JP4675953B2 - 光学部品及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は光学部品に関するもので、より詳しくはマイクロレンズと共に鏡筒構造を備えた光学部品及びその製造方法に関する。

最近、携帯用撮影装置が広く普及するにつれ、高性能なマイクロレンズの要求が増大しつつある。

一般的にマイクロレンズは、金型などを用いたレンズ複製技術によって製造できることが知られている。このような複製技術はマイクロレンズまたはこれらの配列体であるマイクロレンズアレイを低価で製造する方法として広く使用される。従来の一般的なマイクロレンズの製造または複製方法としては、変形されたＬＩＧＡ（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｃ−Ｇａｌｖａｎｉｃ）工程を利用する方法、シリコンの等方エッチングを利用する方法、グレースケール（ｇｒａｙ ｓｃａｌｅ）マスクを利用する方法、電子ビームまたはレーザーを用いて直接ライティングする方法、金型の精密加工を利用する方法、感光材のリフローを利用する方法などがある。

例えば、特許文献１は感光層のリフロー工程を用いてマイクロレンズアレイを製造することを開示している。また、特許文献２はグレースケールマスクを用いてフォトレジスト物質でマイクロレンズ複製物を製造することを開示している。

ところが、従来の一般的な方法を使用してマイクロレンズ（またはマイクロレンズアレイ）、特に、開口数（ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅ）の大きなレンズや非球面を有するレンズなどの様々な形状のマイクロレンズを精密に所望の形状で製造することは、比較的費用と時間が多くかかり、リフロー工程や金型の枠の製作上の問題もあって、困難である。

韓国特許出願第２００３−００２４５９７号明細書 米国特許第５，３１０，６２３号明細書

本発明は上記の従来の技術の問題を解決するためのもので、マイクロレンズを、静電気力を用いて微細調整することができ、且つ、その微細調整に使用される構造を、鏡筒構造に対応するレンズホルダーとして活用できる光学部品を提供することを目的の一つとする。

また、本発明は、上記光学部品の製造工程を提供することを別の目的とする。

上記の技術的課題を実現すべく、本発明の一側面は、第１電極と、前記第１電極上に形成され光経路として提供される貫通口を有する絶縁構造物と、前記絶縁構造物内で前記貫通口を囲むよう形成された少なくとも一つの第２電極とを有するレンズホルダー部と、前記貫通口内に位置し、導電性を有するか電解質成分が含まれた硬化性の透明液状樹脂が硬化されてなる少なくとも一つのマイクロレンズと、を備えることを特徴とする光学部品を提供する。

好ましくは、上記少なくとも一つのマイクロレンズは、それぞれ上記第１電極と接触し上記少なくとも一つの第２電極とは上記レンズホルダー部の絶縁構造物により絶縁されるよう形成されてもよい。

光経路を確保するための構造は第１電極の光透過性によって異なるよう具現されてもよい。

上記第１電極は透明な電極物質から形成されてもよい。この場合、上記マイクロレンズは上記第１電極のうち上記貫通口の底面として提供される領域上に形成されることが出来る。上記レンズホルダー部は上記第１電極を形成するための透明基板をさらに含んだ構造であることが出来る。

また、上記第１電極は不透明な電極物質から形成されてもよく、この場合、上記第１電極は光経路が確保されるよう形成された開放口を有する。

好ましくは、上記第１電極の開放口は上記貫通口の直径より小さい直径を有してもよい。これにより上記第１電極は円柱状の段差部を提供することが出来る。上記段差部は、上記第１電極と上記マイクロレンズとの接触を実現し、実施形態によって上記マイクロレンズの装着部として使用することが出来る。

この場合にも、上記レンズホルダー部は上記第１電極を形成するための透明基板をさらに含んでいてもよい。

必要に応じて、上記第２電極として、上記絶縁構造物内に相互絶縁されるよう積層された複数個の電極を採用してもよい。この場合、より精密なマイクロレンズの形状を得るため、上記複数の第２電極のうち少なくとも一部は、上記貫通口の内部側壁から離隔された距離が相違するよう設計することが出来る。

本発明の他の実施形態では、複数のマイクロレンズがアレイされた光学部品を提供することが出来る。

本実施形態による光学部品では、上記絶縁構造物の貫通口と上記貫通口に装着されたマイクロレンズは複数個で具現される。この場合、上記マイクロレンズが装着された貫通口は複数の行と複数の列を有するマトリクス形態で配列されることが出来る。

この場合、特定の位置にマイクロレンズ形状を選択的に調整できるよう、上記第１電極及び第２電極はそれぞれ上記貫通口の行及び列の単位で分離された複数のパターン構造で形成されることが好ましい。

本発明は上述の複数の光学部品が組み合わされた形態で具現されることが出来る。即ち、上記の複数の光学部品を相互同一の光経路を有するよう積層された構造を有するアセンブリ形態でも具現されることが出来る。

この場合、上記複数の光学部品のうち少なくとも一部は、上記各貫通口の開口が一方向を向くよう積層されてもよいが、必要に応じて、上記複数の光学部品のうち少なくとも一対はその貫通口の開口が相互向かい合うか相互反対方向を向かうよう積層されてもよい。

本発明の他の側面は、第１電極と、前記第１電極上に形成され光経路として提供される貫通口を有する絶縁構造物と、前記絶縁構造物内で前記貫通口を囲むよう形成された少なくとも一つの第２電極とを備えるレンズホルダー部を提供するステップと、１次的なレンズ形状を有するよう前記各貫通口に、導電性を有するか電解質成分が含まれた硬化性の透明液状樹脂を提供するステップと、前記第１電極及び第２電極の間で発生する静電気力を用いて前記１次的なレンズ形状を有する前記液状樹脂が所望の２次的レンズ形状を有するよう前記第１電極及び第２電極に電圧を印加するステップと、前記２次的レンズ形状の前記液状樹脂を硬化させてマイクロレンズを形成するステップと、を含むことを特徴とする光学部品の製造方法を提供する。

本発明のさらに他の側面は、第１電極と、上記第１電極上に形成され光経路として提供される貫通口を有する絶縁構造物と、上記絶縁構造物内で上記貫通口を囲むよう形成された少なくとも一つの第２電極とを備えるレンズホルダー部を含む光学部品の製造装置を提供する。この場合、上記レンズホルダー部は上記貫通口に投入されるレンズ形成のための液体樹脂を第１電極及び第２電極を用いてその形状を調節できる機能をする。また、上記レンズホルダー部は、最終の製品において鏡筒構造として使用することも出来る。

本発明によると、光学部品でレンズの製造工程に活用される静電気力の印加手段を、光経路を保障する構造物で具現することにより、静電気力の印加手段として採用された第１電極及び第２電極と絶縁構造物をレンズホルダー部として採用することが出来る。従って、開口数（ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅ）の大きなレンズや非球面を有するレンズなどの様々な形状のマイクロレンズをより精密に製造できるだけでなく、レンズを支持する鏡筒構造を有する光レンズモジュール構造をより容易に提供することが出来る。

以下、添付の図面を参照に本発明の実施形態を詳しく説明する。図１ａ及び図１ｂは本発明の一実施形態による光学部品を表した斜視図及び側断面図である。

図１ａに図示された通り、本実施形態による光学部品１０は、マイクロレンズ１８と上記マイクロレンズ１８を収容するレンズホルダー部とを有する。上記レンズホルダー部は第１電極１２、第１電極１２上に形成された絶縁構造物１４及び絶縁構造物１４の内部に配置された第２電極１６を含む。本実施形態のレンズホルダー部は第１電極１２を形成するための透明基板１１をさらに含むことが出来る。

図１ａ及び図１ｂに図示された通り、上記レンズホルダー部を構成する絶縁構造物１４は光経路Ｌを保障する貫通口Ｈを有する。貫通口Ｈは、例えば、円筒構造である。また、第２電極１６は絶縁構造物１４の内部に配置され、第１電極１２と共にレンズ形成の過程においてマイクロレンズ１８の形状を調整するための静電気力の印加手段として使用される。第２電極１６は第１電極１２と均一な間隔を有し、所望のレンズ構造に適合するよう貫通口Ｈを囲む形状を有する。

第１電極１２は透明基板１１上に形成される。本実施形態において、第１電極１２はＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）のような公知の透明電極物質で形成することが出来る。このように、第１電極１２が絶縁構造物１４の貫通口Ｈの底面を閉鎖しても、第１電極１２は透明物質であるため貫通口Ｈに沿って提供される光経路Ｌを依然として有効に保障することが出来る。また、第１電極１２はマイクロレンズ１８を安定して支持する役割を果たすことが出来る。

本実施形態のマイクロレンズ１８はその形成過程（即ち、完全硬化の前）で上述のレンズホルダー部に設けられた第１電極１２および第２電極１６の構造から発生する静電気力を用いて所望のプロファイルを有するよう、より精密に調整することが出来る。このように、マイクロレンズ１８は透明ながらも、静電気力によりプロファイルが変更され得る硬化性物質からなる。このようなマイクロレンズ１８の構成物質として、導電性を有するか電解質成分が含まれた硬化性透明液状樹脂を適切に使用することが出来る。

また、同一の電圧においても静電気力によるレンズ形状の調整能力を高めるため、マイクロレンズ１８は第１電極１２と接触しながら、上記レンズホルダー部の絶縁構造物１４によって第２電極１６から絶縁することが出来る。

このように、本実施形態に採用されるレンズホルダー部は、レンズプロファイルの微細調整のための第１電極１２及び第２電極１６を含むと同時に、光経路Ｌを確保し、マイクロレンズ１８を支持する鏡筒構造として活用することが出来る。

本発明は様々な形態に変更して実施することが出来る。具体的には、レンズホルダー部、特に第１電極の構成物質の光透過性によって光経路を確保するための構造は、様々な形態に変更して実施してもよい（図２ａ及び図２ｂ参照）。また、レンズのプロファイル調整をより精密に実現するために、電極構造、特に第２電極の配列及び数を様々な方式で実現することが出来る（図２ｃ参照）。

図２ａ及び図２ｂは本発明の他の実施形態であり、第１電極構成物質として、透明ではない電極物質を使用した光学部品を例示する。

先ず、図２ａを参照すると、マイクロレンズ２８とマイクロレンズ２８を収容するレンズホルダー部を有する光学部品２０とが図示されている。

図２ａに図示された光学部品２０は、図１ｂと同様に、透明基板２１、第１電極２２、絶縁構造物２４及び第２電極２６を含むレンズホルダー部を有する。但し、第１電極２２は開放口Ｏを有する。この開放口Ｏは、絶縁構造物２４の貫通口Ｈと対応する位置に形成されるため、光経路を確保することが出来る。このような構造は、第１電極２２の物質が不透明な材料である場合に有益である。

本実施形態において、第１電極２２の開放口Ｏは、貫通口Ｈの直径Ｄ１より小さい直径Ｄ２を有するよう形成されることが出来る。従って、第１電極２２はマイクロレンズ２８と接続することが出来るため、より低い電圧でもプロファイルの調整に必要な駆動力を確保することが出来る。

これとは異なって、図２ｂに図示された通り、本光学部品は透明基板を省略した構造で具現されることが出来る。上記光学部品はマイクロレンズ３８と、第１電極３２、絶縁構造物３４及び第２電極３６を含むレンズホルダー部を有する。

第１電極３２は、光透過性を阻害し得る素材からなることが出来る。この場合、図２ａと同様に開放口Ｏを有することにより光経路を提供することが出来る。また、第１電極３２はマイクロレンズを支持するための段差Ｓを提供するために、開放口Ｏの直径Ｄ’２を光経路が保障される範囲内で貫通口Ｈの直径Ｄ１より十分小さく形成する。第１電極３２の段差Ｓは好ましくは一定幅の円柱状を有することが出来る。

