキン台座面12eが後方に向かっ
て先窄まりのテーパ面に形成されており、この後方にパ
ッキンが設けられるため、パッキンがセンサ取付用ナッ
ト26などにより配管継手の接続口23内に押し込まれ
ることにより、係止部12bのテーパ面に沿って外周方
向に広がるようになる。従ってパッキン外端は接続口2
3の内壁面に押しつけられシール性に優れるようにな
る。
According to the sensor for measuring the temperature in the pipe according to the fourth aspect, the locking portion 12b of the probe case 12
Is a cylindrical shape, and the packing seat surface 12e is formed in a tapered surface tapering rearward, and the packing is provided behind the packing base surface 12e. Therefore, the packing is connected to the connection port of the pipe joint by the sensor mounting nut 26 or the like. By being pushed into the inside 23, it spreads in the outer peripheral direction along the tapered surface of the locking portion 12 b. Therefore, the outer end of the packing is
3 and is pressed against the inner wall surface to have excellent sealing properties.

【0036】請求項5記載の配管内温度測定用センサに
よれば、前記プローブ11の先端は、前記プローブケー
ス12における係止部12bにより係止された際に、前
記流体の状況に応じた配管継手2の流体通路24におけ
る適切な位置にセットされるため、誰がセットしても流
体の流量、流速、脈動及び粘性等の状況に応じた配管H
における適切ポイントでの計測が行え、計測精度に優
れ、また流体の流れを阻害するようなことが生じない。
According to the sensor for measuring the temperature in a pipe according to the fifth aspect, when the tip of the probe 11 is locked by the locking portion 12b of the probe case 12, the pipe according to the state of the fluid is provided. Since the pipe H is set at an appropriate position in the fluid passage 24 of the joint 2, no matter who sets the pipe, the pipe H according to the situation of the fluid flow rate, flow velocity, pulsation, viscosity, etc.
The measurement can be performed at an appropriate point in, the measurement accuracy is excellent, and the flow of the fluid is not obstructed.

【0037】請求項6記載の配管内温度測定用センサに
よれば、前記プローブケース12における係止部12b
の後部には、前記リード線13を覆う円管状の導管部1
2cが形成されており、この導管部12cをセンサ取付
用ナット26の孔に通し、前記パッキンをセンサ取付用
ナット26により押し込んだ状態でセンサ取付用ナット
26を前記配管継手の接続口23に締結するため、市販
される配管継手の構造がそのまま使用でき、センサ取付
用ナット26によりパッキンを押し込むことにより、シ
ール性に富む。
According to the sensor for measuring the temperature in the pipe according to the sixth aspect, the locking portion 12b of the probe case 12
In the rear part, a tubular conduit part 1 covering the lead wire 13 is provided.
2c is formed, the conduit portion 12c is passed through the hole of the sensor mounting nut 26, and the sensor mounting nut 26 is fastened to the connection port 23 of the pipe joint while the packing is pushed in by the sensor mounting nut 26. Therefore, the structure of the commercially available piping joint can be used as it is, and the packing is pushed in by the sensor mounting nut 26, so that the sealing performance is enhanced.

【0038】請求項7記載の配管内温度測定用センサに
よれば、流体が薬液Lの場合には、薬液Lの配管Hは規
格が特に統一性があるため、市販される配管継手の本体
20及びセンサ取付用ナット26がそのまま使用できる
ように配管内温度測定用センサ1を構成することが容易
に且つ安価に行える。
According to the sensor for measuring the temperature in the pipe according to the seventh aspect, when the fluid is the chemical liquid L, since the standard of the pipe H of the chemical liquid L is particularly uniform, the main body 20 of the commercially available pipe joint can be used. In addition, it is possible to easily and inexpensively configure the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe so that the sensor mounting nut 26 can be used as it is.

