JP4617236B2 - How to correct the color filter - Google Patents

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Description

本発明は、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロミラーパネル、ブラウン管ディスプレー、プロジェクションテレビなどに用いられるカラーフィルター、およびEL材料を用いたディスプレーなどの発光層のカラー化部品などのカラー表示パネルに用いられる表示素子用カラー化部品の修正方法に関する。   The present invention is a display used for a color display panel such as a color filter used in a liquid crystal panel, a plasma panel, a micromirror panel, a cathode ray tube display, a projection television, and a light emitting layer colored part such as a display using an EL material. The present invention relates to a method for correcting colored parts for elements.

表示素子用カラー化部品は、R(赤)G(緑)B(青)およびBM(黒)の領域からなり、印刷法、電着法、フォトリソグラフィーによる顔料分散法、インクジェット方式によりR、G、BおよびBMのパターンを形成することができる。
印刷法は、パターン精度の点で他の方法に劣り、現在の表示素子形成プロセスで用いられることは少ない。
電着法は、導電性を有する着色インクを用いる方法であり、この導電性を有するインクの色純度が低いことから、鮮やかな色表示が難しく、商品価値が低いという問題がある。
Colorized parts for display elements consist of R (red), G (green), B (blue), and BM (black) regions. The printing method, electrodeposition method, pigment dispersion method by photolithography, R, G by inkjet method. , B and BM patterns can be formed.
The printing method is inferior to other methods in terms of pattern accuracy, and is rarely used in the current display element formation process.
The electrodeposition method is a method using a colored ink having conductivity. Since the color purity of the conductive ink is low, there is a problem that vivid color display is difficult and the commercial value is low.

フォトリソグラフィーによる顔料分散法は、現在最も汎用されている方法であるが、R、G、BおよびBMを形成するためには、少なくとも3回のフォトリソグラフィーを必要とするため、製造コストが高いという問題がある。
インクジェット法は、近年、パターン精度向上、色純度向上、製造コスト削減が可能な方法として注目されているが、着色インクを高精度で打ち込む(塗布する)ときに隣接する画素と混色し、表示品位が低下するという課題がある。
また、上記のいずれかの手法を用いたとしても、表示素子用カラー化部品を100%の良品として製造することは困難であり、異物による不良やR、G、BおよびBMパターンの欠損などが発生する。
The pigment dispersion method by photolithography is the most widely used method at present, but it requires at least three times of photolithography to form R, G, B, and BM. There's a problem.
The inkjet method has recently attracted attention as a method that can improve pattern accuracy, improve color purity, and reduce manufacturing costs. However, when ink is applied (applied) with high accuracy, it mixes with adjacent pixels and displays quality. There is a problem that decreases.
Further, even if any of the above methods is used, it is difficult to manufacture a colored part for a display element as a 100% non-defective product, and there are defects due to foreign matters, defects in R, G, B, and BM patterns. appear.

そこで、インクジェットにより欠陥を修正する方法が提案されている(例えば、特開平11−271752号公報(特許文献1)参照)。   In view of this, a method for correcting defects by ink jet has been proposed (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-271752 (Patent Document 1)).

特開11−271752号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-271752

従来から、インクジェット法を用いたカラーフィルターの欠陥の修正については、種々の方法が提案され、実用されてきた。しかし、それらの方法では、異物や色抜けなどの欠陥の修正時にインクが正常な状態にある隣接画素部に溢れ出たり、インク粘度が高いために修正画素部に突起が形成されたりして、修正箇所の対向電極と電気的に短絡するというような不良が頻発していた。   Conventionally, various methods have been proposed and put to practical use for correcting defects in color filters using the ink jet method. However, in those methods, when the defect such as foreign matter or color loss is corrected, the ink overflows to the adjacent pixel portion in a normal state, or a protrusion is formed in the corrected pixel portion because the ink viscosity is high, Defects such as electrical short-circuiting with the counter electrode at the correction location frequently occurred.

他方、インクが所定の画素領域のみに塗布されるように、その画素領域となる基板上に撥液性や親液性の差をつける方法も提案されている。
撥水処理では、例えば、四フッ化炭素や六フッ化二炭素のプラズマ処理により基板表面に撥液性を付与する。しかし、四フッ化炭素は二酸化炭素の6300倍の温暖化係数を有するために大気中に開放することができず、高価な四フッ化炭素の分解設備が必要であること、処理中に発生する有害ガスの高価な除害設備必要であることから、この方法は製造コストの点で好ましくない。
On the other hand, a method has been proposed in which a difference in liquid repellency or lyophilicity is provided on a substrate serving as a pixel area so that ink is applied only to a predetermined pixel area.
In the water repellent treatment, for example, liquid repellency is imparted to the substrate surface by plasma treatment of carbon tetrafluoride or dicarbon hexafluoride. However, since carbon tetrafluoride has a warming coefficient 6300 times that of carbon dioxide, it cannot be opened to the atmosphere, and an expensive carbon tetrafluoride decomposition facility is required, which occurs during processing. This method is not preferable from the viewpoint of production cost because it requires expensive detoxification equipment for harmful gases.

また、スピンコートや真空プラズマ処理による撥水処理もあるが、これらは基板全面に撥液性を付与するので、大規模な設備が必要であることから、この方法も製造コストの点で好ましくない。
さらに、これらの方法でも、インクが修正箇所から溢れ出し、修正の失敗を頻発させて歩留まりが向上し難いという問題がある。
There are also water-repellent treatments such as spin coating and vacuum plasma treatment, but these impart liquid repellency to the entire surface of the substrate, requiring a large-scale facility, and this method is also not preferable in terms of manufacturing cost. .
Furthermore, these methods also have a problem in that the ink overflows from the corrected portion, and correction failures occur frequently, so that the yield is difficult to improve.

本発明は、このような問題を解決するもので、修正の失敗をなくし、高い修正成功率を実現させる、安価で汎用性の高い材料を用いたインクジェット法による表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法を提供することを課題とする。   The present invention solves such a problem, and corrects defects in colored parts for display elements by an ink-jet method using inexpensive and highly versatile materials that eliminate the failure of correction and achieve a high correction success rate. It is an object to provide a method.

かくして、本発明によれば、カラー表示パネルに用いられる表示素子用カラー化部品の着色層に存在する欠陥を修正するにあたり、
(A)着色層に存在する欠陥を検出し、
(B)検出した欠陥をレーザー照射により除去するか、または除去せずして、
(C)除去した欠陥とその周辺、または除去しなかった欠陥とその周辺に、インクジェット方式により、アクリル系樹脂、フッ素系界面活性剤および溶剤を含むコート剤を塗布し、
(D)除去した欠陥または除去しなかった欠陥の周辺のコート剤を残して、レーザー照射によりコート剤またはコート剤と欠陥を除去し、
(E)除去した部分に、インクジェット方式により、着色層用のインクを塗布して、
欠陥を修正することを特徴とする表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法が提供される。
Thus, according to the present invention, in correcting the defects present in the colored layer of the colored component for display elements used in the color display panel,
(A) detecting defects present in the colored layer ;
(B) The detected defect is removed by laser irradiation or not,
(C) A coating agent containing an acrylic resin, a fluorosurfactant, and a solvent is applied to the removed defect and its periphery, or the defect that has not been removed and its periphery by an inkjet method,
(D) removing the missing Ochiima other was leaving coating agent around the defect was not removed, was or coating agent to remove the coating agent and the defect by laser irradiation,
(E) The ink for the colored layer is applied to the removed portion by an inkjet method,
Provided is a method for correcting a defect in a colored part for a display element, wherein the defect is corrected.

本発明によれば、安価で、修正の失敗をなくし高い修正成功率を実現できるので、表示素子用カラー化部品の歩留まりを改善することができる。   According to the present invention, since it is inexpensive and eliminates the failure of correction and a high correction success rate can be realized, the yield of colored parts for display elements can be improved.

本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法は、欠陥またはそれを除去した部分にインクを塗布する従来技術とは異なり、除去した欠陥とその周辺、または除去しなかった欠陥とその周辺に、インクジェット方式によりコート剤を塗布し(工程(C))、除去した欠陥の周辺のコート剤、または除去しなかった欠陥の周辺のコート剤を残して、レーザー照射によりコート剤、またはコート剤と欠陥を除去して(工程(D))、その除去部分にインクを塗布することを特徴とする。
すなわち、本発明は、工程(C)および(D)により、表示素子用カラー化部品に存在する欠陥を修正する際の高い成功率を実現する。
コート剤については、実施形態1で詳しく述べる。
Unlike the prior art in which ink is applied to a defect or a portion from which the defect has been removed, the defect correcting method for a colored component for display elements according to the present invention is applied to a defect that has been removed and its periphery, or a defect that has not been removed and its periphery The coating agent is applied by the inkjet method (step (C)), and the coating agent around the removed defect or the coating agent around the defect that has not been removed is left, and the coating agent or the coating agent is irradiated by laser irradiation. The defect is removed (step (D)), and ink is applied to the removed portion.
That is, the present invention realizes a high success rate in correcting defects present in the colorized parts for display elements by the steps (C) and (D).
The coating agent will be described in detail in Embodiment 1.

本発明の実施形態について、表示素子基板のカラーフィルターの図面を用いて説明するが、これらの実施形態は一例であり、種々の形態での実施が本発明の範囲内で可能である。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawing of a color filter of a display element substrate. However, these embodiments are merely examples, and various forms can be implemented within the scope of the present invention.

図1は、表示素子基板のカラーフィルターの欠陥を示す、模式上面図(a)およびそのA−Aにおける模式断面図(b)である。
図1に示すように、カラーフィルターは、基板1(例えば、ガラス基板)上に赤色部2、緑色部3、青色部4、ブラックマトリックス部5を規則的かつ精密にパターン形成することで作られている。表示素子の用途や製造装置などの条件により変化するが、赤、青、緑の各絵素の大きさは100μm程度であり、ブラックマトリックス部の幅は50μm以下であることが多い。このような規則的なパターンが1箇所でも乱れると、パネルの表示品位が低下し、多くの場合、パネルそのものが不良品となり、商品価値をもたなくなる。
パターンの乱れ(欠陥)は製造工程において発生し、主な欠陥としては、異物6の付着、露光不良や物理的な接触によりもたらされる色部ピンホール(「色抜け」7)、ブラックマトリックス部ピンホール(「白抜け」8)、目的以外の色混ざり(「他色埋まり」9)などが挙げられる。
なお、本明細書においては、赤色部2、緑色部3、青色部4の各部を「絵素」、これらの一組を「画素」とする。
FIG. 1 is a schematic top view (a) and a schematic cross-sectional view (A) taken along line A-A, showing defects in the color filter of the display element substrate.
As shown in FIG. 1, the color filter is formed by regularly and precisely patterning a red portion 2, a green portion 3, a blue portion 4, and a black matrix portion 5 on a substrate 1 (for example, a glass substrate). ing. The size of each picture element of red, blue, and green is about 100 μm, and the width of the black matrix portion is often 50 μm or less, although it varies depending on conditions such as the use of the display element and the manufacturing apparatus. If such a regular pattern is disturbed even at one place, the display quality of the panel is lowered, and in many cases, the panel itself becomes a defective product and has no commercial value.
Disturbances (defects) in the pattern occur in the manufacturing process, and main defects include color part pinholes ("color loss" 7) caused by adhesion of foreign matter 6, exposure failure or physical contact, and black matrix part pins. Holes (“white spots” 8), color mixture other than the purpose (“other color filling” 9), and the like can be mentioned.
In the present specification, each of the red portion 2, the green portion 3, and the blue portion 4 is referred to as “picture element”, and a set of these is referred to as “pixel”.

図2は、本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法を示す模式断面図であり、後述する各実施形態におけるインク塗布の状態を示している。
図2に示すように、図1の欠陥を有するカラーフィルターの基板1がステージ14に吸着固定され、それに対峙するように、レーザー装置11、インクジェットヘッド16および乾燥ランプ12が自在に動作できるようにX−Y−Zステージ13に接続されて固定されている。図2では、他色埋まり9の部分にインク10が塗布されようとしている。図番2〜8は図1と同様である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a defect correcting method for a colored part for display element according to the present invention, and shows a state of ink application in each embodiment described later.
As shown in FIG. 2, the laser device 11, the inkjet head 16, and the drying lamp 12 can freely operate so that the substrate 1 of the color filter having the defect of FIG. It is connected and fixed to the XYZ stage 13. In FIG. 2, the ink 10 is about to be applied to the portion of the other color filling 9. Numbers 2 to 8 are the same as those in FIG.

(実施形態1)
この実施形態は、カラーフィルターに欠陥として異物が付着している場合の欠陥修正方法である。
カラーフィルターに異物が付着していると、その絵素が黒く見えたり、逆に光って見える場合があり、この実施形態ではこれを修正する。
図3は、この実施形態の工程を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。
図中の図番は図1と同様であり、1は基板、2は赤色部(R)、4は青色部(B)、5ブラックマトリックス部、6は異物を示す。
(Embodiment 1)
This embodiment is a defect correction method in the case where foreign matter is attached as a defect to the color filter.
If foreign matter adheres to the color filter, the picture element may appear black or shine in reverse, which is corrected in this embodiment.
FIG. 3 is a schematic top view (on the left side) showing the steps of this embodiment and a schematic cross-sectional view at AA (on the right side).
The figure numbers in the figure are the same as those in FIG. 1, 1 is a substrate, 2 is a red part (R), 4 is a blue part (B), 5 is a black matrix part, and 6 is a foreign substance.

工程(A)
まず、図3(a)に示すように、カラーフィルターに存在する異物6を検出し、その位置および大きさを確認する。
欠陥の検出方法としては、公知の検査装置、例えば、パターン検査装置、目視検査装置、高さ検査装置などが挙げられる。さらに検出精度を高めるために、検出された異物を顕微鏡観察や目視により確認してもよい。
Process (A)
First, as shown in FIG. 3A, the foreign material 6 present in the color filter is detected, and its position and size are confirmed.
Examples of the defect detection method include known inspection apparatuses such as a pattern inspection apparatus, a visual inspection apparatus, and a height inspection apparatus. In order to further improve the detection accuracy, the detected foreign matter may be confirmed by microscopic observation or visual observation.

工程(B)
次に、図3(b)に示すように、検出した欠陥をレーザー照射により除去する。具体的には、図2に示されるような公知のレーザー装置11を用いて、欠陥とそれを含む着色層の一部または全部をレーザー照射により除去する。
レーザーの照射条件は、除去する着色層の物性により適宜設定すればよい。
この工程により除去された欠陥(異物)をそのまま放置すると、図1に示されるような色抜け7になり、絵素が光って見えるため、カラーフィルターは商品価値をもたない不良品となる。
Process (B)
Next, as shown in FIG. 3B, the detected defect is removed by laser irradiation. Specifically, using a known laser apparatus 11 as shown in FIG. 2, a defect and a part or all of the colored layer including the defect are removed by laser irradiation.
Laser irradiation conditions may be set as appropriate depending on the physical properties of the colored layer to be removed.
If the defect (foreign matter) removed in this process is left as it is, the color loss 7 as shown in FIG. 1 occurs and the picture element appears to shine, so the color filter becomes a defective product having no commercial value.

工程(C)
次に、図3(c)に示すように、除去した欠陥とその周辺に、インクジェット方式によりコート剤を塗布し、必要に応じてコート剤を乾燥させる。具体的には、図2に示されるような公知のインクジェットヘッド16を用いて、レーザー照射により除去された範囲を覆うように、コート剤15を塗布し、必要に応じて、図2に示されるような公知の乾燥ランプ12を用いて、コート剤を乾燥させる。
このように、コート剤の物性により異なるが、必要に応じて、工程(C)におけるコート剤の塗布後に、乾燥または樹脂硬化のために熱処理を行うのが好ましい。
Process (C)
Next, as shown in FIG.3 (c), a coating agent is apply | coated to the removed defect and its periphery with an inkjet system, and a coating agent is dried as needed. Specifically, using a known inkjet head 16 as shown in FIG. 2, a coating agent 15 is applied so as to cover the area removed by laser irradiation, and as shown in FIG. 2, if necessary. The coating agent is dried using such a known drying lamp 12.
As described above, although it varies depending on the physical properties of the coating agent, it is preferable to perform heat treatment for drying or resin curing after application of the coating agent in the step (C), if necessary.

乾燥後のコート剤の形状がレンズ状になると、カラー表示パネルを灰色画面にした場合に光が屈折して、シミのように暗く見えることがある。また、光の加減によっては光って見えることもある。このため、コート剤15を塗布する面積と膜厚は、撥液性の得られる最小限に留めるのが好ましく、その膜厚は2μm以下が好ましい。   When the shape of the coating agent after drying becomes a lens shape, light may be refracted and appear dark like a stain when the color display panel is a gray screen. Also, it may appear shining depending on the light level. For this reason, it is preferable to keep the area and film thickness on which the coating agent 15 is applied to the minimum at which liquid repellency can be obtained, and the film thickness is preferably 2 μm or less.

コート剤の塗布方法としては、インクジェットヘッドを用いた塗布方法、針先のコート剤を基板に転写させる方法、注射針から押し出して塗布するニードル式と呼ばれる方法などが挙げられ、これらの中でも、インクジェットヘッドを用いた塗布方法が特に好ましい。   Examples of the coating agent coating method include a coating method using an inkjet head, a method of transferring the coating agent at the tip of the needle onto the substrate, a method called a needle type that pushes out and applies the needle, and among these, the inkjet method is used. A coating method using a head is particularly preferable.

コート剤は、透明性が高く、光を効率よく透過させる必要がある。
したがって、コート剤は、波長400〜700×10-9mの光透過性を有する樹脂、界面活性剤および溶剤を含む塗液であるのが好ましい。
そのような樹脂としては、アクリル系樹脂、ナイロン系樹脂、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂などが挙げられ、これらは好適に用いることができる。
The coating agent is highly transparent and needs to transmit light efficiently.
Therefore, the coating agent is preferably a coating solution containing a resin having a light transmittance of a wavelength of 400 to 700 × 10 −9 m, a surfactant and a solvent.
Examples of such resins include acrylic resins, nylon resins, polyimide resins, and epoxy resins, and these can be used preferably.

また、コート剤が後から塗布するインク10に対して馴染み難い表面を有する場合には、隣接する絵素にインクが溢れ出すのを防止できるので好ましい。
さらに、コート剤は、インクジェット方式により塗布する場合には、インクジェットヘッドに悪影響を与えない範囲の表面張力と粘度を有する必要がある。
したがって、コート剤が、10〜100mN/m、好ましくは20〜40mN/mの表面張力および0.5〜50Pa・s、好ましくは5〜10Pa・sの粘度を有し、かつ乾燥したコート剤の表面にインクを10μl滴下したときの接触角が20°以上、好ましくは50°以上である物性を有するのが好ましい。
In addition, it is preferable that the coating agent has a surface that is difficult to adjust to the ink 10 to be applied later, because the ink can be prevented from overflowing to adjacent picture elements.
Further, when the coating agent is applied by an ink jet method, it needs to have a surface tension and a viscosity within a range that does not adversely affect the ink jet head.
Therefore, the coating agent has a surface tension of 10 to 100 mN / m, preferably 20 to 40 mN / m and a viscosity of 0.5 to 50 Pa · s, preferably 5 to 10 Pa · s, and is a dry coating agent. It is preferable that the contact angle when the ink is dropped by 10 μl on the surface is 20 ° or more, preferably 50 ° or more.

このようなコート剤を得るためには、界面活性剤の種類と添加量を適宜設定すればよい。界面活性剤としては、アクリル系樹脂である場合、例えば、フッ素系界面活性剤などが挙げられる。
また、コート剤の乾燥速度も重要であり、これは溶剤の種類と配合量を設定することにより調整することができる。
コート剤の乾燥速度が速い、すなわち溶剤の蒸発速度が速い場合、インクジェットヘッドの表面で固形分が固着し、インクジェットを長時間稼動できなくなることがあるので好ましくない。溶剤としては、アクリル系樹脂である場合、例えば、BCTACやPEGMEAなどが挙げられる。
In order to obtain such a coating agent, the type and addition amount of the surfactant may be appropriately set. As the surfactant, in the case of an acrylic resin, for example, a fluorosurfactant may be used.
Also, the drying rate of the coating agent is important, and this can be adjusted by setting the type and amount of the solvent.
If the drying rate of the coating agent is fast, that is, if the evaporation rate of the solvent is fast, the solid content is fixed on the surface of the ink jet head, and it may not be possible to operate the ink jet for a long time. As a solvent, when it is acrylic resin, BCTAC, PEGMEA, etc. are mentioned, for example.

工程(C)におけるコート剤の塗布前に、除去した欠陥に少量の着色層用のインクを塗布するのが好ましい。これにより、次工程(D)におけるレーザー照射によるコート剤の除去効率が向上するので好ましい。   Before applying the coating agent in the step (C), it is preferable to apply a small amount of colored layer ink to the removed defects. This is preferable because the removal efficiency of the coating agent by laser irradiation in the next step (D) is improved.

工程(D)
次に、図3(d)に示すように、除去した欠陥の周辺のコート剤を残して、レーザー照射によりコート剤を除去する。具体的には、図2に示されるような公知のレーザー装置11を用いて、コート剤、さらにインクを塗布した場合にはインク層を、レーザー照射により除去する。
レーザーの照射条件は、除去するコート剤の物性により適宜設定すればよい。
Process (D)
Next, as shown in FIG. 3D, the coating agent is removed by laser irradiation while leaving the coating agent around the removed defect. Specifically, using a known laser device 11 as shown in FIG. 2, when the coating agent and further the ink are applied, the ink layer is removed by laser irradiation.
What is necessary is just to set suitably the irradiation conditions of a laser with the physical property of the coating agent to remove.

工程(E)
次に、図3(e)に示すように、コート剤を除去した部分に、インクジェット方式により、着色層用のインク(ここでは、赤色インク)を塗布する。具体的には、図2に示されるような公知のインクジェットヘッド16を用いて、コート剤を除去した部分に、インク10を塗布し、必要に応じて、図2に示されるような公知の乾燥ランプ12を用いて、インクを乾燥させる。
このように、インクの物性により異なるが、必要に応じて、工程(E)における着色層(もしくは発光層)の塗布後に、乾燥または樹脂硬化のために熱処理を行うのが好ましい。
しかしながら、熱による着色剤の退色が問題になる場合には、加熱しないのが好ましい。
Process (E)
Next, as shown in FIG. 3E, a colored layer ink (here, red ink) is applied to the portion from which the coating agent has been removed by an inkjet method. Specifically, using a known inkjet head 16 as shown in FIG. 2, the ink 10 is applied to the portion from which the coating agent has been removed, and if necessary, a known drying as shown in FIG. The ink is dried using the lamp 12.
As described above, although it varies depending on the physical properties of the ink, it is preferable to perform heat treatment for drying or resin curing after application of the colored layer (or light emitting layer) in the step (E) as necessary.
However, when discoloration of the colorant due to heat becomes a problem, it is preferable not to heat.

塗布するインクは、カラーフィルターの製造で用いられたインク、またはそれと同等のインクであり、インクジェット方式により塗布する場合には、インクジェットヘッドに悪影響を与えない範囲の表面張力と粘度に調整するのが好ましい。   The ink to be applied is the ink used in the manufacture of the color filter or an equivalent ink, and when applied by the ink jet method, the surface tension and the viscosity should be adjusted within a range that does not adversely affect the ink jet head. preferable.

上記のように、欠陥が異物である場合には、工程(B)における欠陥の除去を行うのが好ましい。
しかしながら、異物の状態が次のような場合には、工程(B)における欠陥の除去を行わず、異物が付着した状態でコート剤を塗布し(工程(C))、除去しなかった欠陥の周辺のコート剤を残して、コート剤を異物と共に除去してもよい。
(1)レーザー装置11から照射されるレーザー照射エリアに対して、異物6があまりに大きく、上記のような一連の工程で欠陥修正が終わらない場合
(2)塗布したコート剤15の広がる範囲に対して、異物6が小さく、コート剤15の濡れ広がり方に影響を与えない場合
As described above, when the defect is a foreign substance, it is preferable to remove the defect in the step (B).
However, in the case where the state of the foreign matter is as follows, the defect is not removed in the step (B), the coating agent is applied with the foreign matter attached (step (C)), and the defect that has not been removed is removed. You may remove a coating agent with a foreign material, leaving the surrounding coating agent.
(1) When the foreign matter 6 is too large for the laser irradiation area irradiated from the laser device 11 and the defect correction is not finished in the series of processes as described above. (2) For the spread range of the coated coating agent 15 When the foreign matter 6 is small and does not affect the wet spread of the coating agent 15

(実施形態2)
この実施形態は、カラーフィルターに欠陥として他色埋まり9が発生した場合の欠陥修正方法である。
カラーフィルターに目的の色以外、例えば、青色部4に赤色部2が混ざるように形成される他色埋まりが発生すると、絵素が黒く見えたり、意図しない色調に変化してしまう場合があり、この実施形態ではこれを修正する。。
図4は、この実施形態の工程を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。
図中の図番は図1と同様であり、1は基板、3は緑色部(G)、4は青色部(B)、5ブラックマトリックス部、9は他色埋まりを示す。
(Embodiment 2)
This embodiment is a defect correction method when another color filling 9 occurs as a defect in the color filter.
Other than the target color in the color filter, for example, when other color filling occurs so that the red portion 2 is mixed with the blue portion 4, the picture element may appear black or may change to an unintended color tone. This embodiment corrects this. .
FIG. 4 is a schematic top view (left side) showing a process of this embodiment and a schematic cross-sectional view (right side) taken along line AA.
The figure numbers in the figure are the same as those in FIG. 1, 1 is a substrate, 3 is a green part (G), 4 is a blue part (B), 5 is a black matrix part, and 9 is filled with other colors.

工程(A)
まず、図4(a)に示すように、カラーフィルターに存在する他色埋まり9を検出し、その位置および大きさを確認する。その詳細は、実施形態1の工程(A)と同様である。
Step (A)
First, as shown in FIG. 4A, the other color block 9 existing in the color filter is detected, and its position and size are confirmed. The details are the same as in step (A) of the first embodiment.

工程(C)
次に、図4(b)に示すように、欠陥とその周辺に、すなわち他色埋まり9の範囲を覆うように、インクジェット方式によりコート剤を塗布し、必要に応じてコート剤15を乾燥させる。その詳細は、実施形態1の工程(C)と同様である。
Process (C)
Next, as shown in FIG. 4B, a coating agent is applied by an ink jet method so as to cover the defect and its periphery, that is, the range of the other color filling 9, and the coating agent 15 is dried as necessary. . The details are the same as in step (C) of the first embodiment.

工程(D)
次に、図4(c)に示すように、欠陥の周辺のコート剤を残して、レーザー照射によりコート剤と欠陥を除去する。その詳細は、実施形態1の工程(D)と同様である。
Process (D)
Next, as shown in FIG. 4C, the coating agent and the defect are removed by laser irradiation while leaving the coating agent around the defect. The details are the same as in step (D) of the first embodiment.

工程(E)
次に、図4(d)に示すように、コート剤を除去した部分に、インクジェット方式により、青色インクを塗布する。その詳細は、実施形態1の工程(E)と同様である。
Process (E)
Next, as shown in FIG. 4D, blue ink is applied to the portion from which the coating agent has been removed by an inkjet method. The details are the same as in step (E) of the first embodiment.

レーザー装置11から照射されるレーザー照射エリアに対して、他色埋まりがあまりに大きく、上記のような一連の工程で欠陥修正が終わらない場合には、レーザー照射によるコート剤の除去(工程(D))と着色層もしくは発光層のインクの塗布(工程(E))を複数回実施すればよい。これにより、大きな欠陥エリアを修正することができる。   When the other color filling is too large with respect to the laser irradiation area irradiated from the laser device 11, and the defect correction is not finished in the series of processes as described above, the coating agent is removed by laser irradiation (process (D)). ) And application of the colored layer or light emitting layer ink (step (E)) may be carried out a plurality of times. Thereby, a large defect area can be corrected.

このように工程(D)および(E)を複数回繰り返す場合、工程(E)でインクを塗布する際に、その塗布領域の少なくとも3辺にコート剤が存在しないと、塗布したインクが溢れ出ることがある。
したがって、工程(D)および(E)を2回繰り返す場合には、例えば、図4(e)に示すように、1回目と2回目の塗布領域をオーバーラップさせて実施するのが好ましい。
特に、表示素子用カラー化部品が高付加価値商品であり、欠陥修正の品位が問われる場合には、工程(D)および(E)の繰り返しではなく、全工程を繰り返し、インクを塗布する際に、全辺(全周)がコート剤に囲われた状態にしてインクを塗布するのが好ましい。
When the steps (D) and (E) are repeated a plurality of times in this way, when the ink is applied in the step (E), if there is no coating agent on at least three sides of the application region, the applied ink overflows. Sometimes.
Therefore, when the steps (D) and (E) are repeated twice, it is preferable that the first and second application regions are overlapped, for example, as shown in FIG. 4 (e).
In particular, when colored parts for display elements are high value-added products and the quality of defect correction is questioned, when applying ink by repeating all the steps instead of repeating steps (D) and (E) In addition, it is preferable to apply the ink in a state where the entire side (the entire circumference) is surrounded by the coating agent.

コート剤やインクの物性にもよるが、コート剤を除去した部分に、修正に必要な量のインクを一度に塗布すると、インクが溢れ出てしまい欠陥修正が失敗することがある。
したがって、欠陥が表示素子用カラー化部品の赤色部、緑色部または青色部に存在する場合、工程(E)におけるインクの塗布を、赤色、緑色および青色から選択されるいずれか1つのインクの塗り重ねにより行うのが好ましい。
Although depending on the physical properties of the coating agent and ink, if an amount of ink necessary for correction is applied to the portion where the coating agent has been removed at once, the ink overflows and defect correction may fail.
Therefore, when the defect exists in the red part, the green part, or the blue part of the colored component for display element, the ink application in step (E) is performed by applying any one of the inks selected from red, green, and blue. It is preferable to carry out by overlapping.

(実施形態3)
この実施形態は、カラーフィルターに欠陥として色抜け7が存在している場合の欠陥修正方法である。
カラーフィルターに色部がない色抜けが存在すると、その絵素が光って見える場合があり、この実施形態ではこれを修正する。
図5は、この実施形態の工程を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。
図中の図番は図1と同様であり、1は基板、3は緑色部(G)、4は青色部(B)、5ブラックマトリックス部、7は色抜けを示す。
(Embodiment 3)
This embodiment is a defect correction method when the color loss 7 exists as a defect in the color filter.
If there is a color loss without a color portion in the color filter, the picture element may appear shining, which is corrected in this embodiment.
FIG. 5 is a schematic top view (on the left side) showing the steps of this embodiment and a schematic cross-sectional view at AA (on the right side).
The figure numbers in the figure are the same as those in FIG. 1, 1 is a substrate, 3 is a green part (G), 4 is a blue part (B), 5 is a black matrix part, and 7 is a missing color.

工程(A)
まず、図5(a)に示すように、カラーフィルターに存在する色抜け7を検出し、その位置および大きさを確認する。その詳細は、実施形態1の工程(A)と同様である。
Process (A)
First, as shown in FIG. 5A, the color loss 7 existing in the color filter is detected, and its position and size are confirmed. The details are the same as in step (A) of the first embodiment.

工程(C)
次に、図5(c)に示すように、欠陥部分およびその周辺に、すなわち色抜け7の範囲を覆うように、インクジェット方式によりコート剤を塗布し、必要に応じてコート剤15を乾燥させる。その詳細は、実施形態1の工程(C)と同様である。
Process (C)
Next, as shown in FIG. 5C, a coating agent is applied by an inkjet method so as to cover the defective portion and its periphery, that is, the range of the color loss 7, and the coating agent 15 is dried as necessary. . The details are the same as in step (C) of the first embodiment.

図5(b)に示すように、工程(C)におけるコート剤の塗布前に、欠陥に少量の着色層のインクを塗布するのが好ましい。これにより、次工程(D)におけるレーザー照射によるコート剤の除去効率が向上するので好ましい。少量のインクを塗布しない場合には、基板とコート剤が直接接触してしまい、レーザー照射によりコート剤が除去できなくなることがある。
また、少量のインクを塗布しない場合であっても、レーザー照射の強度を高くしてコート剤を除去してもよい。したがって、レーザー強度に余裕がある場合には、インクを塗布せずに、レーザー強度を上げた方が、処理時間が短くなるので好ましい。
As shown in FIG. 5B, it is preferable to apply a small amount of colored layer ink to the defect before applying the coating agent in the step (C). This is preferable because the removal efficiency of the coating agent by laser irradiation in the next step (D) is improved. If a small amount of ink is not applied, the substrate and the coating agent may be in direct contact, and the coating agent may not be removed by laser irradiation.
Even when a small amount of ink is not applied, the coating agent may be removed by increasing the intensity of laser irradiation. Therefore, when the laser intensity is sufficient, it is preferable to increase the laser intensity without applying ink because the processing time is shortened.

工程(D)
次に、図4(d)に示すように、欠陥の周辺のコート剤を残して、レーザー照射によりコート剤を除去する。実施形態1の工程(D)と同様である。
Process (D)
Next, as shown in FIG. 4D, the coating agent is removed by laser irradiation while leaving the coating agent around the defect. This is the same as step (D) in the first embodiment.

工程(E)
次に、図5(e)に示すように、コート剤を除去した部分に、インクジェット方式により、緑色インクを塗布する。その詳細は、実施形態1の工程(E)と同様である。
Process (E)
Next, as shown in FIG.5 (e), green ink is apply | coated to the part from which the coating agent was removed by the inkjet system. The details are the same as in step (E) of the first embodiment.

レーザー装置11から照射されるレーザー照射エリアに対して、色抜けがあまりに大きく、上記のような一連の工程で欠陥修正が終わらない場合には、レーザー照射によるコート剤の除去(工程(D))と着色層もしくは発光層のインクの塗布(工程(E))を複数回実施すればよい。これにより、大きな欠陥エリアを修正することができる。   When the color loss is too large for the laser irradiation area irradiated from the laser device 11 and the defect correction is not completed in the series of processes as described above, the coating agent is removed by laser irradiation (process (D)). Application of the colored layer or light emitting layer ink (step (E)) may be performed a plurality of times. Thereby, a large defect area can be corrected.

このように工程(D)および(E)を複数回繰り返す場合、工程(E)でインクを塗布する際に、その塗布領域の少なくとも3辺にコート剤が存在しないと、塗布したインクが溢れ出ることがある。
特に、表示素子用カラー化部品が高付加価値商品であり、欠陥修正の品位が問われる場合には、工程(D)および(E)の繰り返しではなく、全工程を繰り返し、インクを塗布する際に、全辺(全周)がコート剤に囲われた状態にしてインクを塗布するのが好ましい。
When the steps (D) and (E) are repeated a plurality of times in this way, when the ink is applied in the step (E), if there is no coating agent on at least three sides of the application region, the applied ink overflows. Sometimes.
In particular, when colored parts for display elements are high value-added products and the quality of defect correction is questioned, when applying ink by repeating all the steps instead of repeating steps (D) and (E) In addition, it is preferable to apply the ink in a state where the entire side (the entire circumference) is surrounded by the coating agent.

(実施形態4)
この実施形態は、カラーフィルターに欠陥として白抜け8が存在している場合の欠陥修正方法である。
カラーフィルターにブラックマトリックス部がない白抜け8が存在すると、その絵素が光って見える場合があり、この実施形態ではこれを修正する。
図6は、この実施形態の工程を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。
図中の図番は図1と同様であり、1は基板、2は赤色部(R)、4は青色部(B)、5ブラックマトリックス部、8は白抜けを示す。
(Embodiment 4)
This embodiment is a defect correction method in the case where white spots 8 exist as defects in the color filter.
If there are white spots 8 that do not have a black matrix portion in the color filter, the picture elements may appear shining, which is corrected in this embodiment.
FIG. 6 is a schematic top view (on the left side) showing the steps of this embodiment and a schematic cross-sectional view (on the right side) along AA.
The figure numbers in the figure are the same as those in FIG. 1, 1 is a substrate, 2 is a red part (R), 4 is a blue part (B), 5 is a black matrix part, and 8 is white.

工程(A)
まず、図6(a)に示すように、カラーフィルターに存在する白抜け8を検出し、その位置および大きさを確認する。その詳細は、実施形態1の工程(A)と同様である。
Process (A)
First, as shown in FIG. 6A, the white spot 8 existing in the color filter is detected, and its position and size are confirmed. The details are the same as in step (A) of the first embodiment.

工程(C)
次に、図6(c)に示すように、欠陥部分およびその周辺に、すなわち白抜け8の範囲を覆うように、インクジェット方式によりコート剤を塗布し、必要に応じてコート剤15を乾燥させる。その詳細は、実施形態1の工程(C)と同様である。
Process (C)
Next, as shown in FIG. 6C, a coating agent is applied by an ink jet method so as to cover the defective portion and its periphery, that is, the range of the white spots 8, and the coating agent 15 is dried as necessary. . The details are the same as in step (C) of the first embodiment.

図6(b)に示すように、工程(C)におけるコート剤の塗布前に、欠陥に少量の着色層のインクを塗布するのが好ましい。これにより、次工程(D)におけるレーザー照射によるコート剤の除去効率が向上するので好ましい。少量のインクを塗布しない場合には、基板とコート剤が直接接触してしまい、レーザー照射によりコート剤が除去できなくなることがある。
また、少量のインクを塗布しない場合であっても、レーザー照射の強度を高くしてコート剤を除去してもよい。したがって、レーザー強度に余裕がある場合には、インクを少量塗布せずに、レーザー強度を上げた方が、処理時間が短くなるので好ましい。
As shown in FIG. 6B, it is preferable to apply a small amount of colored layer ink to the defects before applying the coating agent in the step (C). This is preferable because the removal efficiency of the coating agent by laser irradiation in the next step (D) is improved. If a small amount of ink is not applied, the substrate and the coating agent may be in direct contact, and the coating agent may not be removed by laser irradiation.
Even when a small amount of ink is not applied, the coating agent may be removed by increasing the intensity of laser irradiation. Therefore, when the laser intensity is sufficient, it is preferable to increase the laser intensity without applying a small amount of ink because the processing time is shortened.

工程(D)
次に、図6(d)に示すように、欠陥の周辺のコート剤を残して、レーザー照射によりコート剤を除去する。その詳細は、実施形態1の工程(D)と同様である。
Process (D)
Next, as shown in FIG. 6D, the coating agent is removed by laser irradiation while leaving the coating agent around the defect. The details are the same as in step (D) of the first embodiment.

工程(E)
次に、図6(e)に示すように、コート剤を除去した部分に、インクジェット方式により、青色インクおよび赤色インクを順次塗布する。その詳細は、実施形態1の工程(E)と同様である。なお、インクの塗布順序は、特に限定されず、青色と赤色が逆であってもよい。
Process (E)
Next, as shown in FIG. 6E, blue ink and red ink are sequentially applied to the portion from which the coating agent has been removed by an inkjet method. The details are the same as in step (E) of the first embodiment. The order of ink application is not particularly limited, and blue and red may be reversed.

レーザー装置11から照射されるレーザー照射エリアに対して、白抜けがあまりに大きく、上記のような一連の工程で欠陥修正が終わらない場合には、レーザー照射によるコート剤の除去(工程(D))と着色層もしくは発光層のインクの塗布(工程(E))を複数回実施すればよい。これにより、大きな欠陥エリアを修正することができる。   When the blank area is too large for the laser irradiation area irradiated from the laser device 11 and defect correction is not completed in the series of processes as described above, the coating agent is removed by laser irradiation (process (D)). Application of the colored layer or light emitting layer ink (step (E)) may be performed a plurality of times. Thereby, a large defect area can be corrected.

このように工程(D)および(E)を複数回繰り返す場合、工程(E)でインクを塗布する際に、その塗布領域の少なくとも3辺にコート剤が存在しないと、塗布したインクが溢れ出ることがある。
特に、表示素子用カラー化部品が高付加価値商品であり、欠陥修正の品位が問われる場合には、工程(D)および(E)の繰り返しではなく、全工程を繰り返し、インクを塗布する際に、全辺(全周)がコート剤に囲われた状態にしてインクを塗布するのが好ましい。
When the steps (D) and (E) are repeated a plurality of times in this way, when the ink is applied in the step (E), if there is no coating agent on at least three sides of the application region, the applied ink overflows. Sometimes.
In particular, when colored parts for display elements are high value-added products and the quality of defect correction is questioned, when applying ink by repeating all the steps instead of repeating steps (D) and (E) In addition, it is preferable to apply the ink in a state where the entire side (the entire circumference) is surrounded by the coating agent.

欠陥が表示素子用カラー化部品のブラックマトリックス部に存在する場合、工程(E)におけるインクの塗布を、赤色、緑色および青色から選択される複数色のインクの塗り重ねにより行うのが好ましい。このように、インクの塗り重ねを黒色インクの塗布に代えることにより、黒色インク用のインクジェットヘッドが不要となり、欠陥修正のコストを低減できる。   When a defect exists in the black matrix portion of the colorization part for display element, it is preferable to apply the ink in the step (E) by applying a plurality of colors of ink selected from red, green, and blue. Thus, by replacing the ink coating with the application of the black ink, the inkjet head for the black ink becomes unnecessary, and the cost of defect correction can be reduced.

本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法は、異物、他色埋まり、色抜けおよび白抜けから選択される少なくとも1つ欠陥が存在する場合に適用でき、同一基板に複数の欠陥が検出された場合には、上記のような一連の工程を同時進行で、または繰り返して実施すればよい。
また、工程(E)において、塗布するインクの色を間違えた場合には、工程(B)と同様にして、間違えたインクをレーザー照射により除去すれば、工程(E)前の状態に近づけることができる。
The defect correction method for colored parts for display elements of the present invention can be applied when there is at least one defect selected from foreign matter, other color filling, color loss and white loss, and multiple defects are detected on the same substrate. In such a case, the series of steps as described above may be carried out simultaneously or repeatedly.
In addition, if the color of the ink to be applied is wrong in step (E), the wrong ink can be removed by laser irradiation in the same manner as in step (B) to bring it closer to the state before step (E). Can do.

表示素子基板のカラーフィルターの欠陥を示す、模式上面図(a)およびそのA−Aにおける模式断面図(b)である。It is the model top view (a) which shows the defect of the color filter of a display element substrate, and the schematic cross section (b) in AA. 本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the defect correction method of the colored component for display elements of this invention. 本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法(実施形態1)を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。It is the model top view (left side) which shows the defect correction method (embodiment 1) of the coloration components for display elements of this invention, and the schematic cross section in the AA (right side). 本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法(実施形態2)を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。It is the model top view (left side) which shows the defect correction method (Embodiment 2) of the colorization components for display elements of this invention, and the schematic cross section in the AA (right side). 本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法(実施形態3)を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。It is the model top view (left side) which shows the defect correction method (embodiment 3) of the colorization components for display elements of this invention, and the schematic cross section in the AA (right side). 本発明の表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法(実施形態4)を示す模式上面図(左側)およびそのA−Aにおける模式断面図(右側)である。It is the model top view (left side) which shows the defect correction method (Embodiment 4) of the colorization components for display elements of this invention, and the schematic cross section in the AA (right side).

符号の説明Explanation of symbols

1 基板(ガラス基板)
2 赤色部(R)
3 緑色部(G)
4 青色部(B)
5 ブラックマトリックス部
6 異物
7 色抜け
8 白抜け
9 他色埋まり
10 インク
11 レーザー装置
12 乾燥ランプ
13 X−Y−Zステージ
14 ステージ
15 コート剤
16 インクジェットヘッド
1 Substrate (glass substrate)
2 Red part (R)
3 Green part (G)
4 Blue part (B)
5 Black matrix portion 6 Foreign matter 7 Color loss 8 White color loss 9 Other color filling 10 Ink 11 Laser device 12 Drying lamp 13 XYZ stage 14 Stage 15 Coating agent 16 Inkjet head

Claims (7)

カラー表示パネルに用いられる表示素子用カラー化部品の着色層に存在する欠陥を修正するにあたり、
(A)着色層に存在する欠陥を検出し、
(B)検出した欠陥をレーザー照射により除去するか、または除去せずして、
(C)除去した欠陥とその周辺、または除去しなかった欠陥とその周辺に、インクジェット方式により、アクリル系樹脂、フッ素系界面活性剤および溶剤を含むコート剤を塗布し、
(D)除去した欠陥または除去しなかった欠陥の周辺のコート剤を残して、レーザー照射によりコート剤またはコート剤と欠陥を除去し、
(E)除去した部分に、インクジェット方式により、着色層用のインクを塗布して、
欠陥を修正することを特徴とする表示素子用カラー化部品の欠陥修正方法。
In correcting defects present in the colored layer of the colored parts for display elements used in color display panels,
(A) detecting defects present in the colored layer ;
(B) The detected defect is removed by laser irradiation or not,
(C) A coating agent containing an acrylic resin, a fluorosurfactant, and a solvent is applied to the removed defect and its periphery, or the defect that has not been removed and its periphery by an inkjet method,
(D) removing the missing Ochiima other was leaving coating agent around the defect was not removed, was or coating agent to remove the coating agent and the defect by laser irradiation,
(E) The ink for the colored layer is applied to the removed portion by an inkjet method,
A defect correction method for a colored part for a display element, wherein the defect is corrected.
欠陥が、異物、他色埋まり、色抜けおよび白抜けから選択される少なくとも1つである請求項1に記載の欠陥修正方法。   The defect correction method according to claim 1, wherein the defect is at least one selected from foreign matter, other color filling, color loss, and white loss. 欠陥が異物である場合に、工程(B)における欠陥の除去を行う請求項1または2に記載の欠陥修正方法。   The defect correction method according to claim 1 or 2, wherein the defect is removed in the step (B) when the defect is a foreign matter. 工程(C)におけるコート剤の塗布前に、除去した欠陥または除去しなかった欠陥に、着色層用のインクを塗布する請求項1〜3のいずれか1つ記載の欠陥修正方法。 The defect correction method according to any one of claims 1 to 3, wherein the colored layer ink is applied to the removed defect or the defect that has not been removed before the coating agent is applied in the step (C). 工程(C)におけるコート剤の塗布後および/または工程(E)におけるインクの塗布後に、乾燥または樹脂硬化のための熱処理を行う請求項1〜4のいずれか1つに記載の欠陥修正方法。   The defect correction method according to any one of claims 1 to 4, wherein a heat treatment for drying or resin curing is performed after the coating agent is applied in step (C) and / or after the ink is applied in step (E). 欠陥が表示素子用カラー化部品の赤色部、緑色部または青色部に存在する場合、工程(E)におけるインクの塗布を、赤色、緑色および青色から選択されるいずれか1つのインクの塗り重ねにより行う請求項1〜5のいずれか1つに記載の欠陥修正方法。   When the defect exists in the red part, the green part, or the blue part of the colored component for display element, the ink application in the step (E) is performed by applying one of the inks selected from red, green, and blue. The defect correction method according to claim 1, wherein the defect correction method is performed. 欠陥が表示素子用カラー化部品のブラックマトリックス部に存在する場合、工程(E)におけるインクの塗布を、赤色、緑色および青色から選択される複数色のインクの塗り重ねにより行う請求項1〜5のいずれか1つに記載の欠陥修正方法。   The ink application in the step (E) is performed by applying a plurality of colors of ink selected from red, green, and blue when a defect exists in the black matrix portion of the colored component for display element. The defect correction method as described in any one of these.
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