JP4629658B2 - ミラーの交換を伴う共焦点装置 - Google Patents
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Description
a)微細穴をより寸法の大きい穴に置き換えるよう、面306内に形成される像を著しく拡大し、二色性ミラーを無焦点ゾーンにではなくこの穴の近傍に設置する方法。この方法は光路を著しく長くし、微細穴の格子(マルチポイント照明)のケースには移植することができない。実際、この後者の場合、像を拡大するということは必然的に微細穴の格子全体を拡大することになり、格子の寸法が共焦点装置の通常の寸法とは適合しなくなる。
b)微細穴の位置の再調節システムを用意する方法
c)過大な再調整または頻繁過ぎる再調整を行わないようにし、光路を過度に長くしないようにするために、前記の方法を組み合わせる
d)微細穴に照明光線を通し、照明光線の光路上で微細穴の前、すなわち対象物から戻ってくる光線の光路上の微細穴の後に二色性ミラーを設置する方法。この方法によりシステムは単純になるが、微細穴の寸法を調節すると必ず照明光線に影響が出てしまい、また、照明光線と被観察対象物から戻ってくる検出すべき光線の間の色収差の違いを補正することはできない。したがってこの方法では、結果として、得られる像の画質の低下が生じる。
分離ミラーとほぼ平行であり第二光線を反射する方向変換ミラーを含むこと、
分離ミラーおよび方向変換ミラーが相互に固設され、その結果、方向変換ミラーおよび分離ミラーが、分離ミラーの交換時に一連の動作で交換される分離ブロックを構成することを特徴とする装置から成る。
第二光線の光学的行程に、平行面を有する薄板の最初の通過、第一ミラーでの反射、平行面を有する薄板の二回目の通過、第二ミラーでの反射、平行面を有する薄板の三回目の通過が相次いで含まれ、第一および第二ミラーの一方が方向変換ミラーとなり他方が分離ミラーとなり、
第一光線の光学的行程に、平行面を有する薄板の通過と分離ミラーの通過が含まれる
よう配置される。
前記薄板の第一面が、少なくとも1つの薄い層を付着させることにより二色性ミラーまたは部分反射ミラーが作製され、第一光線が通過し第二光線を反射するようになっている第一ゾーンを含み、
前記薄板の第一面が、第二光線が通過するようになっている非反射第二ゾーンを含み、
前記薄板の第一面に対向する第二面が、少なくとも1つの薄い層を付着させることにより方向変換ミラーが作製され、第二光線を反射するようになっている第三ゾーンを含み、
前記薄板の第二面が、第一光線および第二光線が通過するようになっている非反射第四ゾーンも含む
ことを特徴とする共焦点光学装置のための分離ブロックでも構成される。
301、302 部分透明ミラー
304 レンズ
305 レンズ
306 微細穴
307 像
308 レーザ
309 被照明点
320、321 平行ミラー
400 上に方向変換ミラーが作製された表面
401 上に分離ミラーが作製された表面
402 第二のガラス部品
403 ガラス部品
410、411、412、413 分離ブロック
414 スライダ
500 担体
501 分離ミラー
502 方向変換ミラー
503、504 穴
505、506 弾性要素
510 穴
511、512、513、514 部分透明第一ミラー
520 多重担体
521、522、523、524、525 穴
600 平行面を有する薄板
601、604 ゾーン
602 分離ミラー
603 方向変換ミラー
700 スライダ
701、702、703、704 分離ブロック
800 レーザ光
801 マイクロレンズ格子
802 レンズ
803 ミラー
804 対物レンズ
805 レンズ
807 対象物
FE 照明光線
FD 検出すべき光線
Claims (11)
- 照明光源から出され複数の被照明点に合焦される複数の照明光線を用いて前記複数の被照明点を照明し、前記複数の被照明点のそれぞれから来る検出すべき複数の光線のそれぞれを微細穴に合焦させるための共焦点光学装置において、
-第一の複数の光線(FD)が通過し第二の複数の光線(FE)を反射する分離ミラーを備え、前記第一の複数の光線および前記第二の複数の光線のうちの一方が前記複数の照明光線(FE)であり、他方が前記検出すべき複数の光線(FD)であり、前記分離ミラーが交換可能である装置であって、
-前記分離ミラーとほぼ平行であり前記第二の複数の光線を反射する方向変換ミラーを含むこと、
-前記分離ミラーが前記方向変換ミラーに取り付けられ、その結果、前記方向変換ミラーおよび前記分離ミラーが、分離ミラーの交換時に一体に交換される分離ブロックを構成すること
を特徴とする装置。 - 前記分離ミラーおよび前記方向変換ミラーが無焦点ゾーン内に設置され、同ゾーン内では各照明光線および検出すべき各光線が互いにほぼ平行であることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 前記分離ミラーおよび前記方向変換ミラーが、平行面を有する薄板の対向する2つの面上に設置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学装置。
- 前記分離ミラーおよび前記方向変換ミラーが、前記平行面を有する薄板に薄い層を付着させることにより作製されることを特徴とする請求項3に記載の光学装置。
- 前記平行面を有する薄板が、
前記第二の複数の光線(FE)の光路に、前記平行面を有する薄板の最初の通過、第一ミラーでの反射、前記平行面を有する薄板の二回目の通過、第二ミラーでの反射、前記平行面を有する薄板の三回目の通過が相次いで含まれ、前記第一ミラーおよび前記第二ミラーの一方が前記方向変換ミラーとなり他方が前記分離ミラーとなり、
前記第一の複数の光線(FD)の光路に、前記平行面を有する薄板の通過と前記分離ミラーの通過が含まれる
よう配置されることを特徴とする請求項3または4に記載の装置。 - 前記分離ミラーが二色性ミラーであり、前記方向変換ミラーが全反射ミラーであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記分離ミラーが波長非依存性の分離器であり、前記方向変換ミラーが全反射ミラーであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- それぞれが1つの分離ミラーおよび対応する1つの方向変換ミラーを備える複数の分離ブロックを具備すること、および前記光路に複数の前記分離ブロックを互いに交互に配置するための手段
を含むことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。 - 配置するための前記手段がスライダであることを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 配置するための前記手段が、一軸を中心として回転し前記分離ブロックが取り付けられたローラであることを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 平行面を有する薄板であって、
前記薄板の第1の面が、
少なくとも一つの薄い層をその上に付着させることで二色性ミラー又は部分的に反射性のミラーが作製されていると共に、前記第1の複数の光線を通過させ、且つ前記第2の複数の光線を反射する第1の領域と、
非反射性であると共に前記第2の複数の光線を通過させる第2の領域とを備え、
前記第1の面に対向する前記薄板の第の2面が、
少なくとも一つの薄い層をその上に付着させることで前記方向変換ミラーが作製されていると共に前記第2の複数の光線を反射する第3の領域と、
非反射性を有すると共に前記第1の複数の光線及び前記第2の複数の光線を通過させる第4の領域とを備える、平行面を有する薄板からなることを特徴とする、請求項1〜10の何れか一項に記載の装置のための分離ミラー。
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