JP4620433B2 - Optical film sticking apparatus and method - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示基板、プラズマ表示基板等の基板に偏光板、位相差膜等の光学フイルムを貼り付ける光学フイルム貼付装置及び方法に関する。   The present invention relates to an optical film sticking apparatus and method for sticking an optical film such as a polarizing plate and a retardation film on a substrate such as a liquid crystal display substrate and a plasma display substrate.

近年、液晶表示装置(LCD)の普及に伴い、偏光板、位相差膜等の光学フィルムの需要が急増している。   In recent years, with the spread of liquid crystal display devices (LCD), the demand for optical films such as polarizing plates and retardation films has increased rapidly.

前記光学フイルムは、偏光板又は位相差膜と、前記偏光板又は前記位相差膜の両面又は片面に積層された保護層と、前記保護層に積層された粘着層と、前記粘着層に積層された剥離フイルムとから構成されている。
Wherein the optical film comprises a polarizing plate or a retardation film, and a protective layer in which the laminated on one or both sides of the polarizing plate or the retardation film, an adhesive layer laminated on the protective layer is laminated on the adhesive layer It consists of a peeled film.

ここで、前記光学フイルムから剥離フイルムを剥離し、前記粘着層を介して前記光学フイルムをガラス等の基板に貼着することにより、前記LCDが形成される。   Here, the LCD film is formed by peeling the release film from the optical film and attaching the optical film to a substrate such as glass through the adhesive layer.

上述した光学フイルムを基板に貼着してLCDを形成する従来技術として、特許文献1〜3が開示されている。   Patent Documents 1 to 3 are disclosed as conventional techniques for forming an LCD by attaching the above-described optical film to a substrate.

図13は、特許文献1で開示されている光学フイルム貼着装置200を示し、前記光学フイルム貼着装置200は、基板202を実線の矢印方向(正方向)に搬送する供給ローラ204、206と、図示しない巻出機構から供給されたフイルム208を前記基板202表面に搬送して、前記基板202と前記フイルム208との貼着を行う貼着ローラ210、212と、前記貼着ローラ210の下流側(図13上、左側)に配置され、且つ前記フイルム208の先端部を前記基板202表面から離間させて吸着する吸着具214とから構成されている。   FIG. 13 shows an optical film sticking apparatus 200 disclosed in Patent Document 1, and the optical film sticking apparatus 200 includes supply rollers 204 and 206 that transport the substrate 202 in the direction of the solid arrow (positive direction). A film 208 supplied from an unillustrated unwinding mechanism is transported to the surface of the substrate 202 to adhere the substrate 202 and the film 208, and downstream of the adhesive roller 210. The suction tool 214 is arranged on the side (on the left side in FIG. 13) and sucks the tip end of the film 208 away from the surface of the substrate 202.

ここで、供給ローラ204、206を点線の矢印方向(逆方向)に回転させると基板202が搬送方向の上流側に移動を開始する。これにより、貼着ローラ210、212が逆方向に回転し、フイルム208も前記上流側に移動して、該フイルム208が基板202表面に貼着される。   Here, when the supply rollers 204 and 206 are rotated in the direction of the dotted arrow (reverse direction), the substrate 202 starts to move upstream in the transport direction. As a result, the adhering rollers 210 and 212 rotate in the reverse direction, the film 208 also moves to the upstream side, and the film 208 is adhered to the surface of the substrate 202.

次いで、フイルム208の先端部が基板202に貼着された場合、供給ローラ204、206は回転を停止し、今度は正方向に回転する。これにより、基板202は上流側から下流側に搬送されると共に、貼着ローラ210、212も正方向に回転してフイルム208の残余部分と前記基板202との貼着が行われる。   Next, when the front end portion of the film 208 is stuck to the substrate 202, the supply rollers 204 and 206 stop rotating, and this time, rotate in the forward direction. As a result, the substrate 202 is conveyed from the upstream side to the downstream side, and the adhering rollers 210 and 212 are also rotated in the forward direction, so that the remaining portion of the film 208 and the substrate 202 are adhered.

図14は、特許文献2で開示されている光学フイルム貼着装置220を示し、前記光学フイルム貼着装置220は、基板202を吸着して正方向に搬送する基板吸着用ステージ222と、フイルム208を前記基板202表面に搬送し、ローラ224で前記フイルム208を前記基板202表面に押し付けて貼着を行うローラ付きステージ226とから構成されている。   FIG. 14 shows an optical film sticking device 220 disclosed in Patent Document 2. The optical film sticking device 220 sucks the substrate 202 and transports it in the forward direction, and a film 208. Is transferred to the surface of the substrate 202, and the roller 224 presses the film 208 against the surface of the substrate 202 to attach it to a stage 226 with a roller.

光学フイルム貼着装置220では、図15に示すように、先ず、ローラ224でフイルム208の先端部を基板202表面に押し付けて、前記先端部と前記基板202との貼着を行う。次いで、前記フイルム208の前記先端部を前記ローラ224により前記基板202表面に押し付けた状態で、ローラ付きステージ226を逆方向に移動させるか、あるいは基板吸着用ステージ222を正方向に移動させることにより、前記基板202と前記フイルム208の残余部分との貼着が行われる。   In the optical film sticking apparatus 220, as shown in FIG. 15, first, the tip of the film 208 is pressed against the surface of the substrate 202 with a roller 224, and the tip and the substrate 202 are stuck. Next, with the tip of the film 208 pressed against the surface of the substrate 202 by the roller 224, the stage 226 with roller is moved in the reverse direction, or the stage 222 for attracting the substrate is moved in the forward direction. Then, the substrate 202 and the remaining portion of the film 208 are attached.

特開平1−233789号公報JP-A-1-233789 特開2002−23151号公報JP 2002-23151 A 特開2003−98520号公報JP 2003-98520 A

しかしながら、特許文献1に開示されている光学フイルム貼着装置200では、貼着ローラ210、212の逆回転によりフイルム208に弛みが発生した場合、前記逆回転の最中に、前記フイルム208の先端部以外にも基板202に貼着する部位が発生する。これにより、前記基板202と前記フイルム208との間に気泡が混入し、その結果、作製されたLCDの品質が低下するという問題がある。   However, in the optical film sticking apparatus 200 disclosed in Patent Document 1, when the film 208 is slackened by the reverse rotation of the sticking rollers 210 and 212, the tip of the film 208 is in the middle of the reverse rotation. In addition to the part, a part to be attached to the substrate 202 is generated. Accordingly, there is a problem that bubbles are mixed between the substrate 202 and the film 208, and as a result, the quality of the manufactured LCD is deteriorated.

また、貼着ローラ210、212の逆回転により、吸着具214とフイルム208との間で摩擦が発生し、その結果、塵埃が発生したり、フイルム208が帯電する。これにより、前記塵埃が前記基板202及び前記フイルム208に付着してLCDの歩留まりが低下したり、前記LCDを使用する電子回路の機能が低下するという問題がある。   Further, the reverse rotation of the adhering rollers 210 and 212 causes friction between the suction tool 214 and the film 208. As a result, dust is generated or the film 208 is charged. Accordingly, there is a problem that the dust adheres to the substrate 202 and the film 208 to reduce the yield of the LCD and the function of the electronic circuit using the LCD.

さらに、光学フイルム貼着装置200は、供給ローラ204、206及び貼着ローラ210、212を正回転及び逆回転させるために装置構成が複雑となり、装置全体のコストが高騰するという問題がある。   Furthermore, the optical film sticking apparatus 200 has a problem that the structure of the apparatus becomes complicated because the supply rollers 204 and 206 and the sticking rollers 210 and 212 are rotated forward and backward, and the cost of the entire apparatus increases.

一方、特許文献2、3に開示されている光学フイルム貼着装置220では、ローラ224を上昇させてフイルム208の先端部を基板202表面に押し付ける場合、前記ローラ224上方に前記フイルム208の前記先端部が配置され、且つ前記ローラ224と前記先端部とが接触していないので、前記ローラ224が基板202表面に到着する前に前記先端部と前記基板202表面との貼着が行われる。
On the other hand, in the optical film sticking device 220 disclosed in Patent Documents 2 and 3, when the roller 224 is raised and the front end of the film 208 is pressed against the surface of the substrate 202, the front end of the film 208 is above the roller 224. parts are arranged, since the a且previous SL rollers 224 the tip is not in contact, the roller 224 is the sticking of the substrate 202 surface and said tip before reaching the substrate 202 surface is performed .

ここで、ローラ224を基板202に向ってさらに上昇させると、フイルム208の一部が前記ローラ224によって湾曲し、前記基板202表面における前記先端部の接触位置が変化する。前記フイルム208の巻き癖等の変形により前記接触位置の変化がより一層顕著になる。従って、前記フイルム208の前記先端部を前記基板202表面に正確に位置決め固定することが困難となり、LCDの歩留まりが低下するおそれがある。
Here, when further increase toward the roller 224 in the board 202, a portion of the film 208 is curved by the roller 224, the contact position of the tip portion of the substrate 202 surface changes. The change in the contact position becomes more remarkable due to deformation of the film 208 such as curl. Therefore, it is difficult to accurately position and fix the leading end of the film 208 to the surface of the substrate 202, which may reduce the yield of the LCD.

また、ローラ224を基板202側に上昇させる際に、前記基板202表面に対するフイルム208の先端部の位置が変化するので、前記フイルム208を構成する粘着層の一部が前記基板202表面に付着して、この付着箇所に塵が集積し、その結果、前記LCDの歩留まりが低下するおそれがある。   Further, when the roller 224 is raised to the substrate 202 side, the position of the leading end portion of the film 208 with respect to the surface of the substrate 202 changes, so that a part of the adhesive layer constituting the film 208 adheres to the surface of the substrate 202. As a result, dust accumulates on the adhered portion, and as a result, the yield of the LCD may be reduced.

さらに、光学フイルム貼着装置220においても、フイルム208とローラ付きステージ226との間で発生する摩擦により、塵埃及び帯電が発生するので、前記塵埃が前記基板202及び前記フイルム208に付着してLCDの歩留まりが低下したり、前記LCDを使用する電子回路の機能が低下するという問題がある。   Further, in the optical film sticking apparatus 220, since dust and electrification are generated due to friction generated between the film 208 and the stage 226 with the roller, the dust adheres to the substrate 202 and the film 208, and the LCD There is a problem that the yield of the electronic circuit is lowered and the function of the electronic circuit using the LCD is lowered.

さらにまた、光学フイルム貼着装置220を大型化して長尺のLCDを製造する場合、ローラ224の直径も大きくなるので、前記ローラ224からのフイルム208の突出量も増加し、上述した前記フイルム208の先端部の位置ずれやLCDの歩留まり低下という問題が発生する。   Furthermore, when the optical film sticking device 220 is enlarged to produce a long LCD, the diameter of the roller 224 also increases, so that the amount of protrusion of the film 208 from the roller 224 also increases, and the above-mentioned film 208 described above. This causes problems such as a misalignment of the tip of the LCD and a decrease in LCD yield.

本発明は、基板に光学フイルムを正確に貼着可能であると共に、前記基板と前記光学フイルムとの間に気泡、塵埃、帯電が発生させることを防止可能とする光学フイルム貼着装置及び方法を提供することを目的とする。   The present invention provides an optical film sticking apparatus and method capable of accurately sticking an optical film to a substrate and preventing generation of bubbles, dust, and electrification between the substrate and the optical film. The purpose is to provide.

本発明に係る光学フイルム貼着装置は、
基板を搬送する第1ローラと、光学フイルムを前記基板表面に搬送する第2ローラと、前記光学フイルムを前記第2ローラに搬送する光学フイルム搬送手段と、前記光学フイルムの先端部を前記第2ローラに保持する光学フイルム保持機構と、前記第2ローラを回転させるローラ回転機構と、前記第2ローラを前記第1ローラに対して進退させるローラ移動機構と、を備え、
前記ローラ回転機構は、前記ローラ移動機構により前記第1ローラ及び前記基板に対して前記第2ローラ及び前記光学フイルム離間している状態で、前記光学フイルムの搬送方向に対して前記光学フイルムの先端部を保持した前記第2ローラを正回転させた後、前記光学フイルムの先端部が前記第1ローラの中心点と前記第2ローラの中心点とを結ぶ直線上に来るように、前記第2ローラを前記搬送方向に対して逆回転させることで、前記光学フイルムのうち、前記第2ローラと前記光学フイルム搬送手段との間の部分を前記第1ローラの方向に撓ませ、
前記ローラ移動機構は、前記第2ローラを前記第1ローラに向かい進行させることで、前記光学フイルムの撓みを減少しつつ、前記光学フイルムの先端部を前記基板表面に配置させることを特徴とする。
The optical film sticking apparatus according to the present invention is:
A first roller for transporting the substrate; a second roller for transporting the optical film to the surface of the substrate; an optical film transport means for transporting the optical film to the second roller; and a tip of the optical film as the second roller . An optical film holding mechanism for holding the roller, a roller rotating mechanism for rotating the second roller, and a roller moving mechanism for moving the second roller forward and backward with respect to the first roller,
The roller rotating mechanism is configured so that the second roller and the optical film are separated from the first roller and the substrate by the roller moving mechanism, and the optical film is moved in the transport direction of the optical film. After the second roller holding the front end is rotated forward, the first end of the optical film is on a straight line connecting the center point of the first roller and the center point of the second roller. By rotating the two rollers in reverse with respect to the transport direction, the portion of the optical film between the second roller and the optical film transport means is deflected in the direction of the first roller,
The roller moving mechanism moves the second roller toward the first roller, thereby reducing the bending of the optical film and disposing the tip of the optical film on the substrate surface. .

前記光学フイルムを前記基板から離間している状態で、前記第2ローラの回転により前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決め調整を行うようにしたので、前記ローラ移動機構を用いて前記第2ローラを前記第1ローラに進行させると前記基板表面において前記光学フイルムの先端部が正確に位置決め固定される。   In the state where the optical film is separated from the substrate, the positioning of the leading end portion of the optical film with respect to the substrate surface is adjusted by the rotation of the second roller. Therefore, the roller moving mechanism is used to adjust the position of the optical film. When two rollers are advanced to the first roller, the tip of the optical film is accurately positioned and fixed on the substrate surface.

これにより、前記第1ローラを回転させて前記基板を搬送させれば、前記基板と前記光学フイルムの残余部分との貼着が行われ、前記基板表面に前記光学フイルムを高精度に貼着することができる。従って、前記光学フイルムと前記基板との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置(LCD)の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。   Accordingly, when the first roller is rotated to convey the substrate, the substrate and the remaining portion of the optical film are adhered, and the optical film is adhered to the substrate surface with high accuracy. be able to. Accordingly, it is possible to suppress the generation of dust and bubbles between the optical film and the substrate and the generation of charging, and it is possible to improve the quality by improving the quality of the liquid crystal display device (LCD). become.

特に、前記ローラ回転機構について、前記第2ローラを所定の角度だけ正回転させてから、前記光学フイルムの前記先端部が、前記第1のローラの中心と前記第2のローラの中心とを結ぶ線上に位置決めされるように、前記第2ローラを逆回転させることが好ましく、これにより、前記光学フイルムの巻き癖等の変形があっても、位置ずれの発生を抑制することができる。   In particular, with respect to the roller rotating mechanism, after the second roller is rotated forward by a predetermined angle, the tip of the optical film connects the center of the first roller and the center of the second roller. The second roller is preferably rotated in reverse so as to be positioned on the line, so that occurrence of misalignment can be suppressed even if there is a deformation such as a curl of the optical film.

また、前記第2ローラは、その表面に孔が形成された中空円筒であり、前記光学フイルム保持機構は、前記孔及び前記中空部分を介して前記光学フイルムの先端部を吸引する吸引手段であることが好ましい。
The second roller is a hollow cylinder having a hole formed on a surface thereof, and the optical film holding mechanism is a suction unit that sucks the tip of the optical film through the hole and the hollow portion. It is preferable.

ここで、前記第2ローラは、前記孔が形成される外筒部と、前記外筒部と同軸に配置され且つ前記吸引手段に連結する内筒部とを有し、前記内筒部には孔と、前記孔を囲繞するように前記外筒部に向い突設し且つ前記吸引手段による前記光学フイルムの先端部の吸引範囲を規制する吸引範囲規制部とが形成されていることが好ましい。
Here, the second roller has an outer cylinder part in which the hole is formed, and an inner cylinder part that is arranged coaxially with the outer cylinder part and is connected to the suction means. It is preferable that a hole and a suction range restricting portion that protrudes toward the outer cylinder portion so as to surround the hole and restrict a suction range of the tip end portion of the optical film by the suction means are formed.

また、本発明に係る光学フイルム貼着方法は、
第1ローラによって基板を搬送する工程と、
前記第1ローラ及び前記基板から離間した第2ローラに、光学フイルム搬送手段によって光学フイルムを搬送する工程と、
前記光学フイルムの先端部を光学フイルム保持機構によって前記第2ローラに保持する工程と、
前記第2ローラをローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して所定の角度だけ正回転させる工程と、
前記光学フイルムの先端部が前記第1ローラの中心点と前記第2ローラの中心点とを結ぶ直線上に来るように、前記第2ローラを前記ローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して逆回転させることにより、前記光学フイルムのうち、前記第2ローラと前記光学フイルム搬送手段との間の部分を前記第1ローラの方向に撓ませる工程と、
前記第2ローラをローラ移動機構で前記第1ローラに進行させることにより、前記光学フイルムの撓みを減少しつつ、前記光学フイルムの前記先端部を前記基板表面に配置する工程と、
を有することを特徴とする。
Moreover, the optical film sticking method according to the present invention includes:
Conveying the substrate by the first roller;
Transporting the optical film to the second roller spaced apart from the first roller and the substrate by an optical film transport means;
A step of holding said second roller tip portion of the optical film by an optical film holding mechanism,
Rotating the second roller by a predetermined angle with respect to the transport direction of the optical film by a roller rotation mechanism;
The second roller is moved with respect to the transport direction of the optical film by the roller rotation mechanism so that the tip of the optical film is on a straight line connecting the center point of the first roller and the center point of the second roller. a step by Rukoto rotated reversely, among the optical film, the Ru deflect the portion between the second roller and the optical film transport means in the direction of the first roller Te,
Disposing the tip of the optical film on the substrate surface while reducing the deflection of the optical film by advancing the second roller to the first roller by a roller moving mechanism;
It is characterized by having.

この場合も、前記光学フイルムを前記基板から離間している状態で、前記第2ローラの回転により前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決め調整を行うようにしたので、前記ローラ移動機構を用いて前記第2ローラを前記第1ローラに進行させると前記基板表面において前記光学フイルムの先端部が正確に位置決め固定される。   Also in this case, the positioning of the tip of the optical film with respect to the substrate surface is adjusted by the rotation of the second roller in a state where the optical film is separated from the substrate. When the second roller is advanced to the first roller, the tip of the optical film is accurately positioned and fixed on the surface of the substrate.

これにより、前記第1ローラを回転させて前記基板を搬送させれば、前記基板と前記光学フイルムの残余部分との貼着が行われ、前記基板表面に前記光学フイルムを高精度に貼着することができる。従って、前記光学フイルムと前記基板との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置(LCD)の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。   Accordingly, when the first roller is rotated to convey the substrate, the substrate and the remaining portion of the optical film are adhered, and the optical film is adhered to the substrate surface with high accuracy. be able to. Accordingly, it is possible to suppress the generation of dust and bubbles between the optical film and the substrate and the generation of charging, and it is possible to improve the quality by improving the quality of the liquid crystal display device (LCD). become.

特に、前記ローラ回転機構について、前記第2ローラを所定の角度だけ正回転させてから、前記光学フイルムの前記先端部が、前記第1のローラの中心と前記第2のローラの中心とを結ぶ線上に位置決めされるように、前記第2ローラを逆回転させることが好ましく、これにより、前記光学フイルムがロール状のフイルムで供給される場合であっても、巻き癖による位置ずれの発生を抑制することができる。   In particular, with respect to the roller rotating mechanism, after the second roller is rotated forward by a predetermined angle, the tip of the optical film connects the center of the first roller and the center of the second roller. It is preferable to rotate the second roller in a reverse direction so that it is positioned on the line, thereby suppressing the occurrence of misalignment due to curling even when the optical film is supplied as a roll film. can do.

本発明によれば、光学フイルムを基板から離間している状態で、第2ローラの回転により前記基板表面に対する前記光学フイルムの先端部の位置決め調整を行うようにしたので、ローラ移動機構を用いて前記第2ローラを第1ローラに進行させると前記基板表面において前記光学フイルムの先端部が正確に位置決め固定される。これにより、前記第1ローラを回転させて前記基板を搬送させれば、前記基板と前記光学フイルムの残余部分との貼着が行われ、前記基板表面に前記光学フイルムを高精度に貼着することができる。従って、前記光学フイルムと前記基板との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置(LCD)の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。   According to the present invention, the positioning of the leading end of the optical film with respect to the substrate surface is adjusted by the rotation of the second roller while the optical film is separated from the substrate. When the second roller is advanced to the first roller, the tip of the optical film is accurately positioned and fixed on the substrate surface. Accordingly, when the first roller is rotated to convey the substrate, the substrate and the remaining portion of the optical film are adhered, and the optical film is adhered to the substrate surface with high accuracy. be able to. Accordingly, it is possible to suppress the generation of dust and bubbles between the optical film and the substrate and the generation of charging, and it is possible to improve the quality by improving the quality of the liquid crystal display device (LCD). become.

本発明に係る光学フイルム貼着装置及び方法について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。   Preferred embodiments of the optical film sticking apparatus and method according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本実施の形態に係る光学フイルム貼着装置10の構成を概略側面図であり、図2は基板12の搬送部分を示す平面図である。   FIG. 1 is a schematic side view showing a configuration of an optical film sticking apparatus 10 according to the present embodiment, and FIG. 2 is a plan view showing a transport portion of a substrate 12.

光学フイルム貼着装置10は、基板12に光学フイルム14(フイルム片16)を貼着する装置であり、ロール状に巻回された光学フイルム14を収容するフイルム巻出部18と、前記フイルム巻出部18から巻き出された前記光学フイルム14を搬送するフイルム搬送部20と、前記光学フイルム14を構成する剥離フイルム(剥離層)22を前記光学フイルム14から剥離してロール状に巻き取る剥離フイルム巻取部24と、基板12を搬送する基板搬送部26と、前記基板搬送部26における基板12の位置決めを行う基板位置決め部28と、前記基板12に対する光学フイルム14の貼着を行うフイルム貼着部30と、前記光学フイルム14が貼着された基板12を検査する検査部32と、前記基板12及び前記光学フイルム14の除電を行う除電部34と、前記光学フイルム貼着装置10の各部位を電気的に制御する図示しない制御部とから構成されている。   The optical film sticking device 10 is a device for sticking an optical film 14 (film piece 16) to a substrate 12, and includes a film unwinding portion 18 for accommodating the optical film 14 wound in a roll shape, and the film winding. A film transport unit 20 that transports the optical film 14 unwound from the exit unit 18 and a peeling film (peeling layer) 22 that forms the optical film 14 are peeled off from the optical film 14 and wound into a roll. A film take-up unit 24, a substrate transfer unit 26 for transferring the substrate 12, a substrate positioning unit 28 for positioning the substrate 12 in the substrate transfer unit 26, and a film application for attaching the optical film 14 to the substrate 12 The attachment part 30, the inspection part 32 for inspecting the substrate 12 to which the optical film 14 is adhered, the substrate 12 and the optical film 14 A static eliminator 34 for collecting, and a control unit (not shown) for electrically controlling each part of the optical film sticking device 10.

基板12は、液晶表示基板、プラズマ表示基板、有機EL基板、TFT基板、プリント基板等に用いられるガラス基板、合成樹脂基板等の平板状部材であることが好ましく、予めセル、電極等の電子機構部品が形成されている回路基板であってもよい。また、前記基板12の形状は、例えば、矩形形状であっても、前記基板12の片面に光学フイルム14を切断して形成されたフイルム片16が貼着されたものでもよい。   The substrate 12 is preferably a flat plate member such as a glass substrate or a synthetic resin substrate used for a liquid crystal display substrate, a plasma display substrate, an organic EL substrate, a TFT substrate, a printed substrate, etc., and an electronic mechanism such as a cell or an electrode in advance. It may be a circuit board on which components are formed. The substrate 12 may have a rectangular shape, for example, or a film piece 16 formed by cutting the optical film 14 on one surface of the substrate 12 may be attached.

光学フイルム14は、図3に示すように、合紙層14aと保護フイルム層14bと偏光板層14cと保護フイルム層14dと粘着層14eと位相差膜層14fと粘着層14gと剥離フイルム22との積層体で構成され、ロール36に長さ500m以上巻回され、その厚みは200〜500μmの帯状のフイルムである。   As shown in FIG. 3, the optical film 14 includes a slip sheet layer 14a, a protective film layer 14b, a polarizing plate layer 14c, a protective film layer 14d, an adhesive layer 14e, a retardation film layer 14f, an adhesive layer 14g, and a release film 22. It is a belt-shaped film having a thickness of 200 to 500 μm, wound around a roll 36 by a length of 500 m or more.

合紙層14aは、ポリエチレン(PE)又はポリエチレンテレフタレート(PET)から構成され、シリコンゴムに対する摩擦係数は、0.7以上、より好ましくは0.9以上である。また、保護フイルム層14b、14dは、三酢酸セルロース(TAC)から構成されている。偏光板層14cは、ポリビニルアルコール(PVA)から構成されている。位相差膜層14fは、ポリプロピレン(PP)から構成されている。剥離フイルム22は、PETから構成されている。   The interleaf sheet 14a is made of polyethylene (PE) or polyethylene terephthalate (PET), and the coefficient of friction against silicon rubber is 0.7 or more, more preferably 0.9 or more. The protective film layers 14b and 14d are made of cellulose triacetate (TAC). The polarizing plate layer 14c is made of polyvinyl alcohol (PVA). The retardation film layer 14f is made of polypropylene (PP). The peeling film 22 is made of PET.

また、光学フイルム14は、図4に示すように、合紙層14aと保護フイルム層14bと偏光板層14cと保護フイルム層14dと粘着層14gと剥離フイルム22との積層体で構成されていてもよい。   Further, as shown in FIG. 4, the optical film 14 is composed of a laminate of an interleaf sheet layer 14a, a protective film layer 14b, a polarizing plate layer 14c, a protective film layer 14d, an adhesive layer 14g, and a peeling film 22. Also good.

そして、上述した光学フイルム14は、図1に示すフイルム巻出部18から巻き出された際、合紙層14aが図1の下側に配置され、剥離フイルム22が図1の上側に配置されるように前記フイルム巻出部18内に収容されている。   When the optical film 14 is unwound from the film unwinding portion 18 shown in FIG. 1, the interleaf sheet 14a is disposed on the lower side of FIG. 1, and the peeling film 22 is disposed on the upper side of FIG. As shown in FIG.

また、フイルム片16は、前述した帯状の光学フイルム14をフイルム搬送部20におけるフイルム切断手段38で所定長さだけ切断することにより切り出される。   Further, the film piece 16 is cut out by cutting the above-described band-shaped optical film 14 by a film cutting means 38 in the film transport unit 20 by a predetermined length.

フイルム巻出部18は、フイルム巻出手段39と、パスローラ40と、フイルム位置検出手段42と、フイルム接合手段44と、パスローラ46、48と、フイルム張力調整手段50と、パスローラ53とを有する。   The film unwinding section 18 includes a film unwinding means 39, a pass roller 40, a film position detecting means 42, a film joining means 44, pass rollers 46 and 48, a film tension adjusting means 50, and a pass roller 53.

フイルム巻出手段39は、光学フイルム14が巻回されたロール36から前記光学フイルム14を巻き出すユニットであり、前記ロール36の軸部52を図示しないモータで回転させることにより、前記光学フイルム14を巻き出してフイルム搬送部20に搬送する。   The film unwinding means 39 is a unit for unwinding the optical film 14 from the roll 36 around which the optical film 14 is wound. By rotating the shaft portion 52 of the roll 36 with a motor (not shown), the optical film 14 is rotated. Is unwound and conveyed to the film conveying unit 20.

パスローラ40は、ロール36から巻き出された光学フイルム14の送出方向を変化させるローラである。また、フイルム位置検出手段42は、前記光学フイルム14の幅方向(図1の紙面に直交する方向)の少なくとも片側端部の位置を検出するエッジセンサであり、光電子式もしくは光学式のフォトセンサを用いることが好ましいが、音波式やエア式のエッジセンサでもよい。   The pass roller 40 is a roller that changes the delivery direction of the optical film 14 unwound from the roll 36. The film position detecting means 42 is an edge sensor that detects the position of at least one end of the optical film 14 in the width direction (the direction orthogonal to the paper surface of FIG. 1), and uses an optoelectronic or optical photosensor. Although it is preferable to use it, a sound wave type or air type edge sensor may be used.

フイルム接合手段44は、ロール36から光学フイルム14が無くなったときに、送出された前記光学フイルム14と、フイルム巻出手段39に新たに装填されるロール36の光学フイルム14とを接合する。   The film joining means 44 joins the delivered optical film 14 and the optical film 14 of the roll 36 newly loaded in the film unwinding means 39 when the optical film 14 is removed from the roll 36.

すなわち、ロール36に光学フイルム14が無くなった場合、先ず、光学フイルム貼着装置10を停止してから、前記フイルム接合手段44に送出された光学フイルム14の終端部を吸着する。次いで、前記ロール36を新しいロール36に交換し、前記新しいロール36から光学フイルム14の先端部を巻き出して、交換前のロール36の光学フイルム14の終端部とを前記フイルム接合手段44において重畳させた状態で、前記フイルム接合手段44の図示しないテープ貼合ユニットにより前記各光学フイルム14の端部の接合を行う。   That is, when the optical film 14 is lost on the roll 36, the optical film sticking apparatus 10 is first stopped, and then the terminal portion of the optical film 14 sent to the film joining means 44 is sucked. Next, the roll 36 is replaced with a new roll 36, the leading end portion of the optical film 14 is unwound from the new roll 36, and the end portion of the optical film 14 of the roll 36 before replacement is overlapped with the film joining means 44. In this state, the end portions of the optical films 14 are joined by a tape bonding unit (not shown) of the film joining means 44.

パスローラ46、48は、フイルム接合手段44を通過した光学フイルム14の送出方向を変化させるローラである。   The pass rollers 46 and 48 are rollers that change the delivery direction of the optical film 14 that has passed through the film joining means 44.

フイルム張力調整手段50は、巻き出された光学フイルム14の張力を所定の大きさに調整する張力調整機構であり、ダンサーローラ50aと、空圧ユニット50bとを有する。前記ダンサーローラ50aは、ロール36からフイルム搬送部20までの間の光学フイルム14の張力を一定に保つためのローラであり、前記空圧ユニット50bに対して矢印A方向(図1では上下方向)に摺動自在に取り付けられている。前記空圧ユニット50bは、エアの圧力により前記ダンサーローラ50aに作用する自重を補正して、前記光学フイルム14の送出を安定化させるためのものである。   The film tension adjusting means 50 is a tension adjusting mechanism that adjusts the tension of the unwound optical film 14 to a predetermined magnitude, and includes a dancer roller 50a and a pneumatic unit 50b. The dancer roller 50a is a roller for keeping the tension of the optical film 14 between the roll 36 and the film transport unit 20 constant, and is in the direction of arrow A (vertical direction in FIG. 1) with respect to the pneumatic unit 50b. It is slidably attached to. The pneumatic unit 50b is for correcting the self-weight acting on the dancer roller 50a by the pressure of air and stabilizing the delivery of the optical film 14.

パスローラ53は、フイルム張力調整手段50のダンサーローラ50aを通過した光学フイルム14の送出方向を変化させるローラである。   The pass roller 53 is a roller that changes the delivery direction of the optical film 14 that has passed through the dancer roller 50 a of the film tension adjusting means 50.

フイルム搬送部20は、フイルム張力調整手段50で張力が調整された光学フイルム4の一部を切断してフイルム片16を形成し、前記フイルム片16をフイルム貼着部30に搬送するものであり、フィードローラ54a、54bと、フイルム切断手段38と、フイルム片搬送手段(光学フイルム搬送手段)56と、フイルム位置検出手段58と、フイルム切断位置検出手段60とから構成されている。
The film transport unit 20 cuts a part of the optical film 4 whose tension is adjusted by the film tension adjusting means 50 to form the film piece 16 and transports the film piece 16 to the film sticking unit 30. , Feed rollers 54a and 54b, film cutting means 38, film piece conveying means (optical film conveying means) 56, film position detecting means 58, and film cutting position detecting means 60.

フィードローラ54a、54bは、張力が調整された光学フイルム14を狭持して、その長手方向に送出するローラであり、図示しない制御部により回転量が調整され、前記光学フイルム14の送出長さを調整することが可能である。   The feed rollers 54a and 54b are rollers for holding the optical film 14 with the tension adjusted and feeding it in the longitudinal direction. The rotation amount is adjusted by a control unit (not shown), and the feeding length of the optical film 14 is adjusted. Can be adjusted.

フイルム切断手段38は、光学フイルム14をその長手方向(搬送方向)に所定の長さで切断してフイルム片16を切り出すものであり、前記フイルム切断手段38は、切り出される前記フイルム片16の長さに対応して、フィードローラ54a、54bと、フイルム片搬送手段56との間に配置されている。その際、前記フイルム切断手段38の位置を、図示しない摺動機構により矢印B方向(光学フイルム14の搬送方向)を摺動させることにより、サイズの異なるフイルム片16を切り出し可能である。この場合、前記フイルム切断手段38は、トムソン刃による油圧又はモータークランクによるギロチン方式カッター、レーザーカッター、丸刃転動式カッター、丸刃ナイフ刃の引き切り式カッター等を用いることが好ましい。   The film cutting means 38 cuts the optical film 14 at a predetermined length in the longitudinal direction (conveyance direction) and cuts out the film piece 16. The film cutting means 38 is the length of the film piece 16 to be cut out. Corresponding to this, it is arranged between the feed rollers 54 a and 54 b and the film piece conveying means 56. At this time, the film pieces 16 having different sizes can be cut out by sliding the position of the film cutting means 38 in the direction of arrow B (the transport direction of the optical film 14) by a sliding mechanism (not shown). In this case, the film cutting means 38 is preferably a hydraulic cutter using a Thomson blade or a guillotine cutter using a motor crank, a laser cutter, a round blade rolling cutter, a round blade knife blade pulling cutter, or the like.

