JP4637918B2 - Nmrジャイロスコープ - Google Patents
Nmrジャイロスコープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4637918B2 JP4637918B2 JP2007548412A JP2007548412A JP4637918B2 JP 4637918 B2 JP4637918 B2 JP 4637918B2 JP 2007548412 A JP2007548412 A JP 2007548412A JP 2007548412 A JP2007548412 A JP 2007548412A JP 4637918 B2 JP4637918 B2 JP 4637918B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nmr
- cell
- gyro
- nmr gyro
- vcsel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 47
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- VAWNDNOTGRTLLU-UHFFFAOYSA-N iron molybdenum nickel Chemical compound [Fe].[Ni].[Mo] VAWNDNOTGRTLLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/20—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
- G01R33/24—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance for measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/26—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance for measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using optical pumping
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
- G01C19/60—Electronic or nuclear magnetic resonance gyrometers
- G01C19/62—Electronic or nuclear magnetic resonance gyrometers with optical pumping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
[05] 1つの実施例において、NMRジャイロは、頂部及び底部蓋ウェハの間の中央に配設されたマイクロNMRセルウェハと、NMRセルウェハに隣接した検出器ウェハと、検出器ウェハに隣接した検出及び信号処理エレクトロニクスを有するエレクトロニクスウェハと、検出器ウェハの反対側の側部にてNMRセルウェハに隣接した偏光子ウェハと、偏光子ウェハに隣接した光学素子ウェハと、光学素子ウェハに隣接した読み取り及びポンプVCSELを含むレーザウェハと、レーザウェハに隣接したソース制御エレクトロニクスとを備えるウェハ構造体を有するようにバッチ過程にて製造される。
[12] 図1ないし図3には、小型で全体として円形のNMRジャイロパッケージ体100が示されている。本発明の1つの実施の形態において、ケース108は、直径約16mm及び高さ6mmである。勿論、パッケージ体の正確な形状及びアスペクト比は、磁界及び磁界の均一性を詳細に検討した後、改変することができる。
[13] Xe又はKrの同位体及び潜在的な緩衝ガスを含むが、これらにのみ限定されないガスのような望ましい核スピンを有するアルカリ金属、ガスを保持するセル101は、ケース108の中心付近に配置される。本発明の1つの実施の形態において、セル101は、約100℃の温度に維持しなければならない。セル101には、図面に示されていないが、ヒータが設けられている。ジャイロに対し可能な限り最低の作動電力を提供するため、セル101は、熱損失を最小限にすべく真空圧内に懸垂しなければならない。セルは支持体106により真空圧内にて懸垂される。本発明の1つの実施の形態において、支持体は、脚部に沿った下方への熱伝達を最小にし得るよう強度と熱伝導率との比が大きい材料にて出来ている。支持体には、ポンプVCSEL103(垂直チャネル表面放出レーザ)もある。ポンプVCSEL103からの光出力は、矢印Aで示した、回転が測定される方向に沿って向けられる。最終的な実施例に依存して、VCSELチップは、セル101の反対面上に配設されたミラーから反射された光を監視すべく光検出器を保持することも必要であろう。ポンプレーザからの光は、円形に偏光させなければならない。このことは、ポンプVCSEL103とセル101との間に4分の1波長板109を挿入することにより実現される。
[14] また、支持体106には、センサとして作用する光検出器をチップ上に有するVCSEL102がある。このVCSEL102に対向するセルの面には、蒸着したミラーがある。支持体106は、また、エレクトロニクスとVCSEL/セルの集合体の間にてヒータの電力及び信号を運ぶ電気伝導トレース104も有している。これらのトレースは、支持体の任意の又は全ての脚部にあるものとし、また、支持体の頂部又は底部又はその双方にあるものとすることができる。
[15] VCSELからの光出力の波長は、アルカリ線の正確な吸収波長に合うよう同調させなければならない。これは、VCSELキャビティの温度を調節することにより実現される。一方、このことは、VCSEL電流を変化させ又は、VCSELにヒータを提供し、VCSELからの光学パワーを独立的に制御し得るようにすることにより調節することができる。
[16] ジャイロが作動するためには、矢印Aで示した回転軸線に沿った磁界が必要である。この磁界の発生のため電力を使用することを避けるため、永久磁石105を使用してセル101の内部容積内に約0.1ないし10ガウスの範囲の均一な磁界を発生させる。これを実現するための磁石の設計は、その内容の全体を参考として引用し本明細書に含めた、米国特許明細書5,469,256号に記載されている。
[17] ケース108は、支持体106が取り付けられる4つの支持マウント202を保持している。ケースの底部には、磁石105を取り囲む一般的なセラミック回路板204がある。回路板204は、ジャイロを制御する全てのエレクトロニクスを保持している。エレクトロニクスの多くは、単一のASICチップ内に保持されよう。支持マウントが支持体上のトレースとセラミック回路板204との間にて電気的に相互接続するようにする革新的な方法が存在する。代替例において、接続は、従来の線接合により行うことができる。
[18] 本発明の1つの実施の形態において、ケース108自体は、最大の遮蔽効果を実現し得るよう焼鈍したHyMu80にて出来ている。HyMu80合金は、極めて高い初期透磁性を提供し且つ、最小のヒステリシス損失にて最大の透磁性を提供する非背向の80%ニッケル−鉄−モリブデン合金である。ケース108の頂部と底部との間の継手201部分に可撓性が存する。継手について示した設計は、外部の磁力線が継手201を通って侵入しないことを保証するため採られる措置の一例であることを意図するものである。ケースの基部には、ケース108の外径に妥当な程に近い円にて配置された多数のフィードスルー203がある。フィードスルーピン203は、ケース108の内側にてセラミック回路板204上のトレースにはんだ付け又は融接され且つ、該フィードスルーピンが取り付けられる慣性ナビゲーションシステム又はその他のシステム内にて別の回路板又は相互接続フレックスに融接又ははんだ付けされる。これらのはんだ接続部は、ジャイロを機械的に取り付けるのに十分であろう。フィードスルー203は、取り付けのため使用されないならば、円形のパターンを形成する必要はない。
[19] ジャイロが作動するためには、主磁界に対して横断方向の変調した磁界を必要とする。変調周波数は、主磁界の強度に依存して、数100ヘルツないし1MHz以上とすることができる。1回巻きループで十分であると考えられる。組み立ての目的のため、このループ107を支持体に取り付けることが有効である。
[20] 高い真空圧がケース108内にて維持され、セル及びVCSEL又はVCSELヒータを作動させるのに必要な過剰な電力を防止することを保証するゲッタが存するが、図面には示されていない。また、必要とし又は必要としなくてもよい磁気遮蔽体の第二の層も存するが、図示されていない。
[21] 本発明は、チップスケールの核磁気共鳴ジャイロ用のアーキテクチャとして、高性能のため必要とされるポンプ及び読み取り光ビームの特徴及び形態を維持しつつ、バッチ加工製造方法の使用を容易にし得るよう容易に適応可能である。最適な光学的形態は、ポンプビームをアルカリ及び希ガスの混合体を保持するセル上に付与された直流磁界に対して平行に配置し且つ、読み取りビームを直流磁界に対して垂直に配置する。先の実施の形態にて説明したように、読み取り及びポンプレーザをセルの隣接した面上に配置することは、装置のバッチ加工に影響を与える。本発明の1つの代替的な実施の形態において、反射面が読み取りビームを図4に示すように方向変更するようセルの設計を改変することにより、この制限を克服することができる。更に、ウェハの論理的な積層は、図4に示すように考えられ、この場合、エレクトロニクスを無視して、ソース及びポンプレーザは1つのウェハ402上に製造され、第二のウェハ403は、ビーム形成光学素子を有し、第三のウェハ404は、偏光子を有し、ウェハ405ないし407は、セル側部及び蓋を有し、ウェハ408は、ポンプ及び読み取り検出器を有している。ソース制御及び検出/信号処理エレクトロニクスウェハ401、409は、図4に示すように、積層体に追加することができる。
[22] 図5において、積層体は、ウェハごとに製造する論理的に別個の技術に対して示されている。例えば、2つのウェハ401、409は、集積型エレクトロニクスを有し、1つのウェハ402は、レーザ源を有し、1つのウェハ408は、検出器を有し、別のウェハ404は、偏光子を有し、別のウェハ403は、光学素子を含み、1組みのウェハ501は、NMRセル502を構成する。分離(segregating)技術は、現像時間を短くし且つ、製造歩留り率を向上させる。
[23] 本明細書に記載したステップ又は工程は、単に一例である。本発明の精神から逸脱せずに、これらのステップ又は工程に対し多数の変更例が存在する。例えば、ステップを別の順序にて実行し、又はステップを追加し、省略し又は改変することができる。
[24] 本発明の一例としての実施例について図示し且つ、本明細書にて詳細に説明したが、関連技術の当業者には、本発明の精神から逸脱せずに、色々な改変例、追加、置換及び同様のものを為すことができ、従って、これらは、特許請求の範囲に記載した本発明の範囲に属するとみなされることが明らかであろう。
Claims (35)
- NMRジャイロにおいて、
囲い物(108)内にて取付けられた支持構造体(106)と、
支持構造体(106)に取付けられたNMRセル(101)と、
セル(101)内にて磁界を発生させ得るようNMRセル(101)の回りに配設された複数の永久磁石(105)と、
永久磁石(105)により発生された磁界に対して横断方向に変調した磁界を発生させ得るようにセル(101)に近接して配設された磁界コイル(107)とを備え、
支持構造体(106)は、実質的に円形の中央部分から外方に伸びる4つの脚部を有するセラミック支持体(106)である、NMRジャイロ。 - 請求項1に記載のNMRジャイロにおいて、
囲い物(108)は、HyMu80合金にて形成された実質的に円筒状の囲い物(108)である、NMRジャイロ。 - 請求項1に記載のNMRジャイロにおいて、
前記囲い物(108)は、その頂部と底部との間に、可撓性を与える継手(201)を有する、NMRジャイロ。 - 請求項1に記載のNMRジャイロにおいて、
セラミック支持構造体(106)は、囲い物(108)内にて複数の支持マウント(102)に取付けられる、NMRジャイロ。 - 請求項3に記載のNMRジャイロにおいて、
セラミック支持構造体(106)は、囲い物(108)内にて4つの支持マウント(102)に取付けられる、NMRジャイロ。 - 請求項4に記載のNMRジャイロにおいて、
NMRセル(101)は相対的な真空圧内にて懸垂される、NMRジャイロ。 - 請求項1に記載のNMRジャイロにおいて、
NMRセル(101)の回りに配設された複数の永久磁石(105)は、NMRセル(101)の回りで所定のパターンにて配設された実質的に複数の円筒永久磁石(105)である、NMRジャイロ。 - 請求項1に記載のNMRジャイロにおいて、
実質的に円筒永久磁石(105)はセル(101)からほぼ等距離に配設される、NMRジャイロ。 - NMRジャイロにおいて、
囲い物(108)内にて取付けられた支持構造体(106)と、
支持構造体(106)に取付けられたNMRセル(101)と、
セル(101)内にて磁界を発生させ得るようNMRセル(101)の回りに配設された複数の永久磁石(105)と、
永久磁石(105)により発生された磁界に対して横断方向に変調した磁界を発生させ得るようにセル(101)に近接して配設された磁界コイル(107)とを備え、
NMRセル(101)の回りに配設された複数の永久磁石(105)は、NMRセル(101)の回りで所定のパターンにて配設された実質的に複数の円筒永久磁石(105)であり、
実質的に円筒永久磁石(105)はセル(101)からほぼ等距離に配設され、
実質的に円筒永久磁石(105)は、四角形のほぼ中心に配置されたセル(101)を有する四角形の頂点に配設される、NMRジャイロ。 - NMRジャイロにおいて、
囲い物(108)内にて取付けられた支持構造体(106)と、
支持構造体(106)に取付けられたNMRセル(101)と、
セル(101)内にて磁界を発生させ得るようNMRセル(101)の回りに配設された複数の永久磁石(105)と、
永久磁石(105)により発生された磁界に対して横断方向に変調した磁界を発生させ得るようにセル(101)に近接して配設された磁界コイル(107)とを備え、
NMRセル(101)の回りに配設された複数の永久磁石(105)は、NMRセル(101)の回りで所定のパターンにて配設された実質的に複数の円筒永久磁石(105)であり、
実質的に円筒永久磁石(105)はセル(101)からほぼ等距離に配設され、
複数の永久磁石(105)は4つの永久磁石(105)である、NMRジャイロ。 - 請求項1に記載のNMRジャイロにおいて、
セル(101)の温度を約100℃に維持するセルヒータを更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項1に記載のNMRジャイロにおいて、
支持構造体(106)に取付けられた少なくとも1つのポンプVCSEL(103)を更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項12に記載のNMRジャイロにおいて、
ポンプVCSEL(103)は、検出器を含む集積回路の少なくとも一部分を形成する、NMRジャイロ。 - 請求項13に記載のNMRジャイロにおいて、
NMRセル(101)は、VCSEL(102)と対向する位置に配設されたミラー付き領域を含む、NMRジャイロ。 - 請求項12に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)からの光は、VCSEL(102)とNMRセル(101)との間に介在させた4分の1波長板(109)によって円形に偏光される、NMRジャイロ。 - 請求項12に記載のNMRジャイロにおいて、
ポンプVCSEL(103)に対して直交状態に配設された第二のVCSEL(102)を更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項16に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)からの光出力は、NMRセル(101)内にてアルカリ金属の吸収波長となるように同調される、NMRジャイロ。 - 請求項17に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)は、VCSEL(102)の温度を調節することにより同調される、NMRジャイロ。 - 請求項17に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)は、VCSEL(102)に提供される供給電流を調節することにより同調される、NMRジャイロ。 - 請求項19に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)に対する制御回路を含む回路板(204)を更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項20に記載のNMRジャイロにおいて、
囲い物(108)の外面の回りに配設された複数のフィードスルー(203)(eedthroughs)(203)であって、囲い物(108)の外部から回路板(204)までの電気的接続路を提供する前記複数のフィードスルー(203)を更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項21に記載のNMRジャイロにおいて、
フィードスルー(203)は、外部装置に対する電気的接続部及び機械的接続部の双方を提供する、NMRジャイロ。 - 請求項22に記載のNMRジャイロにおいて、
フィードスルー(203)は、実質的に円形のパターンにて配設される、NMRジャイロ。 - NMRジャイロにおいて、
HyMu80合金にて形成された実質的に円筒状の囲い物(108)と、
実質的に円形の中央部分から外方に伸びる4つの脚部を有し、囲い物(108)内にて取付けられたセラミック支持体(106)と、
真空圧内にて懸垂され且つセラミック支持体(106)に取付けられたNMRセル(101)と、
セル(101)からほぼ等距離に配設された4つの円筒永久磁石(105)であって、その中央にセル(101)を有する四角形の頂点に配設された前記4つの実質的に円筒永久磁石(105)と、
永久磁石(105)により発生された磁界に対し横断方向の変調した磁界を発生させ得るように配設された1回巻きの磁界コイル(107)と、
セル(101)の温度を約100℃に維持するセル(101)ヒータと、
セラミック支持体(106)に取付けられた少なくとも1つのポンプVCSEL(103)とを備える、NMRジャイロ。 - 請求項24に記載のNMRジャイロにおいて、
ポンプVCSEL(103)は、検出器を含む集積回路の少なくとも一部分を形成する、NMRジャイロ。 - 請求項25に記載のNMRジャイロにおいて、
NMRセル(101)は、VCSEL(102)と対向する位置に配設されたミラー付き領域を含む、NMRジャイロ。 - 請求項24に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)からの光は、VCSEL(102)とNMRセル(101)との間に介在させた4分の1波長板(109)によって円形に偏光される、NMRジャイロ。 - 請求項24に記載のNMRジャイロにおいて、
ポンプVCSEL(103)に対して直交状態に配設された第二のVCSEL(102)を更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項28に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)からの光出力は、NMRセル(101)内にてアルカリ金属の吸収波長となるように同調される、NMRジャイロ。 - 請求項29に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)は、VCSEL(102)の温度を調節することにより同調される、NMRジャイロ。 - 請求項29に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)は、VCSEL(102)に提供される供給電流を調節することにより同調される、NMRジャイロ。 - 請求項31に記載のNMRジャイロにおいて、
VCSEL(102)に対する制御回路を含む回路板(204)を更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項32に記載のNMRジャイロにおいて、
囲い物(108)の外面の回りに配設された複数のフィードスルー(203)であって、囲い物(108)の外部から回路板(204)までの電気的接続路を提供する前記複数のフィードスルー(203)を更に備える、NMRジャイロ。 - 請求項33に記載のNMRジャイロにおいて、
フィードスルー(203)は、外部装置に対する電気的接続部及び機械的接続部の双方を提供する、NMRジャイロ。 - 請求項28に記載のNMRジャイロにおいて、
頂部及び底部蓋ウェハの間の中央に配設された小型NMRセルウェハ(502)と、
NMRセルウェハ(502)に隣接する検出器ウェハ(408)と、
検出器ウェハに隣接する検出及び信号処理エレクトロニクスを含むエレクトロニクスウェハ(409)と、
検出器ウェハと反対側の側部にてNMRセルウェハ(502)に隣接する偏光子ウェハ(404)と、
偏光子ウェハに隣接する光学素子ウェハ(403)と、
光学素子ウェハに隣接する読み取り及びポンプVCSEL(103)を含むレーザウェハ(402)と、
レーザウェハに隣接するソース制御エレクトロニクスウェハ(401)とを備え、
ウェハ構造体と共にバッチ加工にて製造される、NMRジャイロ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US63807404P | 2004-12-20 | 2004-12-20 | |
PCT/US2005/046275 WO2006069116A1 (en) | 2004-12-20 | 2005-12-20 | Nmr gyroscope |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008524632A JP2008524632A (ja) | 2008-07-10 |
JP2008524632A5 JP2008524632A5 (ja) | 2010-11-25 |
JP4637918B2 true JP4637918B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=36129851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007548412A Active JP4637918B2 (ja) | 2004-12-20 | 2005-12-20 | Nmrジャイロスコープ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7239135B2 (ja) |
EP (1) | EP1828717B1 (ja) |
JP (1) | JP4637918B2 (ja) |
CA (1) | CA2589518A1 (ja) |
DE (1) | DE602005027610D1 (ja) |
WO (1) | WO2006069116A1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7173426B1 (en) * | 2005-11-29 | 2007-02-06 | General Electric Company | Optical link for transmitting data through air from a plurality of receiver coils in a magnetic resonance imaging system |
US7359059B2 (en) * | 2006-05-18 | 2008-04-15 | Honeywell International Inc. | Chip scale atomic gyroscope |
US7728587B2 (en) * | 2007-07-31 | 2010-06-01 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Self-calibrating nuclear magnetic resonance gyro |
US7872473B2 (en) * | 2007-08-07 | 2011-01-18 | The United States of America as represented by the Secretary of Commerce, the National Institute of Standards and Technology | Compact atomic magnetometer and gyroscope based on a diverging laser beam |
EP2288968B1 (en) * | 2008-06-05 | 2013-04-10 | Philips Intellectual Property & Standards GmbH | Atomic frequency acquisition device based on self-mixing interference |
US20090309682A1 (en) * | 2008-06-13 | 2009-12-17 | Northrop Grumman Guidance And Electronic Company, Inc. | Eight-fold dipole magnet array for generating a uniform magnetic field |
US8319973B2 (en) | 2009-04-08 | 2012-11-27 | Honeywell International Inc. | VCSEL enabled active resonator gyroscope |
US8159220B2 (en) * | 2009-08-03 | 2012-04-17 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Nuclear magnetic resonance gyroscope mechanization |
US8552725B2 (en) * | 2009-12-07 | 2013-10-08 | Northrop Grumman Guidance & Electronics Company, Inc. | Systems and methods for obstructing magnetic flux while shielding a protected volume |
US8624682B2 (en) * | 2011-06-13 | 2014-01-07 | Honeywell International Inc. | Vapor cell atomic clock physics package |
US9423272B2 (en) | 2012-02-17 | 2016-08-23 | Honeywell International Inc. | Estimation of conventional inertial sensor errors with atomic inertial sensor |
US9229073B2 (en) * | 2012-12-27 | 2016-01-05 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Systems and method to substantially mitigate AC stark shift effects in a sensor system |
WO2015002684A2 (en) * | 2013-04-10 | 2015-01-08 | Microsemi Frequency And Time Corporation | Chip-scale atomic gyroscope |
US9541398B2 (en) | 2013-04-10 | 2017-01-10 | Microsemi Corporation | Chip-scale atomic gyroscope |
CN103900549B (zh) * | 2014-04-09 | 2017-01-18 | 成都天奥电子股份有限公司 | 一种核磁共振原子陀螺仪表头 |
WO2015156841A1 (en) * | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Microsemi Corporation | Chip-scale atomic gyroscope |
US9726494B2 (en) | 2014-05-15 | 2017-08-08 | Northrop Grumman Systems Corporation | Atomic sensor system |
CN104296739B (zh) * | 2014-10-30 | 2017-07-28 | 成都天奥电子股份有限公司 | 一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头 |
CN104634339B (zh) * | 2014-12-16 | 2017-07-07 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种基于宽谱激光泵浦的核磁共振陀螺仪 |
CN104505273B (zh) * | 2014-12-16 | 2016-08-24 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种用于核磁共振陀螺仪的无磁加热装置 |
CN105509725B (zh) * | 2016-03-08 | 2019-05-21 | 中国航空工业第六一八研究所 | 一种小型化核磁共振陀螺仪 |
CN111060089B (zh) * | 2018-10-17 | 2022-07-15 | 北京自动化控制设备研究所 | 基于电子自旋磁共振差分的高灵敏核自旋进动检测方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2841760A (en) * | 1952-10-04 | 1958-07-01 | Gen Electric | Method and apparatus for measuring angular motion |
US3103620A (en) * | 1959-04-09 | 1963-09-10 | Gen Precision Inc | Direction sensor |
US4157495A (en) * | 1976-08-14 | 1979-06-05 | Litton Systems, Inc. | Nuclear magnetic resonance gyro |
US4450407A (en) * | 1981-10-02 | 1984-05-22 | Litton Systems, Inc. | Magnetic resonance cell and method for its fabrication |
US4509014A (en) * | 1982-11-23 | 1985-04-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Nuclear magnetic resonance gyroscope |
US5469256A (en) * | 1988-07-29 | 1995-11-21 | Litton Systems, Inc. | Multipole magnetic geometry for a ring laser gyroscope |
NL8802036A (nl) * | 1988-08-17 | 1990-03-16 | Philips Nv | Werkwijze voor hetronucleaire ontkoppeling in magnetische resonantiespectroscopie en inrichting voor het bepalen van een spectrum. |
JP3113906B2 (ja) * | 1991-01-21 | 2000-12-04 | 科学技術庁航空宇宙技術研究所長 | 光 源 |
US7282910B1 (en) * | 2006-04-19 | 2007-10-16 | Northrop Grumman Corporation | Nuclear magnetic resonance gyroscope |
-
2005
- 2005-12-20 CA CA002589518A patent/CA2589518A1/en not_active Abandoned
- 2005-12-20 WO PCT/US2005/046275 patent/WO2006069116A1/en active Application Filing
- 2005-12-20 DE DE602005027610T patent/DE602005027610D1/de active Active
- 2005-12-20 US US11/312,311 patent/US7239135B2/en active Active
- 2005-12-20 EP EP05854915A patent/EP1828717B1/en active Active
- 2005-12-20 JP JP2007548412A patent/JP4637918B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1828717A1 (en) | 2007-09-05 |
DE602005027610D1 (de) | 2011-06-01 |
EP1828717B1 (en) | 2011-04-20 |
JP2008524632A (ja) | 2008-07-10 |
US7239135B2 (en) | 2007-07-03 |
US20060139029A1 (en) | 2006-06-29 |
CA2589518A1 (en) | 2006-06-29 |
WO2006069116A1 (en) | 2006-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4637918B2 (ja) | Nmrジャイロスコープ | |
JP2008524632A5 (ja) | ||
US10416246B2 (en) | Physics package for compact atomic device | |
US10955495B2 (en) | Circuit board integrated atomic magnetometer and gyroscope | |
US20170363696A1 (en) | Magneto-optical defect center magnetometer | |
CN104734708B (zh) | 量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体 | |
ES2547721T3 (es) | Electrónica digital en conjunto suspendido | |
US9164491B2 (en) | Vapor cell atomic clock physics package | |
US20090039881A1 (en) | Compact atomic magnetometer and gyroscope based on a diverging laser beam | |
US9203026B2 (en) | Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
US20190219645A1 (en) | Compact magnetometer apparatus | |
JP2007309915A (ja) | チップスケールの原子ジャイロスコープ | |
JP6179327B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
US10325707B2 (en) | Integrated field coil for compact atomic devices | |
US10523226B2 (en) | Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and vehicle | |
US10270458B2 (en) | Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and vehicle | |
US6038025A (en) | Method for manufacturing of fiberoptic gyroscope by providing a flexible connector connected to the coil and remaining gyroscope elements | |
JPH026712A (ja) | 光ファイバージャイロ装置 | |
JP2007019310A (ja) | 圧電デバイス、圧電デバイスの製造方法及び電子機器 | |
JPH077156B2 (ja) | 光アイソレ−タ | |
CN114636412B (zh) | 一种具有电磁检抖的机抖空间三轴激光陀螺及装配方法 | |
KR102244798B1 (ko) | 칩 스케일 원자시계 | |
JP7339088B2 (ja) | 振れ補正機能付き光学ユニット及びその検査方法 | |
Martin et al. | The Litton 11 cm triaxial zero-lock gyro | |
JP2020123883A (ja) | 量子光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100604 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100903 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100910 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20101005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101027 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101124 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4637918 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |