JP4648508B2 - Resin composition and build-up wiring board using the same - Google Patents
Resin composition and build-up wiring board using the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP4648508B2 JP4648508B2 JP34668699A JP34668699A JP4648508B2 JP 4648508 B2 JP4648508 B2 JP 4648508B2 JP 34668699 A JP34668699 A JP 34668699A JP 34668699 A JP34668699 A JP 34668699A JP 4648508 B2 JP4648508 B2 JP 4648508B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- copper
- build
- resin
- epoxy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 0 CC(N(*)Cc1ccc(C=I)cc1)=NC(S)=NC(S)=N Chemical compound CC(N(*)Cc1ccc(C=I)cc1)=NC(S)=NC(S)=N 0.000 description 1
Images
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はビルドアップ配線基板を製造するための樹脂組成物、その組成物を用いたビルドアップ配線基板およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、電子部品をコンパクトに電子機器に組み込むために、プリント基板が一般に使用されている。近年、電子機器に対する小型化、高性能化および低価格化等の要求に伴い、プリント配線板の微細化、多層化および電子部品の高密度実装化が急速に進み、プリント配線板に対してビルドアップ多層配線構造を備えた配線基板の検討が活発に行われている。この配線基板は、基板の上に積み重ねられた複数の導体配線を含み、各導体配線の間には絶縁膜(いわゆる層間絶縁膜)が存在する。このような複数の配線間の導通をとるために、ビアホールと呼ばれる微細な穴が絶縁膜に形成されている。ビアホールは感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー技術により形成するか、または、レーザーを照射することにより形成することができる。
【0003】
一般に、ビルドアップ多層配線構造を備えたプリント配線基板(ビルドアップ配線基板)は、次のような手順に従って作製される。まず、配線パターンと穴埋めされたスルーホールを有する両面配線板をコア基板として用意する。コア基板の両面に、感光性樹脂を全体的に塗布し、露光および現像を行うことにより、または、絶縁膜用の樹脂層を形成した後にレーザー照射することにより、ビアホールを備えた絶縁膜を形成する。次いで、無電解メッキまたは電気メッキ等の常用のメッキ法を使用して、コア基板の両面に形成された絶縁膜の表面に、導体メッキ層を全面に形成する。さらに、この導体メッキ層を所望の配線パターンに従ってエッチングすることにより、コア基板上に新たな導体配線が形成される。その後、必要に応じて、上述の絶縁膜の形成から導体配線の形成までの一連の工程を繰り返すことにより、回路の集積度の高い多層配線構造を備えたプリント配線基板が得られる。
【0004】
ビルドアップ配線基板の絶縁樹脂層と、導体としての銅配線とはそのままでは密着性は低いという問題がある。この為、従来の技術として、絶縁樹脂を膨潤液、粗化液、中和液に順次浸漬し、樹脂の表面に微細な凹凸を形成し、この上に無電解銅メッキ、電解銅メッキを順次施して銅膜を形成することでアンカー効果を持たせることにより、密着性が得られている。しかしながら、この物理的なアンカー効果により得られる銅と樹脂との密着性は、多くの樹脂の場合に、JIS-C-6481に準じた90°剥離試験で1kg/cm未満となり、積層プリント基板の絶縁樹脂と銅膜との間で得られる密着性よりも低い。一般的に、当業界においては、ビルドアップ配線基板に対して1kg/cm以上の密着性が求められている。
【0005】
銅配線と絶縁樹脂との間の密着性を向上させる方法としては、上述の物理的アンカー効果に起因するもののほか、銅と樹脂中の構成成分との間の化学的密着性がある。かかる構成成分として、分子レベルでは、公知の技術として、各種の有機化合物が提案されている。そのなかでも、チオール基を2個以上有する複素環状化合物は、銅に対する密着性を高めるものとしての報告例がある。特開平5−158240号公報には、銅との密着性に優れる化合物として、1,3,5−トリメルカプトピリジン、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール等の化合物が提案されている。しかし、これらの化合物は銅との密着性は優れていても絶縁樹脂中に配合されたときに樹脂との密着性が低いため、結果的に絶縁樹脂膜と銅配線との密着性を向上することができない。
【0006】
一方、特開平5−65466号公報には、銅のマイグレーションによる汚染を防止するための銅害防止剤として、6−ジブチルアミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオール、6−フェニルアミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオール等の化合物の使用が提案されている。トリアジンチオール化合物は、金属とキレートを形成する作用により、金属と化学的に結合することにより、銅のマイグレーションを防止するものである。しかしながら、このような化合物を用いたとしても、この化合物と樹脂との密着性が低いために、銅配線と絶縁樹脂膜との高い密着性は得られない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
以上の通り、ビルドアップ配線基板において、絶縁樹脂と銅配線との間に十分な密着性を得ることができる絶縁樹脂組成物は存在しない。本発明はビルドアップ配線基板において、絶縁樹脂と銅配線との間に高い密着性を得ることができる絶縁樹脂組成物を提供するとともに、高い密着性を有するビルドアップ配線基板およびその製造方法を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、エポキシ樹脂、エポキシ硬化剤、および、不飽和エチレン基を有するトリアジンジチオール化合物を含む樹脂組成物が提供される。
さらに、エポキシ樹脂、エポキシ硬化剤、不飽和エチレン基を有するトリアジンジチオール化合物、不飽和エチレン基を有するビニルもしくはアクリル化合物、および、前記不飽和エチレン基の重合を開始するための重合開始剤を含む樹脂組成物が提供される。
さらに、上記組成物において、エポキシ硬化剤がフェノールノボラック型のエポキシ硬化剤または酸無水物である組成物が提供される。
さらに、上記組成物において、不飽和エチレン基を有するトリアジンジチオール化合物が、エポキシ樹脂100重量部に対して0.01〜5重量部である樹脂組成物が提供される。
さらに、配線パターンを有する基板、前記基板上に上記樹脂組成物から得られた絶縁樹脂層および前記絶縁樹脂層の上に銅配線パターンを有する、ビルドアップ配線基板が提供される。
さらに、配線パターンを有する基板上に上記組成物のワニスを塗布すること、このワニスを乾燥しそして硬化させて絶縁樹脂層を形成させること、この絶縁樹脂層に、前記配線パターンと次に形成される銅配線層との間の導通を行うためのビアホールを形成させること、この絶縁樹脂層の上に銅配線層を形成させること、および、この銅配線層を所望のパターンでエッチングして配線パターンを得ることを含む、ビルドアップ配線基板の製造方法が提供される。
さらに、上記銅配線層が、上記絶縁樹脂層を粗化処理した後に、銅を無電解メッキし、次に電解メッキすることにより形成される、ビルドアップ配線基板の製造方法が提供される。
【0009】
本発明の樹脂組成物は不飽和エチレン基を有するトリアジンジチオール化合物(以下において、単に「トリアジンジチオール化合物」とも呼ぶ)を含む。かかる樹脂組成物は銅配線との高い密着性を有する。この高い密着性は、この化合物中のジチオール基が銅とキレートを形成するとともに、不飽和エチレン基が樹脂成分と反応することにより樹脂構造内に取り込まれることによるものと考えられる。不飽和エチレン基を有するトリアジンジチオール化合物としては、下記式
【0010】
【化1】
【0011】
(式中、RはHまたはC1 〜C5 アルキルである)で示されるものが挙げられる。具体的には、Rがそれぞれ、n−プロピルおよび水素である6−(4−ビニルベンジル−n−プロピル)アミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオールおよび6−(4−ビニルベンジル)アミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオールがある。かかる化合物は銅配線と樹脂層との密着性を改良するために十分な量で用いられ、通常、エポキシ樹脂100重量部に対して0.01〜5重量部、好ましくは0.1〜5重量部の量で用いられる。これより多量であると、コストが嵩み、かつ、樹脂の物性が低くなることがあるからである。
【0012】
本発明の組成物はビルドアップ配線基板のための絶縁樹脂として好適なエポキシ樹脂を含む。エポキシ樹脂としては、コア基板の曲げや基板上への部品の実装時に優れた耐クラック性、高い柔軟性および優れた信頼性を示すことができる組成物を提供することができるものである。エポキシ樹脂は好適には脂環式構造を有するエポキシである。特に好適な脂環式エポキシは、EHPE-3150(ダイセル化学) 等のシクロヘキサン骨格の多官能エポキシ樹脂、ERL-4299( ユニオンカーバイド社) 、セロキサイド2021 (ダイセル化学) 、CY-175( チバガイギー社) 、セロキサイド2080( ダイセル化学) 等の脂環式二官能エポキシ、エポリードGT300 等の脂環式三官能エポキシ、エポリードGT400 等の脂環式四官能エポキシおよびそれらの混合物である。
【0013】
エポキシ硬化剤としてはフェノールノボラック樹脂および酸無水物が挙げられる。フェノールノボラック樹脂としては群栄化学製のPSM-4300があり、酸無水物としては新日本理化(株)より販売されるリカシッドHH、リカシッドTMEGがある。エポキシ硬化剤は、通常、エポキシ樹脂成分中に含まれるエポキシ基1当量に対してエポキシ硬化剤の活性水素当量として0.8〜1.1当量となるような配合比で含まれることが望ましい。このような量を用いるとエポキシ硬化物の物性が良好になるからである。
【0014】
本発明の組成物は不飽和エチレン基を有するビニルもしくはアクリル化合物を含んでもよい。かかる化合物は、本発明に用いるトリアジンジチオールのエチレン基と重合反応を起こし、絶縁樹脂構造内にトリアジンチオール化合物を取り込む作用を有する。このような化合物としては、ジフェン酸エステルジアクリレート、ビスフェノールAジエポキシアクリル酸付加物、ビスフェノールFジエポキシアクリル酸付加物、トリメチロールプロパントリアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート等の多官能アクリレートおよびこれらの多官能アクリレートに対応するメタクリレート類、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸イソブチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸イソブチルまたはジアリルフタレート等のモノマーもしくはオリゴマー等を挙げることができる。このような化合物は、使用されるときには、得られるエポキシ硬化物の物性を損なわない範囲の量で含まれ、通常、エポキシ樹脂100重量部当たりに30重量部以下の量で含まれる。
【0015】
本発明の組成物はさらに不飽和エチレン基の重合を開始するための重合開始剤を含んでもよい。重合開始剤としてはα−アミノアルキルフェノンまたはその誘導体、ベンゾインエーテルまたはその誘導体、ケタールまたはその誘導体、アセトフェノンまたはその誘導体、ベンゾフェノンまたはその誘導体、チオキサントンまたはその誘導体、有機過酸化物、N−フェニルグリシン等の熱重合開始剤が挙げられる。重合開始剤は、通常、トリアジンジチオール化合物およびビニルもしくはアクリル化合物の合計量に対して1〜5重量%の量で使用される。
【0016】
本発明の組成物は、一般に、ワニス状組成物として基板上に塗布、含浸される。ワニス状組成物とするのに、本発明の組成物は適当な溶媒を含むことができる。溶媒の例としては、エチレングリコールモノエーテルのようなエーテル類、シクロヘキサンのようなケトン類、アセテートのようなエステル類、トルエン、キシレン等の有機溶剤を挙げることができる。さらに、エポキシ化合物の硬化促進を目的として、トリフェニルホスフィンまたはイミダゾールなどの硬化促進剤を添加してもよい。このような硬化促進剤は、通常、エポキシ樹脂100重量部に対して1〜10重量部の量で添加することができる。また、必要に応じて、種々の添加剤、例えば、シリカ、アルミナ、アエロジルなどの体質顔料、フタロシアニンなどの着色顔料、シリコーンおよびフッ素系化合物からなる消泡剤、レベリング剤、酸化防止剤などを添加することができる。
【0017】
さらに、難燃性が必要なときには、少量のリン系難燃剤を添加することもできる。このようなリン系難燃剤は、リン成分と窒素成分を共存させることで、窒素化合物がリン成分の分解および熱縮合を促進させ、ポリリン酸を生成し、そのポリリン酸がエポキシ樹脂の表面に皮膜を生成し、断熱効果、酸素遮断効果を生じ、その結果、燃焼を防止しようとするものである。本発明の組成物中に使用してよいリン成分としては、トリメチルホスフェート、トリフェニルホスフェート等のリン酸エステルが例示されるが、特にこれらに限定されるものではない。また、リン成分は本発明の組成物中に10重量%以上存在すると吸水しやすくなるため好ましくない。