本実施形態において、段差Ｓはマイクロレンズ３８との接続を保障するだけでなく、マイクロレンズ３８を安定して支持する装着部の役割をする。ここで、装着部を提供する段差Ｓの幅は、マイクロレンズを製造するための液状樹脂が提供される際に液滴の量及び形態と調整過程の変位を考慮して液状樹脂が離脱しないよう表面張力などを考慮して適切に設計される。

また、本発明は上述の通りレンズのプロファイル調整をより精密に実現するために電極構造を、様々な形態に変更して実施することが出来る。

図２ｃには第２電極の構造が変更された光学部品が図示されている。図２ｃを参照すると、マイクロレンズ４８とマイクロレンズ４８を収容するレンズホルダー部とを有する光学部品４０が図示されている。上記レンズホルダーは、図１ａと同様に、第１電極４２と、第１電極４２上に形成され貫通口Ｈを有する絶縁構造物４４と、絶縁構造物４４内に形成された第２電極４６と、第１電極４２を形成するための透明基板４１とをさらに含むことが出来る。

本実施形態において、第２電極４６は絶縁構造物４４内に積層された複数の電極層４６ａ，４６ｂ，４６ｃで構成される。複数の第２電極層４６ａ，４６ｂ，４６ｃは相互電気的に分離され第１電極４２と共にレンズ形成過程でマイクロレンズ４８の形状を調整するための個別的な静電気力の印加手段として使用される。

このように、複数の第２電極層４６ａ，４６ｂ，４６ｃはそれぞれ異なるレベルに位置して第１電極と発生する静電気力の影響範囲を独立して有することにより、より精密なレンズ形状の加工が可能と成る。

さらに、図２ｃに図示された通り、複数の第２電極層４６ａ，４６ｂ，４６ｃは下部から上部へ行くほど貫通口Ｈとの間隔（ｄ１＜ｄ２＜ｄ３）が徐々に大きくなるような位置に形成される。このように、複数の第２電極層４６ａ，４６ｂ，４６ｃはそのレベルと共に、貫通口Ｈの内部側壁との距離（ｄ１＜ｄ２＜ｄ３）が異なるよう設計することにより静電気力の発生範囲とその大きさをより精密に調整することが出来る。

このように、本発明による光学部品、特にレンズホルダー部は様々な形態を有しながら、レンズプロファイルの微細調整のための役割とレンズを支持する鏡筒の役割を同時に果たすことが出来る。

図３ａ〜図３ｄは、図１に図示された光学部品の製造工程を説明するための工程別の断面図である。

先ず、図３ａのように、透明基板１１上に第１電極１２を形成する。第１電極１２は、例えば、ＩＴＯ、ＺｎＯのような光透過性の伝導性酸化物である。本方法は、図１に図示された実施形態に該当するため、透明基板１１上に第１電極１２を形成する過程を例示したが、図２ｂのように透明基板なしで開放口Ｏを有する電極層３２を基材として用いることも出来る。

次に、図３ｂのように、第１電極１２上に光経路として提供される貫通口Ｈを有し、内部に第２電極１６が介在された絶縁構造物１４を形成する。

絶縁構造物１４は、絶縁性の酸化物または窒化物のような絶縁性無機物質は勿論、絶縁性樹脂のような絶縁性有機物質で構成されることも出来る。絶縁構造物１４は下部絶縁層を形成する過程と、貫通口の位置を囲む第２電極を形成する過程と、その上に上部絶縁層を形成する過程とで基板上に直接形成されることが出来るが、これとは異なって、貫通口Ｈを囲む第２電極１６を介在させた絶縁構造物１４を先に製造した後に、硬化性接合物質（図示せず）を用いて第１電極１２上に接合させる方式でも具現されることが出来る。このように、第１電極１２上に配置された絶縁構造物１４は光経路を保障する貫通口Ｈを有すると同時に、内部に配置された第２電極１６を配置することにより静電気力の印加手段と鏡筒構造の役割を同時に期待することが出来る。

次に、図３ｃのように、１次的なレンズ形状を有するよう各貫通口Ｈに透明液状樹脂１８’を提供する。

透明液状樹脂１８’は硬化性を有すると同時に透明であり、特に静電気力により影響を受ける導電性を有するか電解質成分が含まれた硬化性の透明液状樹脂である。例えば、透明液状樹脂１８’は、透明ポリマー樹脂に特定の塩のような電解質成分を混合した形態で使用されることが出来る。このような工程はマイクロシリンジを用いて第１電極１２に所定の粘度を有する樹脂液滴を提供して１次的なレンズ形状を有するようにする。この際に１次的なレンズ形状は樹脂１８’の粘度及び表面張力は勿論、投入条件により適切に調整することが出来る。また、特定の形態では、透明液状樹脂１８’が位置する表面に疎水性を与える場合に１次的なレンズ構造を有する透明液状樹脂１８’の接触角を増加させることが出来るため、より広範囲の形状のレンズを容易に製造することができる。一方、１次的な形状を有する透明液状樹脂１８’は、第１電極１２及び第２電極１６の間で発生する静電気力により形状が変わるようその一部が絶縁構造物１４に接触するよう形成することが好ましい。

次に、図３ｄのように、２次的レンズ形状を有する液状樹脂１８’’が形成されるよう第１電極１２及び第２１４に電圧を印加する。第１電極１２及び第２電極１６の間に印加された電圧により、第１電極１２及び第２電極１６の間には静電気力が発生する。印加された電圧の大きさによって１次的な形状を有する樹脂は、所望の２次的な形状の樹脂１８’’に調整されることが出来る。勿論、図２ｂで説明した第２電極１６の配列及び数によって静電気力の大きさと発生領域が調整されることが出来る。このような静電気力を用いた微細調整過程を通して得られた２次的レンズ形状の液状樹脂１８’’は樹脂の種類によって紫外線硬化や熱硬化の方法を用いて硬化されることにより、図１ｂのような光学部品１０を完成することが出来る。

本発明は、複数のマイクロレンズが配列されたアレイ構造の光学部品としても有益に具現されることが出来る。

図４ａは本発明の好ましい実施形態によるマイクロレンズアレイの構造を有する光学部品を表した斜視図である。

図４ａを参照すると、複数個の貫通口Ｈが設けられたレンズホルダー部と上記貫通口Ｈに搭載された複数のマイクロレンズ５８とを含むマイクロレンズアレイ型の光学部品５０が図示されている。

図４ａに図示された光学部品５０は、マイクロレンズが４×４で行と列に沿って配列された形態を有するが、これに限定されない。光学部品５０は、透明基板５１、第１電極５２、絶縁構造物５４及び第２電極５６を含むレンズホルダー部を有する。本実施形態に採用された個々のマイクロレンズ５８とそのレンズホルダー領域は、第１電極５２が開放口を有する形態（図２ａ参照）として例示されたものである。

勿論、複数のマイクロレンズを有するアレイ形態の光学部品は本実施形態のように図２ａと同様な構造に限られず、個々の構造が異なる形態でも具現されることが出来る。

また、図４ａに図示されたマイクロレンズアレイ型の光学部品５０は、各貫通口Ｈに位置したマイクロレンズ形状を選択的に調整できる第１及び第２電極構造を有することができ、その一形態が図４ｂに例示されている。

図４ｂを参照すると、図４ａに採用され得る複数のパターン（Ｙ１−Ｙ４、Ｘ１−Ｘ４）でそれぞれ具現された第１及び第２電極が図示されている。第１電極５２及び第２電極５６は貫通口（またはマイクロレンズ）の配列位置によって行と列で分離されたパターン構造を有する。従って、特定の位置Ｃ₄₃にある１次的な形状を有する樹脂の形状を選択的に調整しようとする場合に、第１電極５２のうち一パターンＹ３と第２電極５６のうち一パターンＸ４とにのみ電圧を印加することにより所望の選択的な微細調整をより容易に実現することが出来る。

このような第１電極５２及び第２電極５６の形態は複数のレンズを形成するために液滴樹脂を貫通口に提供する過程において、想定外の誤差によって他の形状となった液滴樹脂を選択的に調整できるという点で非常に有益である。

本発明は上述の光学部品を同一の光経路を有するよう一鏡筒口に複数のレンズが配列されたアセンブリ形態で応用されることが出来る。アセンブリ形態の光学部品もその積層方式によって様々に具現されることが出来る。

図５ａ〜図５ｃには、図１に図示された光学部品を用いた様々なアセンブリ形態１００，２００，３００が例示されている。

図５ａに図示されたアセンブリ１００は、２つの光学部品１０Ａ，１０Ｂが、同一の光経路Ｌを保障するよう貫通口Ｈ１，Ｈ２の開口が相互反対方向を向いて積層された構造を有する。

逆に、図５ｂに図示されたアセンブリ２００は、２つの光学部品１０Ａ，１０Ｂが、貫通口Ｈ１，Ｈ２の開口が相互対向して積層された構造を有することにより同一の光経路Ｌを確保した形態を有する。

これとは異なって、図５ｃに図示されたアセンブリ３００は各貫通口Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３の開口が一方向を向くよう３つの光学部品１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを積層した形態を有する。

このような様々な積層方式は、レンズの距離の調整に際して適宜採用することが出来る。従って、３つ以上の光学部品を積層したアセンブリ形態では、上述の積層方式を部分的に異なるよう採用することにより所望のレンズ間の間隔を確保することが出来る。

このように、本発明は上述の実施形態及び添付の図面により限定されず、添付の特許請求の範囲によって限定されるものである。特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更が可能であることは当技術分野の通常の知識を有している者にとって自明である。

本発明の一実施形態による光学部品を表した斜視図である。 本発明の一実施形態による光学部品を表した断面図である。 本発明の他の実施形態による光学部品の一例を表した側断面図である。 本発明の他の実施形態による光学部品の別の例を表した側断面図である。 本発明の他の実施形態による光学部品のさらに別の例を表した側断面図である。 図１に図示された光学部品の製造工程を説明するための工程別断面図である。 図１に図示された光学部品の製造工程を説明するための工程別断面図である。 図１に図示された光学部品の製造工程を説明するための工程別断面図である。 図１に図示された光学部品の製造工程を説明するための工程別断面図である。 本発明の好ましい実施形態によるマイクロレンズアレイ構造を有する光学部品を表した斜視図である。 図４ａに図示された光学部品に採用される電極パターンを概略的に表した平面図である。 図１に図示された光学部品のアセンブリ形態の一例を示した側断面図である。 図１に図示された光学部品のアセンブリ形態の別の例を示した側断面図である。 図１に図示された光学部品のアセンブリ形態のさらに別の例を示した側断面図である。

符号の説明

１０、２０、３０、４０、５０ 光学部品
１１、２１、４１、５１ 透明基板
１２、２２、３２、４２、５２ 第１電極
１４、２４、３４、４４、５４ 絶縁構造物
１６、２６、３６、４６、５６ 第２電極
Ｈ 貫通口
１８、２８、３８、４８、５８ マイクロレンズ

Claims (24)

1. 第１電極と、前記第１電極上に形成され光経路として提供される貫通口を有する絶縁構造物と、前記絶縁構造物内で前記貫通口を囲むよう形成された少なくとも一つの第２電極とを有するレンズホルダー部と、
   前記貫通口内に位置し、導電性を有するか電解質成分が含まれた硬化性の透明液状樹脂が硬化されてなる少なくとも一つのマイクロレンズと、
   を備えることを特徴とする光学部品。
2. 前記少なくとも一つのマイクロレンズは、それぞれ前記第１電極と接触し前記少なくとも一つの第２電極とは前記レンズホルダー部の前記絶縁構造物により絶縁されるよう形成されたことを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
3. 前記第１電極は、透明な電極物質からなることを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
4. 前記マイクロレンズは、前記第１電極のうち前記貫通口の底面として提供される領域上に形成されることを特徴とする請求項３に記載の光学部品。
5. 前記レンズホルダー部は透明基板をさらに含み、前記第１電極は前記透明基板上に形成されたことを特徴とする請求項３に記載の光学部品。
6. 前記第１電極は不透明な電極物質からなり、光経路が確保されるよう形成された開放口を有することを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
7. 前記第１電極の開放口は前記貫通口の直径より小さい直径を有し、これにより前記第１電極は円柱状の段差部を提供することを特徴とする請求項６に記載の光学部品。
8. 前記レンズホルダー部は透明基板をさらに含み、前記第１電極は前記透明基板上に形成されたことを特徴とする請求項６に記載の光学部品。
9. 前記第２電極は複数個であり、当該複数の第２電極は前記絶縁構造物内に相互絶縁されるよう積層された形態で配列されたことを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
10. 前記複数の第２電極のうち少なくとも一部は、前記貫通口の内部側壁からの距離が相違するよう形成されたことを特徴とする請求項９に記載の光学部品。
11. 前記絶縁構造物の貫通口と前記貫通口に装着されたマイクロレンズは、複数個であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の光学部品。
12. 前記貫通口は、複数の行と複数の列で配列されたことを特徴とする請求項１１に記載の光学部品。
13. 前記第１電極及び第２電極は、それぞれ前記貫通口の行及び列単位で分離された複数のパターン構造で形成されたことを特徴とする請求項１２に記載の光学部品。
14. 請求項１乃至１０のいずれか１項による複数の光学部品を含み、前記複数の光学部品が相互同一の光経路を有するよう積層された構造を有することを特徴とする光学部品。
15. 前記複数の光学部品のうち少なくとも一部は、前記各貫通口の開口が一方向に向かうよう積層されたことを特徴とする請求項１４に記載の光学部品。
16. 前記複数の光学部品のうち少なくとも一対は、その貫通口の開口が相互向かい合うか相互反対方向を向くよう積層されたことを特徴とする請求項１４に記載の光学部品。
17. 第１電極と、前記第１電極上に形成され光経路として提供される貫通口を有する絶縁構造物と、前記絶縁構造物内で前記貫通口を囲むよう形成された少なくとも一つの第２電極とを備えるレンズホルダー部を提供するステップと、
    １次的なレンズ形状を有するよう前記各貫通口に、導電性を有するか電解質成分が含まれた硬化性の透明液状樹脂を提供するステップと、
    前記第１電極及び第２電極の間で発生する静電気力を用いて前記１次的なレンズ形状を有する前記液状樹脂が所望の２次的レンズ形状を有するよう前記第１電極及び第２電極に電圧を印加するステップと、
    前記２次的レンズ形状の前記液状樹脂を硬化させてマイクロレンズを形成するステップと、
    を含むことを特徴とする光学部品の製造方法。
18. 前記貫通口に提供された透明液状樹脂は、前記第１電極と接触し前記少なくとも一つの第２電極とは前記レンズホルダー部の絶縁構造物により絶縁されることを特徴とする請求項１７に記載の光学部品の製造方法。
19. 前記第１電極は、透明な電極物質からなることを特徴とする請求項１７に記載の光学部品の製造方法。
20. 前記透明液状樹脂は、前記第１電極のうち前記貫通口の底面として提供される領域上に位置することを特徴とする請求項１９に記載の光学部品の製造方法。
21. 前記レンズホルダー部は透明基板をさらに含み、前記第１電極は前記透明基板上に形成されたことを特徴とする請求項１９に記載の光学部品の製造方法。
22. 前記第１電極は不透明な電極物質からなり、光経路が確保されるよう形成された開放口を有することを特徴とする請求項１７に記載の光学部品の製造方法。
23. 前記第１電極の開放口は前記貫通口の直径より小さい直径を有し、これにより前記第１電極は円柱状の掛かり段差部を提供することを特徴とする請求項２２に記載の光学部品の製造方法。
24. 前記レンズホルダー部は透明基板をさらに含み、前記第１電極は前記透明基板上に形成されたことを特徴とする請求項２２に記載の光学部品の製造方法。

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