また、フイルム切断手段38では、光学フイルム14を基板12に貼り付けてからフイルム片16として切り出す場合、前記光学フイルム14の送出を停止する必要があるが、前記摺動機構により前記基板12の貼り始めから停止することなく1枚の基板12への貼着が可能となり、貼付作業を停止することによる停止痕の発生を防止することができる。さらに、前記光学フイルム14のハーフカットを行う場合、前記光学フイルム14の下側の面(図3及び図4の合紙14a側)から切り込んでいるので、前記ハーフカットにより発生する切屑は、剥離フイルム22側(粘着層14g側)に行きにくい。   Further, in the film cutting means 38, when the optical film 14 is attached to the substrate 12 and then cut out as the film piece 16, it is necessary to stop the feeding of the optical film 14, but the sliding mechanism causes the attachment of the substrate 12 to the film. Adhesion to a single substrate 12 is possible without stopping from the beginning, and generation of stop marks due to stopping the pasting operation can be prevented. Further, when the half cut of the optical film 14 is performed, since the cut is made from the lower surface of the optical film 14 (the interleaf 14a side in FIGS. 3 and 4), the chips generated by the half cut are peeled off. Difficult to go to the film 22 side (adhesive layer 14g side).

フイルム片搬送手段56は、フイルム切断手段38で前記所定の長さに切断して形成されたフイルム片16をフイルム貼着部30に搬送するものであり、前記フイルム片16の下側(図3及び図4の合紙層14a側)をベルトで吸引しながら基板12への貼付位置に矢印B方向に搬送するベルトコンベア(サクションコンベア)である。前記ベルトは、矢印B方向と直交する方向に引っ張られており、前記ベルトの中央付近が弛まないようにされている。この場合、前記フイルム片搬送手段56は、図示しない制御部によりフイルム巻出部18と同期して駆動制御される。
The film piece conveying means 56 conveys the film piece 16 formed by being cut into the predetermined length by the film cutting means 38 to the film adhering portion 30. The film piece conveying means 56 is provided below the film piece 16 (see FIG. 3). 4 is a belt conveyer (suction conveyer) that conveys in the direction of arrow B to the position where it is affixed to the substrate 12 while sucking the interleaf sheet layer 14a side of FIG. 4 with a belt. The belt is pulled in a direction perpendicular to the arrow B direction so that the vicinity of the center of the belt does not loosen. In this case, the film piece conveying means 56 is driven and controlled in synchronization with the film unwinding section 18 by a control section (not shown).

フイルム位置検出手段58は、フイルム片搬送手段56のフイルム貼着部30側の端部近傍に配置され、且つフイルム片搬送手段56で搬送されたフイルム片16又は前記フイルム片16の幅方向の少なくとも片側の端部の位置を検出するエッジセンサであり、光電子式又は光学式のフォトセンサ、音波式又はエア式のエッジセンサであることが好ましい。   The film position detecting means 58 is disposed in the vicinity of the end of the film piece conveying means 56 on the film adhering portion 30 side, and is at least in the width direction of the film piece 16 conveyed by the film piece conveying means 56 or the film piece 16. It is an edge sensor that detects the position of one end, and is preferably an optoelectronic or optical photosensor, a sonic or pneumatic edge sensor.

フイルム切断位置検出手段60は、フイルム位置検出手段58よりもフイルム貼着部30側に配置され、且つフイルム片搬送手段56により搬送された光学フイルム14の先端部を検出するエッジセンサであり、光電子式又は光学式のフォトセンサや、音波式又はエア式のエッジセンサであることが好ましい。   The film cutting position detecting means 60 is an edge sensor that is disposed closer to the film adhering portion 30 than the film position detecting means 58 and detects the leading end of the optical film 14 conveyed by the film piece conveying means 56. It is preferable to use a photosensor of the type or optical type, or an edge sensor of the sonic type or air type.

ここで、フイルム切断位置検出手段60が、前記光学フイルム14の先端側を検出し、その情報を図示しない制御部に送信すると、前記制御部は、前記情報に基づいて前記光学フイルム14の切断を指示する信号をフイルム切断手段38に送信する。これにより、前記フイルム切断手段38は、前記光学フイルム14を所定の長さで切断し、フイルム片16を切り出す。従って、前記フイルム切断位置検出手段60で検出される前記光学フイルム14の先端部と、前記フイルム切断手段38で切断される前記光学フイルム14の切断箇所との間の距離が、上述した所定の長さとなる。   Here, when the film cutting position detecting means 60 detects the leading end side of the optical film 14 and transmits the information to a control unit (not shown), the control unit cuts the optical film 14 based on the information. The instructing signal is transmitted to the film cutting means 38. Thereby, the film cutting means 38 cuts the optical film 14 by a predetermined length, and cuts the film piece 16. Therefore, the distance between the leading end of the optical film 14 detected by the film cutting position detecting means 60 and the cutting position of the optical film 14 cut by the film cutting means 38 is the predetermined length described above. It becomes.

剥離フイルム巻取部24は、剥離フイルム分離用ローラ62と、パスローラ64、66、68と、剥離フイルム巻取手段70とを有する。   The peeling film winding unit 24 includes a peeling film separating roller 62, pass rollers 64, 66 and 68, and a peeling film winding means 70.

剥離フイルム分離用ローラ62は、フイルム片搬送手段56のフイルム貼着部30寄りにあって、搬送される光学フイルム14又はフイルム片16の上面(図3及び図4の剥離フイルム22)に接し、且つその軸が前記光学フイルム14又はフイルム片16の搬送方向(矢印B1方向)に直交して配置されたローラであり、前記光学フイルム14又はフイルム片16から剥離フイルム22(図3及び図4参照)のみを分離する。この場合、前記剥離フイルム分離用ローラ62の背後に前記剥離フイルム分離用ローラ62の撓みを防止する図示しないバックアップローラを設けることが好ましい。前記バックアップローラに代えて、先端に丸みを帯びたエッジを備えるエッジ部材やサクションドラムを用いて前記撓みを防止することも可能である。   The peeling film separating roller 62 is near the film adhering portion 30 of the film piece conveying means 56 and is in contact with the upper surface of the optical film 14 or film piece 16 to be conveyed (the peeling film 22 in FIGS. 3 and 4). Further, the roller is a roller whose axis is arranged perpendicular to the transport direction (arrow B1 direction) of the optical film 14 or film piece 16, and is peeled from the optical film 14 or film piece 16 (see FIGS. 3 and 4). Only). In this case, it is preferable to provide a backup roller (not shown) for preventing the peeling of the peeling film separating roller 62 behind the peeling film separating roller 62. Instead of the backup roller, it is possible to prevent the bending by using an edge member or a suction drum having a rounded edge at the tip.

パスローラ64、66、68は、剥離フイルム分離用ローラ62で分離された剥離フイルム22の送出方向を変化させるローラである。   The pass rollers 64, 66 and 68 are rollers for changing the feeding direction of the peeling film 22 separated by the peeling film separating roller 62.

剥離フイルム巻取手段70は、分離された剥離フイルム22を所定のトルクで巻き取るものであり、図示しないトルク発生手段により一定のトルクで巻取ロール72を回転駆動させて、前記剥離フイルム22を巻き取る。また、前記剥離フイルム巻取手段70は、前記巻取ロール72の軸部73の外径が可変可能なものであり、これにより巻き取った前記剥離フイルム22を外しやすくすることができる。   The peeling film winding means 70 winds the separated peeling film 22 with a predetermined torque, and rotates the winding roll 72 with a constant torque by a torque generating means (not shown) to cause the peeling film 22 to rotate. Wind up. Moreover, the said peeling film winding means 70 can change the outer diameter of the axial part 73 of the said winding roll 72, and can make it easy to remove the said peeling film 22 wound up by this.

基板搬送部26は、図1及び図2に示すように、フイルム貼着部30を挟んで配置される第1基板搬送ユニット74及び第2基板搬送ユニット76と、前記第1基板搬送ユニット74に配置された第1基板検出手段78と、前記フイルム貼着部30両側に配置された第2基板検出手段80と、前記第2基板搬送ユニット76に配置された第3基板検出手段82とを有する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate transport unit 26 includes a first substrate transport unit 74 and a second substrate transport unit 76 that are disposed with the film sticking unit 30 interposed therebetween, and the first substrate transport unit 74. The first substrate detecting means 78 disposed, the second substrate detecting means 80 disposed on both sides of the film adhering portion 30, and the third substrate detecting means 82 disposed on the second substrate transport unit 76. .

第1基板搬送ユニット74は、複数の駆動ホイール84を有するホイールコンベアであり、前記駆動ホイール84を図示しない制御部で駆動している状態で外部から供給された基板12を水平に矢印C1方向(図1及び図2参照)に搬送する。前記駆動ホイール84は、基板12にかかる駆動力を緩衝する図示しないすべり軸受を有し、前記基板12に応力が作用するときには、前記すべり軸受が滑って前記基板12の動きに追従する。これにより、前記駆動ホイール84と前記基板12との間の摩擦によって前記基板12の表面に形成される傷を抑制することができる。
The first substrate transport unit 74 is a wheel conveyor having a plurality of drive wheels 84, and the substrate 12 supplied from the outside in a state where the drive wheel 84 is driven by a control unit (not shown) is horizontally arranged in the direction of arrow C1 ( 1). The drive wheel 84 has a sliding bearing (not shown) that buffers the driving force applied to the substrate 12, and when a stress acts on the substrate 12 , the sliding bearing slides to follow the movement of the substrate 12. Thereby, the damage | wound formed in the surface of the said board | substrate 12 by the friction between the said drive wheel 84 and the said board | substrate 12 can be suppressed.

第1基板検出手段78は、フイルム貼着部30に搬送される基板12の通過を検出するセンサである。また、第2基板検出手段80は、基板位置決め部28を構成する基板係止手段86によって係止される前記基板12の位置を検出するセンサである。   The first substrate detection means 78 is a sensor that detects the passage of the substrate 12 conveyed to the film sticking unit 30. The second substrate detection means 80 is a sensor that detects the position of the substrate 12 that is locked by the substrate locking means 86 that constitutes the substrate positioning portion 28.

第2基板搬送ユニット76は、複数の駆動ホイール88を有するホイールコンベアであり、前記駆動ホイール88を図示しない制御部で駆動している状態で、フイルム貼着部30でフイルム片16が貼着された基板12(貼付途中のものを含む)を水平且つ矢印C1方向に搬送する。前記各駆動ホイール88は、駆動ホイール84と同様の図示しないすべり軸受を有する。   The second substrate transport unit 76 is a wheel conveyor having a plurality of drive wheels 88, and the film piece 16 is stuck on the film sticking unit 30 while the drive wheel 88 is driven by a control unit (not shown). The substrate 12 (including the one in the middle of pasting) is transported horizontally and in the direction of the arrow C1. Each drive wheel 88 has a sliding bearing (not shown) similar to the drive wheel 84.

第3基板検出手段82は、第2基板搬送ユニット76で搬送されるフイルム片16が貼着された基板12を検出するセンサである。   The third substrate detection means 82 is a sensor that detects the substrate 12 to which the film piece 16 conveyed by the second substrate conveyance unit 76 is attached.

さらに、第2基板搬送ユニット76は、フイルム片16が貼り付けられた基板12を外部に排出するために、駆動ホイール88上の基板12を前記駆動ホイール88より高い位置に上昇させる図示しないリフタを有する。
Further, the second substrate transport unit 76 is provided with a lifter (not shown) for raising the substrate 12 on the drive wheel 88 to a position higher than the drive wheel 88 in order to discharge the substrate 12 with the film piece 16 attached thereto. Have.

基板位置決め部28は、フイルム貼着部30と第2基板搬送ユニット76との間に配置された基板係止手段86と、第1基板搬送ユニット74の前記フイルム貼着部30側に配置された基板浮上ユニット90と、前記フイルム貼着部30側の前記第1基板搬送ユニット74上に配置された基板位置決めユニット92とを有する。   The substrate positioning unit 28 is disposed on the film adhering unit 30 side of the first substrate transport unit 74 and the substrate locking means 86 disposed between the film adhering unit 30 and the second substrate transport unit 76. A substrate floating unit 90 and a substrate positioning unit 92 disposed on the first substrate transport unit 74 on the film sticking unit 30 side are provided.

基板係止手段86は、第1基板搬送ユニット74上を搬送される基板12の先端部に当接して前記基板12を係止させる係止部86aと、前記係止部86aを進退させて前記基板12に対する係止動作及び解除動作を行わせる進退動作部86bとを有する。   The substrate locking means 86 is abutting against the tip of the substrate 12 transported on the first substrate transport unit 74 to lock the substrate 12, and the locking portion 86a is moved forward and backward to move the locking portion 86a. And an advancing / retracting operation part 86b for performing a locking operation and a releasing operation with respect to the substrate 12.

第1基板搬送ユニット74上を矢印C1方向に搬送される基板12は、フイルム貼着部30を構成する受ローラ(第1ローラ)94と圧着ローラ(第2ローラ)96とによって狭持され、前記各ローラ94、96の回転動作により、前記第1基板搬送ユニット74から第2基板搬送ユニット76に向けてさらに搬送される。ここで、進退動作部86bを駆動させて、前記各ローラ94、96における前記基板12の排出側(前記基板12の搬送方向下流側)に係止部86aを突出させれば、前記基板12は、前記受ローラ94及び前記圧着ローラ96に狭持された状態で、前記基板12の先端部が前記係止部86aに係止される。
The substrate 12 conveyed on the first substrate conveyance unit 74 in the direction of the arrow C1 is sandwiched between a receiving roller (first roller) 94 and a pressure roller (second roller) 96 constituting the film adhering unit 30. The rollers 94 and 96 are further transported from the first substrate transport unit 74 toward the second substrate transport unit 76 by the rotating operation of the rollers 94 and 96. Here, if the advancing / retreating operation part 86b is driven and the locking part 86a is protruded to the discharge side of the substrate 12 (downstream in the transport direction of the substrate 12) in each of the rollers 94, 96, the substrate 12 is The leading end of the substrate 12 is locked to the locking portion 86a while being held between the receiving roller 94 and the pressure roller 96 .

一方、進退動作部86bの駆動により係止部86aが前記進退動作部86bに退動すると、前記基板12の係止状態は解除され、前記基板12は各ローラ94、96から第2基板搬送ユニット76に向けて搬送される。   On the other hand, when the locking portion 86a is moved back to the forward / backward movement portion 86b by driving the forward / backward movement portion 86b, the locked state of the substrate 12 is released, and the substrate 12 is moved from the rollers 94, 96 to the second substrate transfer unit. It is conveyed toward 76.

また、進退動作部86bは、前述したように、係止部86aを進退動作させる摺動機構であっても、図示しないアームを回動させて前記係止部86aを基板12の先端部に当接可能な揺動機構であってもよい。   In addition, as described above, the advancing / retracting operation portion 86b is a sliding mechanism that moves the engaging portion 86a forward / backward, and rotates the arm (not shown) so that the engaging portion 86a contacts the front end portion of the substrate 12. It may be a rocking mechanism that can be contacted.

基板浮上ユニット90は、基板位置決めユニット92による基板12の位置決めに先立って、基板係止手段86の係止部86aによって係止された前記基板12に対して第1基板搬送ユニット74側からエアを吹き付けて、前記基板12を前記第1基板搬送ユニット74から浮上させるものである。これにより、前記基板12の位置決めを行う際に発生する前記基板12と駆動ホイール84との摩擦による該基板12の傷の発生を防止することができる。   Prior to the positioning of the substrate 12 by the substrate positioning unit 92, the substrate floating unit 90 supplies air from the first substrate transport unit 74 side to the substrate 12 locked by the locking portion 86a of the substrate locking means 86. By spraying, the substrate 12 is levitated from the first substrate transport unit 74. Thereby, the generation | occurrence | production of the damage | wound of this board | substrate 12 by the friction with the said board | substrate 12 and the drive wheel 84 which generate | occur | produce when positioning the said board | substrate 12 can be prevented.

基板位置決めユニット92は、基板浮上ユニット90によって浮上した基板12の搬送方向(矢印C1方向)及びその直交方向(矢印D方向)の位置決めを行うものであり、矢印C1方向の位置決めを行う搬送方向位置決め手段98と、矢印D方向の位置決めを行う2つの幅方向位置決め手段100とを有する。   The substrate positioning unit 92 performs positioning in the transport direction (arrow C1 direction) and the orthogonal direction (arrow D direction) of the substrate 12 levitated by the substrate floating unit 90. The substrate positioning unit 92 performs positioning in the arrow C1 direction. Means 98 and two width direction positioning means 100 for positioning in the direction of arrow D.

搬送方向位置決め手段98は、基板12をその背後側から押圧して、基板係止手段86の係止部86aと共に前記基板12の搬送方向の位置決めを行うものであり、複数のローラ102を介して前記基板12の矢印C2方向側の端部を押圧する。一方、幅方向位置決め手段100は、基板12両側を矢印D方向に規制して位置決めを行うものであり、複数のローラ104を介して前記基板12両側を矢印D方向に押圧して位置決めを行う。従って、ローラ102、104により、前記基板12の端面が擦れることなくスムーズに位置決めを行うことができる。   The conveyance direction positioning means 98 presses the substrate 12 from the back side thereof, and positions the substrate 12 in the conveyance direction together with the locking portion 86a of the substrate locking means 86. The end of the substrate 12 on the arrow C2 direction side is pressed. On the other hand, the width direction positioning means 100 performs positioning by regulating both sides of the substrate 12 in the direction of arrow D, and performs positioning by pressing both sides of the substrate 12 in the direction of arrow D via a plurality of rollers 104. Therefore, the rollers 102 and 104 can perform positioning smoothly without rubbing the end face of the substrate 12.

フイルム貼着部30は、剥離フイルム22が分離されたフイルム片16の粘着層14g(図3及び図4参照)を、基板位置決め部28で位置決めされた基板12の搬送方向(矢印C1方向)側の先端部とフイルム片16の先端部(切断面)とが平行になるように、前記基板12の所望の位置に貼り付けるものであり、受ローラ94と圧着ローラ96とを有する。   The film sticking unit 30 is configured to transport the adhesive layer 14g (see FIGS. 3 and 4) of the film piece 16 from which the peeling film 22 is separated, on the side of the substrate 12 that is positioned by the substrate positioning unit 28 (direction of arrow C1). This is attached to a desired position of the substrate 12 so that the front end portion of the film and the front end portion (cut surface) of the film piece 16 are parallel to each other, and includes a receiving roller 94 and a pressure roller 96.

受ローラ94は、基板12を搬送すると共に、その下側から圧着ローラ96の押圧力を受けるゴムローラである一方、圧着ローラ96は、前記基板12の下側から前記受ローラ94に向かって押圧することにより、送出されたフイルム片16を巻き込んで基板12の下面に圧着させるゴムローラである。   The receiving roller 94 is a rubber roller that conveys the substrate 12 and receives the pressing force of the pressing roller 96 from the lower side thereof, while the pressing roller 96 presses the receiving roller 94 from the lower side of the substrate 12. This is a rubber roller that entrains the fed film piece 16 and presses it against the lower surface of the substrate 12.

圧着ローラ96は、図5及び図6に示すように、円筒形状の外筒部96aと、前記外筒部96aと同軸に前記外筒部96a内に配置された円筒形状の内筒部96bとを有し、前記外筒部96aは、ベアリング106a、106bを介して前記内筒部96bに保持されている。そのため、前記外筒部96aは、その軸を中心に対して回転自在である。   As shown in FIGS. 5 and 6, the pressure roller 96 includes a cylindrical outer tube portion 96a, and a cylindrical inner tube portion 96b disposed in the outer tube portion 96a coaxially with the outer tube portion 96a. The outer cylinder part 96a is held by the inner cylinder part 96b via bearings 106a and 106b. Therefore, the outer cylinder portion 96a is rotatable about its axis.

外筒部96aは、ステンレス・スチール製の第1部材108aと、前記第1部材106の外周に形成されシリコンゴムからなる第2部材108bとから構成され、円筒部分の両側は、締結部材110を介して中空のギヤ112a、112bで被蓋されている。一方、内筒部96bの両側には支持部材114a、114bを介してシリンダ機構116a、116bが連結され、前記シリンダ機構116a、116bの駆動により、前記内筒部96bを含む圧着ローラ96は、受ローラ94に対して進退自在となる。   The outer cylinder portion 96a is composed of a first member 108a made of stainless steel and a second member 108b made of silicon rubber formed on the outer periphery of the first member 106. And is covered with hollow gears 112a and 112b. On the other hand, cylinder mechanisms 116a and 116b are connected to both sides of the inner cylinder portion 96b via support members 114a and 114b, and the pressure roller 96 including the inner cylinder portion 96b is received by driving the cylinder mechanisms 116a and 116b. The roller 94 can move forward and backward.

また、内筒部96bの一端側(図5では右側)には、複数の固定部材118、120、121を介してトルクモータ122と、前記トルクモータ122の回転数を調整する減速器124とが固定保持されている。さらに、前記内筒部96bに沿って前記減速器124から延在するシャフト126には、前記シャフト126に係合する電磁クラッチ128と、電磁クラッチ128よりも前記減速器124寄りに配置されたベアリング130を介して前記シャフト126に係合するギヤ132とが配置されている。また、前記ギヤ132は、内筒部96b側のギヤ112bに係合している。なお、前記シャフト126の先端部は、ベアリング134を介して固定部材120上に固定された保持部材136によって保持されている。   Further, on one end side (right side in FIG. 5) of the inner cylinder portion 96b, a torque motor 122 and a speed reducer 124 that adjusts the rotational speed of the torque motor 122 are provided via a plurality of fixing members 118, 120, 121. It is held fixed. Further, the shaft 126 extending from the speed reducer 124 along the inner cylinder portion 96b includes an electromagnetic clutch 128 that engages with the shaft 126, and a bearing that is disposed closer to the speed reducer 124 than the electromagnetic clutch 128. A gear 132 that engages with the shaft 126 via 130 is disposed. The gear 132 is engaged with the gear 112b on the inner cylinder portion 96b side. The tip end portion of the shaft 126 is held by a holding member 136 fixed on the fixing member 120 via a bearing 134.

ここで、トルクモータ122が駆動すると減速器124を介してシャフト126が所定の回転数で回転し、前記シャフト126に係合する電磁クラッチ128も回転する。この場合、図示しない電源から前記電磁クラッチ128に電力を供給すると、前記電磁クラッチ128が駆動して前記減速器124の方向に移動し、前記ギヤ132を押圧する。これにより、シャフト126の回転が前記電磁クラッチ128を介して前記ギヤ132に伝達され、前記ギヤ132は前記シャフト126と同一方向に回転する。さらに、前記ギヤ132に係合するギヤ112bは、前記ギヤ132とは反対方向に回転し、その結果、外筒部96aは前記ギヤ132と同一方向に回転する。   Here, when the torque motor 122 is driven, the shaft 126 rotates at a predetermined rotational speed via the speed reducer 124, and the electromagnetic clutch 128 that engages with the shaft 126 also rotates. In this case, when power is supplied to the electromagnetic clutch 128 from a power source (not shown), the electromagnetic clutch 128 is driven to move toward the speed reducer 124 and press the gear 132. Thereby, the rotation of the shaft 126 is transmitted to the gear 132 via the electromagnetic clutch 128, and the gear 132 rotates in the same direction as the shaft 126. Further, the gear 112 b engaged with the gear 132 rotates in the opposite direction to the gear 132, and as a result, the outer cylinder portion 96 a rotates in the same direction as the gear 132.

一方、内筒部96bの他端側(図5では左側)は、支持部材114a、保持部材138及び固定部材140、142を介してロータリアクチュエータ144が固定保持されている。また、前記内筒部96bに沿って前記ロータリアクチュエータ144から延在するシャフト146には、前記シャフト146に係合する電磁クラッチ148と、前記電磁クラッチ148よりも前記ロータリアクチュエータ144側に配置されたベアリング150を介して前記シャフト146に係合するギヤ152とが配置されている。また、前記ギヤ152は、内筒部96b側のギヤ112aに係合している。なお、前記シャフト146の先端部は、ベアリング154を介して支持部材114aと固定部材140との間に固定された前記保持部材138によって保持されている。   On the other hand, on the other end side (the left side in FIG. 5) of the inner cylinder portion 96b, the rotary actuator 144 is fixed and held via the support member 114a, the holding member 138, and the fixing members 140 and 142. The shaft 146 extending from the rotary actuator 144 along the inner cylinder portion 96b is disposed on the rotary actuator 144 side of the electromagnetic clutch 148 and the electromagnetic clutch 148 engaged with the shaft 146. A gear 152 that engages with the shaft 146 via a bearing 150 is disposed. The gear 152 is engaged with the gear 112a on the inner cylinder portion 96b side. Note that the distal end portion of the shaft 146 is held by the holding member 138 fixed between the support member 114 a and the fixing member 140 via a bearing 154.

ここで、ロータリアクチュエータ144が駆動するとシャフト146が所定の角度だけ回転し、前記シャフト146に係合する電磁クラッチ148も前記所定の角度だけ回転する。この場合、図示しない電源から前記電磁クラッチ148に電力を供給すると、前記電磁クラッチ148が駆動して前記ロータリアクチュエータ144の方向に移動し、ギヤ152を押圧する。これにより、シャフト146の回転が前記電磁クラッチ148を介して前記ギヤ152に伝達され、前記ギヤ152は前記シャフト146と同一方向に前記所定の角度だけ回転する。さらに、前記ギヤ152に係合するギヤ112aは、前記ギヤ152とは反対方向に前記所定の角度だけ回転し、その結果、外筒部96aは前記ギヤ152と同一方向に前記所定の角度だけ回転する。   Here, when the rotary actuator 144 is driven, the shaft 146 rotates by a predetermined angle, and the electromagnetic clutch 148 engaged with the shaft 146 also rotates by the predetermined angle. In this case, when electric power is supplied to the electromagnetic clutch 148 from a power source (not shown), the electromagnetic clutch 148 is driven to move in the direction of the rotary actuator 144 and press the gear 152. Accordingly, the rotation of the shaft 146 is transmitted to the gear 152 via the electromagnetic clutch 148, and the gear 152 rotates in the same direction as the shaft 146 by the predetermined angle. Further, the gear 112 a engaged with the gear 152 rotates by the predetermined angle in the opposite direction to the gear 152, and as a result, the outer cylinder portion 96 a rotates by the predetermined angle in the same direction as the gear 152. To do.

また、図5及び図6に示す内筒部96bには、複数の孔156が形成され、その表面には前記各孔156を囲繞し且つ外筒部96aに向って延在する吸引範囲規制部158が設けられている。また、前記外筒部96aには、内筒部96b側と外部とを連通する複数の孔160が形成されている。さらに、前記内筒部96bは図示しない吸引ポンプに連結されており、前記吸引ポンプが駆動すると、前記孔156及び前記孔160を介して外筒部96a近傍の物体を吸引可能である。   Further, the inner cylinder portion 96b shown in FIGS. 5 and 6 is formed with a plurality of holes 156, and the surface thereof surrounds each of the holes 156 and extends toward the outer cylinder portion 96a. 158 is provided. The outer cylinder portion 96a is formed with a plurality of holes 160 that communicate the inner cylinder portion 96b side with the outside. Further, the inner cylinder portion 96b is connected to a suction pump (not shown), and when the suction pump is driven, an object in the vicinity of the outer cylinder portion 96a can be sucked through the hole 156 and the hole 160.

この場合、外筒部96aに所定の間隔で多数の前記孔160が形成されていても、吸引範囲規制部158によって、前記吸引ポンプの吸引範囲(図6で示す角度α)が規制されているので、光学フイルム14又はフイルム片16の先端部を外筒部96a表面に吸引保持した状態で、シリンダ機構116a、116bを駆動させると、前記光学フイルム14又はフイルム片16と圧着ローラ96とを受ローラ94に対して進退させることができる。   In this case, even if a large number of holes 160 are formed at predetermined intervals in the outer cylinder portion 96a, the suction range (angle α shown in FIG. 6) of the suction pump is restricted by the suction range restriction portion 158. Therefore, when the cylinder mechanisms 116a and 116b are driven in a state where the tip of the optical film 14 or the film piece 16 is sucked and held on the surface of the outer cylinder portion 96a, the optical film 14 or the film piece 16 and the pressure roller 96 are received. The roller 94 can be advanced and retracted.

第2基板搬送ユニット76に設けられた検査部32は、図2に示すように、フイルム貼着部30によって基板12に貼着されたフイルム片16の貼付位置を検出する複数の貼着位置検査手段161を有し、前記貼着位置検査手段161は前記基板12の角部付近に4つ配設されるが、CCDカメラを用いた検出機構であることが好ましい。
As shown in FIG. 2, the inspection unit 32 provided in the second substrate transport unit 76 has a plurality of attachment position inspections for detecting the attachment position of the film piece 16 attached to the substrate 12 by the film attachment unit 30. There are four means 161, and four sticking position inspection means 161 are arranged in the vicinity of the corners of the substrate 12. Preferably, the sticking position inspection means 161 is a detection mechanism using a CCD camera.

図1に示す除電部34は、受ローラ94を回転させて基板12を搬送させる際に前記受ローラ94に発生する静電気を除電する第1除電手段34aと、剥離フイルム分離用ローラ62により光学フイルム14又はフイルム片16から剥離フイルム22を分離する際に発生する前記剥離フイルム分離用ローラ62に発生する静電気を除電する第2除電手段34bとから構成されている。これにより、前記基板12に対するフイルム片16の位置決めを向上させることができる。   The neutralization unit 34 shown in FIG. 1 includes an optical film composed of a first neutralization unit 34 a that neutralizes static electricity generated in the receiving roller 94 when the receiving roller 94 is rotated to convey the substrate 12, and a peeling film separating roller 62. 14 or the second stripping means 34b for neutralizing static electricity generated in the stripping film separating roller 62 generated when the stripping film 22 is separated from the film piece 16. Thereby, the positioning of the film piece 16 with respect to the substrate 12 can be improved.

本実施の形態に係る光学フイルム貼着装置10は以上のように構成されるものであり、次に、その動作について図1〜図10を参照しながら説明する。   The optical film sticking apparatus 10 according to the present embodiment is configured as described above. Next, the operation thereof will be described with reference to FIGS.

先ず、図1及び図2の基板12を第1基板搬送ユニット74により基板位置決め部28に搬送し、基板12を基板浮上ユニット90で浮上させた状態で、基板係止手段86の係止部86aと搬送方向位置決め手段98と幅方向位置決め手段100とにより前記基板12の位置決めを行う。これにより、前記基板12の先端部は受ローラ94の下側に当接し、光学フイルム14又はフイルム片16の貼着を待機する状態に至る。   First, the substrate 12 shown in FIGS. 1 and 2 is transported to the substrate positioning unit 28 by the first substrate transport unit 74 and the substrate 12 is lifted by the substrate floating unit 90. Then, the substrate 12 is positioned by the conveyance direction positioning means 98 and the width direction positioning means 100. Thereby, the front-end | tip part of the said board | substrate 12 contact | abuts the lower side of the receiving roller 94, and it will be in the state which waits for sticking of the optical film 14 or the film piece 16. FIG.

次に、図示しないモータを駆動してフイルム巻出部18の軸部52を回転させて、ロール36から光学フイルム14を巻き出す。その際、前記光学フイルム14の幅方向の位置をフイルム位置検出手段42で検出し、前記位置を調整しながら巻き出す。   Next, the optical film 14 is unwound from the roll 36 by driving a motor (not shown) to rotate the shaft portion 52 of the film unwinding portion 18. At that time, the position of the optical film 14 in the width direction is detected by the film position detecting means 42 and unwound while adjusting the position.

次に、パスローラ40とフイルム接合手段44とパスローラ46、48とを介して巻き出された光学フイルム14の張力をフイルム張力調整手段50で調整する。ここで、空圧ユニット50bからのエアの圧力によりダンサーローラ50aに作用する自重を補正しながら、前記光学フイルム14の張力を調整する。   Next, the tension of the optical film 14 unwound through the pass roller 40, the film joining means 44, and the pass rollers 46 and 48 is adjusted by the film tension adjusting means 50. Here, the tension of the optical film 14 is adjusted while correcting its own weight acting on the dancer roller 50a by the pressure of air from the pneumatic unit 50b.

次に、張力が調整された光学フイルム14を、フィードローラ54a、54bを介して前記光学フイルム14の長手方向(矢印B1方向)に送出する。   Next, the optical film 14 whose tension has been adjusted is sent out in the longitudinal direction (arrow B1 direction) of the optical film 14 via the feed rollers 54a and 54b.

次に、送出された光学フイルム14を、フィードローラ54a、54b及びフイルム片搬送手段56でフイルム貼着部30に向けて矢印B1方向に搬送し、フイルム切断位置検出手段60で前記光学フイルム14の先端部を検出する。前記光学フイルム14の先端部が前記フイルム切断位置検出手段60で検出された場合、前記フイルム切断位置検出手段60は図示しない制御部に検出信号を送信し、前記制御部は、前記検出信号に基づいてフイルム切断手段38に前記光学フイルム14の切断を指示する信号を送信する。これにより、前記フイルム切断手段38は、前記光学フイルム14を所定の長さで切断する。   Next, the delivered optical film 14 is conveyed in the direction of arrow B1 toward the film sticking unit 30 by the feed rollers 54a and 54b and the film piece conveying means 56, and the film cutting position detecting means 60 is used to Detect the tip. When the leading end portion of the optical film 14 is detected by the film cutting position detecting means 60, the film cutting position detecting means 60 transmits a detection signal to a control section (not shown), and the control section is based on the detection signal. Then, a signal instructing cutting of the optical film 14 is transmitted to the film cutting means 38. Thereby, the film cutting means 38 cuts the optical film 14 by a predetermined length.

次に、剥離フイルム分離用ローラ62により、切断により切り出されたフイルム片16から剥離フイルム22を分離する。分離された前記剥離フイルム22は、パスローラ64、66、68を介して剥離フイルム巻取手段70で巻き取られる。   Next, the peeling film 22 is separated from the film piece 16 cut out by the cutting by the peeling film separating roller 62. The separated peeling film 22 is taken up by the peeling film winding means 70 via pass rollers 64, 66 and 68.

次に、剥離フイルム22が分離されたフイルム片16の粘着層14gの反対側の面(合紙14a側)をフイルム片搬送手段56で吸引しつつ、前記フイルム片16の先端部を、受ローラ94から所定の距離だけ下方に離間している圧着ローラ96の外筒部96aに所定距離だけ搬送する。   Next, the surface of the film piece 16 from which the peeling film 22 has been separated is sucked by the film piece conveying means 56 on the opposite side (the interleaf 14a side) of the adhesive layer 14g, and the leading end of the film piece 16 is moved to the receiving roller. A predetermined distance is conveyed to the outer cylindrical portion 96a of the pressure roller 96 which is spaced downward from the 94 by a predetermined distance.

ここで、図5及び図6の圧着ローラ96では、図示しない吸引ポンプが駆動して孔156、160を介して外部の空気を吸引しているので、光学フイルム14の先端部は、前記孔156、160が設けられている外筒部96a表面部分に吸引保持される。   Here, in the pressure roller 96 shown in FIGS. 5 and 6, a suction pump (not shown) is driven to suck outside air through the holes 156 and 160, so that the tip of the optical film 14 is positioned at the hole 156. , 160 is sucked and held on the surface portion of the outer cylindrical portion 96a.

その際、フイルム片16を圧着ローラ96に搬送すると同時に、トルクモータ122の回転を減速器124、電磁クラッチ128及びギヤ132、112bを介して前記圧着ローラ96に伝達して、該圧着ローラ96を前記フイルム片16の搬送方向に回転(正回転)させる。   At that time, the film piece 16 is conveyed to the pressure roller 96, and at the same time, the rotation of the torque motor 122 is transmitted to the pressure roller 96 via the speed reducer 124, the electromagnetic clutch 128 and the gears 132 and 112b. The film piece 16 is rotated (forward rotation) in the conveying direction.

この動作により、前記フイルム片16は、その先端部を前記圧着ローラ96に保持された状態において、前記トルクモータ122の設定トルクに応じた張力で前記圧着ローラ96に緊張保持される。   By this operation, the film piece 16 is tension-held by the pressure roller 96 with a tension according to the set torque of the torque motor 122 in a state where the tip end portion is held by the pressure roller 96.

次に、図5に示す電磁クラッチ128に対する電力の供給を停止させ、前記電磁クラッチ128を前記ギヤ132から離間させる。   Next, the power supply to the electromagnetic clutch 128 shown in FIG. 5 is stopped, and the electromagnetic clutch 128 is separated from the gear 132.

次に、図示しない電源から電磁クラッチ148に対して電力を供給して、前記電磁クラッチ148とギヤ152とを係合させる。そして、ロータリアクチュエータ144を駆動させてシャフト146を所定の角度だけ回転させる。これにより、前記シャフト146の回転が前記電磁クラッチ148及び前記ギヤ152を介してギヤ112aに伝達され、前記ギヤ112a及び外筒部96aは、前記シャフト146と反対方向に前記所定の角度だけ回転する。この場合、図8に示すように、前記フイルム片16の先端部が、受ローラ94の中心点(図1及び図7参照)と圧着ローラ96の中心点とを結ぶ直線(図7及び図8に示す一点鎖線)上に来るように、圧着ローラ96を図7に示す位置から反対方向に角度βだけ回転させる。これにより、前記フイルム片16のうち、前記圧着ローラ96とフイルム片搬送手段56との間の部分は、受ローラ94の方向に撓むようになる。   Next, electric power is supplied to the electromagnetic clutch 148 from a power source (not shown), and the electromagnetic clutch 148 and the gear 152 are engaged. Then, the rotary actuator 144 is driven to rotate the shaft 146 by a predetermined angle. Accordingly, the rotation of the shaft 146 is transmitted to the gear 112a via the electromagnetic clutch 148 and the gear 152, and the gear 112a and the outer cylinder portion 96a rotate by the predetermined angle in the opposite direction to the shaft 146. . In this case, as shown in FIG. 8, the leading end of the film piece 16 is a straight line (FIGS. 7 and 8) connecting the center point of the receiving roller 94 (see FIGS. 1 and 7) and the center point of the pressure roller 96. The pressure roller 96 is rotated by an angle β in the opposite direction from the position shown in FIG. As a result, a portion of the film piece 16 between the pressure roller 96 and the film piece conveying means 56 bends in the direction of the receiving roller 94.

次いで、フイルム片16の一部を撓ませた状態で、シリンダ機構116a、116bを駆動させて圧着ローラ96を受ローラ94(図1参照)に向い進行させる。これにより、図9に示すように、前記フイルム片16の撓みは徐々に減少する。   Next, in a state in which a part of the film piece 16 is bent, the cylinder mechanisms 116a and 116b are driven to advance the pressure roller 96 toward the receiving roller 94 (see FIG. 1). As a result, as shown in FIG. 9, the deflection of the film piece 16 gradually decreases.

次いで、シリンダ機構116a、116bにより圧着ローラ96をさらに進行させて、図10に示すように、フイルム片16の先端部を基板12表面に貼着させる。この場合、前記フイルム片16の撓みはなくなっている。   Next, the pressure roller 96 is further advanced by the cylinder mechanisms 116a and 116b, and the leading end of the film piece 16 is adhered to the surface of the substrate 12 as shown in FIG. In this case, the film piece 16 is not bent.

次いで、図5の電磁クラッチ148に対する電力の供給を停止し、前記電磁クラッチ148とギヤ152との係合状態を解除する。   Next, the supply of electric power to the electromagnetic clutch 148 in FIG. 5 is stopped, and the engaged state between the electromagnetic clutch 148 and the gear 152 is released.

次いで、図1及び図10に示す受ローラ94を回転させて、基板12を矢印C1方向に搬送する。これにより、前記基板12とフイルム片16又は光学フイルム14の残余部分との貼着が行われる。   Next, the receiving roller 94 shown in FIGS. 1 and 10 is rotated to transport the substrate 12 in the direction of the arrow C1. Thus, the substrate 12 and the film piece 16 or the remaining portion of the optical film 14 are attached.

次いで、基板12とフイルム片16との貼着が完了すると、前記フイルム片16が貼着された基板12は、第2基板搬送ユニット76に排出され、前記基板12に対するフイルム片16の貼付位置を検査が貼着位置検査手段161により行われる。   Next, when the attachment of the substrate 12 and the film piece 16 is completed, the substrate 12 to which the film piece 16 is attached is discharged to the second substrate transport unit 76, and the attachment position of the film piece 16 to the substrate 12 is determined. The inspection is performed by the sticking position inspection means 161.

図11は、基板12表面と前記基板12から離間した圧着ローラ96との距離(図7に示す待機位置m)と、図8に示す前記圧着ローラ96を角度βだけ反対方向に回転させるために必要な距離(図8に示す必要逆転長r)との関係を示すものである。ここで、受ローラ94から圧着ローラ96を離間させて前記待機位置mを大きくする程、前記必要逆転長rが増加する。そのため、圧着ローラ96が受ローラ94から離間している程、フイルム片16を撓ませる必要がある。   11 shows the distance between the surface of the substrate 12 and the pressure roller 96 spaced from the substrate 12 (standby position m shown in FIG. 7) and the rotation of the pressure roller 96 shown in FIG. 8 in the opposite direction by an angle β. This shows a relationship with a necessary distance (necessary reverse rotation length r shown in FIG. 8). Here, the required reverse rotation length r increases as the pressure roller 96 is separated from the receiving roller 94 to increase the standby position m. Therefore, it is necessary to bend the film piece 16 as the pressure roller 96 is separated from the receiving roller 94.

図12は、基板12の先端部より、例えば14mmの位置にフイルム片16の貼着を行う場合における貼着精度を本実施形態(実施例1、2)と従来技術(比較例1、2)とで比較したものであり、実施例1、2では、目標値(14mm)近傍の位置から前記フイルム片16の貼着が行われているが、比較例1、2では、前記目標値で貼着が行われることができない。   FIG. 12 shows the pasting accuracy when the film piece 16 is pasted at a position of, for example, 14 mm from the front end of the substrate 12 in this embodiment (Examples 1 and 2) and the prior art (Comparative Examples 1 and 2). In Examples 1 and 2, the film piece 16 is attached from a position near the target value (14 mm). In Comparative Examples 1 and 2, the film is attached at the target value. Wearing cannot be done.

このように、本実施の形態に係る光学フイルム貼着装置10及び方法では、フイルム片16(光学フイルム14)を基板12から離間している状態で、圧着ローラ96の回転により前記基板12表面に対する前記フイルム片16の先端部の位置決め調整を行うようにしたので、シリンダ機構116a、116bにより前記圧着ローラ96を受ローラ94に進行させると前記基板12表面において前記フイルム片16の先端部が正確に位置決め固定される。 Thus, in the optical film sticking apparatus 10 and method according to the present embodiment, the film piece 16 (optical film 14) is separated from the substrate 12 and the surface of the substrate 12 is rotated by the rotation of the pressure roller 96. Since the positioning adjustment of the leading end of the film piece 16 is performed, when the pressure roller 96 is advanced to the receiving roller 94 by the cylinder mechanisms 116a and 116b, the leading end of the film piece 16 is accurately positioned on the surface of the substrate 12. Positioning is fixed.

これにより、受ローラ94を回転させて基板12を搬送させれば、前記基板12と前記フイルム片16の残余部分との貼着が行われ、前記基板12表面に前記フイルム片16を高精度に貼着することができる。従って、前記フイルム片16と前記基板12との間の塵埃及び気泡の発生や帯電の発生を抑制することが可能となると共に、液晶表示装置(LCD)の品質を向上させて歩留まりを向上させることが可能になる。また、光学フイルム14の巻き癖等の変形があっても、位置ずれの発生を抑制することができる。   Thus, if the receiving roller 94 is rotated to convey the substrate 12, the substrate 12 and the remaining portion of the film piece 16 are adhered, and the film piece 16 is placed on the surface of the substrate 12 with high accuracy. Can be attached. Accordingly, it is possible to suppress the generation of dust and bubbles between the film piece 16 and the substrate 12, and the generation of charging, and to improve the quality of the liquid crystal display device (LCD) and improve the yield. Is possible. Moreover, even if there is a deformation such as a curl of the optical film 14, the occurrence of misalignment can be suppressed.

また、本実施の形態では、図示しない吸引ポンプの作用によってフイルム片16の先端部を吸引保持するようにしているが、これに代えて、圧着ローラ96を粘着作用を有するローラで構成してもよい。また、前記粘着作用を有するローラに図示しないエアブロー手段を組合わせて、強制的に光学フイルム14又はフイルム片16の先端部を圧着ローラ96に保持させるようにしてもよいことは勿論である。   Further, in the present embodiment, the tip end portion of the film piece 16 is sucked and held by the action of a suction pump (not shown). Instead, the pressure roller 96 may be constituted by a roller having an adhesive action. Good. Of course, the pressure roller 96 may be forced to hold the tip of the optical film 14 or the film piece 16 by combining an air blowing means (not shown) with the roller having the adhesive action.