【0018】
次に、図1にビルドアップ配線基板10の断面図を示す。ビルドアップ配線基板10はコア基板1の両面に多層化された配線回路層12および13を有しており、また、配線回路層12および13は、それぞれ、本発明の樹脂組成物に由来する絶縁膜2および銅配線3が交互に積み重ねられた構成を有している。さらに、基板1には、下層の配線回路12および上層の配線回路13を接続するために、絶縁性樹脂4で穴埋めされたスルーホール5が形成されている。図から理解されるように、配線回路の層間にビルドアップ用の絶縁膜(いわゆる層間絶縁膜)を形成する必要がある。ビルドアップ用の絶縁膜は、上層の配線回路との接続を行うビアホールを除いて、下層の配線回路の全面に形成されている。
【0019】
ビルドアップ配線基板の製造方法
図1に示されるようなビルドアップ配線基板10は以下の通りに製造される。
以下の説明は本発明の方法を例示するものであって、限定しようとするものではない。
(1)コア基板の作製
基板にスルーホール5を形成し、その基板の両面およびスルーホールの内壁に配線パターン3を形成し、さらにスルーホールの内部に絶縁性樹脂4を充填することにより、図2(A)に示すように、両面に配線3を有する積層基板(コア基板1)を作製することができる。
【0020】
(2)絶縁膜の作製
コア基板1の両面に、その全面を覆うようにして本発明の樹脂組成物を被覆する。被覆法としては、スクリーン印刷法、カーテンコート法、ロールコート法、スピンコート法等の方法で塗布しそして乾燥させて、所望の厚さ、例えば、30〜60μmの皮膜を形成させる。次いで、皮膜を硬化させ、そして耐熱性を向上させるために、皮膜を適当な温度、例えば、100〜200℃で加熱する。その後に形成する上層の配線回路と接続すべき箇所、即ち、ビアホール部分に適当な露光量のレーザー光(炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、YAGレーザ等)を照射する。これにより、図2(B)に示すように、ビアホール6を備えた絶縁膜2が形成される。
【0021】
(3)導体(銅)メッキ
続いて、上記の絶縁膜2の上に配線前駆体としての導体を全面に被覆する。この導体被覆工程は、例えば、無電解メッキ、電解メッキ等の常用のメッキ法を用いて行うことができる。また、このメッキ工程の前に、コア基板1を膨潤液、粗化液および中和液に順次浸漬し、絶縁膜2の表面に適当な微細凹凸を形成することが望ましい。絶縁膜2と導体メッキとの密着性がさらに向上するからである。
この工程により、図2(C)に示すように、コア基板1の両面に形成された絶縁膜2の表面に、導体メッキ層7が全面に形成される。
【0022】
(4)配線の形成
導体メッキ層を所望の配線パターンに従ってエッチングする。このパターニング工程は、常用のエッチング法に従って行うことができる。これにより、図4(D)に示すように、導体配線3を備えたコア基板1を形成することができる。さらに、図示していないが、絶縁膜2の形成から導体配線3の形成までの一連の工程を繰り返すことにより、図1に示したような多層のビルドアップ配線基板10が得られる。
【0023】
次に、本発明をさらに具体的に説明するために実施例を示すとともに、本発明の効果を比較例との対比において示す。なお、本発明がこれらの実施例に限定されるものでないということは言うまでもない。
【0024】
実施例1
シクロヘキサン骨格の脂環式エポキシ樹脂(EHPE-3150、ダイセル化学)60重量部、セロキサイド2080(ダイセル化学)40重量部、フェノールノボラック樹脂(PSM-4300 、群栄化学)60重量部、2−メチル−4−エチル−イミダゾール(四国化成)4重量部、シリカ粉末30重量部および6−(4−ビニルベンジル−n−プロピル)アミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオール5重量部をジオキサン150重量部中に溶解し、塗液を調製した。
調製した組成物を、銅箔基板上に50μmの厚さ(乾燥後の膜厚)にドクターブレード法により塗布し、次いで、120℃で20分間加熱して乾燥し、さらに170℃で60分間加熱して硬化させた後に室温まで放冷した。
次いで、このようにして得られた絶縁膜を有する基板を、前処理剤(シプレー製、コンディショナー、65℃、10分間)、酸化剤(スプレー製、プロモーター、75℃、10分間)、中和剤(シプレー製、ニュートライザー、60℃、10分間)に順次浸漬した。
次いで、樹脂膜上に無電解銅メッキおよび電解銅メッキをそれぞれ0.5μmおよび30μmの厚さで施し、合計で約30μmの厚さの導体層を形成した。
樹脂膜と導体層との密着性を測定するために、上記の通りに得られた導体層のピール強度をJISの「プリント配線板用銅張積層板試験方法C6481」に準じて測定した。導体層の90°ピール強度は1.0kg/cmであった。
【0025】
比較例1
シクロヘキサン骨格の脂環式エポキシ樹脂(EHPE-3150、ダイセル化学)60重量部、セロキサイド2080(ダイセル化学)40重量部、フェノールノボラック樹脂(PSM-4300 、群栄化学)60重量部、2−メチル−4−エチル−イミダゾール(四国化成)4重量部、シリカ粉末30重量部をジオキサン150重量部中に溶解し、塗液を調製した。
調製した組成物を、実施例1と同様に成膜し、上記の前処理剤、酸化剤および中和剤に順次浸漬した後に、無電解銅メッキおよび電解銅メッキをそれぞれ0.5μmおよび30μmの厚さで施し、合計で約30μmの厚さの導体層を樹脂膜上に形成した。
実施例1と同一の試験法により測定して、導体層の90°ピール強度は0.75kg/cmであった。
【0026】
実施例2
比較例1で作製した塗液を銅箔基板上に乾燥後の膜厚が50μmとなるように塗布し、100℃で10分間乾燥した。次いで、実施例1で作製した塗液を乾燥後の膜厚が2μmとなるように塗布し、120℃で20分間加熱乾燥し、170℃で60分間加熱して硬化させた後に室温まで放冷した。
この上に実施例1と同様にして30μmの厚さの導体層を形成し、導体層の90°ピール強度を測定したところ、1.0kg/cmであった。この結果は、銅導体層と接触する絶縁膜の表面層のみに本発明の樹脂組成物を用いたときにも、樹脂膜と導体層との密着性が向上することを示す。
【0027】
実施例3
シクロヘキサン骨格の脂環式エポキシ樹脂(EHPE-3150、ダイセル化学)60重量部、セロキサイド2080(ダイセル化学)40重量部、フェノールノボラック樹脂(PSM-4300 、群栄化学)60重量部、2−メチル−4−エチル−イミダゾール(四国化成)4重量部、シリカ粉末30重量部、ビスフェノールA−ジエポキシ−アクリル酸付加物(大阪有機化学)30重量部、N−フェニルグリシン0.6重量部および6−(4−ビニルベンジル−n−プロピル)アミノ−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオール5重量部をジオキサン180重量部中に溶解し、塗液を調製した。
調製した組成物を、銅箔基板上に50μmの厚さ(乾燥後の膜厚)にドクターブレード法により塗布し、次いで、120℃で20分間加熱して乾燥し、さらに170℃で60分間加熱して硬化させた後に室温まで放冷した。
次いで、このようにして得られた絶縁膜を有する基板を、前処理剤(シプレー製、コンディショナー、65℃、10分間)、酸化剤(スプレー製、プロモーター、75℃、10分間)、中和剤(シプレー製、ニュートライザー、60℃、10分間)に順次浸漬した。
次いで、樹脂膜上に無電解銅メッキおよび電解銅メッキをそれぞれ0.5μmおよび30μmの厚さで施し、合計で約30μmの厚さの導体層を形成した。
実施例1と同様に、導体層の90°ピール強度を測定したところ、1.1kg/cmであった。
【0028】
本発明の樹脂組成物を使用することにより、樹脂と銅導体との密着性に優れたビルドアップ配線基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ビルドアップ配線基板の断面図を示す。
【図2】ビルドアップ配線基板の製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
1…コア基板
2…絶縁膜
3…配線パターン
4…絶縁性樹脂
5…スルーホール
6…ビアホール
7…導体メッキ層
10…ビルドアップ配線基板
12…配線回路
13…配線回路[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a resin composition for producing a build-up wiring board, a build-up wiring board using the composition, and a method for producing the same.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a printed circuit board is generally used in order to incorporate an electronic component into an electronic device in a compact manner. In recent years, along with demands for downsizing, higher performance, and lower prices for electronic devices, miniaturization of printed wiring boards, multilayering, and high-density mounting of electronic components have rapidly progressed, and builds on printed wiring boards Studies on wiring boards having an up-multilayer wiring structure are being actively conducted. This wiring board includes a plurality of conductor wirings stacked on the board, and an insulating film (so-called interlayer insulating film) exists between the conductor wirings. In order to establish conduction between such a plurality of wirings, fine holes called via holes are formed in the insulating film. The via hole can be formed by a photolithography technique using a photosensitive resin, or can be formed by irradiating a laser.
[0003]
In general, a printed wiring board (build-up wiring board) having a build-up multilayer wiring structure is manufactured according to the following procedure. First, a double-sided wiring board having a wiring pattern and a through hole filled therein is prepared as a core substrate. An insulating film with via holes is formed by applying a photosensitive resin on both sides of the core substrate, exposing and developing, or by irradiating with a laser after forming a resin layer for the insulating film. To do. Next, a conductor plating layer is formed on the entire surface of the insulating film formed on both surfaces of the core substrate using a conventional plating method such as electroless plating or electroplating. Furthermore, a new conductor wiring is formed on the core substrate by etching the conductor plating layer according to a desired wiring pattern. Thereafter, if necessary, a series of steps from the formation of the insulating film to the formation of the conductor wiring is repeated, thereby obtaining a printed wiring board having a multilayer wiring structure with a high degree of circuit integration.
[0004]
There is a problem that the adhesiveness is low if the insulating resin layer of the build-up wiring board and the copper wiring as a conductor are left as they are. For this reason, as a conventional technique, an insulating resin is immersed in a swelling liquid, a roughening liquid, and a neutralizing liquid in order to form fine irregularities on the surface of the resin, and then electroless copper plating and electrolytic copper plating are sequentially formed thereon. Adhesion is obtained by giving an anchor effect by forming a copper film. However, the adhesion between the copper and the resin obtained by this physical anchor effect is less than 1 kg / cm in the 90 ° peel test according to JIS-C-6481 in the case of many resins. It is lower than the adhesion obtained between the insulating resin and the copper film. In general, in the industry, an adhesion of 1 kg / cm or more is required for a build-up wiring board.
[0005]
As a method for improving the adhesion between the copper wiring and the insulating resin, there is a chemical adhesion between copper and a constituent component in the resin in addition to the above-described physical anchor effect. As such components, various organic compounds have been proposed as known techniques at the molecular level. Among them, there is a report example that a heterocyclic compound having two or more thiol groups improves adhesion to copper. JP-A-5-158240 proposes compounds such as 1,3,5-trimercaptopyridine and 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole as compounds having excellent adhesion to copper. Yes. However, even though these compounds have excellent adhesion to copper, they have low adhesion to the resin when blended in the insulating resin, resulting in improved adhesion between the insulating resin film and the copper wiring. I can't.
[0006]
On the other hand, in JP-A-5-65466, 6-dibutylamino-1,3,5-triazine-2,4-dithiol, 6-phenyl is used as a copper damage prevention agent for preventing contamination due to copper migration. The use of compounds such as amino-1,3,5-triazine-2,4-dithiol has been proposed. The triazine thiol compound prevents migration of copper by chemically bonding to the metal by the action of forming a chelate with the metal. However, even if such a compound is used, high adhesion between the copper wiring and the insulating resin film cannot be obtained due to low adhesion between the compound and the resin.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, in the build-up wiring board, there is no insulating resin composition capable of obtaining sufficient adhesion between the insulating resin and the copper wiring. The present invention provides an insulating resin composition capable of obtaining high adhesion between an insulating resin and a copper wiring in a build-up wiring board, and also provides a build-up wiring board having high adhesion and a method for manufacturing the same. To do.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, there is provided a resin composition comprising an epoxy resin, an epoxy curing agent, and a triazine dithiol compound having an unsaturated ethylene group.
Further, an epoxy resin, an epoxy curing agent, a triazine dithiol compound having an unsaturated ethylene group, a vinyl or acrylic compound having an unsaturated ethylene group, and a polymerization initiator for initiating polymerization of the unsaturated ethylene group A composition is provided.
Further, in the above composition, a composition is provided wherein the epoxy curing agent is a phenol novolac type epoxy curing agent or acid anhydride.
Furthermore, the said composition WHEREIN: The resin composition whose triazine dithiol compound which has an unsaturated ethylene group is 0.01-5 weight part with respect to 100 weight part of epoxy resins is provided.
Furthermore, a substrate having a wiring pattern, an insulating resin layer obtained from the resin composition on the substrate, and a build-up wiring substrate having a copper wiring pattern on the insulating resin layer are provided.
Furthermore, applying a varnish of the above composition on a substrate having a wiring pattern, drying and curing the varnish to form an insulating resin layer, and forming the wiring pattern and the wiring pattern on the insulating resin layer. Forming a via hole for conducting electrical connection with the copper wiring layer, forming a copper wiring layer on the insulating resin layer, and etching the copper wiring layer with a desired pattern to form a wiring pattern A method for manufacturing a build-up wiring board is provided.
Furthermore, there is provided a method for manufacturing a build-up wiring board, in which the copper wiring layer is formed by subjecting the insulating resin layer to a roughening treatment, followed by electroless plating of copper and then electrolytic plating.
[0009]
The resin composition of the present invention contains a triazine dithiol compound having an unsaturated ethylene group (hereinafter, also simply referred to as “triazine dithiol compound”). Such a resin composition has high adhesion to copper wiring. This high adhesion is considered to be due to the dithiol group in this compound forming a chelate with copper and the unsaturated ethylene group being incorporated into the resin structure by reacting with the resin component. As the triazine dithiol compound having an unsaturated ethylene group, the following formula:
[Chemical 1]
[0011]
(Wherein R is H or C 1 -C 5 alkyl). Specifically, 6- (4-vinylbenzyl-n-propyl) amino-1,3,5-triazine-2,4-dithiol and 6- (4-vinyl, where R is n-propyl and hydrogen, respectively. Benzyl) amino-1,3,5-triazine-2,4-dithiol. Such a compound is used in an amount sufficient to improve the adhesion between the copper wiring and the resin layer, and is usually 0.01 to 5 parts by weight, preferably 0.1 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin. Used in parts quantity. If the amount is larger than this, the cost increases and the physical properties of the resin may be lowered.
[0012]
The composition of the present invention contains an epoxy resin suitable as an insulating resin for a build-up wiring board. The epoxy resin can provide a composition that can exhibit excellent crack resistance, high flexibility, and excellent reliability when the core substrate is bent or a component is mounted on the substrate. The epoxy resin is preferably an epoxy having an alicyclic structure. Particularly suitable cycloaliphatic epoxies are polyfunctional epoxy resins having a cyclohexane skeleton such as EHPE-3150 (Daicel Chemical), ERL-4299 (Union Carbide), Celoxide 2021 (Daicel Chemical), CY-175 (Ciba Geigy), An alicyclic bifunctional epoxy such as Celoxide 2080 (Daicel Chemical), an alicyclic trifunctional epoxy such as Epolide GT300, an alicyclic tetrafunctional epoxy such as Epolide GT400, and a mixture thereof.
[0013]
Examples of epoxy curing agents include phenol novolac resins and acid anhydrides. Phenol novolac resins include PSM-4300 manufactured by Gunei Chemical Co., and acid anhydrides include Ricacid HH and Ricacid TMEG sold by Shin Nippon Rika Co., Ltd. It is desirable that the epoxy curing agent is usually contained in a compounding ratio such that the active hydrogen equivalent of the epoxy curing agent is 0.8 to 1.1 equivalents with respect to 1 equivalent of the epoxy group contained in the epoxy resin component. This is because when such an amount is used, the physical properties of the epoxy cured product are improved.
[0014]
The composition of the present invention may comprise a vinyl or acrylic compound having an unsaturated ethylene group. Such a compound has a function of causing a polymerization reaction with the ethylene group of the triazine dithiol used in the present invention and incorporating the triazine thiol compound into the insulating resin structure. Such compounds include diphenic acid ester diacrylate, bisphenol A diepoxyacrylic acid adduct, bisphenol F diepoxyacrylic acid adduct, trimethylolpropane triacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, pentaerythritol tetraacrylate. And other polyfunctional acrylates and methacrylates corresponding to these polyfunctional acrylates, methyl acrylate, methyl methacrylate, propyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, methyl methacrylate, propyl methacrylate, n methacrylate -Monomers or oligomers such as butyl, isobutyl methacrylate or diallyl phthalate. When such a compound is used, it is contained in an amount that does not impair the physical properties of the resulting cured epoxy product, and is usually contained in an amount of 30 parts by weight or less per 100 parts by weight of the epoxy resin.
[0015]
The composition of the present invention may further contain a polymerization initiator for initiating polymerization of unsaturated ethylene groups. As polymerization initiators, α-aminoalkylphenone or derivatives thereof, benzoin ether or derivatives thereof, ketal or derivatives thereof, acetophenone or derivatives thereof, benzophenone or derivatives thereof, thioxanthone or derivatives thereof, organic peroxide, N-phenylglycine, etc. The following thermal polymerization initiators may be mentioned. The polymerization initiator is usually used in an amount of 1 to 5% by weight based on the total amount of the triazine dithiol compound and the vinyl or acrylic compound.
[0016]
The composition of the present invention is generally applied and impregnated on a substrate as a varnish-like composition. In order to obtain a varnish-like composition, the composition of the present invention may contain a suitable solvent. Examples of the solvent include ethers such as ethylene glycol monoether, ketones such as cyclohexane, esters such as acetate, and organic solvents such as toluene and xylene. Furthermore, for the purpose of accelerating the curing of the epoxy compound, a curing accelerator such as triphenylphosphine or imidazole may be added. Such a curing accelerator can be usually added in an amount of 1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin. In addition, various additives such as extender pigments such as silica, alumina and aerosil, colored pigments such as phthalocyanine, antifoaming agents composed of silicone and fluorine compounds, leveling agents and antioxidants are added as necessary. can do.
[0017]
Furthermore, when flame retardancy is required, a small amount of phosphorus-based flame retardant can be added. Such a phosphorus flame retardant coexists with a phosphorus component and a nitrogen component, so that the nitrogen compound promotes decomposition and thermal condensation of the phosphorus component to produce polyphosphoric acid, and the polyphosphoric acid is coated on the surface of the epoxy resin. This produces a heat insulation effect and an oxygen blocking effect, and as a result, attempts to prevent combustion. Examples of the phosphorus component that may be used in the composition of the present invention include phosphate esters such as trimethyl phosphate and triphenyl phosphate, but are not particularly limited thereto. Further, if the phosphorus component is present in the composition of the present invention in an amount of 10% by weight or more, it is not preferable because it easily absorbs water.
[0018]
Next, FIG. 1 shows a cross-sectional view of the build-up
[0019]
Manufacturing method of build-up wiring board The build-up
The following description is illustrative of the method of the present invention and is not intended to be limiting.
(1) Fabrication of a core substrate Through
[0020]
(2) Production of Insulating Film The resin composition of the present invention is coated on both surfaces of the
[0021]
(3) Conductor (copper) plating Subsequently, a conductor as a wiring precursor is coated on the entire surface of the insulating
By this step, as shown in FIG. 2C, the
[0022]
(4) Formation of wiring The conductor plating layer is etched according to a desired wiring pattern. This patterning step can be performed according to a conventional etching method. Thereby, as shown in FIG. 4D, the
[0023]
Next, in order to describe the present invention more specifically, examples are shown, and the effects of the present invention are shown in comparison with comparative examples. Needless to say, the present invention is not limited to these examples.
[0024]
Example 1
60 parts by weight of cyclohexane alicyclic epoxy resin (EHPE-3150, Daicel Chemical), 40 parts by weight of Celoxide 2080 (Daicel Chemical), 60 parts by weight of phenol novolac resin (PSM-4300, Gunei Chemical), 2-methyl- 4 parts by weight of 4-ethyl-imidazole (Shikoku Kasei), 30 parts by weight of silica powder and 5 parts by weight of 6- (4-vinylbenzyl-n-propyl) amino-1,3,5-triazine-2,4-dithiol Dissolved in 150 parts by weight of dioxane to prepare a coating solution.
The prepared composition was applied on a copper foil substrate to a thickness of 50 μm (film thickness after drying) by the doctor blade method, then dried by heating at 120 ° C. for 20 minutes, and further heated at 170 ° C. for 60 minutes. And then allowed to cool to room temperature.
Next, the substrate having the insulating film thus obtained was subjected to a pretreatment agent (manufactured by Shipley, conditioner, 65 ° C., 10 minutes), oxidizing agent (manufactured by spray, promoter, 75 ° C., 10 minutes), neutralizing agent. (Shipley, Neutriser, 60 ° C., 10 minutes) was sequentially immersed.
Next, electroless copper plating and electrolytic copper plating were applied on the resin film to a thickness of 0.5 μm and 30 μm, respectively, to form a conductor layer having a total thickness of about 30 μm.
In order to measure the adhesion between the resin film and the conductor layer, the peel strength of the conductor layer obtained as described above was measured in accordance with JIS "Copper Clad Laminate Test Method for Printed Wiring Board C6481". The 90 ° peel strength of the conductor layer was 1.0 kg / cm.
[0025]
Comparative Example 1
60 parts by weight of cyclohexane alicyclic epoxy resin (EHPE-3150, Daicel Chemical), 40 parts by weight of Celoxide 2080 (Daicel Chemical), 60 parts by weight of phenol novolac resin (PSM-4300, Gunei Chemical), 2-methyl- A coating solution was prepared by dissolving 4 parts by weight of 4-ethyl-imidazole (Shikoku Kasei) and 30 parts by weight of silica powder in 150 parts by weight of dioxane.
The prepared composition was formed into a film in the same manner as in Example 1 and immersed in the above pretreatment agent, oxidizing agent and neutralizing agent in turn, and then electroless copper plating and electrolytic copper plating were applied to 0.5 μm and 30 μm, respectively. A conductive layer having a total thickness of about 30 μm was formed on the resin film.
As measured by the same test method as in Example 1, the 90 ° peel strength of the conductor layer was 0.75 kg / cm.
[0026]
Example 2
The coating solution prepared in Comparative Example 1 was applied on a copper foil substrate so that the film thickness after drying was 50 μm, and dried at 100 ° C. for 10 minutes. Next, the coating liquid prepared in Example 1 was applied so that the film thickness after drying was 2 μm, dried by heating at 120 ° C. for 20 minutes, cured by heating at 170 ° C. for 60 minutes, and then allowed to cool to room temperature. did.
A conductor layer having a thickness of 30 μm was formed thereon in the same manner as in Example 1, and the 90 ° peel strength of the conductor layer was measured and found to be 1.0 kg / cm. This result shows that the adhesion between the resin film and the conductor layer is improved even when the resin composition of the present invention is used only for the surface layer of the insulating film in contact with the copper conductor layer.
[0027]
Example 3
60 parts by weight of cyclohexane alicyclic epoxy resin (EHPE-3150, Daicel Chemical), 40 parts by weight of Celoxide 2080 (Daicel Chemical), 60 parts by weight of phenol novolac resin (PSM-4300, Gunei Chemical), 2-methyl- 4-ethyl-imidazole (Shikoku Kasei) 4 parts by weight, silica powder 30 parts by weight, bisphenol A-diepoxy-acrylic acid adduct (Osaka Organic Chemical) 30 parts by weight, N-phenylglycine 0.6 part by weight and 6- ( 4-vinylbenzyl-n-propyl) amino-1,3,5-triazine-2,4-
The prepared composition was applied on a copper foil substrate to a thickness of 50 μm (film thickness after drying) by the doctor blade method, then dried by heating at 120 ° C. for 20 minutes, and further heated at 170 ° C. for 60 minutes. And then allowed to cool to room temperature.
Next, the substrate having the insulating film thus obtained was subjected to a pretreatment agent (manufactured by Shipley, conditioner, 65 ° C., 10 minutes), oxidizing agent (manufactured by spray, promoter, 75 ° C., 10 minutes), neutralizing agent. (Shipley, Neutriser, 60 ° C., 10 minutes) was sequentially immersed.
Next, electroless copper plating and electrolytic copper plating were applied on the resin film to a thickness of 0.5 μm and 30 μm, respectively, to form a conductor layer having a total thickness of about 30 μm.
As with Example 1, the 90 ° peel strength of the conductor layer was measured and found to be 1.1 kg / cm.
[0028]
By using the resin composition of this invention, the buildup wiring board excellent in the adhesiveness of resin and a copper conductor can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows a cross-sectional view of a build-up wiring board.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of a build-up wiring board.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (4)
エポキシ硬化剤と、
次式により表される、不飽和エチレン基を有するトリアジンジチオール化合物:
An epoxy curing agent,
A triazine dithiol compound having an unsaturated ethylene group represented by the following formula:
前記基板の上方に配置された、エポキシ樹脂と、エポキシ硬化剤と、次式により表される、不飽和エチレン基を有するトリアジンジチオール化合物:
前記絶縁樹脂層の上方に配置された銅配線パターンと
を有することを特徴とするビルドアップ配線基板。A substrate having a wiring pattern;
An epoxy resin, an epoxy curing agent, and a triazine dithiol compound having an unsaturated ethylene group, represented by the following formula, disposed above the substrate:
A build-up wiring board comprising: a copper wiring pattern disposed above the insulating resin layer.
前記ワニスを乾燥し、硬化させて絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記絶縁樹脂層に、前記第1の配線パターンを露出するビアホールを形成する工程と、
前記絶縁樹脂層の上方に、前記ビアホールを覆う銅配線層を形成する工程と、
前記銅配線層を所望のパターンでエッチングして、前記第1の配線パターンと導通する第2の配線パターンを得る工程と
を有することを特徴とするビルドアップ配線基板の製造方法。On the substrate having the first wiring pattern, an epoxy resin, an epoxy curing agent, and a triazine dithiol compound having an unsaturated ethylene group represented by the following formula:
Drying and curing the varnish to form an insulating resin layer;
Forming a via hole in the insulating resin layer to expose the first wiring pattern;
Forming a copper wiring layer covering the via hole above the insulating resin layer;
Etching the copper wiring layer with a desired pattern to obtain a second wiring pattern that is electrically connected to the first wiring pattern.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34668699A JP4648508B2 (en) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | Resin composition and build-up wiring board using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34668699A JP4648508B2 (en) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | Resin composition and build-up wiring board using the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001164093A JP2001164093A (en) | 2001-06-19 |
JP4648508B2 true JP4648508B2 (en) | 2011-03-09 |
Family
ID=18385137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34668699A Expired - Fee Related JP4648508B2 (en) | 1999-12-06 | 1999-12-06 | Resin composition and build-up wiring board using the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4648508B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005086071A (en) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Hitachi Chem Co Ltd | Multi-layer wiring board, semiconductor chip mounting board, semiconductor package, and manufacturing method thereof |
JP2006045388A (en) * | 2004-08-05 | 2006-02-16 | Kaneka Corp | Insulating adhesive sheet and its application |
WO2024048612A1 (en) * | 2022-08-31 | 2024-03-07 | 株式会社クレハ | Curable composition, cured product, and method for producing cured product |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53118499A (en) * | 1977-03-25 | 1978-10-16 | Sankyo Kasei Kk | Manufacture of composite material |
JPH01206686A (en) * | 1988-02-15 | 1989-08-18 | Toshiba Chem Corp | Printed wiring board |
JPH026573A (en) * | 1988-06-27 | 1990-01-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | Corrosion-resistant coating material |
JPH02269788A (en) * | 1989-04-12 | 1990-11-05 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | Adhesive composition for additive-process printed wiring board |
JPH0722718A (en) * | 1993-07-06 | 1995-01-24 | Hitachi Chem Co Ltd | Epoxy resin composition for printed wiring board, manufacture of prepreg for printed wiring board, and manufacture of composite laminated sheet |
JP2000244131A (en) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Ibiden Co Ltd | Printed wiring board and its manufacture |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2567357B2 (en) * | 1987-08-25 | 1996-12-25 | 東芝ケミカル株式会社 | PCB for printed wiring |
-
1999
- 1999-12-06 JP JP34668699A patent/JP4648508B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53118499A (en) * | 1977-03-25 | 1978-10-16 | Sankyo Kasei Kk | Manufacture of composite material |
JPH01206686A (en) * | 1988-02-15 | 1989-08-18 | Toshiba Chem Corp | Printed wiring board |
JPH026573A (en) * | 1988-06-27 | 1990-01-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | Corrosion-resistant coating material |
JPH02269788A (en) * | 1989-04-12 | 1990-11-05 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | Adhesive composition for additive-process printed wiring board |
JPH0722718A (en) * | 1993-07-06 | 1995-01-24 | Hitachi Chem Co Ltd | Epoxy resin composition for printed wiring board, manufacture of prepreg for printed wiring board, and manufacture of composite laminated sheet |
JP2000244131A (en) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Ibiden Co Ltd | Printed wiring board and its manufacture |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001164093A (en) | 2001-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20010082311A (en) | Multilayer printed-circuit board and semiconductor device | |
JP2004514173A (en) | Positive photosensitive epoxy resin composition and printed circuit board using the same | |
US8409982B2 (en) | Method of forming solid blind vias through the dielectric coating on high density interconnect (HDI) substrate materials | |
KR100776725B1 (en) | Thermosetting epoxy resin composition, its formed article and multilayer printed circuit board | |
KR20070041953A (en) | Method for forming board | |
JP2000017148A (en) | Thermosetting resin composition and interlaminar adhesive film for printed wiring board using the same | |
US6156870A (en) | Resin composition which can be cured by application of heat or irradiation of light, film, laminate and production of multilayer wiring board | |
KR100417544B1 (en) | A method for adding layers to a PWB which yields high levels of copper to dielectric adhesion | |
JP4648508B2 (en) | Resin composition and build-up wiring board using the same | |
JP2003264370A (en) | Multilayered printed wiring board, its manufacturing method and resin sheet with copper foil for printed wiring board for use in the method | |
JP2001283639A (en) | Insulating resin composition for build-up substrate | |
JPH1154938A (en) | Multilayered wiring board | |
JP4592929B2 (en) | Multilayer circuit board | |
JPH11171975A (en) | Thermosetting resin composition | |
JP2004240233A (en) | Solder resist composition, circuit board and method for manufacturing the same | |
JP4535559B2 (en) | Multilayer printed wiring board | |
JP4530469B2 (en) | Multilayer printed wiring board and method for producing multilayer printed wiring board | |
JPH10335834A (en) | Multilayered wiring board | |
JP4051587B2 (en) | Method for producing multilayer wiring board using resin composition curable by heat or light | |
JPH10224034A (en) | Resin-filling agent and multilayer printed wiring board | |
JP2001291961A (en) | Multilayered printed wiring board and producing method therefor | |
JP2002134880A (en) | Manufacturing method of printed wiring board | |
JP2001223469A (en) | Buildup wiring board and its manufacturing method | |
JP2001348417A (en) | Insulating resin composition for build-up substrate | |
JPH0715139A (en) | Manufacture of multilayer wiring board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061006 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100525 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101130 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101210 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |