JP4644189B2 - ポンプ装置及びそのポンプユニット - Google Patents
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Description
2 平板
3 壁面
4 流路
5 低温側の平板(低温物体)
5a 前端部
5b 後端部
6 高温側の平板(高温物体)
6a 前端部
6b 後端部
7 円筒体(平板)
11 楕円管
12 楕円柱
13、14、18 低温物体
15、16、17 高温物体
20 真空ポンプ
21 ポンプユニット
22 フランジ
23 低温平板群
24 高温平板群
25 フランジの中空部
28 フィン取付溝
33 通水孔(冷媒流路)
36 冷却フィン(低温側の平板)
40 ヒーターユニット
41 フレーム
42 発熱体
43 支持機構
45 加熱フィン(高温側の平板)
51 断熱部材
52 ワイヤ
53 支持リング
55 フローティング機構
60 ポンプハウジング
61 内部流路
62 冷却水通路
65 ヒーター電源
66 冷却水供給装置
70 発熱部
71 熱源
80 第1のガス透過性シート(低温部)
81 第2のガス透過性シート(高温部)
90 排気ポンプ
91 開閉弁
92 真空タンク
C 低温平板群(低温部)
H 高温平板群(高温部)
本発明の一形態に係るポンプ装置の理解のため、まず熱尖端流の一例について説明する。図1Aに示すように、温度T0の正方形状の容器1の中央部に温度T1の平板2が置かれている場合を考える。図1Bは容器1内の流れに関する数値シミュレーションによって得られた流れベクトル及び等温線の様子を示している。但し、図1Bに示した平板2の中心に原点を置き、平板2と直交する方向にX1軸を、平板2と平行な方向にX2軸を設定したときの第一象限の部分のみを図1Bに示している。また、ここに示す数値シミュレーション結果は、T1/T0=5、容器1内における気体分子の平均自由行程が平板2の幅の5%に相当する場合である。図1Bによれば、平板2の尖端部2aの付近において、気体の温度が急激に変化し、その低温側から高温側へ向かう流れが生じていることが判る。このような流れが熱尖端流である。
上記の形態では、低温物体及び高温物体のいずれもが、流れ方向の長さに比して厚さが十分に小さい平板状に形成されている。しかしながら、熱尖端流を生じさせる低温物体及び高温物体はこのような平板状のものに限られない。上述したように、熱尖端流を生じさせるためには、気体中に固体境界となるべき物体が存在し、かつ、固体境界上のある点(点Aとする。)に到着する気体分子を考えたときに、点Aを含み、物体の表面(壁面)に垂直な面の一方の側から飛来する気体分子の平均速度と他方の側から飛来する気体分子の平均速度との間に差があればよい。このような条件を満たす限りにおいて、低温物体及び高温物体は様々な形状に形成することが可能である。以下、低温物体又は高温物体を変更した他の形態について説明する。
次に実験例を説明する。図5に示した実施例の真空ポンプ20を実際に作成し、図15に示す試験装置100によりその性能を確認した。試験装置100においては、真空ポンプ20の排気側(図において左側)に気体導入装置101及び排気ポンプ102(例えば油回転真空ポンプ)を接続して排気口の圧力を制御可能とし、吸気側には別の気体導入装置103を設置して真空ポンプ20の吸気口から内部を通って流れる気体の流量(あるいは吸気口の圧力)を制御可能とした。真空ポンプ20の吸気側及び排気側にはそれぞれ圧力計104、105を設置した。なお、真空ポンプ20におけるポンプユニット21の個数は10とした。
本発明は以上の実施例に限定されることなく、種々の変形が可能である。以下に他の実施例を説明する。但し、以下の図においては、図2Aとの共通部分に同一の参照符号を使用する。
本発明のポンプ装置の性能を評価するため、本発明のポンプ装置をモデル化して流れを解析した結果を以下に説明する。
解析対象のポンプモデルの形状を図21A、図21Bに示す。このモデルはポンプユニットの2次元モデルの全体である。この形状をポンプ装置の1ユニットと考えて数値解析を行う。ユニットの長さはL、ユニットの径(領域の高さ)はDである。ユニットの内壁の表面温度をT0とする。ユニットの片方の端部(図中の左端部)は、流路に平行な複数の平板(温度T0、幅dL/2)によってn等分されている。これらの平板よりもユニット中央側の部分に、流路に平行なn枚の平板(温度T1、幅dL/2)が、温度T0の平板と互いに食い違うように配置されている。温度T0、T1の2種類の平板群全体は、流路方向に長さbLであるとする。従って、b>dであれば、図に示すように、2種類の平板群が互いに食い込んだ形になる。
(A)ポンプユニットの両端の温度、圧力を等しくした場合に得られる流量、及び
(B)ポンプユニットで流量が0となる場合のユニット両端の圧力差、
を1番目の問題(問題1)として調べる。
解析にあたって、次の仮定をおく。
・気体の振舞は、剛体球分子ボルツマン(Boltzmann)方程式に従う。
・固体境界面では、気体分子は拡散反射を行う。
・温度比Tr=T1/T0
・希薄度Kn=l0/D′
・基本領域の縦横比L/D′
(あるいは、領域の縦横比L/D(=(1/n)×(L/D′))
・流路数n
・駆動部分の長さd
・平板の重なりs
ここに、l0は温度T0、密度ρ0の静止した平衡状態にある気体における分子の平均自由行程である。
・温度比Tr=T1/T0
・希薄度Kn=l0/D′
・領域の縦横比L/D′
・駆動部分の長さd
・平板の重なりs
ポンプユニット両端で周期境界条件を与え、ユニット内部で得られる質量流量Mfを求める。これは、ポンプの両端で圧力が等しい場合に対応する。このとき、ポンプで得られる最大の質量流量が求められる。質量流量は、次のように定める。
次に、基本ユニットで得られる圧力比を求める。ユニットをm個連結し、両端を拡散反射壁で塞いで計算を行う。計算は、L/D′=5、n=10、Tr=3、d=0.6、s=0.1で行う。
以上に説明したポンプ装置を実用化する場合の最小限の構成を図36に示す。この例では、真空ポンプ20に電力、熱等のエネルギーを与えて吸気口から排気口へと気体を流しつつ余剰の熱を排熱するものである。図37は真空ポンプ20の排気側に別の排気ポンプ90を追加的に接続した例である。この例では排気ポンプ90を作動させて真空ポンプ20内の圧力を低下させつつ、ポンプ装置20にエネルギーを与えて熱尖端流によるポンプ作用を効率よく引き出すことができる。排気ポンプ90としては油回転ポンプ等の公知のポンプを利用してよい。ポンプ装置90から生じる汚染・振動が問題になる場合、図38に示すように真空ポンプ20と排気ポンプ90との間に開閉弁91を設け、その上流側に真空タンク92を接続してもよい。この例では、開閉弁91を開いて排気ポンプ90を作動させることにより真空ポンプ20及び真空タンク92の圧力を低下させ、その後、開閉弁91を閉じて真空ポンプ20にエネルギーを与えることにより、熱尖端流によるポンプ作用を生じさせてその真空ポンプ20からの排気を真空タンク92に導く。真空タンク92の圧力が上昇して真空ポンプ20の動作が止まるまでの間、汚染・振動なく吸気口から気体を取り込むことができる。
この分野では低圧下で微細な加工、観察を行うことが多い。本発明のポンプ装置は、運動する部品はもとより、油などの液体、蒸気、あるいはワックス状物質を必要としないため、他の形式の真空ポンプで見られる振動、汚染を全く発生しない。これは、表面物性の観察などを行う場合、非常に重要な特性である。さらに、ポンプ装置の吸気口と排気口との間が完全に塞がれることがないため、圧力が異なる領域間にリンク等の運動伝達部材やケーブル等の情報伝達部材を配置して運動や情報の伝達を行える利点がある。
本発明のポンプ装置は運動部分が存在しないので、大口径、大排気量のポンプ装置を容易に実現することができる。
本発明のポンプ装置は構造が単純で運動する部分が存在しないため、メンテナンスの必要性も少ない。従って、原子炉内や宇宙空間のような極限環境に関連する分野への適合性が高い。
本発明のポンプ装置は熱源があれば動作する特性を有している。従って、これらの分野においては、太陽光や化学反応等による各種のエネルギー源を利用することが考えられる。核融合装置では低温が常用されるため、その低温と常温との温度差を利用して平板群に温度差を生じさせてもよい。
クヌーセンコンプレッサは、気体分子の平均自由行程に比例してスケールを変更すれば同様に動作する。構造が単純なために微細化も容易であり、常圧から高圧下で動作する微細なポンプシステムを実現することもできる。
本発明のポンプ装置は、汚染を発生させずに、低圧の気体や蒸気に流れを発生させることができる。この特徴を用いれば、真空凍結乾燥工程(フリーズドライ)において素材を汚染することなく素材の周囲の低圧蒸気を制御したり、真空槽内部で薄膜の製作や金属加工を行う場合に、真空装置内の気体流を制御することも可能である。
Claims (15)
- 気体の流路を横断する方向に間隔を空けて並べられた複数の低温物体を有する低温部と、前記流路を横断する方向に間隔を空けて並べられた複数の高温物体を有する高温部と、前記低温部よりも前記高温部が高温となるように前記低温部又は前記高温部の少なくともいずれか一方の温度を操作する温度操作手段と、を具備し、前記低温物体と高温物体とが前記流路の流れ方向にずらして配置され、かつ前記低温物体と前記高温物体との間には気体による断熱層が介在され、
前記横断する方向に関して前記低温物体と前記高温物体とが交互に並んでいるポンプ装置。 - 前記低温物体と前記高温物体とが前記流れ方向に関して部分的に重複している請求の範囲1に記載のポンプ装置。
- 前記低温部には前記横断する方向に互いに平行に並べられた第1の平板群が前記低温物体として設けられ、前記高温部には前記横断する方向に互いに平行に並べられた第2の平板群が前記高温物体として設けられている請求の範囲1又は2に記載のポンプ装置。
- 前記低温物体又は前記高温物体の少なくともいずれか一方が柱状に構成されている請求の範囲1又は2に記載のポンプ装置。
- 前記低温部又は前記高温部の少なくともいずれか一方に多孔質体が設けられ、前記多孔質体の透孔を囲む壁部が前記低温物体又は前記高温物体として機能する請求の範囲1又は2に記載のポンプ装置。
- 前記横断する方向に隣接する低温物体同士の間隔と、前記高温物体同士の間隔とが、それぞれポンプ装置の使用圧力範囲における気体分子の平均自由行程の数百倍から数百分の一の範囲内に設定されている請求の範囲1〜5のいずれか一項のポンプ装置。
- 前記低温物体及び前記高温物体のそれぞれの近接部分の端部が気体分子の平均自由行程以下の曲率半径を有している請求の範囲1〜6のいずれか一項のポンプ装置。
- 前記流れ方向に関して複数のポンプユニットが連結され、各ポンプユニットに前記低温部及び前記高温部が設けられている請求の範囲1〜7のいずれか一項のポンプ装置。
- 気体の流路を横断する方向に間隔を空けて並べられた複数の低温物体を有する低温部と、前記流路を横断する方向に間隔を空けて並べられた複数の高温物体を有する高温部とを含み、前記低温物体と高温物体とが前記流路の流れ方向にずらして配置され、かつ前記低温物体と前記高温物体との間には気体による断熱層が介在され、
前記横断する方向に関して前記低温物体と前記高温物体とが交互に並んでいるポンプユニット。 - 前記低温部には前記横断する方向に互いに平行に並べられた第1の平板群が前記低温物体として設けられ、前記高温部には前記横断する方向に互いに平行に並べられた第2の平板群が前記高温物体として設けられている請求の範囲9のポンプユニット。
- ポンプハウジングを構成する中空のフランジと、前記フランジに対して熱遮断部を介して連結されたヒーターユニットとを備え、前記フランジにはそのフランジの中空部を横断するように第1の平板群が取り付けられ、前記ヒーターユニットには電熱線材を前記第2の平板群が形成されるように蛇腹状に折り曲げた発熱体が設けられている請求の範囲10のポンプユニット。
- 前記ヒーターユニットには、前記発熱体が取り付けられるフレームと、前記フレームの外周に張り巡らされたワイヤとが設けられ、前記ワイヤと前記フランジとを接続する接続手段とが前記熱遮断部として機能する請求の範囲11のポンプユニット。
- 前記フレームには複数のパイプ状の断熱部材が固定され、前記ワイヤは前記断熱部材を通されることにより前記フレームと連結され、前記接続手段は前記ワイヤと前記フランジとを接続する請求の範囲12に記載のポンプユニット。
- 前記接続手段は、前記ヒーターユニットを複数点で支持するフローティング機構を含む請求の範囲12又は13のポンプユニット。
- 前記フランジには冷却媒体が通過する冷媒流路が設けられている請求の範囲10〜14のいずれか一項のポンプユニット。
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