なお、本発明に係る光学フイルム貼着装置及び方法は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは勿論である。   In addition, the optical film sticking apparatus and method according to the present invention are not limited to the above-described embodiments, and it is needless to say that various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

本実施形態に係る光学フイルム貼着装置の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the optical film sticking apparatus which concerns on this embodiment. 図1の光学フイルム貼着装置の基板搬送部を示す平面図である。It is a top view which shows the board | substrate conveyance part of the optical film sticking apparatus of FIG. 図1の基板に貼着される光学フイルムを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical film stuck on the board | substrate of FIG. 図1の基板に貼着される光学フイルムを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical film stuck on the board | substrate of FIG. 図1の光学フイルム貼着装置の圧着ローラを示す一部断面図である。It is a partial cross section figure which shows the pressure roller of the optical film sticking apparatus of FIG. 図5のVI−VI線に沿った断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 5. 図5の圧着ローラによる光学フイルムの位置決めを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows positioning of the optical film by the press roller of FIG. 図5の圧着ローラによる光学フイルムの位置決めを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows positioning of the optical film by the press roller of FIG. 図5の圧着ローラによる光学フイルムの位置決めを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows positioning of the optical film by the press roller of FIG. 図5の圧着ローラを上昇した後の基板と光学フイルムとの貼着を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows sticking of the board | substrate and optical film after raising the pressurization roller of FIG. 圧着ローラの待機位置と前記圧着ローラの必要逆転長との関係を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the relationship between the stand-by position of a pressure roller, and the required reverse rotation length of the pressure roller. 基板に対する光学フイルムの貼着位置の精度を比較した特性図である。It is the characteristic view which compared the precision of the sticking position of the optical film with respect to a board | substrate. 従来技術に係る光学フイルム貼着装置を示す側面図である。It is a side view which shows the optical film sticking apparatus which concerns on a prior art. 従来技術に係る光学フイルム貼着装置を示す側面図である。It is a side view which shows the optical film sticking apparatus which concerns on a prior art. 図14の光学フイルム貼着装置において、基板と光学フイルムとの貼着箇所をを示す拡大側面図である。In the optical film sticking apparatus of FIG. 14, it is an enlarged side view which shows the sticking location of a board | substrate and an optical film.

符号の説明Explanation of symbols

10…光学フイルム貼着装置 12…基板
14…光学フイルム 14a…合紙層
14b、14d…保護フイルム層 14c…偏光板層
14e、14g…粘着層 14f…位相差膜層
16…フイルム片 18…フイルム巻出部
20…フイルム搬送部 22…剥離フイルム
24…剥離フイルム巻取部 26…基板搬送部
28…基板位置決め部 30…フイルム貼着部
32…検査部 34…除電部
34a、34b…除電手段 36、72…ロール
38…フイルム切断手段 39…フイルム巻出手段
40、46、48、53、64、66、68…パスローラ
42、58…フイルム位置検出手段 44…フイルム接合手段
50…フイルム張力調整手段 50a…ダンサーローラ
50b…空圧ユニット 52、73…軸部
54a、54b…フィードローラ 56…フイルム片搬送手段
60…フイルム切断位置検出手段 62…剥離フイルム分離用ローラ
70…剥離フイルム巻取手段 74、76…基板搬送ユニット
78、80、82…基板検出手段 84、88…駆動ホイール
86…基板係止手段 86a…係止部
86b…進退動作部 90…基板浮上ユニット
92…基板位置決めユニット 94…受ローラ
96…圧着ローラ 96a…外筒部
96b…内筒部 98…搬送方向位置決め手段
100…幅方向位置決め手段 102、104…ローラ
106a、106b、130、134、150、154…ベアリング
108a…第1部材 108b…第2部材
110…締結部材
112a、112b、132、152…ギヤ
114a、114b…支持部材 116a、116b…シリンダ機構
118、120、121、140、142…固定部材
122…トルクモータ 124…減速器
126、146…シャフト 128、148…電磁クラッチ
136、138…保持部材 144…ロータリアクチュエータ
156、160…孔 158…吸引範囲規制部
161…貼着位置検査手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Optical film sticking apparatus 12 ... Board | substrate 14 ... Optical film 14a ... Interleaf layer 14b, 14d ... Protective film layer 14c ... Polarizing plate layer 14e, 14g ... Adhesive layer 14f ... Retardation film layer 16 ... Film piece 18 ... Film piece Unwinding part 20 ... Film conveying part 22 ... Peeling film 24 ... Peeling film winding part 26 ... Substrate conveying part 28 ... Substrate positioning part 30 ... Film sticking part 32 ... Inspection part 34 ... Static elimination part 34a, 34b ... Static elimination means 36 72 ... Roll 38 ... Film cutting means 39 ... Film unwinding means 40, 46, 48, 53, 64, 66, 68 ... Pass rollers 42, 58 ... Film position detecting means 44 ... Film joining means 50 ... Film tension adjusting means 50a ... dancer roller 50b ... pneumatic units 52, 73 ... shafts 54a, 54b ... feed rollers 56 ... film cantilever Means 60 ... Film cutting position detecting means 62 ... Peeling film separating roller 70 ... Peeling film winding means 74, 76 ... Substrate transport units 78, 80, 82 ... Substrate detecting means 84, 88 ... Drive wheel 86 ... Substrate locking means 86a ... Locking portion 86b ... Advancing / retracting operation portion 90 ... Substrate floating unit 92 ... Substrate positioning unit 94 ... Receiving roller 96 ... Pressure roller 96a ... Outer cylindrical portion 96b ... Inner cylindrical portion 98 ... Conveying direction positioning means 100 ... Width direction positioning means 102, 104 ... rollers 106a, 106b, 130, 134, 150, 154 ... bearing 108a ... first member 108b ... second member 110 ... fastening members 112a, 112b, 132, 152 ... gears 114a, 114b ... support members 116a, 116b ... Cylinder mechanism 118, 120, 121, 140, 142 ... Fixed member 122 ... Torque motor 124 ... Reducer 126, 146 ... Shaft 128, 148 ... Electromagnetic clutch 136, 138 ... Holding member 144 ... Rotary actuator 156, 160 ... Hole 158 ... Suction range restricting part 161 ... Adhering position inspection means

Claims (4)

基板を搬送する第1ローラと、
光学フイルムを前記基板表面に搬送する第2ローラと、
前記光学フイルムを前記第2ローラに搬送する光学フイルム搬送手段と、
前記光学フイルムの先端部を前記第2ローラに保持する光学フイルム保持機構と、
前記第2ローラを回転させるローラ回転機構と、
前記第2ローラを前記第1ローラに対して進退させるローラ移動機構と、
を備え、
前記ローラ回転機構は、前記ローラ移動機構により前記第1ローラ及び前記基板に対して前記第2ローラ及び前記光学フイルム離間している状態で、前記光学フイルムの搬送方向に対して前記光学フイルムの先端部を保持した前記第2ローラを正回転させた後、前記光学フイルムの先端部が前記第1ローラの中心点と前記第2ローラの中心点とを結ぶ直線上に来るように、前記第2ローラを前記搬送方向に対して逆回転させることで、前記光学フイルムのうち、前記第2ローラと前記光学フイルム搬送手段との間の部分を前記第1ローラの方向に撓ませ、
前記ローラ移動機構は、前記第2ローラを前記第1ローラに向かい進行させることで、前記光学フイルムの撓みを減少しつつ、前記光学フイルムの先端部を前記基板表面に配置させる
ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
A first roller for transporting the substrate;
A second roller for transporting an optical film to the substrate surface;
Optical film transport means for transporting the optical film to the second roller;
An optical film holding mechanism for holding the tip of the optical film on the second roller;
A roller rotating mechanism for rotating the second roller;
A roller moving mechanism for moving the second roller forward and backward with respect to the first roller;
With
The roller rotating mechanism is configured so that the second roller and the optical film are separated from the first roller and the substrate by the roller moving mechanism, and the optical film is moved in the transport direction of the optical film. After the second roller holding the front end is rotated forward, the first end of the optical film is on a straight line connecting the center point of the first roller and the center point of the second roller. By rotating the two rollers in reverse with respect to the transport direction, the portion of the optical film between the second roller and the optical film transport means is deflected in the direction of the first roller,
The roller moving mechanism moves the second roller toward the first roller, thereby reducing the bending of the optical film and disposing the tip of the optical film on the substrate surface. Optical film sticking device.
請求項1記載の光学フイルム貼着装置において、
前記第2ローラは、その表面に孔が形成された中空円筒であり、
前記光学フイルム保持機構は、前記孔及び中空部分を介して前記光学フイルムの先端部を吸引する吸引手段である
ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
In the optical film sticking device according to claim 1,
The second roller is a hollow cylinder having a hole formed on the surface thereof,
The optical film sticking apparatus, wherein the optical film holding mechanism is a suction unit that sucks the tip of the optical film through the hole and the hollow portion.
請求項2記載の光学フイルム貼着装置において、
前記第2ローラは、前記孔が形成される外筒部と、前記外筒部と同軸に配置され且つ前記吸引手段に連結する内筒部とを有し、
前記内筒部には孔と、前記孔を囲繞するように前記外筒部に向い突設し且つ前記吸引手段による前記光学フイルムの先端部の吸引範囲を規制する吸引範囲規制部とが形成されている
ことを特徴とする光学フイルム貼着装置。
In the optical film sticking device according to claim 2,
The second roller has an outer cylinder part in which the hole is formed, and an inner cylinder part arranged coaxially with the outer cylinder part and connected to the suction means,
The inner cylinder part is formed with a hole and a suction range restricting part that protrudes toward the outer cylinder part so as to surround the hole and restricts the suction range of the tip of the optical film by the suction means. An optical film sticking device characterized by comprising:
第1ローラによって基板を搬送する工程と、
前記第1ローラ及び前記基板から離間した第2ローラに、光学フイルム搬送手段によって光学フイルムを搬送する工程と、
前記光学フイルムの先端部を光学フイルム保持機構によって前記第2ローラに保持する工程と、
前記第2ローラをローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して所定の角度だけ正回転させる工程と、
前記光学フイルムの先端部が前記第1ローラの中心点と前記第2ローラの中心点とを結ぶ直線上に来るように、前記第2ローラを前記ローラ回転機構により前記光学フイルムの搬送方向に対して逆回転させることにより、前記光学フイルムのうち、前記第2ローラと前記光学フイルム搬送手段との間の部分を前記第1ローラの方向に撓ませる工程と、
前記第2ローラをローラ移動機構で前記第1ローラに進行させることにより、前記光学フイルムの撓みを減少しつつ、前記光学フイルムの前記先端部を前記基板表面に配置する工程と、
を有する
ことを特徴とする光学フイルム貼着方法。
Conveying the substrate by the first roller;
Transporting the optical film to the second roller spaced apart from the first roller and the substrate by an optical film transport means;
A step of holding said second roller tip portion of the optical film by an optical film holding mechanism,
Rotating the second roller by a predetermined angle with respect to the transport direction of the optical film by a roller rotation mechanism;
The second roller is moved with respect to the transport direction of the optical film by the roller rotation mechanism so that the tip of the optical film is on a straight line connecting the center point of the first roller and the center point of the second roller. a step by Rukoto rotated reversely, among the optical film, the Ru deflect the portion between the second roller and the optical film transport means in the direction of the first roller Te,
Disposing the tip of the optical film on the substrate surface while reducing the deflection of the optical film by advancing the second roller to the first roller by a roller moving mechanism;
An optical film sticking method characterized by comprising:
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