JP4678694B2 - Dust collection exhaust system - Google Patents
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Description
本発明は、製剤工場、研究所等の製造室における集塵排気システムに関するものである。 The present invention relates to a dust collection exhaust system in a manufacturing room such as a pharmaceutical factory or a laboratory.
製剤工場、研究所等のように、製造室(クリーンルーム)内に設置した製造装置により医薬品を製造する施設において、抗生物質や制癌剤など健常者にとっては有害となるハザード物質(粉体)を含む空気を外部環境へ排出する際には、集塵機により、ハザード物質を安全レベルまで濾過した後に排気することとしている。しかしながら、集塵機によりハザード物質の捕集、排気を行う際には、濾過後の空気の処理、排出方法、捕集物質の回収、取り扱い方法、フィルターの交換方法等において安全管理の面で多くの問題があり、適切な処理方法が求められている。 Air containing hazard substances (powder) that are harmful to healthy people, such as antibiotics and anticancer drugs, in facilities that manufacture pharmaceuticals using manufacturing equipment installed in manufacturing rooms (clean rooms) such as pharmaceutical factories and research laboratories When discharging the wastewater to the external environment, the hazard substances are filtered to a safe level by a dust collector and then exhausted. However, when collecting and exhausting hazard substances with a dust collector, there are many problems in terms of safety management in the treatment of air after filtration, the discharge method, the collection of collected substances, the handling method, the filter replacement method, etc. There is a need for an appropriate processing method.
このような施設における従来の集塵排気システムでは、図4に示すように集塵機を外部(ハザード区域外)に設置する場合と、図5に示すように集塵機を内部(ハザード区域内)に設置する場合とがある。 In the conventional dust collection exhaust system in such a facility, the dust collector is installed outside (outside the hazard area) as shown in FIG. 4, and the dust collector is installed inside (in the hazard area) as shown in FIG. There are cases.
これらの図において、符号101は製造室(クリーンルーム)、102は製造室101に隣接しているメンテナンス用空間部、103は廊下、104は外気処理ユニット、105はHEPAフィルター付き吹出口、106はHEPAフィルター付き排気吸込口、107は排気ファン、108は製造室101内に設置した製造装置を夫々示すものである。
In these drawings,
図4において、符号109は製造室101の外部(ハザード区域外)に設置した集塵機であり、集塵フード110を介して排気ファン111により吸引した含塵空気は、集塵ダクト112を経て集塵機109に至り、そこで集塵処理された後、密封交換型HEPAフィルター113を経て外部環境に放出される。
In FIG. 4,
また、図5において、符号114は製造室101の内部(ハザード区域内)に設置した室内設置用小型集塵機であり、集塵フード115を介して吸引した含塵空気は、個別集塵機114において集塵処理された後、HEPAフィルター116を経て製造室101内に放出している。
In FIG. 5,
尚、クリーンルームにおける集塵装置の従来技術としては、特許文献1や特許文献2に示すようなものがある。
しかしながら上述した従来の集塵排気システムでは、以下に示すような問題点がある。
まず、集塵機を外部(ハザード区域外)に設置する場合では、下記の問題点がある。
1.集塵機の排気口から外部環境にハザード物質を放出する恐れがあるため、排気口にHEPAフィルターを設置して対処しているが、このフィルターを交換する際に、通常の交換方法では漏洩の危険が避けられないため、このフィルターは上述したとおり密封交換型HEPAフィルター113としており、このため、高価であると共に、操作性が悪く、手間が掛かる。
2.集塵機により捕集したハザード物質を回収する際や、濾布を交換する際に外部環境に漏洩する恐れがあるため、この対策として、密封回収・交換型を採用しており、このため、高価であると共に、操作性が悪く、手間が掛かる。
3.集塵機が外部に設置されているため、製造室101内から集塵機109に至る集塵ダクト112が破損した場合には、ハザード物質が飛散することになる。また集塵ダクト112が長くなるため、ダクト内にハザード物質が残る可能性が高くなり、堆積したハザード物質が製造室内に逆流し、取り扱い物質が変わった際には交差汚染の原因となる。
4.製造室内の室圧を安定させるためには集塵機を常時稼動させる必要があり、省エネルギーに反することになる。
However, the conventional dust collection and exhaust system described above has the following problems.
First, there are the following problems when the dust collector is installed outside (outside the hazard area).
1. Since there is a risk of releasing hazardous substances from the dust collector exhaust port to the external environment, a HEPA filter is installed at the exhaust port. However, when replacing this filter, there is a risk of leakage with the normal replacement method. Since this is unavoidable, this filter is the sealed exchange type HEPA filter 113 as described above. Therefore, the filter is expensive, has poor operability, and takes time and effort.
2. When collecting the hazard material collected by the dust collector or when replacing the filter cloth, there is a risk of leakage to the external environment. In addition, the operability is poor and time-consuming.
3. Since the dust collector is installed outside, when the
4). In order to stabilize the chamber pressure in the manufacturing chamber, it is necessary to always operate the dust collector, which is contrary to energy saving.
次に、集塵機を内部(ハザード区域内)に設置する場合では、下記の問題点がある。
1.外部環境への影響を避けるため、除塵後の空気は、直接に外部に排気せず、図5に示すように、一旦、製造室内に放出するようにしているので、ハザード物質が製造室101全体に拡散して濃度が高まる恐れがあり、人体(作業員)への悪影響が懸念される。
2.このために集塵機114の下流側にHEPAフィルター116を設置しているが、外部環境対策として上述したとおり排気吸引口106にもHEPAフィルターを設置するため、2個所のHEPAフィルターの維持・管理が必要となる。
3.通常の室内設置用小型集塵機では、捕集したハザード物質を貯留する容器としてパン型が採用されているが、これを引き出して回収する際、ハザード物質が周りにこぼれたり、室内に飛散する等の不具合が生じる。
4.また集塵機を室内に設置するため、他の製造装置や機器類との取り合い、設置スペースの確保などの問題が生じる。
5.製造室内の室圧を安定させるためには集塵機を常時稼動させる必要があり、省エネルギーに反することになる。
そこで本発明では、このような問題点を解決した集塵排気システムを提案するものである。
Next, when the dust collector is installed inside (in the hazard area), there are the following problems.
1. In order to avoid influence on the external environment, the air after dust removal is not directly exhausted to the outside, but is once discharged into the manufacturing chamber as shown in FIG. There is a concern that the concentration may increase due to diffusion to the human body (workers).
2. For this purpose, the HEPA
3. In ordinary small dust collectors for indoor installation, a pan type is adopted as a container for storing collected hazard substances.When this is pulled out and collected, the hazard substances spill around or are scattered indoors. A malfunction occurs.
4). In addition, since the dust collector is installed indoors, problems such as a connection with other manufacturing apparatuses and devices and securing of an installation space arise.
5. In order to stabilize the chamber pressure in the manufacturing chamber, it is necessary to always operate the dust collector, which is contrary to energy saving.
Therefore, the present invention proposes a dust collection exhaust system that solves such problems.
上述した課題を解決するために本発明では、製造室内に設置された製造装置からの含塵空気を集塵処理する集塵機を、製造室に隣接したメンテナンス用空間部に設置すると共に、このメンテナンス用空間部内には前記集塵機に隣接してチャンバーを形成し、このチャンバー内に集塵機の排気口を配置すると共に、このチャンバーには外部への排気ダクトに連なる吸込ユニットを取り付けて、この吸込ユニットの吸込口を前記排気口の近傍に配置し、吸込ユニットにはHEPAフィルターを設けた集塵排気システムを提案するものである。 In order to solve the above-described problems, in the present invention, a dust collector that collects dust-containing air from a manufacturing apparatus installed in a manufacturing chamber is installed in a maintenance space adjacent to the manufacturing chamber, and this maintenance A chamber is formed in the space adjacent to the dust collector, and an exhaust port of the dust collector is disposed in the chamber, and a suction unit connected to an exhaust duct to the outside is attached to the chamber. The present invention proposes a dust collection exhaust system in which a port is arranged in the vicinity of the exhaust port and a HEPA filter is provided in the suction unit.
また本発明では、上記の構成において、チャンバーは、集塵機の側板と製造室の壁を区画要素とし、製造室の壁に点検扉を設け、この点検扉に開閉可能な吸込口を取り付けた構成を提案する。 According to the present invention, in the above configuration, the chamber has a configuration in which the side plate of the dust collector and the wall of the manufacturing room are used as partitioning elements, an inspection door is provided on the wall of the manufacturing room, and a suction port that can be opened and closed is attached to the inspection door. suggest.
また本発明では、以上の構成において、集塵機は、製造室側から保守可能に構成した構成を提案する。 The present invention proposes a configuration in which the dust collector can be maintained from the manufacturing room side in the above configuration.
また本発明では、以上の構成において、集塵機には下部にホッパー型ダストコレクターを配置し、下端に透明な捕集袋を気密的に装着可能に構成することを提案する。 Further, the present invention proposes that in the above configuration, the dust collector is provided with a hopper-type dust collector at the lower portion and a transparent collection bag at the lower end so as to be airtightly mountable.
以上の本発明では、製造室内に設置された製造装置からの含塵空気は、集塵機において集塵処理された後、メンテナンス用空間部に、集塵機に隣接して形成されたチャンバー内に排気口から放出された後、吸込ユニットに吸引され、HEPAフィルターにより更に浄化された後に排気ダクトを流れて外部環境に排出される。 In the present invention described above, the dust-containing air from the manufacturing apparatus installed in the manufacturing chamber is collected in the dust collector, and then the maintenance space is provided in the chamber formed adjacent to the dust collector from the exhaust port. After being discharged, the air is sucked into the suction unit, further purified by the HEPA filter, and then discharged through the exhaust duct to the outside environment.
集塵機及びHEPAフィルターは、製造室に隣接したメンテナンス用空間部に設置しているので、HEPAフィルターの交換、集塵機の濾布の交換及び捕集したハザード物質の回収をハザード区域内において行うことができる。 Since the dust collector and the HEPA filter are installed in the maintenance space adjacent to the manufacturing room, the HEPA filter can be replaced, the filter cloth of the dust collector and the collected hazard substance can be collected in the hazard area. .
従って集塵機を外部に設置する場合における、密封交換型HEPAフィルターや密封回収・交換型の集塵機は不要となり、またハザード物質に汚染された集塵ダクトが外部に存在しないため、破損したとしても外部環境が汚染されることはない。 Therefore, when a dust collector is installed outside, a sealed exchange type HEPA filter or a sealed collection / replacement type dust collector is not required, and there is no dust collection duct contaminated with hazard substances. Will not be contaminated.
また集塵機を外部に設置する場合と比較して集塵ダクトの長さを短くすることができるので、ダクト内にハザード物質が残る可能性が低くなり、堆積したハザード物質が製造室内に逆流し、取り扱い物質が変わった際に交差汚染の原因となる可能性も低い。 In addition, since the length of the dust collection duct can be shortened compared to the case where the dust collector is installed outside, the possibility that the hazard substance remains in the duct is reduced, and the accumulated hazard substance flows back into the manufacturing chamber. It is also unlikely to cause cross-contamination when the material handled is changed.
集塵機を停止して排気口からの風量が0となった場合には、チャンバーの点検扉に形成された吸込口を開として、集塵機の排気量と同等の風量を製造室内からチャンバー内に吸引することにより、製造室内からの排気量を常時一定に維持することができ、従って製造室内の室圧を集塵機のON−OFFに左右されることなく安定させることができる。 When the dust collector is stopped and the air volume from the exhaust port becomes zero, the suction port formed in the chamber inspection door is opened, and an air volume equivalent to the exhaust volume of the dust collector is sucked into the chamber from the manufacturing chamber. As a result, the amount of exhaust from the manufacturing chamber can be kept constant at all times, and thus the chamber pressure in the manufacturing chamber can be stabilized without being influenced by ON-OFF of the dust collector.
含塵空気は、集塵機において集塵処理された後、集塵機に隣接して形成されたチャンバー内に排気口から放出された後、吸込ユニットに吸引されるので、集塵機からの排気が製造室内に拡散することがなく、人体への悪影響を防ぐことができ、またHEPAフィルターを吸込ユニットの一個所にのみ設ければ良いので、維持・管理が軽減される。 The dust-containing air is collected in the dust collector, then discharged from the exhaust port into the chamber formed adjacent to the dust collector, and then sucked into the suction unit, so that the exhaust from the dust collector diffuses into the manufacturing chamber. Therefore, adverse effects on the human body can be prevented, and the HEPA filter only needs to be provided at one place of the suction unit, so that maintenance and management are reduced.
集塵機は、例えば壁埋込型(ビルトイン型)に構成してメンテナンス用空間部に設置しているので、製造装置や機器類との取り合いや設置スペースの確保等の問題が生じない。 Since the dust collector is, for example, constructed in a wall-embedded type (built-in type) and installed in the maintenance space, there are no problems such as contact with the manufacturing apparatus and equipment and securing of installation space.
集塵機には下部にホッパー型ダストコレクターを配置し、下端に透明な捕集袋を気密的に装着可能に構成し、これを外部から視認可能に構成すれば、ハザード物質の粉体が捕集袋に一杯になった際には、捕集袋をホッパー型ダストコレクターの下端から外して廃棄処分することができ、ハザード物質の回収を安全に容易に行うことができる。 The dust collector is equipped with a hopper-type dust collector at the bottom, and a transparent collection bag can be installed on the lower end of the dust collector so that it can be seen from the outside. When it is full, the collection bag can be removed from the lower end of the hopper-type dust collector and discarded, and the hazard substance can be recovered safely and easily.
次に、本発明の実施の形態を図1〜図3を参照して説明する。
図1は本発明に係る集塵排気システムの構成及び動作を説明する系統図的説明図であり、図2は要部の説明的平面図、図3は要部の説明的正面図である。
これらの図において、符号1は製造室(クリーンルーム)、2は製造室1に隣接しているメンテナンス用空間部、3は廊下、4は外気処理ユニット、5はHEPAフィルター付き吹出口、6は製造室1に設置されている製造装置である。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a systematic explanatory view for explaining the configuration and operation of a dust collection exhaust system according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory plan view of the main part, and FIG. 3 is an explanatory front view of the main part.
In these drawings,
製造室1の側方に隣接するメンテナンス用空間部2には集塵機7を設置している。この集塵機7は壁埋込型(ビルトイン型)に構成したもので、製造室1側から保守可能に構成している。
A
そしてメンテナンス用空間部2内には、集塵機7に隣接して、集塵機7の側板8と、製造室1の壁9を区画要素とするチャンバー10を形成している。即ち、チャンバー10は、集塵機7の側板8と、製造室1の壁9と、メンテナンス用空間部2の壁11、12と、床13、天井14の6面で区画されて形成され、製造室1の壁9には点検扉15が設けられている。そして点検扉15には開閉可能な吸込口16が取り付けられている。点検扉15と、それに取り付けられている開閉可能な吸込口16の具体的構成は適宜である。
In the
符号17は製造装置6の近傍に設置した集塵フードであり、この集塵フード17から集塵機7に集塵ダクト18を延設し、集塵機7の集塵ダクト接続口19に接続されている。
図3に示すように集塵機7には、上部からファン20、濾布21、ホッパー型ダストコレクター22が設けられており、集塵機7の排気口23をチャンバー10内に配置している。
As shown in FIG. 3, the
そしてチャンバー10には吸込ユニット24を取り付けており、上記排気口23の近傍、この場合、対向位置に吸込ユニット24の吸込口29を配置している。吸込ユニット24は気密ダンパー25を介して排気ダクト26に接続されて、排気ファン27に連なっている。そして吸込ユニット24には、HEPAフィルター28が取り付けられている。
A
以上の構成において、吸込ユニット24からは排気ファン27の運転により排気ダクト26を介して、常時一定の風量の空気が吸引、排気されており、チャンバー10内は負圧に維持されている。
In the above configuration, air of a constant air volume is always sucked and exhausted from the
一方、製造室1内に設置された製造装置6からの含塵空気は、集塵フード17から集塵ダクト7を通って集塵機7に至り、そこで集塵処理、即ち濾布で濾過された後、排気口23からチャンバー10内に放出される。
On the other hand, the dust-containing air from the
排気口23からチャンバー10内に放出された空気は、チャンバー10内で拡散する間もなく吸込ユニット24に吸引され、HEPAフィルター28により更に浄化された後に、排気ダクト26を流れて外部環境に排出される。
The air discharged from the
集塵機7を停止して排気口23からの風量が0となった場合には、チャンバー10の点検扉15に形成された吸込口16を開として、集塵機7の排気量と同等の風量を製造室1内からチャンバー10内に吸引することにより、製造室1内からの排気量を常時一定に維持することができ、従って製造室1内の室圧を集塵機7のON−OFFに左右されることなく安定させることができる。
When the
集塵機7及びHEPAフィルター28は、製造室1に隣接したメンテナンス用空間部2に設置しているので、HEPAフィルター28の交換、集塵機7の濾布21の交換及びホッパー型ダストコレクター22に捕集したハザード物質の回収を、製造室1側から、即ち、ハザード区域内において行うことができる。
Since the
従って集塵機7を外部に設置する場合における、上述した密封交換型HEPAフィルターや密封回収・交換型の集塵機は不要となり、またハザード物質に汚染された集塵ダクトが外部に存在しないため、破損したとしても外部環境が汚染されることはない。
Therefore, when the
また集塵機7を外部に設置する場合と比較して集塵ダクト18の長さを短くすることができるので、集塵ダクト18内にハザード物質が残る可能性が低くなり、堆積したハザード物質が製造室1内に逆流し、取り扱い物質が変わった際に交差汚染の原因となる可能性も低い。
Moreover, since the length of the
製造装置6からの含塵空気は、集塵機7において集塵処理、即ち濾布21により濾過された後、チャンバー10内に放出され、拡散されることなく、吸込ユニット24に吸引されるので、集塵機7からの排気が製造室1内に拡散することがなく、人体への悪影響を防ぐことができる。またHEPAフィルター28は、吸込ユニット24の一個所にのみ設ければ良いので、コストが低減し、維持・管理が軽減される。
The dust-containing air from the
集塵機7は、例えば壁埋込型(ビルトイン型)に構成してメンテナンス用空間部2に設置しているので、製造室1内の製造装置6や機器類との取り合いや設置スペースの確保等の問題が生じない。
For example, the
集塵機7には下部にホッパー型ダストコレクター22を配置し、下端に透明な捕集袋(図示省略)を気密的に装着可能に構成し、これを外部から視認可能に構成すれば、ハザード物質の粉体が捕集袋に一杯になった際には、捕集袋をホッパー型ダストコレクター22の下端から外して廃棄処分することができ、ハザード物質の回収を安全に容易に行うことができる。
The
本発明は以上の通りであるので、集塵機を外部(ハザード区域外)又は内部(ハザード区域内)に設置する従来の集塵排気システムの問題点を解決して、上述した数々の効果を奏するものであり、従って、製剤工場、研究所等において、ハザード物質を取り扱う施設には勿論のこと、一般の製剤ライン等のように、ハザード物質を取り扱わない施設においても利用することができ、利用可能性が極めて大である。 Since the present invention is as described above, it solves the problems of the conventional dust collection exhaust system in which the dust collector is installed outside (in the hazard area) or inside (in the hazard area), and exhibits the above-mentioned many effects. Therefore, it can be used in facilities that do not handle hazard substances, such as general preparation lines, as well as facilities that handle hazard substances in pharmaceutical factories and research laboratories. Is extremely large.
1 製造室(クリーンルーム)
2 メンテナンス用空間部
3 廊下
4 外気処理ユニット
5 HEPAフィルター付き吹出口
6 製造装置
7 集塵機
8 側板
9、11、12 壁
10 チャンバー
13 床
14 天井
15 点検扉
16 吸込口
17 集塵フード
18 集塵ダクト
19 集塵ダクト接続口
20 ファン
21 濾布
22 ホッパー型ダストコレクター
23 排気口
24 吸込ユニット
25 気密ダンパー
26 排気ダクト
27 排気ファン
28 HEPAフィルター
29 吸込口
1 Manufacturing room (clean room)
2 Maintenance space 3
29 inlet
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007223184A JP4678694B2 (en) | 2006-08-29 | 2007-08-29 | Dust collection exhaust system |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006231941 | 2006-08-29 | ||
JP2007223184A JP4678694B2 (en) | 2006-08-29 | 2007-08-29 | Dust collection exhaust system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008082696A JP2008082696A (en) | 2008-04-10 |
JP4678694B2 true JP4678694B2 (en) | 2011-04-27 |
Family
ID=39353738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007223184A Expired - Fee Related JP4678694B2 (en) | 2006-08-29 | 2007-08-29 | Dust collection exhaust system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4678694B2 (en) |
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CN218358053U (en) | Chemical industry laboratory flue gas treatment facility |
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A977 | Report on retrieval |
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