JP4598465B2 - Image sensor support mechanism - Google Patents

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本発明は、簡易的な構成であって、像ブレ補正のために2次元方向に並進移動及び回転可能とする、撮像素子を支持するための撮像素子支持機構に関する。   The present invention relates to an image sensor support mechanism for supporting an image sensor that has a simple configuration and can be translated and rotated in a two-dimensional direction for image blur correction.

従来、撮影者の手ブレによる像ブレを補正するために、手ブレ量に応じて補正レンズを光軸と垂直な平面上で移動させることにより、カメラの像ブレの補正を行う像ブレ補正手段は知られていた。   Conventionally, in order to correct image blur due to camera shake of a photographer, image blur correction means for correcting camera image blur by moving a correction lens on a plane perpendicular to the optical axis according to the amount of camera shake. Was known.

このような像ブレ補正手段として、補正レンズを設ける可動枠、或いは可動枠を挟持するための固定部材のいずれかに挟持手段を予め設けて製造時の作業性を向上させる補正光学系支持機構が開示されている(特許文献1)。   As such an image blur correction means, there is a correction optical system support mechanism for improving workability at the time of manufacturing by providing a holding means in advance in either a movable frame provided with a correction lens or a fixed member for holding the movable frame. (Patent Document 1).

しかし、特許文献1による支持機構は、その可動枠の挟持手段は複雑な構成となっており、更なる簡略化が求められるものである。
特許第3423493号公報
However, the support mechanism according to Patent Document 1 has a complicated structure for holding the movable frame, and further simplification is required.
Japanese Patent No. 3423493

したがって、本発明では、カメラの像ブレ補正のために撮像素子を光軸に垂直な平面上で移動可能にする、簡易な構成の撮像素子支持機構の提供を目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide an image sensor support mechanism having a simple configuration that enables the image sensor to be moved on a plane perpendicular to the optical axis for image blur correction of the camera.

本発明の撮像素子支持機構は、第1固定部と、第1固定部に対して相対的な位置が固定された第2固定部と、第1固定部と第2固定部との間に配置され第1固定部と対向する面に撮像素子が設けられる可動部と、第1固定部と可動部の間に挟まれ第1固定部及び可動部のいずれか一方或いは両方に当接し第1固定部及び可動部において二次元状に配置される3以上の第1支持部材と、第2固定部と可動部の間に挟まれ撮像素子の撮像面に垂直な方向から見て二次元状に配置されたそれぞれの第1支持部材を囲んで形成される第1支持図形の内側に配置され第2固定部及び可動部のいずれか一方或いは両方に当接する単一の第2支持部材とを備えることを特徴としている。   The imaging device support mechanism of the present invention is arranged between the first fixing portion, the second fixing portion whose position is fixed relative to the first fixing portion, and the first fixing portion and the second fixing portion. A movable portion in which an imaging element is provided on a surface facing the first fixed portion, and a first fixed portion that is sandwiched between the first fixed portion and the movable portion and abuts against one or both of the first fixed portion and the movable portion. Three or more first support members that are two-dimensionally arranged in the movable part and the movable part, and two-dimensionally arranged when viewed from the direction perpendicular to the imaging surface of the image sensor sandwiched between the second fixed part and the movable part A single second support member that is disposed inside a first support figure formed to surround each of the first support members formed and abuts against one or both of the second fixed portion and the movable portion. It is characterized by.

また、第1支持部材が球状に形成されることが好ましい。また、第1支持部材が第1固定部及び前記可動部のいずれか一方に固定され、特に第1支持部材が第1固定部及び可動部のいずれか一方に一体的に形成されることにより固定されることが好ましく、さらに第1支持部材における第1固定部或いは可動部と当接する部位が凸球面状に形成されることが好ましい。   The first support member is preferably formed in a spherical shape. Further, the first support member is fixed to one of the first fixed part and the movable part, and in particular, the first support member is fixed by being formed integrally with either the first fixed part or the movable part. It is preferable that the portion of the first support member that contacts the first fixed portion or the movable portion is formed in a convex spherical shape.

また、第1固定部及び可動部のいずれか一方又は両方が撮像面と平行でそれぞれの第1支持部材に対向する第1当接平面部材を有しそれぞれの第1当接平面部材において第1支持部材が当接することが好ましく、さらにそれぞれの第1当接平面部材は第1内壁面を有し、第1支持部材が第1当接平面部材に当接している状態において第1支持部材は第1内壁面に囲まれることが好ましい。   In addition, either one or both of the first fixed portion and the movable portion have a first contact plane member that is parallel to the imaging surface and faces the first support member, and the first contact plane member includes a first contact plane member. Preferably, the support members abut, and each first abutment plane member has a first inner wall surface, and the first support member is in a state where the first support member abuts the first abutment plane member. It is preferable to be surrounded by the first inner wall surface.

また、第2支持部材が球状に形成されることが好ましい。第2支持部材が第2固定部及び可動部のいずれか一方に固定され、特に第2支持部材が第2固定部及び可動部のいずれか一方に一体的に形成されることにより固定されることが好ましく、さらに第2支持部材における第2固定部或いは可動部と当接する部位が凸球面状に形成されることが好ましい。   The second support member is preferably formed in a spherical shape. The second support member is fixed to one of the second fixed portion and the movable portion, and in particular, the second support member is fixed by being integrally formed with either the second fixed portion or the movable portion. Further, it is preferable that the portion of the second support member that contacts the second fixed portion or the movable portion is formed in a convex spherical shape.

また、第2固定部及び可動部のいずれか一方或いは両方が撮像面と平行な第2当接平面部材を有し、第2当接平面部材において前記第2支持部材が当接することが好ましく、さらに第2当接平面部材は第2内壁面を有し、第2支持部材が第2当接平面部材に当接している状態において第2支持部材は第2内壁面に囲まれることが好ましい。   Further, it is preferable that either one or both of the second fixed portion and the movable portion have a second abutting plane member parallel to the imaging surface, and the second supporting member abuts on the second abutting plane member. Furthermore, it is preferable that the second contact flat member has a second inner wall surface, and the second support member is surrounded by the second inner wall surface in a state where the second support member is in contact with the second contact flat member.

また、第2固定部が弾性を有し第2支持部材を可動部に押圧させる方向に付勢することが好ましい。または、第2固定部或いは前記可動部に設けられ、第2支持部材を可動部に押圧させる方向に付勢する弾性体を備えることが好ましい。   Further, it is preferable that the second fixed portion has elasticity and is biased in a direction in which the second support member is pressed against the movable portion. Or it is preferable to provide the elastic body which is provided in a 2nd fixed part or the said movable part, and urges | biases in the direction which presses a 2nd support member to a movable part.

撮像面における撮像素子の中心近傍、第1支持図形の重心、および第2支持部材の可動部と対向する側における重心が撮像面に垂直な方向から見て重なることが好ましい。   It is preferable that the vicinity of the center of the imaging element on the imaging surface, the center of gravity of the first supporting figure, and the center of gravity of the second supporting member on the side facing the movable portion overlap when viewed from the direction perpendicular to the imaging surface.

本発明によれば、撮像素子を光軸と垂直な平面上で移動可能とする像ブレ補正のための撮像素子支持機構を小型で簡単な構成にして、組み立て性の向上させることが可能となる。   According to the present invention, it is possible to improve the assemblability by making the imaging device support mechanism for image blur correction that enables the imaging device to move on a plane perpendicular to the optical axis small and simple. .

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
本発明の第1の実施形態を適用した撮像素子保持機構に撮像素子を設けて像ブレ補正機能を備えたカメラについて、図1〜7を用いて説明する。なお、方向を説明するために、カメラ60における光軸LXと直交する水平方向を第1方向x、光軸LXと直行する鉛直方向を第2方向y、光軸LXと平行な方向を第3方向zとして説明する。また、図4は図3のIV−IV線の断面における構成図を示し、図5は図4のV−V線の断面における構成図を示す。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
A camera provided with an image sensor in the image sensor holding mechanism to which the first embodiment of the present invention is applied and having an image blur correction function will be described with reference to FIGS. In order to describe the direction, the horizontal direction orthogonal to the optical axis LX in the camera 60 is the first direction x, the vertical direction perpendicular to the optical axis LX is the second direction y, and the direction parallel to the optical axis LX is the third direction. The direction z will be described. 4 shows a configuration diagram in a section taken along line IV-IV in FIG. 3, and FIG. 5 shows a configuration diagram in a section taken along line VV in FIG.

カメラ60は、主電源のオン/オフの切替えを行う電源ボタン61、レリーズボタン62、LCDモニタ63、CPU40、撮像ブロック44、AE部45、AF部46、撮像部64、及び撮影レンズ68によって構成される。   The camera 60 includes a power button 61 for switching on / off the main power, a release button 62, an LCD monitor 63, a CPU 40, an imaging block 44, an AE unit 45, an AF unit 46, an imaging unit 64, and a photographing lens 68. Is done.

電源ボタン61を押すことにより電源スイッチ47のオン/オフが切替えられる。被写体像が、撮影レンズ68を介して撮像部64に設けられる撮像素子48により受光される。撮像素子48は例えばCCDである。また、撮像された被写体像はLCDモニタ63に表示される。   By pressing the power button 61, the power switch 47 is turned on / off. The subject image is received by the imaging element 48 provided in the imaging unit 64 via the photographing lens 68. The image sensor 48 is, for example, a CCD. The captured subject image is displayed on the LCD monitor 63.

レリーズボタン62を、半押しすることにより測光スイッチ41がオンにされて測光、測距、及び合焦動作が行われ、全押しすることによりレリーズスイッチ42がオンにされてレリーズ動作が実行される。   When the release button 62 is half-pressed, the photometry switch 41 is turned on to perform photometry, distance measurement, and focusing, and when fully pressed, the release switch 42 is turned on to perform the release operation. .

CPU40において、後述する像ブレ補正に関する各部の制御、及びカメラ60全体の動作の制御が行われる。   In the CPU 40, control of each unit relating to image blur correction described later and control of the operation of the entire camera 60 are performed.

撮像部64は撮像ブロック44により駆動される。AE部45により被写体の測光動作が実行されて露光値が算出される。次に算出された露光値に基づき撮影に必要となる絞り値及び露光時間が算出される。AF部46により測距が行われる。この測距に基づき撮影レンズ68が光軸方向に変位されることにより焦点調整が行われる。   The imaging unit 64 is driven by the imaging block 44. The AE unit 45 performs a photometric operation on the subject to calculate an exposure value. Next, an aperture value and an exposure time required for photographing are calculated based on the calculated exposure value. Distance measurement is performed by the AF unit 46. Based on this distance measurement, the photographing lens 68 is displaced in the direction of the optical axis to adjust the focus.

カメラ60の像ブレ補正装置(図示せず)は、像ブレ補正ボタン69、CPU40、角速度検出部49、駆動用ドライバ回路52、撮像素子支持機構10、ホール素子信号処理部53、及び撮影レンズ68によって構成される。   The image blur correction device (not shown) of the camera 60 includes an image blur correction button 69, a CPU 40, an angular velocity detection unit 49, a driver circuit 52 for driving, an image sensor support mechanism 10, a hall element signal processing unit 53, and a photographing lens 68. Consists of.

像ブレ補正ボタン69を押すことにより像ブレ補正スイッチ43がオンにされる。像ブレ補正スイッチ43がオンにされると、測光等の他の動作と独立して一定時間毎に角速度検出部49及び撮像素子支持機構10が駆動されて像ブレ補正が行われる。   When the image blur correction button 69 is pressed, the image blur correction switch 43 is turned on. When the image blur correction switch 43 is turned on, the angular velocity detection unit 49 and the image sensor support mechanism 10 are driven at regular intervals independently of other operations such as photometry, and image blur correction is performed.

スイッチ41〜43の入力信号に対応する各種の出力はCPU40によって制御される。測光スイッチ41、レリーズスイッチ42、及び像ブレ補正スイッチ43のオン/オフ情報はそれぞれ1ビットのデジタル信号としてCPU40のポートP41、P42、P43に入力される。   Various outputs corresponding to the input signals of the switches 41 to 43 are controlled by the CPU 40. On / off information of the photometry switch 41, the release switch 42, and the image blur correction switch 43 is input to the ports P41, P42, and P43 of the CPU 40 as 1-bit digital signals, respectively.

次に角速度検出部49、駆動用ドライバ回路52、撮像素子支持機構10、及びホール素子信号処理部53についての詳細とCPU40への入出力関係について説明する。   Next, details of the angular velocity detection unit 49, the driver circuit 52 for driving, the image sensor support mechanism 10, and the Hall element signal processing unit 53 and the input / output relationship to the CPU 40 will be described.

角速度検出部49は第1〜第3角速度センサ50a、50b、50c、及びアンプ・ハイパスフィルタ回路51によって構成される。第1角速度センサ50aにより一定時間(1ms)毎にカメラ60の第1方向xの角速度が検出され、同様に第2角速度センサ50bにより一定時間毎にカメラ60の第2方向yの角速度が検出される。第3角速度センサ50cにより一定時間毎にカメラ60の第3方向zに垂直な平面上(以下xy平面上とする)における回転角速度が検出される。 The angular velocity detector 49 includes first to third angular velocity sensors 50 a , 50 b , 50 c , and an amplifier / high-pass filter circuit 51. Detected angular velocity of the first direction x of the camera 60 at predetermined time intervals (1 ms) by the first angular velocity sensor 50 a, the angular velocity of the second direction y of the camera 60 at predetermined intervals likewise by the second angular velocity sensor 50 b Detected. Rotational angular velocity is detected in the third angular velocity sensor 50 on a plane perpendicular to the third direction z of the camera 60 at predetermined intervals by c (hereinafter referred to as the xy plane).

アンプ・ハイパスフィルタ回路51により、第1方向xと第2方向yとの角速度、及びxy平面上における回転角速度に応じた信号が増幅された後、第1〜第3角速度センサ50a、50b、50cのヌル電圧やパンニングが増幅された信号から除去される。アンプ・ハイパスフィルタ回路51によりヌル電圧等が除去された信号は第1、第2、第3角速度vx、vy、vθとして、CPU40のA/D0、A/D1、及びA/D2に入力される。 The amplifier / high-pass filter circuit 51 amplifies signals corresponding to the angular velocity in the first direction x and the second direction y and the rotational angular velocity on the xy plane, and then the first to third angular velocity sensors 50 a , 50 b. , 50 c null voltage and panning are removed from the amplified signal. The signal from which the null voltage or the like has been removed by the amplifier / high-pass filter circuit 51 is input to the A / D0, A / D1, and A / D2 of the CPU 40 as the first, second, and third angular velocities vx, vy, and vθ. .

A/D0、A/D1、及びA/D2から入力された第1、第2、及び第3角速度vx、vy、vθはCPU40によりA/D変換される。A/D変換された第1、第2、及び第3角速度vx、vy、vθ、及び焦点距離等を考慮した変換係数に基づいて一定時間に生じた像ブレ量がCPU40により算出される。この像ブレ量は第1方向x、第2方向y、及びxy平面上における回転角度の変位量として算出される。   The first, second, and third angular velocities vx, vy, vθ input from A / D0, A / D1, and A / D2 are A / D converted by the CPU 40. The CPU 40 calculates the image blur amount generated in a predetermined time based on the conversion coefficients considering the first, second, and third angular velocities vx, vy, vθ, the focal length, and the like after A / D conversion. This image blur amount is calculated as a displacement amount of the rotation angle on the first direction x, the second direction y, and the xy plane.

CPU40により、算出された像ブレ量に応じて撮像部64の移動すべき位置Sが演算される。この演算においては、第1方向、第2方向、及びxy平面上における回転角度も考慮される。位置Sの第1方向x成分をsx、第2方向y成分をsy、xy平面上の回転角度成分をsθとする。   The CPU 40 calculates the position S where the imaging unit 64 should move according to the calculated image blur amount. In this calculation, the first direction, the second direction, and the rotation angle on the xy plane are also taken into consideration. The first direction x component of the position S is sx, the second direction y component is sy, and the rotation angle component on the xy plane is sθ.

撮像部64が設けられる可動部20の移動は後述する電磁力によって行われる。可動部20を位置Sまで回転を含めて移動させるための駆動力Dについて2つの第1方向x成分を第1、第2水平方向PWMデューティーdx1、dx2、1つの第2方向y成分を鉛直方向PWMデューティーdyとする。   The movable unit 20 provided with the imaging unit 64 is moved by an electromagnetic force described later. For the driving force D for moving the movable part 20 to the position S including rotation, the two first direction x components are the first and second horizontal PWM duties dx1, dx2, and the one second direction y component is the vertical direction. The PWM duty is dy.

撮像素子支持機構10は、撮像部64が設けられる可動部20、第1固定部30、および第2固定部である第2ベース板36によって構成される。撮像部64をCPU40が算出した移動すべき位置Sに回転を含めて移動させることにより、回転を含めたxy平面上のブレによって生じた被写体像の結像面における光軸LXのズレが除去される。従って、被写体像と結像面位置が一定に保たれて像ブレ補正が実行される。   The imaging element support mechanism 10 includes a movable part 20 provided with an imaging part 64, a first fixed part 30, and a second base plate 36 that is a second fixed part. By moving the imaging unit 64 to the position S to be moved calculated by the CPU 40 including rotation, the deviation of the optical axis LX on the imaging surface of the subject image caused by blur on the xy plane including rotation is removed. The Therefore, the image blur correction is executed while the subject image and the imaging plane position are kept constant.

可動部20の駆動は、駆動用ドライバ回路52によって制御される第1駆動部、第2駆動部、及び第3駆動部(図示せず)により駆動される。第1〜第3駆動部は、CPU40におけるPWM0、PWM1から出力される第1、第2水平方向PWMデューティーdx1、dx2とPWM2から出力される鉛直方向PWMデューティーdyとに基づいて駆動用ドライバ回路52によって制御される。   The movable unit 20 is driven by a first drive unit, a second drive unit, and a third drive unit (not shown) that are controlled by a driver circuit 52 for driving. The first to third driving units drive the driver circuit 52 based on the first and second horizontal PWM duties dx1 and dx2 output from the PWM0 and PWM1 in the CPU 40 and the vertical PWM duty dy output from the PWM2. Controlled by.

第1〜第3駆動部による可動部20の位置Pは第1〜3ホール素子23a、23b、23c及びホール素子信号処理部53によって検出される。検出された位置Pは第1、第2水平方向位置検出信号px1、px2が第1方向x成分として、鉛直方向位置検出信号pyが第2方向y成分として、それぞれCPU40のA/D3、A/D4、A/D5に入力される。第1、第2水平方向位置検出信号px1、px2、及び鉛直方向位置検出信号pyはA/D3〜A/D5によってA/D変換される。 The position P of the movable unit 20 by the first to third driving units is detected by the first to third Hall elements 23 a , 23 b , 23 c and the Hall element signal processing unit 53. The detected position P includes the first and second horizontal position detection signals px1 and px2 as the first direction x component, and the vertical position detection signal py as the second direction y component, respectively. Input to D4 and A / D5. The first and second horizontal position detection signals px1 and px2, and the vertical position detection signal py are A / D converted by A / D3 to A / D5.

第1、第2水平方向位置検出信号px1、px2、及び鉛直方向位置検出信号pyに対してA/D変換後の位置Pの2つの第1方向x成分、及び1つの第2方向y成分のデータをそれぞれpdx1、pdx2、pdyとする。これらのデータから、可動部20の位置Pの第1方向x成分pxx、第2方向y成分pyy、及び回転角度pθが算出される。算出された位置P(pxx、pyy、pθ)のデータと移動すべき位置S(sx、sy、sθ)のデータとに基づいて第1〜第3駆動部は制御される。   Two first direction x components and one second direction y component of the position P after A / D conversion with respect to the first and second horizontal position detection signals px1, px2, and the vertical position detection signal py Let the data be pdx1, pdx2, and pdy, respectively. From these data, the first direction x component pxx, the second direction y component pyy, and the rotation angle pθ of the position P of the movable unit 20 are calculated. The first to third driving units are controlled based on the calculated data of the position P (pxx, pyy, pθ) and the data of the position S (sx, sy, sθ) to be moved.

第1駆動部は鉛直方向駆動用の第1コイル21a及び第1駆動磁石31aにより構成される。第2駆動部は水平方向駆動用の第2コイル21b及び第2駆動磁石31bにより構成される。第3駆動部は水平方向駆動用の第3コイル21c及び第3駆動磁石31cにより構成される。 The first driving unit is constituted by the first coil 21 a and the first drive magnet 31 a for vertical driving. The second drive unit includes a second coil 21 b for horizontal driving and a second drive magnet 31 b . Third driving unit is constituted by the third coil 21 c and the third drive magnet 31 c for horizontal driving.

可動部20は可動基板22、支持受け板24、及びプレート25によって構成される。可動基板22には、第1〜第3コイル21a、21b、21c、及び第1〜第3ホール素子23a、23b、23cが設けられ、プレート25には撮像部64が設けられる。第1固定部30は第1〜第3ヨーク32a、32b、32c、及び第1ベース板33によって構成される。第1〜第3ヨーク32a、32b、32cには第1〜第3駆動磁石31a、31b、31cが設けられる。 The movable unit 20 includes a movable substrate 22, a support receiving plate 24, and a plate 25. The movable substrate 22 is provided with first to third coils 21 a , 21 b , 21 c , and first to third Hall elements 23 a , 23 b , 23 c , and the imaging unit 64 is provided on the plate 25. It is done. The first fixing part 30 includes first to third yokes 32 a , 32 b , 32 c and a first base plate 33. The first to third yokes 32 a , 32 b and 32 c are provided with first to third drive magnets 31 a , 31 b and 31 c .

可動部20と第1固定部30とにより、球状に形成された3つの第1支持部材11a、11b、11cが挟まれる。第1支持部材11a、11b、11cは、第3方向zに垂直な平面上にあり、それぞれ可動部20を構成する支持受け板24と第1固定部30を構成する第1ベース板33との間で転動自在に当接される。 The movable portion 20 and the first fixed portion 30 sandwich the three first support members 11 a , 11 b , 11 c formed in a spherical shape. The first support members 11 a , 11 b , and 11 c are on a plane perpendicular to the third direction z, and are respectively a support receiving plate 24 that constitutes the movable portion 20 and a first base plate that constitutes the first fixed portion 30. It is contact | abutted so that rolling with 33 is possible.

第1支持部材11a、11b、11cは支持受け板24或いは第1ベース板33に対して2次元状に配置される。即ち、第1支持部材11a、11b、11cは支持受け板24或いは第1ベース板33において非直線上に配置される。また、可動部20が第1方向x、第2方向yへの直線的な移動、及び回動する前の初期状態においてにおいて第3方向zから見て、第1支持部材11a、11b、11cを囲う図形の重心が光軸LXと重なるように第1支持部材11a、11b、11cの初期の位置が調整される。 The first support members 11 a , 11 b , 11 c are two-dimensionally arranged with respect to the support receiving plate 24 or the first base plate 33. That is, the first support members 11 a , 11 b , 11 c are arranged on the support receiving plate 24 or the first base plate 33 in a non-linear manner. In addition, the first support members 11 a , 11 b , when viewed from the third direction z in the initial state before the movable part 20 linearly moves in the first direction x and the second direction y and rotates. The initial positions of the first support members 11 a , 11 b and 11 c are adjusted so that the center of gravity of the figure surrounding 11 c overlaps with the optical axis LX.

可動部20と第1固定部30とは第1支持部材11a、11b、11cを介して接触が維持される。このような構成により、可動部20は第1方向x、或いは第2方向yへの平行移動、及び第3方向zに平行な直線を軸に回動可能な状態で、第1固定部30に支持される。なお、4以上の第1支持部材が挟まれる構成であってもよい。 The movable part 20 and the first fixed part 30 are kept in contact via the first support members 11 a , 11 b and 11 c . With such a configuration, the movable unit 20 can move to the first fixed unit 30 in a state in which the movable unit 20 can be translated in the first direction x or the second direction y and can be rotated about a straight line parallel to the third direction z. Supported. In addition, the structure by which 4 or more 1st support members are pinched | interposed may be sufficient.

第2ベース板36は、例えば板バネのような弾性部材であり、後述するように可動部20を第1固定部30と第2ベース板36との間に挟むように、第1固定部30に固定される。第2ベース板36において可動部20と対向する面に単一の第2支持部材12が固定される。なお、第2支持部材12は第2ベース板36に一体的に形成され、固定される構成であってもよい。一体的に形成する構成によれば、組立て性はさらに向上する。   The second base plate 36 is an elastic member such as a leaf spring, for example, and the first fixed portion 30 is sandwiched between the first fixed portion 30 and the second base plate 36 as described later. Fixed to. A single second support member 12 is fixed to the surface of the second base plate 36 that faces the movable portion 20. The second support member 12 may be formed integrally with the second base plate 36 and fixed. According to the structure formed integrally, the assemblability is further improved.

第2支持部材12は第3方向zから見て光軸LXと重なる位置に設けられる(図6参照)。第2支持部材12の先端は凸球面状に形成され、第2ベース板36と可動部20との間に挟まれながら可動部20に当接させられる(図4参照)。第2ベース板36を第1固定部30に固定することにより、第2支持部材12は第2支持部材12が可動部20を押圧する方向に付勢される。   The second support member 12 is provided at a position overlapping the optical axis LX when viewed from the third direction z (see FIG. 6). The tip of the second support member 12 is formed in a convex spherical shape, and is brought into contact with the movable part 20 while being sandwiched between the second base plate 36 and the movable part 20 (see FIG. 4). By fixing the second base plate 36 to the first fixing portion 30, the second support member 12 is biased in the direction in which the second support member 12 presses the movable portion 20.

なお、第2支持部材12は第3方向zから見て第1支持部材11a、11b、11cにより囲まれた第1支持図形(図6符合F参照)の内側に配置される。第2支持部材12が第1支持図形Fの内側に位置することにより、可動部20は、バランスを崩すことなく、第1支持部材11a、11b、11cと第2支持部材12の間に支持可能である。 Note that the second supporting member 12 is disposed inside the first supporting figure surrounded by the third when viewed from the direction z the first support member 11 a, 11 b, 11 c ( see FIG. 6 numeral F). Since the second support member 12 is positioned inside the first support figure F, the movable portion 20 can be positioned between the first support members 11 a , 11 b , 11 c and the second support member 12 without losing balance. Can be supported.

撮像素子48の撮像範囲を最大活用するために、撮影レンズ68の光軸LXが撮像素子48の中心近傍を通る位置関係にある時に、可動部20は第1方向x、第2方向yともに可動範囲の中心に位置するように、可動部20と第1固定部30の位置関係が調整される。また、可動部20が第1方向x、第2方向yへの直線的な移動、及び回動する前の初期状態において、可動部20が移動範囲の中心に位置するように、可動部20と第1固定部30の位置関係が設定される。   In order to make maximum use of the imaging range of the image sensor 48, the movable unit 20 is movable in both the first direction x and the second direction y when the optical axis LX of the photographic lens 68 is in a positional relationship passing near the center of the image sensor 48. The positional relationship between the movable portion 20 and the first fixed portion 30 is adjusted so as to be positioned at the center of the range. In addition, in the initial state before the movable unit 20 linearly moves in the first direction x and the second direction y and rotates, the movable unit 20 is positioned at the center of the movement range. The positional relationship of the first fixing unit 30 is set.

更に初期状態において、撮像素子48の撮像面を構成する短形の4辺のそれぞれは、第1方向x或いは第2方向yのいずれかに平行な状態にあるように、可動部20と第1固定部30の位置関係が設定される。なお、撮像素子48の中心とは撮像素子48の撮像面を形成する短形が有する2つの対角線の交点とする。   Furthermore, in the initial state, each of the four short sides that form the imaging surface of the imaging device 48 is in a state parallel to either the first direction x or the second direction y. The positional relationship of the fixed part 30 is set. Note that the center of the image sensor 48 is the intersection of two diagonal lines of the short form forming the imaging surface of the image sensor 48.

可動部20において、撮影レンズ68の方向から見て光軸方向に撮像部64、プレート25が可動基板22に取付けられる。撮像部64には、撮像素子48、ステージ65、押さえ部66、及び光学ローパスフィルタ67が設けられる。ステージ65とプレート25により、撮像素子48、押さえ部66、及び光学ローパスフィルタ67が挟まれる。   In the movable unit 20, the imaging unit 64 and the plate 25 are attached to the movable substrate 22 in the optical axis direction when viewed from the direction of the photographing lens 68. The imaging unit 64 includes an imaging element 48, a stage 65, a pressing unit 66, and an optical low-pass filter 67. The stage 65 and the plate 25 sandwich the image sensor 48, the pressing portion 66, and the optical low-pass filter 67.

撮像素子48がプレート25を介して可動基板22に取付けられた状態において、撮像素子48の撮像面が光軸LXに対して垂直になるように取付けが調整される。プレート25は板状材であり、撮像面とプレート25の平面とが平行になるように取付けが調整される。プレート25は金属製であり、撮像素子48と接触することにより撮像素子48の放熱をすることが可能である。   In a state where the image pickup device 48 is attached to the movable substrate 22 via the plate 25, the attachment is adjusted so that the image pickup surface of the image pickup device 48 is perpendicular to the optical axis LX. The plate 25 is a plate-like material, and the mounting is adjusted so that the imaging surface and the plane of the plate 25 are parallel. The plate 25 is made of metal, and can dissipate heat from the image sensor 48 by being in contact with the image sensor 48.

可動部20が移動及び回動する前の初期状態において、可動基板22には光軸LXに重なる位置に孔27が形成される。孔27は第1固定部30側においてプレート25に覆われる。このような構成により、可動部20には第2ベース板36側から見て、第2内壁面(孔27を形成する壁面)及び撮像面に平行な平面である第2底面28を有する窪が形成されることになる。   In an initial state before the movable unit 20 moves and rotates, a hole 27 is formed in the movable substrate 22 at a position overlapping the optical axis LX. The hole 27 is covered with the plate 25 on the first fixing portion 30 side. With such a configuration, the movable portion 20 has a recess having a second inner wall surface (a wall surface that forms the hole 27) and a second bottom surface 28 that is a plane parallel to the imaging surface when viewed from the second base plate 36 side. Will be formed.

可動部20が移動及び回動する前の初期状態において、第2支持部材12は第2底面28に当接される。第2支持部材12は第2底面28に対して摺動自在であって可動部20は、第1方向x及び第2方向yに移動自在である。第2支持部材12が第2底面28に当接している状態において、第2支持部材12は第2内壁面に囲まれる。第2支持部材12を第2内壁面で囲むことにより、可動部20の移動を規制することが可能になる。   In the initial state before the movable part 20 moves and rotates, the second support member 12 is in contact with the second bottom surface 28. The second support member 12 is slidable with respect to the second bottom surface 28, and the movable portion 20 is movable in the first direction x and the second direction y. In a state where the second support member 12 is in contact with the second bottom surface 28, the second support member 12 is surrounded by the second inner wall surface. By surrounding the second support member 12 with the second inner wall surface, the movement of the movable portion 20 can be restricted.

孔27の大きさは可動部20の移動を規制する範囲に応じて定められる。即ち、可動部20の移動可能範囲を大きくする場合は移動可能範囲の大きさに応じて孔27の大きさが決められる。   The size of the hole 27 is determined according to the range in which the movement of the movable portion 20 is restricted. That is, when the movable range of the movable part 20 is increased, the size of the hole 27 is determined according to the size of the movable range.

支持受け板24には、第1支持部材11a、11b、11cと当接するための第1当接平面部24a、24b、24cが設けられる。第1当接平面部24a、24b、24cが撮像素子48の撮像面と平行でそれぞれの第1支持部材11a、11b、11cに対向する位置に配置されるように、支持受け板24はステージ65に取付けられる。 The support receiving plate 24 is provided with first contact flat surface portions 24 a , 24 b , 24 c for contacting the first support members 11 a , 11 b , 11 c . The first abutting flat surface portions 24 a , 24 b and 24 c are arranged so as to be parallel to the imaging surface of the imaging element 48 and disposed at positions facing the first supporting members 11 a , 11 b and 11 c. The receiving plate 24 is attached to the stage 65.

可動基板22は変形したT字形に形成される。可動基板22は、撮像部64が取付けられる基板中央部22e、基板中央部22eから第2方向yに延びる第1端部22a、基板中央部22eから第1方向xに延びる第2端部22b、及び第3端部22cを有する。第2端部22bと第3端部22cは、第1方向xから見てずれる様に形成される。なお、可動基板22はT字形に形成されてもよい。 The movable substrate 22 is formed in a deformed T shape. Movable substrate 22, the substrate central portion 22 e of the imaging unit 64 is mounted, the first end portion 22 a extending from the substrate center portion 22 e in the second direction y, the second extending from the substrate center portion 22 e in the first direction x It has an end 22 b and a third end 22 c . The second end 22 b and the third end 22 c are formed so as to be displaced from the first direction x. The movable substrate 22 may be formed in a T shape.

可動基板22上において、第1コイル21aは第1端部22aに、第2コイル21bは第2端部22bに、第3コイル21cは第3端部22cに設けられる。第1〜第3コイル21a、21b、21cはシート状で且つ渦巻き状のコイルパターンとして形成される。 In the movable substrate 22, the first coil 21 a in the first end portion 22 a, the second coil 21 b to the second end portion 22 b, the third coil 21 c provided on the third end 22 c. The first to third coils 21 a , 21 b , 21 c are formed as sheet-like and spiral coil patterns.

第1コイル21aのコイルパターンは、第1コイル21aの電流の方向と第1駆動磁石31aの磁界の向きとから生じる第1電磁力Pw1により第1コイル21aを含む可動部20を第2方向yに移動させるために、第1方向xと平行な線分を有する。 The coil pattern of the first coil 21 a is a movable portion 20 including the first coil 21 a by a first electromagnetic force Pw1 generated from the direction and the magnetic field direction of the first driving magnet 31 a of the current of the first coil 21 a In order to move in the second direction y, it has a line segment parallel to the first direction x.

第2コイル21bのコイルパターンは、第2コイル21bの電流の方向と第2駆動磁石31bの磁界の向きとから生じる第2電磁力Pw2により第2コイル21bを含む可動部20を第1方向xに移動させるために、第2方向yと平行な線分を有する。 The coil pattern of the second coil 21 b is a movable portion 20 by the second electromagnetic force Pw2 resulting from the second coil 21 b direction and the magnetic field direction of the second driving magnet 31 b of current including the second coil 21 b In order to move in the first direction x, it has a line segment parallel to the second direction y.

第3コイル21cのコイルパターンは、第3コイル21cの電流の方向と第3駆動磁石31cの磁界の向きとから生じる第3電磁力Pw3により第3コイル21cを含む可動部20を第1方向xに移動させるために、第2方向yと平行な線分を有する。 The coil pattern of the third coil 21 c is a movable portion 20 including the third coil 21 c third coil 21 c by the third electromagnetic force Pw3 resulting from the direction and the direction of the magnetic field of the third drive magnet 31 c of the current In order to move in the first direction x, it has a line segment parallel to the second direction y.

第1電磁力Pw1は第1コイル21aの第1方向xと平行な線分の各々にかかる電磁力の合力である。第1電磁力Pw1が1点に集中してかかるとみなせる点である第1駆動点26aが第1コイル21aの中心となるように、第1コイル21aのコイルパターンは形成される。同様に、第2電磁力Pw2が1点に集中してかかるとみなせる点である第2駆動点26bが第2コイル21bの中心となるように、第2コイル21bのコイルパターンは形成され、第3電磁力Pw3が1点に集中してかかるとみなせる点である第3駆動点26cが第3コイル21cの中心となるように、第3コイル21cのコイルパターンは形成される。 The first electromagnetic force Pw1 a resultant force of the electromagnetic force applied to each of the first direction x and parallel to the line segment of the first coil 21 a. As the first driving point 26 a first electromagnetic force Pw1 is a point which can be regarded as such concentrated on one point at the center of the first coil 21 a, the coil pattern of the first coil 21 a is formed. Similarly, as the second driving point 26 b second electromagnetic force Pw2 is a point which can be regarded as such concentrated on one point at the center of the second coil 21 b, the coil pattern of the second coil 21 b is formed is, as a third driving point 26 c third electromagnetic force Pw3 is a point which can be regarded as such concentrated on one point at the center of the third coil 21 c, the coil patterns of the third coil 21 c is formed The

可動部20が回動されない初期の状態において、第1駆動点26aと撮像素子48の中心を結ぶ線分は、第2方向yと平行となるように可動基板22上において第1コイル21aが配置される。第2駆動点26bと第3駆動点26cを結ぶ線分の中心と撮像素子48の中心が重なるように、且つ第2駆動点26bと第3駆動点26cを結ぶ直線が第1方向xに平行な直線と交わる関係即ち第1方向xと非平行な関係となるように、可動基板22上において第2、第3コイル21b、21cが配置される。 In an initial state in which the movable unit 20 is not rotated, the line segment connecting the first drive point 26 a and the center of the image sensor 48 is parallel to the second direction y so that the first coil 21 a is on the movable substrate 22. Is placed. The straight line connecting the second drive point 26 b and the third drive point 26 c is the first line so that the center of the line segment connecting the second drive point 26 b and the third drive point 26 c overlaps the center of the image sensor 48. The second and third coils 21 b and 21 c are arranged on the movable substrate 22 so as to have a relationship that intersects with a straight line parallel to the direction x, that is, a relationship that is not parallel to the first direction x.

このような構成をとることにより、第1〜第3電磁力Pw1〜Pw3の向き、大きさを制御することにより可動部20を第1方向xと第2方向yとに平行な平面上を第1方向x、或いは第2方向yへ移動自在であり、また第1方向xと第2方向yとに平行な平面に垂直で撮像素子48の中心を通る直線を軸として回動自在である。   By adopting such a configuration, by controlling the direction and magnitude of the first to third electromagnetic forces Pw1 to Pw3, the movable part 20 is moved on the plane parallel to the first direction x and the second direction y. It is movable in one direction x or the second direction y, and is rotatable around a straight line that passes through the center of the image sensor 48 and is perpendicular to a plane parallel to the first direction x and the second direction y.

また、第1〜第3コイル21a、21b、21cをシートコイルとする構成なので、各コイル21a、21b、21cの第3方向zの厚さを薄くする事が可能である。また、電磁力を高めるために第3方向zにシートコイルが複数枚重ねられても第3方向zの厚さを殆ど増加させないことも可能である。従って、可動部20と第1固定部30の間隔を狭めてステージ駆動機構10の小型化を図る事が可能である。 Further, since the first to third coils 21 a , 21 b , and 21 c are configured as sheet coils, the thickness of each coil 21 a , 21 b , 21 c in the third direction z can be reduced. . Further, even if a plurality of sheet coils are stacked in the third direction z in order to increase the electromagnetic force, it is possible to hardly increase the thickness in the third direction z. Accordingly, it is possible to reduce the size of the stage drive mechanism 10 by narrowing the interval between the movable portion 20 and the first fixed portion 30.

第1〜第3コイル21a、21b、21cはフレキシブル基板(図示せず)を介してこれらを駆動する駆動用ドライバ回路52と接続される。駆動用ドライバ回路52には、CPU40のPWM0、PWM1、PWM2から第1、第2水平方向PWMデューティーdx1、dx2、鉛直方向PWMデューティーdyがそれぞれ入力される。 The first to third coils 21 a , 21 b , 21 c are connected to a driving driver circuit 52 that drives them via a flexible substrate (not shown). The driving driver circuit 52 receives the first and second horizontal PWM duties dx1, dx2 and the vertical PWM duty dy from the PWM0, PWM1, and PWM2 of the CPU 40, respectively.

駆動用ドライバ回路52は入力された鉛直方向PMWデューティーdyの値に応じて第1コイル21aに電力を供給し、可動部20を第2方向yに移動させる。また、駆動用ドライバ回路52は入力された第1、第2水平方向PMWデューティーdx1、dx2の値に応じて第2、第3コイル21b、21cそれぞれに電力を供給し、可動部20を第1方向xに移動させ、可動部20をxy平面上に回転させる。 The driver circuit 52 for driving supplies electric power to the first coil 21 a according to the value of the input vertical direction PMW duty dy, and moves the movable part 20 in the second direction y. The driving driver circuit 52 supplies electric power to the second and third coils 21 b and 21 c according to the values of the input first and second horizontal PMW duties dx1 and dx2, respectively. The movable part 20 is rotated on the xy plane by moving in the first direction x.

可動部20を第1方向xに平行移動させる場合、第2、第3電磁力Pw2、Pw3とが同じ向きで、同じ大きさとなるように、CPU40により第1、第2水平方向PWMデューティーdx1、dx2の値が制御される。   When the movable unit 20 is translated in the first direction x, the CPU 40 causes the first and second horizontal PWM duties dx1, the second and third electromagnetic forces Pw2 and Pw3 to have the same direction and the same magnitude. The value of dx2 is controlled.

可動部20を第1方向xに平行移動させること無くxy平面上で回動させる場合、第2、第3電磁力Pw2、Pw3とが逆向きで、同じ大きさとなるように、CPU40により第1、2水平方向PWMデューティーdx1、dx2の値が制御される。   When the movable unit 20 is rotated on the xy plane without being translated in the first direction x, the first and second electromagnetic forces Pw2 and Pw3 are reversed and have the same magnitude by the CPU 40. The values of the two horizontal PWM duties dx1, dx2 are controlled.

可動部20を第1方向xに移動してxy平面上で回動させる場合、第2、第3電磁力Pw2、Pw3とが異なる大きさとなるように、CPU40により第1、2水平方向PWMデューティーdx1、dx2の値が制御される。   When the movable unit 20 is moved in the first direction x and rotated on the xy plane, the CPU 40 causes the first and second horizontal PWM duties so that the second and third electromagnetic forces Pw2 and Pw3 have different magnitudes. The values of dx1 and dx2 are controlled.

第1ホール素子23aは第3方向zにおいて第1駆動点26aに重なる位置に設けられる。第2ホール素子23bは、撮像素子48の中心を通り第1方向xに平行な直線と第2駆動点26bを通り第2方向yに平行な直線との交点に重なる位置に設けられる。第3ホール素子23cは、撮像素子48の中心を通り第1方向xに平行な直線と第3駆動点26cを通り第2方向yに平行な直線との交点に重なる位置に設けられる。 The first hall element 23 a is provided at a position overlapping the first driving point 26 a in the third direction z. The second Hall element 23 b is provided at a position overlapping the intersection of a straight line that passes through the center of the image sensor 48 and is parallel to the first direction x and a straight line that passes through the second drive point 26 b and is parallel to the second direction y. The third Hall element 23 c is provided at a position overlapping the intersection of a straight line passing through the center of the image sensor 48 and parallel to the first direction x and a straight line passing through the third drive point 26 c and parallel to the second direction y.

第1固定部30において、板状部材である第1ベース板33には第1〜第3ヨーク32a、32b、32c、及び第1〜第3駆動磁石31a、31b、31cが設けられる。第1ベース板33は撮像素子48の撮像面と平行で、可動基板22と撮影レンズ68の間に配置される。第1ベース板33には、第1支持部材11a、11b、11cと対向する位置に窪が形成される。窪には撮像面と平行な平面である第1底面34及び第3方向zに平行な第1内壁面35が形成される。 In the first fixing portion 30, the first to third yoke 32 a in the first base plate 33 is a plate-shaped member, 32 b, 32 c, and the first to third drive magnets 31 a, 31 b, 31 c Is provided. The first base plate 33 is parallel to the imaging surface of the imaging element 48 and is disposed between the movable substrate 22 and the imaging lens 68. A recess is formed in the first base plate 33 at a position facing the first support members 11 a , 11 b , and 11 c . A first bottom surface 34 that is a plane parallel to the imaging surface and a first inner wall surface 35 that is parallel to the third direction z are formed in the recess.

第1支持部材11a、11b、11cは第1ベース板33における第1底面34に当接される(図4参照)。第1支持部材11a、11b、11cが第1底面34に当接している状態において、第1支持部材11a、11b、11cは第1内壁面35に囲まれる。 The first support members 11 a , 11 b , and 11 c are in contact with the first bottom surface 34 of the first base plate 33 (see FIG. 4). In a state where the first support members 11 a , 11 b and 11 c are in contact with the first bottom surface 34, the first support members 11 a , 11 b and 11 c are surrounded by the first inner wall surface 35.

第1支持部材11a、11b、11cを第1内壁面35によって囲むことにより、支持受け板24と第1ベース板33の間からの第1支持部材11a、11b、11cの離脱が防がれる。さらに、撮像素子支持機構10の製造時に、第1支持部材11a、11b、11cの第1ベース板33からの脱落を防ぐことも可能である。 By surrounding the first support members 11 a , 11 b , 11 c with the first inner wall surface 35, the first support members 11 a , 11 b , 11 c from between the support receiving plate 24 and the first base plate 33 are arranged . Withdrawal is prevented. Furthermore, it is possible to prevent the first support members 11 a , 11 b , and 11 c from falling off from the first base plate 33 when the image pickup device support mechanism 10 is manufactured.

第1駆動磁石31aは第1コイル21a及び第1ホール素子23aと第3方向zにおいて対向するように、第1ベース板33における可動部20側の面に第1ヨーク32aを介して設けられる。同様に、第2駆動磁石31bは第2コイル21b及び第2ホール素子23bと第3方向zに対向するように、第1ベース板33における可動部20側の面に第2ヨーク32bを介して設けられる。同様に、第3駆動磁石31cは第3コイル21c及び第3ホール素子23cと第3方向zにおいて対向するように、第1ベース板33における可動部20側の面に第3ヨーク32cを介して設けられる。 First driving magnet 31 a is to face the first coil 21 a and the first Hall element 23 a and the third direction z, via the first yoke 32 a on the surface of the movable portion 20 side of the first base plate 33 Provided. Similarly, the second drive magnet 31 b faces the second coil 21 b and the second Hall element 23 b in the third direction z, and the second yoke 32 is provided on the surface of the first base plate 33 on the movable portion 20 side. provided through b . Similarly, the third drive magnet 31 c is opposed to the third coil 21 c and the third Hall element 23 c in the third direction z, and the third yoke 32 is provided on the surface of the first base plate 33 on the movable portion 20 side. c is provided.

第1駆動磁石31aは第2方向yにN極とS極が並べられる。第1駆動磁石31aの第1方向xの長さは可動部20が第1方向xに移動する時に第1コイル21aと第1ホール素子23aに及ぼす磁界が変化しないように第1コイル21aの第1方向xの第1有効長L1に比べて長めに形成される。 The first drive magnet 31 a has N and S poles arranged in the second direction y. The first coil as the magnetic field on the first coil 21 a and the first Hall element 23 a does not change when the length of the first direction x of the first driving magnet 31 a is the movable portion 20 moves in the first direction x It is longer formed than the first effective length L1 of the first direction x of 21 a.

第2駆動磁石31bは第1方向xにN極とS極が並べられる。第2駆動磁石31bの第2方向yの長さは可動部20が第2方向yに移動する時に第2コイル21bと第2ホール素子23bに及ぼす磁界が変化しないように第2コイル21bの第2方向yの第2有効長L2に比べて長めに形成される。 The second drive magnet 31 b has N and S poles arranged in the first direction x. The length of the second drive magnet 31 b in the second direction y is such that the magnetic field exerted on the second coil 21 b and the second Hall element 23 b does not change when the movable part 20 moves in the second direction y. It is longer formed than the second effective length L2 in the second direction y of 21 b.

第3駆動磁石31cは第1方向xにN極とS極が並べられる。第3駆動磁石31cの第2方向yの長さは可動部20が第2方向yに移動する時に第3コイル21cと第3ホール素子23cに及ぼす磁界が変化しないように第3コイル21cの第2方向yの第3有効長L3に比べて長めに形成される。 The third drive magnet 31 c has N and S poles arranged in the first direction x. The length of the third drive magnet 31 c in the second direction y is such that the magnetic field exerted on the third coil 21 c and the third Hall element 23 c does not change when the movable part 20 moves in the second direction y. It is longer formed in comparison with the third effective length L3 of the second direction y of 21 c.

第1ヨーク32aは第1方向xから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体部材により形成される。第1ヨーク32aのコの字型形状の間に第1駆動磁石31a、第1コイル21a、及び第1ホール素子23aを第3方向zで挟みながら、第1ヨーク32aは第1ベース板33上の可動部20側の面に固定される。 The first yoke 32 a is formed by a polygonal soft magnetic member having a U-shape when viewed in the first direction x. First driving magnet 31 a between the U-shaped shape of the first yoke 32 a, while the first coil 21 a, and the first Hall element 23 a sandwiched between the third direction z, the first yoke 32 a is first The first base plate 33 is fixed to the surface of the movable unit 20 side.

第1ヨーク32aにおける第1駆動磁石31aと接する側の部分により、第1駆動磁石31aの磁界の周囲への漏洩が防がれる。また、第1ヨーク32aにおける第1駆動磁石31aと接する側の部分と対向する側の部分により、第1駆動磁石31aと第1コイル21aとの間、及び第1駆動磁石31aと第1ホール素子23aとの間の磁束密度が高められる。 The side of the portion in contact with the first driving magnet 31 a in the first yoke 32 a, leakage is prevented to the surrounding field of the first driving magnet 31 a. The first yoke 32 a has a portion facing the first driving magnet 31 a and a portion facing the first driving magnet 31 a , and between the first driving magnet 31 a and the first coil 21 a and the first driving magnet 31 a. When the magnetic flux density between the first Hall element 23 a is increased.

第2ヨーク32bは第2方向yから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体部材により形成される。第2ヨーク32bのコの字型形状の間に第2駆動磁石31b、第2コイル21b、及び第2ホール素子23bを第3方向zで挟みながら、第2ヨーク32bは第1ベース板33上の可動部20側の面に固定される。 The second yoke 32 b is formed by a polygonal soft magnetic member having a U-shape when viewed in the second direction y. Second drive magnet 31 b between the U-shaped shape of the second yoke 32 b, while the second coil 21 b, and the second Hall element 23 b sandwiched between the third direction z, the second yoke 32 b first The first base plate 33 is fixed to the surface of the movable unit 20 side.

第2ヨーク32bにおける第2駆動磁石31bと接する側の部分により、第2駆動磁石31bの磁界の周囲への漏洩が防がれる。また、第2ヨーク32bにおける第2駆動磁石31bと接する側の部分と対向する側の部分により、第2駆動磁石31bと第2コイル21bとの間、及び第2駆動磁石31bと第2ホール素子23bとの間の磁束密度が高められる。 The side of the portion in contact with the second drive magnet 31 b in the second yoke 32 b, the leakage is prevented to the surrounding field of the second drive magnet 31 b. Further, the portion of the second yoke 32 b facing the second drive magnet 31 b and the portion facing the second drive magnet 31 b, between the second drive magnet 31 b and the second coil 21 b , and the second drive magnet 31 b And the magnetic flux density between the second Hall element 23 b is increased.

第3ヨーク32cは第2方向yから見てコの字型形状を有する多角柱の軟磁性体部材により形成される。第3ヨーク32cのコの字型形状の間に第3駆動磁石31c、第3コイル21c、及び第3ホール素子23cを第3方向zで挟みながら、第3ヨーク32cは第1ベース板33上の可動部20側に固定される。 The third yoke 32 c is formed by a soft magnetic member polygonal prism having a u-shape channel when viewed from the second direction y. Third drive magnet 31 c between the U-shaped shape of the third yoke 32 c, while a third coil 21 c, and the third Hall element 23 c sandwiched between the third direction z, the third yoke 32 c first 1 fixed to the movable part 20 side on the base plate 33.

第3ヨーク32cにおける第3駆動磁石31cと接する側の部分により、第3駆動磁石31cの磁界の周囲への漏洩が防がれる。また、第3ヨーク32cにおける第3駆動磁石31cと接する側の部分と対向する側の部分により、第3駆動磁石31cと第3コイル21cとの間、及び第3駆動磁石31cと第3ホール素子23cとの間の磁束密度が高められる。 The side of the portion in contact with the third drive magnet 31 c in the third yoke 32 c, leakage is prevented to the surrounding magnetic field of the third drive magnet 31 c. Further, the portion of the third yoke 32 c facing the third drive magnet 31 c and the portion facing the third drive magnet 31 c, between the third drive magnet 31 c and the third coil 21 c , and the third drive magnet 31 c And the third Hall element 23 c are increased in magnetic flux density.

第2ベース板36は第1ベース板33の反対側から、第1固定部30を構成する第1〜3ヨーク32a、32b、32cに固定される(図3,4参照)。 The second base plate 36 is fixed to the first to third yokes 32 a , 32 b and 32 c constituting the first fixing portion 30 from the opposite side of the first base plate 33 (see FIGS. 3 and 4).

第1〜第3ホール素子23a、23b、23cはホール効果を利用した磁電変換素子であって、可動部20の第1方向x、第2方向y(第1、第2水平方向検出位置信号px1、px2、鉛直方向検出位置信号py)を検出する1軸ホール素子である。第1ホール素子23aにより第2方向yの位置が検出され、第2、第3ホール素子23b、23cにより第1方向xの位置が検出される。 The first to third Hall elements 23 a , 23 b , and 23 c are magnetoelectric transducers that use the Hall effect, and are a first direction x and a second direction y (first and second horizontal direction detection of the movable part 20). This is a uniaxial Hall element that detects position signals px1, px2, and a vertical direction detection position signal py). The position in the second direction y is detected by the first Hall element 23 a, and the position in the first direction x is detected by the second and third Hall elements 23 b and 23 c .

第1〜第3駆動磁石31a、31b、31cから発する磁界は位置検出のためにも使用される。第1駆動磁石31aと第1ホール素子23aとにより第1位置検出手段(図示せず)が形成される。同様に、第2駆動磁石31bと第2ホール素子23bとにより第2位置検出手段(図示せず)が形成され、第3駆動磁石31cと第3ホール素子23cとにより第3位置検出手段(図示せず)が形成される。 Magnetic fields generated from the first to third drive magnets 31 a , 31 b , 31 c are also used for position detection. First position detecting means (not shown) is formed by a first drive magnet 31 a and the first Hall element 23 a. Similarly, a second position detecting means (not shown) is formed by the second driving magnet 31 b and the second Hall element 23 b, and a third position is formed by the third driving magnet 31 c and the third Hall element 23 c. Detection means (not shown) are formed.

第1ホール素子23aは第1コイル21aと第3方向zに積層される。第1ホール素子23aを第1駆動点26aである第1コイル21aの中央点に配置して積層することにより、位置検出のための磁界発生領域と可動部20の駆動のための磁界発生領域が共用されるので、第1駆動磁石31a及び第1ヨーク32aの第2方向yの長さを短縮可能である。 The first hall element 23 a is stacked on the first coil 21 a in the third direction z. By laminating the first Hall element 23 a centrally located point of the first coil 21 a is a first driving point 26 a, the magnetic field for driving the magnetic field generating region and movable section 20 for position detection Since the generation region is shared, the lengths of the first drive magnet 31 a and the first yoke 32 a in the second direction y can be shortened.

直線的な変化量を使って精度の高い位置検出が行える範囲を最大限活用して位置検出を行うため、撮像素子48の中心近傍が光軸LXを通る位置関係にある時に、第1駆動磁石31aのN極、S極と等距離近傍に配置するように、第1ホール素子23aの位置が調整される。 In order to perform position detection by making maximum use of a range in which position detection with high accuracy can be performed using a linear change amount, the first drive magnet is used when the vicinity of the center of the image sensor 48 is in a positional relationship passing through the optical axis LX. The position of the first Hall element 23 a is adjusted so as to be arranged in the vicinity of the equidistant from the N pole and the S pole of 31 a .

同様に、第2ホール素子23bの第1方向xの位置は、撮像素子48の中心近傍が光軸LXを通る位置関係にある時に、第2駆動磁石31bのN極、S極と等距離近傍に配置するように調整され、第3ホール素子23cの第1方向xの位置は、撮像素子48の中心近傍が光軸LXを通る位置関係にある時に、第3駆動磁石31cのN極、S極と等距離近傍に配置するように調整される。 Similarly, the position of the second hall element 23 b in the first direction x is the same as the N pole and S pole of the second drive magnet 31 b when the vicinity of the center of the image sensor 48 is in a positional relationship passing through the optical axis LX. The position of the third hall element 23 c in the first direction x is adjusted so as to be arranged in the vicinity of the distance, and the position of the third drive magnet 31 c is adjusted so that the vicinity of the center of the image sensor 48 passes through the optical axis LX. It is adjusted so as to be arranged in the vicinity of the same distance as the N pole and the S pole.

ホール素子信号処理部53は第1〜第3ホール素子信号処理回路54a、54b、54cを有する。第1〜第3ホール素子信号処理回路54a、54b、54cはフレキシブル基板(図示せず)を介して第1〜第3ホール素子23a、23b、23cにそれぞれ接続される。 The hall element signal processing unit 53 includes first to third hall element signal processing circuits 54 a , 54 b and 54 c . The first to third Hall element signal processing circuits 54 a , 54 b , 54 c are connected to the first to third Hall elements 23 a , 23 b , 23 c through flexible substrates (not shown), respectively.

第1ホール素子信号処理回路54aにより、第1ホール素子23aの出力信号から第1ホール素子23aにおける出力端子間の電位差が検出される。検出された電位差に基づいて第1ホール素子23aがある部分(点A、図7参照)の第2方向yの位置を特定する鉛直方向検出位置信号pyがCPU40のA/D5に入力される。 The first hall element signal processing circuit 54 a, the potential difference between the output terminals of the first Hall element 23 a is detected from the output signal of the first Hall element 23 a. Based on the detected potential difference, a vertical detection position signal py that specifies the position in the second direction y of the portion where the first Hall element 23a is located (point A, see FIG. 7) is input to the A / D 5 of the CPU 40. .

第2ホール素子信号処理回路54bにより、第2ホール素子23bの出力信号から第2ホール素子23bにおける出力端子間の電位差が検出される。検出された電位差に基づいて第2ホール素子23bがある部分(点B、図7参照)の第1方向xの位置を特定する第1水平方向検出位置信号px1がCPU40のA/D3に入力される。 The second Hall element signal processing circuit 54 b, the potential difference between the output terminals of the second Hall element 23 b is detected from the output signal of the second Hall element 23 b. The detected potential difference is a second Hall element 23 b based on the partial (point see B, FIG. 7) the first horizontal detection position signal px1 locating the first direction x of the input to the A / D3 of the CPU40 Is done.

第3ホール素子信号処理回路54cにより、第3ホール素子23cの出力信号から第3ホール素子23cにおける出力端子間の電位差が検出される。検出された電位差に基づいて第3ホール素子23cがある部分(点C、図7参照)の第1方向xの位置を特定する第2水平方向検出位置信号px2がCPU40のA/D4に入力される。 The third Hall element signal processing circuit 54 c, the potential difference between the output terminals of the third Hall element 23 c is detected from the output signal of the third Hall element 23 c. The third Hall element 23 c is a moiety (point C, see FIG. 7) based on the detected potential difference the second horizontal detection position signal px2 locating the first direction x of the input to the A / D4 of CPU40 Is done.

3つのホール素子23a、23b、23cにより、回転角度を含めた可動部20の位置が特定される。第1ホール素子23aにより、可動部20上の1つの点についての第2方向yの位置が特定される。第2、第3ホール素子23b、23cにより、可動部20上の2つの点についての第1方向xの位置が特定される。2つの点についての第1方向xの位置情報と、1つの点についての第2方向yの位置情報とに基づいて、可動部20の回転角度を含めた位置を特定する事が可能である。 The position of the movable part 20 including the rotation angle is specified by the three Hall elements 23 a , 23 b , and 23 c . The position in the second direction y for one point on the movable part 20 is specified by the first Hall element 23 a . The positions of the two points on the movable portion 20 in the first direction x are specified by the second and third Hall elements 23 b and 23 c . Based on the position information in the first direction x for two points and the position information in the second direction y for one point, the position including the rotation angle of the movable unit 20 can be specified.

図7を用いて、可動部20の位置を特定する方法について説明する。点A、点B、点Cの位置情報から、点Pの位置データ(pxx、pyy、pθ)が求められる。点Aは第1ホール素子23aの位置、点Bは第2ホール素子23bの位置、点Cは第3ホール素子23cの位置を示す。点Pは線分BCと直交し、点Aを通る線と線分BCとの交点である。 A method for specifying the position of the movable unit 20 will be described with reference to FIG. From the position information of the points A, B, and C, the position data (pxx, pyy, pθ) of the point P is obtained. Point A is the position of the first Hall element 23 a, the point B position of the second Hall element 23 b, the point C indicates the position of the third Hall element 23 c. The point P is an intersection of a line passing through the point A and the line segment BC orthogonal to the line segment BC.

点Pを線分BCの中点に合わせ、線分APの長さと線分BP、線分CPの長さとが同じ長さになるように、可動部20における第1〜第3ホール素子23a、23b、23cの位置が調整される。更に、点Pと撮像素子48の中心が第3方向zにおいて重なるように、第1〜第3ホール素子23a、23b、23c及び撮像素子48が可動部20に配置される。 The point P is aligned with the midpoint of the line segment BC, and the lengths of the line segment AP, the line segment BP, and the line segment CP are the same, so that the first to third Hall elements 23 a in the movable unit 20 are the same. , 23 b , 23 c are adjusted. Further, the first to third Hall elements 23 a , 23 b , 23 c and the image sensor 48 are arranged in the movable unit 20 so that the point P and the center of the image sensor 48 overlap in the third direction z.

点Aについては、第1ホール素子23aにより第2方向yの位置が検出される(鉛直方向検出信号py)。点Bについては、第2ホール素子23bにより第1方向xの位置が検出される(第1水平方向検出信号px1)。点Cについては、第3ホール素子23cにより第1方向xの位置が検出される(第2水平方向検出信号px2)。 For point A, the position in the second direction y is detected by the first Hall element 23 a (vertical direction detection signal py). For the point B, the position of the first direction x is detected by the second Hall element 23 b (first horizontal direction detection signal px1). For point C, the position of the first direction x is detected by the third Hall element 23 c (the second horizontal direction detection signal px2).

鉛直信号py、第1、第2水平方向検出位置信号px1、px2がA/D変換されたデータpdy、pdx1、pdx2と、線分AP、BP、CPの長さdによって、位置P(pxx、pyy、pθ)の値が次の(1)〜(3)式により求められる。
pxx=(pdx1+pdx2)/2 (1)
pyy=pdy−d×cos(pθ) (2)
pθ=cos-1{(pdx1−pdx2)/(2×d)} (3)
ここで回転角度pθは、図6に示すように、線分BPと第1方向xのなす角度であり、線分APと第2方向yのなす角度とする。
A position P (pxx, The value of (pyy, pθ) is obtained by the following equations (1) to (3).
pxx = (pdx1 + pdx2) / 2 (1)
pyy = pdy−d × cos (pθ) (2)
pθ = cos −1 {(pdx1−pdx2) / (2 × d)} (3)
Here, as shown in FIG. 6, the rotation angle pθ is an angle formed by the line segment BP and the first direction x, and is an angle formed by the line segment AP and the second direction y.

次に第2の実施形態を適用した撮像素子支持機構について説明する。第2の実施形態では、支持受け板及び第1支持部材の構成が第1の実施形態と異なる。以下、第1の実施形態と異なる点を中心に第2の実施形態について図8を用いて説明する。第1の実施形態と同じ機能を有する部位は同じ符号をつけている。なお、図8は、撮像中心を通り第2方向yと第3方向zに平行な平面における第2の実施形態を適用した撮像素子支持機構の断面における構成図を示す。   Next, an image sensor support mechanism to which the second embodiment is applied will be described. In the second embodiment, the configurations of the support receiving plate and the first support member are different from those of the first embodiment. Hereinafter, the second embodiment will be described with reference to FIG. 8 with a focus on differences from the first embodiment. Parts having the same functions as those in the first embodiment are given the same reference numerals. FIG. 8 is a configuration diagram in a cross section of the imaging element support mechanism to which the second embodiment is applied in a plane passing through the imaging center and parallel to the second direction y and the third direction z.

可動部20と第1固定部30とに挟まれる3つの第1支持部材110a、110b、110c(第1支持部材110bは図示せず)は、可動部20を構成する支持受け板240に固定される。第1支持部材110a、110b、110cの第1固定部30側の先端は凸球面状に形成される。第1支持部材110a、110b、110cは凸球面状先端において第1固定部30を構成する第1ベース板33に第1方向x及び第2方向yに摺動自在に当接される。 Three first support members 110 a , 110 b , 110 c (first support member 110 b not shown) sandwiched between the movable portion 20 and the first fixed portion 30 are support receiving plates constituting the movable portion 20. 240 is fixed. The tips of the first support members 110 a , 110 b , 110 c on the first fixed portion 30 side are formed in a convex spherical shape. The first support members 110 a , 110 b , and 110 c are slidably contacted with the first base plate 33 constituting the first fixing portion 30 at the tips of the convex spherical surfaces in the first direction x and the second direction y. .

以上のような構成によっても、可動部20は第1方向x、第2方向yへの平行移動、及び第3方向zに平行な直線を軸に回動可能な状態で、第1固定部30に支持されることが可能である。   Even with the above-described configuration, the movable portion 20 is movable in the first direction x, the second direction y, and the first fixed portion 30 while being rotatable about a straight line parallel to the third direction z. Can be supported.

なお、本実施形態において第1支持部材110a、110b、110cを可動部20に固定する構成であるが、第1支持部材110a、110b、110cを第1固定部30に固定させ、可動部20側の先端を凸球面状に形成し、可動部20を構成する支持受け板24に凸球面状の先端を当接させる構成であってもよい。また、本実施形態では、第1支持部材110a、110b、110cを可動部20に固定する構成であるが、第1支持部材110a、110b、110cが可動部20に一体的に形成されて固定される構成であってもよい。一体的な形成とする構成によれば、組立て性はさらに向上する。 In the present embodiment, the first support members 110 a , 110 b , and 110 c are fixed to the movable portion 20, but the first support members 110 a , 110 b , and 110 c are fixed to the first fixing portion 30. The tip of the movable part 20 side may be formed in a convex spherical shape, and the convex spherical tip may be brought into contact with the support receiving plate 24 constituting the movable part 20. In the present embodiment, the first support members 110 a , 110 b , and 110 c are fixed to the movable portion 20. However, the first support members 110 a , 110 b , and 110 c are integrated with the movable portion 20. The structure formed and fixed to may be sufficient. According to the structure which forms integrally, assembly property further improves.

次に第3の実施形態を適用した撮像素子支持機構について説明する。第3の実施形態では、第2支持部材及び第2固定部の構成が第1の実施形態と異なる。以下、第1の実施形態と異なる点を中心に第3の実施形態について図9を用いて説明する。第1の実施形態と同じ機能を有する部位は同じ符号をつけている。なお、図9は、撮像中心を通り第2方向yと第3方向zに平行な平面における第3の実施形態を適用した撮像素子支持機構の断面における構成図を示す。   Next, an image sensor support mechanism to which the third embodiment is applied will be described. In 3rd Embodiment, the structure of a 2nd supporting member and a 2nd fixing | fixed part differs from 1st Embodiment. Hereinafter, the third embodiment will be described with reference to FIG. 9 with a focus on differences from the first embodiment. Parts having the same functions as those in the first embodiment are given the same reference numerals. FIG. 9 is a configuration diagram in a cross section of the image sensor support mechanism to which the third embodiment is applied in a plane that passes through the imaging center and is parallel to the second direction y and the third direction z.

可動部20と第2ベース板36とに挟まれる第2支持部材120は、球状に形成される。第2ベース板36の第2支持部材120に対応する面は撮像素子48の撮像面と平行になるように取付けられる。第2支持部材120は、第2ベース板36、及び第2底面28に当接され、転動自在である。   The second support member 120 sandwiched between the movable portion 20 and the second base plate 36 is formed in a spherical shape. A surface of the second base plate 36 corresponding to the second support member 120 is attached so as to be parallel to the imaging surface of the imaging element 48. The second support member 120 is in contact with the second base plate 36 and the second bottom surface 28 and can roll.

以上のような構成によれば、可動部20は、第1方向x、第2方向yへの平行移動、及び第3方向zに平行な直線を軸に回動可能な状態で、第1固定部30に支持されることが可能である。さらに、可動部20が平面移動する際に第2支持部材120が第2ベース板36及び第2底面28において転動するため、第1の実施形態のように第2支持部材12を第2底面28において摺動させる場合と比べて可動部20を移動させるための負荷が小さくなる点でも利点を有する。   According to the configuration as described above, the movable unit 20 is fixed in the first direction x in a state where the movable unit 20 can rotate around the straight line parallel to the first direction x, the second direction y, and the third direction z. It can be supported by the part 30. Furthermore, since the second support member 120 rolls on the second base plate 36 and the second bottom surface 28 when the movable portion 20 moves in a plane, the second support member 12 is moved to the second bottom surface as in the first embodiment. Compared with the case of sliding at 28, there is also an advantage in that the load for moving the movable portion 20 is reduced.

次に第4の実施形態を適用した撮像素子支持機構について説明する。第4の実施形態では、第2支持部材及び第2固定部の構成が第1の実施形態と異なる。以下、第1の実施形態と異なる点を中心に第4の実施形態について図10を用いて説明する。第1の実施形態と同じ機能を有する部位は同じ符号をつけている。なお、図10は、撮像中心を通り第2方向yと第3方向zに平行な平面における第4の実施形態を適用した撮像素子支持機構の断面における構成図を示す。   Next, an image sensor support mechanism to which the fourth embodiment is applied will be described. In 4th Embodiment, the structure of a 2nd supporting member and a 2nd fixing | fixed part differs from 1st Embodiment. Hereinafter, the fourth embodiment will be described with reference to FIG. 10 with a focus on differences from the first embodiment. Parts having the same functions as those in the first embodiment are given the same reference numerals. FIG. 10 is a configuration diagram in a cross section of the imaging element support mechanism to which the fourth embodiment is applied in a plane that passes through the imaging center and is parallel to the second direction y and the third direction z.

第2ベース板36の可動部20側には、付勢部材13が設けられる。付勢部材13は例えばバネである。第2支持部材12はバネ13に固定される。バネ13は第2支持部材12を可動部20に押圧させる方向である第3方向zに付勢する。なお、付勢部材13としてはバネ以外の他の弾性部材、例えばゴムであっても本実施形態と同様の効果を有する。   The biasing member 13 is provided on the movable base 20 side of the second base plate 36. The biasing member 13 is a spring, for example. The second support member 12 is fixed to the spring 13. The spring 13 biases the second support member 12 in the third direction z, which is a direction in which the movable portion 20 is pressed. Note that even if the urging member 13 is an elastic member other than a spring, for example, rubber, the same effect as in the present embodiment is obtained.

以上のような構成によっても、第2支持部材12を可動部20に押圧することにより、可動部20を第1支持部材11a、11b、11c、及び第2支持部材12の間で第3方向zに移動を防ぎながら支持することが可能である。従って、撮像素子48の第3方向zへのズレが防がれ、正確な焦点調整が行われる。 Even with the configuration as described above, by pressing the second support member 12 against the movable portion 20, the movable portion 20 is moved between the first support members 11 a , 11 b , 11 c , and the second support member 12. It is possible to support while preventing movement in the three directions z. Accordingly, displacement of the image sensor 48 in the third direction z is prevented, and accurate focus adjustment is performed.

第1〜第4の実施形態では、可動部を第1方向xと第2方向yとへの平行移動自在に支持するために、撮像素子を備える側において3つ、撮像素子を備える面の反対側において1つの支持部材を用いるだけでよく、撮像素子支持機構の構成部品を従来の支持機構より少なくすることが可能である。また簡単な構成なので、全体を小型化することが容易である。   In the first to fourth embodiments, in order to support the movable portion so as to be movable in parallel in the first direction x and the second direction y, three on the side including the image sensor, opposite to the surface including the image sensor. Only one support member needs to be used on the side, and the number of components of the image sensor support mechanism can be smaller than that of the conventional support mechanism. In addition, since the configuration is simple, it is easy to reduce the overall size.

また、第1〜第4の実施形態では、第3方向zから見て第2支持部材が、第3方向zから見て3つの第1支持部材により囲まれる3角形の重心と略重なるため、負荷がそれぞれの第1支持部材に均等に配分される。従って、第1支持部材の転動、或いは摺動がし易く、第1支持部材の高寿命化が可能である。   In the first to fourth embodiments, the second support member substantially overlaps the center of gravity of the triangle surrounded by the three first support members when viewed from the third direction z, as viewed from the third direction z. The load is evenly distributed to each first support member. Therefore, the first support member can be easily rolled or slid, and the life of the first support member can be extended.

なお、第1〜第4実施形態において、第2固定部が第1固定部に固定される構成であるが、第2固定部が第1固定部に直接固定される必要は無い。例えば、カメラ本体に第1固定部及び第2固定部が固定されるように、第1固定部に対する第2固定部の相対的位置が固定されていればよい。   In the first to fourth embodiments, the second fixing portion is fixed to the first fixing portion, but the second fixing portion does not need to be directly fixed to the first fixing portion. For example, the relative position of the second fixing part with respect to the first fixing part may be fixed so that the first fixing part and the second fixing part are fixed to the camera body.

なお、第1、第2、第4実施形態において、第2支持部材が第2ベース板に固定される構成であるが、可動部に固定され、第2支持部材が第2ベース板に当接される構成であってもよい。可動部20に固定される構成である場合は、第2ベース板に底面が撮像面に平行な平面である窪が形成されることが好ましい。さらに、第2支持部材の第2ベース板側の先端が凸球面状に形成され、窪の底面において当接されることが好ましい。   In the first, second, and fourth embodiments, the second support member is fixed to the second base plate. However, the second support member is fixed to the movable portion, and the second support member contacts the second base plate. It may be configured. In the case of a configuration that is fixed to the movable unit 20, it is preferable that a recess having a bottom surface parallel to the imaging surface is formed on the second base plate. Furthermore, it is preferable that the tip of the second support member on the second base plate side is formed in a convex spherical shape and abuts on the bottom surface of the recess.

なお、第1〜第4実施形態において、第1ベース板、或いは支持受け板上の第1支持部材が当接、或いは固定される範囲は撮像面に平行な平面であるが、非平行である場合であっても、上述した本発明の効果が得られる。同様に第2ベース板、或いはプレート上の第2支持部材が当接、或いは固定される範囲は撮像面に平行な平面であるが、非平行であっても、上述した本発明の効果が得られる。   In the first to fourth embodiments, the range in which the first support member on the first base plate or the support receiving plate abuts or is fixed is a plane parallel to the imaging surface, but is not parallel. Even if it is a case, the effect of this invention mentioned above is acquired. Similarly, the range in which the second base plate or the second support member on the plate abuts or is fixed is a plane parallel to the imaging surface, but the above-described effects of the present invention can be obtained even if the plane is not parallel. It is done.

また、第1〜第4実施形態において、第1ベース板、或いは支持受け板上の第1支持部材が当接、或いは固定される範囲は撮像面に平行な平面であるが、固定される場合は平面状に形成する必要はなく、上述した本発明の効果が得られる。   In the first to fourth embodiments, the range in which the first support member on the first base plate or the support receiving plate abuts or is fixed is a plane parallel to the imaging surface, but is fixed. Need not be formed in a planar shape, and the above-described effects of the present invention can be obtained.

本発明の第1〜第4実施形態を適用したステージ機構を利用した像ブレ補正機能を有するカメラの外観図である。It is an external view of a camera having an image blur correction function using a stage mechanism to which the first to fourth embodiments of the present invention are applied. 第1〜第4の実施形態を適用したステージ機構を利用した像ブレ補正機能を有するカメラの電気的構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the electrical structure of the camera which has an image blurring correction function using the stage mechanism to which the 1st-4th embodiment is applied. 第1〜第4の実施形態を適用した撮像素子支持機構の構成図である。It is a block diagram of the image pick-up element support mechanism to which the 1st-4th embodiment is applied. 図3のIV−IV線に沿った断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3. 図4のV−V線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the VV line of FIG. 第3方向zから見た第1支持部材に対する第2支持部材の配置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating arrangement | positioning of the 2nd support member with respect to the 1st support member seen from the 3rd direction z. 2つの第1方向の位置と1つの第2方向の位置から、点Pの位置を求める方法を説明するためのxy平面図である。It is xy top view for demonstrating the method of calculating | requiring the position of the point P from the position of two 1st directions, and the position of one 2nd direction. 第2の実施形態を適用した撮像素子支持機構の構成図である。It is a block diagram of the image pick-up element support mechanism to which 2nd Embodiment is applied. 第3の実施形態を適用した撮像素子支持機構の構成図である。It is a block diagram of the image pick-up element support mechanism to which 3rd Embodiment is applied. 第4の実施形態を適用した撮像素子支持機構の構成図である。It is a block diagram of the image pick-up element support mechanism to which 4th Embodiment is applied.

符号の説明Explanation of symbols

10 撮像素子支持機構
11a〜11c、110a〜110c 第1支持部材
12 第2支持部材
20 可動部
22 可動基板
24 支持受け板
24a〜24c 第1当接平面部
27 孔
28 第2底面
30 第1固定部
33 第1ベース板
34 第1底面
35 第1内壁面
36 第2ベース板
48 撮像素子
60 カメラ
64 撮像部
10 imaging device support mechanism 11 a ~11 c, 110 a ~110 c first supporting member 12 second supporting member 20 movable portion 22 movable substrate 24 supporting the receiving plate 24 a to 24 c first contact planar portion 27 hole 28 second 2 bottom surface 30 first fixing portion 33 first base plate 34 first bottom surface 35 first inner wall surface 36 second base plate 48 imaging element 60 camera 64 imaging unit

Claims (16)

第1固定部と、
前記第1固定部に対して相対的な位置が固定された第2固定部と、
前記第1固定部と前記第2固定部との間に配置され、前記第1固定部と対向する面に撮像素子が設けられる可動部と、
前記第1固定部と前記可動部の間に挟まれ、前記第1固定部及び前記可動部のいずれか一方或いは両方に当接し、前記第1固定部及び前記可動部において二次元状に配置される3以上の第1支持部材と、
前記第2固定部と前記可動部の間に挟まれ、前記撮像素子の撮像面に垂直な方向から見て二次元状に配置されたそれぞれの前記第1支持部材により形成される第1支持図形の内側に配置され、前記第2固定部及び前記可動部のいずれか一方或いは両方に当接する単一の第2支持部材とを備える
ことを特徴とする撮像素子支持機構。
A first fixing part;
A second fixing portion whose position is fixed relative to the first fixing portion;
A movable part that is disposed between the first fixed part and the second fixed part, and in which an imaging element is provided on a surface facing the first fixed part;
It is sandwiched between the first fixed part and the movable part, abuts against one or both of the first fixed part and the movable part, and is arranged two-dimensionally in the first fixed part and the movable part. Three or more first support members,
First support figures formed by the respective first support members sandwiched between the second fixed part and the movable part and arranged two-dimensionally when viewed from a direction perpendicular to the imaging surface of the imaging element And a single second support member that is in contact with either one or both of the second fixed part and the movable part.
前記第1支持部材が球状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   The imaging element support mechanism according to claim 1, wherein the first support member is formed in a spherical shape. 前記第1支持部材が前記第1固定部及び前記可動部のいずれか一方に固定されることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   The imaging device support mechanism according to claim 1, wherein the first support member is fixed to one of the first fixed portion and the movable portion. 前記第1支持部材が前記第1固定部及び前記可動部のいずれか一方に一体的に形成されることにより固定されることを特徴とする請求項3に記載の撮像素子支持機構。   The imaging device support mechanism according to claim 3, wherein the first support member is fixed by being integrally formed with one of the first fixed portion and the movable portion. 前記第1支持部材における、前記第1固定部或いは前記可動部と当接する部位が凸球面状に形成されることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の撮像素子支持機構。   5. The image sensor support mechanism according to claim 3, wherein a portion of the first support member that contacts the first fixed portion or the movable portion is formed in a convex spherical shape. 6. 前記第1固定部及び前記可動部のいずれか一方又は両方が、前記撮像面と平行でそれぞれの前記第1支持部材に対向する第1当接平面部材を有し、それぞれの前記第1当接平面部材において前記第1支持部材が当接することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   Either one or both of the first fixed part and the movable part have a first abutting plane member that is parallel to the imaging surface and faces each of the first supporting members, and each of the first abutting parts. The imaging element support mechanism according to claim 1, wherein the first support member abuts on a planar member. それぞれの前記第1当接平面部材は第1内壁面を有し、前記第1支持部材が前記第1当接平面部材に当接している状態において、前記第1支持部材は前記第1内壁面に囲まれることを特徴とする請求項6に記載の撮像素子支持機構。   Each of the first abutting flat members has a first inner wall surface, and in a state where the first supporting member is in contact with the first abutting flat member, the first supporting member is the first inner wall surface. The image sensor support mechanism according to claim 6, wherein the image sensor support mechanism is surrounded by 前記第2支持部材が球状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   The imaging device support mechanism according to claim 1, wherein the second support member is formed in a spherical shape. 前記第2支持部材が前記第2固定部及び前記可動部のいずれか一方に固定されることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   The imaging device support mechanism according to claim 1, wherein the second support member is fixed to one of the second fixed portion and the movable portion. 前記第2支持部材が前記第2固定部及び前記可動部のいずれか一方に一体的に形成されることにより固定されることを特徴とする請求項9に記載の撮像素子支持機構。   The imaging device support mechanism according to claim 9, wherein the second support member is fixed by being integrally formed with one of the second fixed portion and the movable portion. 前記第2支持部材における、前記第2固定部或いは前記可動部と当接する部位が凸球面状に形成されることを特徴とする請求項9或いは請求項10に記載の撮像素子支持機構。   The imaging element support mechanism according to claim 9 or 10, wherein a portion of the second support member that contacts the second fixed portion or the movable portion is formed in a convex spherical shape. 前記第2固定部及び前記可動部のいずれか一方或いは両方が、前記撮像面と平行な第2当接平面部材を有し、前記第2当接平面部材において前記第2支持部材が当接することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   Either one or both of the second fixed part and the movable part have a second abutting plane member parallel to the imaging surface, and the second support member abuts on the second abutting plane member. The imaging element support mechanism according to claim 1, wherein: 前記第2当接平面部材は第2内壁面を有し、前記第2支持部材が前記第2当接平面部材に当接している状態において、前記第2支持部材は前記第2内壁面に囲まれることを特徴とする請求項12に記載の撮像素子支持機構。   The second contact flat member has a second inner wall surface, and the second support member is surrounded by the second inner wall surface in a state where the second support member is in contact with the second contact flat member. The imaging element support mechanism according to claim 12, wherein 前記第2固定部が弾性を有し、前記第2支持部材を前記可動部に押圧させる方向に付勢することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   The imaging device support mechanism according to claim 1, wherein the second fixed portion has elasticity and biases the second support member in a direction in which the second support member is pressed against the movable portion. 前記第2固定部或いは前記可動部に設けられ、前記第2支持部材を前記可動部に押圧させる方向に付勢する弾性体を備えることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。   The imaging element support mechanism according to claim 1, further comprising an elastic body that is provided on the second fixed portion or the movable portion and biases the second support member in a direction in which the second support member is pressed against the movable portion. 前記撮像面における前記撮像素子の中心近傍、前記第1支持図形の重心、及び前記第2支持部材の前記可動部と対向する側における重心が、前記撮像面に垂直な方向から見て重なることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子支持機構。
The vicinity of the center of the imaging element on the imaging surface, the center of gravity of the first support graphic, and the center of gravity of the second support member on the side facing the movable portion overlap when viewed from a direction perpendicular to the imaging surface. The imaging device support mechanism according to claim 1, wherein:
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