JP4679239B2

JP4679239B2 - レーザ加工装置及び加工方法

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Publication number: JP4679239B2
Application number: JP2005148453A
Authority: JP
Inventors: 恭之奥平; 悟田村
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2005-05-20
Filing date: 2005-05-20
Publication date: 2011-04-27
Anticipated expiration: 2025-05-20
Also published as: JP2006320952A

Description

本発明は、レーザ加工装置及び加工方法に関し、特に帯状の加工対象物を長さ方向に送りながらレーザビームを入射させて加工を行うレーザ加工装置及び加工方法に関する。

下記の特許文献１及び２に、帯状の加工対象物を長さ方向に送りながら、レーザビームを幅方向に走査してミシン目加工を行う技術が開示されている。いずれの場合にも、加工対象物の送り速度の変化を考慮して、レーザビームの入射位置を送り方向に移動させることにより、送り速度に依存しないで長さ方向に直交するミシン目を形成することができる。

特開２０００−２８００８２号公報特開２００１−２６９７９１号公報

特許文献１及び２に開示されたレーザ加工技術においては、レーザビームを加工対象物の幅方向に走査するとともに、レーザビームの入射位置を送り方向に移動させる機構が必要になる。また、加工時の送り速度の変化に起因するレーザビームの入射位置の軌跡の乱れを防止することを目的としている。レーザビームの入射位置を送り方向に移動させる距離は、送り速度の不安定性に起因する速度の変化を吸収できる程度でよい。

特許文献１及び２に開示された技術では、送り速度が目標速度に到達した後の加工が対象とされている。加工対象物の加速期間中や減速期間中には、ミシン目加工を行うことは考慮されていない。送り速度が目標速度よりも著しく遅い期間に加工されるミシン目と、目標速度で送られている期間に加工されるミシン目と、共に長さ方向に対して直交させるためには、レーザビームの入射位置の、送り方向への移動可能距離を長くしなければならない。

本発明の目的は、加工対象物の加速期間中にも、所望のレーザ加工を行うことができるレーザ加工装置及び加工方法を提供することである。

本発明の一観点によれば、
帯状の加工対象物を保持し、該加工対象物を、その長さ方向に送る保持機構であって、送り開始から加速時間が経過するまでの間、一定の加速度で送り速度を上昇させ、目標速度に到達すると、送り速度を該目標速度に維持する保持機構と、
前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させてレーザ加工を行うレーザ光源と、
前記加工対象物の長さ方向に関して一定の第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、前記加工対象物の送り速度が一定の加速度で上昇している加速期間には、前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を、送り速度に基づいて制御し、送り速度が目標速度に到達して一定の目標速度に維持されている等速期間には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記パルスレーザビームの１つのレーザパルスである第１のレーザパルスが前記加工対象物に入射した後、該加工対象物の長さ方向に離れた位置に次の第２のレーザパルスが入射するまでの期間が、前記加工対象物の送り開始の時刻から前記加速時間が経過した時刻を跨るとき、該第１及び第２のレーザパルスの入射位置の間隔が前記第１の間隔と等しくなるように、前記制御装置が前記第１のレーザパルスの出射から第２のレーザパルスの出射までの間隔を制御するレーザ加工装置が提供される。
前記制御装置は、前記加速期間から前記等速期間に切り替わる時刻に、前記加工対象物にレーザパルスが入射するように、前記加速期間に前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を制御するようにしてもよい。

本発明の他の観点によると、
（ａ）帯状の加工対象物を、その長さ方向に送る工程であって、送り開始の時刻から加速時間が経過するまでの間、送り速度を一定の加速度で上昇させ、前記加速時間が経過して送り速度が目標速度に到達したら、送り速度を該目標速度に維持する工程と、
（ｂ）長さ方向に送られている前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させて加工を行う工程であって、パルスレーザビームの入射位置が、該加工対象物の長さ方向に一定の第１の間隔で配列するように、前記加速時間が経過するまでの加速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を送り速度に基づいて制御し、前記目標速度に到達した後の等速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する工程と、
（ｃ）前記パルスレーザビームの１つのレーザパルスである第１のレーザパルスを前記加工対象物に入射させた後、該加工対象物の長さ方向に離れた位置に次の第２のレーザパルスを入射させるまでの期間が、前記加工対象物の送り開始の時刻から前記加速期間だけ経過した時刻を跨るとき、該第１及び第２のレーザパルスの入射位置の間隔が前記第１の間隔と等しくなるように、前記第１のレーザパルスの出射から第２のレーザパルスの出射までの間隔を制御する工程と
を有するレーザ加工方法が提供される。
前記工程ｃに代えて、前記工程ｂにおいて、前記加速期間から前記等速期間に切り替わる時刻に、前記加工対象物にレーザパルスが入射するように、前記加速期間に前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を制御するようにしてもよい。

加速期間にも、等速期間中に入射するレーザパルスの入射位置と同じ間隔で、レーザパルスの入射位置を分布させることができる。これにより、加工対象物を有効に使用することが可能になる。

図１に、実施例によるレーザ加工装置の概略図を示す。パルスレーザ光源１が、加工用のパルスレーザビームを出射する。パルスレーザ光源１は、例えば炭酸ガスレーザ発振器とトリガパルス発生器を含んで構成される。パルスレーザ光源１から出射されたパルスレーザビームが、ビーム走査器２及びレンズ３を経由して、加工対象物１０に入射する。ビーム走査器２は、例えば揺動する反射鏡を含むガルバノスキャナであり、レーザビームを１次元方向に走査する。レンズ３として、例えばｆθレンズが用いられる。レンズ３は、パルスレーザビームを加工対象物１０の表面に集束させる。

加工対象物１０は、帯状の形状を有し、繰出しリール４から繰り出されて、巻取りリール５に巻き取られる。駆動機構６が、繰出しリール４及び巻取りリール５を所定の速さで回転させる。駆動機構６に、目標速度ｖ_ｃ、加速時間ｔ_ａ、減速時間ｔ_ｓ、及び等速時間ｔ_ｃの情報が設定されている。駆動機構６が起動されると、駆動機構６は、加速時間ｔ_ａで送り速度が目標速度ｖ_ｃに到達するように、加工対象物１０の送り速度を一定の加速度で上昇させる。送り速度が目標速度ｖ_ｃに到達すると、送り速度を目標速度ｖ_ｃに維持する。目標速度ｖ_ｃに到達してから等速時間ｔ_ｃが経過すると、減速時間ｔ_ｓで送り速度が０になるように、一定の負の加速度で送り速度を低下させる。

制御装置７が、パルスレーザ光源１に発振指令信号ｓｉｇ０を送信し、ビーム走査器２に移動指令信号ｓｉｇ１を送信する。パルスレーザ発振器１は、発振指令信号ｓｉｇ０を受信する度に、１つのレーザパルスを出射する。ビーム走査器２が移動指令信号ｓｉｇ１を受信すると、移動指令信号ｓｉｇ１で指示された位置にレーザビームが入射する状態に遷移する。駆動機構６に設定されている目標速度ｖ_ｃ、加速時間ｔ_ａ、減速時間ｔ_ｓ、及び等速時間ｔ_ｃと同一の情報が、制御装置７にも設定されている。駆動機構６は、起動されると、加工対象物１０の繰り出し及び巻き取りを開始すると同時に、移動開始通知信号ｓｉｇ１を制御装置７に送信する。

なお、制御装置７から駆動機構６に、移動の開始を指令する信号を送信するようにしてもよい。また、目標速度ｖ_ｃ、加速時間ｔ_ａ、減速時間ｔ_ｓ、及び等速時間ｔ_ｃの情報を、駆動機構６及び制御装置７の一方のみに設定しておき、一方から他方に設定情報を転送するようにしてもよい。

図２に、加工対象物１０の一部の概略平面図を示す。加工対象物１０の送り方向をＸ軸の正方向とし、幅方向をＹ軸方向とするＸＹ直交座標系を導入する。ビーム走査器２によるレーザビームの走査方向がＹ軸方向と平行になる。Ｘ軸に平行な横縞と幅方向に延在する縦縞とが直角からややずれた角度で交わる格子縞の各格子点に対応する位置に、被加工点１１が配置されている。Ｘ軸方向のピッチをｐｘ、Ｙ軸方向のピッチ（相互に隣り合う横縞の間隔）をｐｙとする。複数の縦縞の各々に沿って分布する被加工点１１の集合を「被加工点の列」と呼ぶこととする。

Ｙ軸方向に関して、走査開始位置Ｙｓから走査終了位置Ｙｅまでレーザビームを走査することにより、１列分の被加工点１１が加工される。走査開始位置Ｙｓに位置する被加工点１１を「始点」と呼び、走査終了位置Ｙｅに位置する被加工点１１を「終点」と呼ぶこととする。

以下、１列分の被加工点１１の加工の手順を、より詳細に説明する。加工中に、加工対象物１０は、Ｘ軸方向にある速さで送られている。レーザビームの入射位置のＹ座標が走査開始位置Ｙｓに一致するように、図１に示したビーム走査器２を制御する。ビーム走査器２の制御が完了すると、パルスレーザ光源１から、レーザパルスを１ショットだけ出射させる。その後、レーザビームの入射位置が、Ｙ軸の正方向にピッチｐｙだけ移動するように、ビーム走査器２を制御する。ビーム走査器２の制御が完了すると、パルスレーザ光源１からレーザパルスを１ショットだけ出射させる。

加工中の列の終点の加工が終了するまで、レーザビームの入射位置の１ピッチ分の移動と、レーザパルスの出射とを繰り返す。
１列分の加工が終了すると、レーザビームの入射位置が走査開始位置Ｙｓに戻るように、ビーム走査器２を制御する。次に加工すべき列の始点がレーザビームの入射位置まで送られてきた時点から、次の１列分の加工を開始する。

次に、図３を参照して、第１の実施例によるレーザ加工方法について説明する。
図３は、加工対象物１０の送り速度の時間変化、及びパルスレーザビームの出射タイミングを示すグラフである。横軸は、時刻ｔ_１＝０からの経過時間を表し、縦軸は加工対象物１０の送り速度を表す。また、横軸上に、レーザパルスの出射時期を短い縦線で示す。

時刻ｔ_１で、加工対象物１０の送りが開始され、一定の加速度で送り速度が上昇し、時刻ｔ_ａで目標速度ｖ_ｃに到達する。目標速度ｖ_ｃに到達した後は、送り速度が目標速度ｖ_ｃに維持される。送り開始時刻ｔ_１から１列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔ_１が経過した時点で、１列目の加工が終了する。時刻ｔ_２から２列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔ_２が経過した時点で、２列目の加工が終了する。

時刻ｔ_ｎからｎ列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔ_ｎが経過した時点でｎ列目の加工が完了する。時刻ｔ_ｎ＋１からｎ＋１列目の加工が開始され、加工時間Ｐｔ_ｎ＋１が経過した時点でｎ＋１列目の加工が完了する。時刻ｔ_ｎから、次の列の加工が開始される時刻ｔ_ｎ＋１までの期間が、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔ_ａを跨る。

まず、加速期間中における各列の加工開始時刻、すなわち、各列の始点にパルスレーザビームを入射させる時刻を決定する方法について説明する。加工対象物１０の送りの加速度をａとすると、加速度ａは、
ａ＝ｖ_ｃ／ｔ_ａ
と表される。目標速度ｖ_ｃ及び加速時間ｔ_ａは、予め与えられている。加工対象物１０の送り開始時刻０から、１列目の加工を開始する。加工対象物１０が長さ方向のピッチｐ_ｘだけ送られる度に、次の１列の加工を開始すればよいことになる。時刻ｔまでに加工対象物１０が送られる長さＬは、
Ｌ＝（１／２）ａｔ^２
となる。第ｉ列目の加工開始時刻ｔ_ｉまでに送られる長さＬ_ｉが、ｐ_ｘ（ｉ−１）に等しくなればよい。
（１／２）ａｔ_ｉ ^２＝ｐ_ｘ（ｉ−１）
を解くと、
ｔ_ｉ＝（２ｐ_ｘ（ｉ−１）／ａ）^１／２
が得られる。このように、徐々に上昇する送り速度に基づいて、各列の加工開始時刻（各列の始点にレーザパルスを入射させる時刻）を決定することにより、各列の始点を、加工対象物１０の長さ方向に一定のピッチｐ_ｘで配列させることができる。

次に、等速期間に切り替わって最初に加工する列の加工開始時刻ｔ_ｎ＋１の決定方法について説明する。加速期間中の時刻ｔ_ｎから時刻ｔ_ａまでに送られる長さＬ_ａは、
Ｌ_ａ＝（ａ／２）（ｔ_ａ ^２−ｔ_ｎ ^２）
と表される。等速期間中の時刻ｔ_ａから時刻ｔ_ｎ＋１までに送られる長さＬ_ｃは、
Ｌ_ｃ＝ｖ_ｃ（ｔ_ｎ＋１−ｔ_ａ）
と表される。Ｌ_ａ＋Ｌ_ｃがピッチｐ_ｘに等しくなればよいのであるから、
ｔ_ｎ＋１＝ｔ_ａ＋（ｐ_ｘ−（ａ／２）（ｔ_ａ ^２−ｔ_ｎ ^２））／ｖ_ｃ
が得られる。この式から、等速期間に最初に加工される列の開始時刻ｔ_ｎ＋１を求めることにより、ｎ列目とｎ＋１列目の始点同士の間隔をピッチｐ_ｘに等しくすることができる。

このように、ある列の加工開始時刻から次の列の加工開始時刻までの期間が、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔ_ａを跨る場合には、加速期間中に送られる長さと、等速期間中に送られる長さとの和がピッチｐ_ｘに等しくなるように、２つの列の加工開始時刻の間隔が決定される。

次に、等速期間における各列の加工開始時刻の決定方法について説明する。等速期間に加工されるある列の加工開始時刻から、次に加工される列の加工開始時刻までの時間（加工周期）Ｔ_ｃが、
Ｔ_ｃ＝ｐ_ｘ／ｖ_ｃ
となるように、加工周期Ｔ_ｃを決定すればよい。このように、等速期間中は、送りの目標速度ｖ_ｃに基づいて、各列の加工開始時刻が決定される。

次に、等速期間中に加工される列の各々の加工方法について説明する。各列の始点から終点までの加工時間Ｐ_ｃと、レーザビームの入射位置が走査終了位置Ｙ_ｅから走査開始位置Ｙ_ｓまで戻るのに必要な時間との和が、加工周期Ｔ_ｃよりも短くなるように、加工時間Ｐ_ｃを決定する。レーザパルスの出射時期を、加工時間Ｐ_ｃ内で均等に分布させる。これにより、パルスレーザビームの入射位置を、１列内に一定のピッチｐ_ｙで分布させることができる。

次に、加速期間中に加工される列の各々の加工方法について説明する。加速期間中の送り速度は、目標速度ｖ_ｃよりも遅いため、１列の加工時間を等速期間中の加工時間Ｐ_ｃと等しくすると、加速期間中に加工される列が、等速期間中に加工される列と平行にならない。このため、加速期間中に加工される複数の列の始点の間隔が、ピッチｐ_ｘからずれてしまう。

加速期間中に加工が開始されるｉ列目の始点から終点までの加工時間Ｐｔ_ｉの決定方法について説明する。加速期間中に加工されるｉ列目の加工開始時刻からｉ＋１列目の加工開始時刻までの間隔Ｔ_ｉは、
Ｔ_ｉ＝ｔ_ｉ＋１−ｔ_ｉ
となる。この間隔Ｔ_ｉの間の送りの平均速度をｖ_ｉとする。間隔Ｔｉの時間に加工対象物１０が送られる長さと、等速期間において加工周期Ｔ_ｃの間に送られる長さとは、共にピッチｐｘに等しいから、
ｖ_ｉＴ_ｉ＝ｖ_ｃＴ_ｃ
が成り立つ。

等速期間中の加工時間Ｐ_ｃの間に、加工対象物１０が送られる長さはｖ_ｃＰ_ｃである。このため、各列の終点のＸ座標は、始点のＸ座標からｖ_ｃＰ_ｃだけずれる。加速期間中に加工される列の始点と終点とのＸ軸方向のずれを、等速期間中に加工される列の始点と終点とのＸ軸方向のずれと等しくすればよい。ある列の終点にレーザビームを入射してから、次の列の始点にレーザビームを入射するまでの期間、すなわちＴ_ｉ−Ｐｔ_ｉは、加工時間Ｐｔ_ｉに比べて十分短いため、ｉ列目の加工期間中の平均の送り速度は、上記平均速度ｖ_ｉに等しいと近似できる。従って、ｉ列目の始点と終点とのＸ軸方向のずれは、ｖ_ｉＰｔ_ｉと近似できる。ｉ列目の始点と終点とのＸ軸方向のずれを、等速期間に加工される列の始点と終点とのＸ軸方向のずれｖ_ｃＰ_ｃと等しくするためには、下記の等式が成り立てばよい。
ｖ_ｃＰ_ｃ＝ｖ_ｉＰｔ_ｉ
これらの式から、
Ｐｔ_ｉ＝（Ｔ_ｉ／Ｔ_ｃ）Ｐ_ｃ
が得られる。この加工時間Ｐｔ_ｉ内に、レーザパルスの出射時期を等間隔で分布させることにより、パルスレーザビームの入射位置を、１列内に一定のピッチｐ_ｙで分布させることができる。さらに、上述の式で示すように、加工時間Ｐｔ_ｉを決定すると、第ｉ番目の列を、等速期間中に加工される列とほぼ平行にすることができる。

図３では、加速期間中の加工方法について説明したが、減速期間中も同様に、各列の加工開始時期、及び加工時間を決定することができる。これにより、減速期間中も、加工対象物１０の長さ方向及び幅方向に関して一定のピッチで分布する被加工点にパルスレーザビームを入射させることができる。

一例として、送りの目標速度ｖ_ｃは約３３ｍｍ／ｓ、加速時間ｔ_ａは約５秒、ピッチｐ_ｘ及びｐ_ｙは約２ｍｍ、各列の始点から終点までのＹ軸方向の距離は約６０ｍｍである。第１の実施例による方法を採用することにより、加速期間中に加工される領域にも、被加工点を、長さ方向及び幅方向に一様に分布させることができる。

次に、図４を参照して、第２の実施例によるレーザ加工方法について説明する。図３に示した第１の実施例では、ｎ番目の列の加工開始時点からｎ＋１番目の列の加工開始時点までの期間が、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔ_ａを跨った。第２の実施例では、加速期間から等速期間に切り替わる時刻ｔ_ａに、丁度ある列の加工が開始されるように、各列の加工開始時刻が調整される。以下、この調整方法について説明する。

加速期間中に加工対象物１０が送られる長さＬ_ａは、
Ｌ_ａ＝（１／２）ａｔ_ａ ^２
となる。この長さＬ_ａを長さ方向のピッチｐ_ｘで割ったときの余りをＲ_ａとする。時刻０に加工対象物１０を送り始めてから、余りＲ_ａに等しい長さだけ送った時点ｔ_１から、１列目の加工を開始する。送りの加速度をａとすると、
ｔ_１＝（２Ｒ_ａ／ａ）^１／２
となる。

２列目以降は、加工対象物１０がピッチｐｘだけ送られる度に、列の加工を開始すればよい。第ｉ列目の加工開始時刻ｔ_ｉは、
ｔ_ｉ＝（２／ａ）（ｐ_ｘ（ｉ−１）＋Ｒ_ａ）
となる。ｉ番目の列の始点から終点までの加工時間Ｐｔ_ｉは、第１の実施例の場合と同様の方法で決定することができる。

第２の実施例の場合にも、第１の実施例の場合と同様に、加速期間中にも、被加工点１１を、長さ方向及び幅方向に一様に分布させることができる。第２の実施例では、加工対象物の送りを開始した時点から最初にパルスレーザビームを入射させる時刻ｔ_１までに送られる領域には、被加工点１１を分布させることができない。ただし、第１の実施例の場合には、加速期間から等速期間に切り替わる時点で、次に加工する列の加工開始時刻を算出するための複雑な計算を行う必要がある。第２の実施例では、加速期間から等速期間に切り替わる時点に、ある列の加工が開始されるように調整されているため、この複雑な計算を行う必要がない。

以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。

実施例によるレーザ加工装置の概略図である。実施例によるレーザ加工方法で加工される対象物の一部の平面図である。第１の実施例によるレーザ加工方法における加工対象物の送り速度の時間変化と、レーザパルスの入射時刻とを示すグラフである。第２の実施例によるレーザ加工方法における加工対象物の送り速度の時間変化と、レーザパルスの入射時刻とを示すグラフである。

符号の説明

１パルスレーザ光源
２ビーム走査器
３レンズ
４繰出しリール
５巻取りリール
６駆動機構
７制御装置
１０加工対象物

Claims

帯状の加工対象物を保持し、該加工対象物を、その長さ方向に送る保持機構であって、送り開始から加速時間が経過するまでの間、一定の加速度で送り速度を上昇させ、目標速度に到達すると、送り速度を該目標速度に維持する保持機構と、
前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させてレーザ加工を行うレーザ光源と、
前記加工対象物の長さ方向に関して一定の第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、前記加工対象物の送り速度が一定の加速度で上昇している加速期間には、前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を、送り速度に基づいて制御し、送り速度が目標速度に到達して一定の目標速度に維持されている等速期間には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記パルスレーザビームの１つのレーザパルスである第１のレーザパルスが前記加工対象物に入射した後、該加工対象物の長さ方向に離れた位置に次の第２のレーザパルスが入射するまでの期間が、前記加工対象物の送り開始の時刻から前記加速時間が経過した時刻を跨るとき、該第１及び第２のレーザパルスの入射位置の間隔が前記第１の間隔と等しくなるように、前記制御装置が前記第１のレーザパルスの出射から第２のレーザパルスの出射までの間隔を制御するレーザ加工装置。
帯状の加工対象物を保持し、該加工対象物を、その長さ方向に送る保持機構であって、送り開始から加速時間が経過するまでの間、一定の加速度で送り速度を上昇させ、目標速度に到達すると、送り速度を該目標速度に維持する保持機構と、
前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させてレーザ加工を行うレーザ光源と、
前記加工対象物の長さ方向に関して一定の第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、前記加工対象物の送り速度が一定の加速度で上昇している加速期間には、前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を、送り速度に基づいて制御し、送り速度が目標速度に到達して一定の目標速度に維持されている等速期間には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記加速期間から前記等速期間に切り替わる時刻に、前記加工対象物にレーザパルスが入射するように、前記加速期間に前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を制御するレーザ加工装置。
さらに、前記レーザ光源から出射したパルスレーザビームを、前記加工対象物の長さ方向と交差する第１の方向に走査するビーム走査器を有し、
前記制御装置は、前記ビーム走査器を制御して、前記第１の方向に関する走査開始位置から走査終了位置までパルスレーザビームを走査して、始点から終点まで一様に分布する１列の被加工点にレーザパルスを入射させる工程を複数回繰り返し、該被加工点の複数の列の始点が、前記加工対象物の長さ方向に関して前記第１の間隔で分布するように該始点に入射させるレーザパルスの出射時期を制御し、前記等速期間に、パルスレーザビームの入射位置が前記第１の方向に関して第２の間隔で分布するように前記レーザ光源及びビーム走査器を制御し、前記加速期間に、パルスレーザビームの入射位置が、前記第１の方向に関して前記第２の間隔で分布し、かつその配列方向が、前記等速期間に前記第１の方向にパルスレーザビームを走査することにより形成された複数の被加工点の配列する方向と平行になるように前記レーザ光源及びビーム走査器を制御する請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
さらに、前記保持機構は、目標速度から一定の負の加速度で送り速度を低下させて、保持された加工対象物を静止させ、
前記制御装置は、送り速度が一定の負の加速度で低下している減速期間に、該加工対象物の長さ方向に関して一定の前記第１の間隔で分布する位置にパルスレーザビームが入射するように、前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を制御する請求項１乃至３のいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
（ａ）帯状の加工対象物を、その長さ方向に送る工程であって、送り開始の時刻から加速時間が経過するまでの間、送り速度を一定の加速度で上昇させ、前記加速時間が経過して送り速度が目標速度に到達したら、送り速度を該目標速度に維持する工程と、
（ｂ）長さ方向に送られている前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させて加工を行う工程であって、パルスレーザビームの入射位置が、該加工対象物の長さ方向に一定の第１の間隔で配列するように、前記加速時間が経過するまでの加速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を送り速度に基づいて制御し、前記目標速度に到達した後の等速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する工程と、
（ｃ）前記パルスレーザビームの１つのレーザパルスである第１のレーザパルスを前記加工対象物に入射させた後、該加工対象物の長さ方向に離れた位置に次の第２のレーザパルスを入射させるまでの期間が、前記加工対象物の送り開始の時刻から前記加速期間だけ経過した時刻を跨るとき、該第１及び第２のレーザパルスの入射位置の間隔が前記第１の間隔と等しくなるように、前記第１のレーザパルスの出射から第２のレーザパルスの出射までの間隔を制御する工程と
を有するレーザ加工方法。
（ａ）帯状の加工対象物を、その長さ方向に送る工程であって、送り開始の時刻から加速時間が経過するまでの間、送り速度を一定の加速度で上昇させ、前記加速時間が経過して送り速度が目標速度に到達したら、送り速度を該目標速度に維持する工程と、
（ｂ）長さ方向に送られている前記加工対象物にパルスレーザビームを入射させて加工を行う工程であって、パルスレーザビームの入射位置が、該加工対象物の長さ方向に一定の第１の間隔で配列するように、前記加速時間が経過するまでの加速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を送り速度に基づいて制御し、前記目標速度に到達した後の等速期間中には、パルスレーザビームの出射時期を前記目標速度に基づいて制御する工程と
を有し、
前記工程ｂにおいて、前記加速期間から前記等速期間に切り替わる時刻に、前記加工対象物にレーザパルスが入射するように、前記加速期間に前記レーザ光源から出射するパルスレーザビームの出射時期を制御するレーザ加工方法。
前記工程ｂにおいて、さらに、パルスレーザビームの入射位置を、前記加工対象物の長さ方向と交差する第１の方向に移動させながら１列分の加工を行う工程を繰り返して複数列の加工を行い、各列の最初のパルスレーザビームの入射位置が、前記一定の第１の間隔で分布するようにパルスレーザビームの出射間隔を制御し、各列のパルスレーザビームの入射位置が前記第１の方向に関して一定の第２の間隔で分布し、前記加速期間中に加工される列内のレーザビームの入射位置を結ぶ直線が、前記等速期間中に加工される列内のレーザビームの入射位置を結ぶ直線と平行になるように、パルスレーザビームの出射間隔を制御する請求項５または６に記載のレーザ加工方法。