JP4675831B2 - ３軸加速度センサおよび３軸加速度センサの検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、互いに直交する３軸の加速度成分を検出して加速度成分信号を出力する３軸加速度センサの特性を検査する３軸加速度センサ検査装置および３軸加速度センサの検査方法に関する。

従来の３軸加速度センサ検査装置は、３軸加速度センサの検査の際に、主回転軸により回転するＬ字状の支持板に測定板駆動モータを取付け、これにより回転支持された１枚の測定板を主回転軸の軸芯と平行に設置し、この測定板に検査前の３軸加速度センサを複数装着し、主回転軸により測定板を１８０度回転させて回転中の３軸加速度センサに加わる重力によるＺ軸方向の加速度成分を検出してその加速度成分信号を測定し、主回転軸を９０度戻して垂直に設置した測定板を測定板駆動モータにより３６０度回転させて３軸加速度センサに加わる重力によるＸ軸およびＹ軸方向の加速度成分信号を測定して測定板に装着した複数の３軸加速度センサの良否の判定および各軸の加速度成分信号の校正を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平１０−２９１４号公報（第４頁段落００１３−００１６、第５頁段落００１９、第５図）

しかしながら、上述した従来の技術においては、１枚の測定板に装着した複数の３軸加速度センサを主回転軸および測定板駆動モータで回転させながら３軸加速度センサの検査を行っているため、１枚の測定板に装着した１検査単位の３軸加速度センサの一連の検査を終えた後は、その測定板から１検査単位の３軸加速度センサを取外した後に、再度測定板に１検査単位の３軸加速度センサを装着して次の検査を行わなければならず、１検査単位毎に３軸加速度センサの装着、取外を行うことが必要になり、１検査単位の検査に要するタクト時間は、３軸加速度センサの装着時間、取外時間、各角度位置での測定時間および各角度位置への角度位置変更時間の合計時間となり、検査対象の３軸加速度センサが多い場合には多大な時間を要し、３軸加速度センサの検査効率を低下させるという問題がある。

このため、１検査単位の検査個数を増加させると３軸加速度センサ検査装置が大型化し、３軸加速度センサの検査は通常、恒温槽内で行われるため、恒温槽が大型化し、その温度維持のためのエネルギが増大するという問題がある。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、３軸加速度センサ検査装置の小型化を図ると共に、その検査効率を向上させる手段を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる３軸の加速度成分を検出して加速度成分信号を出力する３軸加速度センサと、前記３軸加速度センサが装着され、装着された３軸加速度センサの加速度検出信号を測定する測定板と、前記測定板を回転支持する支持板と、前記支持板を回転させる主回転軸とを備えた３軸加速度センサ検査装置において、前記支持板を、前記主回転軸の半径方向に沿って放射状に、かつ円周方向に沿って等角度に、４の倍数枚設置し、前記主回転軸に設置された支持板を０度位置に停止させて、その測定板に検査前の３軸加速度センサを装着し、２７０度位置に停止している前記測定板から検査済の３軸加速度センサを取外すことを特徴とする。

これにより、本発明は、３軸加速度センサの各軸方向の４つの角度位置における測定を４箇所で同時に行うことができ、３軸加速度センサの検査におけるタクト時間を、装着時間と、一つの角度位置における測定時間と、取外時間と、次の角度位置への角度位置変更時間とを加えた合計時間とすることができ、検査に要するタクト時間を短縮して３軸加速度センサ検査装置の検査効率を向上させることができると共に、支持板の主回転軸を中心とした回転半径を最小限にして検査装置の小型化を図ることができるという効果が得られる。

以下に、図面を参照して本発明による３軸加速度センサ検査装置およびその検査方法の実施例について説明する。

図１は実施例の３軸加速度センサ検査装置を示す斜視図、図２は実施例の３軸加速度センサ検査装置の正面を示す説明図、図３は実施例の３軸加速度センサ検査設備を示す説明図、図４は実施例の測定板とテストトレイを示す説明図である。
図１、図２において、１は３軸加速度センサ検査装置（以下、単に検査装置１という。）である。

２はテストトレイであり、図４に示すように、３軸加速度センサ３を１つずつ収容する収容部４と、それぞれの収容部４に収容された加速度センサ３をそれぞれ固定する固定具５が複数設けられており、１検査単位の加速度センサ３を一括して収容するための治具である。
本実施例の３軸加速度センサ３は、例えば重錘部の四方に十字型に配置された可撓部に形成されたピエゾ抵抗素子によるブリッジ回路により可撓部に生じた変位を電気信号に変換し、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる３軸の加速度成分を加速度成分信号として出力する機能を有している。

７は測定板であり、テストトレイ２に収容された各３軸加速度センサ３に相当する位置に、３軸加速度センサ３の出力端子や電源端子等に嵌合するソケット８がそれぞれ配置されており、１検査単位の３軸加速度センサ３からのそれぞれの出力を一括して測定する機能を有している。
１０は支持板であり、主回転軸１１の半径方向に沿って放射状に、かつ円周方向に沿って９０度等分に４枚設置されている。

主回転軸１１は、その一方の軸端部に歯付プーリ等のプーリ１２が形成されており、図３に示すステッピングモータ等の主軸駆動モータ１３の回転シャフトとの間に掛渡された歯付ベルト等のベルト１４により回転駆動される。
１５はフラット型モータ等の測定板駆動モータであり、支持板１０の裏面に設置され、その回転シャフトの先端は支持板１０のおもて面側に配置された測定板７に連結し、測定板７を回転駆動する。

１６は無線送信機であり、測定板７から送出される各３軸加速度センサ３の加速度成分信号を無線信号に変換して図３に示す無線受信機１７へ送信する機能を有している。
本実施例の検査装置１は、主軸駆動モータ１３により回転駆動される主回転軸１１が図２に示す所定の角度位置毎に支持板１０を一旦停止させながら回転する。
本実施例では主回転軸１１に４枚の支持板１０が放射状に設置されており、図２において、主回転軸１１を中心に、水平方向左側の支持板１０の角度位置（０度位置という。）、垂直方向上側の支持板１０の角度位置（９０度位置という。）、水平方向右側の支持板１０の角度位置（１８０度位置という。）、垂直方向下側の支持板１０の角度位置（２７０度位置という。）でそれぞれ一旦停止し、それぞれの角度位置で支持板１０に回転支持された測定板７が、そこに装着されたテストトレイ２とともに支持板１０のおもて面と平行に測定板駆動モータ１５により図１、図３に矢印Ａで示す方向に回転する。

図３において、２０は３軸加速度センサ検査設備（以下、単に検査設備という。）であり、図３に２点鎖線で示す供給シャッタ２１および取出シャッタ２２が設けられた恒温槽２３を有しており、恒温槽２３内には本実施例の検査装置１が設置されている。
２５はセンサ供給装置であり、０度位置の支持板１０上の測定板７へ検査前の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２を装着する機能、２７０度位置の支持板１０上の測定板７から検査済の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２を取外す機能、テストトレイ２を図３に矢印Ｂ１〜Ｂ５で示す搬送経路に沿って搬送する機能、ステーションＣにおいて検査済の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２から搬送トレイ２６へ３軸加速度センサ３を移し変える機能、およびステーションＤにおいて空のテストトレイ２へ検査前の３軸加速度センサ３を装填する機能を有している。

２８はパーソナルコンピュータ等の制御装置であり、各支持板１０に設置された無線送信機１６から送信される３軸加速度センサ３の３軸の加速度成分信号を無線受信機１７によって取得する機能、検査装置１を含む検査設備２０の各部を制御して３軸加速度センサ３の特性を検査する検査処理等を実行する機能等を有している。
また、制御装置２８は、図示しない記憶部を有しており、その記憶部には検査処理を実行するプログラムやそれに用いる各種のデータおよび検査処理における処理結果等が格納される。

以下に、図５に示すタイムチャートおよび図３を用いて本実施例の検査処理について説明する。
なお、図５に示す記号「ＩＮ」は最初の角度位置としての０度位置におけるテストトレイ２の測定板７への装着時間を、「ＯＵＴ」は最後の角度位置としての２７０度位置におけるテストトレイ２の測定板７からの取外時間を、「Ｍ」は各角度位置における測定時間を、「Ｒ」は主回転軸１１による次の角度位置までの角度位置変更時間を、「Ｗｉｎ」は各角度位置における装着時間に対する待ち時間を、「Ｗｏｕｔ」は各角度位置における取外時間に対する待ち時間を、「Ｔ」は検査処理におけるタクト時間を示している。

本実施例の検査処理において、制御装置２８は３軸加速度センサ３の計測動作と準備動作とを並行して実行する。
すなわち、計測動作において、制御装置２８は、恒温槽２３の供給シャッタ２１を開放し、センサ供給装置２５の投入位置Ｓにある１検査単位の検査前の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２を図示しない第１のロボットアームにより図３に矢印Ｅで示す方向に搬送し、検査装置１の０度位置に停止している測定板７にテストトレイ２を装着し、第１のロボットアームをＥ方向とは反対方向に引抜き、その後に供給シャッタ２１を閉鎖する（図５に示す装着時間ＩＮ）。

このとき、他の角度位置にある測定板７にテストトレイ２に収容されて装着された３軸加速度センサ３は待機状態になっている（図５に示す待ち時間Ｗｉｎ）。
測定板７へのテストトレイ２の装着を確認した制御装置２８は、各角度位置の３軸加速度センサ３からの重力による各加速度成分信号の出力を無線送信機１６、無線受信機１７を介して取得し、各角度位置の測定板駆動モータ１６により測定板７をＡ方向に９０度回転させ、測定板７の停止後に再度３軸加速度センサ３からの各加速度成分信号の出力を取得し、測定板駆動モータ１６により測定板７をＡ方向とは反対方向に９０度回転させて測定板７を原位置に復帰させる（図５に示す測定時間Ｍ）。

このとき、０度位置にある３軸加速度センサ３からは、原位置およびＡ方向に回転した後のＸ軸およびＹ軸を水平にした状態でＺ軸方向に１Ｇの重力加速度による荷重が加わった場合の各加速度成分信号が出力される。
また、９０度位置にある３軸加速度センサ３からは、原位置におけるＺ軸およびＹ軸を水平にした状態でＸ軸方向に１Ｇの重力加速度による荷重が加わった場合の各加速度成分信号が、Ａ方向に回転した後はＺ軸およびＸ軸を水平にした状態でＹ軸方向に１Ｇの重力加速度による荷重が加わった場合の各加速度成分信号が出力される。

更に、１８０度位置にある３軸加速度センサ３からは、原位置およびＡ方向に回転した後のＸ軸およびＹ軸を水平にした状態でＺ軸方向に−１Ｇの重力加速度（０度位置にある３軸加速度センサ３とは表裏を反転させた場合の重力加速度をいう。）による荷重が加わった場合の各加速度成分信号が出力される。
更に、２７０度位置にある３軸加速度センサ３からは、原位置におけるＺ軸およびＹ軸を水平にした状態でＸ軸方向に−１Ｇの重力加速度による荷重が加わった場合の各加速度成分信号が、Ａ方向に回転した後はＺ軸およびＸ軸を水平にした状態でＹ軸方向に−１Ｇの重力加速度（９０度位置にある３軸加速度センサ３とは反対方向に設置された場合の重力加速度をいう。）による荷重が加わった場合の各加速度成分信号が出力される。

各角度位置における測定を同時に終えた制御装置２８は、恒温槽２３の取出シャッタ２２を開放し、センサ供給装置２５から図示しない第２のロボットアームを図３に示す矢印Ｆとは反対方向に挿入し、検査装置１の２７０度位置に停止している測定板７から検査済の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２を取外し、第２のロボットアームをＦ方向に引抜いて１検査単位の検査済の３軸加速度センサ３をセンサ供給装置２５へ搬送し、その後に取出シャッタ２２を閉鎖する（図５に示す取外時間ＯＵＴ）。

このとき、他の角度位置にある測定板７にテストトレイ２に収容されて装着された３軸加速度センサ３は待機状態になっている（図５に示す待ち時間Ｗｏｕｔ）。
検査済の３軸加速度センサ３を取出した制御装置２８は、図３に矢印Ｈで示す方向に主回転軸１１を９０度回転させ（図５に示す角度位置変更時間Ｒ）、計測動作の最初に戻って上記の計測動作を繰り返す。

このとき、０度位置に停止した測定板７上はテストトレイ２が装着されていない状態になっている。
このようにして、装着時間ＩＮ（＝待ち時間Ｗｉｎ）と、一つの測定位置における測定時間Ｍと、取外時間ＯＵＴ（＝待ち時間Ｗｏｕｔ）と、角度位置変更時間Ｒとを加えたタクト時間Ｔが形成され、タクト時間Ｔ毎に１検査単位の検査済の３軸加速度センサ３がセンサ供給装置２５へ取出される。

上記の計測動作と並行して、制御装置２８は、以下に示す（１）から（５）の各ステップをタクト時間Ｔ以内にそれぞれ実行する準備動作を行う。
（１）１検査単位の検査済の３軸加速度センサ３をセンサ供給装置２５へ取出した制御装置２８は、搬送経路Ｂ１（図３参照）に沿ってテストトレイ２を回転させる。
（２）制御装置２８は、搬送経路Ｂ２に沿ってテストトレイ２をステーションＣに搬送し、図示しない第３のロボットアームにより検査済の３軸加速度センサ３を搬送トレイ２６に移し変え、検査済の３軸加速度センサ３を収納した搬送トレイ２６を次工程へ搬出すると共に、新たな空の搬送トレイ２６を所定の位置に停止させる。

（３）制御装置２８は、空になったテストトレイ２を搬送経路Ｂ３に沿ってステーションＤに搬送し、図示しない第４のロボットアームにより検査前の３軸加速度センサ３をテストトレイ２の収容部に装填し、１検査単位の検査前の３軸加速度センサ３をテストトレイ２に収容する。
（４）制御装置２８は、検査前の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２を搬送経路Ｂ４に沿って図示しないリフタ前へ搬送する。

（５）制御装置２８は、検査前の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２を搬送経路Ｂ５に沿って図示しないリフタより投入位置Ｓへ搬送する。
このようにして、本実施例の検査処理が行われ、測定された各３軸加速度センサ３の加速度成分信号は、制御装置２８の記憶部に格納され、３軸加速度センサの特性の良否の判定および各軸の加速度成分信号の校正等に用いられる。

上記のように、本実施例の検査装置１は、主回転軸１１に放射状に等配に設置された４枚の支持板１０を設け、そこに回転支持された測定板７に１検査単位の３軸加速度センサ３を収納したテストトレイ２を装着するので、３軸加速度センサ３の各軸方向の４つの角度位置における測定を４箇所で同時に行うことができ、検査処理におけるタクト時間Ｔを装着時間ＩＮと、測定時間Ｍと、取外時間ＯＵＴと、角度位置変更時間Ｒとを加えた合計時間（＝ＩＮ＋Ｍ＋Ｒ＋ＯＵＴ）とすることができ、従来の１検査単位の３軸加速度センサ３を装着し、４つの角度位置における一連の測定を終えた後に検査済の３軸加速度センサ３を取外す検査に要するタクト時間Ｔ（＝ＩＮ＋４Ｍ＋４Ｒ＋ＯＵＴ）に較べて、タクト時間Ｔを半分以下に短縮することができる。

また、支持板１０を主回転軸１１に放射状に配置したので、テストトレイ２に収容する１検査単位の検査個数を増加させることなく多数（従来と同じ時間で少なくとも２倍）の３軸加速度センサ３を検査することができる他、支持板１０の主回転軸１１を中心とした回転半径を最小限にして検査装置１の小型化を図ることができると共に、恒温槽２３内の容積を少なくしてその温度維持のためのエネルギ消費を抑制することができる。

なお、上記のタクト時間Ｔにおいて、装着時間ＩＮと取外時間ＯＵＴとの合計時間が測定時間Ｍと同等以上となる場合には、図６に示す他の形態のタイムチャートにより検査処理を実行するとよい。
図６に示す記号「Ｗｍ」は９０度位置における１回目の測定時間Ｍに対する待ち時間を示している。他の記号は図５の場合と同様である。

本形態の９０度位置における１回目測定は、上記した計測動作の９０度位置における測定と同様にして行われるが、測定板駆動モータ１６により測定板７をＡ方向とは反対方向に９０度回転させて測定板７を原位置に復帰させるステップに代えて、測定板駆動モータ１６により測定板７をＡ方向に更に９０度回転させて測定板７を上記の２７０度位置における原位置に回転させ、２回目の測定のときに上記の２７０度位置における測定の動作が行われる。つまり本形態の９０度位置においては、上記９０度位置における測定と２７０度位置における測定とが連続して行われる。

この９０度位置における１回目測定のときに、他の角度位置では待機状態（図６に示す待ち時間Ｗｍ）になっており、既に測定を終えた最後の角度位置としての２７０度位置に停止している測定板７からは、上記の取外動作と同様にして第２のロボットアームにより検査済の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２がセンサ供給装置２５へ搬送される。

このとき、最初の角度位置としての０度位置に停止している測定板７は前記において既にテストトレイ２が取外されているので、上記装着操作と同様にしてセンサ供給装置２５の投入位置Ｓにある１検査単位の検査前の３軸加速度センサ３を収容したテストトレイ２が第１のロボットアームにより０度位置に停止している測定板７に装着される。
このように、本形態においては、９０度位置において、９０度位置および２７０度位置における測定を連続して行うので、既に測定を終えた２７０度位置に停止している測定板７からのテストトレイ２の取外と、既にテストトレイ２が取外された０度位置に停止している測定板７へのテストトレイ２の装着とを同時に行うことが可能になり、装着時間ＩＮと取外時間ＯＵＴとの合計時間が測定時間Ｍと同等以上となっても、装着時間ＩＮおよび取外時間ＯＵＴを９０度位置における１回目の測定時間Ｍに吸収して、そのタクト時間Ｔを２回の測定時間２Ｍと角度位置変更時間Ｒとを加えた合計時間（＝２Ｍ＋Ｒ）とすることができ、タクト時間Ｔを上記実施例の場合と同様に、従来のタクト時間（＝ＩＮ＋４Ｍ＋４Ｒ＋ＯＵＴ）に較べて半分以下に短縮することができる。

以上説明したように、本実施例では、主回転軸に放射状に設置された４枚の支持板にそれぞれ回転支持された測定板を取付けるようにしたことによって、３軸加速度センサの各軸方向の４つの角度位置における測定を４箇所で同時に行うことができ、検査処理におけるタクト時間Ｔを、装着時間ＩＮと、測定時間Ｍと、取外時間ＯＵＴと、角度位置変更時間Ｒとを加えた合計時間とすることができ、検査に要するタクト時間Ｔを短縮して検査装置の検査効率を向上させることができると共に、支持板の主回転軸を中心とした回転半径を最小限にして検査装置の小型化を図ることができる。

また、支持板に、それぞれ３軸加速度センサから出力される加速度成分信号を送信する無線送信機を設置したことによって、回転する測定板から容易に各３軸加速度センサの加速度成分信号を取得することができる。
更に、主回転軸に配置された最初の角度位置の測定板に検査前の３軸加速度センサを装着し、最後の角度位置の測定板から検査済の３軸加速度センサを取外すようにしたことによって、測定板への３軸加速度センサの着脱を円滑に行うことができると共に、他の形態に示したように測定板への３軸加速度センサの着脱を同時に行うことも可能になる。

更に３軸加速度センサを複数収容するテストトレイを設け、３軸加速度センサの着脱をテストトレイにより行うようにしたことによって、１検査単位の３軸加速度センサの着脱を円滑かつ確実に行うことができる。
なお、上記実施例においては、測定板は複数のソケットを設けた測定板であるとして説明したが、測定板は前記に限らず、プローブピンを備えたプローブカードを測定板として用いるようにしてもよい。

また、上記実施例においては、４枚の支持板を主回転軸に９０度等分に放射状に設置するとして説明したが、主回転軸に９０度等分に支持板が配置されていれば、支持板の数は８枚（４５度等分）や１２枚（３０度等分）等であってもよい。このように支持板の数を増せば、３軸加速度センサの更に詳細な検査が可能になると共に、角度位置変更時間を短縮してタクト時間を更に短縮することができる。

実施例の３軸加速度センサ検査装置を示す斜視図 実施例の３軸加速度センサ検査装置の正面を示す説明図 実施例の３軸加速度センサ検査設備を示す説明図 実施例の測定板とテストトレイを示す説明図 実施例のタイムチャートを示す説明図 実施例のタイムチャートの他の形態を示す説明図

符号の説明

１ ３軸加速度センサ検査装置
２ テストトレイ
３ ３軸加速度センサ
４ 収容部
５ 固定具
７ 測定板
８ ソケット
１０ 支持板
１１ 主回転軸
１２ プーリ
１３ 主軸駆動モータ
１４ ベルト
１５ 測定板駆動モータ
１６ 無線送信機
１７ 無線受信機
２０ ３軸加速度センサ検査設備
２１ 供給シャッタ
２２ 取出シャッタ
２３ 恒温槽
２５ センサ供給装置
２６ 搬送トレイ
２８ 制御装置

Claims (9)

1. 互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる３軸の加速度成分を検出して加速度成分信号を出力する３軸加速度センサと、前記３軸加速度センサが装着され、装着された３軸加速度センサの加速度検出信号を測定する測定板と、前記測定板を回転支持する支持板と、前記支持板を回転させる主回転軸とを備えた３軸加速度センサ検査装置において、
   前記支持板を、前記主回転軸の半径方向に沿って放射状に、かつ円周方向に沿って等角度に、４の倍数枚設置し、
   前記主回転軸に設置された支持板を０度位置に停止させて、その測定板に検査前の３軸加速度センサを装着し、
   ２７０度位置に停止している前記測定板から検査済の３軸加速度センサを取外すことを特徴とする３軸加速度センサ検査装置。
2. 請求項１において、
   前記３軸加速度センサの装着後に前記主回転軸の停止を継続させて、前記０度位置の測定板の３軸加速度センサからＺ軸方向の１Ｇの加速度検出信号を、９０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＸ軸方向およびＹ軸方向の１Ｇの加速度検出信号を、１８０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＺ軸方向の−１Ｇの加速度検出信号を、前記２７０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＸ軸方向およびＹ軸方向の−１Ｇの加速度検出信号を同時に取得し、
   前記各加速度検出信号の取得後に、前記２７０度位置に停止している前記測定板から前記３軸加速度センサを取外すことを特徴とする３軸加速度センサ検査装置。
3. 請求項１において、
   前記主回転軸に設置された支持板を０度位置に停止させて、その測定板に検査前の３軸加速度センサを装着するときに、前記２７０度位置に停止している前記測定板から前記３軸加速度センサを取外し、
   前記０度位置における前記主回転軸の停止中に、前記０度位置の測定板への装着後の３軸加速度センサからＺ軸方向の１Ｇの加速度検出信号を、９０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＸ軸方向およびＹ軸方向の１Ｇおよび−１Ｇの加速度検出信号を、１８０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＺ軸方向の−１Ｇの加速度検出信号を同時に取得することを特徴とする３軸加速度センサ検査装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項において、
   前記支持板に、それぞれ前記３軸加速度センサから出力される加速度成分信号を送信する無線送信機を設置したことを特徴とする３軸加速度センサ検査装置。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項において、
   前記３軸加速度センサを複数収容するテストトレイを設け、
   前記３軸加速度センサの着脱を、前記テストトレイにより行うことを特徴とする３軸加速度センサ検査装置。
6. 互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる３軸の加速度成分を検出して加速度成分信号を出力する３軸加速度センサと、前記３軸加速度センサが装着され、装着された３軸加速度センサの加速度検出信号を測定する測定板と、前記測定板を回転支持する支持板と、前記支持板が半径方向に沿って放射状にかつ円周方向に沿って等角度に４の倍数枚設置され、前記支持板を回転させる主回転軸とを備えた３軸加速度センサ検査装置による３軸加速度センサの検査方法であって、
   前記主回転軸に設置された支持板を０度位置に停止させて、その測定板に検査前の３軸加速度センサを装着するステップと、
   ２７０度位置に停止している前記測定板から検査済の３軸加速度センサを取外すステップと、を備えることを特徴とする３軸加速度センサの検査方法。
7. 請求項６において、
   前記３軸加速度センサの装着後に前記主回転軸の停止を継続させて、前記０度位置の測定板の３軸加速度センサからＺ軸方向の１Ｇの加速度検出信号を、９０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＸ軸方向およびＹ軸方向の１Ｇの加速度検出信号を、１８０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＺ軸方向の−１Ｇの加速度検出信号を、２７０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＸ軸方向およびＹ軸方向の−１Ｇの加速度検出信号を同時に取得するステップを備え、
   前記各加速度検出信号の取得後に、前記２７０度位置に停止している前記測定板から前記３軸加速度センサを取外すことを特徴とする３軸加速度センサの検査方法。
8. 請求項６において、
   前記主回転軸に設置された支持板を０度位置に停止させて、その測定板に検査前の３軸加速度センサを装着するステップと、２７０度位置に停止している前記測定板から検査済の３軸加速度センサを取外すステップとを、前記主回転軸に設置された支持板を０度位置に停止させて、その測定板に検査前の３軸加速度センサを装着すると共に、２７０度位置に停止している前記測定板から検査済の３軸加速度センサを取外すステップとし、
   前記０度位置における前記主回転軸の停止中に、前記０度位置の測定板への装着後の３軸加速度センサからＺ軸方向の１Ｇの加速度検出信号を、９０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＸ軸方向およびＹ軸方向の１Ｇおよび−１Ｇの加速度検出信号を、１８０度位置の前記測定板の３軸加速度センサからＺ軸方向の−１Ｇの加速度検出信号を同時に取得するステップを備えることを特徴とする３軸加速度センサの検査方法。
9. 請求項６ないし請求項８のいずれか一項において、
   前記３軸加速度センサを複数収容するテストトレイを設け、
   前記３軸加速度センサの着脱を、前記テストトレイにより行うことを特徴とする３軸加速度センサの検査方法。