【0039】請求項8記載の配管手段を具えた配管内温
度測定用センサによれば、薬液タンクTではなく配管上
に配管内温度測定用センサ1が取り付けられるため、薬
液タンクTがすっきりし、設置する際に温度測定用セン
サが邪魔となり設置できないということが無くなる。そ
して配管内温度測定用センサ1が邪魔とならない最適な
個所で配管内温度測定用センサ1を取り付けることがで
きる。また温度測定用センサを取り付けることを考慮し
なくてもよいため、設計に自由度が増し、装置の多様化
にもより柔軟に対応できる。また使用個所直前の温度を
測定することができ、より精度のよい温度測定が可能と
なる。また配管内温度測定用センサ1はプローブケース
12の係止部12bにおいて係止されるため、プローブ
11の位置を所定位置に簡単に設定することが可能とな
り、また装着コストを抑えることも可能となる。また配
管継手2が予め具えられているため、現場に極めて簡単
に装着することが可能となる。
According to the sensor for measuring the temperature in the pipe having the piping means according to the eighth aspect, the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe is mounted not on the chemical tank T but on the pipe. When the temperature sensor is installed, the temperature measurement sensor does not hinder the installation. Then, the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe can be mounted at an optimum place where the sensor 1 for measuring the temperature in the pipe does not interfere. Further, since it is not necessary to consider attaching a temperature measurement sensor, the degree of freedom in design is increased, and it is possible to flexibly cope with diversification of devices. Further, the temperature immediately before the point of use can be measured, and more accurate temperature measurement can be performed. Further, since the temperature measuring sensor 1 in the pipe is locked at the locking portion 12b of the probe case 12, the position of the probe 11 can be easily set at a predetermined position, and the mounting cost can be reduced. Become. Further, since the pipe joint 2 is provided in advance, it becomes possible to mount the pipe joint 2 on the site very easily.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る配管内温度測定用センサを配管継
手に取り付け、配管内の薬液の温度を計測する実施の形
態を示す正面図及び配管内温度測定用センサが取り付け
られた個所を拡大して示す分解斜視図である。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment in which a pipe temperature measuring sensor according to the present invention is attached to a pipe joint to measure the temperature of a chemical solution in a pipe, and a portion where the pipe temperature measuring sensor is attached is enlarged. It is an exploded perspective view shown as.

【図2】同上配管内温度測定用センサが取り付けられた
個所を示す縦断正面図並びに第一パッキン及び第二パッ
キンの個所を拡大してこれらパッキンの作用状態を示す
縦断正面図である。
FIG. 2 is a vertical sectional front view showing a place where the temperature measuring sensor in the pipe is attached, and a vertical sectional front view showing an operation state of these packings by enlarging a place of a first packing and a second packing.

【図3】係止段差の形状が異なる二種の配管継手に対
し、配管内温度測定用センサを取り付けた状態を示す縦
断正面図である。
FIG. 3 is a longitudinal sectional front view showing a state in which a sensor for measuring the temperature in a pipe is attached to two types of pipe joints having different shapes of locking steps.

【図4】配管手段を具えた配管内温度測定用センサを配
管に接続し、配管内の薬液の温度を計測する実施の形態
を示す正面図及び配管内温度測定用センサが取り付けら
れた個所を拡大して示す縦断断面図である。
FIG. 4 is a front view showing an embodiment in which a pipe temperature measuring sensor provided with a pipe means is connected to a pipe to measure the temperature of a chemical solution in the pipe, and a place where the pipe temperature measuring sensor is attached. FIG. 4 is an enlarged longitudinal sectional view.

【図5】従来の薬剤装置における薬液の温度測定態様を
示す正面図並びに温度測定用センサの一部拡大図であ
る。
FIG. 5 is a front view showing a mode of measuring the temperature of a chemical solution in a conventional drug device and a partially enlarged view of a temperature measuring sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 配管内温度測定用センサ 1′ 温度測定用センサ(従来装置) 10 センサユニット 11 プローブ 12 プローブケース 12a プローブ覆部 12b 係止部 12c 導管部 12d 係止面 12e パッキン台座面 13 リード線 14 リード線チューブ 2 配管継手 20 本体 21 接続口 22 接続口 23 接続口 23a 嵌め込み部 23b 計測部 23c 係止段差 24 流体通路 25 配管接続用ナット 26 センサ取付用ナット 26a 外面孔 27 第一パッキン 27a 先端面 27b 後端面 28 第二パッキン 28a 先端面 28b 後端面 28′ パッキン(従来装置) 29 シーリングチューブ A 配管手段を具えた配管内温度測定用センサ H 配管 L 薬液 T 薬液タンク T1 上蓋 T2 貫通コネクタ(従来装置) Reference Signs List 1 Sensor for measuring temperature in pipe 1 'Sensor for measuring temperature (conventional device) 10 Sensor unit 11 Probe 12 Probe case 12a Probe cover 12b Locking portion 12c Conduit portion 12d Locking surface 12e Packing seat surface 13 Lead wire 14 Lead wire Tube 2 Piping joint 20 Main body 21 Connection port 22 Connection port 23 Connection port 23a Fitting section 23b Measuring section 23c Lock step 24 Fluid passage 25 Piping connection nut 26 Sensor mounting nut 26a Outer surface hole 27 First packing 27a Tip surface 27b Rear End surface 28 Second packing 28a Front end surface 28b Rear end surface 28 'Packing (conventional device) 29 Sealing tube A Sensor for measuring the temperature in the piping provided with piping means H Piping L Chemical liquid T Chemical liquid tank T1 Top cover T2 Penetrating connector (Conventional equipment)

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 温度を検出するプローブと、このプロー
ブに接続されるリード線と、前記プローブ付近を覆うプ
ローブケースとから成る温度測定用センサにおいて、こ
の温度測定用センサは、配管を連結する配管継手に取り
付けられ、前記配管内を流れる流体の温度を測定するも
のであり、前記プローブケースは、プローブを覆うプロ
ーブ覆部と、この後方の前記配管継手の接続口における
嵌め込み部において係止される係止部とを有して成るこ
とを特徴とする配管内温度測定用センサ。
1. A temperature measuring sensor comprising a probe for detecting a temperature, a lead wire connected to the probe, and a probe case for covering the vicinity of the probe, wherein the temperature measuring sensor is a pipe connecting pipes. The probe case is attached to a joint and measures a temperature of a fluid flowing in the pipe. The probe case is locked at a probe cover part covering a probe and a fitting part at a connection port of the pipe joint at the rear of the probe case. A sensor for measuring a temperature in a pipe, comprising a locking portion.
【請求項2】 少なくとも前記プローブケースはフッ素
樹脂により形成されていることを特徴とする請求項1記
載の配管内温度測定用センサ。
2. The sensor according to claim 1, wherein at least the probe case is formed of a fluororesin.
【請求項3】 前記プローブケースにおける少なくとも
プローブ覆部は、一体的に形成されたもので、流体の透
過孔を有していないことを特徴とする請求項1または2
記載の配管内温度測定用センサ。
3. The probe case according to claim 1, wherein at least a probe cover of the probe case is formed integrally and has no fluid permeation hole.
A sensor for measuring the temperature in a pipe as described in the above.
【請求項4】 前記プローブの先端は、前記プローブケ
ースにおける係止部により係止された際に、前記流体の
状況に応じた配管継手の流体通路における適切な位置に
セットされることを特徴とする請求項1、2または3記
載の配管内温度測定用センサ。
4. The probe according to claim 1, wherein the tip of the probe is set at an appropriate position in a fluid passage of a pipe joint according to a condition of the fluid when the probe is locked by a locking portion of the probe case. The sensor for measuring the temperature in a pipe according to claim 1, 2 or 3.
【請求項5】 前記プローブケースにおける係止部は円
筒形であり、後端面が後方に向かって先窄まりのテーパ
面に形成されており、この後端面にパッキンが設けられ
ることを特徴とする請求項1、2、3または4記載の配
管内温度測定用センサ。
5. The locking portion of the probe case has a cylindrical shape, and a rear end surface is formed in a tapered surface tapering rearward, and packing is provided on the rear end surface. The sensor for measuring the temperature in a pipe according to claim 1, 2, 3, or 4.
【請求項6】 前記プローブケースにおける係止部の後
部には、前記リード線を覆う円管状の導管部が形成され
ており、この導管部をセンサ取付用ナットの孔に通し、
前記パッキンをセンサ取付用ナットにより押し込んだ状
態でセンサ取付用ナットを前記配管継手の接続口に締結
することを特徴とする請求項1、2、3、4または5記
載の配管内温度測定用センサ。
6. A tubular conduit portion covering the lead wire is formed at a rear portion of the locking portion of the probe case, and the conduit portion is passed through a hole of a sensor mounting nut.
The sensor for measuring the temperature in a pipe according to claim 1, wherein the sensor mounting nut is fastened to a connection port of the pipe joint in a state where the packing is pushed in by the sensor mounting nut. .
【請求項7】 前記流体は薬液であることを特徴とする
請求項1、2、3、4、5または6記載の配管内温度測
定用センサ。
7. The sensor for measuring a temperature in a pipe according to claim 1, wherein the fluid is a chemical solution.
【請求項8】 配管を接続するための配管継手と、この
配管継手の流体通路に温度を検出するプローブが臨むよ
うに取り付けられる配管内温度測定用センサとから成
り、前記配管内温度測定用センサにおけるプローブはプ
ローブケースで覆われるものであり、このプローブケー
スはプローブを配管継手の流体通路の最適位置に位置さ
れるように係止するための係止部を具えていることを特
徴とする配管手段を具えた配管内温度測定用センサ。
8. A sensor for measuring the temperature in a pipe, comprising: a pipe joint for connecting a pipe; and a sensor for measuring a temperature in the pipe, which is mounted so that a probe for detecting a temperature faces a fluid passage of the pipe joint. Wherein the probe is covered with a probe case, and the probe case is provided with a locking portion for locking the probe so as to be positioned at an optimum position of the fluid passage of the pipe joint. A sensor for measuring the temperature in a pipe provided with means.
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