JP4674877B1 - 板状体の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 厚みが薄い板状体であっても搬送中の損傷を確実に防止することができる板状体の搬送装置を提供する。
【解決手段】 板状体Pを上方から吸着保持する保持部材10と、保持部材10を移動可能に支持する支持部材20とを備える板状体の搬送装置1であって、保持部材10は、板状体Pと対向する下面側に環状に配置された噴射口12aと、噴射口12aにより囲まれた下面側中央部10aと板状体Pとの間に形成される空間Sを大気に開放する大気開放口12cとを備え、噴射口12aは、板状体Pの外縁に向けて気体を噴射するように形成されている。
【選択図】 図1
Description
10 保持部材
10a 下面側中央部
11 保持部本体
11a 凹部
11b 導入孔
11c 側壁
11d 開放流路
113 当接部材
12 底蓋体
12a 噴射口
12b 開放流路
12c 大気開放口
13 中空部
14 分岐流路
20 支持部材
Claims (2)
- 板状体を上方から吸着保持する保持部材と、前記保持部材を移動可能に支持する支持部材とを備える板状体の搬送装置であって、
前記保持部材は、板状体と対向する下面側に環状に配置された噴射口と、前記噴射口により囲まれた下面側中央部と板状体との間に形成される空間を大気に開放する大気開放口とを備え、
前記噴射口は、板状体の外縁に向けて気体を噴射するように形成されており、
前記保持部材は、上面側と下面側との間に中空部を有し、上面側には、圧縮気体が導入される導入孔が形成され、
前記噴射口は、前記導入孔を取り囲むように形成されており、
前記中空部は、前記導入孔から導入された圧縮気体の流れを分岐させて、板状体の周縁部を吸引できるように前記噴射口に向けて水平方向に案内する分岐流路を備え、
前記大気開放口は、前記分岐流路と隔離された開放流路を介して前記保持部材の上面側に連通し、
前記噴射口の開口面積の合計よりも、前記大気開放口の開口面積の合計が大きい板状体の搬送装置。 - 前記保持部材は、板状体の外縁に当接して該板状体の水平方向の移動を拘束する当接部材を備える請求項1に記載の板状体の搬送装置。
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