JP4618532B2 - ハニカム体の検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 111
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 59
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 7
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 7
- 210000002421 cell wall Anatomy 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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Description
照明手段12から照射される光14の光量と区画aにおける検査像の輝度との関係は、図5において実線(以下検量線と称する。)31で示すように、所定の数式で表現可能な曲線で表わされる。従って、図示するように所望の輝度321に対し、輝度演算部137で算出された輝度322が低い場合には、それぞれの輝度に対応する光の光量331、332を求め、その差分(I)を補正するように光源121を制御すればよい。したがって、光量演算部132は、輝度演算部137で算出された区画aの輝度322と所望の輝度311を比較し光源121における光の光量を制御するための制御信号を生成する。ここで、上述した検量線31に対応した補正データはメモリ136に格納されている。
ハニカム体7を検査台161にセットする。ハニカム体7が撮像できる位置に照明手段12と受光手段11を移動し、ハニカム体7の第2開口端面74に光14を照射しつつ、ハニカム体7のセル71の軸と光14の光軸の方向とを一致させる。次に図4(a)に示すようにハニカム体7の区画a1に対応した位置に照明手段12と受光手段11を移動し、光14を区画a1に照射する。第1開口端面73から出た光14を受光手段11は受光し、区画a1部の検査像を撮像する。区画a1における検査像の輝度を上述したように輝度演算部137にて計算し、区画a1の輝度が所望の輝度でなければ光源121の光の光量が所定の明るさとなるような制御信号を生成する。目標範囲に入ればそのときの画像を区画の検査像としてメモリに格納する。次に区画a2の位置に移動し、区画a2の検査像を撮像する。このようにして区画a1〜a25の検査像を撮像する。なお、区画aを移動するごとに光軸合わせを行えば、セル71の曲がりによる検査像の明暗の差がより小さくなるので有効である。
11 受光手段
12 照明手段
13 PC処理部
14 光
15 移動手段
16 光軸合わせ手段
3 検量線図
31 検量線
7 ハニカム体
71 セル
72 セル壁
73 第1開口端面
74 第2開口端面
75 外周面
9 従来の検査装置
Claims (4)
- 並列した多数のセルを有するハニカム体のセルの状態を検査する検査装置であって、前記ハニカム体の一端面にセルを通過する平行光を照射する照明手段と、前記セルを通過し前記ハニカム体の他端面から出た前記光を受光する受光手段と、前記受光手段で受光する光が所望の光量となるよう前記受光手段で受光した光の光量に基いて前記照明手段で照射する光の光量を制御する調光手段とを有し、前記照明手段は、前記ハニカム体の一端面の全体を包含する検査領域を複数に分割した区画の各区画毎に光量を調整した光を照射可能に構成され、前記受光手段は、前記照明手段から各区画毎に照射された光を各区画毎に受光可能に構成されており、前記区画は複数のセルを含み、前記調光手段は、前記各区画毎に前記ハニカム体の他端面から出て前記受光手段が受光する光の光量が各区画毎に同一レベルとなるよう、当該受光手段を通じて撮像された区画に含まれるハニカム体の画像の面積に基づき前記照明手段が照射する光の光量を制御するよう構成されている検査装置。
- 請求項1に記載の検査装置において、前記受光手段により各区画毎に撮像された画像を合成して前記ハニカム体の一端面に対応する全体画像を作成する画像合成部を有する検査装置。
- 請求項1または2のいずれかに記載の検査装置において、前記照明手段は、前記ハニカム体の一端面を含む検査領域を複数に分割した区画の各区画に対応し照射される範囲を調整した光を照射可能に構成されている検査装置。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の検査装置において、前記検査領域を複数に分割した区画の各区画は同一寸法であり、前記照明手段は前記区画に対応した範囲に光を照射可能に構成されており、さらに前記照明手段と前記受光手段の位置関係を保持しつつ一体として各区画毎に移動させる移動手段を有する検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004083987A JP4618532B2 (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | ハニカム体の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004083987A JP4618532B2 (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | ハニカム体の検査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009212636A Division JP5035705B2 (ja) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | ハニカム体の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005274179A JP2005274179A (ja) | 2005-10-06 |
JP4618532B2 true JP4618532B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=35174029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004083987A Expired - Lifetime JP4618532B2 (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | ハニカム体の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4618532B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7701570B2 (en) | 2005-12-12 | 2010-04-20 | Corning Incorporated | Collimated light method and system for detecting defects in honeycombs |
US8178019B2 (en) | 2006-09-28 | 2012-05-15 | Hitachi Metals, Ltd. | Method and apparatus for producing ceramic honeycomb structure |
US8049878B2 (en) * | 2008-08-22 | 2011-11-01 | Corning Incorporated | Systems and methods for detecting defects in ceramic filter bodies |
JP5401351B2 (ja) * | 2009-03-23 | 2014-01-29 | 日本碍子株式会社 | ハニカム構造体の検査方法 |
JP2010249798A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-11-04 | Ngk Insulators Ltd | 目封止ハニカム構造体の検査装置及び目封止ハニカム構造体の検査方法 |
JP5616193B2 (ja) * | 2010-10-22 | 2014-10-29 | 住友化学株式会社 | ハニカム構造体の欠陥の検査方法、及び、ハニカム構造体の欠陥の検査装置 |
JP2013024561A (ja) * | 2011-07-14 | 2013-02-04 | Sumitomo Chemical Co Ltd | ハニカム構造体の検査方法、ハニカム構造体の製造方法及びハニカム構造体の検査装置 |
US9448185B2 (en) * | 2014-05-28 | 2016-09-20 | Corning Incorporated | System and method for inspecting a body |
EP3224602B1 (en) * | 2014-11-25 | 2021-07-21 | Corning Incorporated | Apparatus and methods of inspecting ceramic honeycomb bodies |
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-
2004
- 2004-03-23 JP JP2004083987A patent/JP4618532B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2003270158A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-25 | Denso Corp | 貫通検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005274179A (ja) | 2005-10-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090723 |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |