JP4616694B2 - Component mounting equipment - Google Patents
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Description
本発明は、部品実装装置、特にX軸と2つのY軸を有するXYステージを備えた部品実装装置において、X軸とY軸の直角度を調整する際に適用して好適な部品実装装置に関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus, particularly a component mounting apparatus including an XY stage having an X axis and two Y axes, and a component mounting apparatus suitable for application when adjusting the perpendicularity between the X axis and the Y axis. .
図7は、電子部品を配線基板に実装する部品実装装置に採用されているXYステージを抽出して示す概略斜視図である。 FIG. 7 is a schematic perspective view showing an extracted XY stage employed in a component mounting apparatus for mounting electronic components on a wiring board.
このXYステージでは、X軸フレーム10が左側のYL軸フレーム12及び右側のYR軸フレーム14上をボールねじやベルトと組合せたモータ、若しくはリニアモータ等(いずれも図せず)で駆動されるようになっている。又、このX軸フレーム10には、電子部品を基板に実装するヘッドユニット16が、該X軸フレームに沿って移動可能に設置されていると共に、X軸フレーム10と一体でYL軸フレーム12、YR軸フレーム14上をY軸方向に移動可能に設置されている。
In this XY stage, the
X軸フレーム10の左右両端部は互いに独立したモータでそれぞれ駆動され、Y軸方向の位置はYL位置センサ18及びYR位置センサ20によりそれぞれ検出される。同様にヘッドユニット16は、X位置センサ22により検出される。これらの位置センサ18、20、22には、それぞれ対応する軸に平行に設置されているリニアエンコーダを用いることができる。
The left and right ends of the
X軸フレーム10のY軸方向の位置は、YL、YRの各軸フレーム12、14上を移動することにより、上記位置センサ18、20により変化量が検出されるので、電源を投入して最初に駆動可能な状態になった位置からの相対的な位置として知ることができる。しかし、装置(機械)内の絶対的な位置は知ることができないので、所定位置に固定された基板上の決められた位置に電子部品を正確に実装するためには、ヘッドユニット16、即ちX軸フレーム10が装置内のどの位置にあるかを正確に知る必要がある。
The position of the
従来は、その位置を知る手段として、Y軸方向に関しては、図示されているように一方のYL軸フレーム12上にYL軸原点センサ24を設置して、X軸フレーム10がそのセンサ24を通過した位置を原点として絶対的な基準位置を設定している。
Conventionally, as a means for knowing the position, in the Y-axis direction, a YL-
ヘッドユニット16のX軸方向の位置も、同様にX軸フレーム10上に設置されたX軸原点センサ26を該ヘッドユニット16が通過した位置を原点としている。なお、原点センサによりY軸方向の位置を検出することは、例えば特許文献1に開示されている。
The position of the head unit 16 in the X-axis direction is also set to the position where the head unit 16 passes the X-axis origin sensor 26 installed on the
一般に、部品実装装置(半導体製造装置)では、電子部品を実装する際に前記X軸フレーム10とYL軸フレーム12及びYR軸フレーム14との間の直角度、即ちX軸と左右のY軸が直交している状態を精度良く保つ必要がある。もし、XY軸の直角度が崩れた場合には、座標系の狂いによる部品搭載(実装)時の位置ずれや、X軸が捻られることにより左右のY軸モータの駆動に影響を及ぼし、ヘッドユニット16を目標位置に位置決めした際の整定(ダンピング)の悪化等の影響が発生する。
Generally, in a component mounting apparatus (semiconductor manufacturing apparatus), when mounting an electronic component, the perpendicularity between the
しかしながら、前記原点センサにより装置内の絶対的な基準位置が分かっていたとしても、装置に熱変形が生じていたり、XYステージの設置ベースの水平度(水準)が狂っていたりするために、X軸とY軸の直角度がずれてしまっている場合には、前記原点センサにX軸フレームが検知されたとしても、座標系が狂っているために原点センサを正常に機能させることができないという問題があった。 However, even if the absolute reference position in the apparatus is known by the origin sensor, the apparatus is thermally deformed, or the horizontality (level) of the installation base of the XY stage is out of order. If the perpendicularity between the axis and the Y-axis has shifted, even if the X-axis frame is detected by the origin sensor, the origin sensor cannot function normally because the coordinate system is incorrect. There was a problem.
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、装置の熱変形等の何らかの原因によりX軸フレームと2つのY軸フレームとの間の直角度がずれてしまった場合でも、正確に直角度を再現することができ、原点センサを正常に機能させることができる部品実装装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and even when the perpendicularity between the X-axis frame and the two Y-axis frames has shifted due to some cause such as thermal deformation of the apparatus, It is an object of the present invention to provide a component mounting apparatus that can accurately reproduce a squareness and allow an origin sensor to function normally.
本発明は、X軸フレームが、平行に配設されたYL軸フレーム及びYR軸フレーム上を、対応するYL軸モータ及びYR軸モータによりそれぞれY軸方向に移動可能であると共に、基板上に部品を実装するためのヘッドユニットが、X軸方向に移動可能に前記X軸フレームに搭載されているXYステージを備えた部品実装装置において、前記ヘッドユニットに画像認識手段が付設されていると共に、少なくとも直角三角形の頂点に対応する3つのマークを含む複数の基準マークが付されている直角度基準板を、前記XYステージのベース面に載置し、前記ヘッドユニットをXY方向に移動させて、前記画像認識手段により前記3つのマークを順次画像認識し、該画像認識時のヘッドユニットの位置から各マークについて装置上の座標値を求め、求められた3つのマークの座標値から、前記X軸フレームのY軸方向に対する直角度のずれを算出し、算出されたずれに基づいて、前記YL軸モータ及びYR軸モータの少なくとも一方を駆動し、前記X軸フレームの直角度を補正する補正手段を備えたことにより、前記課題を解決したものである。 In the present invention, the X-axis frame can be moved in the Y-axis direction by the corresponding YL-axis motor and YR-axis motor on the YL-axis frame and the YR-axis frame arranged in parallel, and the components are mounted on the board. In the component mounting apparatus provided with an XY stage mounted on the X-axis frame so that the head unit for mounting can be moved in the X-axis direction, image recognition means is attached to the head unit, and at least A perpendicular reference plate with a plurality of reference marks including three marks corresponding to the apex of a right triangle is placed on the base surface of the XY stage, the head unit is moved in the XY direction, Image recognition means sequentially recognizes the three marks, and obtains coordinate values on the apparatus for each mark from the position of the head unit at the time of image recognition. From the obtained coordinate values of the three marks, a perpendicularity deviation of the X-axis frame with respect to the Y-axis direction is calculated, and at least one of the YL-axis motor and the YR-axis motor is driven based on the calculated deviation. The above-mentioned problem is solved by providing correction means for correcting the squareness of the X-axis frame.
本発明は、又、前記補正手段は、Y軸方向のマーク座標値から求まる、絶対座標系のY軸に対する直角度基準板の傾き角度と、X軸方向のマーク座標値から求まる、直角度基準板に対するX軸フレームの傾き角度との差に基づき、絶対座標系のY軸方向に対するX軸フレームの直角度のずれを算出するようにしてもよく、これにより、正確に直角度のずれを算出することができる。 In the present invention, the correction means is obtained from the mark coordinate value in the Y-axis direction, the inclination angle of the perpendicular reference plate with respect to the Y-axis in the absolute coordinate system, and the square angle reference obtained from the mark coordinate value in the X-axis direction. Based on the difference between the inclination angle of the X-axis frame with respect to the plate, the deviation of the squareness of the X-axis frame with respect to the Y-axis direction of the absolute coordinate system may be calculated, thereby calculating the deviation of the squareness accurately. can do.
本発明は、又、前記YL軸フレーム及びYR軸フレームにそれぞれ原点センサを設置すると共に、前記X軸フレームを、前記原点センサ方向に移動させて、各Y軸フレーム上の原点センサを検知し、前記直角度基準板の3つのマークの座標値から、前記両原点センサを結ぶ直線のY軸方向に対する直角度のずれを算出するようにしてもよい。これにより、直角基準板を取り外した場合、再度設置しなくても、X軸フレームの傾き測定や、原点位置復帰動作をすることができる。 The present invention also with installing their respective origin sensor to the YL axis frame and YR-axis frame, the X-axis frame, is moved in the origin sensor direction, the origin sensor on the Y-axis frame It is also possible to detect the deviation of the perpendicularity with respect to the Y-axis direction of the straight line connecting the two origin sensors from the coordinate values of the three marks on the perpendicularity reference plate. Thereby, when the right-angle reference plate is removed, the inclination measurement of the X-axis frame and the origin position return operation can be performed without re-installation.
本発明は、又、前記X軸フレームのY軸方向に対する直角度からのずれと整定時間との相関データを予め保存しておき、前記画像認識により算出された直角度からのずれに応じて、実装時の整定時間を調節するようにしてもよい。 The present invention also stores in advance correlation data between the deviation from the perpendicularity of the X-axis frame with respect to the Y-axis direction and the settling time, and according to the deviation from the perpendicularity calculated by the image recognition, You may make it adjust the settling time at the time of mounting.
本発明によれば、XYステージのベース面上に載置した直角度基準板から直角三角形の頂点に対応する3つのマークを、ヘッドユニットに付設されている画像認識手段によりそれぞれ画像認識し、各マークを認識したときのヘッドユニットの位置からX軸フレームの直角度のずれを算出できるようにしたことから、該X軸フレームの直角度を正確に補正して再現することが可能となる。 According to the present invention, the three marks corresponding to the vertices of the right triangle from the perpendicular reference plate placed on the base surface of the XY stage are respectively image-recognized by the image recognition means attached to the head unit, Since the deviation of the squareness of the X-axis frame can be calculated from the position of the head unit when the mark is recognized, the squareness of the X-axis frame can be accurately corrected and reproduced.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明に係る一実施形態の部品実装装置が備えているXYステージの要部を抽出して模式的に示す、前記図7に相当する斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view corresponding to FIG. 7, schematically showing an essential part of an XY stage included in a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.
本実施形態のXYステージは、YR軸フレーム14にYR軸原点センサ28を追加し、左右のY軸フレームにそれぞれ原点センサが設置された構成とし、ヘッドユニット16にCCDカメラ等の画像認識装置(画像認識手段)30を付設し、後に詳述する直角度基準板Sを画像認識できるようにした以外は、実質的に前記図5に示したものと同一であるので、詳細な説明を省略する。
The XY stage of the present embodiment has a configuration in which a YR-
なお、ここでは、左右の原点センサ24、28は、予めY軸方向に沿った直線上に設置されている。
Here, the left and
図2には、本実施形態の部品実装装置が備えている制御装置の概要を示す。 FIG. 2 shows an outline of a control device provided in the component mounting apparatus of the present embodiment.
この制御装置40は、CPU等からなるコントローラ42により、図示しないROMやRAM等から入力されるデータに基づいて実装装置全体を制御をする従来の制御機能に加えて、以下に説明する補正手段を備えている。 In addition to a conventional control function for controlling the entire mounting apparatus based on data input from a ROM or RAM (not shown) by a controller 42 comprising a CPU or the like, the control device 40 includes correction means described below. I have.
この補正手段は、上記コントローラ42等により実現されており、前記YL位置センサ18、YR位置センサ20、X位置センサ22から入力される各位置データや、前記画像認識装置30から入力される画像データ等に基づいて、図示しないモータドライバを介して、例えばパルスモータからなるYL軸モータ46、YR軸モータ48及びX軸モータ50をそれぞれ駆動制御すると共に、取得されるデータ等の情報を記憶部52に保存することが可能になっている。
This correction means is realized by the controller 42 and the like, and each position data input from the
本実施形態では、前記XYステージのベース部32の上面(ベース面)34上に、中心が直角三角形の各頂点に対応する3つのマークMが付されている直角度基準板(治具)Sを載置する。なお、ベース面34の水平方向の位置は、各コーナに設置されている回転式の脚部36により調整することが可能になっている。 In the present embodiment, a squareness reference plate (jig) S in which three marks M are attached on the upper surface (base surface) 34 of the base portion 32 of the XY stage with the center corresponding to each vertex of a right triangle. Is placed. The position of the base surface 34 in the horizontal direction can be adjusted by a rotary leg portion 36 installed at each corner.
直角度基準板Sは、熱変形等の影響を受け難いガラス等の素材の上にマークが付されているものであり、ベース面34上に載置する向き等は任意であるが、補正時に装置による影響(Y軸やX軸の歪み撓み)を受けないように載置する。 The perpendicularity reference plate S is provided with a mark on a material such as glass that is not easily affected by thermal deformation and the like, and the orientation to be placed on the base surface 34 is arbitrary. The device is placed so as not to be affected by the device (distortion and bending of the Y-axis and X-axis).
その後、前記補正手段では、前記ヘッドユニット16をXY方向に移動させて、前記画像認識装置30により、その認識部が前記3つのマークMを順次画像認識する。
Thereafter, in the correcting means, the head unit 16 is moved in the X and Y directions, and the recognition unit sequentially recognizes the three marks M by the
次いで、上記3つの各マークをそれぞれ認識したときのヘッドユニット16の各位置センサ18、20、22による検出位置から、各マークMについて装置上の座標値(X,Y)を求め、求められた3つのマークMの各座標値から、前記X軸フレーム10のY軸方向からの直角度のずれを算出する演算を実行し、算出されたずれに基づいて前記YL軸モータ36又はYR軸モータ38を回転させ、ずれが解消される方向にX軸フレーム10を動かして直角度を補正する。
Next, coordinate values (X, Y) on the apparatus for each mark M are obtained from the detection positions of the
図3を参照して、前記補正手段による処理を更に詳述する。 With reference to FIG. 3, the process by the said correction | amendment means is further explained in full detail.
この例では、破線で示す仮想のX軸・Y軸からなるXYの絶対座標系に対して、X軸フレーム10がθG、直角度基準板SがθS、それぞれ傾いているとする。
In this example, it is assumed that the
又、直角三角形の頂点に対応する3つのマークM1、M2、M3の各中心の画像認識による検出座標を(X1,Y1)、(X2,Y2)、(X3,Y3)とする。 Further, detection coordinates by image recognition of the centers of the three marks M1, M2, and M3 corresponding to the vertices of the right triangle are (X1, Y1), (X2, Y2), and (X3, Y3).
以上の前提の下で、Y軸方向の2つのマークM1、マークM3が絶対座標系のY軸に対して作る角度
=治具の傾き(θS) …(1)
である。
Under the above premise, the angle formed by the two marks M1 and M3 in the Y-axis direction with respect to the Y-axis in the absolute coordinate system = the inclination of the jig (θ S ) (1)
It is.
又、X軸方向の2つのマークM1とマークM2がX軸フレーム10に対して作る角度
=治具の傾き(θS)+X軸フレームの傾き(θG) …(2)
でもあり、従って、(2)−(1)=X軸フレームの傾きとなる。
Further, the angle formed by the two marks M1 and M2 in the X-axis direction with respect to the
However, therefore, (2)-(1) = the inclination of the X-axis frame.
以上より、直角度基準板Sの傾きは、
θS=tan-1((Y3−Y1)/(X3−X1))−π/2 …(3)
From the above, the inclination of the squareness reference plate S is
θ S = tan −1 ((Y3−Y1) / (X3−X1)) − π / 2 (3)
更に、(基準板+X軸フレーム)の傾きをθS+Gとすると、
θS+G=tan-1((Y2−Y1)/(X2−X1)) …(4)
Furthermore, when the inclination of (reference plate + X-axis frame) is θ S + G ,
θ S + G = tan −1 ((Y2−Y1) / (X2−X1)) (4)
従って、X軸フレームの傾き、即ちX軸とY軸の直角度(90°)からのずれは、
θG=θS+G−θS …(5)
となる。
Therefore, the inclination of the X-axis frame, that is, the deviation from the perpendicular angle (90 °) between the X-axis and the Y-axis is
θ G = θ S + G −θ S (5)
It becomes.
(5)式の計算結果を下に、左右の位置センサの検出位置のずれ量が分かるので、調整量を次式により算出する。 Based on the calculation result of equation (5), the amount of deviation between the detection positions of the left and right position sensors is known, so the adjustment amount is calculated by the following equation.
調整量=A×tanθG …(6) Adjustment amount = A × tan θ G (6)
以上のように、基準板Sの3つのマークM1〜M3をヘッドユニット16に取り付けられた認識装置30を使用して画像認識し、画像認識による3つのマークに関する装置上の位置と理論上直交関係にある位置を比較する演算を行なうことにより、現状のX軸とY軸の直角度のずれθGを確認できる。
As described above, the three marks M1 to M3 on the reference plate S are image-recognized using the
従って、直角度の測定結果を基にX軸Y軸の座標系を再計算することにより、X軸フレーム10と2つのY軸フレーム12、14とで構成されるX軸Y軸の座標系を正しく保つことができる。
Therefore, by recalculating the X-axis Y-axis coordinate system based on the squareness measurement result, the X-axis Y-axis coordinate system composed of the
又、図4に示すように、Y軸フレーム12、14には、それぞれ原点センサ24,28が設置されている。そして、上記の直角度の測定結果に基づいて、ずれ量を補正したX軸フレーム10を、前記原点センサ方向に移動させて、各Y軸フレーム上の原点センサを検知した後、両原点センサ24、28(を通る直線)の(絶対座標系)Y軸方向に対する直角度のずれθJを算出することもできる。
As shown in FIG. 4,
さらに、ずれ量を補正していないX軸フレームを、前記原点センサ方向に移動させて、各Y軸フレームの原点センサを検知した後、直角度の測定結果に基づいて、原点センサ24、28の(絶対座標系)Y軸方向に対する直角度のずれθJを算出することもできる。
Further, after moving the X-axis frame whose amount of deviation is not corrected in the direction of the origin sensor to detect the origin sensor of each Y-axis frame, the
上記のように、原点センサの絶対座標系のY軸に対するずれを算出しておくと、直角度基準板を取り外した場合、再度設置しなくても、X軸フレームの傾き測定や、絶対座標系に対して、正確に原点位置復帰をすることができる。 As described above, when the deviation of the absolute coordinate system of the origin sensor with respect to the Y axis is calculated, when the squareness reference plate is removed, the inclination measurement of the X axis frame and the absolute coordinate system can be performed without re-installation. On the other hand, the origin position can be accurately returned.
又、図5に示すように、便宜上、基準板Sの3つのマークを一点鎖線で示す絶対座標系に一致させた状態で各マークを画像認識したときの直角度(90°)からのずれをθ(前記θGに相当する)とした場合、この直角度のずれが装置の水準(水平度)やX軸Y軸の移動後の整定(ダンピング)に与える影響(時間)を予め調査しておくことにより、直角度のずれの測定結果から水準や整定への影響具合を予測することが可能となる。 Further, as shown in FIG. 5, for the sake of convenience, the deviation from the squareness (90 °) when each mark is image-recognized in a state where the three marks on the reference plate S coincide with the absolute coordinate system indicated by the alternate long and short dash line. In the case of θ (corresponding to θ G described above), the influence (time) of the deviation of the squareness on the level (levelness) of the apparatus and the settling (dumping) after the movement of the X axis and Y axis is investigated in advance. Thus, it is possible to predict the influence on the level and settling from the measurement result of the perpendicularity deviation.
図6には、予め調査した上記影響の一例を示す。ここで、水準は、図示は省略するが前記ベース面34の所定位置、例えば4個所に設置した水準器で測定した結果であり、整定時間はヘッドユニット16を実装時と同一条件で移動させ、停止した際に実装可能な状態に揺れが減衰するまでの所要時間(ダンピング時間)である。 FIG. 6 shows an example of the influence investigated in advance. Here, the level is a result of measurement with a level provided at a predetermined position of the base surface 34, for example, four places, although not shown, and the settling time is moved under the same conditions as when the head unit 16 is mounted. This is the required time (damping time) until the vibration is attenuated so that it can be mounted when it stops.
そこで、本実施形態では、図6に示したような前記X軸フレーム10のY軸方向に対する直角度からのずれとダンピング時間との相関データを予め作成して保存しておき、前記画像認識により算出された直角度からのずれθが予め設定してある許容範囲内にあるときは、算出されたずれに応じて実装時のダンピング時間を調整し、制御することができるようにしてある。
Therefore, in the present embodiment, correlation data between the deviation of the
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。 As described above in detail, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1)装置の水準の狂いによる歪みや撓みによるX軸Y軸の直角度がずれた場合や、熱変形によるXY軸に直角度のずれが生じた場合でも、前記M1〜M3の3つのマークを画像認識することにより、直角度のずれを測定することができる。 (1) The three marks M1 to M3 even when the perpendicularity of the X axis and Y axis is shifted due to distortion or deflection due to a deviation in the level of the apparatus or when the perpendicularity of the XY axis is shifted due to thermal deformation. By recognizing the image, it is possible to measure the perpendicularity deviation.
(2)測定されたX軸Y軸の直角度のずれから正しい直角度に合わせることができるので、吸着や認識、実装座標系の狂いを補正することができる。 (2) Since it is possible to adjust to the correct squareness from the measured deviation of the perpendicularity of the X axis and the Y axis, it is possible to correct suction, recognition, and mounting coordinate system deviation.
(3)測定されたX軸Y軸の直角度からX軸Y軸移動後の整定へ与える影響を予測することができるので、予測値分整定待ち時間を延長することにより、吸着や認識、実装時のXY軸移動後の整定悪化を、X軸Y軸の停止位置へ影響を及ぼさないようにすることができる。 (3) Since the influence on the settling after the X-axis and Y-axis movement can be predicted from the measured squareness of the X-axis and Y-axis, adsorption, recognition, and implementation can be achieved by extending the settling time by the predicted value. It is possible to prevent the settling deterioration after the movement of the XY axis at the time from affecting the stop position of the X axis and the Y axis.
(4)測定されたX軸Y軸の直角度のずれから装置の水準の狂いが計算できるので、正しい水準状態を水準器等の測定具を用いることなく、前記脚部36の回転によるベース面34の高さ調整をオペレータに指示することができる。 (4) Since the deviation of the level of the apparatus can be calculated from the deviation of the squareness of the measured X-axis and Y-axis, the base level can be obtained by rotating the leg portion 36 without using a measuring tool such as a level level. The operator can be instructed to adjust the height of 34.
なお、前記実施形態では、M1〜M3のマークが付された基準板を用いる場合を示したが、これに限定されず、装置の熱変形や歪み、撓み等の影響を受けない場所であれば、これらマークをベース面に直接付設しても良い。又、マークの数も3つに限定されない。 In the above-described embodiment, the reference plate with the M1 to M3 marks is used. However, the present invention is not limited to this, and any place that is not affected by thermal deformation, distortion, deflection, or the like of the apparatus. These marks may be directly attached to the base surface. Further, the number of marks is not limited to three.
又、実施形態では原点センサが左右にそれぞれ設置されているため直角度の検出をより正確にできる利点はあるが、これに限定されず、本発明によっては確実に直角度を再現できるため、いずれか一方であってもよい。 In the embodiment, since the origin sensors are installed on the left and right respectively, there is an advantage that the squareness can be detected more accurately. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can reliably reproduce the squareness. Either one may be used.
又、前記実施形態では、位置センサがリニアエンコーダである場合を示したが、これに限定されず、モータに同期するロータリーエンコーダ等の他のセンサであってもよい。 Moreover, although the case where the position sensor was a linear encoder was shown in the said embodiment, it is not limited to this, Other sensors, such as a rotary encoder synchronizing with a motor, may be sufficient.
10…X軸フレーム
12…YL軸フレーム
14…YR軸フレーム
16…ヘッドユニット
18…YL位置センサ
20…YR位置センサ
22…X位置センサ
24…YL軸原点センサ
26…X軸原点センサ
28…YR軸原点センサ
30…画像認識装置
32…ベース部
34…ベース面
36…脚部
40…制御装置
42…コントローラ(CPU)
46…YL軸モータ
48…YR軸モータ
50…X軸モータ
52…記憶部
S…直角度基準板
DESCRIPTION OF
46 ... YL-
Claims (4)
前記ヘッドユニットに画像認識手段が付設されていると共に、
少なくとも直角三角形の頂点に対応する3つのマークを含む複数の基準マークが付されている直角度基準板を、前記XYステージのベース面に載置し、
前記ヘッドユニットをXY方向に移動させて、前記画像認識手段により前記3つのマークを順次画像認識し、該画像認識時のヘッドユニットの位置から各マークについて装置上の座標値を求め、
求められた3つのマークの座標値から、前記X軸フレームのY軸方向に対する直角度のずれを算出し、
算出されたずれに基づいて、前記YL軸モータ及びYR軸モータの少なくとも一方を駆動し、前記X軸フレームの直角度を補正する補正手段を備えたことを特徴とする部品実装装置。 The X-axis frame can be moved in the Y-axis direction by the corresponding YL-axis motor and YR-axis motor on the YL-axis frame and YR-axis frame that are arranged in parallel, and the components are mounted on the board. In the component mounting apparatus including the XY stage mounted on the X-axis frame so that the head unit is movable in the X-axis direction,
An image recognition means is attached to the head unit,
Placing a squareness reference plate with a plurality of reference marks including at least three marks corresponding to the apex of a right triangle on the base surface of the XY stage,
The head unit is moved in the X and Y directions, the image recognition means sequentially recognizes the three marks, and the coordinate value on the apparatus is obtained for each mark from the position of the head unit at the time of the image recognition.
From the obtained coordinate values of the three marks, a perpendicularity shift with respect to the Y-axis direction of the X-axis frame is calculated,
A component mounting apparatus comprising correction means for driving at least one of the YL axis motor and the YR axis motor based on the calculated deviation and correcting the squareness of the X axis frame.
前記X軸フレームを、前記原点センサ方向に移動させて、各Y軸フレーム上の原点センサを検知し、
前記直角度基準板の3つのマークの座標値から、前記両原点センサを結ぶ直線のY軸方向に対する直角度のずれを算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の部品実装装置。 With installing their respective origin sensor to the YL axis frame and YR-axis frame,
Move the X-axis frame in the direction of the origin sensor to detect the origin sensor on each Y-axis frame,
3. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein a deviation of perpendicularity with respect to a Y-axis direction of a straight line connecting the two origin sensors is calculated from coordinate values of three marks on the perpendicularity reference plate.
前記画像認識により算出された直角度からのずれに応じて、実装時の整定時間を調節することを特徴とする請求項1、2又は3に記載の部品実装装置。 Correlation data between the deviation of the X-axis frame from the perpendicular to the Y-axis direction and the settling time are stored in advance,
4. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein a settling time at the time of mounting is adjusted in accordance with a deviation from the perpendicularity calculated by the image recognition.
Priority Applications (2)
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