JP4690573B2 - 面型波長選択フィルタ及びその作製方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、面型波長選択フィルタ及びその作製方法に関し、更に詳細には、所望の透過波長で動作する面型波長選択フィルタ、及び透過ピーク波長を調整できるようにした、面型波長選択フィルタの作製方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
波長選別用のフィルタは、波長多重通信などで使用する重要な光学部品の一つとして盛んに研究開発されている。
波長選別用のフィルタは、回折格子を用いたDBRフィルタや、アレー導波路を用いたAWGフィルタ等の導波路型の波長選択フィルタと、半導体基板上に、一対の反射鏡と、一対の反射鏡の間に設けられた共振媒質とを有する共振器構造を備えた、いわゆる面型波長選択フィルタとに大別される。
ところで、導波路型フィルタには、素子長がmmオーダと長いという問題、及び入射光の偏波状態によって特性が変わってしまう、いわゆる偏波依存性が大きいという問題がある。
一方、面型フィルタには、素子サイズが小さく、かつ偏波依存性が小さいというメリットがある。
【0003】
ここで、図3を参照して、波長1.55μmの光に対する従来の面型波長選択フィルタの一例の構成を説明する。
従来の面型波長選択フィルタ10は、図3に示すように、n型InP基板12上に、波長組成1.15μmのn型InGaAsPエッチングストップ層14及びn型InPバッファ層16が積層され、そのバッファ層16の光入射領域にのみ部分的にチューニング層18及びp型InPクラッド層20が積層されている。
チューニング層18の側面には、下からp型InP層22とn型InP層24とからなる電流ブロック構造が設けられている。
更に、n型クラッド層20及びn型InP層24上には、p型InP埋め込み層26が積層されている。
【0004】
p型InP埋め込み層26上には、光入射領域を除く領域にp型InGaAsキャップ層28及び電極30が、順次、積層されている。
n型InP基板12の裏面は、その中央領域がエッチングされ、エッチングストップ層14を露出させる凹部が形成されている。
露出したエッチングストップ層14上と、露出した埋め込み層26には、反射率95%の誘電体多層膜からなる反射鏡32、34が設けられている。また、n型InP基板12の裏面には、電極36が設けられている。
チューニング層18は、10層の波長組成1.45μmのInGaAsP井戸層と、波長組成1.3μmのInGaAsP障壁層とから構成されている。
以上の構成により、本面型波長選択フィルタ10は、反射鏡32、34とチューニング層18とによりInP基板12に対して垂直方向にファブリペローエタロン共振器を構成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述したような従来の面型波長選択フィルタの構成では、面型波長選択フィルタを設計通りの透過波長で動作するように作製することが難しかった。つまり、面型波長選択フィルタの製品歩留りを高めることが難しかった。
また、共振器構造を形成した後には、透過波長を調整することは、事実上、出来なかった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、所望の透過波長で動作するような構成の面型波長選択フィルタを提供し、かつ透過波長を調整できるようにした、面型波長選択フィルタの作製方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、研究の過程で、GaAs基板上に、一対のAlAs/GaAs多層膜反射鏡と、その間に設けられたGax In1-x N1-y-z Asy Sbz (0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)からなる共振媒質とを有する共振器構造を作製することにより、所望の透過波長で動作する面型波長選択フィルタを歩留り良く作製できること、更には、窒素雰囲気中で500℃から700℃の範囲の温度で熱処理を短時間、例えば1分間から3分間の範囲で共振器構造に施すことにより、素子作製後に透過波長を20nm程度に渡って調整できることを見い出した。
そこで、本発明者は、更に実験を重ねて、本発明を発明するに到った。
【0008】
上記目的を達成するために、上記知見に基づいて、本発明に係る面型波長選択フィルタは、GaAs基板上に、半導体多層膜からなる一対の反射鏡と該一対の反射鏡に挟まれた共振媒質とからなる共振器構造を有する面型波長選択フィルタであって、前記共振媒質を構成する少なくとも一部の化合物半導体層がGaxIn1−xN1−y−zAsySbz(0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で形成され、前記共振器構造に、不活性ガス雰囲気で500℃以上の温度での熱処理を施したことを特徴としている。
【0009】
本発明では、共振媒質を構成する少なくとも一部の化合物半導体層をGaNAs層、GaInNAs層、又はGaInNAsSb層とすることにより、所望の動作波長、つまり所望の透過ピーク波長で動作し、しかも歩留り良く作製できる面型波長選択フィルタを実現している。
共振媒質は、活性層のみでも良く、活性層をクラッド層で挟んだ構造でも良く、一対の反射鏡と共振器構造を構成するものであれば、制約はない。
尚、共振媒質を構成する化合物半導体層としてGaNAsを使用するときには、GaNAsが基板のGaAsとの格子整合性に劣るので、薄膜のGaNAs層と薄膜のGaAs層とを交互に積層した多層膜として形成する。
【0010】
また、本発明に係る面型波長選択フィルタの作製方法は、GaAs基板上に、半導体多層膜からなる一対の反射鏡と該一対の反射鏡に挟まれた共振媒質とからなる共振器構造を有する面型波長選択フィルタの作製方法であって、前記共振媒質の少なくとも一部の化合物半導体層をGaxIn1−xN1−y−zAsySbz(0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で形成する工程と、前記共振器構造に、不活性ガス雰囲気で500℃以上の温度での熱処理を施す工程とを有することを特徴としている。
【0011】
本発明方法では、半導体多層膜及び共振媒質の成長方法には制約はないが、好適には分子線成長法を採用する。
不活性ガス雰囲気で共振器構造に、例えば窒素ガス雰囲気中で500℃以上の温度の熱処理を短時間、例えば1分間から3分間施すことにより、透過ピーク波長を容易に所望の波長に調整することができる。
本発明方法は、透過ピーク波長が1.3μmや1.55μmといった光通信に用いられる波長帯での面型フィルタの作製に好適である。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下に、添付図面を参照し、実施形態例を挙げて本発明の実施の形態を具体的かつ詳細に説明する。
面型波長選択フィルタの実施形態例
本実施形態例は、本発明に係る面型波長選択フィルタの実施形態の一例であって、図1は本実施形態例の面型波長選択フィルタの層構造を示す模式図である。
本実施形態例の面型波長選択フィルタ40は、図1に示すように、GaAs基板42上に、28ペアの膜厚135nmのAlAs層と膜厚114nmのGaAs層の半導体多層膜からなる下部反射鏡(DBRミラー)44と、厚さ450nmのGaXIn1-XN1-y-zAsySbz(x=0.87、y=0.95、z=0.01)からなる共振媒質46と、23ペアの膜厚135nmのAlAs層と膜厚114nmのGaAs層の半導体多層膜からなる上部反射鏡(DBRミラー)48とを共振器構造として備えている。
また、GaAs基板12の裏面には、厚さ210nmのSiN膜50が基板面の反射防止膜として設けられている。
以上の構成により、本面型波長選択フィルタ40は、図1に示すように、上部DBRミラー44に入射光が入り、GaAs基板42側から約1.55μmの透過ピーク波長を有する透過光が出る波長選択フィルタとして機能する。
【0013】
面型波長選択フィルタの作製方法の実施形態例
本実施形態例は、本発明に係る面型波長選択フィルタの作製方法を上述の面型波長選択フィルタ40の作製に適用した実施形態の一例である。
GaAs基板42上に、先ず、分子線成長法により、28ペアのAlAs層/GaAs層からなる下部DBRミラー44を形成し、続いて厚さ450nmのGa0.87In0.13N0.04As0.95Sb0.01からなる共振媒質46を形成し、次いで、分子線成長法により、23ペアのAlAs層/GaAs層からなる上部DBRミラー46を形成して、積層構造を作製する。
次に、積層構造を窒素雰囲気中で所定の温度、例えば600℃で、約3分間の熱処理を施す。
その後、GaAs基板42を200μm程度に研磨し、基板裏面に厚さ210nmのSiN膜を成膜して基板面での反射防止膜とする。
これにより、上述の面型波長選択フィルタ40を作製することができる。
【0014】
熱処理工程の熱処理温度と透過ピーク波長との関係を図2に示す。図2は、窒素雰囲気中で、熱処理時間を3分間とし、500℃、550℃、600℃、650℃、及び700℃の熱処理温度で上述の共振器構造に熱処理を施した際の透過ピーク波長(μm)を示している。図2から、熱処理を共振器構造に施すことにより、透過ピーク波長が短波長側にシフトすることがわかる。
尚、熱処理を共振器構造に施さなかったときの透過ピーク波長は1.55μmであった。
【0015】
熱処理工程では、設定温度で1分間保持するだけで、図2に示すような波長シフトが得られ、それ以上の長い時間、例えば3分間以上保持しても、波長シフトには変化しなかった。
波長シフトは、図2に示すように、熱処理の温度が高いほど大きく、700℃の熱処理で約20nmの波長シフトが実現できた。図2から判るように、熱処理の温度が500℃以下では波長シフトはほとんど観測されず、500℃以上の処理温度が必要であることがわかる。
【0016】
本実施形態例では、共振媒質がGaInNAsSbであるが、GaNAs、又はGaInNAsであっても、GaInNAsSbと同様の波長シフトを確認することができた。
GaNAs層で共振媒質を製作する場合は、GaAs基板との格子整合性が悪いので、GaNAs層を共振媒質全体に用いるのではなく、厚さ10nm程度の薄膜のGaNAsと100nm程度のGaAs層とを交互に積層した多層膜構造にすることが好ましい。
【0017】
本発明によれば、共振媒質を構成する少なくとも一部の化合物半導体層をGax In1-x N1-y-z Asy Sbz (0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で形成することにより、所望の動作波長、つまり所望の透過ピーク波長で動作し、しかも歩留り良く作製できる面型波長選択フィルタを実現できるとともに、共振媒質と該媒質を挟み込む一対の反射鏡とからなる共振器構造に不活性ガス雰囲気で500℃以上の温度での熱処理を施すことにより、透過ピーク波長を調整できる。これは、本発明方法でも同様であり、不活性ガス雰囲気で共振器構造に500℃以上の温度の熱処理を施す工程により、透過ピーク波長を調整することができる。よって、一枚のウェハから異なる透過ピーク波長の面型波長選択フィルタを製作できるなどのコストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例の面型波長選択フィルタの層構造を示す模式図である。
【図2】本発明の波長選択フィルタの、フィルタ波長と熱処理温度の関係を示す図である。
【図3】従来の面型波長選択フィルタの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
10 従来の面型波長選択フィルタ
12 n型InP基板
14 n型InGaAsPエッチングストップ層
16 n型InPバッファ層
18 チューニング層
20 p型InPクラッド層
22 p型InP層
24 n型InP層
26 p型InP埋め込み層
28 p型InGaAsキャップ層
30、36 電極
32、34 反射鏡
40 実施形態例の面型波長選択フィルタ
42 GaAs基板
44 下部DBRミラー
46 Ga0.87In0.13N0.04As0.95Sb0.01共振器
48 上部DBRミラー
50 SiN膜
Claims (8)
- GaAs基板上に、半導体多層膜からなる一対の反射鏡と該一対の反射鏡に挟まれた共振媒質とからなる共振器構造を有する面型波長選択フィルタであって、
前記共振媒質を構成する少なくとも一部の化合物半導体層がGaxIn1−xN1−y−zAsySbz(0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で形成され、
前記共振器構造に、不活性ガス雰囲気で500℃以上の温度での熱処理を施したことを特徴とする面型波長選択フィルタ。 - 前記共振器構造に前記熱処理を施す時間は3分以内であることを特徴とする請求項1に記載の面型波長選択フィルタ。
- 前記共振媒質を構成する少なくとも一部の化合物半導体層が、薄膜のGaNAs層と薄膜のGaAs層とが交互に積層された多層膜で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の面型波長選択フィルタ。
- 前記共振媒質は活性層のみで構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の面型波長選択フィルタ。
- 前記共振媒質は活性層と該活性層を挟む一体のクラッド層で構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の面型波長選択フィルタ。
- 前記GaAs基板の裏面に反射防止膜が形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の面型波長選択フィルタ。
- GaAs基板上に、半導体多層膜からなる一対の反射鏡と該一対の反射鏡に挟まれた共振媒質とからなる共振器構造を有する面型波長選択フィルタの作製方法であって、
前記共振媒質の少なくとも一部の化合物半導体層をGaxIn1−xN1−y−zAsySbz(0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で形成する工程と、
前記共振器構造に、不活性ガス雰囲気で500℃以上の温度での熱処理を施す工程と、
を有することを特徴とする面型波長選択フィルタの作製方法。 - 前記共振器構造に前記熱処理を施す時間は3分以内であることを特徴とする請求項7に記載の面型波長選択フィルタの作製方法。
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